JP4407585B2 - LIGHTING DEVICE, IMAGE DISPLAY DEVICE, AND PROJECTOR - Google Patents

LIGHTING DEVICE, IMAGE DISPLAY DEVICE, AND PROJECTOR Download PDF

Info

Publication number
JP4407585B2
JP4407585B2 JP2005213493A JP2005213493A JP4407585B2 JP 4407585 B2 JP4407585 B2 JP 4407585B2 JP 2005213493 A JP2005213493 A JP 2005213493A JP 2005213493 A JP2005213493 A JP 2005213493A JP 4407585 B2 JP4407585 B2 JP 4407585B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diffractive optical
optical element
light
laser light
light source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005213493A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007033576A (en
Inventor
泰介 山内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2005213493A priority Critical patent/JP4407585B2/en
Priority to CN200610100296XA priority patent/CN1900759B/en
Priority to US11/490,264 priority patent/US7583875B2/en
Publication of JP2007033576A publication Critical patent/JP2007033576A/en
Priority to US12/458,938 priority patent/US7856160B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4407585B2 publication Critical patent/JP4407585B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Projection Apparatus (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Description

本発明は、照明装置及び画像表示装置、並びにプロジェクタに関するものである。   The present invention relates to an illumination device, an image display device, and a projector.

液晶装置等の空間光変調装置で生成された画像情報を含む色光を投射系を用いてスクリーン上に投射する投射型画像表示装置（プロジェクタ）において、光源にレーザを用いる技術が提案されている。
特開平１１−６４７８９号公報 特開２０００−１６２５４８号公報 In a projection-type image display device (projector) that projects color light including image information generated by a spatial light modulation device such as a liquid crystal device on a screen using a projection system, a technique using a laser as a light source has been proposed.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-64789 JP 2000-162548 A

レーザ光により空間光変調装置の入射面を均一な照度分布で照明するために所定の光学系を用いる場合、光学系の構成によっては、装置の大型化や複雑化、あるいは装置コストの上昇を招く可能性がある。また、光学系の構成によっては、光利用効率等の低下を招く可能性がある。   When a predetermined optical system is used to illuminate the incident surface of the spatial light modulator with a uniform illuminance distribution using laser light, the size and complexity of the device or the cost of the device may increase depending on the configuration of the optical system. there is a possibility. In addition, depending on the configuration of the optical system, there is a possibility that the light use efficiency and the like are reduced.

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、装置の大型化や複雑化、あるいは装置コストの上昇を抑え、所定面を効率良く照明できる照明装置を提供することを目的とする。また、照明装置で照明された光を用いて画像を表示する画像表示装置、並びにプロジェクタを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an illumination device that can efficiently illuminate a predetermined surface while suppressing an increase in size and complexity of the device or an increase in device cost. Another object of the present invention is to provide an image display device that displays an image using light illuminated by an illumination device, and a projector.

上記の課題を解決するため、本発明は以下の構成を採用する。   In order to solve the above problems, the present invention adopts the following configuration.

本発明の第１の観点によると、レーザ光を射出するレーザ光源装置と、前記レーザ光源装置から射出されたレーザ光が入射されるとともに、該入射されたレーザ光により回折光を生成し、前記回折光で第１面上を所定の照明領域で照明する回折光学素子とを備えた照明装置が提供される。   According to a first aspect of the present invention, a laser light source device that emits laser light, a laser light emitted from the laser light source device is incident, and diffracted light is generated by the incident laser light, An illuminating device including a diffractive optical element that illuminates a first surface with a diffracted light in a predetermined illumination area is provided.

本発明によれば、装置の大型化や複雑化、あるいは装置コストの上昇を抑え、第１面を高い照度で効率良く照明することができる。   According to the present invention, it is possible to efficiently illuminate the first surface with high illuminance while suppressing an increase in size and complexity of the device or an increase in device cost.

本発明の照明装置において、前記回折光学素子は前記第１面上を矩形状の照明領域で照明する構成を採用することができる。これにより、照明領域を効率良く照明することができる。   In the illumination device of the present invention, the diffractive optical element may employ a configuration in which the first surface is illuminated with a rectangular illumination area. Thereby, an illumination area | region can be illuminated efficiently.

本発明の照明装置において、前記回折光学素子は前記照明領域での照度を均一化する構成を採用することができる。これにより、照明領域を所望状態で照明することができる。   In the illuminating device of the present invention, the diffractive optical element may employ a configuration for making the illuminance uniform in the illumination region. Thereby, the illumination area can be illuminated in a desired state.

本発明の照明装置において、前記回折光学素子は該回折光学素子の光射出面から光が射出される射出領域よりも大きい照明領域で前記第１面を照明する構成を採用することができる。これにより、第１面は拡大された照明領域で照明される。   In the illuminating device of the present invention, the diffractive optical element can employ a configuration in which the first surface is illuminated with an illumination area larger than an emission area where light is emitted from a light exit surface of the diffractive optical element. Thereby, the first surface is illuminated with the enlarged illumination area.

本発明の照明装置において、前記レーザ光源装置から射出されたレーザ光が前記回折光学素子に直接的に入射される構成を採用することができる。これにより、照明装置の部品点数を抑えることができるとともに、光利用効率を向上できる。   In the illumination device of the present invention, it is possible to adopt a configuration in which the laser light emitted from the laser light source device is directly incident on the diffractive optical element. Thereby, while being able to suppress the number of parts of an illuminating device, light use efficiency can be improved.

本発明の照明装置において、前記レーザ光源装置を複数備え、前記回折光学素子は前記複数のレーザ光源装置に対応するように複数設けられている構成を採用することができる。これにより、第１面を高い照度で効率良く照明することができる。また、スペックルパターンの発生を抑え、第１面をほぼ均一な照度分布で照明することができる。   In the illumination device of the present invention, it is possible to employ a configuration in which a plurality of the laser light source devices are provided and a plurality of the diffractive optical elements are provided so as to correspond to the plurality of laser light source devices. Thereby, the first surface can be efficiently illuminated with high illuminance. Moreover, generation | occurrence | production of a speckle pattern can be suppressed and the 1st surface can be illuminated by substantially uniform illumination intensity distribution.

本発明の照明装置において、前記複数の回折光学素子のそれぞれで生成した前記回折光で前記第１面上の所定領域を重畳的に照明する構成を採用することができる。これにより、第１面を高い照度で効率良く照明することができる。また、スペックルパターンの発生を抑え、第１面をほぼ均一な照度分布で照明することができる。   In the illumination device of the present invention, a configuration in which a predetermined region on the first surface is illuminated in a superimposed manner with the diffracted light generated by each of the plurality of diffractive optical elements can be employed. Thereby, the first surface can be efficiently illuminated with high illuminance. Moreover, generation | occurrence | production of a speckle pattern can be suppressed and the 1st surface can be illuminated by substantially uniform illumination intensity distribution.

本発明の照明装置において、前記複数のレーザ光源装置はアレイ状に配置されている構成を採用することができる。これにより、第１面を高い照度で効率良く照明することができる。また、スペックルパターンの発生を抑え、第１面をほぼ均一な照度分布で照明することができる。   In the illuminating device of the present invention, the plurality of laser light source devices may employ a configuration arranged in an array. Thereby, the first surface can be efficiently illuminated with high illuminance. Moreover, generation | occurrence | production of a speckle pattern can be suppressed and the 1st surface can be illuminated by substantially uniform illumination intensity distribution.

本発明の照明装置において、前記回折光学素子と前記第１面との間に設けられ、前記回折光学素子からの光が照射されるとともに、射出する光の射出角度を調整する角度調整用光学素子を備えた構成を採用することができる。これにより、第１面に対する光の入射角度を調整することができ、第１面を効率良く照明することができる。   In the illuminating device of the present invention, an angle adjusting optical element that is provided between the diffractive optical element and the first surface, is irradiated with light from the diffractive optical element, and adjusts an emission angle of the emitted light. It is possible to adopt a configuration including Thereby, the incident angle of the light with respect to the 1st surface can be adjusted, and the 1st surface can be illuminated efficiently.

本発明の照明装置において、前記角度調整用光学素子は屈折レンズを含む構成を採用することができるし、回折光学素子を含む構成を採用することができる。   In the illuminating device of the present invention, the angle adjusting optical element can adopt a configuration including a refractive lens or a configuration including a diffractive optical element.

本発明の照明装置において、光を通過可能な基板を備え、前記回折光学素子は前記基板の一方の面に設けられ、前記角度調整用光学素子は他方の面に設けられている構成を採用することができる。これにより、照明装置の部品点数を抑えて、第１面を効率良く照明することができる。   The illuminating device of the present invention employs a configuration in which a substrate capable of transmitting light is provided, the diffractive optical element is provided on one surface of the substrate, and the angle adjusting optical element is provided on the other surface. be able to. Thereby, the number of parts of the lighting device can be suppressed and the first surface can be efficiently illuminated.

本発明の照明装置において、前記第１面は画像情報を含む構成を採用することができる。これにより、第１面を照明した光により画像を表示することができる。   In the illumination device of the present invention, the first surface can employ a configuration including image information. Thereby, an image can be displayed with the light which illuminated the 1st surface.

本発明の第２の観点によると、上記記載の照明装置で照明され、前記第１面を介した光により画像を表示する画像表示装置が提供される。   According to a second aspect of the present invention, there is provided an image display device that is illuminated by the above-described illumination device and displays an image by light through the first surface.

本発明によれば、装置の大型化や複雑化、あるいは装置コストの上昇を抑え、高輝度で良好な画像を形成することができる。   According to the present invention, it is possible to suppress an increase in size and complexity of an apparatus or an increase in apparatus cost, and to form a high-brightness and good image.

