JP4417336B2 - Method for manufacturing magnetic recording medium - Google Patents

Description

本発明は、磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体及び磁気記録再生装置に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic recording medium, a magnetic recording medium, and a magnetic recording / reproducing apparatus.

コンピューター用の外部記憶装置等に用いられるハードディスク等の磁気記録媒体においては、近年その記憶情報量の増大に伴い、単位面積当たりに記録される信号の更なる高密度化が要求されるようになってきている。このような面記録密度の向上を図るには、線記録密度及びトラック記録密度の両方、或いはどちらか一方を向上させる必要がある。   In recent years, with respect to magnetic recording media such as hard disks used for external storage devices for computers, with the increase in the amount of stored information, there has been a demand for higher density of signals recorded per unit area. It is coming. In order to improve such a surface recording density, it is necessary to improve both or one of the linear recording density and the track recording density.

近年、線記録密度を向上させる有効な方法の一つとして、基板の鉛直方向に磁気異方性を有するＣｏＣｒ系の磁気記録層と、パーマロイ等の軟磁性層とを有してなる垂直磁気記録媒体を用いて単磁極ヘッドによる記録を行う、いわゆる垂直磁気記録方式が提案されている。   In recent years, as one effective method for improving the linear recording density, a perpendicular magnetic recording comprising a CoCr-based magnetic recording layer having magnetic anisotropy in the vertical direction of the substrate and a soft magnetic layer such as permalloy. A so-called perpendicular magnetic recording method has been proposed in which recording is performed by a single pole head using a medium.

一方、トラック記録密度を向上させる有効な方法の一つとして、磁気トラックが磁気的に分断されたディスクリートトラック型の磁気記録媒体を用いることにより、記録或いは再生時のフリンジングノイズの発生を回避する方法が提案されている。   On the other hand, as one effective method for improving the track recording density, the use of a discrete track type magnetic recording medium in which the magnetic track is magnetically separated prevents the occurrence of fringing noise during recording or reproduction. A method has been proposed.

このようなディスクリート型の磁気記録媒体を製造する方法としては、２種類の方法が提案されている。一つは、平坦な基板上に形成された磁性層の一部をエッチングにより除去する方法である（例えば、特許文献１を参照。）。もう一つは、信号記録部分に射出成形等により予め凹凸が形成された基板の上に磁性層等を形成する方法である（例えば、特許文献２を参照。）。
特開平４−３１０６２１号公報 特開平９−５４９４６号公報 As a method for manufacturing such a discrete type magnetic recording medium, two types of methods have been proposed. One is a method of removing a part of a magnetic layer formed on a flat substrate by etching (see, for example, Patent Document 1). The other is a method in which a magnetic layer or the like is formed on a substrate having irregularities formed in advance on the signal recording portion by injection molding or the like (see, for example, Patent Document 2).
JP-A-4-310621 JP 9-54946 A

前者の場合には、凹部に磁性層が存在しないため、記録データが磁気的に分離され、サーボによる位置決めに充分なＳ／Ｎ比が得られる反面、磁性層を除去のためのドライエッチングの時間を短縮することが難しく、また、不要部分の磁性層のみを必要量だけ正確に除去する必要があり、条件の設定や制御等が難しいため、歩留りを稼ぐ必要があるような一般的な量産技術としては不向きであるといった問題がある。   In the former case, since there is no magnetic layer in the recess, the recorded data is magnetically separated, and a sufficient S / N ratio for positioning by the servo can be obtained, but the dry etching time for removing the magnetic layer is obtained. General mass production technology that requires a high yield because it is difficult to shorten the process time, and it is necessary to accurately remove only the necessary amount of the magnetic layer, and it is difficult to set and control conditions. As such, there is a problem that it is unsuitable.

一方、後者の場合には、凹凸加工された基板を使う以外は従来と同じ媒体製造方法が適用できるため、量産には適しているものの、凹部に磁性層が残留するため、記録データの磁気的な分離が弱く、また、サーボ信号のＳ／Ｎ比が小さく、ヘッドの位置決めが十分にできないといった問題がある。   On the other hand, in the latter case, the same medium manufacturing method as in the conventional method can be applied except that a substrate with a concavo-convex process is used. There is a problem that the separation is weak, the S / N ratio of the servo signal is small, and the head cannot be positioned sufficiently.

このため、特許文献２では、凹部と凸部との間で逆向きに磁化させる方法が提案されている。しかしながら、この場合、ヘッドによるフォーマットを必要とするため、サーボライト工程を排除することによりコストダウンを図るディスクリート型の磁気記録媒体の利点を大きく損なうことになる。また、凹部と凸部との間で大きな高低差を必要とすることから、ヘッドの飛行安定性を損ねてしまう。また、トラック密度が向上してきたことにより、凹凸のアスペクト比が大きくなることから、加工が難しく、さらには凹部の幅が狭くなると、この上に磁気記録層を形成した際に、凹部を塞ぐように磁気記録層が形成されてしまう。この場合、磁気記録層が剥がれたり、割れたりするといった欠陥が生じてしまう、或いは、ヘッドとの干渉を生じてしまうなどの新たな問題が発生することになる。   For this reason, Patent Document 2 proposes a method of magnetizing in a reverse direction between the concave portion and the convex portion. However, in this case, since formatting by the head is required, the advantage of the discrete type magnetic recording medium that reduces the cost by eliminating the servo write process is greatly impaired. Further, since a large height difference is required between the concave portion and the convex portion, the flight stability of the head is impaired. Further, since the aspect ratio of the unevenness is increased due to the improvement of the track density, it is difficult to process, and when the width of the recessed portion is narrowed, the recessed portion is blocked when the magnetic recording layer is formed thereon. Thus, a magnetic recording layer is formed. In this case, a new problem such as a defect that the magnetic recording layer is peeled off or cracked or an interference with the head occurs.

そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、ディスクリート型の磁気記録媒体を簡便且つ低コストで製造することができる磁気記録媒体の製造方法、並びに磁気記録媒体及び磁気記録再生装置を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and a method for manufacturing a magnetic recording medium, a magnetic recording medium, and a magnetic recording capable of manufacturing a discrete type magnetic recording medium simply and at low cost. An object is to provide a playback device.

本発明は、以下の手段を提供する。
（１） 主表面に磁気トラックが同心円状に配置され、径方向に隣接する磁気トラック間同士を磁気的に分離するための溝部が形成されてなる磁気記録媒体の製造方法であって、少なくとも平坦な基板の上に磁気記録層を形成した被加工媒体を作製した後に、この被加工媒体の主表面に前記溝部に対応した凸部を有するスタンパを押し付けることによって、前記磁気トラックの間に前記凸部の形状が転写された前記溝部を形成し、前記スタンパは、前記凸部の先端部を曲面とし、この曲面の曲率半径をＲとし、前記凸部の幅をＷとしたときに、０．７５Ｗ≦Ｒ≦１．２５Ｗの関係を満足することを特徴とする記載の磁気記録媒体の製造方法。
（２） 前記溝部の深さを５０〜１００ｎｍとすることを特徴とすることを特徴とする前項（１）に記載の磁気記録媒体の製造方法。
（３） 前記基板の上に前記磁気記録層を形成し、この上に保護層を形成した被加工媒体を作製した後に、前記被加工媒体の主表面に前記スタンパを押し付けることを特徴とする前項（１）又は（２）に記載の磁気記録媒体の製造方法。
（４） 前記被加工媒体の主表面に前記スタンパを押し付けた後に、前記磁気記録層の上に保護層を形成することを特徴とする前項（１）又は（２）に記載の磁気記録媒体の製造方法。
（５） 前記基板に前記凸部の形状が転写されるまで、前記スタンパを前記被加工媒体に押し付けることを特徴とする前項（１）〜（４）の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
（６） 前記溝部の底部で前記磁気記録層の厚みが薄くなるまで、前記スタンパを前記被加工媒体に押し付けることを特徴とする前項（１）〜（５）の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
（７） 前記溝部の底部で前記磁気記録層が分断されるまで、前記スタンパを前記被加工媒体に押し付けることを特徴とする前項（１）〜（５）の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
（８） 前記磁気記録層は、垂直磁気異方性を有していることを特徴とする前項（１）〜（７）の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
（９） 前記基板と前記磁気記録層との間に配向層を配置することを特徴とする前項（１）〜（８）の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
（１０） 前記基板と前記配向層との間に軟磁性層を配置することを特徴とする前項（９）に記載の磁気記録媒体の製造方法。
（１１） 前記基板は、プラスティック、ガラス、アルミニウム合金の何れか１つからなることを特徴とする前項（１）〜（１０）の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。 The present invention provides the following means.
(1) magnetic track on the main surface is arranged in the same heart circle, a method of manufacturing a magnetic recording medium which groove is formed for separating each other between the magnetic track adjacent to the radially magnetically, After producing a processing medium in which a magnetic recording layer is formed on at least a flat substrate, a stamper having a convex portion corresponding to the groove is pressed against the main surface of the processing medium, so that a gap between the magnetic tracks is obtained. Forming the groove portion to which the shape of the convex portion is transferred, and the stamper has a curved surface at the tip of the convex portion, a radius of curvature of the curved surface as R, and a width of the convex portion as W, The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein a relationship of 0.75 W ≦ R ≦ 1.25 W is satisfied .
(2) The method for manufacturing a magnetic recording medium according to (1 ) above, wherein the depth of the groove is 50 to 100 nm.
(3) The above-mentioned item, wherein the magnetic recording layer is formed on the substrate, a processing medium having a protective layer formed thereon is manufactured, and then the stamper is pressed against the main surface of the processing medium. (1) The manufacturing method of the magnetic recording medium as described in (2) .
(4) The magnetic recording medium according to (1) or (2) , wherein a protective layer is formed on the magnetic recording layer after the stamper is pressed against the main surface of the medium to be processed. Production method.
(5) The magnetic recording medium according to any one of (1) to (4) , wherein the stamper is pressed against the workpiece medium until the shape of the convex portion is transferred to the substrate. Manufacturing method.
(6) The magnetism according to any one of (1) to (5) above, wherein the stamper is pressed against the workpiece medium until the thickness of the magnetic recording layer is reduced at the bottom of the groove. A method for manufacturing a recording medium.
(7) The magnetic recording according to any one of (1) to (5) above, wherein the stamper is pressed against the workpiece medium until the magnetic recording layer is divided at the bottom of the groove. A method for manufacturing a medium.
(8) The method for manufacturing a magnetic recording medium according to any one of (1) to (7) , wherein the magnetic recording layer has perpendicular magnetic anisotropy.
(9) The method for manufacturing a magnetic recording medium according to any one of (1) to (8) , wherein an alignment layer is disposed between the substrate and the magnetic recording layer.
(10) The method for manufacturing a magnetic recording medium according to (9) , wherein a soft magnetic layer is disposed between the substrate and the alignment layer.
(11) The method for manufacturing a magnetic recording medium according to any one of (1) to (10) , wherein the substrate is made of any one of plastic, glass, and aluminum alloy .

以上のように、本発明によれば、ドライエッチなどの複雑且つ制御の難しい微細加工無しに、より高密度の磁気トラックを形成することができ、より高記録密度に適した優れた磁気特性を有するディスクリート型の磁気記録媒体を簡便且つ低コストで製造することができる。   As described above, according to the present invention, higher density magnetic tracks can be formed without complicated and difficult to control fine processing such as dry etching, and excellent magnetic properties suitable for higher recording density can be obtained. The discrete magnetic recording medium can be easily and inexpensively manufactured.

以下、本発明を適用した磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体及び磁気記録再生装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。   Hereinafter, a method for manufacturing a magnetic recording medium, a magnetic recording medium, and a magnetic recording / reproducing apparatus to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings used in the following description, in order to make the features easy to understand, the portions that become the features may be shown in an enlarged manner for convenience, and the dimensional ratios of the respective components are not always the same as the actual ones. Absent.

