JP4365308B2 - マイクロ揺動素子 - Google Patents
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Description
前記可動機能部は前記第1導体層において成形された部位であり、前記フレームは前記第2導体層において成形された部位である、マイクロ揺動素子。
(付記2)前記第1導体層において前記可動機能部よりも薄く成形され且つ前記絶縁層を介して前記フレームに固定された薄肉構造部を更に備える、付記1に記載のマイクロ揺動素子。
(付記3)前記薄肉構造部は、前記絶縁層を貫通する導電連絡部を介して前記フレームと電気的に接続されている、付記2に記載のマイクロ揺動素子。
(付記4)前記第1導体層において成形され且つ前記絶縁層を介して前記フレームに固定されて当該フレームよりも幅狭である幅狭構造部を更に備える、付記1から3のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記5)前記幅狭構造部は、前記絶縁層を貫通する導電連絡部を介して前記フレームと電気的に接続されている、付記4に記載のマイクロ揺動素子。
(付記6)前記第1導体層において前記可動機能部よりも薄く成形され且つ前記絶縁層を介して前記フレームに固定されて当該フレームよりも幅狭である薄肉幅狭構造部を更に備える、付記1から5のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記7)前記薄肉幅狭構造部は、前記絶縁層を貫通する導電連絡部を介して前記フレームと電気的に接続されている、付記6に記載のマイクロ揺動素子。
(付記8)前記揺動部は、前記揺動軸心の延び方向と交差する方向に前記可動機能部から延出するアーム部と、当該アーム部の延び方向と交差する方向に当該アーム部から各々が延出し且つ当該アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第1電極歯からなる、第1櫛歯電極とを更に有し、
前記アーム部の延び方向と交差する方向に前記フレームから各々が延出し且つ前記アーム部の延び方向に互いに離隔する複数の第2電極歯からなる、前記第1櫛歯電極と協働して前記揺動動作の駆動力を発生させるための第2櫛歯電極を、更に備える、付記1から7のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記9)前記複数の第1電極歯の延び方向は、前記揺動軸心に対して平行である、付記8に記載のマイクロ揺動素子。
(付記10)前記複数の第1電極歯の延び方向と前記揺動軸心の延び方向とは交差する、付記8に記載のマイクロ揺動素子。
(付記11)前記第2電極歯の延び方向は、前記第1電極歯の延び方向に対して平行である、付記8から10のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記12)前記第1櫛歯電極は3本以上の電極歯からなり、隣り合う2つの第1電極歯間の距離は、前記揺動軸心から遠いほど長い、付記8から11のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記13)前記第2櫛歯電極は3本以上の電極歯からなり、隣り合う2つの第2電極歯間の距離は、前記揺動軸心から遠いほど長い、付記8から12のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記14)前記アーム部の延び方向において隣り合う2つの第2電極歯の間に位置する第1電極歯は、当該2つの第2電極歯間の中心位置から、前記揺動軸心に近付く方に偏位している、付記8から13のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記15)前記アーム部の延び方向において隣り合う2つの第2電極歯の間に位置する第1電極歯は、当該2つの第2電極歯間の中心位置から、前記揺動軸心から遠ざかる方に偏位している、付記8から13のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
(付記16)追加フレームと、当該追加フレームおよび前記フレームを連結して当該フレームの揺動動作の揺動軸心を規定する追加捩れ連結部とを更に備える、付記1から15のいずれか一つに記載のマイクロ揺動素子。
Y1,Y2,Y3 マイクロミラーアレイ
10 揺動部
11 ミラー支持部
12,32,33 アーム部
13A,13B,23A,23B,36,37 櫛歯電極
13a,13b,23a,23b,36a,37a 電極歯
21,31,38 フレーム
22,34,39 捩れ連結部
22a,34a,34b,39a,39b,39c トーションバー
24,25,26,27 配線部
28,29,31a,31b アイランド部
101,102,201,202 シリコン層
103,203 絶縁層
Claims (2)
- 第1導体層、第2導体層、並びに当該第1および第2導体層の間の絶縁層、からなる積層構造を有する材料基板から一体的に成形された、揺動部と、フレームと、当該揺動部およびフレームを連結して当該揺動部の揺動動作の揺動軸心を規定する捩れ連結部とを備え、
前記揺動部は、前記第1導体層において成形された第1導体層由来部位を有し、前記フレームは前記第2導体層において成形された部位であり、
前記第1導体層において成形され且つ前記絶縁層を介して前記フレームに固定されて当該フレームよりも幅狭である幅狭構造部を更に備え、
前記幅狭構造部は、前記揺動部の前記第1導体層由来部位と対向する位置に配され、且つ、前記フレームにおける前記揺動部側の端縁から退避して設けられており、
前記幅狭構造部は、前記捩れ連結部と電気的に接続されておらず、且つ、前記絶縁層を貫通する導電連絡部を介して前記フレームと電気的に接続されている、マイクロ揺動素子。 - 追加フレームと、当該追加フレームおよび前記フレームを連結して当該フレームの揺動動作の揺動軸心を規定する追加捩れ連結部とを更に備える、請求項1に記載のマイクロ揺動素子。
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