本発明の画像表示装置において、前記第１面は照明された光を画像信号に応じて光変調する空間光変調装置の入射面を含む構成を採用することができる。前記空間光変調装置は液晶装置を含む構成を採用することができる。これにより、所望の画像を表示することができる。   In the image display device of the present invention, the first surface may include a light incident surface of a spatial light modulator that modulates the illuminated light in accordance with an image signal. The spatial light modulation device can employ a configuration including a liquid crystal device. Thereby, a desired image can be displayed.

本発明の第３の観点によると、上記記載の画像表示装置を含み、前記第１面を介した画像情報を含む光を第２面上に投射する投射系を備えたプロジェクタが提供される。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a projector including the above-described image display device and including a projection system that projects light including image information via the first surface onto the second surface.

本発明によれば、装置の大型化や複雑化、あるいは装置コストの上昇を抑え、高輝度で良好な画像を形成することができる。   According to the present invention, it is possible to suppress an increase in size and complexity of an apparatus or an increase in apparatus cost, and to form a high-brightness and good image.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明においては、必要に応じてＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, an XYZ orthogonal coordinate system is set as necessary, and the positional relationship of each member will be described with reference to this XYZ orthogonal coordinate system.

＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は第１実施形態に係る照明装置を示す概略構成図である。図１において、照明装置１は、所定部材１０の第１面１１を照明するものであって、レーザ光Ｌ１を射出するレーザ光源装置２と、レーザ光源装置２から射出されたレーザ光Ｌ１が入射されるとともに、その入射されたレーザ光Ｌ１により回折光Ｌ２を生成し、回折光Ｌ２で第１面１１上を所定の照明領域で照明する回折光学素子４Ｋとを備えている。回折光学素子４Ｋは支持部材４Ｂに支持されている。 <First Embodiment>
A first embodiment will be described. FIG. 1 is a schematic configuration diagram illustrating an illumination device according to the first embodiment. In FIG. 1, an illuminating device 1 illuminates a first surface 11 of a predetermined member 10, and a laser light source device 2 that emits laser light L1 and a laser light L1 emitted from the laser light source device 2 are incident. In addition, a diffractive optical element 4K that generates diffracted light L2 by the incident laser light L1 and illuminates the first surface 11 with a predetermined illumination region with the diffracted light L2 is provided. The diffractive optical element 4K is supported by the support member 4B.

レーザ光源装置１と回折光学素子４Ｋとの間には、光学部材は設けられておらず、レーザ光源装置２から射出されたレーザ光Ｌ１は、回折光学素子４Ｋに直接的に入射されるようになっている。回折光学素子４Ｋは、レーザ光源装置２により照射されたレーザ光Ｌ１により回折光Ｌ２を生成し、その回折光Ｌ２で第１面１１を所定の照明領域で照明する。また、回折光学素子４Ｋにより生成される回折光Ｌ２は拡散光であり、回折光学素子４Ｋは、その拡散光（回折光）Ｌ２で第１面１１を所定の照明領域で照明し、照明領域での照度を均一化する。そして、回折光学素子４Ｋは、その回折光学素子４Ｋの光射出面から光が射出される射出領域よりも大きい照明領域で第１面１１を照明する。すなわち、回折光学素子４Ｋは所謂拡大系（拡大照明系）である。また、本実施形態においては、回折光学素子４Ｋは、第１面１１上を矩形状の照明領域で照明する。   An optical member is not provided between the laser light source device 1 and the diffractive optical element 4K, and the laser light L1 emitted from the laser light source device 2 is directly incident on the diffractive optical element 4K. It has become. The diffractive optical element 4K generates diffracted light L2 from the laser light L1 irradiated by the laser light source device 2, and illuminates the first surface 11 with a predetermined illumination region with the diffracted light L2. The diffracted light L2 generated by the diffractive optical element 4K is diffused light, and the diffractive optical element 4K illuminates the first surface 11 with the diffused light (diffracted light) L2 in a predetermined illumination area. Make the illuminance uniform. The diffractive optical element 4K illuminates the first surface 11 with an illumination area larger than the emission area where light is emitted from the light emission surface of the diffractive optical element 4K. That is, the diffractive optical element 4K is a so-called magnifying system (magnifying illumination system). In the present embodiment, the diffractive optical element 4K illuminates the first surface 11 with a rectangular illumination region.

図２は回折光学素子４Ｋの一例を示す模式図であって、図２（Ａ）は平面図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＡ−Ａ線断面矢視図である。図２に示す回折光学素子は、その表面に複数の矩形状の凹部（凹凸構造）４Ｍを有している。凹部４Ｍは互いに異なる深さを有している。また、凹部４Ｍどうしの間の複数の凸部も互いに異なる高さを有している。そして、凹部４Ｍどうしのピッチｄ及び凹部４Ｍの深さｔ（凸部の高さ）を含む回折光学素子４Ｋの表面条件を適宜調整することにより、この回折光学素子４Ｋに照射された光を拡散させ、照明領域の大きさ及び形状を設定することができる。換言すれば、凹部４Ｍどうしのピッチｄ及び凹部４Ｍの深さｔを含む表面条件を最適化することにより、回折光学素子４Ｋに所定の機能を持たせることができる。また、凹部４Ｍどうしのピッチｄや凹部４Ｍの深さｔの値を回折光学素子４Ｋの表面の複数の領域毎にそれぞれ異ならせる場合には、回折光学素子４Ｋの表面条件には、形成される凹部４Ｍどうしのピッチｄの分布や、凹部４Ｍの深さｔの分布も含まれる。凹部４Ｍどうしのピッチｄ及び凹部４Ｍの深さｔを含む表面条件を最適化する設計手法としては、例えば反復フーリエ法など、所定の演算手法（シミュレーション手法）が挙げられる。そして、回折光学素子４Ｋの表面条件を最適化することで、所望の機能を有する回折光学素子４Ｋを形成することができる。   2A and 2B are schematic views showing an example of the diffractive optical element 4K. FIG. 2A is a plan view, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. The diffractive optical element shown in FIG. 2 has a plurality of rectangular recesses (uneven structure) 4M on its surface. The recesses 4M have different depths. In addition, the plurality of convex portions between the concave portions 4M have different heights. Then, by appropriately adjusting the surface condition of the diffractive optical element 4K including the pitch d between the concave parts 4M and the depth t (height of the convex part) of the concave parts 4M, the light irradiated on the diffractive optical element 4K is diffused. The size and shape of the illumination area can be set. In other words, the diffractive optical element 4K can have a predetermined function by optimizing the surface conditions including the pitch d between the recesses 4M and the depth t of the recesses 4M. When the values of the pitch d between the recesses 4M and the depth t of the recesses 4M are made different for each of a plurality of regions on the surface of the diffractive optical element 4K, the surface conditions of the diffractive optical element 4K are formed. The distribution of the pitch d between the recesses 4M and the distribution of the depth t of the recesses 4M are also included. As a design method for optimizing the surface condition including the pitch d of the recesses 4M and the depth t of the recesses 4M, a predetermined calculation method (simulation method) such as an iterative Fourier method is exemplified. Then, by optimizing the surface conditions of the diffractive optical element 4K, the diffractive optical element 4K having a desired function can be formed.

なお、回折光学素子４Ｋとしては、矩形の凹部４Ｍを有するものに限られず、互いに異なる方向を向く平面を組み合わせた表面を有する回折光学素子であってもよい。例えば、回折光学素子４Ｋとしては、図３に示すような、斜面を有する三角形状の凹部を有するものであってもよい。また、回折光学素子４Ｋとしては、図２に示したような矩形状の凹部を有する領域と、図３に示したような三角形状の凹部を有する領域とのそれぞれを有するものであってもよい。そして、その表面条件を最適化することにより、所望の機能を有する回折光学素子４Ｋを形成することができる。   The diffractive optical element 4K is not limited to the one having the rectangular recess 4M, and may be a diffractive optical element having a surface in which planes facing different directions are combined. For example, the diffractive optical element 4K may have a triangular recess having a slope as shown in FIG. Further, the diffractive optical element 4K may have a region having a rectangular recess as shown in FIG. 2 and a region having a triangular recess as shown in FIG. . Then, by optimizing the surface conditions, the diffractive optical element 4K having a desired function can be formed.

ここで、図４を参照しながら、回折光学素子４Ｋの製造方法の一例について説明する。図４（Ａ）に示すように、石英基板上にレジストを塗布した後、電子ビーム描画装置によりレジストに電子ビームを照射し、このレジストをパターニングする。次いで、エッチング処理することにより、図４（Ｂ）に示すように、石英からなるモールド（型）を形成する。そして、合成樹脂製のフィルム状部材など、回折光学素子を形成するための基板とモールドとを、基板のガラス転移温度以上に加熱する。そして、図４（Ｃ）に示すように、基板とモールドとを押し付け、一定時間保持する。その後、基板とモールドとを、基板のガラス転移温度以下に冷却し、基板とモールドとを離す。これにより、図４（Ｄ）に示すように、所望の形状を有する合成樹脂製の回折光学素子が形成される。このように、本実施形態では、モールド（型）を形成した後、そのモールドの形状を基板に熱転写する、所謂ナノインプリントの手法により、回折光学素子を形成する。   Here, an example of a manufacturing method of the diffractive optical element 4K will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 4A, after a resist is coated on a quartz substrate, the resist is patterned by irradiating the resist with an electron beam by an electron beam drawing apparatus. Next, by performing an etching process, a mold made of quartz is formed as shown in FIG. And the board | substrate and mold for forming a diffractive optical element, such as a synthetic resin film-like member, are heated more than the glass transition temperature of a board | substrate. Then, as shown in FIG. 4C, the substrate and the mold are pressed and held for a certain period of time. Thereafter, the substrate and the mold are cooled below the glass transition temperature of the substrate, and the substrate and the mold are separated. As a result, as shown in FIG. 4D, a synthetic resin-made diffractive optical element having a desired shape is formed. Thus, in this embodiment, after forming a mold (mold), the diffractive optical element is formed by a so-called nanoimprint technique in which the shape of the mold is thermally transferred to the substrate.

