JP4360947B2 - 傾斜センサ - Google Patents
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Description
該磁石は、前記磁気センサ上で、かつ前記内部空間内において、前記磁石の表面から前記磁気検出素子の感磁部までの距離が0.2〜0.8mmとなるように配置され、
前記ハウジングの傾きに応じて、前記磁石が前記ハウジングの前記内部空間内を重力に従って移動し、前記複数の磁気検出素子により前記磁石の内部空間内の位置が感知されることを特徴とする。
図1と図2は、本発明の傾斜センサの一実施例を示す図である。それぞれの(A)は上面透視図であり、(B)は(A)図のA−A線もしくはB−B線における断面図である。また、同機能を有する部材には同符号を与えてある。この傾斜センサは、大略、ハウジング11、磁石12、4個の磁気検出素子14を1つのパッケージ内に収納した磁気センサ13で構成される。
また、磁気検出素子14はシリコンを有するものを用いることも可能である。例えば、シリコンを用いたホール素子や、シリコン基板上にヘテロ成長を行った磁気抵抗効果素子などである。シリコンを有する磁気検出素子は、通常の半導体プロセスを用いて作製可能であるので、磁気検出素子間の相対的な位置ずれをμm以下のオーダで制御することも容易である。さらに、磁気検出素子の出力信号を傾斜センサの出力に変換する処理回路(IC)も、同時に同基板を用いて作製可能であるので、磁気センサ13の小型化・高機能化に非常に有効である。
12、22 磁石
13、23 磁気センサ
14、24 磁気検出素子
15、25 内部空間
51 傾斜センサ
52 被検出体
Claims (10)
- 非磁性材料からなる複数の磁気検出素子を収納する磁気センサと、該磁気センサ上に設けられ、前記磁気センサとの間に内部空間を形成する非磁性材料からなるハウジングと、該ハウジングの前記内部空間内において円弧状に移動可能で、かつ前記ハウジングと前記磁気センサとで挟みこむように収納保持された磁石とを有し、
該磁石は、前記磁気センサ上で、かつ前記内部空間内において、前記磁石の表面から前記磁気検出素子の感磁部までの距離が0.2〜0.8mmとなるように配置され、
前記ハウジングの傾きに応じて、前記磁石が前記ハウジングの前記内部空間内を重力に従って移動し、前記複数の磁気検出素子により前記磁石の内部空間内の位置が感知されることを特徴とする傾斜センサ。 - 前記ハウジングの内部空間は、略円盤状、略リング状、または略C字状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の傾斜センサ。
- 前記磁石は、略円盤状または略リング状に形成されており、その中心軸方向に着磁されていることを特徴とする請求項1または2に記載の傾斜センサ。
- 前記磁気検出素子が、前記ハウジングの周囲に沿って円弧状に配置されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の傾斜センサ。
- 前記磁気検出素子がシリコンからなることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の傾斜センサ。
- 前記複数の磁気検出素子は、1つのパッケージに収められていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の傾斜センサ。
- 前記ハウジングの内部空間は、前記ハウジングと、前記パッケージとの間に形成されていることを特徴とする請求項6に記載の傾斜センサ。
- 前記磁気検出素子の出力信号を信号処理し、被検出体の傾斜角度もしくは被検出体が所定の方向に傾斜しているか否かを出力する処理回路を有することを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の傾斜センサ。
- 前記磁気検出素子と前記処理回路が間欠駆動動作することを特徴とする請求項8に記載の傾斜センサ。
- 傾斜を検出すべき被検出体と、
前記被検出体に設けられる請求項1から9のいずれかに記載の傾斜センサと、を有し、
前記ハウジングの内部空間は、その中心軸が略水平となるよう配置され、
装着される被検出体の傾きに応じて、前記ハウジングの内部空間中を重力に従って移動する前記磁石を、前記磁気検出素子で感知することを特徴とする傾斜感知システム。
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