JP4364384B2 - 短時間でイレーズ動作を行う不揮発性メモリ - Google Patents
短時間でイレーズ動作を行う不揮発性メモリ Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、フラッシュメモリなどの電気的に書き換え可能な不揮発性メモリ(EEPROM)に関し、複数のセクタのイレーズ動作を短時間で行うことができる不揮発性メモリに関する。
【0002】
【従来の技術】
フラッシュメモリは、フローティングゲートを有する不揮発性のメモリセルを有する。フラッシュメモリは、複数のメモリセルをそれぞれ有する複数のセクタで構成され、セクタ単位でメモリのイレーズ(消去)が行われ、メモリセル毎にプログラム(書き込み)が行われる。
【0003】
図1は、従来の不揮発性メモリのイレーズ動作を説明するための図である。図1には、不揮発性メモリセルの断面図が示される。このメモリセルは、N型のシリコン半導体基板1のP型ウエル領域4内にN型のドレイン2、ソース3が形成され、チャネル領域上にフローティングゲートFGとコントロールゲートCGとが設けられる。そして、ドレイン2はビット線BLに接続され、コントロールゲートCGはワード線WLに接続(或いは兼用)される。また、ソース3は、ソース線SLに接続される。
【0004】
かかるメモリセルにおいて、フローティングゲートFGに電子が注入されず、セルトランジスタの閾値電圧が低い状態が消去状態(データ1)であり、フローティングゲートFGに電子が注入されてセルトランジスタの閾値電圧が高い状態がプログラム状態(データ0)である。
【0005】
プログラム状態にあるメモリセルをイレーズするためには、ワード線WLからコントロールゲートCGに負の電圧(例えば−9V)を印加し、ビット線BLをオープンにし、ソース線SLからソース3に昇圧電圧VPSを印加することで、ソース3からフローティングゲートFGの方向に大きなパルス電圧を印加して、フローティングゲートFG内に電子をソース側に抜き取る。或いは、セルのチャネルであるP型ウエル領域4をソース3と同じ電位にして、Pウエル領域3側に電子を引き抜く場合もある。これはイレーズパルス或いはイレーズストレスと称される。昇圧電圧VPSは、電源電圧VCCより高い電圧であり、一般に内部に設けられた昇圧回路12により生成される。従って、この昇圧回路12の電流供給能力には一定の限界がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
フラッシュメモリは、複数のセクタで構成され、上記の消去動作は、セクタ毎に行われる。その場合、複数のセクタを消去する場合でも、複数のセクタに同時に消去動作を行わせることなく、1セクタずつ消去動作が行われる。その理由は、第1に、セクタイレーズを行う場合、セクタ内の全てのセルのソース3(またはチャネル若しくはウエル4)に昇圧電圧VPSを印加する必要があるが、ソース3にはフローティングゲートFG内に蓄積されていた電子が引き出されるので、比較的大きな電流がソース3に流れる。しかしながら、昇圧回路12は、電源電圧からポンピング動作によりより高い昇圧電圧を生成するので、前述の通りその電流供給能力には限界がある。従って、複数のセクタ内のメモリセルに対して、同時に昇圧電圧VSPを印加することはできない。第2に、複数のセルに対して同時にイレーズのストレスをかけると、セルの特性のバラツキにより、一部のセルがオーバーイレーズされ、閾値電圧が負になるという問題がある。オーバーイレーズされたセルに対しては、軽いプログラム動作により閾値電圧を正に戻すリカバリー処理であるセルフコンバージェンスが行われている。しかし、かかるセルフコンバージェンス動作はできるだけ少なくすることが、イレーズ時間を短くするためには必要であり、できるだけ避けたい処理である。
【0007】
そして、近年のフラッシュメモリの大容量化に伴い、セクタ数が増大し、より多くのセクタをイレーズする処理が多くなり、そのような場合、イレーズ時間が長くなるという問題がある。
【0008】
