JP4400348B2 - ターボ分子ポンプおよびバランス修正方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 22
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 22
- 238000005536 corrosion prevention Methods 0.000 claims description 18
- 238000012217 deletion Methods 0.000 claims description 12
- 230000037430 deletion Effects 0.000 claims description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 5
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001096 P alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N phosphanylidynenickel Chemical compound [P].[Ni] OFNHPGDEEMZPFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 208000018883 loss of balance Diseases 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
- F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/662—Balancing of rotors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
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Description
請求項2の発明は、表面に耐食処理が施されたロータを耐食性のボルトで回転軸に締結して一体とした回転体と、回転体を磁気浮上させるラジアル磁気軸受およびスラスト磁気軸受とを備えたターボ分子ポンプに適用され、回転軸に固定されたスラスト磁気軸受用ロータディスクと、ロータと回転軸とを締結するボルトの座金として用いられるバランス修正部材とを備え、バランス修正部材およびスラスト磁気軸受用ロータディスクの周面の2箇所のみを一部削除して2面修正を行うことにより、回転体のアンバランスが修正されていることを特徴とする。
請求項3の発明は、スラスト磁気軸受用のロータディスクとロータとを備える磁気軸受式ターボ分子ポンプ用回転体のバランス修正方法であって、回転軸にロータディスクを取り付けるとともに、回転体とロータとをボルトヘッドにバランス修正削除部が追加形成されたボルトで締結して、磁気軸受式ターボ分子ポンプ用回転体を組み立てる工程と、組み立てる工程の後に、少なくともロータの一部を削除して磁気軸受式ターボ分子ポンプ用回転体のバランス修正を行う第1のバランス修正工程と、第1のバランス修正工程の後に、ロータの表面に腐食防止膜を形成する腐食防止膜形成工程と、腐食防止膜形成工程の後に、回転軸に取り付けられたロータディスクの周面の一部を削除して第1面のバランス修正を行うとともに、バランス修正削除部の一部を削除することにより第2面のバランス修正を行う第2のバランス修正工程と、を有することを特徴とする。
請求項4の発明は、スラスト磁気軸受用のロータディスクとロータとを備える磁気軸受式ターボ分子ポンプ用回転体のバランス修正方法であって、回転軸にロータディスクを取り付けるとともに、バランス修正部材を兼用する座金を用いて回転体とロータとをボルト締結し、磁気軸受式ターボ分子ポンプ用回転体を組み立てる工程と、組み立てる工程の後に、少なくともロータの一部を削除して磁気軸受式ターボ分子ポンプ用回転体のバランス修正を行う第1のバランス修正工程と、第1のバランス修正工程の後に、ロータの表面に腐食防止膜を形成する腐食防止膜形成工程と、腐食防止膜形成工程の後に、回転軸に取り付けられたロータディスクの周面の一部を削除して第1面のバランス修正を行うとともに、座金の一部を削除することにより第2面のバランス修正を行う第2のバランス修正工程と、を有することを特徴とする。
また、スラスト磁気軸受用のロータディスクをバランス修正に用いることで、バランス修正における2面修正を容易にできる。
変形例1では、図5の(a),(b)に示すようにバランス修正用リング30をボルト27の座金として兼用するようにした。バランス修正の際には、このバランス修正用リング30の一部をドリル等で削り取るようにする。符号30aは削除部分を示しており、図5では孔になっている。リング30はボルト27によって共締めされ、鉄やステンレスなどで形成される。
図6は第2の変形例を示す図であり、図2と同様の断面図である。上述した変形例1ではバランス修正用のリング30をフランジ部3aに取り付けたが、図6に示す例では、バランス修正用のボルト31をロータ2の上面に設けた。図7の(a)は図6のB矢視図であり、(b)はボルト31付加部分の断面図である。ボルト31は軸対称に8本取り付けられており、アンバランス量に応じてボルト31のヘッドの一部を削り取る。斜線を施した部分が削除部分である。
図8は第3の変形例を説明する図であり、(a),(b)はそれぞれ図7の(a),(b)と同様の部分を示す図である。図8に示す変形例では、ロータ2にバランス修正用円板32をボルト33を用いて取り付けた。アンバランス量に応じてバランス修正用円板32の一部を削り取るようにする。
2 ロータ
3 回転軸
3a フランジ部
27,31 ボルト
27a 削除部
30 バランス修正用リング
32 バランス修正用円板
51,52 ラジアル電磁石
53 スラスト電磁石
75 ターゲット
76 ロータディスク
Claims (4)
- 表面に耐食処理が施されたロータを耐食性のボルトで回転軸に締結して一体とした回転体と、前記回転体を磁気浮上させるラジアル磁気軸受およびスラスト磁気軸受とを備えたターボ分子ポンプにおいて、
前記回転軸に固定されたスラスト磁気軸受用ロータディスクと、
前記ボルトのヘッドに追加形成されたバランス修正削除部とを備え、
前記バランス修正削除部および前記スラスト磁気軸受用ロータディスクの周面の2箇所のみを一部削除して2面修正を行うことにより、前記回転体のアンバランスが修正されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 表面に耐食処理が施されたロータを耐食性のボルトで回転軸に締結して一体とした回転体と、前記回転体を磁気浮上させるラジアル磁気軸受およびスラスト磁気軸受とを備えたターボ分子ポンプにおいて、
