JP4385484B2 - 多層セラミック基板の製造方法および銅系導電性ペースト - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、多層セラミック基板の製造方法に関するもので、特に、銅を主成分とする配線導体を有する多層セラミック基板の製造方法およびこの製造方法において有利に用いられる銅系導電性ペーストに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
多層セラミック基板は、複数の積層されたセラミック層を備えている。このような多層セラミック基板には、種々の形態の配線導体が設けられている。配線導体としては、たとえば、多層セラミック基板の内部において、セラミック層間の特定の界面に沿って延びる内部導体膜が形成されたり、特定のセラミック層を貫通するように延びるビアホール導体が形成されたり、また、多層セラミック基板の外表面上において延びる外部導体膜が形成されたりしている。
【0003】
多層セラミック基板は、半導体チップ部品やその他のチップ部品等を搭載し、これらの電子部品を相互に配線するために用いられている。上述した配線導体は、この相互配線のための電気的経路を与えている。
【0004】
また、多層セラミック基板には、たとえばコンデンサ素子やインダクタ素子のような受動部品が内蔵されることがある。このような場合、上述した配線導体としての内部導体膜やビアホール導体の一部は、これらの受動部品を構成するために用いられる。
【0005】
多層セラミック基板をより多機能化、高密度化、高性能化するためには、上述したような配線導体を高密度に配置することが有効である。
【0006】
しかしながら、多層セラミック基板を得るためには、必ず、焼成工程を経なければならないが、このような焼成工程においては、セラミックの焼結による収縮が生じ、この収縮は多層セラミック基板全体において均一に生じにくく、そのため、配線導体において不所望な変形や歪みがもたらされることがある。このような配線導体において生じる変形や歪みは、上述のような配線導体の高密度化を阻害してしまう。
【0007】
そこで、多層セラミック基板を製造するにあたって、焼成工程において多層セラミック基板の主面方向での収縮を実質的に生じさせないようにすることができる、いわゆる無収縮プロセスを適用することが提案されている。
【0008】
無収縮プロセスによる多層セラミック基板の製造方法においては、たとえば1000℃以下の温度で焼結可能な低温焼結セラミック材料を含む基体用グリーンシートが用意されるとともに、上述の低温焼結セラミック材料の焼結温度では焼結しない収縮抑制用無機材料が用意される。そして、複数の積層された基体用グリーンシートを備える生の積層体を作製するにあたっては、複数の基体用グリーンシートの間の界面に沿って、上述の収縮抑制用無機材料を含む収縮抑制用無機材料層が配置されるように、特定の基体用グリーンシートの主面上に収縮抑制用無機材料層が形成される。
【0009】
また、基体用グリーンシートを積層する前の段階で、配線導体を形成するため、基体用グリーンシートに関連して導電性ペーストを付与することが行なわれる。より具体的には、内部導体膜または外部導体膜を形成するため、基体用グリーンシートまたは収縮抑制用無機材料層の表面に導電性ペースト膜が形成され、また、ビアホール導体を形成するため、基体用グリーンシート、および必要に応じて収縮抑制用無機材料層を貫通するように貫通孔を設け、この貫通孔内に導電性ペーストを充填することによって、導電性ペースト柱が形成される。
【0010】
上述のようにして得られた生の積層体は、次いで、焼成される。この焼成工程において、基体用グリーンシートと収縮抑制用無機材料層との界面部分に厚み2〜3μm程度の反応層が生じ、この反応層が基体用グリーンシートと収縮抑制用無機材料層とを接着するように作用する。また、収縮抑制用無機材料は実質的に焼結しないため、収縮抑制用無機材料層においては、収縮が実質的に生じない。このようなことから、収縮抑制用無機材料層が基体用グリーンシートを拘束し、それによって、基体用グリーンシートは、厚み方向にのみ実質的に収縮するが、主面方向での収縮が抑制される。その結果、生の積層体を焼成して得られた多層セラミック基板において不均一な変形がもたらされにくくなり、そのため、配線導体において不所望な変形や歪みがもたらされにくくすることができ、配線導体の高密度化を可能にする。
【0011】
他方、上述のような配線導体を形成するために用いられる導電性ペーストは、導電成分としての金属粉末ならびにバインダおよび溶剤からなる有機ビヒクルを含んでいて、上述のセラミックの焼成と同時に焼成されることによって、所望の形態の配線導体を形成する。この配線導体を構成する金属として、低抵抗であり、かつマイグレーションが生じにくく、高い信頼性を与えることができる点で、銅を主成分とするものが用いられている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
前述した生の積層体を焼成する工程において、基体用グリーンシートと収縮抑制用無機材料層との間で接着作用を及ぼす反応層が生成されるのは、基体用グリーンシートにおいてガラスが生成されたり、あるいは、そこに予め含有していたガラス成分が軟化したりする温度域からであり、たとえば800〜900℃程度と比較的高温である。
【0013】
他方、上述の焼成工程において、導電性ペーストにおいても焼結が生じ、それによる収縮がもたらされるが、このような収縮が開始する温度は、通常、基体用グリーンシートに含まれる低温焼結セラミック材料の焼結収縮開始温度よりも、100〜200℃程度低温側であり、そのため、導電性ペーストの焼結収縮が開始した時点では、上述した接着作用を有する反応層が未だ形成されておらず、収縮抑制用無機材料層による主面方向の収縮を抑制する作用が働いていない。
【0014】
したがって、導電性ペーストは、焼成工程において、収縮抑制用無機材料層による収縮抑制作用に拘束されることなく収縮してしまうことになる。そのため、基体用グリーンシート側に比べて、導電性ペースト体において生じる収縮は、主面方向ではより大きく、厚み方向ではより小さく生じる。
【0015】
このように、導電性ペースト体と基体用グリーンシートとの間で、焼成工程における収縮挙動、より具体的には、収縮のタイミングや収縮量および主たる収縮の方向が異なるため、得られた多層セラミック基板において、反り、クラック、***、隙間等を生じることがある。特に、クラック、***および隙間は、ビアホール導体となるべき導電性ペースト柱に関連して生じやすい。
