JP4388734B2 - Air cleaning device and photocatalyst unit - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気中のボロン濃度を一定に且つ微量に制御する必要のある環境において、ケミカルフィルタの代替として用いることができる光触媒ユニットと、この光触媒ユニットを備えた空気清浄装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、空気中のボロン濃度を一定に且つ微量に制御する必要のある環境において、除塵だけでなく有機ガスも除去する必要が有る場合、除塵フィルタが有機ガスに対する除去機能を有していないため、除塵フィルタにケミカルフィルタを組み合わせて用いるようにしていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ケミカルフィルタは確かに有機ガスの除去機能に優れているものの、寿命が短く、メンテナンスに手間がかかり、また、捕集した有機ガスが離脱してせっかくの清浄環境を再び汚染してしまうということがあった。詳しく云えば、寿命の短いケミカルフィルタは定期交換が必要であることに加え、そのほとんどが再生できないため、ランニングコストの大幅な増大を招くという不都合があった。また、ケミカルフィルタには有機ガスに対する分解機能がなく、また、上流ガスの種類や濃度の特異変動により、ケミカルフィルタに一旦吸着した有機ガスや反応副生成物(NO2-)の再放出等に起因する2次汚染が発生することがあった。
そこで、本発明は、このようなケミカルフィルタが有する不都合をなくした空気清浄装置を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、前記要望に応えるべく鋭意検討の結果、光触媒ユニットを通気性光触媒体で構成し、この通気性光触媒体を実質的にボロンを含有しないものとすることにより、即ち、材料製造時にボロンを組成成分として故意に添加しないもの、具体的には、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発光分光法(ICP−AES)で分析した場合のボロン含有量が100μg/g以下で、且つ、BET一点法で測定した場合の比表面積が10m2/g以下のものとすること、また、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発生分光法(ICP−AES)で分析した場合のボロン含有量が10μg/g以下のものとすることにより、空気中のボロン濃度を増加させない状態で有機ガスを除去できることを知見した。
更に、前記通気性光触媒体をシート状に形成し、これらを気流の通過方向に互いに離間状態で複数枚を積層することにより、ケミカルフィルタに代替可能な有機ガス捕捉機能が得られ、しかも、一旦捕捉された有機ガスも不用意に離脱しないことを知見した。
更に、光触媒ユニットの上流側に、1次側除塵フィルタを設けることにより、長寿命でメンテナンス性に優れたものとなることを知見した。
本発明の空気清浄装置は、かかる知見に基づきなされたもので、請求項1記載の通り、除塵フィルタと光触媒ユニットとを含む空気清浄装置であって、前記光触媒ユニットを実質的にボロンを含有しないシート状のガラスクロス等のガラス繊維成形品に光触媒を坦持させた通気性光触媒体で構成し、前記シート状に形成された通気性光触媒体は、気流の通過方向に互いに離間状態で複数枚を積層するようにしたことを特徴とする。
また、請求項2記載の空気清浄装置は、請求項1記載の空気清浄装置において、前記通気性光触媒体は、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発光分光法(ICP−AES)で分析した場合のボロン含有量が100μg/g以下で、且つ、BET一点法で測定した場合の比表面積が10m2/g以下であることを特徴とする。
また、請求項3記載の空気清浄装置は、請求項1に記載の空気清浄装置において、前記通気性光触媒体は、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発生分光法(ICP−AES)で分析した場合のボロン含有量が10μg/g以下であることを特徴とする。
また、請求項4記載の空気清浄装置は、請求項1乃至3の何れかに記載の空気清浄装置において、前記光触媒ユニットの上流側に、1次側除塵フィルタを設けたことを特徴とする。
また、請求項5記載の空気清浄装置は、請求項1乃至4の何れかに記載の空気清浄装置において、前記ガラス繊維成形品はRガラス、Sガラス、Tガラス、Uガラス、石英ガラスの何れかであることを特徴とする。
また、本発明の光触媒ユニットは、請求項6記載の通り、ユニット本体内に、実質的にボロンを含有しないシート状のガラスクロス等のガラス繊維成形品に光触媒を坦持させ、気流の通過方向に互いに離間状態で複数枚を積層するようにした通気性光触媒体と、光源とを収容し、空気清浄装置のケーシングに載置自在としたことを特徴とする。
また、請求項7記載の光触媒ユニットは、請求項6記載の光触媒ユニットにおいて、前記通気性光触媒体は、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発光分光法(ICP−AES)で分析した場合のボロン含有量が100μg/g以下で、且つ、BET一点法で測定した場合の比表面積が10m2/g以下であることを特徴とする。
また、請求項8記載の光触媒ユニットは、請求項6に記載の光触媒ユニットにおいて、前記通気性光触媒体は、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発生分光法(ICP−AES)で分析した場合のボロン含有量が10μg/g以下であることを特徴とする。
また、請求項9記載の光触媒ユニットは、請求項6乃至8何れかに記載の光触媒ユニットにおいて、前記ユニット本体の上流側に1次側除塵フィルタを設けたことを特徴とする。
また、請求項10記載の光触媒ユニットは、請求項6至9何れかに記載の光触媒ユニットにおいて、前記ガラス繊維成形品はRガラス、Sガラス、Tガラス、Uガラス、石英ガラスの何れかであることを特徴とする。
【0005】
【発明の実施の形態】
本発明の空気清浄装置は、例えば、ファンフィルタユニットなど、少なくとも除塵フィルタと光触媒ユニットとを含む空気清浄装置であれば、特にその種類や構成は限定されるものではない。また、既存のクリーンルームとその空調設備、ミニエンバイロメント等の局所制御空間、クリーンベンチ、エアシャワー装置、パスボックス、クリーントンネル、クリーンストッカ、クリーンブース、クリーンセル(清浄空気吹出装置)等の空気清浄設備や装置に前記光触媒ユニットを組み込んで構成する場合も本発明の空気清浄装置として含まれるものである。
