JP4356217B2 - 電子部品の製造方法及び電子部品 - Google Patents
電子部品の製造方法及び電子部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4356217B2 JP4356217B2 JP2000259252A JP2000259252A JP4356217B2 JP 4356217 B2 JP4356217 B2 JP 4356217B2 JP 2000259252 A JP2000259252 A JP 2000259252A JP 2000259252 A JP2000259252 A JP 2000259252A JP 4356217 B2 JP4356217 B2 JP 4356217B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- initial
- substrate
- glass substrate
- conductive film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば角速度センサ、加速度センサ、メカニカルフィルタ等の電子部品に関し、電気信号を外部に導出する電子部品の製造方法および電子部品に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、マイクロマシニング技術を用いてシリコン基板等を加工した電子部品として、角速度センサ、加速度センサ、メカニカルフィルタ等が広く知られている。また、この種の電子部品は、例えばシリコン基板と、該シリコン基板の表面側と裏面側とにそれぞれ面接合されたガラス基板とによって構成されている。そして、シリコン基板には、例えば角速度の検出を行う機能部が設けられ、該機能部は2枚のガラス基板によって封止されている。
【0003】
また、機能部と外部とを電気的に接続するために、ガラス基板を貫通してシリコン基板に達する貫通穴を形成し、この貫通穴に導電膜を設けたものが知られている(例えば、特開平7−263709号公報、特開平9−283663号公報等)。そして、このような従来技術による電子部品は、ガラス基板とシリコン基板とを陽極接合によって接合した後、サンドブラスト加工等を行うことによってガラス基板を貫通してシリコン基板の一部を露出させ、貫通穴を形成する。そして、スパッタ、蒸着等の手段を用いて貫通穴の内壁に導電膜を形成している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前述した従来技術では、ガラス基板とシリコン基板とを接合した後にガラス基板の表面側から穴加工を施し、ガラス基板からシリコン基板に連通した貫通穴を形成している。そして、このような穴加工は、通常はウエハに多数の電子部品を形成した状態で行われる。
【0005】
このとき、ウエハ面上でサンドブラスト加工速度にばらつきが生じる傾向があり、ウエハ面のある位置では貫通穴がガラス基板を貫通せずに有底穴となってしまい、またウエハ面の他の位置では貫通穴がシリコン基板をも貫通してしまうことがある。このように、貫通穴がガラス基板を貫通しないときにはシリコン基板の接続部と電気的な接続を行うことができず、一方、貫通穴がシリコン基板をも貫通してしまうときにはシリコン基板の機能部をも損傷する虞がある。このため、電子部品の不良が生じ易く、生産性が低下するという問題がある。
【0006】
また、電子部品毎に貫通穴の開口面積が異なるため、導電膜と接続部との間のコンタクト抵抗にばらつきが生じる。このため、電子部品の入力抵抗、出力抵抗がばらつくから、機能部の動作特性、検出特性等が電子部品毎に異なるという問題もある。
【0007】
本発明は上述した従来技術の問題に鑑みなされたもので、機能部と外部とを電気的に確実に接続でき、生産性、信頼性を向上することができる電子部品の製造方法及び電子部品を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項1の発明は、初期貫通孔を有するガラス基板と機能部を形成する機能部形成基板とを貼り合わせ、前記初期貫通孔を通じて当該初期貫通孔に穴加工を施し、該加工済み貫通孔の内壁に前記機能部と外部との間を電気的に接続する導電膜を設ける構成としてなる電子部品の製造方法であって、前記穴加工では、前記初期貫通孔の内壁を削ることにより、前記ガラス基板のうち前記機能部形成基板と貼り合わされる側の開口端の欠損による突起部を少なくとも除去し、前記ガラス基板と機能部形成基板との間の段差をなくす構成としたことを特徴としている。
【0009】
このように構成することにより、初期貫通孔を有するガラス基板を機能部形成基板に面接合した後に、初期貫通孔を通じて当該初期貫通孔に穴加工を施すから、初期貫通孔の内壁を研磨してその内径寸法を広げることができ、初期貫通孔に生じる突起等を除去し、ガラス基板と機能部形成基板との間の段差をなくすことができる。このため、加工済み貫通孔の内壁に導電膜を形成することによって、導電膜がガラス基板とシリコン基板との間で断線することがなく、該導電膜によって機能部と外部とを電気的に接続することができる。また、初期貫通孔を穴加工するときには、初期貫通孔の内壁を突起等を除去する程度に僅かに削るだけで済むから、穴加工による加工済み貫通孔の形状ばらつきを少なくすることができる。
【0010】
また、請求項2の発明は、初期貫通孔を有するガラス基板と機能部を形成する機能部形成基板とを貼り合わせ、前記初期貫通孔を通じて当該初期貫通孔に穴加工を施すと共に前記ガラス基板のうち前記初期貫通孔の周囲に配線用の溝加工を施し、前記ガラス基板の表面と加工済み貫通孔とに全面に亘って導電膜を設け、該導電膜のうちガラス基板の表面の導電膜を除去し、前記加工済み貫通孔と配線用溝との内壁に前記機能部を外部に電気的に接続する導電膜を設ける構成としてなる電子部品の製造方法であって、前記穴加工では、前記初期貫通孔の内壁を削ることにより、前記ガラス基板のうち前記機能部形成基板と貼り合わされる側の開口端の欠損による突起部を少なくとも除去し、前記ガラス基板と機能部形成基板との間の段差をなくし、前記溝加工では、前記ガラス基板に形成された前記初期貫通孔の開口近傍に前記ガラス基板の表面よりも窪んだ前記配線用溝を形成する構成としたことを特徴としている。