【0016】
たとえば、クラックは、導電性ペースト柱が基体用グリーンシートを部分的に圧縮することによって、セラミック層におけるビアホール導体の近傍において生じやすい。また、***は、導電性ペースト体の厚み方向での収縮の度合いが基体用グリーンシートに比べて小さいため、得られた多層セラミック基板においてビアホール導体またはその近傍において生じやすい。また、隙間は、セラミック層とビアホール導体との界面またはビアホール導体の内部において生じやすい。
【0017】
なお、焼成工程における導電性ペースト体の収縮挙動を基体用グリーンシートの収縮挙動に近づけるため、難焼結性無機物や高軟化点ガラス等を導電性ペーストに添加することも可能ではあるが、このような場合、得られた配線導体の抵抗値が上がるという問題を引き起こすだけでなく、焼成工程を通してのトータルの収縮量が少なくなるため、前述したようなクラックや***の問題の解決には至らない。
【0018】
そこで、この発明の目的は、上述したような問題を解決し得る、多層セラミック基板の製造方法およびこの方法において有利に用いられる導電性ペーストを提供しようとすることである。
【0019】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る多層セラミック基板の製造方法は、上述した技術的課題を解決するため、1000℃以下の温度で焼結可能な低温焼結セラミック材料を用意する工程と、この低温焼結セラミック材料の焼結温度では焼結しない収縮抑制用無機材料を用意する工程と、銅を主成分とする導体を与えるためのCu2 Oを含む銅系導電性ペーストを用意する工程とをまず備えている。
【0020】
次いで、低温焼結セラミック材料を含む、複数の積層された基体用グリーンシートと、複数の基体用グリーンシートの間の界面に沿って配置されかつ収縮抑制用無機材料を含む、収縮抑制用無機材料層と、配線導体を形成するため、基体用グリーンシートに関連して銅系導電性ペーストを付与することによって形成された導電性ペースト体とを備える、生の積層体が作製される。
【0021】
次いで、この生の積層体は焼成される。この焼成工程において、収縮抑制用無機材料層によって基体用グリーンシートの主面方向での収縮を抑制しながら、低温焼結セラミック材料を焼結させるとともに、導電性ペースト体に含まれるCu2 OをCuに還元することによって配線導体を形成することが行なわれる。
【0022】
上述した焼成工程において、200℃から700℃までの昇温過程では、Cu2OがCuOに酸化されたりCuに還元されたりしない10-6mmHg〜10mmHgの酸素分圧を有する雰囲気が与えられ、700℃から低温焼結セラミック材料の収縮開始温度までの昇温過程では、Cu2OがCuOに酸化されたりCuに還元されたりしない10-4mmHg〜10mmHgの酸素分圧を有する雰囲気が与えられ、低温焼結セラミック材料の収縮開始温度から1000℃までの昇温過程では、Cu2OがCuに還元される10-3mmHg以下の酸素分圧を有する雰囲気が与えられる。
【0023】
好ましくは、上述の焼成工程において、1000℃から200℃までの降温過程では、CuがCu2OまたはCuOに酸化されない10-6mmHg以下の酸素分圧を有する雰囲気が与えられる。
【0024】
また、この発明において、低温焼結セラミック材料としては、ガラスとセラミックとの混合物を含む組成とされたり、焼成工程において、ガラスを生成する組成とされたりすることができる。
【0025】
また、上述した導電性ペースト体としては、基体用グリーンシートの主面に沿って延びる導体膜のための導電性ペースト膜であったり、基体用グリーンシートを貫通するように延びるビアホール導体のための導電性ペースト柱であったりする。
【0026】
また、この発明は、上述したような多層セラミック基板の製造方法において有利に用いられる銅系導電性ペーストにも向けられる。この銅系導電性ペーストは、50〜90重量%の無機成分と10〜50重量%の有機ビヒクルとを含み、無機成分の主成分として、平均粒径が0.5〜10μmであって、最大粒径が50μm以下のCu2 Oを含むことを特徴としている。
【0027】
上述した銅系導電性ペーストに含まれる無機成分において、Cu2 Oを40重量%以上含むことが好ましい。
【0028】
また、この無機成分において、平均粒径2〜10μmのCuおよびCuOの少なくとも一方を60重量%以下含んでいてもよい。
【0029】
また、無機成分は、軟化点800〜950℃のガラスフリットもしくはガラスビーズ、低温焼結セラミック材料、および、融点1100℃以上の金属もしくはその金属レジネートから選ばれる少なくとも1種の添加物を、5重量%以下含んでいてもよい。
【0030】
このような銅系導電性ペーストは、特に、ビアホール導体のための導電性ペースト柱を形成するために有利に用いられる。
【0031】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明の一実施形態による多層セラミック基板の製造方法において作製される生の積層体1を図解的に示す断面図である。
【0032】
生の積層体1は、複数の積層された基体用グリーンシート2と、複数の基体用グリーンシート2の間の界面に沿って配置される収縮抑制用無機材料層3と、配線導体を形成するため、基体用グリーンシート2に関連して銅系導電性ペーストを付与することによって形成された導電性ペースト体4とを備えている。導電性ペースト体4は、基体用グリーンシート2の主面に沿って延びる内部導体膜または外部導体膜のための導電性ペースト膜5と、基体用グリーンシート2、および必要に応じて収縮抑制用無機材料層3をも貫通するように延びるビアホール導体のための導電性ペースト柱6とを備えている。
【0033】
上述した基体用グリーンシート2は、1000℃以下の温度で焼結可能な低温焼結セラミック材料を含むものである。基体用グリーンシート2は、たとえば、次のようにして作製されることができる。
【0034】
すなわち、低温焼結セラミック材料に対して、有機バインダおよび溶剤からなる有機ビヒクルと可塑剤とを添加し、これらを混合することによって、スラリーを作製する。次いで、このスラリーを、ドクターブレード法によってキャリアフィルム上でシート状に成形し、乾燥させることによって、基体用グリーンシートを得ることができる。
【0035】
