JP4429625B2 - 測定装置、及びプログラム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディジタル信号を測定する測定装置に関する。特に、本発明はディジタル信号の値の変化点、差動ディジタル信号の交点等のタイミングを測定する測定装置、及びプログラムに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、電子デバイスを試験する場合に、電子デバイスの出力信号を測定することによって電子デバイスの良否を判定している。例えば、電子デバイスの出力信号と所定のパターンとを比較することによって電子デバイスの良否を判定している。
【0003】
従来、このような判定は、所定の周期でストローブ信号を生成し、当該ストローブ信号のタイミングにおける出力信号の値を検出することによって行われている。例えば、検出した出力信号の値と、与えられるH比較レベル、L比較レベルとを比較し、出力信号をH論理及びL論理のパターンに変換し、当該パターンと期待値パターンとを比較することによって判定を行う。
【0004】
また、電子デバイスの出力信号の波形を評価することによっても、電子デバイスの良否を判定することができる。例えば、出力信号のエッジのタイミングが所定の範囲内であるか等によって、電子デバイスの良否を判定することができる。
【0005】
出力信号のエッジのタイミングは、例えば位相がわずかづつ異なる複数のストローブを含むマルチストローブ(多相ストローブ)によって、出力信号のエッジ付近の信号値を検出して測定することができる。つまり、マルチストローブによって、エッジ付近の出力信号をH論理とL論理のパターンに変換し、出力信号がH論理からL論理へ変化するストローブの位相を検出することにより、出力信号のエッジのタイミングを測定する。
【0006】
また、試験するべき電子デバイスの特性として、例えばHIZ(ハイインピーダンス)レベルからの出力信号の変化点のタイミング、差動出力信号の交差点のタイミング等がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
HIZレベル、差動出力信号の交差点のレベルは、一般にH比較レベルより小さく、L比較レベルより大きいレベルとなる。このため、従来の方法でHIZレベルからの変化点のタイミング、又は差動出力信号の交差点のタイミングを検出することは困難である。例えば、従来の方法において、H比較レベル又はL比較レベルを徐々にずらしていくことによって、HIZレベルからの変化点、又は差動出力信号の交差点を検出することができるが、このような制御を行うことは困難である。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の第1の形態においては、ディジタル信号を測定する測定装置であって、ディジタル信号のエッジにおいて、ディジタル信号が予め定められた第1信号レベルとなる第1タイミングと、ディジタル信号が第1信号レベルと異なる第2信号レベルとなる第2タイミングとを検出する基準タイミング検出部と、第1信号レベル、第2信号レベル、第1タイミング、及び第2タイミングに基づいて、ディジタル信号が予め定められた第3信号レベルとなる第3タイミングを算出するタイミング算出部とを備える測定装置を提供する。
【0009】
タイミング算出部は、第3信号レベルとして、ディジタル信号のハイインピーダンスレベルが与えられ、ディジタル信号のレベルが、ハイインピーダンスレベルから変化する変化点タイミングを第3タイミングとしてとして算出してよい。
【0010】
基準タイミング検出部には、第3信号レベルと第2信号レベルとの間の値を有する第1信号レベルが予め与えられ、タイミング算出部は、ディジタル信号が第3信号レベルから、第1信号レベル及び第2信号レベルを経由して他の信号レベルに変化した場合における、第3タイミングを算出してよい。
【0011】
基準タイミング検出部には、第3信号レベルと第1信号レベルとの信号レベル差が、第1信号レベルと第2信号レベルとの信号レベル差と略同一となる、第1信号レベル及び第2信号レベルが予め与えられてよい。
【0012】
基準タイミング検出部は、わずかづつ位相の異なる複数のストローブを有するマルチストローブを、ディジタル信号のエッジと略同一のタイミングで生成するマルチストローブ回路と、生成されたマルチストローブのそれぞれのストローブにおけるディジタル信号の信号レベルを検出する信号レベル検出部とを有し、第1信号レベルと略同一の信号レベルを検出したストローブのタイミングを第1タイミング、第2信号レベルと略同一の信号レベルを検出したストローブのタイミングを第2タイミングとして検出してよい。
【0013】
本発明の第2の形態においては、差動ディジタル信号を測定する測定装置であって、差動ディジタル信号のうち、第1ディジタル信号のエッジにおいて、第1ディジタル信号が予め定められた第1信号レベルとなる第1タイミングと、第1ディジタル信号が第1信号レベルと異なる第2信号レベルとなる第2タイミングとを検出する第1基準タイミング検出部と、差動ディジタル信号のうち、第2ディジタル信号のエッジにおいて、第2ディジタル信号が予め定められた第4信号レベルとなる第4タイミングと、第2ディジタル信号が第4信号レベルと異なる第5信号レベルとなる第2タイミングとを検出する第2基準タイミング検出部と、第1信号レベル、第2信号レベル、第4信号レベル、第5信号レベル、第1タイミング、第2タイミング、第4タイミング、及び第5タイミングに基づいて、第1ディジタル信号のエッジと第2ディジタル信号のエッジとの交点のタイミングを算出するタイミング算出部とを備える測定装置を提供する。
【0014】
タイミング算出部は、第1基準タイミング検出部が検出した第1タイミング、及び第2タイミングに基づいて、第1ディジタル信号のエッジの傾きを算出する第1傾き算出部と、第2基準タイミング検出部が検出した第4タイミング、及び第5基準タイミングに基づいて、第2ディジタル信号のエッジの傾きを算出する第2傾き算出部とを有し、第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び第2ディジタル信号のエッジの傾きに基づいて、交点のタイミングを算出してよい。
【0015】
タイミング算出部は、第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び第2ディジタル信号のエッジの傾きのそれぞれの組み合わせに対する、交点の暫定タイミングを格納し、与えられる第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び第2ディジタル信号のエッジの傾きに応じた暫定タイミングを出力するタイミング格納部と、暫定タイミングを補正するための、第1ディジタル信号の位相と、第2ディジタル信号の位相との単位位相差あたりの単位補正係数を、第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び第2ディジタル信号のエッジの傾きのそれぞれの組み合わせに対して格納し、与えられる第1ディジタル信号の傾き、及び第2ディジタル信号のエッジの傾きに応じた単位補正係数を出力する位相シフト補正係数格納部と、第1ディジタル信号の位相と第2ディジタル信号の位相との位相差を算出し、当該位相差と、位相シフト補正係数格納部が出力した単位補正係数とを乗算した補正係数を算出する乗算部とを有し、タイミング格納部が出力した暫定タイミングと、位相差算出部が出力した補正係数とに基づいて、交点のタイミングを算出してよい。
【0016】