【0006】
前記除塵フィルタとしては、実質的にボロンを含有しないのであれば、ULPAフィルタ、HEPAフィルタ、中性能エアフィルタ、粗塵用エアフィルタ等、所望の清浄度に応じ、任意のフィルタが使用される。
【0007】
前記光触媒ユニットに用いる光源としては、紫外線ランプ、低圧水銀灯、殺菌灯、ブラックライト蛍光灯等が用いられるが、その内、低波長254nmの殺菌灯は、光触媒への有効照射光量が強くでき、光触媒作用が強くなることや、オゾンレスであることから好ましい。特に、医療、薬品、食品などバイオロジカル分野においては、殺菌灯と光触媒の併用は除菌効果が高いことから好ましい。さらに、クリーンルームにおいて、菌や微生物の除去にも対応でき、殺菌灯の使用が好ましい。
【0008】
前記光触媒としては、光照射により励起され、ガス状汚染物質を分解できるものであればいずれでもよい。酸化チタンや酸化亜鉛など、数多くのものが提案されているが、分解効率や、安全性、安定度の点から酸化チタンが好ましい。この酸化チタンは、ルチル型、アナターゼ型あるいはこれらの共存型のいずれでもかまわないが、低エネルギの光を反応させるには、ルチル型が適しており、また、反応の活性を高めるには、アナターゼ型が適している。また、前記光触媒に、Pt、Ag、Pd、RuO2、Co3O4の添加がガス状汚染物質の分解が促進されるので好ましい。
【0009】
前記光触媒体の形状は、クロス状、ハニカム状、ペーパ状、ビーズ/粒子の充填層、多孔体状等があり、通気性を実現できるものであれば、いかなるものでも構わないが、光触媒ユニットの増設により圧損上昇を低く抑えられ、且つ紫外線の漏洩が無く各種ガス状汚染物質の分解が安全に行われることから、10〜50%の開口率を有する網目状基材に光触媒を固定させてなる通気性シートとすることが好ましい。前記開口率が10%未満になると、光透過性が低下することに加え、通気性も悪くなり、光触媒ユニットの圧損が大きくなる恐れがあり、開口率50%を超えると、光触媒の効果が低減することに加え、紫外線が光触媒ユニットから外部へ漏洩し光触媒ユニットの安全性が問題となる。
【0010】
何れにしても、光触媒ユニットを構成する光触媒体は、実質的にボロンを含有しないことが必要である。ここでいう実質的にボロンを含有しないこととは、材料製造時にボロンを組成成分として故意に添加しないこと、具体的には、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発光分光法(ICP−AES)で分析した場合のボロン含有量が100μg/g以下で、且つ、BET一点法で測定した場合の比表面積が10m2/g以下であること、或いは、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発生分光法(ICP−AES)で分析した場合のボロン含有量が10μg/g以下であることをいう。
【0011】
また、前記光触媒体と被処理ガスとの接触面積を増大し、通気時の圧力損失を低く抑えるために、前記実質的にボロンを含有しない通気性シート状光触媒体は、ボロンを含有しないガラス繊維成形品(例えばガラスクロス)に光触媒を坦持させたものであることが好ましい。詳しく言えば、ボロンを含有しないガラスクロス等のガラス繊維成形品としては、Rガラス、Sガラス、Tガラス、Uガラス、石英ガラス等材料製造時ボロンを組成成分として故意に添加していないガラス繊維からなるものであれば、何れのものでも構わないが、経済性などから、Rガラス、Sガラスを用いることが好ましい。
また、光触媒体の加熱再生の可能性から言えば、光触媒自体は加熱再生が容易であることから、材料製造時ボロンを組成成分として故意に添加していないものであれば、ボロンの発生が無い上に耐熱性も高く、加熱再生光触媒体の基材への使用が好ましい。
【0012】
また、ガス状汚染物質の吸着機能の点からは、光触媒体表面が多孔質化されたものの使用が好ましいが、比表面積が大きくなると、ボロンの発生がしやすくなるので、判断の目安としては、BET一点法で測定した場合の比表面積が10m2/g以下であることが好ましい。
尚、前記光触媒体のボロン含有量が10μg/g以下である場合には、前記BET一点法で測定した場合の比表面積は特に考慮する必要がなくなる。
【0013】
また、前記光触媒ユニットの有機ガス除去効果を高める観点から、光触媒ユニットを構成する光触媒体は、通気性シートの形状に構成し、これらを複数枚、離間状態に積層して配置することが好ましい。ここでいう離間状態とは、通気性シート状光触媒体の大部分が接することなく、好ましくは1〜10mm程度の間隔を有するような積層状態をいうものである。
【0014】
また、前記光触媒ユニットを長寿命化する観点から、前記光触媒ユニットの上流側に、1次側除塵フィルタを設けることが好ましい。
前記1次側除塵フィルタとしては、ボロンを含有しないのであれば、粗塵用エアフィルタ、中性能エアフィルタ、HEPAフィルタ、ULPAフィルタ等のフィルタが使用される。
【0015】
次に、図面に基づき本発明空気清浄装置の一実施の形態につき、説明する。
図1は、本発明の光触媒ユニット10を備えたファンフィルタユニット30を示すもので、シロッコファンからなるファン32を備えた外形寸法が573mm×1173mm×260mmのファンユニット31の空気吹き出し口33に570mm×1170mm×75mmのULPAフィルタからなる除塵フィルタ35を備え、ファンユニット31のファン32で吸引された空気が除塵フィルタ35で清浄化され、清浄空気として下方に吹き出されるようになっている。
【0016】
また、ファンユニット31の天井部34には、ケミカルフィルタに代え、光触媒ユニット10が載置固定されている。
この光触媒ユニット10の詳細を説明すれば、図3乃至図8に示すように、下方から順に、ダミーボックス11と、触媒ボックス12と、光源ボックス13と、触媒ボックス12とが、4段に積層され、互いにキャッチクリップ14で連結自在となっている。尚、図中15は取っ手を示す。
【0017】
ダミーボックス11はファンフィルタユニット30のファン32の収容空間を確保するために用いられるもので、このような空間を特に必要としない場合には、省略することもできる。
【0018】
触媒ボックス12,12間に介装される光源ボックス13内には、光源13aとして、波長254nmの紫外線ランプが4本並行に等間隔に配列されている。尚、図略の安定器やグローランプなどの前記光源13aについての電気補助系統はファンフィルタユニット30の天井部34に設けた電気ボックス36内に収容するようにした。
【0019】