低温焼結セラミック材料としては、たとえば、酸化バリウム、酸化ケイ素、アルミナ、酸化カルシウムおよび酸化ホウ素の混合物のように、焼成工程において、ガラスを生成する組成のものを用いることができる。また、これに代えて、たとえばアルミナのようなフィラーとなるセラミックと、ホウケイ酸系ガラス、または酸化ケイ素のような焼結助剤として作用するガラスとを混合したものを用いることもできる。いずれにしても、低温焼結セラミック材料としては、1000℃以下の温度下であって、還元性雰囲気中での焼成でも、セラミック組成が還元されないものであれば、どのような組成のものを用いてもよい。
【0036】
また、有機バインダとしては、たとえば、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、メタクリル樹脂等を用いることができる。
【0037】
また、溶剤としては、たとえば、トルエン、イソプロピルアルコールのようなアルコール類、ブタノール、メチルエチルケトン等を用いることができる。
【0038】
また、可塑剤としては、たとえば、ジ−n−ブチルフタレートを用いることができる。
【0039】
収縮抑制用無機材料層3は、上述したような低温焼結セラミック材料の焼結温度では焼結しない収縮抑制用無機材料を含むものである。この収縮抑制用無機材料としては、たとえば、アルミナまたはジルコニア等を用いることができる。
【0040】
収縮抑制用無機材料層3は、収縮抑制用無機材料に対して、有機バインダおよび溶剤からなる有機ビヒクルと可塑剤とを添加し、混合することによって、無機材料スラリーを作製し、これを、上述した基体用グリーンシート2の表面に塗布し、乾燥させることによって形成することができる。
【0041】
なお、収縮抑制用無機材料層3を形成するため、上述した無機材料スラリーを用いて無機材料シートを成形し、これを基体用グリーンシート2上に重ねるようにしてもよい。また、キャリアフィルム上で、まず、収縮抑制用無機材料層3を成形し、その上に、低温焼結セラミック材料を含むスラリーを塗布し、基体用グリーンシート2を成形するようにしてもよい。
【0042】
上述した無機材料スラリーに含まれる有機ビヒクルおよび可塑剤としては、前述した基体用グリーンシート2の成形に際して用意されたスラリー中に含まれるものと同じものを用いることができる。
【0043】
導電性ペースト体4を構成する銅系導電性ペーストは、Cu2 O粉末と有機ビヒクルとを含むもので、たとえば攪拌擂潰機または3本ロール等によって攪拌かつ混練することによって得られるものである。
【0044】
上述の銅系導電性ペーストに含まれる有機ビヒクルに関して、バインダとしては、エチルセルロース、アルキッド樹脂、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、メタクリル樹脂等を用いることができ、溶剤としては、テレピネオール、ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、アルコール類等を用いることができる。
【0045】
銅系導電性ペーストは、好ましくは、平均粒径が0.5〜10μmであって、最大粒径が50μm以下のCu2 Oを主成分とする無機成分50〜90重量%と、有機ビヒクル10〜50重量%とを含む組成とされる。このとき、無機成分において、その主成分となるCu2 Oは40重量%以上含むことが好ましい。
【0046】
上述のように、Cu2 Oの最大粒径が50μm以下とされたのは、最大粒径がこれより大きいと、ビアホール導体を形成する貫通孔内に導電性ペーストを完全に充填することが困難になり、結果として、ビアホール導体において導通不良を生じることがあるためである。
【0047】
また、Cu2 Oの平均粒径を、0.5〜10μmの範囲としたのは、次の理由による。すなわち、平均粒径が0.5μmより小さくなると、ペースト化に必要な有機ビヒクルの量が多くなりすぎ、ペーストの粘度が上がり、ペースト化を困難にするばかりでなく、Cu2 Oの含有率を上げることが困難になり、焼成後において隙間が発生することがあるためである。他方、平均粒径が10μmより大きい場合には、ビアホール導体を形成する貫通孔内に導電性ペーストを充填しにくくなり、結果として、ビアホール導体において導通不良が生じやすくなるためである。
【0048】
また、銅系導電性ペーストにおいて、無機成分として、Cu2 Oを40重量%以上含むようにし、このような無機成分が50〜90重量%含むようにしたのは、特に、焼成後のビアホール導体において、隙間や導通不良を生じないようにするためである。
【0049】
なお、銅系導電性ペーストにおいて用いられるCu2 O粉末としては、略球状のシャープな粒度分布をもつものでも、粒度分布において中心粒径の異なった山をもつものでも、あるいは扁平粉等の違った形状をもつ2種類以上の粉末を配合したものでもよい。
【0050】
また、銅系導電性ペーストの粘度は、印刷性を考慮し、たとえば、50〜300Pa・sに選ばれることが好ましい。
【0051】
また、銅系導電性ペーストに含まれる無機成分は、平均粒径2〜10μmのCuおよびCuOの少なくとも一方を60重量%以下含んでいてもよい。
【0052】
このようなCuの添加は、銅系導電性ペーストの焼結収縮を抑え、得られた導体膜の有効面積を向上させ、配線導体の緻密性を向上させ、配線導体の抵抗値を下げる効果がある。しかしながら、Cuは、焼成工程において還元されないため、収縮も生じず、そのため、60重量%を超えて含有されると、これをもって構成された導電性ペースト体4と基体用グリーンシート2との間での収縮挙動が比較的大きく異なる結果となり、得られた多層セラミック基板において反りをもたらすことがある。
【0053】
他方、CuOの添加は、基体用グリーンシート2によってもたらされるセラミック層との密着強度を向上させる効果があるが、それが60重量%を超えて含有されると、焼成工程において還元されにくくなり、得られた多層セラミック基板において、上述したCuの添加の場合とは逆方向に反ったり、また、得られた導体膜についてのめっき性や半田濡れ性を低下させることがある。
【0054】
また、銅系導電性ペーストに含まれる無機成分は、軟化点800〜950℃のガラスフリットまたはガラスビーズ、基体用グリーンシート2に含まれる低温焼結セラミック材料、および、融点1100℃以上の金属もしくはその金属レジネートから選ばれる少なくとも1種の添加物を、5重量%以下含んでいてもよい。
【0055】