なお、ここで説明した回折光学素子の製造方法は一例であり、所望の形状を有する回折光学素子を製造できるのであれば、任意の手法を用いることができる。   Note that the method of manufacturing a diffractive optical element described here is an example, and any method can be used as long as a diffractive optical element having a desired shape can be manufactured.

図５は回折光学素子４Ｋを含む照明装置１で照明された第１面１１を示す模式図である。図５に示すように、回折光学素子４Ｋを含む照明装置１は、第１面１１上での照明領域ＬＡを設定することができる。具体的には、回折光学素子４Ｋを含む照明装置１は、第１面１１上での照明領域ＬＡの大きさ及び形状の少なくとも一方を設定することができる。本実施形態では、回折光学素子４Ｋを含む照明装置１は、照明領域ＬＡを矩形状（長方形状）に設定する。本実施形態の第１面（後述するライトバルブの入射面を含む）１１は矩形状であり、回折光学素子４Ｋを含む照明装置１は、第１面１１に応じた照明領域ＬＡを設定する。照明領域ＬＡの大きさ及び形状は、回折光学素子４Ｋの表面条件（凹部４Ｍどうしのピッチｄ、凹部４Ｍの深さｔなど）を適宜調整することにより設定可能である。換言すれば、凹部４Ｍどうしのピッチｄ及び凹部４Ｍの深さｔを含む表面条件を最適化することにより、回折光学素子４Ｋに照明領域設定光学系としての機能を持たせることができる。また、回折光学素子４Ｋの表面条件を最適化することにより、照明領域ＬＡでの照度を均一化できるような拡散光を生成でき、また、回折光学素子４Ｋの光射出面から光が射出される射出領域よりも大きい照明領域ＬＡで第１面１１を照明することができる。そして、上述の反復フーリエ法など、所定の手法を用いて回折光学素子４Ｋの表面条件を最適化することで、所望の機能（照明領域設定機能、拡散光生成機能、拡大照明機能等）を有する回折光学素子４Ｋを形成することができる。   FIG. 5 is a schematic diagram showing the first surface 11 illuminated by the illumination device 1 including the diffractive optical element 4K. As shown in FIG. 5, the illumination device 1 including the diffractive optical element 4 </ b> K can set an illumination area LA on the first surface 11. Specifically, the illumination device 1 including the diffractive optical element 4K can set at least one of the size and shape of the illumination area LA on the first surface 11. In the present embodiment, the illumination device 1 including the diffractive optical element 4K sets the illumination area LA to a rectangular shape (rectangular shape). A first surface (including an incident surface of a light valve to be described later) 11 in the present embodiment is rectangular, and the illumination device 1 including the diffractive optical element 4K sets an illumination area LA corresponding to the first surface 11. The size and shape of the illumination area LA can be set by appropriately adjusting the surface conditions of the diffractive optical element 4K (such as the pitch d between the recesses 4M and the depth t of the recesses 4M). In other words, by optimizing the surface conditions including the pitch d between the recesses 4M and the depth t of the recesses 4M, the diffractive optical element 4K can have a function as an illumination area setting optical system. Further, by optimizing the surface conditions of the diffractive optical element 4K, diffused light that can make the illuminance in the illumination area LA uniform can be generated, and light is emitted from the light exit surface of the diffractive optical element 4K. The first surface 11 can be illuminated with an illumination area LA that is larger than the emission area. Then, by optimizing the surface condition of the diffractive optical element 4K using a predetermined method such as the above-described iterative Fourier method, a desired function (an illumination area setting function, a diffused light generation function, an enlarged illumination function, etc.) is provided. The diffractive optical element 4K can be formed.

すなわち、本実施形態の回折光学素子４Ｋは、照明領域設定機能、拡散光生成機能（照度均一化機能）、及び拡大照明機能のそれぞれを有しており、それらの機能を有するように、凹部４Ｍどうしのピッチｄ及び凹部４Ｍの深さｔを含む表面条件が最適化されている。   That is, the diffractive optical element 4K of the present embodiment has each of an illumination area setting function, a diffused light generation function (illuminance uniformity function), and an enlarged illumination function, and the recess 4M so as to have these functions. The surface conditions including the pitch d and the depth t of the recess 4M are optimized.

なお、本実施形態では、回折光学素子４Ｋは、照明領域ＬＡを矩形状に設定しているが、凹部４Ｍどうしのピッチｄ及び凹部４Ｍの深さｔを含む表面条件を最適化することにより、例えば照明領域ＬＡをライン状や円形状など、任意の形状に設定することができる。   In the present embodiment, the diffractive optical element 4K has the illumination area LA set in a rectangular shape. However, by optimizing the surface conditions including the pitch d between the recesses 4M and the depth t of the recesses 4M, For example, the illumination area LA can be set to an arbitrary shape such as a line shape or a circular shape.

図６は本実施形態に係る照明装置１（１Ｒ、１Ｇ、１Ｂ）を備えた画像表示装置を示す概略構成図である。本実施形態においては、画像表示装置として、空間光変調装置で生成された画像情報を含む色光を投射系を介してスクリーン上に投射する投射型画像表示装置（プロジェクタ）を例にして説明する。   FIG. 6 is a schematic configuration diagram illustrating an image display device including the illumination device 1 (1R, 1G, 1B) according to the present embodiment. In the present embodiment, a projection type image display device (projector) that projects color light including image information generated by a spatial light modulator on a screen via a projection system will be described as an example of the image display device.

図６において、投射型画像表示装置ＰＪは、スクリーン１００（第２面）上に画像情報を含む光を投射する投射ユニットＵを備えている。投射ユニットＵからスクリーン１００に対して光が投射されることにより、スクリーン１００上に画像が形成される。本実施形態の画像表示装置ＰＪは、スクリーン１００を透過型のスクリーンとし、スクリーン１００の正面側からスクリーン１００上に画像情報を含む光を投射する。   In FIG. 6, the projection type image display device PJ includes a projection unit U that projects light including image information on a screen 100 (second surface). An image is formed on the screen 100 by projecting light from the projection unit U onto the screen 100. The image display device PJ according to the present embodiment uses the screen 100 as a transmissive screen, and projects light including image information onto the screen 100 from the front side of the screen 100.

投射ユニットＵは、第１の基本色光（赤色光）で第１面を照明可能な第１照明装置１Ｒと、第２の基本色光（緑色光）で第１面を照明可能な第２照明装置１Ｇと、第３の基本色光（青色光）で第１面を照明可能な第３照明装置１Ｂと、第１照明装置１Ｒで照明される入射面（第１面）１１を有し、照明された光を画像情報に応じて光変調する第１空間光変調装置１０Ｒと、第２照明装置１Ｇで照明される入射面（第１面）１１を有し、照明された光を画像情報に応じて光変調する第２空間光変調装置１０Ｇと、第３照明装置１Ｂで照明される入射面（第１面）１１を有し、照明された光を画像情報に応じて光変調する第３空間光変調装置１０Ｂと、空間光変調装置１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂにより変調された各基本色光を合成する色合成系１２と、色合成系１２で生成された光をスクリーン１００上に投射する投射系１３とを備えている。空間光変調装置１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂのそれぞれは液晶装置を含んで構成されている。以下の説明においては、空間光変調装置を適宜、ライトバルブ、と称する。   The projection unit U includes a first illumination device 1R that can illuminate the first surface with the first basic color light (red light), and a second illumination device that can illuminate the first surface with the second basic color light (green light). 1G, a third illuminating device 1B capable of illuminating the first surface with the third basic color light (blue light), and an incident surface (first surface) 11 illuminated by the first illuminating device 1R. The first spatial light modulation device 10R that modulates light according to image information and the incident surface (first surface) 11 illuminated by the second illumination device 1G, and the illuminated light according to image information And a second spatial light modulation device 10G that modulates light and an incident surface (first surface) 11 that is illuminated by the third illumination device 1B and that modulates the illuminated light in accordance with image information. A color synthesizing system 12 that synthesizes the basic color light modulated by the light modulation device 10B and the spatial light modulation devices 10R, 10G, and 10B. The light generated by the color synthesizing system 12 and a projection system 13 for projecting on the screen 100. Each of the spatial light modulation devices 10R, 10G, and 10B includes a liquid crystal device. In the following description, the spatial light modulator is appropriately referred to as a light valve.

ライトバルブは、入射側偏光板と、一対のガラス基板どうしの間に封入された液晶を有するパネルと、射出側偏光板とを備えている。ガラス基板には画素電極や配向膜が設けられている。空間光変調装置を構成するライトバルブは、定められた振動方向の光のみを透過させるようになっており、ライトバルブに入射した基本色光は、ライトバルブを通過することによって光変調される。   The light valve includes an incident-side polarizing plate, a panel having a liquid crystal sealed between a pair of glass substrates, and an emission-side polarizing plate. A pixel electrode and an alignment film are provided on the glass substrate. The light valve constituting the spatial light modulator transmits only light in a predetermined vibration direction, and the basic color light incident on the light valve is light-modulated by passing through the light valve.

第１照明装置１Ｒのレーザ光源装置２は、赤色（Ｒ）のレーザ光を射出する。第１照明装置１Ｒは、回折光学素子４Ｋにより赤色のレーザ光から所望の領域を照明する回折光を生成し、その生成された回折光で第１ライトバルブ１０Ｒの入射面１１を照明する。   The laser light source device 2 of the first illumination device 1R emits red (R) laser light. The first illumination device 1R generates diffracted light that illuminates a desired region from the red laser light by the diffractive optical element 4K, and illuminates the incident surface 11 of the first light valve 10R with the generated diffracted light.