本発明の第3の形態においては、測定装置にディジタル信号を測定させるプログラムであって、測定装置を、ディジタル信号のエッジにおいて、ディジタル信号が予め定められた第1信号レベルとなる第1タイミングと、ディジタル信号が第1信号レベルと異なる第2信号レベルとなる第2タイミングとを検出する基準タイミング検出部と、第1信号レベル、第2信号レベル、第1タイミング、及び第2タイミングに基づいて、ディジタル信号が予め定められた第3信号レベルとなる第3タイミングを算出するタイミング算出部として機能させるプログラムを提供する。
【0017】
本発明の第4の形態においては、測定装置に差動ディジタル信号を測定させるプログラムであって、測定装置を、差動ディジタル信号のうち、第1ディジタル信号のエッジにおいて、第1ディジタル信号が予め定められた第1信号レベルとなる第1タイミングと、第1ディジタル信号が第1信号レベルと異なる第2信号レベルとなる第2タイミングとを検出する第1基準タイミング検出部と、差動ディジタル信号のうち、第2ディジタル信号のエッジにおいて、第2ディジタル信号が予め定められた第4信号レベルとなる第4タイミングと、第2ディジタル信号が第4信号レベルと異なる第5信号レベルとなる第2タイミングとを検出する第2基準タイミング検出部と、第1信号レベル、第2信号レベル、第4信号レベル、第5信号レベル、第1タイミング、第2タイミング、第4タイミング、及び第5タイミングに基づいて、第1ディジタル信号のエッジと第2ディジタル信号のエッジとの交点のタイミングを算出するタイミング算出部として機能させるプログラムを提供する。
【0018】
尚、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又、発明となりうる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【0020】
図1は、本発明の実施形態に係る測定装置100の構成の一例を示す。測定装置100は、電子デバイス200が出力する出力信号を測定することにより、電子デバイス200の良否を判定する。測定装置100は、基準タイミング検出部10、タイミング算出部80、及び判定部140を備える。
【0021】
基準タイミング検出部20は、レベル比較部20、マルチストローブ回路30、及び位相検出部40を備える。レベル比較部20は、電子デバイス200が出力したディジタル信号を、予め与えられた第1信号レベル及び第2信号レベルと比較する。例えば、レベル比較部20には、第1信号レベル(VOH)と、第1信号レベルより小さい第2信号レベル(VOL)が与えられ、第1信号レベルとディジタル信号との比較結果をHデータとして出力し、第2信号レベルとディジタル信号との比較結果をLデータとして出力する。
【0022】
マルチストローブ回路30は、わずかづつ位相の異なる複数のストローブを有するマルチストローブを生成する。マルチストローブ回路30は、ディジタル信号のエッジと略同一のタイミングでマルチストローブを生成する。また、マルチストローブ回路30は、ディジタル信号のエッジに対応する予め定められた周期でマルチストローブを生成してもよい。
【0023】
位相検出部40は、レベル比較部20が出力したHデータ、及びLデータにおいて、値が変化する変化点のタイミングを検出する。本例において、位相検出部40は、Hデータ、及びLデータの値を、マルチストローブ回路30が生成したマルチストローブに含まれるそれぞれのストローブのタイミングで検出する。そして、Hデータ、及びLデータの値の変化を検出したストローブのタイミングに基づいて、Hデータ、及びLデータの値の変化点の位相を算出する。また、位相検出部40は、Hデータ、及びLデータの値の変化点のタイミングを示すHCOMP、及びLCOMPを出力する。
【0024】
このような動作により、基準タイミング検出部10は、電子デバイス200が出力したディジタル信号のエッジにおいて、ディジタル信号が予め定められた第1信号レベルとなる第1タイミング(HCOMP)と、ディジタル信号が第1信号レベルと異なる第2信号レベルとなる第2タイミング(LCOMP)とを検出する。
【0025】
タイミング算出部80は、基準タイミング検出部10に与えられた第1信号レベル及び第2信号レベル、並びに位相検出部40が検出した第1タイミング及び第2タイミングに基づいて、ディジタル信号が予め定められた第3信号レベルとなる第3タイミングを算出する。つまり、タイミング算出部80は、ディジタル信号が第3信号レベルから、第1信号レベル及び第2信号レベルを経由して他の信号レベルに変化した場合における、第3タイミングを算出する。例えば、タイミング算出部80は、第3信号レベルとして、ディジタル信号のハイインピーダンスレベルが与えられ、ディジタル信号のレベルが、ハイインピーダンスレベルから変化する変化点タイミングを第3タイミングとしてとして算出する。タイミング算出部80における第3タイミングの算出方法については、図5において詳述する。
【0026】
判定部140は、タイミング算出部80が算出した第3タイミングが、予め定められた範囲内に有るか否かに基づいて、電子デバイス200の良否を判定する。
【0027】
図2は、レベル比較部20、マルチストローブ回路30、及び位相検出部40の構成の一例を示す。レベル比較部20は、比較器22及び比較器24を有する。比較器22は、第1信号レベル及び電子デバイス200が出力するディジタル信号が与えられ、第1信号レベルとディジタル信号との比較結果に応じたHデータを出力する。本例においては、比較器22は、ディジタル信号の値が第1信号レベル以上の場合にL論理(パス)を示し、ディジタル信号の値が第1信号レベルより小さい場合にH論理(フェイル)を示すHデータを出力する。
【0028】
また、比較器24は、第2信号レベル及びディジタル信号が与えられ、第2信号レベルとディジタル信号との比較結果に応じたLデータを出力する。本例においては、比較器24は、ディジタル信号の値が第2信号レベル以下の場合にL論理を示し、ディジタル信号の値が第2信号レベルより大きい場合にH論理を示すLデータを出力する。
【0029】
マルチストローブ回路30は、複数の可変遅延回路(32−0〜32−16、以下32と総称する)、及び複数の可変遅延回路(34−0〜34−16、以下34と総称する)を有する。但し、可変遅延回路32及び可変遅延回路34の個数は、図に示すように17には限られない。
【0030】
複数の可変遅延回路32は、それぞれ遅延量がわずかづつ異なるように設定され、外部から与えられるストローブ信号をそれぞれ異なる遅延量で遅延させ、わずかづつ位相の異なる複数のストローブを含むマルチストローブを出力する。また、複数の可変遅延回路34も同様に、わずかづつ位相の異なる複数のストローブを含むマルチストローブを出力する。複数の可変遅延回路32と複数の可変遅延回路34とは、略同一のタイミングで、それぞれのストローブの位相が略同一のマルチストローブを出力することが好ましい。
【0031】
位相検出部40は、複数の信号レベル検出部(42−0〜42−16、以下42と総称する)、複数の信号レベル検出部(44−0〜44−16、以下44と総称する)、複数の排他論理回路(46−1〜46−16、以下46と総称する)、複数の排他論理回路(48−1〜48−16、以下48と総称する)、エンコーダ50−1、及びエンコーダ50−2を有する。
【0032】
複数の信号レベル検出部42は、複数の可変遅延回路32と対応して設けられ、対応する可変遅延回路32が出力するストローブのタイミングにおける、Hデータの値を出力する。また、複数の信号レベル検出部44は、複数の可変遅延回路34と対応して設けられ、対応する可変遅延回路34が出力するストローブのタイミングにおける、Lデータの値を出力する。