上述したガラスフリットもしくはガラスビーズまたは低温焼結セラミック材料の添加は、焼成工程において、導電性ペースト体4の収縮挙動を基体用グリーンシート2の収縮挙動に近づける効果を有するとともに、導電性ペースト体4と基体用グリーンシート2との界面での接合力を向上させる効果を有するものであるが、5重量%を超えて添加すると、得られた配線導体の抵抗値が無視できない程度に高くなり、たとえば高周波回路において多層セラミック基板を用いた場合、高周波特性の劣化をもたらすことがある。
【0056】
他方、上述した金属もしくはその金属レジネートの添加は、得られた配線導体における抵抗値の上昇をそれほど招くことなく、導電性ペースト体4の収縮を抑制し、基体用グリーンシート2との間で収縮率を近似させる効果を有するものであるが、5重量%を超えて添加されると、配線導体における抵抗値を無視できない程度に上昇させ、また、セラミック層との間での接着強度の低下をもたらすことがある。なお、融点1100℃以上の金属としては、たとえば、タングステン、モリブデン、ニッケル等を用いることができる。
【0057】
多層セラミック基板において形成すべき配線導体の構成や導体膜の面積などによっては、導電性ペースト体4の焼成時における収縮挙動を微調整することが必要になる場合や、配線導体とセラミック層との界面での接合力をより向上させることが必要になる場合がある。また、導電性ペースト膜5を形成する場合には、銅系導電性ペーストは、優れたスクリーン印刷性を有していることが望まれる。
【0058】
このような場合において、前述したように、銅系導電性ペーストに含まれる無機成分として、Cu2 Oに加えて、Cuおよび/またはCuOが添加されたり、軟化点800〜950℃のガラスフリットもしくはガラスビーズ、低温焼結セラミック材料、および/または、融点1100℃以上の金属もしくはその金属レジネートが添加されたりすることによって、上述のような収縮挙動の微調整や接合力の向上、さらにはスクリーン印刷性の向上を図るといった特性改善を行なうことができる。
【0059】
銅系導電性ペーストに含まれる有機ビヒクルとしては、前述した基体用グリーンシート2の成形に際して用意されたスラリー中に含まれるものと同じものを用いることができる。
【0060】
このような銅系導電性ペーストを用いて、次に、導電性ペースト膜5および導電性ペースト柱6のような導電性ペースト体4を形成した後、キャリアフィルムを剥離し、複数の基体用グリーンシート2を積層することによって、図1に示すような生の積層体1が得られる。以下に、その詳細について説明する。
【0061】
上述したように、複数の基体用グリーンシート2が積層される場合、図1に示した生の積層体1の形態からわかるように、最上層の基体用グリーンシート2(A)を除いて、各一方主面上に収縮抑制用無機材料層3を形成した状態で、複数の基体用グリーンシート2を積層することが行なわれる。
【0062】
また、導電性ペースト膜5および導電性ペースト柱6のような導電性ペースト体4を形成する工程は、複数の基体用グリーンシート2が積層される前の段階で実施される。
【0063】
すなわち、導電性ペースト柱6を設けるための貫通孔が、基体用グリーンシート2および収縮抑制用無機材料層3を貫通するように設けられる。なお、最上層の基体用グリーンシート2(A)にあっては、基体用グリーンシート2(A)を貫通するように、貫通孔が設けられる。
【0064】
そして、収縮抑制用無機材料層3および基体用グリーンシート2(A)の各々上に、たとえばスクリーン印刷法によって、銅系導電性ペーストが印刷され、それによって、導電性ペースト膜5が形成されるとともに、貫通孔内に銅系導電性ペーストが充填され、導電性ペースト柱6が形成される。
【0065】
なお、導電性ペースト膜5と導電性ペースト柱6とは、上述のように、同時に形成されてもよいが、銅系導電性ペーストに必要な特性が、導電性ペースト膜5のためのものと導電性ペースト柱6のためのものとの間で異なる場合には、それぞれについて、含有されるCu2 O等の無機成分の粒径や含有量、有機ビヒクル、粘度等の適正化を図りながら、別の工程で形成するようにしてもよい。
【0066】
上述のようにして導電性ペースト膜5および導電性ペースト柱6のような導電性ペースト体4を形成するための銅系導電性ペーストが付与された複数の基体用グリーンシート2および収縮抑制用無機材料層3は、次いで、積層され、その後、たとえば、温度80℃および圧力200kgf/cm2 の条件で積層方向にプレスされることによって、図1に示すような生の積層体1が得られる。
【0067】
この生の積層体1は、次いで、焼成炉内で、基体用グリーンシート2に含まれる低温焼結セラミック材料が焼結する温度、たとえば900〜1000℃を最高温度とする焼成条件によって焼成され、それによって、目的とする多層セラミック基板が得られる。
【0068】
上述した焼成工程において、収縮抑制用無機材料層3は、それ自身、実質的に収縮しない。そして、基体用グリーンシート2においてガラスが生成する温度あるいは基体用グリーンシート2に含まれていたガラスが軟化する温度に達したとき、収縮抑制用無機材料層3と基体用グリーンシート2との界面に2〜3μm程度の厚みの反応層が生成され、これが収縮抑制用無機材料層3と基体用グリーンシート2とを互いに接着するように作用する。これによって、収縮抑制用無機材料層3は、基体用グリーンシート2に対して、主面方向での収縮を抑制する拘束力を及ぼす状態となる。
【0069】
このようなことから、基体用グリーンシート2は、その主面方向での収縮が抑制されながら、そこに含まれる低温焼結セラミック材料が焼結し、実質的に厚み方向にのみ収縮し、得られた多層セラミック基板におけるセラミック層を形成する。
【0070】
また、収縮抑制用無機材料層3においては、基体用グリーンシート2に含まれていたガラス成分等の材料の一部が浸透し、それによって、収縮抑制用無機材料が固着され、収縮抑制用無機材料層3を固化する。
【0071】
また、導電性ペースト体4を構成する銅系導電性ペーストに含まれていたCu2 Oは、収縮を伴いながら、Cuに還元され、それによって、銅を主成分とする配線導体が形成される。この配線導体としては、前述した導電性ペースト膜5によって与えられる内部導体膜および外部導体膜、ならびに導電性ペースト柱6によって与えられるビアホール導体などがある。
【0072】
また、この焼成工程において、導電性ペースト体4に含まれるCu2Oの還元が生じる時点を、基体用グリーンシート2に含まれる低温焼結セラミック材料の焼結が始まる時点に合わせ、それによって、導電性ペースト体4の収縮挙動を基体用グリーンシート2の収縮挙動に近似させることが行なわれる。そのため、焼成炉内の雰囲気の酸素分圧が、焼成炉内の温度に応じて、次のように制御される。