第２照明装置１Ｇのレーザ光源装置２は、緑色（Ｇ）のレーザ光を射出する。第２照明装置１Ｇは、回折光学素子４Ｋにより緑色のレーザ光から所望の領域を照明する回折光を生成し、その生成された回折光で第２ライトバルブ１０Ｇの入射面１１を照明する。   The laser light source device 2 of the second illumination device 1G emits green (G) laser light. The second illumination device 1G generates diffracted light that illuminates a desired region from the green laser light by the diffractive optical element 4K, and illuminates the incident surface 11 of the second light valve 10G with the generated diffracted light.

第３照明装置１Ｂのレーザ光源装置２は、青色（Ｂ）のレーザ光を射出する。第３照明装置１Ｂは、回折光学素子４Ｋにより青色のレーザ光から所望の領域を照明する回折光を生成し、その生成された回折光で第３ライトバルブ１０Ｂの入射面１１を照明する。   The laser light source device 2 of the third illumination device 1B emits blue (B) laser light. The third illumination device 1B generates diffracted light that illuminates a desired region from the blue laser light by the diffractive optical element 4K, and illuminates the incident surface 11 of the third light valve 10B with the generated diffracted light.

各ライトバルブ１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂを通過することで変調された各基本色光（変調光）は、色合成系１２で合成される。色合成系１２はダイクロイックプリズムによって構成されており、赤色光（Ｒ）、緑色光（Ｇ）、及び青色光（Ｂ）は色合成系１２で合成されてフルカラー合成光となる。色合成系１２から射出されたフルカラー合成光は投射系１３に供給される。投射系１３はフルカラー合成光をスクリーン１００上に投射する。投射系１３は、入射側の画像を拡大してスクリーン１００上に投射する所謂拡大系である。   Each basic color light (modulated light) modulated by passing through each light valve 10R, 10G, 10B is synthesized by the color synthesis system 12. The color synthesis system 12 is configured by a dichroic prism, and the red light (R), the green light (G), and the blue light (B) are synthesized by the color synthesis system 12 and become full-color synthesized light. Full-color synthesized light emitted from the color synthesis system 12 is supplied to the projection system 13. The projection system 13 projects full-color synthesized light on the screen 100. The projection system 13 is a so-called enlargement system that enlarges an image on the incident side and projects it on the screen 100.

投射ユニットＵは、各照明装置１Ｒ、１Ｇ、１Ｂのそれぞれで照明された各ライトバルブ１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂを介した画像情報を含むフルカラー合成光を投射系１３を用いてスクリーン１００上に投射することによって、スクリーン１００上にフルカラーの画像を形成する。鑑賞者は、投射ユニットＵによりスクリーン１００に対して投射された画像を鑑賞する。   The projection unit U projects full-color composite light including image information via the light valves 10R, 10G, and 10B illuminated by the lighting devices 1R, 1G, and 1B onto the screen 100 using the projection system 13. As a result, a full-color image is formed on the screen 100. The viewer appreciates the image projected on the screen 100 by the projection unit U.

以上説明したように、本実施形態の照明装置１によれば、装置の大型化や複雑化、あるいは装置コストの上昇を抑え、第１面（ライトバルブの入射面）１１を均一な照度分布で効率良く照明することができる。すなわち、レーザ光源装置から射出されたレーザ光を用いて第１面を均一な照度分布で照明するために、例えばロッドインテグレータやフライアイレンズ等の光学系を用いた場合、部品点数の増大や光学系の複雑化を招き、装置全体の大型化、複雑化を招く虞がある。また、部品点数の増大やロッドインテグレータ等の高価な部品の使用により装置コストの上昇を招く虞もある。更には、各光学素子の界面より発生するフレネル反射損失等、光利用効率等の低下を招く虞もある。本実施形態では、比較的安価な光学素子を用い、しかもその部品点数が抑えられているので、装置の大型化や複雑化、あるいは装置コストの上昇を抑え、第１面１１を効率良く照明することができる。   As described above, according to the illuminating device 1 of the present embodiment, an increase in size and complexity of the device or an increase in device cost is suppressed, and the first surface (light valve incident surface) 11 is distributed with a uniform illuminance distribution. It can be illuminated efficiently. That is, when an optical system such as a rod integrator or a fly-eye lens is used to illuminate the first surface with a uniform illuminance distribution using laser light emitted from a laser light source device, the number of parts increases or optical There is a possibility that the system will be complicated and the whole apparatus will be enlarged and complicated. Moreover, there is a possibility that the cost of the apparatus is increased due to an increase in the number of parts and the use of expensive parts such as a rod integrator. Furthermore, there is a risk that light utilization efficiency and the like will be reduced, such as Fresnel reflection loss generated from the interface of each optical element. In the present embodiment, since relatively inexpensive optical elements are used and the number of parts is reduced, the first surface 11 can be efficiently illuminated by suppressing an increase in size and complexity of the device or an increase in device cost. be able to.

また、回折光学素子４Ｋは第１面１１上での照明領域ＬＡを設定することができるので、照明領域ＬＡを効率良く照明することができる。すなわち、レンズ等を介した光で第１面１１を照明した場合、照明領域ＬＡの形状と第１面１１の形状とが異なる状況が生じる可能性がある。すなわち、例えば第１面１１が矩形状であるのに対して、レンズを介して第１面１１を照明したときの照明領域ＬＡが円形状となる可能性がある。この場合、光の漏洩を抑えつつ、第１面１１を照明するためには、円形状の照明領域ＬＡを拡大するとともに、遮光部材等を用いて、照明領域ＬＡを整形する必要がある。この場合、光利用効率が低下する。本実施形態では、回折光学素子４Ｋを用いて照明領域ＬＡを設定することにより、回折光学素子４Ｋで生成した光のほぼ全てを第１面１１に照射することができ、光利用効率を向上することができる。   Further, since the diffractive optical element 4K can set the illumination area LA on the first surface 11, the illumination area LA can be efficiently illuminated. That is, when the 1st surface 11 is illuminated with the light via a lens etc., the situation where the shape of the illumination area LA and the shape of the 1st surface 11 differ may arise. That is, for example, the first surface 11 is rectangular, but the illumination area LA when the first surface 11 is illuminated through a lens may be circular. In this case, in order to illuminate the first surface 11 while suppressing light leakage, it is necessary to enlarge the circular illumination area LA and shape the illumination area LA using a light shielding member or the like. In this case, the light utilization efficiency decreases. In the present embodiment, by setting the illumination area LA using the diffractive optical element 4K, almost all of the light generated by the diffractive optical element 4K can be irradiated onto the first surface 11, and the light use efficiency is improved. be able to.

また、光源としてレーザ光源装置を用いているので、偏光された光を射出することができ、光源として例えば超高圧水銀ランプ等の白色光源を用いる構成に比べて、偏光分離素子（偏光ビームスプリッタ）や、色分離素子（ダイクロイックミラー）等の部品を省略することができる。また、狭波長帯域のレーザ光（基本色光）を射出するので、そのレーザ光を用いて画像を表示する際、良好な色再現性を得ることができる。また、液晶装置（ライトバルブ）には紫外光が照射されないので、ライトバルブの劣化を抑制することもできる。   Further, since a laser light source device is used as a light source, polarized light can be emitted, and compared with a configuration using a white light source such as an ultra-high pressure mercury lamp as a light source, a polarization separation element (polarization beam splitter) In addition, components such as a color separation element (dichroic mirror) can be omitted. Further, since laser light (basic color light) in a narrow wavelength band is emitted, good color reproducibility can be obtained when an image is displayed using the laser light. In addition, since the liquid crystal device (light valve) is not irradiated with ultraviolet light, deterioration of the light valve can be suppressed.

また、図４等を参照して説明したように、回折光学素子４Ｋはナノインプリントの手法で製造することができるため、回折光学素子を容易に大量に製造することができ、製造コストを低減することができる。   Further, as described with reference to FIG. 4 and the like, since the diffractive optical element 4K can be manufactured by the nanoimprint technique, the diffractive optical element can be easily manufactured in large quantities, and the manufacturing cost can be reduced. Can do.

＜第２実施形態＞
第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。 <Second Embodiment>
A second embodiment will be described. In the following description, the same or equivalent components as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.

図７は第２実施形態に係る照明装置１を示す図であり、図７（Ａ）は側面図、図７（Ｂ）は斜視図である。図７において、照明装置１は複数のレーザ光源装置２を備えている。複数のレーザ光源装置２はアレイ状に配置されており、本実施形態においては、一次元方向（Ｘ方向）に複数並んで設けられている。レーザ光源装置２の光射出面は＋Ｚ側を向いており、各レーザ光源装置２は＋Ｚ方向に向けてレーザ光Ｌ１を射出する。   7A and 7B are diagrams showing the lighting device 1 according to the second embodiment, in which FIG. 7A is a side view and FIG. 7B is a perspective view. In FIG. 7, the illumination device 1 includes a plurality of laser light source devices 2. The plurality of laser light source devices 2 are arranged in an array, and in the present embodiment, a plurality of laser light source devices 2 are provided side by side in the one-dimensional direction (X direction). The light emission surface of the laser light source device 2 faces the + Z side, and each laser light source device 2 emits the laser light L1 in the + Z direction.

回折光学素子４Ｋは、複数のレーザ光源装置２のそれぞれに対応するように複数設けられている。図７に示す例では、複数のレーザ光源装置２は一次元方向（Ｘ軸方向）に複数並んで設けられており、回折光学素子４Ｋは、それら複数のレーザ光源装置２に対応するように、支持部材４Ｂ上で一次元方向（Ｘ軸方向）に複数並んで設けられている。そして、複数の回折光学素子４Ｋのそれぞれは、複数のレーザ光源装置２の位置及び特性等に応じて最適化されている。   A plurality of diffractive optical elements 4K are provided so as to correspond to the plurality of laser light source devices 2, respectively. In the example shown in FIG. 7, a plurality of laser light source devices 2 are provided side by side in the one-dimensional direction (X-axis direction), and the diffractive optical element 4K corresponds to the plurality of laser light source devices 2. A plurality of elements are provided side by side in the one-dimensional direction (X-axis direction) on the support member 4B. Each of the plurality of diffractive optical elements 4K is optimized according to the position and characteristics of the plurality of laser light source devices 2.