そこで、本発明の目的は、複数のセクタをイレーズする場合のイレーズ処理時間を短くすることができる不揮発性メモリを提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の第1の側面は、フラッシュメモリにおいて、複数のセクタをイレーズする場合、1つのセクタには通常のイレーズストレスを印加してイレーズ処理を行うと同時に、他のイレーズすべきセクタには前記通常のイレーズストレスより弱いプリイレーズストレスを印加してプリイレーズ処理を行うことを特徴とする。通常のイレーズ処理が行われている間に、他のセクタにプリイレーズ処理を行うことにより、当該他のセクタに対するその後のイレーズ処理時間を短くすることができる。
【0010】
上記の目的を達成するために、本発明の第2の側面は、イレーズ対象のセクタには、セルのソースまたはチャネルに昇圧電圧を印加するイレーズ処理を行い、同時に他のイレーズ対象セクタには、セルのソースまたはチャネルに昇圧電圧より低い電源電圧を印加するプリイレーズ処理を行うことを特徴とする。
【0011】
イレーズ対象のあるセクタに通常のイレーズ処理している間に、他のイレーズ対象セクタにプリイレーズ処理を行うことにより、当該他のイレーズ対象セクタには、昇圧電圧を利用する通常のイレーズ処理ほど強いイレーズストレスをかけることはできないが、それより弱いイレーズストレスをかけることができる。従って、当該他のイレーズ対象セクタは、完全ではないがイレーズ処理が行われ、その後に行われる通常のイレーズ処理の時間を短くすることができる。
【0012】
本発明の第3の側面は、上記の発明のように、イレーズ対象セクタをイレーズ処理し、同時に他のイレーズ対象セクタをプリイレーズ処理する場合、当該他のイレーズ対象セクタに対してオーバーイレーズベリファイを行い、オーバイレーズが検出されたセクタに対しては、その後のプリイレーズ処理を行わないことを特徴とする。
【0013】
プリイレーズ処理は、イレーズ対象セクタへのイレーズ処理に平行して行われるので、当該他のイレーズ対象セクタのセルがオーバーイレーズされる可能性がある。従って、その場合は、オーバーイレーズされた他のイレーズ対象セクタに対して、その後のプリイレーズ処理を禁止して、その後に行われる通常のイレーズ処理でイレーズベリファイとオーバイレーズベリファイを行う。それにより、過度にオーバーイレーズされることを防止し、無用のリカバリー処理の必要性を減らし全体のイレーズ処理を短くすることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態例を説明する。しかしながら、かかる実施の形態例が、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【0015】
図2は、本実施の形態例におけるフラッシュメモリの構成図である。図2に示されたフラッシュメモリ(不揮発性メモリ)は、セルアレイ10が複数のセクタ100〜10nで構成される。各セクタ内には、後述する通りフローティングゲートを有するメモリセルが複数設けられる。また、このフラッシュメモリは、外部から電源電圧VCCを供給され、その電源電圧VCCを昇圧して内部昇圧電圧VPSを生成する昇圧回路12を有する。
【0016】
また、イレーズ処理において、セクタ内のメモリセルのソースに接続されるソース線印加電圧ARVS0〜ARVSnを発生するソース線電圧発生回路140〜14nが、各セクタ毎に設けられる。このソース線電圧発生回路は、図示しないシーケンサにより設定されるイレーズセクタフラグEF、プリイレーズセクタフラグPEF、シーケンサが生成するイレーズ信号ER、及びセクタ選択信号SELに応答して、電源電圧VCCか、昇圧電圧VPSか、またはグランドVSSを、ソース線電圧として対応するセクタに供給する。
【0017】
イレーズセクタフラグEFは、イレーズ対象セクタであることを示すフラグであり、一つのセクタに対応するイレーズセクタフラグEFが「1」にセットされる場合もあれば、複数のセクタに対応するイレーズセクタフラグが「1」にセットされる場合もある。本実施の形態例では、特に複数のセクタがイレーズ対象セクタにセットされた場合の動作に特徴を有する。
【0018】
プリイレーズセクタフラグPEFは、イレーズ処理が完了していないイレーズ対象セクタに対して「1」が設定される。従って、イレーズ対象セクタではあるが、イレーズ処理が完了していない非選択のセクタに対しては、このプリイレーズセクタフラグPEFに基づいて、プリイレーズ処理が行われる。尚、後述する通り、イレーズ処理未完了のイレーズ対象セクタであっても、オーバーイレーズが検出されるとこのプリイレーズフラグPEFは「0」にリセットされ、その後のプリイレーズ処理は禁止される。