【0073】
すなわち、200℃から700℃までの昇温過程では、10-6mmHg〜10mmHgの酸素分圧を有する雰囲気が与えられる。この200℃から700℃までの温度領域においては、10-6mmHg〜10mmHgの酸素分圧とされることにより、Cu2 Oが安定して存在することができる。また、この温度領域では、基体用グリーンシート2に含まれる低温焼結セラミック材料は焼結を開始することはない。
【0074】
この温度領域において、酸素分圧が10-6mmHgを下回ると、Cu2 OがCuに還元され、導電性ペースト体4において収縮が始まるが、基体用グリーンシート2においては収縮が生じないため、得られた多層セラミック基板において反りなどを発生する原因となる。他方、酸素分圧が10mmHgを超えると、Cu2 OがCuOに酸化され、膨張するため、基体用グリーンシート2によって形成されたセラミック層側においてクラックが発生する原因となる。
【0075】
次に、700℃から低温焼結セラミック材料の収縮開始温度までの昇温過程では、10-4mmHg〜10mmHgの酸素分圧を有する雰囲気が与えられる。このような700℃から低温焼結セラミック材料の収縮開始温度(たとえば900℃)までの温度領域では、10-4mmHg〜10mmHgの酸素分圧とされることにより、Cu2 Oが安定して存在する。また、この温度領域は、低温焼結セラミック材料の収縮開始温度以下であるので、当然、基体用グリーンシート2に含まれる低温焼結セラミック材料は未だ焼結されない。
【0076】
この温度領域において、酸素分圧が10-4mmHgを下回ると、Cu2 OがCuに還元されやすくなり、導電性ペースト体4において収縮を生じ、前述の温度領域の場合と同様、得られた多層セラミック基板において反りなどが発生する原因となる。他方、酸素分圧が10mmHgを超えると、Cu2 OがCuOに酸化されやすくなり、導電性ペースト体4において膨張が生じ、前述した温度領域の場合と同様、クラックを発生する原因となる。
【0077】
次に、低温焼結セラミック材料の収縮開始温度から1000℃までの昇温過程では、10-3mmHg以下の酸素分圧を有する雰囲気が与えられる。このような酸素分圧下では、Cu2 OがCuに還元される。また、低温焼結セラミック材料の収縮開始温度から1000℃までの温度領域では、当然、基体用グリーンシート2に含まれる低温焼結セラミック材料が焼結する。この低温焼結セラミック材料の焼結によって、基体用グリーンシート2ないしはこれから得られるセラミック層の収縮、特に厚み方向での収縮が生じるが、導電性ペースト体4ないしはこれから得られる配線導体においても、Cu2 OからCuへの還元による収縮が生じるため、これらの収縮挙動を互いに近似させることができる。そのため、得られた多層セラミック基板においてクラックが生じたり、反りが生じたり、ビアホール導体に関連して***がもたらされたり、ビアホール導体に関連して隙間がもたらされたりすることを防止することができる。
【0078】
この温度領域において、酸素分圧が10-3mmHgを超えると、Cu2 OはCuに還元されず、そのため、配線導体における導通不良や多層セラミック基板の反りが生じるとともに、Cuイオンのセラミック層への拡散が助長され、多層セラミック基板における特性を劣化させる原因となる。
【0079】
そして、好ましくは、降温過程においても、酸素分圧が制御される。すなわち、1000℃から200℃までの降温過程において、10-6mmHg以下の酸素分圧を有する雰囲気が与えられる。これによって、特に多層セラミック基板の外表面上に形成される外部導体膜において、前述したようなCu2 Oからの還元によって生成されたCuが、降温過程において、Cu2 OあるいはCuOへ酸化されてしまうことが防止される。
【0080】
上述したような酸素分圧の制御は、たとえば、窒素雰囲気中に空気を適量混合することによって行なうことができる。また、必要に応じて、H2 O、H2 、アンモニア分解ガス等を雰囲気制御のために用いてもよい。
【0081】
また、焼成工程を実施するための焼成炉としては、たとえば、箱型バッチ処理式雰囲気炉を用いたり、雰囲気制御が可能な管状炉やメッシュベルト式連続炉を用いたりすることができる。
【0082】
また、上述した焼成工程を経て得られた多層セラミック基板に対して、必要に応じて、その外表面上に印刷および焼き付け等による導体膜を形成したり、導体膜上にめっきを施したり、印刷抵抗を形成したり、絶縁層を形成したりすることが行なわれ、さらに、適当な搭載部品が搭載されたりしてもよい。
【0083】
以上の実施形態に係る説明において記載した焼成時の雰囲気、銅系導電性ペーストにおけるCu2 Oの粒径、ならびに銅系導電性ペーストにおけるCu2 O以外の添加物の添加量についての好ましい条件を確認するために実施した実験について、以下に説明する。
【0084】
【実験例1】
実験例1は、焼成時の雰囲気についての好ましい条件を求めようとするものである。
【0085】
酸化バリウム、酸化ケイ素、アルミナ、酸化カルシウムおよび酸化ホウ素の各粉末を混合した低温焼結セラミック材料に対して、バインダとしてのポリビニルブチラールと、可塑剤としてのジ−n−ブチルフタレートと、溶剤としてのトルエンおよびイソプロピルアルコールとを添加し混合することによって、スラリーを作製し、このスラリーをドクターブレード法によってキャリアフィルム上でシート状に成形し、乾燥させることによって、基体用グリーンシートを作製した。
【0086】
また、収縮抑制用無機材料としてのアルミナ粉末に対して、バインダとしてのポリビニルブチラールと、可塑剤としてのジ−n−ブチルフタレートと、溶剤としてのトルエンおよびイソプロピルアルコールとを添加し混合することによって、スラリーを作製し、このスラリーを、上述の基体用グリーンシート上に塗布し、乾燥させることによって、収縮抑制用無機材料層を形成した。
【0087】
また、平均粒径0.5μmのCu2 O粉末90重量%に対して、エチルセルロースとテレピネオールとを重量比で12:88の割合で混合した有機ビヒクル10重量%添加し、攪拌擂潰機および3本ロールによって、攪拌かつ混練して、銅系導電性ペーストを作製した。
【0088】
次に、穿孔機によって、基体用グリーンシートおよび必要に応じて収縮抑制用無機材料層に貫通孔を形成し、次いで、基体用グリーンシートまたは収縮抑制用無機材料層上に、スクリーン印刷法によって、上述の銅系導電性ペーストを印刷し、導電性ペースト膜および導電性ペースト柱のような導電性ペースト体を形成した。