また、各回折光学素子４Ｋのそれぞれは、上述の実施形態同様、照明領域を矩形状に設定することができる。   Further, each diffractive optical element 4K can set the illumination area to a rectangular shape as in the above-described embodiment.

各レーザ光源装置２から射出されたレーザ光Ｌ１は、各回折光学素子４Ｋにより所望の領域を照明する回折光Ｌ２に変換された後、第１面１１に照明される。   The laser light L1 emitted from each laser light source device 2 is converted into diffracted light L2 that illuminates a desired region by each diffractive optical element 4K, and then illuminated onto the first surface 11.

このように、レーザ光源装置２の光射出面をアレイ状に複数配置してもよい。こうすることにより、光量を増大することができ、高い照度で第１面１１を照明することができる。そして、この照明装置１によって、画像情報を含む第１面（ライトバルブの入射面を含む）１１を照明することにより、画像表示装置ＰＪは、高輝度な画像を表示することができる。   As described above, a plurality of light emission surfaces of the laser light source device 2 may be arranged in an array. By doing so, the amount of light can be increased, and the first surface 11 can be illuminated with high illuminance. The illumination device 1 illuminates the first surface (including the incident surface of the light valve) 11 including the image information, so that the image display device PJ can display a high-luminance image.

また、複数のレーザ光源装置２を備えているので、第１面１１上での光量（照度）を増大することができる。そして、その照明装置１で照明された第１面（ライトバルブの入射面）１１を介した光により画像を表示することにより、画像の高輝度化、高コントラスト化を実現することができる。   In addition, since the plurality of laser light source devices 2 are provided, the amount of light (illuminance) on the first surface 11 can be increased. Then, by displaying an image with light through the first surface (light valve incident surface) 11 illuminated by the illumination device 1, it is possible to realize high brightness and high contrast of the image.

また、本実施形態においては、照明装置１は複数のレーザ光源装置２を備えているので、スペックルパターンの発生を抑えることもできる。スペックルパターンとは、レーザ光のようなコヒーレント光で粗面や不均質な媒質を含む散乱面を照射し、その散乱光（拡散光）を観察したとき、空間に生じるコントラストの高い斑点状の模様をいう。散乱面の各点で発生した散乱光（拡散光）は、互いにランダムな位相関係で干渉し、その結果複雑な干渉パターンを生じ、第１面１１を不均一な照度分布で照明する可能性がある。本実施形態では、照明装置１は複数のレーザ光源装置２を備えており、それら複数のレーザ光源装置２のそれぞれから射出されたレーザ光は互いにインコヒーレントであるため、互いに異なる照度分布（輝度分布）を持つ光で第１面１１を照明することとなる。そのため、それら各レーザ光に基づく拡散光を第１面１１上で重ね合わせることにより、見た目上のスペックルパターンを低減し、第１面１１上での照度分布をほぼ均一にすることができる。したがって、画像表示装置ＰＪは、輝度むら（照度むら）が小さい画像を表示することができる。   Moreover, in this embodiment, since the illuminating device 1 is provided with the several laser light source device 2, generation | occurrence | production of a speckle pattern can also be suppressed. A speckle pattern is a speckle pattern with high contrast that occurs in space when a scattered surface (diffuse light) is observed by irradiating a scattering surface including a rough surface or an inhomogeneous medium with coherent light such as laser light. Say a pattern. Scattered light (diffused light) generated at each point on the scattering surface interferes with each other in a random phase relationship, resulting in a complicated interference pattern, which may illuminate the first surface 11 with a non-uniform illumination distribution. is there. In the present embodiment, the illumination device 1 includes a plurality of laser light source devices 2 and the laser beams emitted from the plurality of laser light source devices 2 are incoherent with each other. The first surface 11 is illuminated with light having Therefore, by superimposing the diffused light based on each laser beam on the first surface 11, the apparent speckle pattern can be reduced and the illuminance distribution on the first surface 11 can be made substantially uniform. Therefore, the image display device PJ can display an image with small luminance unevenness (illuminance unevenness).

＜第３実施形態＞
第３実施形態について説明する。図８は第３実施形態に係る照明装置１を示す図であり、図８（Ａ）は側面図、図８（Ｂ）は斜視図である。図８において、照明装置１は複数のレーザ光源装置２を備えている。複数のレーザ光源装置２はアレイ状に配置されており、本実施形態においては、一次元方向（Ｘ方向）に複数並んで設けられている。レーザ光源装置２の光射出面は＋Ｚ側を向いており、各レーザ光源装置２は＋Ｚ方向に向けてレーザ光Ｌ１を射出する。 <Third Embodiment>
A third embodiment will be described. FIGS. 8A and 8B are diagrams showing the lighting device 1 according to the third embodiment, in which FIG. 8A is a side view and FIG. 8B is a perspective view. In FIG. 8, the illumination device 1 includes a plurality of laser light source devices 2. The plurality of laser light source devices 2 are arranged in an array, and in the present embodiment, a plurality of laser light source devices 2 are provided side by side in the one-dimensional direction (X direction). The light emission surface of the laser light source device 2 faces the + Z side, and each laser light source device 2 emits the laser light L1 in the + Z direction.

回折光学素子４Ｋは、複数のレーザ光源装置２のそれぞれに対応するように複数設けられている。図８に示す例では、複数のレーザ光源装置２は一次元方向（Ｘ軸方向）に複数並んで設けられており、回折光学素子４Ｋは、それら複数のレーザ光源装置２に対応するように、支持部材４Ｂ上で一次元方向（Ｘ軸方向）に複数並んで設けられている。そして、複数の回折光学素子４Ｋのそれぞれは、複数のレーザ光源装置２の位置及び特性等に応じて最適化されている。   A plurality of diffractive optical elements 4K are provided so as to correspond to the plurality of laser light source devices 2, respectively. In the example shown in FIG. 8, a plurality of laser light source devices 2 are provided side by side in the one-dimensional direction (X-axis direction), and the diffractive optical element 4K corresponds to the plurality of laser light source devices 2. A plurality of elements are provided side by side in the one-dimensional direction (X-axis direction) on the support member 4B. Each of the plurality of diffractive optical elements 4K is optimized according to the position and characteristics of the plurality of laser light source devices 2.

複数の回折光学素子４Ｋのそれぞれは、複数のレーザ光源装置２のそれぞれから射出されたレーザ光Ｌ１に基づいて生成した回折光Ｌ２で、第１面１１上の所定領域を重畳的に照明できるように、その表面条件（凹部どうしのピッチ及び凹部の深さを含む）が最適化されている。回折光学素子３Ｋそれぞれの表面条件を最適化する設計手法としては、上述の反復フーリエ法など、所定の演算手法が挙げられる。   Each of the plurality of diffractive optical elements 4K can illuminate a predetermined region on the first surface 11 in a superimposed manner with the diffracted light L2 generated based on the laser light L1 emitted from each of the plurality of laser light source devices 2. In addition, the surface conditions (including the pitch between the recesses and the depth of the recesses) are optimized. As a design technique for optimizing the surface condition of each of the diffractive optical elements 3K, a predetermined calculation technique such as the above-described iterative Fourier method may be mentioned.

また、各回折光学素子４Ｋのそれぞれは、上述の実施形態同様、照明領域を矩形状に設定することができる。   Further, each diffractive optical element 4K can set the illumination area to a rectangular shape as in the above-described embodiment.

各レーザ光源装置２から射出されたレーザ光Ｌ１は、各光学素子４Ｋにより所望の領域を照明する回折光Ｌ２に変換された後、第１面１１に照明される。   Laser light L1 emitted from each laser light source device 2 is converted into diffracted light L2 that illuminates a desired region by each optical element 4K, and then is illuminated onto the first surface 11.

このように、複数の回折光学素子４Ｋのそれぞれで生成した回折光Ｌ２で、第１面１１上の所定領域を重畳的に照明することができる。これにより、第１面１１を高い照度で効率良く照明することができる。また、スペックルパターンの発生を抑え、第１面１１をほぼ均一な照度分布で照明することができる。   In this manner, the predetermined region on the first surface 11 can be illuminated in a superimposed manner with the diffracted light L2 generated by each of the plurality of diffractive optical elements 4K. Thereby, the 1st surface 11 can be efficiently illuminated with high illumination intensity. Moreover, generation | occurrence | production of a speckle pattern can be suppressed and the 1st surface 11 can be illuminated by substantially uniform illumination intensity distribution.

＜第４実施形態＞
第４実施形態について図９を参照しながら説明する。図９は第４実施形態に係る照明装置１を示す図であり、図９（Ａ）は側面図、図９（Ｂ）は斜視図である。本実施形態の特徴的な部分は、回折光学素子４Ｋと第１面１１との間に、回折光学素子４Ｋからの光が照射されるとともに、射出する光の射出角度を調整する角度調整用光学素子５を設けた点にある。 <Fourth embodiment>
A fourth embodiment will be described with reference to FIG. FIGS. 9A and 9B are diagrams showing the lighting device 1 according to the fourth embodiment, in which FIG. 9A is a side view and FIG. 9B is a perspective view. The characteristic part of this embodiment is that the light from the diffractive optical element 4K is irradiated between the diffractive optical element 4K and the first surface 11, and the angle adjusting optical for adjusting the emission angle of the emitted light. The element 5 is provided.