【0033】
それぞれの排他論理回路46は、与えられるストローブの位相(相番号)が隣接する2つの信号レベル検出部42の出力の排他論理和を出力する。つまり、対応する2つの信号レベル検出部42が出力するHデータの値が変化した場合に、H論理を出力する。また、それぞれの排他論理和回路48も同様に、与えられるストローブの位相が隣接する2つの信号レベル検出部44の出力の排他論理和を出力する。
【0034】
このような動作により、複数の排他論理回路46及び複数の排他論理回路48は、いずれのストローブのタイミングで、Hデータ及びLデータの値が変化したかを示す信号をそれぞれ出力する。本例においては、値の変化を検出したストローブの相番号に対応するビットのみがH論理を示す16ビットの信号を出力する。
【0035】
エンコーダ50−1は、複数の排他論理回路46が出力した信号をエンコードし、Hデータの値の変化を検出したストローブの相番号を2進数で示したHCOMPを出力する。また、エンコーダ50−2は、複数の排他論理回路46が出力した信号をエンコードし、Lデータの値の変化を検出したストローブの相番号を2進数で示したLCOMPを出力する。
【0036】
以上説明した動作により、基準タイミング検出部10は、ディジタル信号が予め定められた第1信号レベル及び第2信号レベルとなる第1タイミング(HCOMP)及び第2タイミング(LCOMP)を検出することができる。
【0037】
図3は、電子デバイス200が出力するディジタル信号の出力波形の一例を示す。通常時、電子デバイス200の出力ピンの電圧は、ハイインピーダンス(HIZ)レベルである。電子デバイス200がディジタル信号を出力する場合、電子デバイス200の出力ピンの電圧は、HIZレベルから変化する。本例における測定装置100は、電子デバイス200が出力するディジタル信号のHIZレベルからの変化点のタイミングを算出する。
【0038】
また、測定装置100は、レベル比較部20に与える第1信号レベル及び第2信号レベルを、測定の内容に応じて制御する手段を更に備えることが好ましい。例えば、通常時にディジタル信号のパターンを測定するような場合、当該制御手段は、HIZレベルより高い第1信号レベル(VOH)、及びHIZレベルより低い第2信号レベル(VOL)をレベル比較部20に与える。そして、レベル比較部20は、ディジタル信号をH論理及びL論理のパターンに変換する。
【0039】
また、本例のように、ディジタル信号のHIZレベルからの変化点を検出する場合には、当該制御手段は、レベル比較部20に、HIZレベル(第3信号レベル)と第2信号レベル(VOL)との間の値を有する第1信号レベル(VOH)を与える。
【0040】
そして前述したように、マルチストローブ回路30は、略同一のマルチストローブA及びマルチストローブBを、HIZレベルからの変化エッジに対応して生成する。位相検出部40は、これらのマルチストローブを用いて、ディジタル信号の当該エッジにおいて、ディジタル信号がVOH、及びVOLのレベルとなるタイミングを検出する。本例においては、ディジタル信号がVOHのレベルとなるタイミングは、マルチストローブAの相番号3のストローブによって検出され、ディジタル信号がVOLのレベルとなるタイミングは、マルチストローブBの相番号5のストローブによって検出される。
【0041】
図4は、位相検出部40の動作の一例を示す図である。図4(a)は、信号レベル検出部42、排他論理回路46、及びエンコーダ50−1の動作の一例を説明する。それぞれのレベル検出部42は、図3において説明したマルチストローブAのそれぞれのストローブのタイミングにおけるHデータの値を検出する。
【0042】
そして、それぞれの排他論理回路46は、隣接するデータの排他論理和を算出することにより、ディジタル信号がVOHレベルとなるタイミングを検出したストローブの相番号を示すデータを出力する。また、エンコーダ50−1は、排他論理回路46が出力したデータをエンコードすることにより、ディジタル信号がVOHレベルとなるタイミングを検出したストローブの相番号を2進数で示したHCOMPを出力する。エンコーダ50−1がストローブの相番号を2進数で出力することにより、タイミング算出部80における演算が容易となる。
【0043】
図4(b)は、信号レベル検出部44、排他論理回路48、及びエンコーダ50−2の動作の一例を示す図である。図4(b)においても図4(a)と同様に、エンコーダ50−2は、ディジタル信号がVOLレベルとなるタイミングを検出したストローブの相番号を2進数で示したLCOMPを出力する。
【0044】
図5は、タイミング算出部80の動作の一例を説明する図である。タイミング算出部80は、位相検出部40が検出した第1タイミング(HCOMP)、第2タイミング(LCOMP)、第1信号レベル(VOH)、及び第2信号レベル(VOL)に基づいて、ディジタル信号が第3信号レベル(本例ではHIZ)となるタイミングを算出する。
【0045】
図5に示すように、横軸をタイミング、縦軸を信号レベルとし、第1信号レベルをα、第2信号レベルをβとした場合、図4の例におけるディジタル信号がVOHレベルとなる点Aの座標は(3、α)、ディジタル信号がVOLレベルとなる点Bの座標は(5、β)となる。つまり、ディジタル信号のエッジは、これらの2点を通る直線で表される。また、ディジタル信号がHIZレベルから変化する点は、点A及び点Bを通る直線のy座標が、HIZレベルとなる点となる。
【0046】
タイミング算出部80は、点A及び点Bを通る直線の方程式を算出し、当該方程式のy座標がHIZレベルとなるx座標の値、すなわちタイミングを算出する。電子デバイス200の出力は通常、測定装置100内におけるVTTレベルで終端される。このため、HIZレベルは測定装置100内におけるVTTレベルと等価となり、既知の値である。また、当該方程式のy座標に所望の信号レベルの値を代入することにより、ディジタル信号が所定の信号レベルとなるタイミングを容易に算出することができる。
【0047】
また、レベル比較部20に与える第1信号レベル(VOH)を、第2信号レベル(VOL)とHIZレベルとの中間点に設定することにより、HIZレベルからの変化点のタイミングを更に容易に算出することができる。つまり、HIZ−VOH:VOH−VOL=1:1であるため、HIZレベルからの変化点のタイミング(第3タイミング)は、HCOMP−(LCOMP−HCOMP)から容易に算出することができる。すなわち、第3タイミングは、第2タイミングと第1タイミングとの差分を、第1タイミングから減算することにより算出することができる。
【0048】
また、本例においては、ディジタル信号がHIZレベルから立ち下がりエッジによって変化する場合について説明したが、例えば、ディジタル信号がHIZレベルから立ち上がりエッジによって変化するような場合であっても同様にHIZレベルからの変化点のタイミングは容易に算出することができる。
【0049】
図6は、ディジタル信号の波形の例を示す図である。また、図6においては、HIZレベルと第2信号レベル(VOL)との中間の第1信号レベル(VOH)が与えられている場合について説明する。
【0050】
図6(a)は、ディジタル信号がHIZレベルから立ち下がりエッジによって変化する例を示す。この場合、タイミング算出部80は、前述したようにHCOMP−(LCOMP−HCOMP)を演算することによりHIZレベルからの変化点のタイミングを算出する。すなわちタイミング算出部80は、第2タイミングと第1タイミングとの差分を、第1タイミングから減算することにより第3タイミングを算出する。