【0089】
次に、収縮抑制用無機材料層を挟むように、複数の基体用グリーンシートを積層し、温度80℃、圧力200kgf/cm2 の条件で、積層方向にプレスし、生の積層体を得た。
【0090】
次に、この生の積層体を、箱型バッチ処理式雰囲気炉において、表1に示すような種々の酸素分圧条件にて焼成し、試料となる多層セラミック基板を得た。この酸素分圧の制御は、窒素雰囲気中に空気を混合することによって行なった。
【0091】
そして、試料としての多層セラミック基板について、クラックおよび反りの発生の有無を評価するとともに、焼成後における導体膜の状態を評価した。これらの結果が、表1に示されている。
【0092】
なお、この実験で用いた低温焼結セラミック材料は、焼結開始温度が900℃のものであった。
【0093】
【表1】
【0094】
焼成工程における酸素分圧は、表1に示すように、昇温過程では3つの温度領域に分けてそれぞれ設定され、かつ降温過程においても所定の値に設定された。たとえば、試料1について言えば、酸素分圧は、25〜700℃の昇温過程では、20mmHgに設定され、700〜900℃の昇温過程では、10mmHgに設定され、900〜1000℃の昇温過程では、10-3mmHgに設定され、1000〜25℃の降温過程では、10-6mmHgに設定された。
【0095】
また、表1の「クラック」および「反り」の各欄において、「○」はこれらクラックまたは反りが生じなかったことを示し、「×」はこれらクラックまたは反りが生じたことを示している。また、「導体膜状態」の欄において、「Cu」は導体膜がCuを主成分としていることを示し、「Cu2 O」は導体膜がCu2 Oを主成分としていることを示している。
【0096】
表1に示した試料において、試料2および4〜6が、焼成時の雰囲気条件に関して好ましい範囲内にあるものである。これら試料2および4〜6によれば、クラックや反りがなく、また、導体膜において、Cuが生成された、多層セラミック基板を得ることができた。
【0097】
これに対して、試料1では、25〜700℃の昇温過程における酸素分圧が10-6mmHg〜10mmHgといった好ましい範囲を外れて高すぎたため、Cu2 Oは体積膨張を伴ってCuOへと酸化され、得られた多層セラミック基板においてクラックを発生した。
【0098】
また、試料3においては、700〜900℃の昇温過程における酸素分圧が、10-4mmHg〜10mmHgといった好ましい範囲から外れて高すぎたため、基体用グリーンシートにおける低温焼結セラミック材料の焼結が開始する前に、Cu2 Oは体積膨張を伴ってCuOへと酸化され、得られた多層セラミック基板においてクラックを発生した。
【0099】
また、試料7においては、900〜1000℃の昇温過程において、酸素分圧が、10-3mmHg以下といった好ましい範囲を外れて高すぎたため、Cu2 OからCuへの十分な還元が生じず、そのため、導体膜において、表面のみがCuに還元されたが、内部ではCu2 Oが残存した。また、基体用グリーンシートにおける低温焼結セラミック材料の焼結が進行しているにも関わらず、Cu2 Oから収縮を伴うCuへの十分な還元が生じないために、導電性ペースト体における収縮が生じず、そのため、得られた多層セラミック基板において反りが発生した。
【0100】
また、試料8では、1000〜25℃の降温過程において、酸素分圧を10-3mmHgというように、比較的高く設定したので、昇温過程の最終段階で、導体膜にCuを生成していたにも関わらず、導体膜の表面においてCuがCu2 OおよびCuOとなるように酸化されたものと考えられる。
【0101】
【実験例2】
実験例2は、銅系導電性ペーストにおけるCu2 Oの粒径についての好ましい範囲を求めようとするもので。る。
【0102】
表1における試料2の場合と同様の操作を実施しながら、銅系導電性ペーストについては表2に示すような種々の平均粒径のCu2 O粉末を用い、試料となる多層セラミック基板を得た。なお、表2において、平均粒径は、マイクロトラック粒度分布計によるD50の値をもって示したものである。
【0103】
また、表2に示した「印刷性」は、スクリーン印刷による印刷が良好に行なえたかどうか、ペースト化が容易であったかどうか、ビアホール導体のための貫通孔への導電性ペーストの埋め込み状態が良好であったかどうかを評価したものであり、また、「焼成後状態」は、導電性ペースト体の焼成によって得られた配線導体、特にビアホール導体の状態を評価したものである。
【0104】
【表2】
【0105】
表2に示した試料において、試料12〜17については、Cu2 Oの平均粒径が0.5〜10μmといった好ましい範囲内にあり、その含有量を50〜90重量%とすることにより、良好な印刷性を示すとともに、焼成後において良好な配線導体を形成することができた。
【0106】
これに対して、試料11では、Cu2 Oの平均粒径が0.5μmより小さいため、有機ビヒクルの含有量を50重量%にまで上げても、ペースト化することが困難であり、また、焼成後のビアホール導体において隙間が発生した。
【0107】
また、試料18では、Cu2 Oの平均粒径が10μmより大きいため、貫通孔内への導電性ペーストの埋め込み状態が不良となり、また、焼成後の配線導体において導通不良が生じた。
【0108】
【実験例3】
実験例3は、銅系導電性ペーストにおけるCu2 O以外の添加物の添加による特性改善効果を評価しようとするものである。
【0109】
実験例1の場合と同様のBa−Si−Al−B−Ca−O系低温焼結セラミック材料を含むセラミックグリーンシートを用意し、その上に、表3に示した種々の組成の銅系導電性ペーストを付与して導電性ペースト膜を形成し、表1における試料2の場合と同様の雰囲気条件を適用して、焼成工程に付し、各試料を得た。
【0110】
なお、この実験例3において、表3に示した「Cu2 O」については、平均粒径が0.5μmのものを用い、「Cu」および「CuO」については、平均粒径が2μmのものを用い、「ガラス」としては、軟化点820℃のホウケイ酸バリウム系ガラスフリットを用い、「セラミック」としては、上述したセラミックグリーンシートに含まれる低温焼結セラミック材料と同様のBa−Si−Al−B−Ca−O系セラミックであって焼結温度が1000℃のものを用い、「金属」としては、モリブデンを用いた。
【0111】