図９において、照明装置１は複数のレーザ光源装置２を備えている。複数のレーザ光源装置２はアレイ状に配置されており、本実施形態においては、一次元方向（Ｘ方向）に複数並んで設けられている。レーザ光源装置２の光射出面は＋Ｚ側を向いており、各レーザ光源装置２は＋Ｚ方向に向けてレーザ光Ｌ１を射出する。   In FIG. 9, the illumination device 1 includes a plurality of laser light source devices 2. The plurality of laser light source devices 2 are arranged in an array, and in the present embodiment, a plurality of laser light source devices 2 are provided side by side in the one-dimensional direction (X direction). The light emission surface of the laser light source device 2 faces the + Z side, and each laser light source device 2 emits the laser light L1 in the + Z direction.

回折光学素子４Ｋは、複数のレーザ光源装置２のそれぞれに対応するように複数設けられている。図９に示す例では、複数のレーザ光源装置２は一次元方向（Ｘ軸方向）に複数並んで設けられており、回折光学素子４Ｋは、それら複数のレーザ光源装置２に対応するように、支持部材４Ｂ上で一次元方向（Ｘ軸方向）に複数並んで設けられている。そして、複数の回折光学素子４Ｋのそれぞれは、複数のレーザ光源装置２の位置及び特性等に応じて最適化されている。   A plurality of diffractive optical elements 4K are provided so as to correspond to the plurality of laser light source devices 2, respectively. In the example shown in FIG. 9, a plurality of laser light source devices 2 are provided side by side in a one-dimensional direction (X-axis direction), and the diffractive optical element 4K corresponds to the plurality of laser light source devices 2. A plurality of elements are provided side by side in the one-dimensional direction (X-axis direction) on the support member 4B. Each of the plurality of diffractive optical elements 4K is optimized according to the position and characteristics of the plurality of laser light source devices 2.

また、各回折光学素子４Ｋのそれぞれは、上述の実施形態同様、照明領域を矩形状に設定することができる。   Further, each diffractive optical element 4K can set the illumination area to a rectangular shape as in the above-described embodiment.

各レーザ光源装置２から射出されたレーザ光Ｌ１は、各光学素子４Ｋにより所望の領域を照明する回折光Ｌ２に変換された後、角度調整用光学素子５に入射する。   The laser light L1 emitted from each laser light source device 2 is converted into diffracted light L2 that illuminates a desired region by each optical element 4K, and then enters the angle adjusting optical element 5.

角度調整用光学素子５は、屈折レンズ（フィールドレンズ）によって構成されている。屈折レンズは、例えば球面レンズ、又は非球面レンズ等の光軸に対して回転対称な軸対象レンズや、フレネルレンズ等を含む。角度調整用光学素子５は、回折光学素子４Ｋのそれぞれから照射された光の射出角度を調整可能である。本実施形態では、角度調整用光学素子５は、複数の回折光学素子４Ｋのそれぞれからの回折光Ｌ２で、第１面１１上の所定領域を重畳的に照明するように、射出する光の射出角度を調整できるように最適化されている。   The angle adjusting optical element 5 is composed of a refractive lens (field lens). The refractive lens includes, for example, an axial target lens that is rotationally symmetric with respect to the optical axis, such as a spherical lens or an aspheric lens, a Fresnel lens, and the like. The angle adjusting optical element 5 can adjust the emission angle of light emitted from each of the diffractive optical elements 4K. In the present embodiment, the angle adjusting optical element 5 emits light to be emitted so as to illuminate a predetermined region on the first surface 11 with the diffracted light L2 from each of the plurality of diffractive optical elements 4K. Optimized to adjust the angle.

このように、角度調整用光学素子５を設けることにより、第１面１１に対する光の入射角度を小さくすることができ、また、第１面１１に対する光の入射角度を面内で均一化することができるため、第１面１１を効率良く照明することができる。そして、複数の回折光学素子４Ｋのそれぞれで生成した回折光Ｌ２で、第１面１１上の所定領域を重畳的に照明することができる。これにより、第１面１１を高い照度で効率良く照明することができる。また、スペックルパターンの発生を抑え、第１面１１をほぼ均一な照度分布で照明することができる。   Thus, by providing the angle adjusting optical element 5, the incident angle of light with respect to the first surface 11 can be reduced, and the incident angle of light with respect to the first surface 11 can be made uniform in the surface. Therefore, the first surface 11 can be efficiently illuminated. And the predetermined area | region on the 1st surface 11 can be illuminated in a superimposed manner with the diffracted light L2 produced | generated by each of several diffractive optical element 4K. Thereby, the 1st surface 11 can be efficiently illuminated with high illumination intensity. Moreover, generation | occurrence | production of a speckle pattern can be suppressed and the 1st surface 11 can be illuminated by substantially uniform illumination intensity distribution.

なお、角度調整用光学素子５としては、図１０に示すように、複数のレーザ光源装置２のそれぞれに対応するように設けられた複数の異なるレンズ面５Ａを有する光学素子であってもよい。   The angle adjusting optical element 5 may be an optical element having a plurality of different lens surfaces 5A provided so as to correspond to each of the plurality of laser light source devices 2, as shown in FIG.

また、上述の屈折レンズを含む光学素子を、光の光路方向（図ではＺ軸方向）に複数並べて配置するようにしてもよい。   A plurality of optical elements including the above-described refractive lens may be arranged side by side in the light path direction (Z-axis direction in the drawing).

なお、第２〜第４実施形態において、複数のレーザ光源装置２は一次元方向（Ｘ軸方向）に複数並んで設けられているが、二次元方向（ＸＹ方向）に複数並んで設けられていてもよい。   In the second to fourth embodiments, a plurality of laser light source devices 2 are provided side by side in the one-dimensional direction (X-axis direction), but a plurality of laser light source devices 2 are provided side by side in the two-dimensional direction (XY direction). May be.

＜第５実施形態＞
第５実施形態について図１１を参照しながら説明する。図１１は第４実施形態に係る照明装置１を示す図である。本実施形態の特徴的な部分は、回折光学素子４Ｋと第１面１１との間に、角度調整用光学素子５として回折光学素子５Ｋを設けた点にある。 <Fifth Embodiment>
A fifth embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a diagram showing the lighting device 1 according to the fourth embodiment. A characteristic part of this embodiment is that a diffractive optical element 5K is provided as an angle adjusting optical element 5 between the diffractive optical element 4K and the first surface 11.

図１１において、照明装置１は、レーザ光源装置２からのレーザ光Ｌ１が照射される回折光学素子４Ｋと、回折光学素子４Ｋと第１面１１との間に設けられ、回折光学素子４Ｋからの光が照射されるとともに、射出する光の射出角度を調整する第２回折光学素子５Ｋとを備えている。回折光学素子４Ｋは、上述の実施形態同様、照明領域を矩形状に設定することができる。したがって、回折光学素子４Ｋは、第２回折光学素子５Ｋを矩形状の照明領域で照明する。第２回折光学素子５Ｋは、射出する光の射出角度、ひいては第１面１１に対する光の入射角度を調整可能である。本実施形態の第２回折光学素子５Ｋは、フレネルレンズを含む。   In FIG. 11, the illuminating device 1 is provided between the diffractive optical element 4K irradiated with the laser light L1 from the laser light source device 2, and between the diffractive optical element 4K and the first surface 11, and from the diffractive optical element 4K. A second diffractive optical element 5K that adjusts the emission angle of the emitted light while being irradiated with light is provided. The diffractive optical element 4K can set the illumination area to a rectangular shape as in the above-described embodiment. Therefore, the diffractive optical element 4K illuminates the second diffractive optical element 5K with a rectangular illumination region. The second diffractive optical element 5 </ b> K can adjust the emission angle of the emitted light, and hence the incident angle of the light with respect to the first surface 11. The second diffractive optical element 5K of the present embodiment includes a Fresnel lens.

また、本実施形態においては、照明装置１は、光を通過可能な基板６を備えており、回折光学素子４Ｋは、基板６のうち、レーザ光源装置２に近い面に設けられ、第２回折光学素子５Ｋは、第１面１１に近い面に設けられている。基板６は、例えば透明の合成樹脂製のフィルム状部材、あるいは石英などのガラス製の板状部材により構成されている。   Moreover, in this embodiment, the illuminating device 1 is provided with the board | substrate 6 which can permeate | transmit light, and the diffractive optical element 4K is provided in the surface close | similar to the laser light source device 2 among the board | substrates 6, and is 2nd diffraction. The optical element 5K is provided on a surface close to the first surface 11. The substrate 6 is made of, for example, a transparent synthetic resin film member or a glass plate member such as quartz.

このように、角度調整用光学素子５を回折光学素子５Ｋによって構成することも可能である。また、光を通過可能な基板６の一方の面に照明領域の形状を設定する回折光学素子４Ｋを設け、他方の面に光の射出角度を調整する第２回折光学素子５Ｋを設けることが可能であり、こうすることにより、照明装置１の部品点数を抑えて、第１面１１を効率良く照明することができる。   In this manner, the angle adjusting optical element 5 can be constituted by the diffractive optical element 5K. Further, it is possible to provide the diffractive optical element 4K for setting the shape of the illumination region on one surface of the substrate 6 that can transmit light, and the second diffractive optical element 5K for adjusting the light emission angle on the other surface. By doing so, it is possible to efficiently illuminate the first surface 11 while suppressing the number of parts of the illumination device 1.

なお、第５実施形態において、基板６を設けずに、回折光学素子４Ｋと第２回折光学素子５Ｋとを離して設けてもよい。   In the fifth embodiment, the diffractive optical element 4K and the second diffractive optical element 5K may be provided separately without providing the substrate 6.

なお、第５実施形態において、基板６の一方の面に回折光学素子４Ｋを設け、他方の面に角度調整用光学素子として屈折レンズ等を設けてもよい。   In the fifth embodiment, the diffractive optical element 4K may be provided on one surface of the substrate 6, and a refractive lens or the like may be provided as an angle adjusting optical element on the other surface.

