JP4417100B2 - X線分析方法、x線分析装置及びコンピュータプログラム - Google Patents
X線分析方法、x線分析装置及びコンピュータプログラム Download PDFInfo
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Description
s=SR1+(SC1×r)
となり、
r=(s−SR1)/SC1
である。CPU21は、RAM22に記憶されているs,SR1,SC1を用いてrを算出する。
3 載台
5 X線導管
7 検出手段
10 試料
15 撮像手段
16 計測手段
17 コンピュータ
21 CPU
23 ハードディスク
24 外部記憶部
Claims (5)
- 被覆材で物体を被覆してなる被照射体にX線を照射し、照射により発生した蛍光X線強度及び散乱X線強度を計測し、散乱X線強度を用いて蛍光X線強度を補正し、補正した蛍光X線強度を用いて前記被覆材の定量分析を行うX線分析方法において、
前記物体の蛍光X線強度と被照射体厚さとの対応関係に基づいて、前記物体の蛍光X線強度の計測値に対応する第1の被照射体厚さを決定するステップと、
前記物体の散乱X線強度と被照射体厚さとの対応関係に基づいて、決定した第1の被照射体厚さに対応する前記物体の散乱X線強度を決定するステップと、
前記被覆材の散乱X線強度と被照射体厚さとの対応関係に基づいて、決定した第1の被照射体厚さに対応する前記被覆材の仮の散乱X線強度を決定するステップと、
計測した散乱X線強度、前記物体の散乱X線強度、及び前記被覆材の仮の散乱X線強度に応じて、被照射体のX線照射部分における前記物体の割合を算出するステップと、
前記物体の蛍光X線強度と被照射体厚さとの対応関係において、被照射体厚さに対応する前記物体の蛍光X線強度に、算出した前記割合を乗じることにより、前記割合に応じた蛍光X線強度特性を求めるステップと、
前記割合に応じた蛍光X線強度特性において前記物体の蛍光X線強度の計測値に対応する第2の被照射体厚さを決定するステップと、
前記被覆材の散乱X線強度と被照射体厚さとの対応関係に基づいて、決定した第2の被照射体厚さに対応する前記被覆材の散乱X線強度を算出するステップと
を有し、算出した前記被覆材の散乱X線強度を用いて前記被覆材の蛍光X線強度の計測値を補正し、補正した蛍光X線強度の計測値を用いて前記被覆材の定量分析を行うことを特徴とするX線分析方法。 - 合成樹脂で銅を被覆してなる被照射体にX線を照射し、前記合成樹脂の定量分析を行うことを特徴とする請求項1記載のX線分析方法。
- 被覆材で物体を被覆してなる被照射体にX線を照射し、照射により発生した蛍光X線強度及び散乱X線強度を計測し、散乱X線強度を用いて蛍光X線強度を補正し、補正した蛍光X線強度を用いて前記被覆材の定量分析を行うX線分析装置において、
前記物体の蛍光X線強度と被照射体厚さとの対応関係、前記物体の散乱X線強度と被照射体厚さとの対応関係、及び前記被覆材の散乱X線強度と被照射体厚さとの対応関係を記憶する記憶部と、
該記憶部に記憶された前記物体の蛍光X線強度と被照射体厚さとの対応関係に基づいて、前記物体の蛍光X線強度の計測値に対応する第1の被照射体厚さを決定する手段と、
前記記憶部に記憶された前記物体の散乱X線強度と被照射体厚さとの対応関係に基づいて、決定した第1の被照射体厚さに対応する前記物体の散乱X線強度を決定する手段と、
前記記憶部に記憶された前記被覆材の散乱X線強度と被照射体厚さとの対応関係に基づいて、決定した第1の被照射体厚さに対応する前記被覆材の仮の散乱X線強度を決定する手段と、
計測した散乱X線強度、前記物体の散乱X線強度、及び前記被覆材の仮の散乱X線強度に応じて、被照射体のX線照射部分における前記物体の割合を算出する手段と、
