JP4393897B2 - 成膜装置 - Google Patents
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Description
壁部を貫通するように前記ポートが形成された筒状のポート部と、電気絶縁性を有する環状の絶縁スペーサと、貫通孔が形成された枠体を有しかつ該貫通孔には開閉可能なゲート弁が配設されたゲート弁部と、貫通孔が形成された枠体を有しかつ該貫通孔の周囲の該枠体外面には金型接合面との接合面が形成されたアダプタ部とを有し、前記ポート部の後端が前記装置部の前面の前記ターゲットの周囲部分に前記絶縁スペーサを介して接合され、かつ該ポート部の前端に前記ゲート弁部及び前記アダプタ部が順に接合され、前記絶縁スペーサの内孔、前記ポート部の内孔、前記ゲート弁部の貫通孔、及び前記アダプタ部の貫通孔が互いに連通し、かつ前記アダプタ部の前記接合面が前端に位置するように構成され、該接合面が残置された基材の周囲の金型接合面と接合可能に形成されていてもよい(請求項6)。
図1は、本発明の実施の形態1に係る成膜装置100の概略の構成を示す図であって、(a)は正面図、(b)は側面図、(c)は背面図である。図2は、図1の成膜装置100の結合構造を示す分解斜視図である。説明の便宜上、構成要素を分解して示している。図3は、図1のIII−III線断面における、成膜装置100と、金型Pと、基材Wとの接合構造を示す断面図である。また、図3において、ボルト7,8,9及び絶縁ガイド11は一部のみを記載し、同種のボルト等の記載は省略している。
本発明の実施の形態2は、実施の形態1のゲート弁部4を省略した成膜装置110を例示する。
1a ターゲット
1b マグネット
1c、1p 冷却液流路
1d 冷却液配管接続部
1e 接合面
1f 電気接続端子
1g ボルト挿通孔
1h 枠体
2 絶縁スペーサ
2c 内孔
2g ボルト挿通孔
3 ポート部
3a ポート
3b 配管接続部
3c 内孔
3e 第1の端面
3f 第2の端面
3g ネジ孔
3j ボルト挿通孔
4 ゲート弁部
4a 弁体
4b 弁体移動空間
4c 貫通孔
4e、4f 接合面
4j ネジ孔
4k ネジ孔
4n、4m ボス部
5 アダプタ部
5a 防着部
5b Oリング
5c 貫通孔
5e 第1の面
5f 開口側端面(第2の面)
5k ボルト挿通孔
7,8、9 ボルト
11 絶縁ガイド
13 ポート部
13a ポート
13b 配管接続部
13c 内孔
13e 第1の端面
13f 第2の端面
13k ネジ孔
15 凹部
15a 段部
21、22,23 配管
24 減圧用チャンバ
50 中心軸
61 部品成型用凹部
100、110 成膜装置
200 排気系統
A 予備的閉鎖空間
B 閉鎖空間
C 閉鎖空間
V1、V2、V3 バルブ
P1 第1の真空ポンプ
P2 第2の真空ポンプ
W 基材
Wa 成膜面
P 金型
Pa 金型接合面
P’金型
Claims (9)
- 両端を有し、一端が底部によって閉鎖され、他端が開放された筒状の枠体と、
前記底部内面に配設されたターゲットと、
前記枠体の壁部を貫通するように形成されたポートと、を有し、
前記枠体の他端の端面には、金型に残置された基材の周囲の金型接合面に接合可能な接合面が構成されていて、前記金型に前記基材を残置させたまま前記金型接合面と前記接合面とが接合して構成される、成膜装置。 - 前記ターゲットは、前記壁部と電気的に絶縁して配設された、請求項1に記載の成膜装置。
- 前記底部は導電性を有する、請求項2に記載の成膜装置。
- 前記底部の外面に電気接続端子を有する、請求項3に記載の成膜装置。
- 前記枠体の開放された他端と前記ターゲットとの連通を開閉するようにゲート弁が前記壁部に配設された、請求項1に記載の成膜装置。
- 前面に前記ターゲットが配設されかつ後面に前記電気接続端子が配設された装置部と、
壁部を貫通するように前記ポートが形成された筒状のポート部と、
電気絶縁性を有する環状の絶縁スペーサと、
貫通孔が形成された枠体を有しかつ該貫通孔には開閉可能なゲート弁が配設されたゲート弁部と、
貫通孔が形成された枠体を有しかつ該貫通孔の周囲の該枠体外面には金型接合面との接合面が形成されたアダプタ部とを有し、
前記ポート部の後端が前記装置部の前面の前記ターゲットの周囲部分に前記絶縁スペーサを介して接合され、かつ該ポート部の前端に前記ゲート弁部及び前記アダプタ部が順に接合され、
前記絶縁スペーサの内孔、前記ポート部の内孔、前記ゲート弁部の貫通孔、及び前記アダプタ部の貫通孔が互いに連通し、かつ前記アダプタ部の前記接合面が前端に位置するように構成され、該接合面が残置された基材の周囲の金型接合面と接合可能に形成された、請求項5に記載の成膜装置。 - 前記装置部は、前記ターゲットの背後にマグネットと、冷却系統とを有する、請求項6に記載の成膜装置。
- 前記アダプタ部の前記貫通孔の周囲の前記枠体外面には、前記残置された基材の周囲の金型接合面との接合時において前記基材の所定の一部を被覆可能な防着部が形成された、請求項6に記載の成膜装置。
- 前記ポートには、バルブ、減圧用チャンバ及び真空ポンプを有する配管が接続され、
前記配管が、選択的に真空ポンプと減圧用チャンバとの接続を切り換え可能なように構成された、請求項1に記載の成膜装置。
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