前記各触媒ボックス12は、後記詳述する触媒ホルダー20を12個備えるもので、図面で上下方向に3個ずつ、左右方向4列の配置とされている。そして各列毎に、ガイドレール12aが左右両側に設けられており、触媒ホルダー20はこのガイドレール12aに案内されて、シール剤を用いることなくメカニカルシールされた状態で触媒ボックス内12内に収容されることとなる。尚、触媒ホルダー20を触媒ボックス12内に収容したり、取り出したりする際には、上側のガイドレール12aを固定しているビス12bを弛めて、ガイドレール12aの一部を取り外すことで、簡単に行える。
【0020】
前記触媒ホルダー20は、図7及び図8に詳細を示したとおり、枠体20aの一部をビス20bで取り外し自在とされ、また、枠体20a内にはガイドレール20cが設けられ、アナターゼ型の酸化チタンからなる光触媒を繊維径9μmのSガラス繊維(米国AGY製Sガラス繊維)からなる開口率25%のガラスクロスに5質量%坦持させてなる195mm×145mm×0.6mmの通気性シート状光触媒体20dを4枚、ガイドレール20cに案内されて、シール剤を用いることなくメカニカルシールされた状態で触媒ホルダー20内に収容できるようになっている。
【0021】
かくして、図4及び図5に示すように、下方から順に、ダミーボックス11と、触媒ボックス12と、光源ボックス13と、触媒ボックス12とをキャッチクリップ14で留めて、4段に積層した際には、通気性シート状光触媒体20dが光源13aを挟んで上下方向に4層ずつ、それぞれ気流の通過方向に離間状態で積層配置されることになる。
そして、このように一体化された外形寸法543mm×843mm×240mmの光触媒ユニット10は、ファンフィルタユニット30の天井部34に載置して固定するだけで、簡単に取り付けることができる。また、従来のケミカルフィルタを備えたファンフィルタユニットのケミカルフィルタと前記光触媒ユニットとを交換し、本発明の光触媒ユニットを備えた空気清浄装置に組み立てることもできる。
【0022】
図2は、本発明空気清浄装置と光触媒ユニットの変形例を示すもので、上記した光触媒ユニット10の気流の通過方向上流側にも543mm×843mm×75mmの中性能エアフィルタからなる1次側除塵フィルタ37を設けたものである。このように、気流の通過方向上流側に1次側除塵フィルタ37を設けることにより、光触媒の表面への塵埃付着が軽減され、光触媒の寿命が長寿命化する。
【0023】
前記空気清浄装置の光触媒ユニットは、空調系に設置し、ファンが駆動されると、空気が気流方向に積層された通気性シート状光触媒体を通過して流れることになる。この空気が通気性シート状光触媒体に接触し、空気中の有機ガス等の汚染物質が通気性シート状光触媒体に一旦捕捉され、更に坦持された光触媒によって分解されて無害化され、その後、空気は下流の除塵フィルタによって更に清浄化される。
【0024】
図9及び図10は、本発明の空気清浄装置と光触媒ユニットの他の変形例を示すものである。本変形例の空気清浄装置は、前記変形例の空気清浄装置のシロッコファン32を備えるファンフィルタユニット30に代えて、軸流ファン51を備えた薄型のファンフィルタユニット50の上に光触媒ユニット40を載置したものである。
【0025】
前記光触媒ユニット40の本体ケーシング41内の中央には光源43として、波長254nmの紫外線ランプを光触媒ユニット本体ケーシング41の奥行き方向に3本平行に等間隔で配列するようにしている。また、前記光源43の上下には、触媒ホルダー42、42を配置している。尚、安定器44、44、44や具ローランプ45、45、45などの光源43についての電気補助系統は光触媒ユニット40の本体ケーシング41の背面に設けた電気ボックス46内に収容するようにしている。
【0026】
前記触媒ホルダー42は、図11及び図12に示すように、枠体42aの一辺をビス42bで取り外し自在とされ、この中に、断面コ字状の枠部材42cと通気性シート状光触媒体42dとをそれぞれ4枚ずつ順に交互に重ね合わせたものを、枠形状の金属製のシール部材42e及び保護用ラス網42fで挟持するとともに収容されている。このように、本体ケーシング41の開口部となる側に、枠形状の金属製のシール部材42eを収容することによりシール剤を用いることなくメカニカルシールされた状態で触媒ホルダー42内に収容できるようになっている。尚、前記通気性シート状光触媒体42dは、アナターゼ型の酸化チタンからなる光触媒を繊維径9μmのSガラス繊維(米国AGY製 Sガラス繊維)からなる開口率25%のガラスクロスに5質量%坦持させたものを使用している。
【0027】
このように、本体ケーシング41内の中央に光源43を配置し、その上下に触媒ホルダー42、42を設けるようにしているので、通気性シート状光触媒体42dが光源43を挟んで上下方向に4層ずつ、それぞれ気流の通過方向に離間状態で積層配置されることになる。
【0028】
【実施例】
以下、本発明の空気清浄装置の具体的な実施例を比較例と共に説明する。
(実施例1)
前記図1に示す空気清浄装置の光触媒ユニットの通気性シート状光触媒体を、光源ボックスを挟んで配置される上下の触媒ボックス内に光源に近接させて12枚ずつ1層だけ、即ち、上下に2層、合計で24枚収容し、これを実施例1とした。
【0029】
(実施例2)
前記図2に示す空気清浄装置の光触媒ユニットの通気性シート状光触媒体を、光源ボックスを挟んで配置される上下の触媒ボックス内に光源に近接させて12枚ずつ1層だけ、即ち、上下に2層、合計で24枚収容し、これを実施例2とした。
【0030】
(実施例3)
前記図2に示す空気清浄装置の光触媒ユニットの通気性シート状光触媒体を、光源ボックスを挟んで配置される上下の触媒ボックス内に12枚ずつ4層、即ち、上下に8層、合計で96枚収容し、これを実施例3とした。
【0031】
実施例1から3記載の通気性シート状光触媒体は、アナターゼ型の酸化チタンからなる光触媒を繊維径9μmの米国AGY製Sガラス繊維からなる開口率25%のガラスクロスに5質量%坦持させたものを使用している。
【0032】
(実施例4)
実施例1の通気性シート状光触媒体に代え、アナターゼ型の酸化チタンからなる光触媒を、繊維径9μmのRガラス繊維からなる開口率25%のガラスクロスに5質量%坦持したものに交換し、これを実施例4とした。
【0033】
(比較例1)
実施例1の通気性シート状光触媒体に代え、アナターゼ型の酸化チタンからなる光触媒を繊維径9μmのEガラス繊維からなる開口率25%のガラスクロス(日東紡績製)に5質量%坦持させたものに交換し、これを比較例1とした。
【0034】
(比較例2)
実施例2の光触媒ユニットに代え、500mm×800mm×120mmのケミカルフィルタを、543mm×843mm×120mmのダミーボックス上に取り付けたものに交換し、これを比較例2とした。