【0019】
イレーズ信号ERは、イレーズストレスを印加する期間に「1」にセットされるタイミング信号である。従って、イレーズセクタフラグEFが「1」でセクタ選択信号SELも「1」のセクタは、イレーズ信号ERが「1」になる期間だけ、セクタ内のセルのソースまたはチャネルのウエルにイレーズ電圧として昇圧電圧VPSを印加して、イレーズストレスをメモリセルに印加する。
【0020】
セクタ選択信号SELは、イレーズ処理を行うセクタを指定する信号であり、通常セクタ選択信号SELはセクタ100から10nまで順番にインクリメントされる。
【0021】
ソース線電圧発生回路は、後述するシーケンサなどと共に、本実施の形態例におけるイレーズ制御回路を構成する。ソース線電圧発生回路が発生する電圧は、次の通りである。
(1)EF=1且つSEL=1なら、ER=1の期間、昇圧電圧VPSを発生
(2)SEL=0且つPEF=1なら、ER=1の期間、電源電圧VCCを発生
(3)上記以外なら、ER=1の期間、グランドVSSを発生
図3は、上記のソース線電圧発生回路の論理表を示す図である。図中、ケース3が上記の(1)に該当し、ケース2が上記の(2)に該当し、それ以外のケースが、上記の(3)に該当する。但し、ケース2,3,4以外のケースは、実質的に存在しない。これについては、後述するシーケンサの動作フローチャートにより明らかになる。
【0022】
図2のフラッシュメモリは、イレーズ処理は1セクタずつ行われる。例えば複数のセクタ100,101,102がイレーズ対象セクタにセットされると、それらのイレーズセクタフラグEF0-3が「1」にセットされ、プリイレーズセクタフラグPEF0-3も「1」にセットされる。そして、セクタ100から順番に選択される。最初に、セクタ選択信号SEL0=1にセットされて、セクタ100にソース線電圧ARVS0として昇圧電圧VPSがイレーズ信号ER=1の期間だけ供給される。これによりセクタ100内の全てのメモリセルには、通常のイレーズストレスが印加される。
【0023】
それと同時に、プリイレーズフラグPEFが1にセットされているが、非選択状態のセクタ101,102には、ソース線電圧ARVS1,2として昇圧電圧VPSより低い電源電圧VCCが、イレーズ信号ER=1の期間だけ供給される。これにより、イレーズ対象セクタであるが未だイレーズ処理されていないセクタ101,102は、セクタ100がイレーズ処理されている間、通常のイレーズストレスより弱いプリイレーズストレスを印加するプリイレーズ処理される。
【0024】
従って、セクタ100のイレーズ処理が終了した時点では、セクタ101,102にはある程度のイレーズストレスが印加されているので、その後のイレーズ処理を短時間で完了することができる。即ち、より少ないイレーズストレスの印加回数でイレーズ処理を完了することができる。
【0025】
図4は、本実施の形態例におけるフラッシュメモリの回路図である。図4には、1つのセクタ10mとそれに対応するソース線電圧発生回路14mとが示される。セクタ10mは、複数のワード線WL0〜WLn、複数のソース線SL、複数のビット線BL,/BL、ワード線とビット線との交差位置に設けられる複数のメモリセルMCとを有する。メモリセルは、コントロールゲートがワード線に、ドレインがビット線に、そしてソースがソース線に接続され、フローティングゲートを有するトランジスタである。ワード線はワードデコーダ26により選択され、所望の電圧に駆動される。また、ビット線は、コラムデコーダ28により選択される選択信号SSLE0,SSLE1、CL0,CL1とにより導通するトランジスタN10−N16を介してベリファイ回路20に接続される。また、図示しない出力回路とも接続される。
【0026】
シーケンサ16は、一種のマイクロコンピュータであり、フラッシュメモリのプログラム、イレーズ、リードのそれぞれの動作を制御する。シーケンサ16は、ベリファイ回路20からのベリファイ結果に応じて、フラグレジスタ18へのフラグデータの書き換え、イレーズ信号ERの発生、ワードデコーダ26、ワード電圧発生回路24、コラムデコーダ28、ベリファイ回路20等を制御する。
【0027】
