JP4362582B2 - 金属性セラミック焼結体チタンシリコンカーバイドの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は金属とセラッミク材料の両方の特性を合わせ持つ金属性セラッミク材料チタンシリコンカーバイド(Ti3SiC2)を、チタン(Ti)、炭化珪素(SiC)、グラファイト(C)の粉末を原料として、これらを混合し、通常の粉末冶金手法で、冷間圧粉成形、真空または不活性ガス中で加熱焼結する金属性セラミック材料であるチタンシリコンカーバイド焼結体及びその製造方法に関するものである。
現在、航空宇宙分野や高効率ガスタービン・エンジンなどにおいては超合金や、グラファト、炭化珪素、窒化珪素、サイアロンなどのセラミックスが用いられているが、超合金では耐熱性が劣り、セラミックスの場合は加工性が悪いことが実用上の問題となっている。
また、1987年に後藤らによって、SiCl4、TiCl2、H2ガスを使ったCVDで厚膜状のチタンシリコンカーバイドが合成された(例えば、非特許文献2参照)。
前者は高温による合成が必要であり、後者は高純度の材料が得られるがバルク状の材料が得られないという問題がある。
W. Jeitschko and H. Nowotny, Monath, Chem., 1967, vol. 98, pp. 329-337. T. Goto and T. Hirai, Mater. Res. Bull., 1987, vol. 22, pp. 1195-1201.
(1)ホットプレスによる焼結方法
(2)熱間等静圧圧縮成形(HIP)による焼結方法
(3)パルス通電加圧焼結法による焼結合成方法
上記反応(1)および(2)は多数の研究者によって試みられたものであるが、長時間、高温プロセスが必要となる。
上記(3)のプロセスでは比較的に低い温度で、短時間(15分間)での焼結で、単相且つ緻密なチタンシリコンカーバイド(Ti3SiC2)の合成に成功した。
しかしながら、(1)〜(3)のいずれの場合も、焼結の際に機械的に圧力を加えることによって緻密化することが特徴である。これによって、焼結合成の生産性が悪く、形状の複雑な部品を焼結するのが困難であるという問題があった。
1)チタン(Ti)、炭化珪素(SiC)、グラファイト(C)の原料粉末を混合し、かつ圧粉体とした後、この圧粉体を、機械的圧力を加えずに、焼結温度1200〜1500°C、焼結時間30分〜360分で、固相反応により焼結し、97%以上の相対密度を備えた焼結体とすることを特徴とする金属性セラミック焼結体チタンシリコンカーバイドの製造方法、2)真空加熱焼結することを特徴とする上記1)記載の金属性セラミック焼結体チタンシリコンカーバイドの製造方法、3)不活性ガス中で加熱焼結することを特徴とする上記1)記載の金属性セラミック焼結体チタンシリコンカーバイドの製造方法、を提供するものである。
これによって得られたチタンシリコンカーバイド焼結体の組織には、表面層の炭化チタン(TiC)含有量が1wt%以下であり、内部の(TiC)含有量が10wt%以下であり、また相対密度が97%であるという優れた特性を有するチタンシリコンカーバイド焼結体が得られる。
これらの粉末は、目的とするチタンシリコンカーバイド(Ti3SiC2)の単一相になるように配合する。
この混合粉末を、超硬金属のダイスに装入して、例えば容量9トンのハンドプレスによって冷間圧粉成形する。
圧力が低いと、圧粉体の相対密度が低く、製品の最終密度に影響する。可能な限り高い圧力を加え、相対密度の高い圧粉体が望ましい。
焼結温度が1200°C未満では焼結が十分でなく、未反応の炭化チタン(TiC)が多量に存在する一方、緻密化しないので好ましくない。
また、焼結温度が1500°Cを超えると結晶粒が粗大化し、エネルギーの消費量も増すので無駄である。より好ましい焼結温度は、焼結温度1400〜1500°Cである。
焼結の際、圧粉体の試料をフリー状態に炉の中に置かれて、加熱される。
まず原料として用いられるチタン(Ti)粉末73.4wt%、炭化珪素(SiC)粉末20.5wt%及びグラファイト(C)粉末6.1wt%を、アルゴン雰囲気の容器で24時間を混合した。
これらの粉末は、目的とするチタンシリコンカーバイド(Ti3SiC2)の単一相になるように配合したものである。
この混合粉末を超硬合金ダイスに装入して、最大出力9トンのハンドプレスで冷間加圧成形した。加圧の圧力は約500MPaである。
また、同様の混合粉末について、焼結温度1500°Cに設定し、アルゴン雰囲気において焼結時間2時間、6時間の2段階に分けて焼結を実施した。
さらに、同様の混合粉末について、焼結温度1500°Cに設定し、真空中において焼結時間2時間で焼結を実施した。
いずれの焼結体も表面に単相なTi3SiC2化合物が得られた。
また、焼結時間を6時間で焼結した試料の密度と2時間焼結時間とでは変化が見られなかった。一方、アルゴン雰囲気に比べ、真空中で同じ条件で焼結した試料の密度は低くなることが分かった。
図1は焼結温度1500°C、アルゴン雰囲気中で2時間焼結した金属性セラミック材料チタンシリコンカーバイド焼結体表面のX線回折パターンを示す。焼結体の表面にほぼ単一な金属性セラッミク材料であるチタンシリコンカーバイド(Ti3SiC2)相になっていることが分かる。
回折角度2θが41.8度にあるTiCのメインピークが殆ど示されていない。これらの結果は走査型電子顕微鏡の観察とEDS分析結果と一致している。
比較のために、Ti粉、Si粉及びTiC粉を用い、実施例1と同様に混合した。
この混合粉末を超硬合金ダイスに装入して、最大出力9トンのハンドプレスで冷間加圧成形した。
さらに、この圧粉体をアルゴン中で1500°C2時間加熱焼結により焼結体を作製した。このように作成した試料は焼結中、殆ど収縮が見られず、焼結後の相対密度が約60%であり、焼結する前の圧粉体の相対密度と同様である。
したがって、この方法によっては十分な焼結ができないことがわかる。
したがって、この方法により緻密な金属性セラミック材料チタンシリコンカーバイド焼結体を得ることができ、高い熱・電気伝導率、耐熱衝撃性、易加工性と、セラミックスの特徴である優れた耐熱・耐酸化性材料として使用できる。
Claims (3)
- チタン(Ti)、炭化珪素(SiC)、グラファイト(C)の原料粉末をアルゴン雰囲気の容器内で混合し、かつ圧粉体とした後、この圧粉体を、機械的圧力を加えずに、焼結温度1200〜1500°C、焼結時間30分〜360分で、固相反応により焼結することにより、表面が単相のTi 3 SiC 2 化合物で、97%以上の相対密度を備えた焼結体とすることを特徴とする金属性セラミック焼結体チタンシリコンカーバイドの製造方法。
- 真空加熱焼結することを特徴とする請求項1記載の金属性セラミック焼結体チタンシリコンカーバイドの製造方法。
- 不活性ガス中で加熱焼結することを特徴とする請求項1記載の金属性セラミック焼結体チタンシリコンカーバイドの製造方法。
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