【0035】
(比較例3)
前記図1に示す空気清浄装置の光触媒ユニットの通気性シート状光触媒体を、光源ボックスを挟んで配置される下方の触媒ボックス内のみに光源に近接させて、1層だけ、即ち、合計で12枚収容し、これを比較例3とした。
【0036】
(比較例4)
前記図1に示す空気清浄装置の光触媒ユニットの通気性シート状光触媒体を、光源ボックスを挟んで配置される下方の触媒ボックス内のみに光源に近接させて、12枚ずつ2層を密着させて1層にし、即ち、1層で、合計で24枚収容し、これを比較例4とした。
【0037】
(比較例5)
実施例1の通気性シート状光触媒体に代え、アナターゼ型の酸化チタンからなる光触媒を繊維径9μmの高珪酸ガラス繊維からなる開口率25%の高珪酸ガラスクロス(日本無機製 シリグラス)に5質量%坦持させたものに交換し、これを比較例5とした。
【0038】
次に、このようにして得られた実施例1乃至4並びに比較例1乃至5の各空気清浄装置について、下記の特性につき試験・評価した。
(ウェーハ表面DOP吸着量測定)
上記各空気清浄装置を、600m3で空気循環率95%の実験用クリーンルームの空調系に据え付け、ファン風量20m3/分で運転した。そして、直径20cm、厚み600μmの円盤型シリコンウェーハ(通称8インチウェーハ)を不活性ガス280℃×3時間で加熱清浄化処理した後、前記クリーンルーム雰囲気内及び前記空気清浄装置の直下に24時間放置し、ウェーハ加熱脱着/GC−MS法により、ウェーハ表面のDOP吸着量を測定し、その結果を表1に示した。尚、空気清浄装置運転前のウェーハ表面のDOP吸着量は、1.33ng/cm2であった。
【0039】
(圧力損失)
前記運転中の圧力損失をJISB9908所定の測定方法によって測定した。
【0040】
(寿命評価)
寿命A
前記DOP吸着量測定における空気清浄装置直下でのウェーハ表面のDOP吸着量を0.2ng/cm2未満に維持できる時間を寿命Aとして評価した。
寿命B
前記DOP吸着量測定におけるクリーンルーム雰囲気内でのウェーハ表面のDOP吸着量を0.2ng/cm2未満に維持できる時間を寿命Bとして評価した。
尚、ウェーハ表面のDOP吸着量が0.2ng/cm2未満であると、ゲート酸化膜の絶縁破壊などが起こらないレベルの目安、即ち、ウェーハに不良が生じないレベルの目安とされている。
【0041】
(ワンパスによるDOP吸着量コントロール性)
次に、前記DOPの吸着量測定において、空気清浄装置をワンパスで運転した際のウェーハ表面のDOP吸着量を測定し、空気清浄装置直下での吸着量を0.2ng/cm2未満に制御できる場合を○、制御できない場合を×として表1に示した。
【0042】
(循環運転によるDOP吸着量コントロール性)
次に、前記DOPの吸着量測定において、クリーンルーム内に清浄な外気を導入しながら空気清浄装置を連続循環運転した際のウェーハ表面のDOP吸着量を測定し、クリーンルーム雰囲気内での吸着量を0.2ng/cm2未満に制御できる場合を○、制御できない場合を×として表1に示した。
【0043】
(メンテナンスフリー性)
光触媒を寿命がきたら交換と廃棄が必要な場合を×、不活性ガス中で180℃、1時間の加熱再生処理でメンテナンス可能な場合を△、そのような加熱再生処理を必要とせずメンテナンスフリーが可能な場合を○として評価し、表1に示した。
【0044】
【表1】
【0045】
前記表1から明らかなように、本発明実施例の場合、空気中のボロン濃度を増加させない状態で、従来のケミカルフィルタと同程度ないしは10%ダウン程度のDOPの吸着性を圧力損失を小さくして達成でき、ケミカルフィルタの代替として利用できることが明らかである。しかも、本発明実施例の場合、ケミカルフィルタに比べて、寿命が長く、しかも、メンテナンス性にも優れることが確認できた。
【0046】
【発明の効果】
このように、本発明の空気清浄装置によれば、空気中のボロン濃度を増加させない状態で、従来のケミカルフィルタの代替として光触媒ユニットを用いることができ、長寿命で、メンテナンス性に優れ、しかも、吸着物質の離脱による飛散の恐れがない、空気清浄装置を提供できる。また、本発明の光触媒ユニットによれば、ファンフィルタユニット等に簡単に取り付けることができ、また、既設のケミカルフィルタと取り替え自在であるため、前記空気清浄装置を簡単に構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明空気清浄装置の正面図
【図2】 本発明空気清浄装置の変形例の正面図
【図3】 本発明光触媒ユニットの平面図
【図4】 同正面図
【図5】 図3のV−V線断面図
【図6】 図5の要部拡大断面図
【図7】 本発明光触媒ユニットに装着される触媒ホルダーの斜視図
【図8】 同分解状態で示した斜視図
【図9】 (a)本発明空気清浄装置の変形例の斜視図(b)同IX−IX線断面図
【図10】 図9の光触媒ユニットの同X−X線断面図
【図11】 本発明光触媒ユニットに装着される触媒ホルダーの斜視図
【図12】 同分解状態で示した斜視図
【符号の説明】
10 光触媒ユニット
11 ダミーボックス
12 触媒ボックス
12aガイドレール
12bビス
13 光源ボックス
13a光源
14 キャッチクリップ
15 取っ手
20 触媒ホルダー
20a枠体
20bビス
20cガイドレール
20d通気性シート状光触媒体
30 ファンフィルタユニット
31 ファンユニット
32 ファン
33 空気吹き出し口
34 天井部
35 除塵フィルタ
36 電気ボックス
37 1次側除塵フィルタ
40 光触媒ユニット
41 光触媒ユニット本体ケーシング
42 触媒ボックス
42a枠体
42bビス
42c枠部材
42d通気性シート状光触媒体
42eシール部材
42fラス網
43 光源
44 安定器
45 グローランプ
46 電気ボックス
50 PFTユニット
51 軸流ファン
52 ケミカルフィルタ
54 PFTユニットの天井部