ソース電圧発生回路14mは、ソース電圧ARVSnを昇圧電圧VPSにするか、それより低い電源電圧VCCにするか、或いはグランドVSSにするかの電圧供給トランジスタMP1,MP2,N40を有する。これらのトランジスタは、Pチャネルトランジスタである。昇圧電圧供給トランジスタMP1は、NANDゲート30、トランジスタN20,N21,N22,P23,P24及びインバータ31からなる回路により制御される。また、電源電圧供給トランジスタMP2は、インバータ34、NANDゲート35、トランジスタN30,N31,N32,P33,P34及びインバータ36からなる回路により制御される。そして、グランド電圧供給トランジスタN40は、NANDゲート37,38により制御される。
【0028】
NANDゲート30には、セクタ選択信号SELm、イレーズセクタフラグEFm、イレーズ信号ERとが供給される。従って、NANDゲート30の出力CAは、図3に示されるケース3の場合に、イレーズ信号ER=1の期間Lレベルになる。このLレベルにより、トランジスタN21が非導通となり、インバータ31を介してトランジスタN22が導通し、トランジスタP23が導通、P24が非道通になり、ノードn1がLレベルになる。このノードn1のLレベルにより、Pチャネルの昇圧電圧供給トランジスタMP1は導通し、昇圧回路12が発生する昇圧電圧VPSがソース電圧ARVSmとして出力され、ソース線SLに供給される。
【0029】
また、NANDゲート35には、セクタ選択信号SELmの反転信号と、プリイレーズセクタフラグPEFmと、イレーズ信号ERとが供給される。従って、NANDゲート35の出力CBは、図3に示されるケース2の場合に、イレーズ信号ER=1の期間Lレベルになる。それにより、上記と同様の回路動作により、ノードn2がLレベルになり、電源電圧供給トランジスタMP2が導通し、電源電圧VCCがソース電圧ARVSmとしてソース線SLに供給される。
【0030】
更に、出力CA,CBが共にHレベルの場合は、NANDゲート37の出力がHレベルになり、トランジスタN40がイレーズ信号ERが「1」になる期間導通して、ソース電圧ARVSmをグランド電圧にする。
【0031】
上記回路において、電源電圧VCC(例えば3V)とそれよりトランジスタの閾値電圧以上高い昇圧電圧VPS(例えば5V)とが併存するために、トランジスタP23,P24とトランジスタP33,P34のソースに昇圧電圧VPSが印加され、電圧供給トランジスタMP1,MP2の導通、非導通が正常に動作するように制御される。
【0032】
図5は、フラッシュメモリのプログラムとイレーズを説明するための図である。図5は、それぞれメモリセル群の閾値分布を示し、横軸は閾値電圧、縦軸はセル数を示す。図中、横軸に沿って、プログラムベリファイレベルPV、読み出し基準レベルRD、イレーズベリファイレベルEV、そして、オーバーイレーズベリファイレベルOEVが示される。
【0033】
図5(A)は、イレーズ状態の閾値電圧分布を示し、全ての閾値がイレーズベリファイレベルEVより低く、オーバーイレーズベリファレベルOEVより高い。この状態がデータ「1」が記憶された状態である。オーバーイレーズベリファイレベルOEVは、例えば0Vより僅かに高いレベルに設定される。
【0034】
図5(B)は、プログラム状態のメモリセルの閾値電圧分布を示す。プログラム処理では、プログラムしたいメモリセルのワード線WLに例えば9Vを、ビット線BLに5Vを、ソース線SLにグランド電圧を印加することにより、フローティングゲートにドレイン側から電子を注入して、その閾値電圧をプログラムベリファイレベルPVより高くなるようにシフトさせる。
【0035】
図5(C)は、プログラム状態からイレーズ動作する場合の閾値電圧分布の変化を示す。前述した通り、イレーズ対象セクタ内の全てのワード線WLを例えば−9Vに駆動し、全ビット線BL,/BLをオープンにし、ソース線SLに昇圧電圧5Vのイレーズパルスを印加することにより、フローティングゲート内の電子をソース側に引き抜く。或いは、イレーズパルスは、セルのチャネル領域(ウエル領域)に印加されてもよい。
【0036】
イレーズ処理では、上記のイレーズパルスを印加する毎に、全メモリセルに対してイレーズベリファイを行う。即ち、メモリセルの閾値電圧がイレーズベリファイレベルEVより低くなったか否かをベリファイする。そして、セクタ内の全てのメモリセルの閾値電圧がイレーズベリファイレベルEVより低くなると、イレーズ処理が終了する。
【0037】