前記記憶部に記憶された前記物体の蛍光X線強度と被照射体厚さとの対応関係において、被照射体厚さに対応する前記物体の蛍光X線強度に、算出した前記割合を乗じることにより、前記割合に応じた蛍光X線強度特性を求める手段と、
前記割合に応じた蛍光X線強度特性において前記物体の蛍光X線強度の計測値に対応する第2の被照射体厚さを決定する手段と、
前記記憶部に記憶された前記被覆材の散乱X線強度と被照射体厚さとの対応関係に基づいて、決定した第2の被照射体厚さに対応する前記被覆材の散乱X線強度を算出する算出手段と
を備え、該算出手段で算出した前記被覆材の散乱X線強度を用いて前記被覆材の蛍光X線強度の計測値を補正し、補正した蛍光X線強度の計測値を用いて前記被覆材の定量分析を行うように構成されていることを特徴とするX線分析装置。 - 第1の被照射体厚さと第2の被照射体厚さとの差を求め、求めた差の絶対値と予め定められた値との比較を行う手段と、
前記差の絶対値が予め定められた値よりも大きい場合に、第1の被照射体厚さに前記第2の被照射体厚さを代入し、前記物体の散乱X線強度を決定する手段、前記被覆材の仮の散乱X線強度を決定する手段、前記割合を算出する手段、前記割合に応じた蛍光X線強度特性を求める手段、第2の被照射体厚さを決定する手段、及び前記比較を行う手段の動作を繰り返す手段とを更に備え、
前記算出手段は、
前記差の絶対値が予め定められた値以下である場合に、第2の被照射体厚さに対応する前記被覆材の散乱X線強度を算出するように構成されていること
を特徴とする請求項3記載のX線分析装置。 - 被覆材で物体を被覆してなる被照射体にX線を照射した際に発生する蛍光X線強度及び散乱X線強度の計測データを受付けたコンピュータに、散乱X線強度を用いた蛍光X線強度の補正処理を実行させ、補正した蛍光X線強度を用いた前記被覆材の定量分析処理を実行させるコンピュータプログラムにおいて、
コンピュータに、前記物体の蛍光X線強度と被照射体厚さとの対応関係に基づいて、前記物体の蛍光X線強度の計測値に対応する第1の被照射体厚さを決定させる手順と、
コンピュータに、前記物体の散乱X線強度と被照射体厚さとの対応関係に基づいて、決定した第1の被照射体厚さに対応する前記物体の散乱X線強度を決定させる手順と、
コンピュータに、前記被覆材の散乱X線強度と被照射体厚さとの対応関係に基づいて、決定した第1の被照射体厚さに対応する前記被覆材の仮の散乱X線強度を決定させる手順と、
コンピュータに、計測した散乱X線強度、前記物体の散乱X線強度、及び前記被覆材の仮の散乱X線強度に応じて、被照射体のX線照射部分における前記物体の割合を算出させる手順と、
コンピュータに、前記物体の蛍光X線強度と被照射体厚さとの対応関係において、被照射体厚さに対応する前記物体の蛍光X線強度に、算出した前記割合を乗じることにより、前記割合に応じた蛍光X線強度特性を求めさせる手順と、
コンピュータに、前記割合に応じた蛍光X線強度特性において前記物体の蛍光X線強度の計測値に対応する第2の被照射体厚さを決定させる手順と、
コンピュータに、前記被覆材の散乱X線強度と被照射体厚さとの対応関係に基づいて、決定した第2の被照射体厚さに対応する前記被覆材の散乱X線強度を算出させる手順と
を含み、コンピュータに、算出した前記被覆材の散乱X線強度を用いて前記被覆材の蛍光X線強度の計測値を補正させ、補正した蛍光X線強度の計測値を用いて前記被覆材の定量分析を実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
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