60 除塵フィルタ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a photocatalyst unit that can be used as an alternative to a chemical filter in an environment where the boron concentration in the air needs to be controlled at a constant and minute amount, and an air cleaning device including the photocatalyst unit.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, when it is necessary to remove not only dust but also organic gas in an environment where it is necessary to control the boron concentration in the air in a constant and minute amount, the dust removal filter does not have a function of removing organic gas. A chemical filter is used in combination with a dust filter.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
Although the chemical filter certainly has an excellent organic gas removal function, it has a short life span, takes time and effort for maintenance, and the collected organic gas is detached and contaminates the clean environment again. there were. More specifically, in addition to the need for periodic replacement, a chemical filter with a short lifetime has a disadvantage in that the running cost is greatly increased because most of the chemical filter cannot be regenerated. In addition, the chemical filter does not have a decomposition function for organic gas, and the organic gas once adsorbed on the chemical filter and the reaction by-product (NO 2− ) are re-released due to the specific fluctuation of the type and concentration of the upstream gas. Secondary contamination may occur due to this.
Then, an object of this invention is to provide the air purifying apparatus which eliminated the inconvenience which such a chemical filter has.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
As a result of intensive studies to meet the above demand, the present inventor has constituted a photocatalytic unit with a gas-permeable photocatalyst body, and this gas-permeable photocatalyst body does not substantially contain boron. The boron content when boron is not intentionally added as a composition component, specifically, boron content when analyzed by high frequency inductively coupled plasma emission spectroscopy (ICP-AES) after hydrofluoric acid decomposition / evaporation to dryness-alkali melt extraction 100 μg / g or less and specific surface area measured by BET single point method should be 10 m 2 / g or less, and after high-frequency inductively coupled plasma generation after hydrofluoric acid decomposition / evaporation to dryness-alkali melt extraction When the boron content when analyzed by spectroscopy (ICP-AES) is 10 μg / g or less, the organic gas is not increased in the air while increasing the boron concentration in the air. It was found that it can be removed.
Further, by forming the breathable photocatalyst in the form of a sheet and laminating a plurality of these in a state of being separated from each other in the airflow passage direction, an organic gas capturing function that can be substituted for the chemical filter is obtained. It was found that the trapped organic gas does not escape carelessly.
Furthermore, it has been found that providing a primary-side dust filter on the upstream side of the photocatalytic unit provides a long life and excellent maintainability.