【0051】
図6(b)は、ディジタル信号がHIZレベルから立ち下がりエッジによって変化する例を示す。この場合、タイミング算出部80は、LCOMP−(HCOMP−LCOMP)を演算することによりHIZレベルからの変化点のタイミングを算出する。すなわちタイミング算出部80は、第1タイミングと第2タイミングとの差分を、第2タイミングから減算することにより第3タイミングを算出する。
【0052】
図6(c)は、ディジタル信号が立ち下がりエッジからHIZレベルになる例を示す。この場合、タイミング算出部80は、LCOMP+(LCOMP−HCOMP)を演算することによりHIZレベルへの変化点のタイミングを算出する。すなわちタイミング算出部80は、第2タイミングと第1タイミングとの差分を、第2タイミングに加算することにより第3タイミングを算出する。
【0053】
図6(d)は、ディジタル信号が立ち上がりエッジからHIZレベルになる例を示す。この場合、タイミング算出部80は、HCOMP+(HCOMP−LCOMP)を演算することによりHIZレベルへの変化点のタイミングを算出する。すなわちタイミング算出部80は、第1タイミングと第2タイミングとの差分を、第1タイミングに加算することにより第3タイミングを算出する。
【0054】
ディジタル信号の波形が図6(a)〜図6(d)のうちのいずれに該当するかは、HCOMPとLCOMPとの大小関係、及びHIZレベルと第1信号レベル、第2信号レベルとの大小関係によって容易に判定することができる。タイミング算出部80は、HCOMPとLCOMPとの大小関係、及びHIZレベルと第1信号レベル、第2信号レベルとの大小関係に基づいて、図6(a)〜図6(d)において説明した算出方法のうちいずれの算出方法を用いて第3タイミングを算出するかを選択することが好ましい。
【0055】
図7は、タイミング算出部80の構成の一例を示す。本例において、レベル比較部20には、第3信号レベルと第1信号レベルとの信号レベル差が、第1信号レベルと第2信号レベルとの信号レベル差と略同一となる、第1信号レベル及び第2信号レベルが予め与えられる。
【0056】
タイミング算出部80は、大小比較部82、第1減算部84、第2減算部86、第3減算部88、第1加算部90、第2加算部92、選択部94、及び出力データ生成部96を有する。タイミング算出部80は、位相検出部40から、第1タイミングを示すHCOMP、及び第2タイミングを示すLCOMPを受け取る。
【0057】
大小比較部82は、HCOMPとLCOMPの大小関係を判定する。第1減算部84は、LCOMPとHCOMPとの差分を算出する。このとき、第1減算部84は、大小比較部82の判定結果に応じて、HCOMP又はLCOMPのいずれから、他方を減算するかを選択する。
【0058】
第2減算部86は、HCOMPから、第1減算部84が出力した値を減算して出力する。つまり、第2減算部86は、図6(a)において説明したHCOMP−(LCOMP−HCOMP)の値を出力する。
【0059】
第3減算部88は、LCOMPから、第1減算部84が出力した値を減算して出力する。つまり第3減算部88は、図6(b)において説明したLCOMP−(HCOMP−LCOMP)の値を出力する。
【0060】
第1加算部90は、HCOMPに、第1減算部84が出力した値を加算して出力する。つまり第1加算部90は、図6(d)において説明したHCOMP+(HCOMP−LCOMP)の値を出力する。
【0061】
第2加算部92は、LCOMPに、第1減算部84が出力した値を加算して出力する。つまり第2加算部92は、図6(c)において説明したLCOMP+(LCOMP−HCOMP)の値を出力する。
【0062】
選択部94は、制御信号及び大小比較部82の判定結果に基づいて、第2減算部86、第3減算部88、第1加算部90、又は第2加算部92が出力した値のいずれかを選択して出力する。ここで、制御信号は、HIZレベルと、第1信号レベル及び第2信号レベルとの大小関係によって定まる信号である。
【0063】
以上のような構成により、ディジタル信号が図6において説明した波形のいずれの場合であっても、HIZレベルからの変化点、又はHIZレベルへの変化点のタイミングを容易に算出することができる。
【0064】
また、出力データ生成部96は、選択部94が出力したデータに基づいて、判定部140に受け渡す出力データを生成する。
【0065】
図8は、出力データ生成部96が生成する出力データの一例を示す。出力データ生成部96は、選択部94が出力したデータをHIZレベルからの変化点位置を示すビットと、Hデータの初期値を示すビットと、グリッチの有無を示すビットと、エラーの有無を示すビットとを含む出力データを生成する。
【0066】
例えば、出力データ生成部96は、図4において説明した排他論理回路46が出力するデータ、又は排他論理回路48が出力するデータのいずれかに、1を示すビットが複数ある場合に、ディジタル信号のエッジにグリッチが有ると判定し、グリッチの有無を示すビットを1とした出力データを生成する。また、出力データ生成部96は、選択部94が選択したデータが負の値を示す場合に、演算エラーとしてエラーの有無を示すビットを1とした出力データを生成する。
【0067】
このような出力データを生成することにより、電子デバイス200の良否の判定をより精度よく行うことができる。例えば、判定部140は、HIZレベルからの変化点のタイミングが所定の範囲内に有るか否か、及びディジタル信号のエッジにグリッチが有るか否かに基づいて、電子デバイス200の良否を判定してよい。
【0068】
図9は、測定装置100の構成の他の例を示す。本例における測定装置100は、電子デバイス200が出力する差動ディジタル信号が交差する交点のタイミングを測定する。ここで、差動ディジタル信号の交点とは、差動ディジタル信号の双方の信号が、同一のタイミングで同一の信号レベルとなる点である。
【0069】
本例における測定装置100は、第1基準タイミング検出部10a、第2基準タイミング検出部10b、タイミング算出部80、及び判定部140を備える。第1基準タイミング検出部10a及び第2基準タイミング検出部10bは、図1に関連して説明した基準タイミング検出部10と略同一の機能及び構成を有する。また、図9において図1と同一の符号を付した構成要素は、図1に関連して説明した構成要素と略同一の機能及び構成を有する。
【0070】
第1基準タイミング検出部10aは、電子デバイス200が出力する差動ディジタル信号のうち、第1ディジタル信号のエッジにおいて、第1ディジタル信号が予め定められた第1信号レベルとなる第1タイミングと、第1ディジタル信号が第1信号レベルと異なる第2信号レベルとなる第2タイミングとを検出する。第1タイミング及び第2タイミングの検出方法は、図1に関連して説明した第1タイミング及び第2タイミングの検出方法と同様である。
【0071】
第2基準タイミング検出部10bは、電子デバイス200が出力する差動ディジタル信号のうち、第2ディジタル信号のエッジにおいて、第2ディジタル信号が予め定められた第4信号レベルとなる第4タイミングと、第2ディジタル信号が第4信号レベルと異なる第5信号レベルとなる第2タイミングとを検出する。第4タイミング及び第5タイミングの検出方法は、図1に関連して説明した第1タイミング及び第2タイミングの検出方法と同様である。
【0072】