（磁気記録媒体）
先ず、本発明を適用した磁気記録媒体について説明する。
図１は、本発明を適用した磁気記録媒体の構造を示す概略断面図である。
本発明を適用した磁気記録媒体は、例えば図１に示すように、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ：Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）等の磁気記録再生装置に用いられるディスクリート型の磁気記録媒体（磁気ディスク）であり、ディスク基板１と、このディスク基板１上に形成された磁気記録層２と、この磁気記録層２上に形成された保護層３とを少なくとも備えている。 (Magnetic recording medium)
First, a magnetic recording medium to which the present invention is applied will be described.
FIG. 1 is a schematic sectional view showing the structure of a magnetic recording medium to which the present invention is applied.
A magnetic recording medium to which the present invention is applied is a discrete magnetic recording medium (magnetic disk) used in a magnetic recording / reproducing apparatus such as a hard disk drive (HDD) as shown in FIG. At least a substrate 1, a magnetic recording layer 2 formed on the disk substrate 1, and a protective layer 3 formed on the magnetic recording layer 2 are provided.

この磁気記録媒体の主表面には、磁気トラック４が実質的に同心円状に配置され、径方向に隣接する磁気トラック４間同士を磁気的に分離するための溝部５が形成されている。
また、溝部５の底部５ａは、曲面とされており、この曲面の曲率半径をＲ’とし、この溝部５の幅をＷ’としたときに、０．７５Ｗ’≦Ｒ’≦１．２５Ｗ’の関係を満足している。 On the main surface of this magnetic recording medium, magnetic tracks 4 are arranged substantially concentrically, and grooves 5 for magnetically separating the magnetic tracks 4 adjacent in the radial direction are formed.
The bottom 5a of the groove 5 is a curved surface. When the radius of curvature of the curved surface is R ′ and the width of the groove 5 is W ′, 0.75 W ′ ≦ R ′ ≦ 1.25 W ′. Satisfied with the relationship.

ディスク基板１は、例えばプラスティック、ガラス、アルミニウム合金などの非磁性基板からなる。そして、このディスク基板１の上に、磁気記録層２及び保護層３がスパッタリング法などにより順次積層されて形成されている。   The disk substrate 1 is made of a nonmagnetic substrate such as plastic, glass, and aluminum alloy. On the disk substrate 1, a magnetic recording layer 2 and a protective layer 3 are sequentially laminated by sputtering or the like.

磁気記録層２は、例えば垂直磁気異方性を有する磁性膜からなる。すなわち、この磁気記録層２には、その磁化容易軸がディスク基板１の主表面に対して主に垂直方向に向いた強磁性材料を用いている。強磁性材料としては、磁気異方性エネルギーが１×１０^５ｅｒｇ／ｃｃ以上のものを用いることが好ましく、このような強磁性材料として、例えば、ＣｏＰｔ、ＣｏＣｒＰｔなどのＣｏとＰｔとを含んだ合金、ＦｅＰｔなどのＦｅとＰｔとを含んだ合金等を挙げることができる。さらに、これらの強磁性材料に、例えばＳｉＯ_２や、Ｃｒ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、Ｔａ_２Ｏ_５などの酸化物を添加することもできる。また、磁気記録層２は、例えばＣｏ／ＰｔやＣｏ／Ｐｄなどの組成の異なる複数の磁性材料を積層したものや、磁性材料と非磁性材料とを積層したものであってもよい。 The magnetic recording layer 2 is made of, for example, a magnetic film having perpendicular magnetic anisotropy. That is, the magnetic recording layer 2 is made of a ferromagnetic material whose easy axis is oriented in a direction perpendicular to the main surface of the disk substrate 1. As the ferromagnetic material, it is preferable to use a material having a magnetic anisotropy energy of 1 × 10 ⁵ erg / cc or more. Examples of such a ferromagnetic material include Co and Pt such as CoPt and CoCrPt. Examples thereof include alloys and alloys containing Fe and Pt, such as FePt. Furthermore, it is also in these ferromagnetic materials, for example SiO _{2 or, Cr 2 O 3, ZrO 2} , Al 2 O 3, the addition of _Ta 2 _{O 5} oxide such. The magnetic recording layer 2 may be a laminate of a plurality of magnetic materials having different compositions such as Co / Pt or Co / Pd, or a laminate of a magnetic material and a nonmagnetic material.

また、磁気記録層２の厚みは、５〜３０ｎｍが好ましい。この磁気記録層２の厚みを５ｎｍ以上とすることで、十分な磁束を得ることができ、再生時におけるＳ／Ｎ（シグナル−ノイズ）比が大きく、より高記録密度に適した磁気記録媒体を得ることができる。一方、この磁気記録層２の厚みを３０ｎｍ以下とすることで、後述する溝部５の形成時に、この溝部５の底部５ａから磁気記録層２を除去することができる。さらに、磁気記録層２内の磁性粒子の肥大化によるノイズの増大を抑えることができため、記録再生特性の劣化を防ぐことができる。   Further, the thickness of the magnetic recording layer 2 is preferably 5 to 30 nm. By setting the thickness of the magnetic recording layer 2 to 5 nm or more, a sufficient magnetic flux can be obtained, a S / N (signal-noise) ratio during reproduction is large, and a magnetic recording medium suitable for higher recording density is obtained. Obtainable. On the other hand, by setting the thickness of the magnetic recording layer 2 to 30 nm or less, the magnetic recording layer 2 can be removed from the bottom 5a of the groove 5 when the groove 5 described later is formed. Furthermore, since an increase in noise due to enlargement of magnetic particles in the magnetic recording layer 2 can be suppressed, deterioration in recording / reproducing characteristics can be prevented.

保護層３は、磁気記録層２の腐食を防ぐと共に、磁気ヘッドが磁気記録媒体に接触したときに媒体表面の損傷を防ぐためのものであり、従来公知の材料を使用することができる。例えば、保護層３には、Ｃや、ＳｉＯ_２、ＺｒＯ_２などを含むものを用いることが好ましい。また、保護層３の厚みは、１〜５ｎｍが好ましい。この保護層３の厚みを１〜５ｎｍの範囲とすることで、保護層３として十分な耐久性を有し、且つ、磁気ヘッドと磁気記録層２との距離を短くできるので、更なる高記録密度化に対応することができる。 The protective layer 3 is for preventing corrosion of the magnetic recording layer 2 and preventing damage to the surface of the medium when the magnetic head comes into contact with the magnetic recording medium, and a conventionally known material can be used. For example, it is preferable to use a protective layer 3 containing C, SiO ₂ , ZrO ₂ or the like. Moreover, the thickness of the protective layer 3 is preferably 1 to 5 nm. By setting the thickness of the protective layer 3 in the range of 1 to 5 nm, the protective layer 3 has sufficient durability and the distance between the magnetic head and the magnetic recording layer 2 can be shortened. It can cope with densification.

本発明を適用した磁気記録媒体１は、上述した溝部５が形成されたディスク基板１の上に、少なくとも磁気記録層２と、この上に保護層３とが形成されていると共に、溝部５の底部５ａで磁気記録層２の厚みが薄くなっている、又は、磁気記録層２が分断されていることを特徴としている。   The magnetic recording medium 1 to which the present invention is applied has at least a magnetic recording layer 2 and a protective layer 3 formed on the disk substrate 1 on which the groove 5 described above is formed. The magnetic recording layer 2 is thin at the bottom 5a, or the magnetic recording layer 2 is divided.

（磁気記録媒体の製造方法）
次に、本発明を適用した磁気記録媒体の製造方法について説明する。
図２は、上述した図１に示す磁気記録媒体の製造工程を示す概略断面図である。
本発明を適用した磁気記録媒体の製造方法は、図２に示すように、少なくとも平坦なディスク基板１の上に磁気記録層２を形成した被加工媒体１Ａを作製した後に、この被加工媒体１Ａの主表面に溝部５に対応した凸部１０を有するスタンパ１１を押し付けることによって、磁気トラック４の間に凸部１０の形状が転写された溝部５を形成することを特徴としている。 (Method of manufacturing magnetic recording medium)
Next, a method for manufacturing a magnetic recording medium to which the present invention is applied will be described.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the manufacturing process of the magnetic recording medium shown in FIG.
As shown in FIG. 2, the manufacturing method of the magnetic recording medium to which the present invention is applied is as follows. After the processing medium 1A having the magnetic recording layer 2 formed on at least the flat disk substrate 1, the processing medium 1A is manufactured. By pressing a stamper 11 having a convex portion 10 corresponding to the groove portion 5 on the main surface, a groove portion 5 having the shape of the convex portion 10 transferred between the magnetic tracks 4 is formed.

具体的に、上述した図１に示す磁気記録媒体を製造する際には、先ず、図２（ａ）に示すように、主表面が鏡面となるように加工・形成されたディスク基板１を用意する。
次に、図２（ｂ）に示すように、主表面が平坦化されたディスク基板１の上に磁気記録層２をスパッタリング法などにより形成する。
次に、図２（ｃ）に示すように、この磁気記録層２の上に保護層３をスパッタリング法などにより形成する。
これにより、ディスク基板１上に磁気記録層２と保護層３とが順次積層されてなる被加工媒体１Ａａを得ることができる。
次に、図２（ｄ）に示すように、作製された被加工媒体１Ａの主表面に対して、インプリント法によりスタンパ１１を押し付ける。 Specifically, when manufacturing the magnetic recording medium shown in FIG. 1 described above, first, as shown in FIG. 2A, a disk substrate 1 processed and formed so that the main surface becomes a mirror surface is prepared. To do.
Next, as shown in FIG. 2B, a magnetic recording layer 2 is formed by sputtering or the like on the disk substrate 1 whose main surface is flattened.
Next, as shown in FIG. 2C, a protective layer 3 is formed on the magnetic recording layer 2 by sputtering or the like.
Thereby, it is possible to obtain a processed medium 1Aa in which the magnetic recording layer 2 and the protective layer 3 are sequentially laminated on the disk substrate 1.
Next, as shown in FIG. 2D, the stamper 11 is pressed against the main surface of the manufactured medium 1A by imprinting.

このスタンパ１１は、図３に示すように、被加工媒体１Ａとの接触面に、実際に被加工媒体１Ａに形成される溝部５の形状に対応した凸部１２を有している。この凸部１２は、図４に拡大して示すように、溝部５のネガパターンとして、その先端部１２ａが矩形ではなく、丸みを帯びた曲面とされている。   As shown in FIG. 3, the stamper 11 has a convex portion 12 corresponding to the shape of the groove portion 5 actually formed in the processing medium 1A on the contact surface with the processing medium 1A. As shown in an enlarged view in FIG. 4, the convex portion 12 is a negative pattern of the groove portion 5, and the tip end portion 12 a is not a rectangle but a rounded curved surface.

このような凸部１２を有するスタンパ１１は、例えば図５に示す工程を経ることによって作製することができる。すなわち、（ａ）Ｓｉ等の基板１３の上にポジ型のレジスト層１４を形成し、（ｂ）このレジスト層１４に対して通常の電子ビームによりスタンパ１１の凸部１２とする箇所に描画を行った後に、その上から、より低パワー且つ幅広の電子ビームの照射により二重露光を行うことで、レジスト層１４の表層部分のみぼかしたように露光する。（ｃ）これを現像してレジスト層１４を除去した後に、（ｄ）表面を導通処理し、１回目のＮｉ電鋳を行い、基板１３上にめっき層１５を形成する。さらに、（ｅ）このめっき層１５を基板１３から剥離する。そして、（ｆ）剥離しためっき層１５の表面を酸素プラズマにより酸化した後に、導通処理し、２回目のＮｉ電鋳を行い、（ｇ）これを剥離することによってスタンパ１１を得ることができる。   The stamper 11 having such a convex portion 12 can be produced, for example, through the process shown in FIG. That is, (a) a positive resist layer 14 is formed on a substrate 13 made of Si or the like, and (b) drawing is performed on the resist layer 14 at a place where the convex portion 12 of the stamper 11 is formed by a normal electron beam. After the exposure, double exposure is performed by irradiating a lower power and wider electron beam from above, so that only the surface layer portion of the resist layer 14 is blurred. (C) This is developed and the resist layer 14 is removed. Then, (d) the surface is subjected to conduction treatment, and the first Ni electroforming is performed to form a plating layer 15 on the substrate 13. Further, (e) the plating layer 15 is peeled from the substrate 13. Then, (f) after oxidizing the surface of the peeled plating layer 15 with oxygen plasma, conducting the conduction, performing the second Ni electroforming, and (g) peeling this, the stamper 11 can be obtained.