The air purifying apparatus of the present invention has been made based on such knowledge, and as described in claim 1, is an air purifying apparatus including a dust removal filter and a photocatalytic unit, and the photocatalytic unit substantially does not contain boron. It is composed of a breathable photocatalyst body in which a photocatalyst is supported on a glass fiber molded article such as a sheet-like glass cloth , and a plurality of breathable photocatalyst bodies formed in the sheet form are separated from each other in the airflow passage direction It is characterized by being laminated .
Further, the air purifying apparatus according to claim 2 is the air purifying apparatus according to claim 1, wherein the air-permeable photocatalyst is subjected to high-frequency inductively coupled plasma emission spectroscopy after hydrofluoric acid decomposition, evaporation to dryness-alkali melting extraction ( The boron content when analyzed by ICP-AES is 100 μg / g or less, and the specific surface area when measured by the BET single point method is 10 m 2 / g or less.
Further, the air purifying device according to claim 3 is the air purifying device according to claim 1, wherein the breathable photocatalyst is subjected to high-frequency inductively coupled plasma generation spectroscopy after hydrofluoric acid decomposition / evaporation to dryness-alkali melt extraction. The boron content when analyzed by (ICP-AES) is 10 μg / g or less.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the air purifier according to any one of the first to third aspects, wherein a primary dust filter is provided upstream of the photocatalytic unit.
Further, the air purifier according to claim 5 is the air purifier according to any one of claims 1 to 4, wherein the glass fiber molded product is any of R glass, S glass, T glass, U glass, and quartz glass. It is characterized by.
Moreover, the photocatalyst unit of the present invention has a photocatalyst supported on a glass fiber molded article such as a sheet-like glass cloth that does not substantially contain boron in the unit main body as described in claim 6, In addition, a breathable photocatalyst body in which a plurality of sheets are stacked in a state of being separated from each other and a light source are accommodated and can be placed on a casing of an air purifier.
Further, the photocatalytic unit of claim 7, wherein, in the photocatalyst unit according to claim 6, wherein said breathable photocatalyst is hydrofluoric acid decomposition and evaporation to dryness - after alkali fusion extraction, high-frequency inductively coupled plasma emission spectroscopy (ICP- The boron content when analyzed by AES) is 100 μg / g or less, and the specific surface area when measured by the BET single point method is 10 m 2 / g or less.
Further, the photocatalyst unit according to claim 8 is the photocatalyst unit according to claim 6 , wherein the breathable photocatalyst is subjected to high-frequency inductively coupled plasma generation spectroscopy (ICP) after hydrofluoric acid decomposition / evaporation to dryness-alkali melt extraction. -AES) is characterized in that the boron content is 10 μg / g or less.
The photocatalyst unit according to claim 9 is the photocatalyst unit according to any one of claims 6 to 8 , wherein a primary dust filter is provided on the upstream side of the unit body.
The photocatalyst unit according to
[0005]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
As long as the air purifying apparatus of the present invention is an air purifying apparatus including at least a dust filter and a photocatalytic unit, such as a fan filter unit, for example, the type and configuration thereof are not particularly limited. Also, existing clean rooms and their air-conditioning equipment, local control spaces such as mini-environments, clean benches, air showers, pass boxes, clean tunnels, clean stockers, clean booths, clean cells (clean air blowing devices), etc. A case where the photocatalyst unit is incorporated in equipment or an apparatus is also included as the air cleaning apparatus of the present invention.
[0006]
As the dust removal filter, an arbitrary filter such as a ULPA filter, a HEPA filter, a medium performance air filter, a coarse dust air filter, or the like is used as long as it does not substantially contain boron.
[0007]
As the light source used in the photocatalyst unit, an ultraviolet lamp, a low-pressure mercury lamp, a sterilizing lamp, a black light fluorescent lamp, or the like is used. Among them, the sterilizing lamp with a low wavelength of 254 nm can increase the effective irradiation light amount to the photocatalyst. This is preferable because the action is strong and ozone-less. In particular, in the biological field such as medical treatment, medicine and food, the combined use of germicidal lamps and photocatalysts is preferable because of its high sterilizing effect. Furthermore, it is possible to cope with the removal of bacteria and microorganisms in a clean room, and use of a germicidal lamp is preferable.
[0008]
The photocatalyst may be any as long as it is excited by light irradiation and can decompose gaseous pollutants. Although many things, such as a titanium oxide and a zinc oxide, are proposed, a titanium oxide is preferable from the point of decomposition | disassembly efficiency, safety | security, and stability. The titanium oxide may be rutile type, anatase type, or a coexistence type of these, but rutile type is suitable for reacting low energy light, and anatase is used for enhancing the activity of the reaction. The type is suitable. Further, addition of Pt, Ag, Pd, RuO 2 , and Co 3 O 4 to the photocatalyst is preferable because decomposition of gaseous pollutants is promoted.
[0009]
The shape of the photocatalyst may be any shape as long as it has a cross shape, honeycomb shape, paper shape, bead / particle packed layer, porous shape, etc. and can achieve air permeability. The increase in pressure loss can be suppressed to a low level, and there is no leakage of ultraviolet rays, and various gaseous pollutants can be safely decomposed. Therefore, the photocatalyst is fixed to a mesh substrate having an aperture ratio of 10 to 50%. A breathable sheet is preferable. If the aperture ratio is less than 10%, the light transmittance may be lowered, the air permeability may be deteriorated, and the pressure loss of the photocatalyst unit may be increased. If the aperture ratio exceeds 50%, the effect of the photocatalyst is reduced. In addition, ultraviolet rays leak from the photocatalyst unit to the outside, and the safety of the photocatalyst unit becomes a problem.