タイミング算出部80は、第1信号レベル、第2信号レベル、第4信号レベル、第5信号レベル、第1タイミング、第2タイミング、第4タイミング、及び第5タイミングに基づいて、第1ディジタル信号のエッジと第2ディジタル信号のエッジとの交点のタイミングを算出する。例えば、タイミング算出部80は、第1信号レベル、第2信号レベル、第1タイミング、及び第2タイミングに基づいて、図5において説明したように第1ディジタル信号のエッジの方程式を算出し、第4信号レベル、第5信号レベル、第4タイミング、及び第5タイミングに基づいて、第2ディジタル信号のエッジの方程式を算出する。そして、第1ディジタル信号のエッジの方程式と第2ディジタル信号のエッジの方程式が交差するタイミングを算出する。
【0073】
また、判定部140は、タイミング算出部80が算出した交点のタイミングが所定の範囲内であるか否かに基づいて、電子デバイス200の良否を判定する。
【0074】
図10は、差動ディジタル信号の波形の一例を示す。前述したように、第1基準タイミング検出部10aは、電子デバイスの差動ピン1が出力する第1ディジタル信号のエッジにおいて、第1ディジタル信号が第1信号レベル(VOH)となる第1タイミング(HCOMP1)、及び第1ディジタル信号が第2信号レベル(VOL)となる第2タイミング(LCOMP1)を検出する。また、第2基準タイミング検出部10bは、電子デバイスの差動ピン2が出力する第2ディジタル信号のエッジにおいて、第2ディジタル信号が第4信号レベル(VOH)となる第4タイミング(HCOMP2)、及び第2ディジタル信号が第5信号レベルとなる第5タイミング(LCOMP2)を検出する。本例において、第1信号レベルと第4信号レベル、第2信号レベルと第5信号レベルは、それぞれ等しい。
【0075】
タイミング算出部80は、第1基準タイミング検出部10aが検出した第1タイミング、及び第2タイミングに基づいて、第1ディジタル信号のエッジの傾きを算出する。また、タイミング算出部80は、第2基準タイミング検出部10bが検出した第4タイミング、及び第5基準タイミングに基づいて、第2ディジタル信号のエッジの傾きを算出する。そして、タイミング算出部80は、第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び第2ディジタル信号のエッジの傾きに基づいて、差動ディジタル信号の交点のタイミングを算出する。
【0076】
図11は、タイミング算出部80における交点のタイミングの算出方法の一例を説明する図である。図11において、横軸はタイミングを示し、縦軸は信号レベルを示す。
【0077】
まず、第1ディジタル信号のエッジと第2ディジタル信号のエッジのうち、立ち上がりエッジのLCOMPのタイミングを原点とする。本例においては、LCOM2を原点として説明する。
【0078】
そして、第1タイミング(HCOMP1)と第4タイミング(LCOMP2)とが一致するように、第1ディジタル信号のエッジの直線を平行移動して、HCOMP1’及びLCOMP1’の二点を通る直線を求める。そして、平行移動した直線と、LCOMP2及びHCOMP2の二点を通る直線との交点を暫定交点として算出する。タイミング算出部80は、第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び第2ディジタル信号のエッジの傾きに基づいて、当該暫定交点のタイミングを算出する。
【0079】
また、タイミング算出部80は、本来の交点のタイミングと、暫定交点とのタイミングとの差分を、それぞれのエッジの傾きと、直線の平行移動量から算出する。そして、算出した暫定交点に当該タイミングの差分を加算する。また、最初にLCOM2が原点となるように第2ディジタル信号を平行移動しているため、この位相シフト分を更に暫定交点のタイミングに加算して、差動ディジタル信号の交点のタイミングを算出する。
【0080】
図12は、タイミング算出部80の構成の一例を示す。タイミング算出部80は、比較部(102、104、116)、減算部(106、108、122、126)、加算部(128、132)、タイミング格納部118、位相シフト補正係数格納部120、乗算部124、選択部(110、112、130)、エラー検出部114、出力データ生成部134を有する。
【0081】
比較部102は、第1ディジタル信号のエッジにおける第1タイミング(HCOMP1)、及び第2タイミング(LCOMP1)を受け取り、第1タイミングと第2タイミングとの大小関係を判定することにより、第1ディジタル信号の当該エッジが立ち上がりエッジか立ち下がりエッジかを判定する。
【0082】
比較部104は、第2ディジタル信号のエッジにおける第4タイミング(HCOMP2)、及び第5タイミング(LCOMP2)を受け取り、第4タイミングと第5タイミングとの大小関係を判定することにより、第2ディジタル信号の当該エッジが立ち上がりエッジか立ち下がりエッジかを判定する。
【0083】
減算部106は、第1タイミング(HCOMP1)と第2タイミング(LCOMP1)とのタイミング差を算出する。このとき、減算部106は、比較部102の判定結果に応じて第1タイミング又は第2タイミングのいずれから、他方を減算するかを決定する。VOH及びVOLの値は既知であるため、第1タイミングと第2タイミングとのタイミング差によって第1ディジタル信号のエッジの傾きは定まる。つまり、減算部106は、当該タイミング差を、第1ディジタル信号のエッジの傾きを示す値として出力する第1傾き算出部として機能する。
【0084】
減算部108は、第4タイミング(HCOMP2)と第5タイミング(LCOMP2)とのタイミング差を算出する。このとき、減算部108は、比較部104の判定結果に応じて、第4タイミング又は第5タイミングのいずれから、他方を減算するかを決定する。また同様に、減算部108は、当該タイミング差を第2ディジタル信号のエッジの傾きを示す値として出力する第2傾き算出部として機能する。
【0085】
タイミング格納部118は、第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び第2ディジタル信号のエッジの傾きのそれぞれの組み合わせに対する、差動ディジタル信号の交点の暫定タイミングを格納し、与えられる第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び第2ディジタル信号のエッジの傾きに応じた暫定タイミングを出力する。
【0086】
位相シフト補正係数格納部120は、タイミング格納部118が出力した暫定タイミングを、図11において説明したように補正するための、補正係数を格納する。本例においては、位相シフト補正係数格納部120は、第1ディジタル信号の位相と、第2ディジタル信号の位相との単位位相差あたりの単位補正係数を、第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び第2ディジタル信号のエッジの傾きのそれぞれの組み合わせに対して格納し、与えられる第1ディジタル信号の傾き、及び第2ディジタル信号のエッジの傾きに応じた単位補正係数を出力する。
【0087】
選択部110は、第1ディジタル信号の位相と第2ディジタル信号の位相との位相差を算出するための基準位相を、LCOMP1(第2タイミング)又はLCOMP2(第5タイミング)のいずれかから選択する。本例において、選択部110は、比較部102の判定結果に基づいて、第1ディジタル信号のエッジと第2ディジタル信号のエッジのいずれが立ち上がりエッジかを判定し、立ち上がりエッジにおけるLCOMPを選択する。
【0088】