また、これら銅系導電性ペーストに係る各試料について、反り、導体膜密着強度、めっき性・半田付け性、およびシート抵抗値をそれぞれ評価した。
【0112】
反りについては、4インチ平方で厚み0.6mmのセラミック板となるセラミックグリーンシートの表面に占有面積80%および膜厚15μmとなるように銅系導電性ペーストをもって導電性ペースト膜を形成し、焼成後のセラミック板において発生した反りの絶対値を評価した。この反りが50μm未満であるとき、使用上問題ないと評価できる。
【0113】
導体膜密着強度については、2mm×2mmの導体膜をセラミック板上に形成した試料を得るため、セラミックグリーンシート上に導電性ペースト膜を形成したものを焼成し、焼成後において、導体膜にL字リード線を半田付けした状態として、引っ張り強度試験を実施して、導体膜が剥がれた時点での引っ張り強度を示したものである。この導体膜密着強度が2kgf/2×2mm2 を超えるとき、使用上問題ないと評価できる。
【0114】
めっき性については、試料となる銅系導電性ペーストによって形成された導体膜上にニッケルめっきを施し、このめっき膜の析出状態を評価したものである。
【0115】
半田濡れ性については、試料となる銅系導電性ペーストを用いて形成された導体膜を共晶半田に浸漬し、半田の付着状態を評価したものである。
【0116】
シート抵抗値については、試料となる銅系導電性ペーストを用いて、ライン幅100μm厚み15μmの導体膜を形成し、そのシート抵抗値を評価したものである。このシート抵抗値が3.0mΩ/□未満のとき、使用上問題ないと評価できる。
【0117】
【表3】
【0118】
表3に示した試料において、試料21については、Cu2 O以外の添加物が添加されず、試料22〜34については、Cu2 O以外に何らかの添加物が添加されている。
【0119】
これらの添加物の内、CuおよびCuOについては、60重量%以下であることが好ましいが、試料31および32については、60重量%の上限を超えている。そのため、試料31および32については、反りが大きく生じ、特に試料32においては、反りが極めて大きく、また、めっき性・半田濡れ性が悪く、シート抵抗値も3.0mΩ/□以上となっている。
【0120】
また、添加物としてのガラス、セラミックおよび金属については、5重量%以下の含有量であることが好ましい。これに関して、試料33および34については、この5重量%の上限を超えている。そのため、試料33においては、めっき性・半田濡れ性が悪く、また、シート抵抗値も4.5mΩ/と高くなっている。また、試料34では、導体膜密着強度が1.8kgf/2×2mm2 と低くなっている。
【0121】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、多層セラミック基板を得るために焼成される生の積層体において、低温焼結セラミック材料を含む、複数の積層された基体用グリーンシートと、これら基体用グリーンシートの間の界面に沿って配置されかつ収縮抑制用無機材料を含む、収縮抑制用無機材料層と、配線導体を形成するため、基体用グリーンシートに関連してCu2 Oを含む銅系導電性ペーストを付与することによって形成された導電性ペースト体とを備えるようにしており、この生の積層体を焼成する工程において、収縮抑制用無機材料層によって基体用グリーンシートの主面方向での収縮を抑制しながら、低温焼結セラミック材料を焼結させるとともに、導電性ペースト体に含まれるCu2 OをCuに還元することによって配線導体を形成するようにしているので、基体用グリーンシートと導電性ペースト体との間において収縮挙動を近似させることが可能となり、配線導体に関連してクラックや***や隙間のない状態で多層セラミック基板を製造することができる。
【0122】
したがって、小型化かつ配線の高密度化が図られた多層セラミック基板を、高い信頼性をもって製造することができる。
【0123】
また、この発明によれば、焼成工程において、200℃から700℃までの昇温過程では、Cu2OがCuOに酸化されたりCuに還元されたりしない10-6mmHg〜10mmHgの酸素分圧を有する雰囲気が与えられ、700℃から低温焼結セラミック材料の収縮開始温度までの昇温過程では、Cu2OがCuOに酸化されたりCuに還元されたりしない10-4mmHg〜10mmHgの酸素分圧を有する雰囲気が与えられ、低温焼結セラミック材料の収縮開始温度から1000℃までの昇温過程では、Cu2OがCuに還元される10-3mmHg以下の酸素分圧を有する雰囲気が与えられるので、上述したような収縮挙動をより確実に近似させることができる。
【0124】
また、上述のように酸素分圧を規定することにより、脱バインダが生じる温度領域では、Cu2 OがCuOに酸化されない程度にまで酸化性雰囲気を与えることができるので、基体用グリーンシートや導電性ペースト体に対する脱バインダを容易にし、焼成時間の短縮を図ることができるとともに、得られた多層セラミック基板においてカーボン成分の残渣を減らすことができ、したがって、密度が高くかつ信頼性により優れた多層セラミック基板を得ることができる。
【0125】
上述した焼成工程における1000℃から200℃までの降温過程において、10-6mmHg以下の酸素分圧を有する雰囲気が与えられると、昇温過程の最終段階で、配線導体にCuを生成していたのも関わらず、降温過程において、CuがCu2OまたはCuOに酸化されることを確実に防止することができる。したがって、このような降温過程での酸素分圧の制御は、特に、焼成されるべき生の積層体の外表面上に導電性ペースト膜を形成している場合に、顕著な効果を発揮する。
【0126】
また、この発明において用いられる銅系導電性ペーストが、50〜90重量%の有機ビヒクルとを含み、無機成分の主成分として、平均粒径が0.5〜10μmであって、最大粒径が50μm以下のCu2 Oを含むようにすれば、ビアホール導体のための貫通孔内への導電性ペーストの充填を良好に行なうことができ、したがって、焼成後において、隙間や導通不良のないビアホール導体を確実に形成することができる。
【0127】
また、銅系導電性ペーストにおいて、上述の無機成分の主成分であるCu2 Oが40重量%以上含むようにしながら、平均粒径2〜10μmのCuおよびCu2 Oの少なくとも一方を60重量%以下含むようにしたり、軟化点800〜950℃のガラスフリットもしくはガラスビーズ、低温焼結セラミック材料、および、融点1100℃以上の金属もしくはその金属レジネートから選ばれる少なくとも1種の添加物を、5重量%以下含ませることによって、配線導体の抵抗値をあまり上げることなく、導電性ペースト体の焼成時の収縮挙動の微調整を行なったり、導電性ペースト体を焼成して得られた配線導体と基体用グリーンシートを焼成して得られたセラミック層との界面での接合力を向上させたりすることができる。
【0128】
そのため、得ようとする多層セラミック基板の設計において、配線導体の分布密度の片寄りを懸念することなく、自由に電子回路を組むことができる。また、得られた多層セラミック基板の高周波特性を低下させることがなく、反りを生じさせず、信頼性かつ位置精度に優れた配線導体を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態による多層セラミック基板の製造方法において作製される生の積層体1を図解的に示す断面図である。
【符号の説明】
1 生の積層体
2 基体用グリーンシート
3 収縮抑制用無機材料層
4 導電性ペースト体
5 導電性ペースト膜
6 導電性ペースト柱
Claims (14)
- 1000℃以下の温度で焼結可能な低温焼結セラミック材料を用意する工程と、
前記低温焼結セラミック材料の焼結温度では焼結しない収縮抑制用無機材料を用意する工程と、
銅を主成分とする導体を与えるためのCu2Oを含む銅系導電性ペーストを用意する工程と、
前記低温焼結セラミック材料を含む、複数の積層された基体用グリーンシートと、複数の前記基体用グリーンシートの間の界面に沿って配置されかつ前記収縮抑制用無機材料を含む、収縮抑制用無機材料層と、配線導体を形成するため、前記基体用グリーンシートに関連して前記銅系導電性ペーストを付与することによって形成された導電性ペースト体とを備える、生の積層体を作製する工程と、
前記生の積層体を焼成する工程と
を備え、
前記焼成する工程において、前記収縮抑制用無機材料層によって前記基体用グリーンシートの主面方向での収縮を抑制しながら、前記低温焼結セラミック材料を焼結させるとともに、前記導電性ペースト体に含まれるCu2OをCuに還元することによって前記配線導体を形成することを特徴とするとともに、
前記焼成する工程において、
200℃から700℃までの昇温過程では、Cu 2 OがCuOに酸化されたりCuに還元されたりしない10 -6 mmHg〜10mmHgの酸素分圧を有する雰囲気が与えられ、
700℃から前記低温焼結セラミック材料の収縮開始温度までの昇温過程では、Cu 2 OがCuOに酸化されたりCuに還元されたりしない10 -4 mmHg〜10mmHgの酸素分圧を有する雰囲気が与えられ、
前記低温焼結セラミック材料の収縮開始温度から1000℃までの昇温過程では、Cu 2 OがCuに還元される10 -3 mmHg以下の酸素分圧を有する雰囲気が与えられることを特徴とする、
多層セラミック基板の製造方法。 - 前記焼成する工程において、1000℃から200℃までの降温過程では、CuがCu2OまたはCuOに酸化されない10-6mmHg以下の酸素分圧を有する雰囲気が与えられる、請求項1に記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記銅系導電性ペーストは、50〜90重量%の無機成分と10〜50重量%の有機ビヒクルとを含み、前記無機成分の主成分として、平均粒径が0.5〜10μmであって、最大粒径が50μm以下のCu2Oを含む、請求項1または2に記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記無機成分は、Cu2Oを40重量%以上含む、請求項3に記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記無機成分は、平均粒径2〜10μmのCuおよびCuOの少なくとも一方を60重量%以下含む、請求項4に記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記無機成分は、軟化点800〜950℃のガラスフリットもしくはガラスビーズ、前記低温焼結セラミック材料、および、融点1100℃以上の金属もしくはその金属レジネートから選ばれる少なくとも1種の添加物を、5重量%以下含む、請求項4または5に記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記低温焼結セラミック材料は、ガラスとセラミックとの混合物を含む、請求項1ないし6のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記低温焼結セラミック材料は、前記焼成する工程において、ガラスを生成する組成を有する、請求項1ないし6のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記生の積層体を作製する工程は、前記導電性ペースト体として、前記基体用グリーンシートの主面に沿って延びる導体膜のための導電性ペースト膜を形成する工程を含む、請求項1ないし8のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記生の積層体を作製する工程は、前記導電性ペースト体として、前記基体用グリーンシートを貫通するように延びるビアホール導体のための導電性ペースト柱を形成する工程を含む、請求項1ないし9のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 請求項10に記載の多層セラミック基板の製造方法において前記ビアホール導体のための導電性ペースト柱を形成するために用いられる銅系導電性ペーストであって、50〜90重量%の無機成分と10〜50重量%の有機ビヒクルとを含み、前記無機成分の主成分として、平均粒径が0.5〜10μmであって、最大粒径が50μm以下のCu2Oを含む、銅系導電性ペースト。
- 前記無機成分は、Cu2Oを40重量%以上含む、請求項11に記載の銅系導電性ペースト。
- 前記無機成分は、平均粒径2〜10μmのCuおよびCuOの少なくとも一方を60重量%以下含む、請求項12に記載の銅系導電性ペースト。
- 前記無機成分は、軟化点800〜950℃のガラスフリットもしくはガラスビーズ、前記低温焼結セラミック材料、および、融点1100℃以上の金属もしくはその金属レジネートから選ばれる少なくとも1種の添加物を、5重量%以下含む、請求項12または13に記載の銅系導電性ペースト。
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