[0010]
In any case, the photocatalyst that constitutes the photocatalyst unit needs to contain substantially no boron. The term “substantially free of boron” as used herein means that boron is not intentionally added as a composition component during material production. Specifically, high-frequency inductively coupled plasma after hydrofluoric acid decomposition / evaporation to dryness-alkali melt extraction The boron content when analyzed by emission spectroscopy (ICP-AES) is 100 μg / g or less and the specific surface area when measured by the BET single point method is 10 m 2 / g or less, or hydrofluoric acid decomposition It means that the boron content is 10 μg / g or less when analyzed by high-frequency inductively coupled plasma generation spectroscopy (ICP-AES) after evaporation to dryness-alkali melt extraction.
[0011]
Further, in order to increase the contact area between the photocatalyst and the gas to be treated, and to keep pressure loss during ventilation low, the breathable sheet-like photocatalyst that does not substantially contain boron is a glass fiber that does not contain boron. It is preferable that a photocatalyst is carried on a molded article (for example, glass cloth). Specifically, as glass fiber molded products such as glass cloth that does not contain boron, glass fiber that does not intentionally add boron as a composition component when manufacturing materials such as R glass, S glass, T glass, U glass, and quartz glass. Any glass may be used as long as it is made of, but R glass and S glass are preferably used from the viewpoint of economy.
Further, from the viewpoint of the possibility of heat regeneration of the photocatalyst body, the photocatalyst itself is easy to heat regenerate. Therefore, if boron is not intentionally added as a composition component at the time of material production, there is no generation of boron. Moreover, since heat resistance is also high, it is preferable to use the heat-regenerated photocatalyst for a base material.
[0012]
In addition, from the viewpoint of the function of adsorbing gaseous pollutants, it is preferable to use a porous photocatalyst surface. However, as the specific surface area increases, boron tends to be generated. The specific surface area when measured by the BET single point method is preferably 10 m 2 / g or less.
When the boron content of the photocatalyst is 10 μg / g or less, the specific surface area when measured by the BET single point method is not particularly considered.
[0013]
Further, from the viewpoint of enhancing the organic gas removal effect of the photocatalyst unit, it is preferable that the photocatalyst body constituting the photocatalyst unit is formed in the shape of a breathable sheet, and a plurality of these are laminated and arranged in a separated state. Here, the separated state refers to a laminated state in which most of the air-permeable sheet-like photocatalyst body is not in contact and preferably has an interval of about 1 to 10 mm.
[0014]
Further, from the viewpoint of extending the life of the photocatalyst unit, it is preferable to provide a primary dust filter on the upstream side of the photocatalyst unit.
As the primary side dust removal filter, a filter such as a coarse dust air filter, a medium performance air filter, a HEPA filter, or a ULPA filter is used as long as it does not contain boron.
[0015]
Next, an embodiment of the air cleaning device of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a
[0016]
The
The details of the
[0017]
The
[0018]
In the
[0019]
Each of the
[0020]
As shown in detail in FIGS. 7 and 8, the
[0021]
Thus, as shown in FIGS. 4 and 5, when the
The
[0022]
FIG. 2 shows a modified example of the air cleaning device of the present invention and a photocatalyst unit. The primary side dust removal comprising a medium-performance air filter of 543 mm × 843 mm × 75 mm also on the upstream side of the
[0023]
When the photocatalyst unit of the air purifier is installed in an air conditioning system and the fan is driven, air flows through the air-permeable sheet-like photocatalyst stacked in the airflow direction. This air comes into contact with the air-permeable sheet-like photocatalyst, and contaminants such as organic gas in the air are once captured by the air-permeable sheet-like photocatalyst, and further decomposed and rendered harmless by the supported photocatalyst, The air is further purified by a downstream dust filter.
[0024]
9 and 10 show another modification of the air cleaning device and the photocatalyst unit of the present invention. The air purifying apparatus of this modification is configured by replacing the
[0025]
In the center of the
[0026]
As shown in FIGS. 11 and 12, the
[0027]
As described above, the
[0028]
【Example】
Hereinafter, the specific Example of the air purifying apparatus of this invention is described with a comparative example.
Example 1
The breathable sheet-like photocatalyst body of the photocatalyst unit of the air purifying apparatus shown in FIG. 1 is placed in the upper and lower catalyst boxes arranged with the light source box sandwiched between them in a single layer of 12 sheets, that is, up and down. Two layers were accommodated in total, and this was designated as Example 1.
[0029]
(Example 2)
The air-permeable sheet-like photocatalyst body of the photocatalyst unit of the air purification apparatus shown in FIG. Two layers were accommodated in total, and this was designated as Example 2.
[0030]
(Example 3)
The breathable sheet-like photocatalyst body of the photocatalyst unit of the air cleaning device shown in FIG. A sheet was accommodated, and this was designated as Example 3.
[0031]
In the air-permeable sheet-like photocatalyst described in Examples 1 to 3, 5% by mass of a photocatalyst made of anatase-type titanium oxide is supported on a glass cloth made of US AGY S glass fiber having a fiber diameter of 9 μm and an aperture ratio of 25%. I am using something.
[0032]
(Example 4)
Instead of the breathable sheet-like photocatalyst of Example 1, the photocatalyst made of anatase-type titanium oxide was replaced with a glass cloth having an opening ratio of 25% made of R glass fiber having a fiber diameter of 9 μm and supported by 5% by mass. This was taken as Example 4.
[0033]
(Comparative Example 1)
Instead of the breathable sheet-like photocatalyst of Example 1, 5% by mass of a photocatalyst made of anatase-type titanium oxide was supported on a glass cloth (manufactured by Nitto Boseki) of 25% opening ratio made of E glass fiber having a fiber diameter of 9 μm. This was used as Comparative Example 1.