図5(D)は、イレーズ処理中に発生するオーバーイレーズに対するセルフコンバージェンス動作を示す。即ち、セクタ内の全てのメモリセルに対して同じようにイレーズストレスを印加するので、メモリセルの特性バラツキにより、他のメモリセルよりも早く閾値電圧が0V近傍まで下がるメモリセルが存在する場合がある。かかるメモリセルは、オーバーイレーズベリファイでフェイルする。そのメモリセルに対しては、プログラム時よりも軽いプログラムストレスをかけるセルフコンバージェンス処理が行われる。その処理により、メモリセルの閾値電圧は、オーバーイレーズベリファイレベルOEVより高くなる。
【0038】
尚、読み出し動作は、ワード線WLに例えば電源電圧3Vを印加し、ビット線BL,/BLを例えば0.5Vにし、ソース線SLをグランド電圧にして、ビット線に流れる電流量を基準トランジスタの電流量と比較することにより行われる。
【0039】
図6は、イレーズ動作のフローチャート図である。シーケンサ16は、外部からのイレーズコマンドに応答して、図6のフローチャートに従うイレーズ動作を行う。イレーズ動作は、シーケンサ16やソース電圧発生回路14mやベリファイ回路20等により行われる。
【0040】
ここでは、図2に示した複数のセクタ100,101,102がイレーズ対象セクタに指定されたと仮定して、図6のフローチャートを説明する。また、図7は、その場合のフラグレジスタ内のイレーズセクタフラグEF、プリイレーズセクタフラグPEF、及びセクタ選択信号SELの変化を示す図表である。また、イレーズ対象セクタのセルは全てプログラム状態になっているものとする。
【0041】
イレーズコマンドがイレーズ対象セクタを指定して供給されると、最初にイレーズ対象セクタのイレーズセクタフラグEFとプリイレーズセクタフラグPEFが全て「1」にセットされる(S10)。そして、セクタアドレスがリセットされる(S12)。これにより、セクタデコーダ22により、セクタ選択信号SEL0が「1」にセットされる(状態a)。これらのフラグやセクタ選択信号は、フラグレジスタ18に書き込まれる。
【0042】
セクタ選択信号SEL0に対応するセクタがイレーズ対象セクタであるので(S14)、対応するプリイレーズセクタフラグPEF0が「0」にリセットされる(S16、状態b)。そして、セクタ100の最下位アドレスのメモリセルに対してイレーズベリファイが行われる(S22)。最初はプログラム状態の高い閾値電圧であるので、イレーズベリファイはフェイルする。そこで、セクタ100内の全てのメモリセルに対してイレーズパルスが印加される。同時に、セクタ101,102内の全てのメモリセルに対してプリイレーズパルスが印加される。イレーズパルスは、昇圧電圧VPSのパルスであり、セクタ内の全メモリセルに印加される。また、プリイレーズパルスは、それより低い電源電圧VCCのパルスであり、イレーズ中以外のイレーズ対象セクタ内の全メモリセルに印加される。
【0043】
イレーズパルスが印加されると(S32)、セクタ100のコラムアドレスがリセットされる(S34)。そして、イレーズ処理中のセクタ内の最下位アドレスのメモリセルに対してオーバイレーズベリファイが行われる(S36)。最初は、オーバーイレーズ状態でないので、このベリファイはパスし、コラムアドレスがインクリメントされる(S38)。このオーバーイレーズベリファイ工程S36が、コラムアドレスが最大になるまで(S40)繰り返される。オーバーイレーズ状態のメモリセルに対しては、セルフコンバージェンス処理が行われる(S54)。
【0044】
イレーズ処理中のセクタ内メモリセルが全てオーバーイレーズベリファイされていなければ、プリイレーズセクタ101,102に対してもオーバーイレーズベリファイが行われる。本実施の形態例では、1つのセクタがイレーズ処理されている間に、他のイレーズ対象セクタに対して同時にプリイレーズ処理を行う。従って、多くのセクタがイレーズ対象になると、最後にイレーズ処理されるセクタ内にはオーバーイレーズされたメモリセルが多く発生する可能性がある。そのような状態になると、セルフコンバージェンス処理が必要になり、その前に行われていたプリイレーズ処理が無駄になる。従って、そのような無用のセルフコンバージェンス処理を避けるために、プリイレーズ処理中のセクタに対しても、イレーズ処理及びプリイレーズ処理工程S32の後に、オーバーイレーズベリファイが行われる。
【0045】