選択部112は、第1ディジタル信号の位相と第2ディジタル信号の位相との位相差を算出するための基準位相を、HCOMP1(第1タイミング)又はHCOMP2(第4タイミング)のいずれかから選択する。本例において、選択部112は、比較部102の判定結果に基づいて、第1ディジタル信号のエッジと第2ディジタル信号のエッジのいずれが立ち下がりエッジかを判定し、立ち下がりエッジにおけるHCOMPを選択する。
【0089】
比較部116は、選択部110が選択した基準位相と、選択部112が選択した基準位相との大小関係を判定する。また、減算部122は、選択部110が選択した基準位相と選択部112が選択した基準位相との差分を算出する。このとき、減算部122は、比較部116の判定結果に応じて、いずれの基準位相から他方を減算するかを決定する。減算部122は、第1ディジタル信号の位相と第2ディジタル信号の位相との位相差を算出する位相差算出部として機能する。
【0090】
乗算部124は、減算部122が算出した位相差と、位相シフト補正係数格納部120が出力した単位補正係数とを乗算した補正係数を算出する。そして、加算部128は、選択部110が選択した基準位相に、乗算部124が算出した補正係数を加算した値を出力する。また、減算部126は、選択部110が選択した基準位相から、乗算部124が算出した補正係数を減算した値を出力する。
【0091】
選択部130は、比較部116における判定結果に基づいて、減算部126又は加算部128が出力した値のいずれかを選択して出力する。つまり、選択部130は、選択部110が選択した基準位相と選択部112が選択した基準位相との大小関係に基づいて、例えば図11の例における第1ディジタル信号のエッジを正負のいずれの方向にシフトしたかを判定し、乗算部124が算出した補正係数を加算するか減算するかを判定結果に応じて選択する。
【0092】
加算部132は、選択部130が選択した値と、タイミング格納部118が出力した暫定タイミングとを加算することにより、差動ディジタル信号の交点のタイミングを算出する。また、出力データ生成部134は、加算部132が算出した差動ディジタル信号の交点のタイミングに基づいて、判定部140に受け渡す出力データを生成する。出力データ生成部134は、図7において説明した出力データ生成部96と同一の機能を有してよい。
【0093】
また、エラー検出部114は、比較部102及び比較部104の判定結果を受け取り、第1ディジタル信号のエッジ及び第2ディジタル信号のエッジが、共に立ち上がりエッジ、又は共に立ち下がりエッジである場合に測定エラーを検出し、外部に通知する。
【0094】
本例におけるタイミング算出部80によれば、差動ディジタル信号の交点のタイミングを容易に算出することができる。
【0095】
図13は、判定部140の構成の一例を示す。また、本例において、測定装置100は、HIZレベルからの変化点のタイミングを算出するタイミング算出部80a、及び差動ディジタル信号の交点のタイミングを算出するタイミング算出部80bを備え、第1ディジタル信号のHIZレベルからの変化点のタイミングと、差動ディジタル信号の交点のタイミングを同時に測定する。また、本例においては、HCOMPデータ、LCOMPデータには、グリッチ検出ビット、初期値ビット等が含まれている。
【0096】
タイミング算出部80aは、図7に関連して説明したタイミング算出部80と同一の機能及び構成を有し、タイミング算出部80bは、図12に関連して説明したタイミング算出部80bと同一の機能及び構成を有する。
【0097】
判定部140は、シフト部142、選択部148、選択部150、論理比較器152、論理比較器154、減算部160、メモリ156、メモリ158、比較部162、比較部164、論理和回路166、論理積回路168、及びラッチ回路170を有する。
【0098】
シフト部142は、HCOMP1及びLCOMP1のデータを、HCOMP2及びLCOMP2のデータと論理比較できるようにサイクルシフトする。シフト部142は、サイクルシフトするための複数のラッチ回路144、及びラッチ回路146を有する。
【0099】
また、選択部148は、HCOMP1、LCOMP1、HCOMP2、LCOMP2、タイミング算出部80aが出力するデータ、又はタイミング算出部80bが出力するデータのいずれかを選択して出力する。また、選択部150は、HCOMP1、LCOMP1、HCOMP2、又はLCOMP2のいずれかを選択して出力する。選択部148及び選択部150には、試験内容に応じていずれのデータを選択するべきかを示すデータセレクト信号がそれぞれ与えられる。また、選択部148及び選択部150は、値が零のデータを出力してもよい。
【0100】
例えば電子デバイス200のHIZレベルからの変化点のタイミングについて試験を行う場合、選択部148は、タイミング算出部80aが出力したデータを選択し、選択部150は値が零のデータを出力する。
【0101】
減算部160は、選択部148が選択したデータから、選択部150が選択したデータを減算した値を算出する。ここで、減算部160におけるP0端子は符号端子である。
【0102】
メモリ156には、減算部160が出力するべきデータの下限値が、試験内容に応じて予め格納される。また、メモリ156には、減算部160が出力するべきデータの上限値が、試験内容に応じて予め格納される。
【0103】
比較部162は、減算部160が出力したデータが、メモリ156に格納された下限値以上であるか否かを判定する。例えば、比較部162は、減算部160が出力したデータが下限値より小さい場合、フェイルとして1を出力する。
【0104】
比較部164は、減算部160が出力したデータが、メモリ156に格納された上限値以下であるか否かを判定する。例えば、比較部164は、減算部160が出力したデータが上限値より大きい場合、フェイルとして1を出力する。
【0105】
また、論理比較器152は、選択部148が選択したデータに、グリッチの存在を示すデータが含まれているような場合、フェイルとして1を出力する。また、論理比較器153も同様に、選択部150が選択したデータに、グリッチの存在を示すデータが含まれているような場合、フェイルとして1を出力する。
【0106】
論理和回路166は、論理比較器152、論理比較器154、比較部162、又は比較部164の少なくともいずれかがフェイルとして1を出力した場合、フェイルとして1を出力する。また、論理積回路168には、電子デバイス200の良否判定を行うべきか否かを制御する論理比較制御信号が与えられ、論理比較制御信号が1の場合に、論理和回路166の出力をラッチ回路170に出力する。このような動作により電子デバイス200の良否を容易に判定することができる。
【0107】
図14は、測定装置100を制御するコンピュータ300の構成の一例を示す。本例において、コンピュータ300は、測定装置100を図1〜図13において説明した測定装置100として機能させるプログラムを格納する。また、コンピュータ300が、測定装置100として機能してもよい。
【0108】
コンピュータ300は、CPU700と、ROM702と、RAM704と、通信インターフェース706と、ハードディスクドライブ710と、FDディスクドライブ712と、CD−ROMドライブ716とを備える。CPU700は、ROM702、RAM704、ハードディスク710、FDディスク714、及び/又はCD−ROM718に格納されたプログラムに基づいて動作する。
【0109】
例えば、コンピュータ300を測定装置100として機能させる場合、当該プログラムは、コンピュータ300を図1又は図9に関連して説明した基準タイミング検出部10、タイミング算出部80、及び判定部140として機能させる。
【0110】
