JP4357456B2 - 半導体基板の洗浄方法 - Google Patents
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Description
前記第1工程、前記第2工程および前記第4工程のそれぞれにおいて、前記それぞれの工程に対応する前記薬液による処理の後、前記シリコン層上に存在する前記それぞれの工程に対応する薬液を純水で置換することを特徴とする。
前記第1から前記第4工程を、単一の密閉した処理槽内で連続的に行うことを特徴とする。前記第1から前記第4工程は、前記半導体基板の表面が大気に曝されることなく行われることを特徴とする。
前記第3工程における、前記シリコン層の表面上に残存する水分の除去と乾燥は、前記半導体基板を回転させて行うことを特徴とする。前記化学酸化膜の厚みは0.5nmから0.9nmであることを特徴とする。
前記フッ化水素を含んだ薬液はフッ化水素の水溶液であり、前記フッ化水素を含んだ薬液中の前記フッ化水素の濃度は0.1wt%以上であることを特徴とする。前記フッ化水素を含んだ薬液は希フッ酸であり、前記酸化剤を含んだ薬液は過酸化水素水であり、前記硫酸を含んだ薬液は硫酸過酸化水素水であることを特徴とする。
フッ化水素処理後にリンスおよび乾燥処理を実施して一旦処理を完了させ、その後に硫酸処理を実施する場合には、ウォーターマークの発生は特に問題とならないが、フッ化水素処理後に連続して硫酸処理する場合に、本発明方法が有用となる。一般に、スループット向上や洗浄コスト削減のために、1回のランニングで複数薬液を幾つかのステップに分けて適用することが望まれるが、本発明方法によって、フッ化水素処理後に連続して硫酸処理することが可能になる。
図1は本発明で使用するウェハ洗浄装置の概略構成を示す断面図である。
このウェハ洗浄装置は、スプレー式ウェハ洗浄装置と呼ばれるものであって、密閉型の処理槽1内に、複数のウェハWを保持可能な有底筒状のウェハホルダー2が回転軸3により下方から支持されて回転軸3の軸芯廻りに回転自在に配置されるとともに、ウェハホルダー2内に、薬液等の流体4aを吐出可能なスプレーノズル4が回転軸3と同軸状に配置されていて、ウェハホルダー2内のウェハWはスプレーノズル4の周りを公転し、スプレーノズル4はウェハWに向けて薬液等の流体4aを噴射する。
複数のウェハWをセットしたカセットホルダー6をウェハホルダー2に装着し、ウェハホルダー2を回転軸3の軸芯廻りに回転させることにより、複数のウェハWを同時にスプレーノズル4の周りを公転させる。
1 処理槽
2 ウェハホルダー
3 回転軸
4 スプレーノズル
4a 薬液等の流体
11 シリコン基板
12 自然酸化膜
13 化学酸化膜
Claims (8)
- 半導体基板のシリコン層上をフッ化水素を含んだ薬液で洗浄し、前記シリコン層の表面上の酸化膜を除去することによって前記シリコン層の表面を露出させる第1工程と、前記露出したシリコン層の表面を酸化剤を含んだ水溶液である薬液で処理し、化学酸化膜を形成する第2工程と、前記化学酸化膜が形成された前記シリコン層の表面上に残存する水分を除去し、乾燥させる第3工程と、前記乾燥させたシリコン層の表面上を硫酸を含んだ薬液で洗浄する第4工程とを行うことを特徴とする半導体基板の洗浄方法。
- 前記第1工程、前記第2工程および前記第4工程のそれぞれにおいて、前記それぞれの工程に対応する前記薬液による処理の後、前記シリコン層上に存在する前記それぞれの工程に対応する薬液を純水で置換することを特徴とする請求項1に記載の半導体基板の洗浄方法。
- 前記第1から前記第4工程を、単一の密閉した処理槽内で連続的に行うことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体基板の洗浄方法。
- 前記第1から前記第4工程は、前記半導体基板の表面が大気に曝されることなく行われることを特徴とする請求項3に記載の半導体基板の洗浄方法。
- 前記第3工程における、前記シリコン層の表面上に残存する水分の除去と乾燥は、前記半導体基板を回転させて行うことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体基板の洗浄方法。
- 前記フッ化水素を含んだ薬液はフッ化水素の水溶液であり、前記フッ化水素を含んだ薬液中の前記フッ化水素の濃度は0.1wt%以上であることを特徴とする請求項1に記載の半導体基板の洗浄方法。
- 前記化学酸化膜の厚みは0.5nmから0.9nmであることを特徴とする請求項1に記載の半導体基板の洗浄方法。
- 前記フッ化水素を含んだ薬液は希フッ酸であり、前記酸化剤を含んだ薬液は過酸化水素水であり、前記硫酸を含んだ薬液は硫酸過酸化水素水であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の半導体基板の洗浄方法。
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