なお、角度調整用光学素子５として、第４実施形態で説明した屈折レンズと、第５実施形態で説明した回折光学素子とを組み合わせてもよい。   As the angle adjusting optical element 5, the refractive lens described in the fourth embodiment and the diffractive optical element described in the fifth embodiment may be combined.

なお、上述の第１〜第５実施形態においては、回折光学素子として透過型の回折光学素子のうち、位相変調型の回折光学素子を用いているが、振幅変調型の回折光学素子を用いることもできる。また、透過型の回折光学素子に限られず、反射型の回折光学素子を用いることもできる。また、例えば、透過型の回折光学素子と、反射型の回折光学素子とを組み合わせてもよい。そして、それら回折光学素子の表面条件を最適化することにより、その回折光学素子に所望の機能を持たせることができる。   In the first to fifth embodiments described above, among the transmission type diffractive optical elements, the phase modulation type diffractive optical element is used as the diffractive optical element, but the amplitude modulation type diffractive optical element is used. You can also. Further, the invention is not limited to the transmission type diffractive optical element, and a reflection type diffractive optical element can also be used. Further, for example, a transmissive diffractive optical element and a reflective diffractive optical element may be combined. Then, by optimizing the surface conditions of these diffractive optical elements, the diffractive optical elements can have a desired function.

なお上述の各実施形態においては、空間光変調装置として透過型の液晶装置（ライトバルブ）を用いているが、反射型の液晶装置を用いることもできるし、例えばＤＭＤ（Digital Micromirror Device）等の反射型光変調装置（ミラー変調器）を用いてもよい。   In each of the above-described embodiments, a transmissive liquid crystal device (light valve) is used as the spatial light modulator, but a reflective liquid crystal device can also be used, for example, a DMD (Digital Micromirror Device) or the like. A reflective light modulator (mirror modulator) may be used.

なお、上述の各実施形態では、スクリーン１００の正面側からスクリーン１００上に画像情報を含む光を投射するフロント投射型のプロジェクタを例にして説明したが、投射ユニットＵと、スクリーン１００と、筐体とを有し、投射ユニットＵがスクリーン１００の背面側に配置され、スクリーン１００の背面側からスクリーン１００上に画像情報を含む光を投射する所謂リアプロジェクタに、上述の各実施形態の照明装置１を適用することもできる。   In each of the above-described embodiments, the front projection type projector that projects light including image information onto the screen 100 from the front side of the screen 100 has been described as an example. However, the projection unit U, the screen 100, and the housing are described. And the projection unit U is disposed on the back side of the screen 100, and the so-called rear projector that projects light including image information from the back side of the screen 100 onto the screen 100. 1 can also be applied.

なお、上述の実施形態のプロジェクタＰＪは、各基本色光（Ｒ、Ｇ、Ｂ）を射出可能なレーザ光源装置２をそれぞれ有する第１、第２、第３照明装置１Ｒ、１Ｇ、１Ｂを有しているが、赤色光（Ｒ）を射出する赤色レーザ光源装置、緑色光（Ｇ）を射出する緑色レーザ光源装置、及び青色光（Ｂ）を射出する青色レーザ光源装置をアレイ状に配置した構成を有する照明装置を１つ有する構成であってもよい。この場合、各基本色光を射出可能なレーザ光源装置のレーザ光射出動作を時分割で行い、その各レーザ光源装置のレーザ光射出動作に同期して、ライトバルブの動作を制御することにより、１つの照明装置及び１つのライトバルブでスクリーン１００上にフルカラー画像を表示することができる。   In addition, the projector PJ of the above-described embodiment includes the first, second, and third illumination devices 1R, 1G, and 1B each having the laser light source device 2 that can emit each basic color light (R, G, and B). However, a red laser light source device that emits red light (R), a green laser light source device that emits green light (G), and a blue laser light source device that emits blue light (B) are arranged in an array. The structure which has one illuminating device which has these may be sufficient. In this case, the laser light emission operation of the laser light source device capable of emitting each basic color light is performed in a time-sharing manner, and the operation of the light valve is controlled in synchronization with the laser light emission operation of each laser light source device. A full color image can be displayed on the screen 100 with one lighting device and one light valve.

＜第６実施形態＞
なお、上述の各実施形態においては、照明装置１で空間光変調装置を照明し、その空間光変調装置を介した光によりスクリーン１００上に画像を表示しているが、画像表示装置（プロジェクタ）としては、空間光変調装置を有していなくてもよい。例えば図１２に示すような、画像情報を含むスライド（ポジフィルム）１０’の面１１’を照明装置１で照明し、スクリーン１００上に画像情報を含む光を投射する、所謂スライドプロジェクタに、上述の各実施形態の照明装置１を適用することも可能である。 <Sixth Embodiment>
In each of the above-described embodiments, the illumination device 1 illuminates the spatial light modulation device, and an image is displayed on the screen 100 by light passing through the spatial light modulation device. However, the image display device (projector) is used. For example, the spatial light modulator may not be provided. For example, as shown in FIG. 12, a so-called slide projector that illuminates a surface 11 ′ of a slide (positive film) 10 ′ including image information with a lighting device 1 and projects light including image information on a screen 100 is described above. It is also possible to apply the illumination device 1 of each of the embodiments.

また、画像表示装置としては、投射系を有さず空間光変調装置の画像を直接観察する直視型の画像表示装置であってもよい。   The image display device may be a direct-view image display device that does not have a projection system and directly observes the image of the spatial light modulation device.

第１実施形態に係る照明装置の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the illuminating device which concerns on 1st Embodiment. 回折光学素子の一例を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating an example of a diffractive optical element. 回折光学素子の一例を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating an example of a diffractive optical element. 回折光学素子の製造方法の一例を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating an example of the manufacturing method of a diffractive optical element. 照明装置で照明された第１面を示す図である。It is a figure which shows the 1st surface illuminated with the illuminating device. 第１実施形態に係る照明装置を備えた画像表示装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the image display apparatus provided with the illuminating device which concerns on 1st Embodiment. 第２実施形態に係る照明装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the illuminating device which concerns on 2nd Embodiment. 第３実施形態に係る照明装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the illuminating device which concerns on 3rd Embodiment. 第４実施形態に係る照明装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the illuminating device which concerns on 4th Embodiment. 第４実施形態に係る照明装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the illuminating device which concerns on 4th Embodiment. 第５実施形態に係る照明装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the illuminating device which concerns on 5th Embodiment. 第６実施形態に係る画像表示装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the image display apparatus which concerns on 6th Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１…照明装置、２…レーザ光源装置、４Ｋ…回折光学素子、５…角度調整用光学素子、６…基板、１０…空間光変調装置、１１…第１面（入射面）、１００…スクリーン（第２面）、ＬＡ…照明領域、ＰＪ…画像表示装置（プロジェクタ） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Illuminating device, 2 ... Laser light source device, 4K ... Diffractive optical element, 5 ... Optical element for angle adjustment, 6 ... Substrate, 10 ... Spatial light modulator, 11 ... 1st surface (incident surface), 100 ... Screen ( Second surface), LA ... illumination area, PJ ... image display device (projector)

Claims (10)