また、測定装置100を機能させる場合、通信インターフェース706はプログラムに応じて、測定装置100を図1又は図9に関連して説明した基準タイミング検出部10、タイミング算出部80、及び判定部140として機能させるための制御信号を送信する。格納装置の一例としてのハードディスクドライブ710、ROM702、又はRAM704は、設定情報、及びCPU700を動作させるためのプログラム等を格納する。また、当該プログラムは、フレキシブルディスク720、CD−ROM722等の記録媒体に格納されていてもよい。
【0111】
フレキシブルドライブ712は、フレキシブルディスク714がプログラムを格納している場合、フレキシブルディスク714からプログラムを読み取りCPU700に提供する。CD−ROMドライブ716は、CD−ROMがプログラムを格納している場合、CD−ROM718からプログラムを読み取りCPU700に提供する。
【0112】
また、プログラムは記録媒体から直接RAMに読み出されて実行されても、一旦ハードディスクドライブにインストールされた後にRAMに読み出されて実行されてもよい。更に、上記プログラムは単一の記録媒体に格納されても複数の記録媒体に格納されても良い。また記録媒体に格納されるプログラムは、オペレーティングシステムとの共同によってそれぞれの機能を提供してもよい。例えば、プログラムは、機能の一部または全部を行うことをオペレーティングシステムに依頼し、オペレーティングシステムからの応答に基づいて機能を提供するものであってもよい。
【0113】
プログラムを格納する記録媒体としては、フレキシブルディスク、CD−ROMの他にも、DVD、PD等の光学記録媒体、MD等の光磁気記録媒体、テープ媒体、磁気記録媒体、ICカードやミニチュアーカードなどの半導体メモリー等を用いることができる。又、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスクまたはRAM等の格納装置を記録媒体として使用してもよい。
【0114】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【0115】
測定装置100が測定するタイミングは、HIZレベルからの変化点のタイミング、又は差動ディジタル信号の交点のタイミングに限られない。例えば、ディジタル信号の立ち上がりエッジにおける、Lレベルからの変化点のタイミング等も容易に測定できることは明らかである。
【0116】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、本発明によれば、電子デバイスが出力する出力信号が、HIZレベルから変化する変化点のタイミングを容易に算出することができる。また、電子デバイスが出力する差動ディジタル信号の交点のタイミングを容易に算出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態に係る測定装置100の構成の一例を示す図である。
【図2】 レベル比較部20、マルチストローブ回路30、及び位相検出部40の構成の一例を示す図である。
【図3】 電子デバイス200が出力する出力信号の波形の一例を示す図である。
【図4】 位相検出部40の動作の一例を示す図である。図4(a)は、信号レベル検出部42、排他論理回路46、及びエンコーダ50−1の動作の一例を示し、図4(b)は、信号レベル検出部44、排他論理回路48、及びエンコーダ50−2の動作の一例を示す。
【図5】 タイミング算出部80の動作の一例を説明する図である。
【図6】 ディジタル信号の波形の例を示す図である。図6(a)は、ディジタル信号がHIZレベルから立ち下がりエッジによって変化する例を示し、図6(b)は、ディジタル信号がHIZレベルから立ち下がりエッジによって変化する例をし、図6(c)は、ディジタル信号が立ち下がりエッジからHIZレベルになる例をし、図6(d)は、ディジタル信号が立ち上がりエッジからHIZレベルになる例を示す。
【図7】 タイミング算出部80の構成の一例を示す図である。
【図8】 出力データ生成部96が生成する出力データの一例を示す図である。
【図9】 測定装置100の構成の他の例を示す図である。
【図10】 差動ディジタル信号の波形の一例を示す図である。
【図11】 タイミング算出部80における交点のタイミングの算出方法の一例を説明する図である。
【図12】 タイミング算出部80の構成の一例を示す図である。
【図13】 判定部140の構成の一例を示す図である。
【図14】 測定装置100を制御するコンピュータ300の構成の一例を示す図である。
【符号の説明】
10・・・基準タイミング検出部、20・・・レベル比較部、22、24・・・比較器、30・・・マルチストローブ回路、32、34・・・可変遅延回路、42、44・・・信号レベル検出部、46、48・・・排他論理回路、50・・・エンコーダ、40・・・位相検出部、80・・・タイミング算出部、82・・・大小比較部、84・・・第1減算部、86・・・第2減算部、88・・・第3減算部、90・・・第1加算部、92・・・第2加算部、94・・・選択部、96・・・出力データ生成部、100・・・測定装置、102、104、116・・・比較部、106、108、122、126・・・減算部、110、112、130・・・選択部、114・・・エラー検出部、118・・・タイミング格納部、120・・・位相シフト補正係数格納部、124・・・乗算部、128、132・・・加算部、134・・・出力データ生成部、140・・・判定部、142・・・シフト部、144、146・・・ラッチ回路、148、150・・・選択部、152、154・・・論理比較器、156、158・・・メモリ、160、162、164・・・減算部、166・・・論理和回路、168・・・論理積回路、170・・・ラッチ回路、200・・・電子デバイス、300・・・コンピュータ、700・・・CPU、702・・・ROM、704・・・RAM、706・・・通信インターフェース、710・・・ハードディスクドライブ、712・・・フレキシブルディスクドライブ、714・・・CD−ROMドライブ、720・・・フレキシブルディスク、722・・・CD−ROM
Claims (8)
- 差動ディジタル信号を測定する測定装置であって、
前記差動ディジタル信号のうち、第1ディジタル信号のエッジにおいて、前記第1ディジタル信号が予め定められた第1信号レベルとなる第1タイミングと、前記第1ディジタル信号が前記第1信号レベルと異なる第2信号レベルとなる第2タイミングとを検出する第1基準タイミング検出部と、
前記差動ディジタル信号のうち、第2ディジタル信号のエッジにおいて、前記第2ディジタル信号が予め定められた第4信号レベルとなる第4タイミングと、前記第2ディジタル信号が前記第4信号レベルと異なる第5信号レベルとなる第5タイミングとを検出する第2基準タイミング検出部と、
前記第1信号レベル、前記第2信号レベル、前記第4信号レベル、前記第5信号レベル、前記第1タイミング、前記第2タイミング、前記第4タイミング、及び前記第5タイミングに基づいて、前記第1ディジタル信号のエッジと前記第2ディジタル信号のエッジとの交点のタイミングを算出するタイミング算出部と
を備える測定装置。 - 前記タイミング算出部は、
前記第1基準タイミング検出部が検出した前記第1タイミング、及び前記第2タイミングに基づいて、前記第1ディジタル信号のエッジの傾きを算出する第1傾き算出部と、
前記第2基準タイミング検出部が検出した前記第4タイミング、及び前記第5タイミングに基づいて、前記第2ディジタル信号のエッジの傾きを算出する第2傾き算出部と
を有し、
前記第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び前記第2ディジタル信号のエッジの傾きに基づいて、前記交点のタイミングを算出する請求項1に記載の測定装置。 - 前記タイミング算出部は、
前記第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び前記第2ディジタル信号のエッジの傾きのそれぞれの組み合わせに対する、前記交点の暫定タイミングを格納し、与えられる前記第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び前記第2ディジタル信号のエッジの傾きに応じた暫定タイミングを出力するタイミング格納部と、
前記暫定タイミングを補正するための、前記第1ディジタル信号の位相と、前記第2ディジタル信号の位相との単位位相差あたりの単位補正係数を、前記第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び前記第2ディジタル信号のエッジの傾きのそれぞれの組み合わせに対して格納し、与えられる前記第1ディジタル信号の傾き、及び前記第2ディジタル信号のエッジの傾きに応じた単位補正係数を出力する位相シフト補正係数格納部と、
前記第1ディジタル信号の位相と前記第2ディジタル信号の位相との位相差を算出し、当該位相差と、前記位相シフト補正係数格納部が出力した前記単位補正係数とを乗算した補正係数を算出する乗算部と
を有し、
前記タイミング格納部が出力した前記暫定タイミングと、前記位相シフト補正係数格納部が出力した前記補正係数とに基づいて、前記交点のタイミングを算出する請求項2に記載の測定装置。 - 前記第1基準タイミング検出部は、
わずかづつ位相の異なる複数のストローブを有する第1マルチストローブを、前記第1ディジタル信号のエッジと略同一のタイミングで生成する第1マルチストローブ回路と、
生成された前記第1マルチストローブのそれぞれのストローブにおける前記第1ディジタル信号の信号レベルを検出する第1信号レベル検出部と
を有し、
前記第2基準タイミング検出部は、
わずかづつ位相の異なる複数のストローブを有する第2マルチストローブを、前記第2ディジタル信号のエッジと略同一のタイミングで生成する第2マルチストローブ回路と、
生成された前記第2マルチストローブのそれぞれのストローブにおける前記第2ディジタル信号の信号レベルを検出する第2信号レベル検出部と
を有し、
前記第1基準タイミング検出部は、前記第1信号レベルと略同一の信号レベルを検出したストローブのタイミングを前記第1タイミング、前記第2信号レベルと略同一の信号レベルを検出したストローブのタイミングを前記第2タイミングとし、
前記第2基準タイミング検出部は、前記第4信号レベルと略同一の信号レベルを検出したストローブのタイミングを前記第4タイミング、前記第5信号レベルと略同一の信号レベルを検出したストローブのタイミングを前記第5タイミングとして検出する請求項1から3のいずれかに記載の測定装置。 - 測定装置に差動ディジタル信号を測定させるプログラムであって、
前記測定装置を、
前記差動ディジタル信号のうち、第1ディジタル信号のエッジにおいて、前記第1ディジタル信号が予め定められた第1信号レベルとなる第1タイミングと、前記第1ディジタル信号が前記第1信号レベルと異なる第2信号レベルとなる第2タイミングとを検出する第1基準タイミング検出部と、
前記差動ディジタル信号のうち、第2ディジタル信号のエッジにおいて、前記第2ディジタル信号が予め定められた第4信号レベルとなる第4タイミングと、前記第2ディジタル信号が前記第4信号レベルと異なる第5信号レベルとなる第5タイミングとを検出する第2基準タイミング検出部と、
前記第1信号レベル、前記第2信号レベル、前記第4信号レベル、前記第5信号レベル、前記第1タイミング、前記第2タイミング、前記第4タイミング、及び前記第5タイミングに基づいて、前記第1ディジタル信号のエッジと前記第2ディジタル信号のエッジとの交点のタイミングを算出するタイミング算出部と、して機能させるプログラム。 - 前記プログラムは、前記測定装置を、
前記第1基準タイミング検出部が検出した前記第1タイミング、及び前記第2タイミングに基づいて、前記第1ディジタル信号のエッジの傾きを算出する第1傾き算出部と、
前記第2基準タイミング検出部が検出した前記第4タイミング、及び前記第5タイミングに基づいて、前記第2ディジタル信号のエッジの傾きを算出する第2傾き算出部と、して機能させ、
前記タイミング算出部は、前記第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び前記第2ディジタル信号のエッジの傾きに基づいて、前記交点のタイミングを算出する請求項5に記載のプログラム。 - 前記プログラムは、前記測定装置を、
前記第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び前記第2ディジタル信号のエッジの傾きのそれぞれの組み合わせに対する、前記交点の暫定タイミングを格納し、与えられる前記第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び前記第2ディジタル信号のエッジの傾きに応じた暫定タイミングを出力するタイミング格納部と、
前記暫定タイミングを補正するための、前記第1ディジタル信号の位相と、前記第2ディジタル信号の位相との単位位相差あたりの単位補正係数を、前記第1ディジタル信号のエッジの傾き、及び前記第2ディジタル信号のエッジの傾きのそれぞれの組み合わせに対して格納し、与えられる前記第1ディジタル信号の傾き、及び前記第2ディジタル信号のエッジの傾きに応じた単位補正係数を出力する位相シフト補正係数格納部と、
前記第1ディジタル信号の位相と前記第2ディジタル信号の位相との位相差を算出し、当該位相差と、前記位相シフト補正係数格納部が出力した前記単位補正係数とを乗算した補正係数を算出する乗算部と、して機能させ、
前記タイミング算出部は、前記タイミング格納部が出力した前記暫定タイミングと、前記位相シフト補正係数格納部が出力した前記補正係数とに基づいて、前記交点のタイミングを算出する請求項6に記載のプログラム。 - 前記プログラムは、前記測定装置を、
わずかづつ位相の異なる複数のストローブを有する第1マルチストローブを、前記第1ディジタル信号のエッジと略同一のタイミングで生成する第1マルチストローブ回路と、
生成された前記第1マルチストローブのそれぞれのストローブにおける前記第1ディジタル信号の信号レベルを検出する第1信号レベル検出部と、
わずかづつ位相の異なる複数のストローブを有する第2マルチストローブを、前記第2ディジタル信号のエッジと略同一のタイミングで生成する第2マルチストローブ回路と、
生成された前記第2マルチストローブのそれぞれのストローブにおける前記第2ディジタル信号の信号レベルを検出する第2信号レベル検出部と、して機能させ、
前記第1基準タイミング検出部は、前記第1信号レベルと略同一の信号レベルを検出したストローブのタイミングを前記第1タイミング、前記第2信号レベルと略同一の信号レベルを検出したストローブのタイミングを前記第2タイミングとし、
前記第2基準タイミング検出部は、前記第4信号レベルと略同一の信号レベルを検出したストローブのタイミングを前記第4タイミング、前記第5信号レベルと略同一の信号レベルを検出したストローブのタイミングを前記第5タイミングとして検出する
請求項5から7のいずれかに記載のプログラム。
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