イレーズ処理中のセクタのオーバイレーズベリファイが終わると、セクタアドレスがインクリメントされる(S44、状態c)。その結果、セクタ選択信号SEL1が「1」になり、セクタ101がオーバーイレーズ処理の対象セクタになる。従って、工程S50でセクタ101のプリイレーズセクタフラグPEFが「1」であることが検出され、工程S36〜S42及びS52,S54のオーバーイレーズベリファイが行われる。このオーバーイレーズ処理により、オーバーイレーズ状態のメモリセルが検出されると、そのプリイレーズセクタフラグPEFが「0」にリセットされ、それ以降のプリイレーズ処理が禁止される。
【0046】
セクタ101のオーバイレーズベリファイ処理が終了し、状態dになり、セクタ102のオーバイレーズ処理も終了すると、再度セクタアドレスがリセットされ(S48)、再度セクタ100のイレーズ処理が継続される。即ち、状態bに戻る。その後は、状態b、c、dが上記と同様に繰り返される。
【0047】
上記のイレーズパルス印加とプリイレーズパルス印加工程(S32)とオーバーイレーズベリファイ工程(S36)が繰り返されると、やがて、最下位アドレスのメモリセルの閾値電圧がイレーズベリファイレベルEVより低くなり、イレーズベリファイ工程S22をパスすることになる。そうすると、コラムアドレスとローアドレスがインクリメントされ、更に上位アドレスのメモリセルのイレーズベリファイが行われて、イレーズ処理中のセクタ内のメモリセル全てについてのイレーズベリファイが行われる(S22,S24,S26)。全てのメモリセルがイレーズベリファイをパスするまで、イレーズパルス印加とプリイレーズパルス印加工程(S32)とオーバーイレーズベリファイ工程(S36)、及びイレーズベリファイ工程(S22)が繰り返される。
【0048】
やがて、セクタ100内の全てのメモリセルがイレーズベリファイをパスすると、そのセクタイレーズフラグEF0が「0」にリセットされて(S48)、セクタアドレスがインクリメントされる(S16)。これにより、状態eになる。今仮に、説明の都合上、セクタ100をイレーズ処理している間に、セクタ102内のメモリセルがオーバーイレーズ状態になったとする。その結果、状態eでは、セクタ102のプリイレーズセクタフラグPEF2は「0」にリセットされている。
【0049】
次に、セクタ101がイレーズセクタと認識され(S14)、イレーズ処理が行われる。セクタ100の場合と同様に、そのプリイレーズセクタフラグPEF1が「0」にリセットされ、状態fになる。そして最初に、最下位アドレスのメモリセルのイレーズベリファイが行われる(S22)。セクタ101は、セクタ100がイレーズ処理中にプリイレーズ処理されているので、そのメモリセルの閾値電圧はある程度低いレベルにシフトしている。
【0050】
もしプリイレーズ処理では不十分でイレーズベリファイをフェイルすると、そのセクタ内の全てのメモリセルのイレーズパルスが印加される(S32)。その場合、残っているイレーズ対象セクタ102のプリイレーズセクタフラグPEF2が「0」にリセットされているので、このセクタ102にはプリイレーズパルスの印加は行われない。これにより、過度にオーバーイレーズされることが防止される。
【0051】
イレーズパルスの印加の後、オーバーイレーズベリファイS36が行われる。また、プリイレーズセクタフラグが1のセクタは存在しないので、プリイレーズセクタへのオーバーイレーズベリファイは行われない(S50)。セクタ101の全てのメモリセルがオーバーイレーズベリファイをパスすると、更に、イレーズベリファイが行われる(S22)。
【0052】
上記のイレーズパルスの印加工程S32を繰り返すと、やがて、セクタ101内のメモリセルがイレーズベリファイをパスする(S22)。そして、そのセクタ内の全てのメモリセルがイレーズベリファイをパスするまでベリファイが繰り返される(S24,S26)。全てのメモリセルがイレーズベリファイをパスすると、イレーズセクタフラグEF1が「0」にリセットされる。
【0053】
最後に、状態gの状態で、セクタ102のイレーズ処理が行われる。イレーズ処理、オーバイレーズベリファイ、イレーズベリファイは、上記の通りである。全てのメモリセルがイレーズベリファイをパスすると、そのイレーズセクタフラグEF2が「0」にリセットされ、全てのセクタのイレーズ処理が終了する。即ち、状態hになる。
【0054】