[0034]
(Comparative Example 2)
In place of the photocatalyst unit of Example 2, a chemical filter of 500 mm × 800 mm × 120 mm was replaced with one attached on a dummy box of 543 mm × 843 mm × 120 mm.
[0035]
(Comparative Example 3)
The breathable sheet-like photocatalyst body of the photocatalyst unit of the air cleaning device shown in FIG. 1 is brought close to the light source only in the lower catalyst box arranged with the light source box interposed therebetween, so that only one layer, that is, a total of 12 One sheet was accommodated, and this was designated as Comparative Example 3.
[0036]
(Comparative Example 4)
The breathable sheet-like photocatalyst body of the photocatalyst unit of the air cleaning device shown in FIG. 1 is brought close to the light source only in the lower catalyst box arranged with the light source box interposed therebetween, and two layers of 12 sheets are adhered to each other. One layer, that is, one layer, accommodating a total of 24 sheets, was designated as Comparative Example 4.
[0037]
(Comparative Example 5)
Instead of the breathable sheet-like photocatalyst of Example 1, 5 mass of a photocatalyst made of anatase-type titanium oxide was added to a high silicate glass cloth (silica glass manufactured by Nippon Inorganic) having an aperture ratio of 25% made of high silicate glass fiber having a fiber diameter of 9 μm. % Was changed to what was carried, and this was designated as Comparative Example 5.
[0038]
Next, the air purifiers of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 5 thus obtained were tested and evaluated for the following characteristics.
(Wafer surface DOP adsorption measurement)
Each of the above air purifiers was installed in an air conditioning system of an experimental clean room with an air circulation rate of 95% at 600 m 3 and operated at a fan air volume of 20 m 3 / min. Then, a disk-type silicon wafer (commonly known as an 8-inch wafer) having a diameter of 20 cm and a thickness of 600 μm is heated and cleaned at 280 ° C. for 3 hours with an inert gas, and then left in the clean room atmosphere and directly under the air cleaning device for 24 hours. Then, the DOP adsorption amount on the wafer surface was measured by the wafer heat desorption / GC-MS method, and the results are shown in Table 1. Incidentally, the DOP adsorption amount on the wafer surface before the operation of the air cleaning apparatus was 1.33 ng / cm 2 .
[0039]
(Pressure loss)
The pressure loss during the operation was measured by a predetermined measuring method according to JISB 9908.
[0040]
(Life evaluation)
Life A
The lifetime A was evaluated as the time during which the DOP adsorption amount on the wafer surface directly under the air cleaning device in the DOP adsorption amount measurement can be maintained below 0.2 ng / cm 2 .
Life B
The time during which the DOP adsorption amount on the wafer surface in the clean room atmosphere in the DOP adsorption amount measurement can be maintained below 0.2 ng / cm 2 was evaluated as the life B.
It should be noted that if the DOP adsorption amount on the wafer surface is less than 0.2 ng / cm 2, it is a standard for a level at which dielectric breakdown of the gate oxide film does not occur, that is, a standard for a level at which no defect occurs on the wafer.
[0041]
(DOP adsorption amount controllability by one pass)
Next, in the DOP adsorption amount measurement, the DOP adsorption amount on the wafer surface when the air cleaning device is operated in one pass can be measured, and the adsorption amount directly under the air cleaning device can be controlled to be less than 0.2 ng / cm 2. The case is shown in Table 1, and the case where control is impossible is shown as x.
[0042]
(DOP adsorption amount controllability by circulation operation)
Next, in the DOP adsorption amount measurement, the DOP adsorption amount on the wafer surface when the air purifier is continuously circulated while introducing clean outside air into the clean room is measured, and the adsorption amount in the clean room atmosphere is reduced to 0. Table 1 shows the case where it can be controlled to less than 2 ng / cm 2 as ◯ and the case where it cannot be controlled as x.
[0043]
(Maintenance free)
When the photocatalyst has reached the end of its service life, it is necessary to replace and dispose of it, and when it can be maintained by heating and regenerating at 180 ° C for 1 hour in an inert gas, it can be maintained free without requiring such heat regenerating. When possible, it was evaluated as ◯ and shown in Table 1.
[0044]
[Table 1]
[0045]
As is apparent from Table 1, in the case of the embodiment of the present invention, the pressure loss is reduced by reducing the DOP adsorptivity by about the same as the conventional chemical filter or about 10% down without increasing the boron concentration in the air. Clearly, it can be achieved as an alternative to chemical filters. In addition, in the case of the embodiment of the present invention, it was confirmed that the lifetime was longer than that of the chemical filter and that the maintainability was excellent.
[0046]
【The invention's effect】
As described above, according to the air cleaning device of the present invention, the photocatalytic unit can be used as an alternative to the conventional chemical filter without increasing the boron concentration in the air, and it has a long service life and excellent maintainability. In addition, an air cleaning device can be provided which is free from the risk of scattering due to the separation of adsorbed substances. In addition, according to the photocatalyst unit of the present invention, it can be easily attached to a fan filter unit or the like, and can be replaced with an existing chemical filter, so that the air cleaning device can be easily configured.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front view of an air purification apparatus of the present invention. FIG. 2 is a front view of a modification of the air purification apparatus of the present invention. FIG. 3 is a plan view of a photocatalyst unit of the present invention. 3 is a cross-sectional view taken along line VV in FIG. 6. FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of the main part in FIG. 5. FIG. 7 is a perspective view of the catalyst holder attached to the photocatalyst unit of the present invention. 9A is a perspective view of a modification of the air cleaning device of the present invention. FIG. 9B is a cross-sectional view taken along the line IX-IX. FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the line XX of the photocatalyst unit of FIG. FIG. 12 is a perspective view of the catalyst holder attached to the photocatalyst unit.
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