そして、上述した図２（ｄ）に示すように、このようなスタンパ１１と被加工媒体１Ａとを張り合わせた後に、これをステージ（図示せず。）上に設置し、ピストンで加圧しながら被加工媒体１Ａの主表面にスタンパ１１を押し付ける。   Then, as shown in FIG. 2 (d) described above, after the stamper 11 and the processing medium 1A are bonded together, the stamper 11 is placed on a stage (not shown) and pressed while being pressurized with a piston. The stamper 11 is pressed against the main surface of the processing medium 1A.

このとき、スタンパ１１と被加工媒体１Ａとがディスク基板１の形状維持温度以上となるように加熱保持する。本発明では、ディスク基板１として、プラスティック、ガラス、アルミニウム合金などの非磁性基板を使用し、それぞれの材料の形状維持温度以上でインプリントする。すなわち、このディスク基板１に凸部１２の形状が転写されるように、この凸部１１の転写による変形がディスク基板１の表層部に達するまで、スタンパ１１を被加工媒体１Ａに押し付ける。
なお、ディスク基板１としてガラスを用いた場合には、加熱温度はプラスティックに比べて高くなる。この場合は、磁気記録層２等の劣化を防ぐため、不活性雰囲気等でパターンの転写を行うことが好ましい。 At this time, the stamper 11 and the medium to be processed 1A are heated and held so as to be equal to or higher than the shape maintaining temperature of the disk substrate 1. In the present invention, a non-magnetic substrate such as plastic, glass, aluminum alloy or the like is used as the disk substrate 1, and imprinting is performed at or above the shape maintaining temperature of each material. That is, the stamper 11 is pressed against the processing medium 1 </ b> A until the deformation due to the transfer of the convex portion 11 reaches the surface layer portion of the disk substrate 1 so that the shape of the convex portion 12 is transferred to the disk substrate 1.
When glass is used as the disk substrate 1, the heating temperature is higher than that of plastic. In this case, it is preferable to transfer the pattern in an inert atmosphere or the like in order to prevent deterioration of the magnetic recording layer 2 and the like.

次に、図２（ｅ）に示すように、被加工媒体１Ａからスタンパ１１を剥離することによって、磁気トラック４の間に凸部１０の形状が転写された溝部５が形成される。最後に、その主表面にパーフル潤滑層を形成することによって、本発明を適用した磁気記録媒体を得ることができる。   Next, as shown in FIG. 2E, the stamper 11 is peeled from the processing medium 1 </ b> A, thereby forming the groove portion 5 in which the shape of the convex portion 10 is transferred between the magnetic tracks 4. Finally, a magnetic recording medium to which the present invention is applied can be obtained by forming a full lubricating layer on the main surface.

以上のように、本発明によれば、ドライエッチなどの複雑且つ制御の難しい微細加工無しに、より高密度の磁気トラック４を形成することができ、より高記録密度に適した優れた磁気特性を有するディスクリート型の磁気記録媒体を簡便且つ低コストで製造することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to form a higher-density magnetic track 4 without complicated and difficult to control fine processing such as dry etching, and excellent magnetic characteristics suitable for higher recording density. Can be manufactured easily and at low cost.

ところで、スタンパ１１の凸部１２は、上述した図４に示すように、その先端部１２ａが曲面とされており、この曲面の曲率半径をＲとし、凸部１２の幅をＷとしたときに、０．７５Ｗ≦Ｒ≦１．２５Ｗの関係を満足していることが好ましい。
これにより、凸部１２の形状を転写する際に、スタンパ１１の凸部１２を被加工媒体１Ａの主表面に押し付けることによって、転写後の溝部５の底部５ａに位置する被加工媒体１Ａの各層を塑性変形により左右に排除しながら、この溝部５の底部５ａで磁気記録層２の厚みを薄くなる、又は、磁気記録層２を分断することができる。
一方、Ｒ＜０．７５Ｗの場合には、凸部１２の先端部１２ａに平坦部分が形成されるため、被加工媒体１Ａの各層を左右に排除することが不充分となる。一方、Ｒ＞１．２５Ｗの場合には、凸部１２の先端部１２ａが尖った形状となり、スタンパ１１の繰り返し使用による形状劣化が生じやすくなり、スタンパ１１の寿命（繰り返し使用耐数）が短くなってしまい、交換頻度の上昇に伴う生産性の低下や、必要枚数の増加により、生産コストが増加することになる。 By the way, as shown in FIG. 4 described above, the convex portion 12 of the stamper 11 has a tip portion 12a having a curved surface. When the radius of curvature of the curved surface is R and the width of the convex portion 12 is W. It is preferable that the relationship of 0.75 W ≦ R ≦ 1.25 W is satisfied.
Thus, when the shape of the convex portion 12 is transferred, each layer of the processed medium 1A located at the bottom 5a of the groove portion 5 after transfer is pressed by pressing the convex portion 12 of the stamper 11 against the main surface of the processed medium 1A. The thickness of the magnetic recording layer 2 can be reduced at the bottom 5a of the groove 5 or the magnetic recording layer 2 can be divided.
On the other hand, in the case of R <0.75 W, since a flat portion is formed at the tip 12a of the convex portion 12, it is insufficient to exclude each layer of the processed medium 1A to the left and right. On the other hand, in the case of R> 1.25W, the tip portion 12a of the convex portion 12 has a sharp shape, the shape is likely to deteriorate due to repeated use of the stamper 11, and the life of the stamper 11 (repeated durability) is shortened. As a result, the production cost increases due to a decrease in productivity accompanying an increase in replacement frequency and an increase in the required number of sheets.

また、溝部５の深さは、５０ｎｍ以上とすることが好ましい。これにより、転写時に溝部５の底部５ａに位置する磁気記録層２を十分排除することができ、また、磁気記録媒体の主表面における凹凸の高低差を５０〜１００ｎｍの範囲とすることで、安定したヘッドの飛行特性を確保することできる。
一方、溝部５の深さが５０ｎｍ未満の場合には、溝部５の底部５ａに位置する磁気記録層２の除去が不充分となり、溝部５の底部５ａに基板鉛直方向に異方性を有した磁気記録層２が残留した場合には、データの記録再生時のノイズが発生する、或いは、サーボ信号の出力低下により充分なＳ／Ｎ比が得られなくなる。一方、溝部５の深さが１００ｎｍを超える場合には、サーボ領域などの凸部の面積が少ない領域と、データ領域などの凸部の面積が多い領域とで、ヘッドの浮上量が変化してしまい、安定した記録再生ができなくなる。 The depth of the groove 5 is preferably 50 nm or more. As a result, the magnetic recording layer 2 positioned at the bottom 5a of the groove 5 can be sufficiently eliminated at the time of transfer, and the level difference of the unevenness on the main surface of the magnetic recording medium can be stabilized within a range of 50 to 100 nm. The flight characteristics of the selected head can be ensured.
On the other hand, when the depth of the groove portion 5 is less than 50 nm, the magnetic recording layer 2 located at the bottom portion 5a of the groove portion 5 is not sufficiently removed, and the bottom portion 5a of the groove portion 5 has anisotropy in the substrate vertical direction. When the magnetic recording layer 2 remains, noise during data recording / reproduction occurs, or a sufficient S / N ratio cannot be obtained due to a decrease in servo signal output. On the other hand, when the depth of the groove 5 exceeds 100 nm, the flying height of the head varies between a region having a small convex portion such as a servo region and a region having a large convex portion such as a data region. As a result, stable recording and reproduction cannot be performed.

溝部５の底部５ａの磁気記録層２の厚さは、２ｎｍ以下であることが好ましく、１ｎｍ以下であることがより好ましい。この厚さを２ｎｍ以下とすることで、溝部５の底部５ａで磁気記録層２の磁化が小さくなる上、さらに、溝部５の底部５ａが先端部１２ａの形状に湾曲していることで、磁気記録層２の配向が基板に対して垂直方向からズレるため、より溝部５の底部５ａの磁気記録層２の磁化によるデータの記録再生時のノイズ、サーボ信号の出力低下、フリンジによるエラーレートの劣化を排除することができる。上記厚さが２ｎｍ以上になると、溝部５の底部５ａに基板に鉛直方向に磁気異方性が残ってしまうため、データの記録再生時のノイズ発生、サーボ信号の出力低下、フリンジによるエラーレートの劣化を引き起こす。   The thickness of the magnetic recording layer 2 at the bottom 5a of the groove 5 is preferably 2 nm or less, and more preferably 1 nm or less. By setting the thickness to 2 nm or less, the magnetization of the magnetic recording layer 2 is reduced at the bottom 5a of the groove 5, and further, the bottom 5a of the groove 5 is curved into the shape of the tip 12a. Since the orientation of the recording layer 2 is deviated from the direction perpendicular to the substrate, data recording / reproducing noise due to the magnetization of the magnetic recording layer 2 at the bottom 5a of the groove 5, lower servo signal output, and error rate deterioration due to fringe Can be eliminated. When the thickness is 2 nm or more, magnetic anisotropy remains in the substrate 5 at the bottom 5a of the groove 5 in the vertical direction. Therefore, noise is generated during data recording / reproduction, servo signal output is reduced, and error rate due to fringe is reduced. Causes deterioration.

また、転写時の加熱温度は、上述した基板材料の形状維持温度以上、融点未満とすることが好ましく、この範囲とすることで、凸部１１の転写による変形がディスク基板１の表層部に達することが可能となる。これにより、転写パターンの変形や倒壊といった欠損が抑制でき、さらには十分なパターンの高低差を得ることができ、明瞭且つ忠実な転写パターンが得られる。
一方、転写時の加熱温度が基板材料の形状維持温度未満の場合には、パターン転写によりディスク基板１の表面に変形が生じないため、十分な凹凸の高低差を得ることができなくなる。また、転写されたパターンの強度が弱く、変形や倒壊といった欠損が生じやすくなる。一方、転写時の加熱温度が融点以上の場合には、ディスク基板１の表面が融解・変形し、磁気記録層２の結晶配向が乱れ、結果として磁気特性の劣化が生じてしまう。また、ディスク基板１と磁気記録層２との熱膨張係数の違いから、磁気記録層２の剥離や割れといった問題も生じやすくなる。 The heating temperature at the time of transfer is preferably not less than the above-mentioned substrate material shape maintenance temperature and less than the melting point, and by setting this range, deformation due to transfer of the convex portion 11 reaches the surface layer portion of the disk substrate 1. It becomes possible. Thereby, defects such as deformation and collapse of the transfer pattern can be suppressed, and a sufficient pattern height difference can be obtained, and a clear and faithful transfer pattern can be obtained.
On the other hand, when the heating temperature at the time of transfer is lower than the shape maintaining temperature of the substrate material, the surface of the disk substrate 1 is not deformed by the pattern transfer, so that it is impossible to obtain a sufficient level difference of unevenness. Further, the strength of the transferred pattern is weak, and defects such as deformation and collapse tend to occur. On the other hand, when the heating temperature at the time of transfer is equal to or higher than the melting point, the surface of the disk substrate 1 is melted and deformed, the crystal orientation of the magnetic recording layer 2 is disturbed, and as a result, the magnetic properties are deteriorated. Further, due to the difference in thermal expansion coefficient between the disk substrate 1 and the magnetic recording layer 2, problems such as peeling and cracking of the magnetic recording layer 2 are likely to occur.