上記の通り、複数セクタにイレーズを行う場合、1つのセクタのメモリセルにイレーズストレスが印加されるときに、同時に他のイレーズ対象セクタにプリイレーズストレスが印加される。従って、イレーズ処理される順番が回ってきた時には、すでにメモリセルの閾値電圧はイレーズレベル側にシフトしているので、その後のイレーズ処理のイレーズストレス印加回数を少なくすることができる。イレーズストレス印加工程S32は、図6の処理フローの中で最も長い時間を要する工程であるので、そのイレーズストレス印加工程の回数が減ることにより、複数セクタに対するイレーズ時間を短くすることができる。
【0055】
尚、イレーズ処理は必ずしも1つのセクタ単位で行う必要はない。セクタの容量が比較的小さい場合や、昇圧回路に十分な電流供給能力がある場合は、複数セクタに対して同時にイレーズ処理してもよい。その場合でも、残りのイレーズ対象セクタに対しては、プリイレーズ処理が同時に行われる。
【0056】
以上、本発明をまとめると以下に示す付記の特徴を有する。
【0057】
1.電気的に書き換え可能な不揮発性メモリにおいて、
複数のメモリセルをそれぞれ有する複数のセクタと、
複数のセクタをイレーズする場合、第1のイレーズ対象セクタには前記メモリセルに第1のイレーズストレスを印加するイレーズ処理を行い、それと同時に、第2のイレーズ対象セクタには前記メモリセルに前記第1のイレーズストレスより弱い第2のイレーズストレスを印加するプリイレーズ処理を行うイレーズ制御回路とを有することを特徴とする不揮発性メモリ。
【0058】
2.上記1において、
前記第1のイレーズストレスは、前記メモリセルのソースまたはチャネルに第1の電圧を印加して与えられ、前記第2のイレーズストレスは、前記メモリセルのソースまたはチャネルに前記第1の電圧より低い第2の電圧を印加して与えられることを特徴とする不揮発性メモリ。
【0059】
3.上記2において、
前記第2の電圧は電源電圧であり、前記第1の電圧は前記電源電圧を昇圧した昇圧電圧であることを特徴とする不揮発性メモリ。
【0060】
4.上記1において、
前記イレーズ制御回路は、前記第1のイレーズ対象セクタへのイレーズ処理が終了した後に、前記第2のイレーズ対象セクタに順次イレーズ処理を行うことを特徴とする不揮発性メモリ。
【0061】
5.上記4において、
前記イレーズ制御回路は、前記第1のイレーズ対象セクタへのイレーズ処理において、前記第1及び第2のストレスを印加した後に、前記第2のイレーズ対象セクタ内のメモリセルのオーバーイレーズベリファイを行い、オーバーイレーズが検出された時は、その後当該第2のイレーズ対象セクタへのプリイレーズ処理を行わないことを特徴とする不揮発性メモリ。
【0062】
6.上記4において、
前記第2のイレーズ対象セクタのうち、いずれかのセクタに前記イレーズ処理を行うと同時に、当該いずれかのセクタ以外のセクタには、前記プリイレーズ処理を行うことを特徴とする不揮発性メモリ。
【0063】
7.上記5において、
前記第1のイレーズ対象セクタへのイレーズ処理が終了すると、その後当該第1のイレーズ対象セクタへのプリイレーズ処理は行われないことを特徴とする不揮発性メモリ。
【0064】
8.電気的に書き換え可能な不揮発性メモリにおいて、
複数のメモリセルをそれぞれ有する複数のセクタと、
複数のセクタをイレーズする場合、第1のイレーズ対象セクタには前記メモリセルのソースまたはチャネルに昇圧電圧パルスを印加するイレーズ処理を行い、それと同時に、第2のイレーズ対象セクタには前記メモリセルのソースまたはチャネルに前記昇圧電圧より低い電源電圧パルスを印加するプリイレーズ処理を行うイレーズ制御回路とを有することを特徴とする不揮発性メモリ。
【0065】
9.上記8において、
前記イレーズ処理において、前記メモリセルのコントロールゲートに負電圧を印加し、ドレインをオープンにし、
前記プレイレーズ処理において、前記メモリセルのコントロールゲートに前記負電圧を印加し、ドレインをオープンにすることを特徴とする不揮発性メモリ。
【0066】
10.上記8において、
前記イレーズ制御回路は、前記第1のイレーズ対象セクタへのイレーズ処理が終了した後に、前記第2のイレーズ対象セクタに順次イレーズ処理を行うことを特徴とする不揮発性メモリ。
【0067】
11.上記10において、
前記イレーズ制御回路は、前記第1のイレーズ対象セクタへのイレーズ処理において、前記第1及び第2のストレスを印加した後に、前記第2のイレーズ対象セクタ内のメモリセルのオーバーイレーズベリファイを行い、オーバーイレーズが検出された時は、その後当該第2のイレーズ対象セクタへのプリイレーズ処理を行わないことを特徴とする不揮発性メモリ。