前記回転軸に固定されたスラスト磁気軸受用ロータディスクと、
前記ロータと前記回転軸とを締結するボルトの座金として用いられるバランス修正部材とを備え、
前記バランス修正部材および前記スラスト磁気軸受用ロータディスクの周面の2箇所のみを一部削除して2面修正を行うことにより、前記回転体のアンバランスが修正されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - スラスト磁気軸受用のロータディスクとロータとを備える磁気軸受式ターボ分子ポンプ用回転体のバランス修正方法であって、
回転軸に前記ロータディスクを取り付けるとともに、前記回転体と前記ロータとを前記ボルトヘッドにバランス修正削除部が追加形成されたボルトで締結して、前記磁気軸受式ターボ分子ポンプ用回転体を組み立てる工程と、
前記組み立てる工程の後に、少なくとも前記ロータの一部を削除して前記磁気軸受式ターボ分子ポンプ用回転体のバランス修正を行う第1のバランス修正工程と、
前記第1のバランス修正工程の後に、前記ロータの表面に腐食防止膜を形成する腐食防止膜形成工程と、
前記腐食防止膜形成工程の後に、前記回転軸に取り付けられた前記ロータディスクの周面の一部を削除して第1面のバランス修正を行うとともに、前記バランス修正削除部の一部を削除することにより第2面のバランス修正を行う第2のバランス修正工程と、を有することを特徴とする磁気軸受式ターボ分子ポンプ用回転体のバランス修正方法。 - スラスト磁気軸受用のロータディスクとロータとを備える磁気軸受式ターボ分子ポンプ用回転体のバランス修正方法であって、
回転軸に前記ロータディスクを取り付けるとともに、バランス修正部材を兼用する座金を用いて前記回転体と前記ロータとをボルト締結し、前記磁気軸受式ターボ分子ポンプ用回転体を組み立てる工程と、
前記組み立てる工程の後に、少なくとも前記ロータの一部を削除して前記磁気軸受式ターボ分子ポンプ用回転体のバランス修正を行う第1のバランス修正工程と、
前記第1のバランス修正工程の後に、前記ロータの表面に腐食防止膜を形成する腐食防止膜形成工程と、
前記腐食防止膜形成工程の後に、前記回転軸に取り付けられた前記ロータディスクの周面の一部を削除して第1面のバランス修正を行うとともに、前記座金の一部を削除することにより第2面のバランス修正を行う第2のバランス修正工程と、を有することを特徴とする磁気軸受式ターボ分子ポンプ用回転体のバランス修正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004203214A JP4400348B2 (ja) | 2004-07-09 | 2004-07-09 | ターボ分子ポンプおよびバランス修正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004203214A JP4400348B2 (ja) | 2004-07-09 | 2004-07-09 | ターボ分子ポンプおよびバランス修正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006022771A JP2006022771A (ja) | 2006-01-26 |
JP4400348B2 true JP4400348B2 (ja) | 2010-01-20 |
Family
ID=35796221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004203214A Expired - Lifetime JP4400348B2 (ja) | 2004-07-09 | 2004-07-09 | ターボ分子ポンプおよびバランス修正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4400348B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5660292B2 (ja) * | 2010-08-09 | 2015-01-28 | 株式会社Ihi | バランス修正装置と方法 |
DE102011105806A1 (de) * | 2011-05-05 | 2012-11-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe mit Rotor |
DE102012110029A1 (de) * | 2012-10-19 | 2014-04-24 | Atlas Copco Energas Gmbh | Turbomaschine zur Verdichtung eines gas- oder dampfförmigen Fluids |
WO2015083195A1 (ja) * | 2013-12-02 | 2015-06-11 | 株式会社飯塚鉄工所 | スクリュー真空ポンプ |
DE102014103060B4 (de) * | 2014-03-07 | 2019-01-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum Wuchten eines Rotors einer Vakuumpumpe oder eines Rotors einer Rotationseinheit für eine Vakuumpumpe |
JP7108377B2 (ja) * | 2017-02-08 | 2022-07-28 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、真空ポンプに備わる回転部、およびアンバランス修正方法 |
JP6834845B2 (ja) * | 2017-08-15 | 2021-02-24 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
CN108412785A (zh) * | 2018-02-26 | 2018-08-17 | 北京海斯德电机技术有限公司 | 一种复合分子泵 |
CN108412786A (zh) * | 2018-02-26 | 2018-08-17 | 北京海斯德电机技术有限公司 | 一种复合分子泵 |
-
2004
- 2004-07-09 JP JP2004203214A patent/JP4400348B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006022771A (ja) | 2006-01-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060914 |
|
A977 | Report on retrieval |
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