本発明では、ディスク基板１の上に磁気記録層２を形成し、この上に保護層３を形成した被加工媒体１Ａを作製した後に、上述したスタンパ１１による転写工程を行っている。
この場合、磁気記録層２の上に保護層３を形成した後に転写工程を行うため、磁気記録層２の表面が大気等に触れて劣化することを防止することができる。また、保護層３は、磁気記録層２に比べて塑性変形しにくいため、溝部５の底部５ａにおいて残りやすい。したがって、転写工程の後に保護層３を形成する工程を設ける必要がなくなるため、製造工程を簡略化することができ、耐候性の高い磁気記録媒体を製造することができる。
なお、本発明では、塑性変形により排除された磁気記録層２などの膜が、溝部５の側面部に残留するものの、磁気異方性が基板鉛直方向からズレるため、データの記録再生に対する影響はほとんどない。 In the present invention, after the magnetic recording layer 2 is formed on the disk substrate 1 and the processed medium 1A having the protective layer 3 formed thereon is manufactured, the transfer process using the stamper 11 described above is performed.
In this case, since the transfer process is performed after the protective layer 3 is formed on the magnetic recording layer 2, it is possible to prevent the surface of the magnetic recording layer 2 from being deteriorated by exposure to the air or the like. Further, since the protective layer 3 is less likely to be plastically deformed than the magnetic recording layer 2, it tends to remain at the bottom 5 a of the groove 5. Therefore, it is not necessary to provide a step of forming the protective layer 3 after the transfer step, so that the manufacturing process can be simplified and a magnetic recording medium having high weather resistance can be manufactured.
In the present invention, although the film such as the magnetic recording layer 2 removed by plastic deformation remains on the side surface of the groove portion 5, the magnetic anisotropy deviates from the vertical direction of the substrate. rare.

一方、本発明では、上述したスタンパ１１による転写工程の後に、磁気記録層２の上に保護層３を形成することもできる。
この場合、保護層３を形成する前に転写工程を行うと、磁気記録層２の表面に硬度の高い保護層３がないため、スタンパ１１による磁気記録層２の塑性変形を安定して行うことができる。一方、磁気記録層２の表面が大気等に触れて劣化する可能性があるので、この転写工程は、不活性ガス等の雰囲気で行うことが好ましい。 On the other hand, in the present invention, the protective layer 3 can be formed on the magnetic recording layer 2 after the transfer process by the stamper 11 described above.
In this case, if the transfer process is performed before the protective layer 3 is formed, there is no protective layer 3 with high hardness on the surface of the magnetic recording layer 2, so that the plastic deformation of the magnetic recording layer 2 by the stamper 11 is stably performed. Can do. On the other hand, since the surface of the magnetic recording layer 2 may be deteriorated by exposure to the atmosphere or the like, this transfer step is preferably performed in an atmosphere of an inert gas or the like.

さらに、本発明では、上述したスタンパ１１による転写工程の後に、被加工媒体１Ａの表面に再度、保護層３を形成してもよい。
この場合、上述した転写工程により磁気記録層２及び保護層３が除去された溝部５の上を保護層３が再度被覆することで、コロージョンや、溝部５の側面部からの酸化などによる磁気特性の劣化を防止することができる。また、保護層３を再度形成する場合には、耐候性、耐摩耗性に優れたＤＬＣ（ｄｉａｍｏｎｄ ｌｉｋｅ ｃａｒｂｏｎ）膜が好ましく、その厚みは、５ｎｍ以下が好ましい。
なお、保護層３の材料や膜の機械特性によっては、転写工程時に溝部５の保護層３が排除されずに残留し、充分な耐候性が得られる場合もあるため、保護層３を再度形成するか否かは任意である。 Furthermore, in the present invention, the protective layer 3 may be formed again on the surface of the medium 1A to be processed after the transfer process using the stamper 11 described above.
In this case, the protective layer 3 covers again the groove 5 from which the magnetic recording layer 2 and the protective layer 3 have been removed by the transfer process described above, thereby causing magnetic characteristics due to corrosion, oxidation from the side surface of the groove 5, and the like. Can be prevented. When the protective layer 3 is formed again, a DLC (diamond like carbon) film excellent in weather resistance and abrasion resistance is preferable, and the thickness is preferably 5 nm or less.
Depending on the material of the protective layer 3 and the mechanical properties of the film, the protective layer 3 in the groove 5 may remain without being removed during the transfer process, and sufficient weather resistance may be obtained. Therefore, the protective layer 3 is formed again. Whether or not to do so is arbitrary.

また、本発明を適用した磁気記録媒体は、図６に示すように、ディスク基板１と磁気記録層２との間に配向層６を配置した構成としてもよい。
配向層６は、その直上に形成された層の結晶配向や粒径を制御するものであり、その厚みは、５〜３０ｎｍ程度が好ましい。
配向層６としては、ｈｃｐ構造を有することが好ましい。これにより、磁気記録層２の垂直配向及び磁性粒径を良好に制御することができる。ｈｃｐ構造を有する配向層６としては、例えば、Ｒｕ又はＲｕにＢ、Ｃ、Ｐ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍなどを添加したＲｕ合金等を用いることができる。
また、配向層６は、異なる組成や構造を有する材料を積層したものであってもよい。例えば、ｆｃｃ構造を有する第１の配向層の上に、ｈｃｐ構造を有する第２の配向層を積層したものを用いることが好ましい。これにより、磁気記録層２の配向性をより高めることができ、結晶粒径の肥大化を抑えることができる。ｆｃｃ構造を有する配向層６としては、例えばＰｔ又はＰｔにＢ、Ｃ、Ｐ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍなどを添加したＰｔ合金や、Ｐｄ又はＰｄにＢ、Ｃ、Ｐ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍなどを添加したＰｄ合金、ＮｉＦｅ、ＮｉＦｅＷなどのＮｉＦｅ合金等を用いることができる。 Further, the magnetic recording medium to which the present invention is applied may have a configuration in which an alignment layer 6 is disposed between the disk substrate 1 and the magnetic recording layer 2 as shown in FIG.
The orientation layer 6 controls the crystal orientation and grain size of the layer formed immediately above, and the thickness is preferably about 5 to 30 nm.
The alignment layer 6 preferably has an hcp structure. Thereby, the perpendicular orientation and magnetic particle size of the magnetic recording layer 2 can be controlled well. As the alignment layer 6 having the hcp structure, for example, a Ru alloy in which B, C, P, Si, Al, Cr, Co, Ta, W, Pr, Nd, Sm or the like is added to Ru or Ru is used. it can.
The alignment layer 6 may be a laminate of materials having different compositions and structures. For example, it is preferable to use a layer in which a second alignment layer having an hcp structure is stacked on a first alignment layer having an fcc structure. Thereby, the orientation of the magnetic recording layer 2 can be further increased, and the enlargement of the crystal grain size can be suppressed. As the orientation layer 6 having the fcc structure, for example, Pt or Pt is doped with Pt alloy obtained by adding B, C, P, Si, Al, Cr, Co, Ta, W, Pr, Nd, Sm, or the like, or Pd or Pd. Pd alloys to which B, C, P, Si, Al, Cr, Co, Ta, W, Pr, Nd, Sm and the like are added, NiFe alloys such as NiFe and NiFeW, and the like can be used.

また、本発明を適用した磁気記録媒体は、図７に示すように、ディスク基板１と配向層６との間に軟磁性層７を配置した構成としてもよい。
軟磁性層７は、磁気ヘッドから発生する磁束の垂直方向成分を大きくすると共に、情報が記録される磁気記録層２の磁化の方向をより強固に垂直方向に固定するためのものである。
軟磁性層７としては、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏを含む軟磁性材料を用いることができる。そのような軟磁性材料としては、例えば、ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＢ、ＦｅＣｏＡｌなどのＦｅＣｏ合金や、ＦｅＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＮｉＣｒ、ＦｅＮｉＳｉ、ＦｅＮｉＢなどのＦｅＮｉ合金、ＦｅＡｌ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌＳｉＣｒ、ＦｅＡｌＯなどのＦｅＡｌ合金、ＦｅＣｒ、ＦｅＣｒＴｉ、ＦｅＣｒＣｕなどのＦｅＣｒ合金、ＦｅＴａ、ＦｅＴａＣ、ＦｅＴａＮなどのＦｅＴａ合金、ＦｅＭｇＯなどのＦｅＭｇ合金、ＦｅＺｒ、ＦｅＺｒＮなどのＦｅＺｒ合金、ＦｅＣ合金、ＦｅＮ合金、ＦｅＳｉ合金、ＦｅＰ合金、ＦｅＮｂ合金、ＦｅＨｆ、ＦｅＨｆＮなどのＦｅＨｆ合金、ＦｅＢ、ＦｅＢＣｒなどのＦｅＢ合金、ＣｏＢ合金、ＣｏＰ合金、ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＢ、ＣｏＮｉＰなどのＣｏＮｉ合金、ＮｉＰ合金、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＣｏＮｉＰ、ＦｅＣｏＮｉＢなどのＦｅＣｏＮｉ合金等を挙げることができる。さらに、前記軟磁性材料が、例えばＡｌ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、ＳｉＯ_２、Ｔａ_２Ｏ_５、ＴｉＯ_２などの酸化物のマトリクス中に分散されたグラニュラー構造を有する材料を用いることができる。
また、軟磁性層７は、異なる組成の軟磁性材料を積層したものや、軟磁性材料と非磁性材料とを積層したものであってもよい。特に、軟磁性材料の間にＲｕ薄膜を形成した構造とすると、軟磁性特有の磁壁の発生が抑えられ、スパイクノイズを抑制することができる。 A magnetic recording medium to which the present invention is applied may have a configuration in which a soft magnetic layer 7 is disposed between a disk substrate 1 and an orientation layer 6 as shown in FIG.
The soft magnetic layer 7 is used to increase the vertical component of the magnetic flux generated from the magnetic head and to more firmly fix the magnetization direction of the magnetic recording layer 2 on which information is recorded in the vertical direction.
As the soft magnetic layer 7, a soft magnetic material containing Fe, Ni, and Co can be used. Examples of such soft magnetic materials include FeCo alloys such as FeCo, FeCoB, and FeCoAl, FeNi alloys such as FeNi, FeNiMo, FeNiCr, FeNiSi, and FeNiB, FeAl alloys such as FeAl, FeAlSi, FeAlSiCr, and FeAlO, FeCr, FeCr alloys such as FeCrTi and FeCrCu, FeTa alloys such as FeTa, FeTaC and FeTaN, FeMg alloys such as FeMgO, FeZr alloys such as FeZr and FeZrN, FeC alloys, FeN alloys, FeSi alloys, FeP alloys, FeNb alloys, FeHf and FeHfN FeHf alloys such as FeB alloys such as FeB and FeBCr, CoB alloys, CoP alloys, CoNi alloys such as CoNi, CoNiB, and CoNiP, NiP alloys, FeCoNi FeCoNiP, mention may be made of the FeCoNi alloy or the like, such as FeCoNiB. Furthermore, a material having a granular structure in which the soft magnetic material is dispersed in an oxide matrix such as Al ₂ O ₃ , ZrO ₂ , SiO ₂ , Ta ₂ O ₅ , TiO ₂ can be used.
The soft magnetic layer 7 may be a laminate of soft magnetic materials having different compositions or a laminate of a soft magnetic material and a nonmagnetic material. In particular, when a Ru thin film is formed between soft magnetic materials, the occurrence of domain walls peculiar to soft magnetism can be suppressed and spike noise can be suppressed.