レーザ光をそれぞれ射出する複数のレーザ光源装置と、
複数の前記レーザ光源装置に対応するように設けられ、前記レーザ光源装置から射出されたレーザ光がそれぞれ入射されるとともに、該入射されたレーザ光により回折光を生成し、前記回折光で第１面上を所定の照明領域でそれぞれ照明する複数の回折光学素子とを備え、
複数の前記回折光学素子のそれぞれで生成した前記回折光を直接前記第１面に入射させ、該回折光で前記第１面上の前記所定の照明領域を重畳的に照明し、
前記回折光学素子は、前記回折光学素子の表面に複数の矩形状の凹部を有し、前記凹部は、互いに異なる深さを有し、前記凹部どうしの間の複数の凸部は、互いに異なる高さを有する照明装置。 A plurality of laser light source devices each emitting laser light;
Provided to correspond to a plurality of the laser light source devices, the laser light emitted from the laser light source device is respectively incident, and diffracted light is generated by the incident laser light, and the first light is generated by the diffracted light. A plurality of diffractive optical elements that respectively illuminate the surface with a predetermined illumination area ,
The diffracted light generated by each of the plurality of diffractive optical elements is directly incident on the first surface, and the predetermined illumination area on the first surface is illuminated in a superimposed manner with the diffracted light,
The diffractive optical element has a plurality of rectangular recesses on the surface of the diffractive optical element, the recesses have different depths, and the plurality of protrusions between the recesses have different heights. A lighting device having a thickness. 前記回折光学素子は前記第１面上を矩形状の照明領域で照明する請求項１記載の照明装置。   The illumination device according to claim 1, wherein the diffractive optical element illuminates the first surface with a rectangular illumination region. 前記回折光学素子は前記照明領域での照度を均一化する請求項１又は２記載の照明装置。   The illumination device according to claim 1, wherein the diffractive optical element makes the illuminance uniform in the illumination area. 前記回折光学素子は該回折光学素子の光射出面から光が射出される射出領域よりも大きい照明領域で前記第１面を照明する請求項１〜３のいずれか一項記載の照明装置。   The illumination device according to any one of claims 1 to 3, wherein the diffractive optical element illuminates the first surface with an illumination area larger than an emission area where light is emitted from a light emission surface of the diffractive optical element. 前記レーザ光源装置から射出されたレーザ光が前記回折光学素子に直接的に入射される請求項１〜４のいずれか一項記載の照明装置。   The illumination device according to any one of claims 1 to 4, wherein the laser light emitted from the laser light source device is directly incident on the diffractive optical element. レーザ光をそれぞれ射出する複数のレーザ光源装置と、  A plurality of laser light source devices each emitting laser light;
複数の前記レーザ光源装置に対応するように設けられ、前記レーザ光源装置から射出されたレーザ光がそれぞれ入射されるとともに、該入射されたレーザ光により回折光を生成し、前記回折光で第１面上を所定の照明領域でそれぞれ照明する複数の回折光学素子とを備え、  Provided to correspond to a plurality of the laser light source devices, the laser light emitted from the laser light source device is respectively incident, and diffracted light is generated by the incident laser light, and the first light is generated by the diffracted light. A plurality of diffractive optical elements that respectively illuminate the surface with a predetermined illumination area,
複数の前記回折光学素子のそれぞれで生成した前記回折光で前記第１面上の前記所定の照明領域の全体を重畳的に照明するように前記回折光を生成し、  Generating the diffracted light so as to illuminate the entire predetermined illumination area on the first surface with the diffracted light generated by each of the plurality of diffractive optical elements,
さらに、前記回折光学素子と前記第１面との間に設けられ、前記回折光学素子からの光が照射されるとともに、射出する光の射出角度を調整する角度調整用光学素子を備えた照明装置。  Further, an illuminating device provided between the diffractive optical element and the first surface, and provided with an angle adjusting optical element that adjusts an emission angle of the emitted light while being irradiated with light from the diffractive optical element. . 光を通過可能な基板を備え、
前記回折光学素子は前記基板の一方の面に設けられ、前記角度調整用光学素子は他方の面に設けられている請求項６記載の照明装置。 It has a substrate that can pass light,
The illumination device according to claim 6, wherein the diffractive optical element is provided on one surface of the substrate, and the angle adjusting optical element is provided on the other surface. 請求項１〜請求項７のいずれか一項記載の照明装置で照明され、前記第１面を介した光により画像を表示する画像表示装置。 An image display device that is illuminated by the illumination device according to any one of claims 1 to 7 and displays an image by light through the first surface. 前記第１面は照明された光を画像信号に応じて光変調する空間光変調装置の入射面を含む請求項８記載の画像表示装置。 The image display device according to claim 8, wherein the first surface includes an incident surface of a spatial light modulation device that modulates the illuminated light in accordance with an image signal. 請求項８又は請求項９記載の画像表示装置を含み、前記第１面を介した画像情報を含む光を第２面上に投射する投射系を備えたプロジェクタ。 10. A projector comprising the image display device according to claim 8 or 9 , wherein the projector includes a projection system that projects light including image information via the first surface onto the second surface.
JP2005213493A 2005-07-22 2005-07-22 LIGHTING DEVICE, IMAGE DISPLAY DEVICE, AND PROJECTOR Expired - Fee Related JP4407585B2 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005213493A JP4407585B2 (en) 2005-07-22 2005-07-22 LIGHTING DEVICE, IMAGE DISPLAY DEVICE, AND PROJECTOR
CN200610100296XA CN1900759B (en) 2005-07-22 2006-07-06 Image display device, and projector
US11/490,264 US7583875B2 (en) 2005-07-22 2006-07-21 Illumination device, image display device, and projector
US12/458,938 US7856160B2 (en) 2005-07-22 2009-07-28 Illumination device, image display device, and projector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005213493A JP4407585B2 (en) 2005-07-22 2005-07-22 LIGHTING DEVICE, IMAGE DISPLAY DEVICE, AND PROJECTOR

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007033576A JP2007033576A (en) 2007-02-08
JP4407585B2 true JP4407585B2 (en) 2010-02-03

Family

ID=37656682

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005213493A Expired - Fee Related JP4407585B2 (en) 2005-07-22 2005-07-22 LIGHTING DEVICE, IMAGE DISPLAY DEVICE, AND PROJECTOR

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP4407585B2 (en)
CN (1) CN1900759B (en)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7950809B2 (en) 2007-03-27 2011-05-31 Seiko Epson Corporation Hologram element, illumination device, projector, and method of manufacturing hologram element
JP2008268878A (en) * 2007-03-27 2008-11-06 Seiko Epson Corp Hologram element, illumination device, projector, and method of manufacturing hologram element
JP4552956B2 (en) 2007-04-03 2010-09-29 セイコーエプソン株式会社 Lighting device and projector
JP4379482B2 (en) 2007-04-03 2009-12-09 セイコーエプソン株式会社 Light source device and projector
JP5194556B2 (en) * 2007-05-21 2013-05-08 セイコーエプソン株式会社 Image display device
JP4475302B2 (en) 2007-08-07 2010-06-09 セイコーエプソン株式会社 Projector and projection device
JP5104205B2 (en) 2007-10-24 2012-12-19 セイコーエプソン株式会社 Image display device
JP5386821B2 (en) 2007-12-28 2014-01-15 セイコーエプソン株式会社 Light source device and projector
JP5211697B2 (en) 2008-01-07 2013-06-12 セイコーエプソン株式会社 Lighting device, image display device, and projector
WO2010018623A1 (en) * 2008-08-12 2010-02-18 Ｎｅｃディスプレイソリューションズ株式会社 Projector and method for controlling the same
JP2011040618A (en) * 2009-08-12 2011-02-24 Nikon Corp Diffraction optical element, illumination optical system, exposure apparatus, method of manufacturing device, and method of designing diffraction optical element
WO2011098948A1 (en) * 2010-02-10 2011-08-18 Koninklijke Philips Electronics N.V. Lighting apparatus
JP5948948B2 (en) * 2011-03-03 2016-07-06 旭硝子株式会社 Diffractive optical element and measuring device
ES2924254T3 (en) 2011-03-14 2022-10-05 Dolby Laboratories Licensing Corp Projector with two stages of modulation, method of driving a projector with two stages of modulation and computer readable medium
JP6432637B2 (en) * 2011-04-15 2018-12-05 大日本印刷株式会社 Illumination device, projection device, and projection-type image display device
JP2012230360A (en) * 2011-04-15 2012-11-22 Dainippon Printing Co Ltd Illumination device, projection device and projection type image display device
JP6051648B2 (en) * 2012-07-23 2016-12-27 セイコーエプソン株式会社 Projector and control method thereof
JP6186679B2 (en) * 2012-08-09 2017-08-30 旭硝子株式会社 Illumination optical system, measuring apparatus, and diffractive optical element used therefor
JP6070274B2 (en) * 2013-02-28 2017-02-01 旭硝子株式会社 Diffusion element, illumination optical system and measuring device
JP6322926B2 (en) * 2013-08-12 2018-05-16 大日本印刷株式会社 Illumination device, projection device, and projection display device
WO2015054797A1 (en) * 2013-10-20 2015-04-23 Mtt Innovation Incorporated Light field projectors and methods
JP6318659B2 (en) * 2014-02-03 2018-05-09 セイコーエプソン株式会社 Lighting device and projector
JP6343972B2 (en) * 2014-03-10 2018-06-20 富士通株式会社 Illumination device and biometric authentication device
WO2015172236A1 (en) 2014-05-15 2015-11-19 Mtt Innovation Incorporated Optimizing drive schemes for multiple projector systems
JP6520032B2 (en) * 2014-09-24 2019-05-29 富士通株式会社 Lighting device and biometrics device
JP6586729B2 (en) * 2015-01-16 2019-10-09 富士通株式会社 Illumination device and biometric authentication device
CN105116674B (en) * 2015-08-03 2017-04-19 联想(北京)有限公司 Display equipment and display control method
JP6958120B2 (en) * 2016-08-29 2021-11-02 大日本印刷株式会社 Diffractive optical element, light irradiation device
WO2019174455A1 (en) 2018-03-12 2019-09-19 Oppo广东移动通信有限公司 Laser projection module and detection method and apparatus therefor, and depth camera module and electronic apparatus
CN108508624B (en) * 2018-03-12 2020-01-10 Oppo广东移动通信有限公司 Laser projection module, detection method and device thereof, depth camera and electronic device
CN111550749A (en) * 2019-01-23 2020-08-18 奇景光电股份有限公司 Lighting device

Also Published As

Publication number Publication date
CN1900759B (en) 2010-12-01
CN1900759A (en) 2007-01-24
JP2007033576A (en) 2007-02-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4407585B2 (en) LIGHTING DEVICE, IMAGE DISPLAY DEVICE, AND PROJECTOR
JP4821204B2 (en) LIGHTING DEVICE, IMAGE DISPLAY DEVICE, AND PROJECTOR
JP4449848B2 (en) LIGHTING DEVICE, IMAGE DISPLAY DEVICE, AND PROJECTOR
JP6917014B2 (en) Lighting equipment, projection equipment and projection type image display equipment
US7856160B2 (en) Illumination device, image display device, and projector
US8029146B2 (en) Light source device and projector
US10481409B2 (en) Projection device and projection-type video display device
JP5386821B2 (en) Light source device and projector
US7748853B2 (en) Lighting device and projector
JP4367394B2 (en) Image display device and projector
JP2009151221A (en) Illuminator, image display apparatus, and polarization conversion/diffusion member
US9013641B2 (en) Projection type image display device
JP2008257238A (en) Illumination device and method for illuminating uniformly image generating micro display
JP2008152019A (en) Light source device, image display apparatus, projector, illumination apparatus and monitor apparatus
US9448417B2 (en) Illumination device and projector
JP2010210985A (en) Projector
JP5428822B2 (en) Lighting device and projector
US7950809B2 (en) Hologram element, illumination device, projector, and method of manufacturing hologram element
JP5725138B2 (en) Lighting device and projector
JP4788839B2 (en) LIGHTING DEVICE, IMAGE DISPLAY DEVICE, AND PROJECTOR
JP2007171745A (en) Illuminator and projector
JP2002268003A (en) Display device
JP5429343B2 (en) Image display device

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090128

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090203

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090403

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20091020

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20091102

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4407585

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121120

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121120

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131120

Year of fee payment: 4

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees