JP4377324B2 - 真空スパッタリング処理装置のためのカソード - Google Patents
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
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Description
3 支持体
4 メンブラン
5 フレーム
5d 係合用リム
5d1 オフセット状態の直線状形状部分
5d2 直線状スロット
6 閉塞スペース
8 把持部材
8a 相補的係合形状
8a1 直線状溝
8a2 ニブ
9 位置決めネジ(部材)
10 ドア
Claims (10)
- 真空スパッタリング処理装置のためのカソードであって、
ターゲットプレート(2)が、冷却機構として機能し得るよう構成された支持体(3)上に取り付けられる場合において、
前記支持体(3)が、フレーム(5)に対して固定され、
このフレーム(5)が、前記ターゲットプレート(2)の位置決めおよび中心合わせのための閉塞スペース(6)を形成し、
前記フレーム(5)の周縁部が、所定形状を有した係合用リム(5d)を備え、
この係合用リム(5d)が、一組をなす複数の把持部材(8)と協働し得るものとされ、
前記一組をなす複数の把持部材(8)が、部材(9)に対してクランプ作用を印加した結果として前記把持部材(8)を傾斜させ得るような相補的係合形状(8a)を有し、
前記部材(9)が、前記把持部材(8)の厚さ方向に係合されているとともに、前記フレーム(5)の前記係合リムの一部に対して押圧され、
前記傾斜効果により、前記一組をなす複数の把持部材(8)の各係合形状(8a)の一部が、前記ターゲットプレート(2)の周縁エッジに対して面的に押圧されることができ、これにより、前記ターゲットプレート(2)を固定し得るものとされていることを特徴とするカソード。 - 請求項1記載のカソードにおいて、
前記一組をなす複数の把持部材(8)が、適切にカットされており、互いに組み合わされたときには、前記ターゲットプレート(2)の4つの側辺を完全に包囲するような閉塞周縁フレームを形成し、これにより、スパッタリングのための自由にアクセス可能な中央領域を規定することを特徴とするカソード。 - 請求項2記載のカソードにおいて、
前記把持部材(8)をなすいくつかの部材が、コーナーを形成するための傾斜した連結端部を有しており、一方、前記把持部材(8)をなす他の部材が、直線状とされていて、コーナーを形成するための傾斜した連結端部を有した2つの部材間に滑り込ませることによって挿入され、コーナーを形成するための傾斜した連結端部を有した前記部材が、前記フレーム(5)に対して、先行的に位置決めされることを特徴とするカソード。 - 請求項1記載のカソードにおいて、
前記部材(9)が、位置決めネジとされていることを特徴とするカソード。 - 請求項1記載のカソードにおいて、
前記フレーム(5)の係合用のかつ相互ロック用の前記リム(5d)が、オフセット状態の直線状形状部分(5d1)から構成され、この直線状形状部分が、直線状スロット(5d2)を形成していることを特徴とするカソード。 - 請求項5記載のカソードにおいて、
前記把持部材(8)の前記相補形状が、直線状溝(8a1)とされ、
この直線状溝(8a1)が、前記フレーム(5)の前記オフセット状態直線状形状部分(5d1)に対して係合し得るよう構成され、
前記直線状溝(8a1)が、前記スロット(5d2)と協働し得るニブ(8a2)を形成し、
このニブ(8a2)が、クランプ操作時の前記傾斜効果をもたらし得るものとされていることを特徴とするカソード。 - 請求項1記載のカソードにおいて、
前記支持体が、膜状部材(4)を有していることを特徴とするカソード。 - 請求項1記載のカソードにおいて、
前記支持体(3)が、容易に着脱可能であるように構成された装置部分上に取り付けられていることを特徴とするカソード。 - 請求項8記載のカソードにおいて、
前記装置部分が、開閉部材を構成していることを特徴とするカソード。 - 請求項1記載のカソードにおいて、
前記把持部材(8)が、前記ターゲットプレート(2)と同じ材料から形成し得る、あるいは、前記ターゲットプレート(2)とは異なる材料から形成し得ることを特徴とするカソード。
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