（磁気記録再生装置）
次に、本発明を適用した磁気記録再生装置について説明する。
本発明を適用した磁気記録再生装置は、上記磁気記録媒体と、モータと、ハブと、サーボ機構と、磁気ヘッドと、制御部とを概略備えて構成されるものである。磁気ヘッドは、垂直方式の記録再生に対応するものであれば、リング型ヘッドや単磁極型ヘッド等を用いることができる。
この磁気記録再生装置では、本発明を適用した上記磁気記録媒体を用いることによって、磁気トラック４のエッジに起因したノイズ及びフリンジノイズ等の影響を少なくすることができ、よりトラック密度を向上させることができる。また、径方向に隣接する磁気トラック２間同士が溝部５により磁気的に分離されているため、磁気ヘッドの書き込み幅の制約が緩やかになると共に、サーボ信号が予め磁気記録媒体に付与されているため、サーボライトを省くことができ、より安価に製造することができる。これにより、更に高密度記録に適した安価な磁気記録再生装置とすることができる。 (Magnetic recording / reproducing device)
Next, a magnetic recording / reproducing apparatus to which the present invention is applied will be described.
A magnetic recording / reproducing apparatus to which the present invention is applied includes the magnetic recording medium, a motor, a hub, a servo mechanism, a magnetic head, and a controller. As the magnetic head, a ring type head, a single magnetic pole type head, or the like can be used as long as it is compatible with perpendicular recording and reproduction.
In this magnetic recording / reproducing apparatus, by using the magnetic recording medium to which the present invention is applied, the influence of noise and fringe noise caused by the edge of the magnetic track 4 can be reduced, and the track density can be further improved. Can do. Further, since the magnetic tracks 2 adjacent in the radial direction are magnetically separated from each other by the groove 5, the restriction on the write width of the magnetic head is relaxed and a servo signal is applied to the magnetic recording medium in advance. Therefore, the servo light can be omitted and the manufacturing can be performed at a lower cost. Thereby, an inexpensive magnetic recording / reproducing apparatus suitable for higher density recording can be obtained.

以下、実施例により本発明の効果を明らかなものとする。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。
（実施例１）
実施例１では、先ず、ポリカーボネートからなる基板（外径４８ｍｍ、厚さ０．５０８ｍｍ、内径１５ｍｍ）を用意し、その表面を洗浄した後に、オーブンにて真空乾燥（１００℃、１ｍｍＨｇ（＝１３３．３２２Ｐａ）、１時間）させた。 Hereinafter, the effects of the present invention will be clarified by examples. The present invention is not limited to the following examples.
Example 1
In Example 1, first, a substrate made of polycarbonate (outer diameter 48 mm, thickness 0.508 mm, inner diameter 15 mm) was prepared, and the surface was washed, followed by vacuum drying in an oven (100 ° C., 1 mmHg (= 133. 322 Pa) and 1 hour).

次に、この基板をＤＣマグネトロンスパッタ装置（アネルバ社製のＣ−３０１０）の成膜チャンバー内に収容して、到達真空度が１×１０^−５Ｐａとなるまで成膜チャンバー内を排気した。そして、この基板上に、８９Ｃｏ−４Ｚｒ−７Ｎｂ（Ｃｏ含有量８９ａｔ％、Ｚｒ含有量４ａｔ％、Ｎｂ含有量７ａｔ％）のターゲットを用いて、厚さ８０ｎｍの軟磁性層をスパッタ法により形成し、この軟磁性層上に、Ｐｔターゲットを用いて、厚さ３ｎｍの第１の配向層を形成し、この第１の配向層上に、Ｒｕターゲットを用いて、厚さ１２ｎｍの第２の配向層を形成し、この第２の配向層上に、６５Ｃｏ―１０Ｃｒ―１５Ｐｔ−１０ＳｉＯ_２（Ｃｏ含有量６５ｍｏｌ％、Ｃｒ含有量１０ｍｏｌ％、Ｐｔ含有量１５ｍｏｌ％、ＳｉＯ_２含有量１０ｍｏｌ％）のターゲットを用いて、厚さ１２ｎｍの磁性層を形成し、この磁性層上に、カーボンからなる厚さ４ｎｍの保護層を形成することによって、被加工媒体を作製した。 Next, this substrate was accommodated in a film forming chamber of a DC magnetron sputtering apparatus (C-3010 manufactured by Anelva), and the film forming chamber was evacuated until the ultimate vacuum reached 1 × 10 ⁻⁵ Pa. A soft magnetic layer having a thickness of 80 nm is formed on the substrate by sputtering using a target of 89Co-4Zr-7Nb (Co content 89 at%, Zr content 4 at%, Nb content 7 at%). A first alignment layer having a thickness of 3 nm is formed on the soft magnetic layer by using a Pt target, and a second alignment having a thickness of 12 nm is formed on the first alignment layer by using a Ru target. A layer is formed, and a target of 65Co-10Cr-15Pt-10SiO ₂ (Co content 65 mol%, Cr content 10 mol%, Pt content 15 mol%, SiO ₂ content 10 mol%) is formed on the second alignment layer. Was used to form a magnetic layer having a thickness of 12 nm, and a protective layer having a thickness of 4 nm made of carbon was formed on the magnetic layer, thereby manufacturing a medium to be processed.

次に、この被加工媒体をインプリント装置のサセプター上にセットし、その上から加圧ピストンの先に接続したＮｉ電鋳製のスタンパを押し付けることによって、トラックパターン（トラックピッチ１８０ｎｍ、トラック幅８０ｎｍ、凹凸高低差８０ｎｍ）及びサーボ情報パターンを被加工媒体にインプリント法により転写した。   Next, this work medium is set on the susceptor of the imprint apparatus, and a Ni electroforming stamper connected to the tip of the pressure piston is pressed from above the track pattern (track pitch 180 nm, track width 80 nm). , The uneven height difference 80 nm) and the servo information pattern were transferred onto the workpiece medium by the imprint method.

スタンパは、被加工媒体との接触面に、実際に被加工媒体に転写される形状に対応した凸部を有している。この凸部は、そのようなネガパターンとして、先端部が丸みを帯びた曲面とされ、この曲面の曲率半径Ｒは８０ｎｍである。また、転写時には、サセプター及びスタンパを１５０℃に加熱保持した。また、３５ｋｇｆ／ｃｍ^２（＝３４３Ｎ／ｃｍ^２）の圧力で加圧を行った。 The stamper has a convex portion corresponding to the shape that is actually transferred to the processing medium on the contact surface with the processing medium. The convex portion has a curved surface with a rounded tip as such a negative pattern, and the curvature radius R of the curved surface is 80 nm. Further, at the time of transfer, the susceptor and the stamper were heated and held at 150 ° C. Further, pressurization was performed at a pressure of 35 kgf / cm ² (= 343 N / cm ² ).

次に、被加工媒体からスタンパを分離し、被加工媒体をＤＣマグネトロンスパッタ装置（アネルバ社製のＣ−３０１０）の成膜チャンバー内に収容して、到達真空度が１×１０^−５Ｐａとなるまで成膜チャンバー内を排気した後に、エチレンガスを原料とし、１３．５ＭＨｚのＲＦパワーサプライを用い、ＣＶＤ法により厚さ３ｎｍのＤＬＣからなる保護層を形成した。最後に、保護層の上に、潤滑層としてパーフルオロエーテルを厚さ２ｎｍで形成し、実施例１の磁気記録媒体を作製した。 Next, the stamper is separated from the processing medium, and the processing medium is accommodated in a film forming chamber of a DC magnetron sputtering apparatus (C-3010 manufactured by Anerva Co., Ltd.), and the ultimate vacuum is 1 × 10 ⁻⁵ Pa. After the inside of the film formation chamber was evacuated, a protective layer made of DLC having a thickness of 3 nm was formed by CVD using ethylene gas as a raw material and a 13.5 MHz RF power supply. Finally, a perfluoroether having a thickness of 2 nm was formed as a lubricating layer on the protective layer, and the magnetic recording medium of Example 1 was produced.

そして、実施例１の磁気記録媒体を磁気記録再生装置に組み込み、記録再生を行った結果、磁気ヘッドの位置決め動作及びデータの記録再生動作が適切であることを確認した。
磁気ヘッドは、読み込み側にＧＭＲ素子を用い、書き込み側を単磁極型としたＧＭＲヘッドを用いた。ヘッドの位置決め信号は、オシロスコープにより観察した。記録再生特性は、線記録密度９６０ｋＦＣＩで評価を行い、１×１０^−５．７のエラーレートが得られた。 As a result of incorporating the magnetic recording medium of Example 1 into the magnetic recording / reproducing apparatus and performing recording / reproducing, it was confirmed that the magnetic head positioning operation and the data recording / reproducing operation were appropriate.
As the magnetic head, a GMR head using a GMR element on the reading side and a single pole type on the writing side was used. The head positioning signal was observed with an oscilloscope. The recording / reproducing characteristics were evaluated at a linear recording density of 960 kFCI, and an error rate of 1 × 10 ^−5.7 was obtained.

（実施例２）
実施例２では、基板として強化ガラス（ＨＯＹＡ製のＮ５ガラス）を用い、インプリント時の温度を３６０℃とし、Ａｒ雰囲気中で、圧力を２０００ｋｇｆ／ｃｍ^２（＝１９６１３Ｎ／ｃｍ^２）とした以外は、実施例１と同様の方法により実施例２の磁気記録媒体を作製した。 (Example 2)
In Example 2, tempered glass (N5 glass made by HOYA) was used as the substrate, the temperature during imprinting was 360 ° C., and the pressure was 2000 kgf / cm ² (= 19613 N / cm ² ) in an Ar atmosphere. Produced a magnetic recording medium of Example 2 in the same manner as in Example 1.

そして、実施例２の磁気記録媒体を磁気記録再生装置に組み込み、記録再生を行った結果、磁気ヘッドの位置決め動作及びデータの記録再生動作が適切であることを確認した。
磁気ヘッドは、読み込み側にＧＭＲ素子を用い、書き込み側を単磁極型としたＧＭＲヘッドを用いた。ヘッドの位置決め信号は、オシロスコープにより観察した。記録再生特性は、線記録密度９６０ｋＦＣＩで評価を行い、１×１０^−５．５のエラーレートが得られた。 As a result of incorporating the magnetic recording medium of Example 2 into the magnetic recording / reproducing apparatus and performing recording / reproducing, it was confirmed that the magnetic head positioning operation and the data recording / reproducing operation were appropriate.
As the magnetic head, a GMR head using a GMR element on the reading side and a single pole type on the writing side was used. The head positioning signal was observed with an oscilloscope. The recording / reproducing characteristics were evaluated at a linear recording density of 960 kFCI, and an error rate of 1 × 10 ^−5.5 was obtained.

（実施例３）
実施例３では、基板としてＮｉＰめっき層を形成したアルミニウム基板を用い、インプリント時の温度を３００℃とした以外は、実施例１と同様の方法により実施例３の磁気記録媒体を作製した。 (Example 3)
In Example 3, a magnetic recording medium of Example 3 was produced in the same manner as in Example 1 except that an aluminum substrate on which a NiP plating layer was formed was used as the substrate and the temperature during imprinting was set to 300 ° C.

そして、実施例３の磁気記録媒体を磁気記録再生装置に組み込み、記録再生を行った結果、磁気ヘッドの位置決め動作及びデータの記録再生動作が適切であることを確認した。
磁気ヘッドは、読み込み側にＧＭＲ素子を用い、書き込み側を単磁極型としたＧＭＲヘッドを用いた。ヘッドの位置決め信号は、オシロスコープにより観察した。記録再生特性は、線記録密度９６０ｋＦＣＩで評価を行い、１×１０^−５．３のエラーレートが得られた。 As a result of incorporating the magnetic recording medium of Example 3 into the magnetic recording / reproducing apparatus and performing recording / reproducing, it was confirmed that the magnetic head positioning operation and the data recording / reproducing operation were appropriate.
As the magnetic head, a GMR head using a GMR element on the reading side and a single pole type on the writing side was used. The head positioning signal was observed with an oscilloscope. The recording / reproducing characteristics were evaluated at a linear recording density of 960 kFCI, and an error rate of 1 × 10 ^−5.3 was obtained.

（比較例１）
比較例１では、先ず、ポリカーボネートからなる基板（外径４８ｍｍ、厚さ０．５０８ｍｍ、内径１５ｍｍ）を用意し、その表面を洗浄した後に、オーブンにて真空乾燥（１００℃、１ｍｍＨｇ（＝１３３．３２２Ｐａ）、１時間）させた。 (Comparative Example 1)
In Comparative Example 1, first, a substrate made of polycarbonate (outer diameter 48 mm, thickness 0.508 mm, inner diameter 15 mm) was prepared, and the surface was washed, followed by vacuum drying in an oven (100 ° C., 1 mmHg (= 133. 322 Pa) and 1 hour).

次に、この基板をＤＣマグネトロンスパッタ装置（アネルバ社製のＣ−３０１０）の成膜チャンバー内に収容して、到達真空度が１×１０^−５Ｐａとなるまで成膜チャンバー内を排気した。そして、この基板上に、８９Ｃｏ−４Ｚｒ−７Ｎｂ（Ｃｏ含有量８９ａｔ％、Ｚｒ含有量４ａｔ％、Ｎｂ含有量７ａｔ％）のターゲットを用いて、厚さ８０ｎｍの軟磁性層をスパッタ法により形成し、この軟磁性層上に、Ｐｔターゲットを用いて、厚さ３ｎｍの第１の配向層を形成し、この第１の配向層上に、Ｒｕターゲットを用いて、厚さ１２ｎｍの第２の配向層を形成し、この第２の配向層上に、６５Ｃｏ―１０Ｃｒ―１５Ｐｔ−１０ＳｉＯ_２（Ｃｏ含有量６５ｍｏｌ％、Ｃｒ含有量１０ｍｏｌ％、Ｐｔ含有量１５ｍｏｌ％、ＳｉＯ_２含有量１０ｍｏｌ％）のターゲットを用いて、厚さ１２ｎｍの磁性層を形成し、この磁性層上に、カーボンからなる厚さ４ｎｍの保護層を形成することによって、被加工媒体を作製した。 Next, this substrate was accommodated in a film forming chamber of a DC magnetron sputtering apparatus (C-3010 manufactured by Anelva), and the film forming chamber was evacuated until the ultimate vacuum reached 1 × 10 ⁻⁵ Pa. A soft magnetic layer having a thickness of 80 nm is formed on the substrate by sputtering using a target of 89Co-4Zr-7Nb (Co content 89 at%, Zr content 4 at%, Nb content 7 at%). A first alignment layer having a thickness of 3 nm is formed on the soft magnetic layer by using a Pt target, and a second alignment having a thickness of 12 nm is formed on the first alignment layer by using a Ru target. A layer is formed, and a target of 65Co-10Cr-15Pt-10SiO ₂ (Co content 65 mol%, Cr content 10 mol%, Pt content 15 mol%, SiO ₂ content 10 mol%) is formed on the second alignment layer. Was used to form a magnetic layer having a thickness of 12 nm, and a protective layer having a thickness of 4 nm made of carbon was formed on the magnetic layer, thereby manufacturing a medium to be processed.

次に、保護層上に、熱硬化性のレジストをディッピング法により塗布し、レジスト層を形成した。そして、この被加工媒体をインプリント装置のサセプター上にセットし、その上から加圧ピストンの先に接続したＮｉ電鋳製のスタンパを押し付けることによって、トラックパターン及びサーボ情報パターンをレジスト層にインプリント法により転写した。
その後、１５０℃の温度で、１０分ベーキングし、レジスト層を硬化させた。 Next, a thermosetting resist was applied on the protective layer by a dipping method to form a resist layer. Then, this work medium is set on the susceptor of the imprint apparatus, and a Ni electroformed stamper connected to the tip of the pressurizing piston is pressed onto the work medium to imprint the track pattern and servo information pattern into the resist layer. Transferred by printing method.
Thereafter, the resist layer was cured by baking at a temperature of 150 ° C. for 10 minutes.

次に、被加工媒体を真空装置内にセットし、Ａｒガスを用いたイオンビームエッチングによりパターンの凹部に残留したレジスト層を除去した後に、ガスをＳＦ６に切り替えて、反応性エッチングにより凹部の保護層と磁性層及び配向層を除去した。   Next, the processing medium is set in a vacuum apparatus, and after removing the resist layer remaining in the concave portion of the pattern by ion beam etching using Ar gas, the gas is switched to SF6 and the concave portion is protected by reactive etching. The layer, magnetic layer and alignment layer were removed.

次に、被加工媒体からスタンパを分離し、被加工媒体をＤＣマグネトロンスパッタ装置（アネルバ社製のＣ−３０１０）の成膜チャンバー内に収容して、到達真空度が１×１０^−５Ｐａとなるまで成膜チャンバー内を排気した後に、エチレンガスを原料とし、１３．５ＭＨｚのＲＦパワーサプライを用い、ＣＶＤ法により厚さ３ｎｍのＤＬＣからなる保護層を形成した。最後に、保護層の上に、潤滑層としてパーフルオロエーテルを厚さ２ｎｍで形成し、比較例１の磁気記録媒体を作製した。なお、比較例１の磁気記録媒体のトラックパターンは、トラックピッチが１８０ｎｍ、トラック幅が１００ｎｍ、凹凸高低差が３０ｎｍであった。 Next, the stamper is separated from the processing medium, and the processing medium is accommodated in a film forming chamber of a DC magnetron sputtering apparatus (C-3010 manufactured by Anerva Co., Ltd.), and the ultimate vacuum is 1 × 10 ⁻⁵ Pa. After the inside of the film formation chamber was evacuated, a protective layer made of DLC having a thickness of 3 nm was formed by CVD using ethylene gas as a raw material and a 13.5 MHz RF power supply. Finally, a perfluoroether having a thickness of 2 nm was formed as a lubricating layer on the protective layer, and a magnetic recording medium of Comparative Example 1 was produced. The track pattern of the magnetic recording medium of Comparative Example 1 had a track pitch of 180 nm, a track width of 100 nm, and an uneven height difference of 30 nm.

そして、比較例１の磁気記録媒体を磁気記録再生装置に組み込み、記録再生を行った結果、磁気ヘッドの位置決め動作及びデータの記録再生動作が適切であることを確認した。
磁気ヘッドは、読み込み側にＧＭＲ素子を用い、書き込み側を単磁極型としたＧＭＲヘッドを用いた。ヘッドの位置決め信号は、オシロスコープにより観察した。記録再生特性は、線記録密度９６０ｋＦＣＩで評価を行い、１×１０^−４．８のエラーレートが得られた。 Then, the magnetic recording medium of Comparative Example 1 was incorporated into a magnetic recording / reproducing apparatus, and as a result of recording / reproducing, it was confirmed that the magnetic head positioning operation and the data recording / reproducing operation were appropriate.
As the magnetic head, a GMR head using a GMR element on the reading side and a single pole type on the writing side was used. The head positioning signal was observed with an oscilloscope. The recording / reproducing characteristics were evaluated at a linear recording density of 960 kFCI, and an error rate of 1 × 10 ^−4.8 was obtained.

（比較例２）
比較例２では、先ず、ポリカーボネートからなる基板（外径４８ｍｍ、厚さ０．５０８ｍｍ、内径１５ｍｍ）を用意し、この基板の一方の表面にスタンパを押し付けることによって、トラックパターン及びサーボ情報パターンをインプリント法により転写した。そして、この基板の表面を洗浄した後に、オーブンにて真空乾燥（１００℃、１ｍｍＨｇ（＝１３３．３２２Ｐａ）、１時間）させた。 (Comparative Example 2)
In Comparative Example 2, first, a substrate made of polycarbonate (outer diameter 48 mm, thickness 0.508 mm, inner diameter 15 mm) is prepared, and a stamper is pressed against one surface of the substrate, whereby a track pattern and a servo information pattern are imported. Transferred by printing method. Then, after cleaning the surface of the substrate, it was vacuum dried (100 ° C., 1 mmHg (= 133.322 Pa), 1 hour) in an oven.

次に、この基板をＤＣマグネトロンスパッタ装置（アネルバ社製のＣ−３０１０）の成膜チャンバー内に収容して、到達真空度が１×１０^−５Ｐａとなるまで成膜チャンバー内を排気した。そして、この基板上に、８９Ｃｏ−４Ｚｒ−７Ｎｂ（Ｃｏ含有量８９ａｔ％、Ｚｒ含有量４ａｔ％、Ｎｂ含有量７ａｔ％）のターゲットを用いて、厚さ８０ｎｍの軟磁性層をスパッタ法により形成し、この軟磁性層上に、Ｐｔターゲットを用いて、厚さ３ｎｍの第１の配向層を形成し、この第１の配向層上に、Ｒｕターゲットを用いて、厚さ１２ｎｍの第２の配向層を形成し、この第２の配向層上に、６５Ｃｏ―１０Ｃｒ―１５Ｐｔ−１０ＳｉＯ_２（Ｃｏ含有量６５ｍｏｌ％、Ｃｒ含有量１０ｍｏｌ％、Ｐｔ含有量１５ｍｏｌ％、ＳｉＯ_２含有量１０ｍｏｌ％）のターゲットを用いて、厚さ１２ｎｍの磁性層を形成し、この磁性層上に、カーボンからなる厚さ４ｎｍの保護層を形成し、最後に、保護層の上に潤滑層としてパーフルオロエーテルを厚さ２ｎｍで形成した。 Next, this substrate was accommodated in a film forming chamber of a DC magnetron sputtering apparatus (C-3010 manufactured by Anelva), and the film forming chamber was evacuated until the ultimate vacuum reached 1 × 10 ⁻⁵ Pa. A soft magnetic layer having a thickness of 80 nm is formed on the substrate by sputtering using a target of 89Co-4Zr-7Nb (Co content 89 at%, Zr content 4 at%, Nb content 7 at%). A first alignment layer having a thickness of 3 nm is formed on the soft magnetic layer by using a Pt target, and a second alignment having a thickness of 12 nm is formed on the first alignment layer by using a Ru target. A layer is formed, and a target of 65Co-10Cr-15Pt-10SiO ₂ (Co content 65 mol%, Cr content 10 mol%, Pt content 15 mol%, SiO ₂ content 10 mol%) is formed on the second alignment layer. Is used to form a magnetic layer having a thickness of 12 nm, and a protective layer made of carbon having a thickness of 4 nm is formed on the magnetic layer. Finally, a perfluoroacetate as a lubricating layer is formed on the protective layer. It was formed Le a thickness of 2 nm.

次に、サーボライト装置に組み込み、磁気ヘッドを用いて、強書き込み電流によりサーボ領域をＤＣフォーマットした後に、弱い書き込み電流により凸部のみ逆の磁化に反転させることによって、比較例２の磁気記録媒体を作製した。なお、比較例２の磁気記録媒体に書き込んだトラックは、トラックピッチが１８０ｎｍ、トラック幅が８０ｎｍ、凹凸高低差が８０ｎｍであった。   Next, the magnetic recording medium of Comparative Example 2 is incorporated into a servo write device, and after a servo area is DC formatted with a strong write current using a magnetic head, only the convex portion is reversed to a reverse magnetization by a weak write current. Was made. The track written on the magnetic recording medium of Comparative Example 2 had a track pitch of 180 nm, a track width of 80 nm, and an uneven height difference of 80 nm.

そして、比較例２の磁気記録媒体を磁気記録再生装置に組み込み、記録再生を行った。
磁気ヘッドは、読み込み側にＧＭＲ素子を用い、書き込み側を単磁極型としたＧＭＲヘッドを用いた。ヘッドの位置決め信号は、オシロスコープにより観察した。その結果、ヘッドの位置決めについては、十分な信号強度とＳ／Ｎ比が得られず、ヘッドの位置決め動作を適切に行うことができなかった。記録再生特性は、線記録密度９６０ｋＦＣＩで評価を行ったが、１×１０^−２．３のエラーレートしか得られなかった。また、オシロスコープによりトラック波形を観察したところ、データ波形に不規則な振幅が観察され、ヘッドの位置決め不良により、データの記録再生動作が不安定となることがわかった。 Then, the magnetic recording medium of Comparative Example 2 was incorporated in a magnetic recording / reproducing apparatus, and recording / reproducing was performed.
As the magnetic head, a GMR head using a GMR element on the reading side and a single pole type on the writing side was used. The head positioning signal was observed with an oscilloscope. As a result, with respect to the head positioning, a sufficient signal strength and S / N ratio could not be obtained, and the head positioning operation could not be performed appropriately. The recording / reproducing characteristics were evaluated at a linear recording density of 960 kFCI, but only an error rate of 1 × 10 ^−2.3 was obtained. Further, when the track waveform was observed with an oscilloscope, irregular amplitude was observed in the data waveform, and it was found that the recording / reproducing operation of the data became unstable due to the poor positioning of the head.