【0068】
以上、本発明の保護範囲は、上記の実施の形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明とその均等物にまで及ぶものである。
【0069】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、フラッシュメモリなどの不揮発性メモリにおいて、複数セクタをイレーズする場合、一部のセクタがイレーズ処理されている間に、残りのセクタにプリイレーズ処理がされるので、全体のイレーズ時間を短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の不揮発性メモリのイレーズ動作を説明するための図である。
【図2】本実施の形態例におけるフラッシュメモリの構成図である。
【図3】ソース線電圧発生回路の論理表を示す図である。
【図4】本実施の形態例におけるフラッシュメモリの回路図である。
【図5】フラッシュメモリのプログラムとイレーズを説明するための図である。
【図6】イレーズ動作のフローチャート図である。
【図7】フラグレジスタ内のイレーズセクタフラグEF、プリイレーズセクタフラグPEF、及びセクタ選択信号SELの変化を示す図表である。
【符号の説明】
100〜10n セクタ
12 昇圧回路
140〜14n ソース電圧発生回路
VCC 電源電圧
VPS 昇圧電圧
VSS グランド電圧
MC メモリセル
WL ワード線
BL,/BL ビット線
SL ソース線
Claims (7)
- 電気的に書き換え可能な不揮発性メモリにおいて、
複数のメモリセルをそれぞれ有する複数のセクタと、
複数のセクタをイレーズする場合、第1のイレーズ対象セクタには前記メモリセルに第1のイレーズストレスを印加するイレーズ処理を行い、それと同時に、第2のイレーズ対象セクタには前記メモリセルに前記第1のイレーズストレスより弱い第2のイレーズストレスを印加するプリイレーズ処理を行うイレーズ制御回路とを有し、
前記イレーズ制御回路は、前記第1のイレーズ対象セクタへのイレーズ処理が終了した後に、前記第2のイレーズ対象セクタに順次イレーズ処理を行うことを特徴とする不揮発性メモリ。 - 請求項1において、
前記第1のイレーズストレスは、前記メモリセルのソースまたはチャネルに第1の電圧を印加して与えられ、前記第2のイレーズストレスは、前記メモリセルのソースまたはチャネルに前記第1の電圧より低い第2の電圧を印加して与えられることを特徴とする不揮発性メモリ。 - 請求項2において、
前記第2の電圧は電源電圧であり、前記第1の電圧は前記電源電圧を昇圧した昇圧電圧であることを特徴とする不揮発性メモリ。 - 請求項1において、
前記イレーズ制御回路は、前記第1のイレーズ対象セクタへのイレーズ処理において、前記第1及び第2のストレスを印加した後に、前記第2のイレーズ対象セクタ内のメモリセルのオーバーイレーズベリファイを行い、オーバーイレーズが検出された時は、その後当該第2のイレーズ対象セクタへのプリイレーズ処理を行わないことを特徴とする不揮発性メモリ。 - 請求項1において、
前記第2のイレーズ対象セクタのうち、いずれかのセクタに前記イレーズ処理を行うと同時に、当該いずれかのセクタ以外のセクタには、前記プリイレーズ処理を行うことを特徴とする不揮発性メモリ。 - 請求項4において、
前記第1のイレーズ対象セクタへのイレーズ処理が終了すると、その後当該第1のイレーズ対象セクタへのプリイレーズ処理は行われないことを特徴とする不揮発性メモリ。 - 電気的に書き換え可能な不揮発性メモリにおいて、
複数のメモリセルをそれぞれ有する複数のセクタと、
複数のセクタをイレーズする場合、第1のイレーズ対象セクタには前記メモリセルのソースまたはチャネルに昇圧電圧パルスを印加するイレーズ処理を行い、それと同時に、第2のイレーズ対象セクタには前記メモリセルのソースまたはチャネルに前記昇圧電圧より低い電源電圧パルスを印加するプリイレーズ処理を行うイレーズ制御回路とを有し、
前記イレーズ制御回路は、前記第1のイレーズ対象セクタへのイレーズ処理が終了した後に、前記第2のイレーズ対象セクタに順次イレーズ処理を行うことを特徴とする不揮発性メモリ。
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