（比較例３）
比較例３では、先ず、ポリカーボネートからなる基板（外径４８ｍｍ、厚さ０．５０８ｍｍ、内径１５ｍｍ）を用意し、その表面を洗浄した後に、オーブンにて真空乾燥（１００℃、１ｍｍＨｇ（＝１３３．３２２Ｐａ）、１時間）させた。 (Comparative Example 3)
In Comparative Example 3, first, a substrate made of polycarbonate (outer diameter 48 mm, thickness 0.508 mm, inner diameter 15 mm) was prepared, the surface was washed, and then vacuum-dried (100 ° C., 1 mmHg (= 133. 322 Pa) and 1 hour).

次に、この基板をＤＣマグネトロンスパッタ装置（アネルバ社製のＣ−３０１０）の成膜チャンバー内に収容して、到達真空度が１×１０^−５Ｐａとなるまで成膜チャンバー内を排気した。そして、この基板上に、８９Ｃｏ−４Ｚｒ−７Ｎｂ（Ｃｏ含有量８９ａｔ％、Ｚｒ含有量４ａｔ％、Ｎｂ含有量７ａｔ％）のターゲットを用いて、厚さ８０ｎｍの軟磁性層をスパッタ法により形成し、この軟磁性層上に、Ｐｔターゲットを用いて、厚さ３ｎｍの第１の配向層を形成し、この第１の配向層上に、Ｒｕターゲットを用いて、厚さ１２ｎｍの第２の配向層を形成し、この第２の配向層上に、６５Ｃｏ―１０Ｃｒ―１５Ｐｔ−１０ＳｉＯ_２（Ｃｏ含有量６５ｍｏｌ％、Ｃｒ含有量１０ｍｏｌ％、Ｐｔ含有量１５ｍｏｌ％、ＳｉＯ_２含有量１０ｍｏｌ％）のターゲットを用いて、厚さ１２ｎｍの磁性層を形成し、この磁性層上に、カーボンからなる厚さ４ｎｍの保護層を形成し、最後に、保護層の上に潤滑層としてパーフルオロエーテルを厚さ２ｎｍで形成した。 Next, this substrate was accommodated in a film forming chamber of a DC magnetron sputtering apparatus (C-3010 manufactured by Anelva), and the film forming chamber was evacuated until the ultimate vacuum reached 1 × 10 ⁻⁵ Pa. A soft magnetic layer having a thickness of 80 nm is formed on the substrate by sputtering using a target of 89Co-4Zr-7Nb (Co content 89 at%, Zr content 4 at%, Nb content 7 at%). A first alignment layer having a thickness of 3 nm is formed on the soft magnetic layer by using a Pt target, and a second alignment having a thickness of 12 nm is formed on the first alignment layer by using a Ru target. A layer is formed, and a target of 65Co-10Cr-15Pt-10SiO ₂ (Co content 65 mol%, Cr content 10 mol%, Pt content 15 mol%, SiO ₂ content 10 mol%) is formed on the second alignment layer. Is used to form a magnetic layer having a thickness of 12 nm, and a protective layer made of carbon having a thickness of 4 nm is formed on the magnetic layer. Finally, a perfluoroacetate as a lubricating layer is formed on the protective layer. It was formed Le a thickness of 2 nm.

次に、サーボライト装置に組み込み、専用ヘッドを用いてサーボ信号など所定の信号を書き込むことによって、比較例３の磁気記録媒体を作製した。なお、比較例３の磁気記録媒体に書き込んだトラックは、トラックピッチが１８０ｎｍ、トラック幅が１００ｎｍであった。   Next, the magnetic recording medium of Comparative Example 3 was fabricated by incorporating a predetermined signal such as a servo signal using a dedicated head into a servo write device. The track written on the magnetic recording medium of Comparative Example 3 had a track pitch of 180 nm and a track width of 100 nm.

そして、比較例３の磁気記録媒体を磁気記録再生装置に組み込み、記録再生を行った結果、磁気ヘッドの位置決め動作及びデータの記録再生動作が適切であることを確認した。
磁気ヘッドは、読み込み側にＧＭＲ素子を用い、書き込み側を単磁極型としたＧＭＲヘッドを用いた。ヘッドの位置決め信号は、オシロスコープにより観察した。記録再生特性は、線記録密度９６０ｋＦＣＩで評価を行い、１×１０^−４．２のエラーレートが得られた。
以下、実施例１及び比較例１〜３のヘッド位置決め及びＲ／Ｗ特性（エラーレート）の評価結果を表１に示す。なお、表１中において、○は、ヘッドの位置決めが良好の場合を示し、×は、ヘッドの位置決めが不良の場合を示す。 As a result of incorporating the magnetic recording medium of Comparative Example 3 in the magnetic recording / reproducing apparatus and performing recording / reproducing, it was confirmed that the magnetic head positioning operation and the data recording / reproducing operation were appropriate.
As the magnetic head, a GMR head using a GMR element on the reading side and a single pole type on the writing side was used. The head positioning signal was observed with an oscilloscope. The recording / reproducing characteristics were evaluated at a linear recording density of 960 kFCI, and an error rate of 1 × 10 ^−4.2 was obtained.
The head positioning and R / W characteristic (error rate) evaluation results of Example 1 and Comparative Examples 1 to 3 are shown in Table 1 below. In Table 1, ◯ indicates a case where the head positioning is good, and x indicates a case where the head positioning is poor.

表１に示す評価結果から、実施例１は、ヘッドの位置決めができ、さらに比較例１〜３に比べてエラーレートが優れていることがわかる。具体的に、実施例１は、比較例１と比較すると、磁性層の加工による磁気特性の劣化が生じないため、比較例１よりも優れたエラーレートを得ている。また、実施例１は、比較例２と比較してヘッドの位置決めが良好のため、エラーレートの測定が精度良くできる。また、実施例１は、比較例３と比較して、トラックエッジに由来するノイズが小さいため、より優れたエラーレートが得られる。   From the evaluation results shown in Table 1, it can be seen that in Example 1, the head can be positioned and the error rate is superior to those of Comparative Examples 1 to 3. Specifically, compared with Comparative Example 1, Example 1 obtains an error rate superior to that of Comparative Example 1 because the magnetic characteristics are not deteriorated by processing of the magnetic layer. Further, since the head positioning of the first embodiment is better than that of the second comparative example, the error rate can be measured with high accuracy. Further, in Example 1, compared with Comparative Example 3, since noise derived from the track edge is small, a better error rate can be obtained.

次に、実施例１及び比較例１〜３について、トラックピッチを変えたサンプルを作製し、サーボ信号強度を比較した結果を図８に示す。なお、図８に示すサーボ信号強度は、比較例３の方法で作製したトラックピッチ２６０ｎｍの媒体を１として規格化した値を示す。
また、実施例１及び比較例１〜３について、トラックピッチを変えたサンプルを作製し、エラーレートを比較した結果を図９に示す。
図８及び図９に示す結果から、実施例１は、トラックピッチが１８０ｎｍ以下であっても、良好なサーボ信号強度が得られ、１６０ｎｍのトラックピッチにおいてもエラーレートの劣化が少ないことがわかる。 Next, for Example 1 and Comparative Examples 1 to 3, samples with different track pitches were prepared, and the results of comparing the servo signal strength are shown in FIG. The servo signal intensity shown in FIG. 8 shows a value normalized with a medium having a track pitch of 260 nm manufactured by the method of Comparative Example 3 as 1.
Moreover, about Example 1 and Comparative Examples 1-3, the sample which changed the track pitch was produced, and the result of having compared the error rate is shown in FIG.
From the results shown in FIGS. 8 and 9, it can be seen that Example 1 can obtain a good servo signal intensity even when the track pitch is 180 nm or less, and that the error rate is hardly deteriorated even at a track pitch of 160 nm.

次に、実施例１及び比較例１，２について、それぞれ５０００枚の磁気記録媒体を作製した際のデータを元に、スループットを算出した。なお、スループットは、基板作製（洗浄又は成形）から潤滑層の塗布、それからサーボ領域のフォーマットまでとした。以下、実施例１及び比較例１，２のスループットを表２に示す。   Next, for Example 1 and Comparative Examples 1 and 2, the throughput was calculated based on the data when 5000 magnetic recording media were produced. Note that the throughput ranged from substrate fabrication (cleaning or molding) to lubrication layer coating and then servo area formatting. The throughputs of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 are shown in Table 2 below.

表２に示す結果から、実施例１は、比較例１，２よりも良好な生産性を有していることがわかる。一方、比較例１は、磁性層の加工に時間がかかり、スループットを稼ぐことができない。また、比較例２は、媒体作製後に、サーボ領域のフォーマット（凹凸で逆向きに磁化させること）が必要となるため、スループットを低下させてしまう。   From the results shown in Table 2, it can be seen that Example 1 has better productivity than Comparative Examples 1 and 2. On the other hand, in Comparative Example 1, it takes time to process the magnetic layer, and the throughput cannot be achieved. Moreover, since the comparative example 2 requires the format of the servo area (magnetization in the reverse direction with the unevenness) after the medium is manufactured, the throughput is lowered.

次に、実施例１について、凹凸の高低差を変えた媒体を作製し、サーボ信号の強度を比較した結果を図１０に示す。なお、図１０に示すサーボ信号強度は、比較例３の方法で作製したトラックピッチ２６０ｎｍの媒体を１として規格化した値を示す。
図１０に示す結果から、凹凸の高低差が１０〜１００ｎｍの範囲で、良好なサーボ信号強度が得られ、更に好ましくは、５０〜１００ｎｍの範囲である。凹凸の高低差が１０ｎｍ未満になると、サーボ信号強度が大幅に低下する一方、１００ｎｍを超えると、サーボ信号強度が大きくなるが、１トラック当たりの信号強度の振幅が大きくなる。なお、１５０ｎｍでは、精度良く信号を測定できなかった。さらに、１８０ｎｍを越えると、ヘッドと媒体の接触により、信号そのものが得られなくなった。これは、サーボ領域でヘッドの飛行高度が下がり、ヘッドの飛行安定性が損なわれた結果と考えられる。このことから、凹凸の高低差は、１００ｎｍ以下とすることで、ヘッドの飛行安定性を確保することができる。 Next, with respect to Example 1, a medium in which the unevenness of the unevenness is changed and the servo signal strengths are compared are shown in FIG. Note that the servo signal intensity shown in FIG. 10 shows a value normalized with a medium having a track pitch of 260 nm manufactured by the method of Comparative Example 3 as 1.
From the results shown in FIG. 10, good servo signal intensity can be obtained when the unevenness of the unevenness is in the range of 10 to 100 nm, and more preferably in the range of 50 to 100 nm. When the unevenness level difference is less than 10 nm, the servo signal strength is significantly reduced. On the other hand, when it exceeds 100 nm, the servo signal strength is increased, but the amplitude of the signal strength per track is increased. At 150 nm, the signal could not be measured with high accuracy. Further, if the thickness exceeds 180 nm, the signal itself cannot be obtained due to the contact between the head and the medium. This is considered to be a result of the head flight altitude being lowered in the servo region and the flight stability of the head being impaired. Therefore, the flight stability of the head can be ensured by setting the height difference of the unevenness to 100 nm or less.

次に、実施例１について、凹凸の高低差を変えた媒体を作製し、媒体の加工性について測定した測定結果を図１１に示す。なお、図１１は、実施例１の磁気記録媒体を１００枚作製したときに、パターンに欠損した部位があるディスクの割合（％）を示したものである。図１１に示す結果から、凹凸の高低差が１００ｎｍを超えると、パターンの加工不良の発生率が大きくなることがわかる。   Next, with respect to Example 1, a medium in which the unevenness of the unevenness is changed is produced, and the measurement result obtained by measuring the workability of the medium is shown in FIG. FIG. 11 shows the ratio (%) of a disk having a portion lacking in the pattern when 100 magnetic recording media of Example 1 were produced. From the results shown in FIG. 11, it can be seen that when the height difference of the unevenness exceeds 100 nm, the incidence of pattern processing defects increases.

次に、凸部の先端部の丸みを変えたスタンパを用い、トラックピッチを変えて、実施例１の製造方法で作製した磁気記録媒体のエラーレートについて測定した結果を図１２に示す。なお、図１２に示すエラーレートは、特定のトラックにデータを９６０ｋＦＣＩで記録したときのエラーレートを基準とし、その後、径方向に隣接するトラックに同じくデータを書き込んだ後に、先の特定トラックのエラーレートを測定し、基準とする隣接トラックにデータを記録する前のエラーレートとの比とする。
図１２に示す測定結果から、スタンパの凸部の先端形状が、凸部の曲面の曲率半径をＲとし、凸部の幅をＷとしたときに、０．７５Ｗ≦Ｒであれば、隣接トラックへのデータ記録によるエラーレートの劣化が少ないことがわかる。一方、０．７５Ｗ＞Ｒになると、トラックピッチを狭めた際に、フリンジによる隣接トラックへのデータ記録によるエラーレートの著しい劣化がみられた。 Next, FIG. 12 shows the result of measuring the error rate of the magnetic recording medium manufactured by the manufacturing method of Example 1 using a stamper with a rounded tip at the convex portion and changing the track pitch. The error rate shown in FIG. 12 is based on the error rate when data is recorded on a specific track at 960 kFCI, and after the same data is written on the track adjacent in the radial direction, the error of the previous specific track is recorded. The rate is measured and set as a ratio to the error rate before data is recorded on the reference adjacent track.
From the measurement results shown in FIG. 12, if the tip shape of the convex portion of the stamper is 0.75 W ≦ R when the curvature radius of the curved surface of the convex portion is R and the width of the convex portion is W, the adjacent track It can be seen that there is little degradation of the error rate due to data recording. On the other hand, when 0.75 W> R, when the track pitch was narrowed, the error rate was significantly deteriorated due to data recording on the adjacent track due to the fringe.

次に、実施例１について、溝部５の底部５ａの磁気記録層２の残厚が異なる媒体を作製し、エラーレートについて測定した結果を図１３に示す。トラックピッチは、１６０ｎｍ、凹凸差とした。また、溝部５の底部５ａの磁気記録層２の残厚は、スタンパの凸部の先端部の丸みを変えることにより変化させた。
図１３に示すエラーレートは、特定のトラックにデータを９６０ｋＦＣＩで記録した時のエラーレートを基準とし、その後、径方向に隣接するトラックに同様にデータを書き込んだ後、先の特定トラックのエラーレートを測定し、基準とする隣接トラックにデータを記録する前のエラーレートとの比とする。
また、溝部５の底部５ａの磁気記録層２の残厚は、断面ＴＥＭにより計測し、溝部５の底部５ａに残った磁気記録層２の平均の厚さを示した。
図１３に示す結果から、溝部５の底部５ａの磁気記録層２の残厚を２ｎｍ以下、好ましくは１ｎｍ以下とすることで、フリンジによるエラーレートの劣化が少なくなることがわかる。一方、２ｎｍを超える磁性層が溝底部に残留した場合、フリンジによるエラーレートの劣化がみられた。 Next, for Example 1, media in which the remaining thickness of the magnetic recording layer 2 at the bottom 5a of the groove 5 is different and the error rate measured are shown in FIG. The track pitch was 160 nm and the unevenness difference. The remaining thickness of the magnetic recording layer 2 at the bottom 5a of the groove 5 was changed by changing the roundness of the tip of the convex portion of the stamper.
The error rate shown in FIG. 13 is based on the error rate when data is recorded on a specific track at 960 kFCI, and after the data is similarly written on the track adjacent in the radial direction, the error rate of the previous specific track And the ratio to the error rate before recording data on the adjacent track as a reference.
Further, the remaining thickness of the magnetic recording layer 2 at the bottom 5a of the groove 5 was measured by a cross-sectional TEM, and the average thickness of the magnetic recording layer 2 remaining at the bottom 5a of the groove 5 was shown.
From the results shown in FIG. 13, it can be seen that the deterioration of the error rate due to fringing is reduced by setting the remaining thickness of the magnetic recording layer 2 at the bottom 5a of the groove 5 to 2 nm or less, preferably 1 nm or less. On the other hand, when the magnetic layer exceeding 2 nm remained at the bottom of the groove, the error rate was deteriorated due to fringe.

次に、スタンパの寿命について測定した結果を表３に示す。なお、表３は、同一のスタンパを用い、磁気記録媒体に形成されたパターンの凹部の形状が初期形状から１０％変形したときの作製枚数を示す。なお、作製枚数の上限は５０００枚とし、数値が記入されていない箇所は、形状の劣化が観測されなかったことを示す。   Next, Table 3 shows the measurement results of the stamper life. Table 3 shows the number of sheets produced when the same stamper was used and the shape of the concave portion of the pattern formed on the magnetic recording medium was deformed by 10% from the initial shape. Note that the upper limit of the number of manufactured sheets is 5000, and portions where no numerical value is entered indicate that no shape deterioration was observed.

表３に示す測定結果から、スタンパの凸部の先端形状が、凸部の曲面の曲率半径をＲとし、凸部の幅をＷとしたときに、Ｒ≦１．２５Ｗであれば、十分な寿命を有していることがわかる。一方、Ｒ＞１．２５Ｗになると、先端形状の劣化により寿命が短くなる。   From the measurement results shown in Table 3, it is sufficient that the tip shape of the convex portion of the stamper is R ≦ 1.25 W when the curvature radius of the curved surface of the convex portion is R and the width of the convex portion is W. It can be seen that it has a lifetime. On the other hand, when R> 1.25W, the life is shortened due to the deterioration of the tip shape.

図１は、本発明を適用した磁気記録媒体の構造を示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing the structure of a magnetic recording medium to which the present invention is applied. 図２は、図１に示す磁気記録媒体の製造工程を示す概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing process of the magnetic recording medium shown in FIG. 図３は、スタンパを示す概略断面図である。FIG. 3 is a schematic sectional view showing the stamper. 図４は、スタンパの凸部を拡大して示す断面図である。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing the convex portion of the stamper. 図５は、スタンパの作製工程を示す概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a stamper manufacturing process. 図６は、磁気記録媒体に配向層を配置した構成を示す概略断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a configuration in which an alignment layer is arranged on a magnetic recording medium. 図７は、磁気記録媒体に軟磁性層を配置した構成を示す概略断面図である。FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing a configuration in which a soft magnetic layer is arranged on a magnetic recording medium. 図８は、トラックピッチとサーボ強度信号との関係を示すグラフである。FIG. 8 is a graph showing the relationship between the track pitch and the servo intensity signal. 図９は、トラックピッチとエラーレートとの関係を示すグラフである。FIG. 9 is a graph showing the relationship between the track pitch and the error rate. 図１０は、凹凸の高低差とサーボ強度信号との関係を示すグラフである。FIG. 10 is a graph showing the relationship between the height difference of the unevenness and the servo intensity signal. 図１１は、凹凸の高低差と加工不良発生率との関係を示すグラフである。FIG. 11 is a graph showing the relationship between the level difference of the unevenness and the processing defect occurrence rate. 図１２は、トラックピッチとエラーレート劣化との関係を示すグラフである。FIG. 12 is a graph showing the relationship between track pitch and error rate degradation. 図１３は、溝部の磁性層残厚とエラーレートとの関係を示すグラフである。FIG. 13 is a graph showing the relationship between the residual magnetic layer thickness in the groove and the error rate.

符号の説明Explanation of symbols

１Ａ…被加工媒体 １…ディスク基板、２…磁気記録層 ３…保護層 ４…磁気トラック ５…溝部 ６…配向層 ７…軟磁性層 １０…凸部 １１…スタンパ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1A ... Processing medium 1 ... Disk substrate 2 ... Magnetic recording layer 3 ... Protective layer 4 ... Magnetic track 5 ... Groove part 6 ... Orientation layer 7 ... Soft magnetic layer 10 ... Convex part 11 ... Stamper

Claims (11)

主表面に磁気トラックが同心円状に配置され、径方向に隣接する磁気トラック間同士を磁気的に分離するための溝部が形成されてなる磁気記録媒体の製造方法であって、
少なくとも平坦な基板の上に磁気記録層を形成した被加工媒体を作製した後に、この被加工媒体の主表面に前記溝部に対応した凸部を有するスタンパを押し付けることによって、前記磁気トラックの間に前記凸部の形状が転写された前記溝部を形成し、
前記スタンパは、前記凸部の先端部を曲面とし、この曲面の曲率半径をＲとし、前記凸部の幅をＷとしたときに、０．７５Ｗ≦Ｒ≦１．２５Ｗの関係を満足することを特徴とする記載の磁気記録媒体の製造方法。 Magnetic track on the main surface is arranged in the same heart circle, a method of manufacturing a magnetic recording medium which groove is formed for separating each other between the magnetic track adjacent to the radially magnetically,
After producing a processing medium in which a magnetic recording layer is formed on at least a flat substrate, a stamper having a convex portion corresponding to the groove is pressed against the main surface of the processing medium, so that a gap between the magnetic tracks is obtained. Forming the groove portion to which the shape of the convex portion is transferred ;
The stamper satisfies the relationship of 0.75 W ≦ R ≦ 1.25 W, where the tip of the convex portion is a curved surface, the radius of curvature of the curved surface is R, and the width of the convex portion is W. A method for producing a magnetic recording medium according to claim. 前記溝部の深さを５０〜１００ｎｍとすることを特徴とすることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の製造方法。 2. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the depth of the groove is 50 to 100 nm. 前記基板の上に前記磁気記録層を形成し、この上に保護層を形成した被加工媒体を作製した後に、前記被加工媒体の主表面に前記スタンパを押し付けることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の磁気記録媒体の製造方法。 The magnetic recording layer is formed on the substrate, after forming the workpiece medium to form a protective layer thereon, according to claim 1 or, characterized in that pressing the stamper to the main surface of the processed medium A method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 2 . 前記被加工媒体の主表面に前記スタンパを押し付けた後に、前記磁気記録層の上に保護層を形成することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の磁気記録媒体の製造方法。 Wherein after pressing the stamper to the main surface of the workpiece medium, method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1 or claim 2, characterized in that to form a protective layer on the magnetic recording layer. 前記基板に前記凸部の形状が転写されるまで、前記スタンパを前記被加工媒体に押し付けることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。 Until the shape of the convex portion on the substrate is transferred, the method for producing a magnetic recording medium according to any one of claim 1 to 4, characterized in that pressing the stamper to the processed medium. 前記溝部の底部で前記磁気記録層の厚みが薄くなるまで、前記スタンパを前記被加工媒体に押し付けることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。 Until said thickness of the magnetic recording layer at the bottom of the groove becomes thinner, manufacturing method of a magnetic recording medium according to any one of claim 1 to 5, characterized in that pressing the stamper to the processed medium. 前記溝部の底部で前記磁気記録層が分断されるまで、前記スタンパを前記被加工媒体に押し付けることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。 Wherein to said magnetic recording layer at the bottom of the groove is cut, a manufacturing method of a magnetic recording medium according to any one of claim 1 to 5, characterized in that pressing the stamper to the processed medium. 前記磁気記録層は、垂直磁気異方性を有していることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。 The magnetic recording layer, the method of manufacturing a magnetic recording medium according to any one of claim 1 to 7, characterized in that it has a perpendicular magnetic anisotropy. 前記基板と前記磁気記録層との間に配向層を配置することを特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。 The method of manufacturing a magnetic recording medium according to any one of claims 1-8, characterized in that disposing an alignment layer between the substrate and the magnetic recording layer. 前記基板と前記配向層との間に軟磁性層を配置することを特徴とする請求項９に記載の磁気記録媒体の製造方法。 The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 9 , wherein a soft magnetic layer is disposed between the substrate and the alignment layer. 前記基板は、プラスティック、ガラス、アルミニウム合金の何れか１つからなることを特徴とする請求項１〜１０の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。 The substrate, plastic, glass, manufacturing method of a magnetic recording medium according to any one of claim 1 to 10, characterized in that consists of any one of aluminum alloy.

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