【0011】
これにより、初期貫通孔を有するガラス基板を機能部形成基板に面接合した後に、初期貫通孔を通じて当該初期貫通孔に穴加工を施すから、初期貫通孔の内壁を削ることにより、初期貫通孔の突起等をなくし、ガラス基板と機能部形成基板との間の段差を除去することができる。このため、導電膜がガラス基板とシリコン基板との間で断線することがなく、該導電膜によって機能部と外部とを電気的に接続することができる。
【0012】
また、貫通孔の穴加工と同時にガラス基板のうち貫通孔の周囲に溝加工を施し、ガラス基板の表面よりも窪んだ配線用溝を形成したから、ガラス基板の表面と加工済み貫通孔とに全面に亘って導電膜を形成することによって、加工済み貫通孔と配線用溝との内壁に導電膜を設けることができる。そして、この状態でガラス基板の表面に研磨処理等を施すことによって、導電膜のうちガラス基板の表面の導電膜を除去し、貫通孔と配線用溝との内壁に機能部と外部とを電気的に接続する導電膜を設けることができる。このため、配線用溝を用いてガラス基板の表面に貫通孔内に接続した配線を形成することができる。
【0013】
一方、請求項3の発明は、初期貫通孔を有するガラス基板と機能部を形成する機能部形成基板とを貼り合わせ、前記初期貫通孔を通じて当該初期貫通孔に穴加工を施すと共に前記ガラス基板のうち前記初期貫通孔の周囲に配線用の溝加工を施し、前記加工済み貫通孔と配線用溝との内壁に前記機能部を外部に電気的に接続する導電膜を設ける構成としてなる電子部品であって、前記穴加工では、前記初期貫通孔の内壁を削ることにより、前記ガラス基板のうち前記機能部形成基板と貼り合わされる側の開口端の欠損による突起部を少なくとも除去し、前記ガラス基板と機能部形成基板との間の段差をなくし、前記溝加工では、前記ガラス基板に形成された前記貫通孔の開口近傍に前記ガラス基板の表面よりも窪んだ前記配線用溝を形成する構成としたことを特徴としている。
【0014】
このように構成したことにより、初期貫通孔の内壁を削ることによって初期貫通孔に穴加工を施すから、ガラス基板には加工済み貫通孔を形成することができ、初期貫通孔の突起等を除去し、ガラス基板と機能部形成基板との間の段差をなくすことができる。また、ガラス基板の表面には、初期貫通孔の開口近傍に位置して配線用溝を設けたから、該配線用溝の内壁に加工済み貫通孔の内壁に接続した導電膜を形成することができる。このため、ガラス基板の配線用溝に加工済み貫通孔に接続された配線を取り付けることができる。
【0015】
また、請求項4の発明は、導電膜のうち配線用溝内に位置した部位を電極パッドとしたことにある。
【0016】
これにより、電極パッドをなす配線用溝内の導電膜にワイヤーボンディング等を施すことによって、機能部と外部との間を電気的に接続することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による実施の形態による電子部品として角速度センサを例に挙げ添付図面に従って詳細に説明する。
【0018】
まず、図1ないし図10は本発明の第1の実施の形態を示している。図において、1はガラス基板によって形成された下側基板で、該下側基板1の表面側には、後述するシリコン基板2が陽極接合によって面接合されている。
【0019】
2は導電性をもった低抵抗の単結晶シリコンによって形成された機能部形成基板としてのシリコン基板で、該シリコン基板2には、エッチング処理を施すことによって、後述の角速度検出部11、枠部12が形成されている。
【0020】
3はガラス基板によって形成された上側基板で、該上側基板3の裏面3Aは、角速度検出部11の接続部と枠部12とに接合するための接合面となり、該上側基板3の裏面3A側の中央には収容凹部3Bが形成され、前記裏面3Aの反対側となる上側基板3の表面3Cは非接合面となっている。また、該上側基板3は、角速度検出部11の接続部と枠部12とに陽極接合され、下側基板1と上側基板3との間に密閉室4を画成している。
【0021】
11は機能部(外力検出部)としての角速度検出部で、該角速度検出部11は、図2に示すように回転軸X−Xの回りに角速度Ωが作用したとき、この回転軸X−X回りの角速度Ωを検出するものである。また、角速度検出部11は、シリコン基板2をエッチングすることにより、枠部12の内側に形成されている。
【0022】
ここで、角速度検出部11の構成について図2を参照しつつ説明する。13,13は下側基板1上に設けられた支持部、14は凹溝部15によって下側基板1の表面から離間した状態で設けられ、4本の支持梁16によって該各支持部13に支持された振動体をそれぞれ示し、該振動体14はこれらの支持梁16によって、図2中の矢示A方向、矢示B方向に変位可能な状態となっている。また、該振動体14の両面側にはくし状電極14A,14Aが設けられている。
【0023】
17,17は振動体14の両側に位置し、下側基板1上に設けられた電極支持部で、該各電極支持部17の両面側にはくし状電極17Aが設けられ、該各くし状電極17Aは、振動体14の各くし状電極14Aと離間した状態で噛合している。
【0024】
18は振動体14の下側に位置して下側基板1の表面に設けられた電極板で、該電極板18は、例えば導電性金属材料によって形成され、振動体14がコリオリ力により矢示B方向に変位したときに、その変位量を検出するものである。
【0025】
19は電極板18に接続された引出部で、該引出部19は、電極板18から延出され電極板18と共に下側基板1の表面に設けられた導電性金属材料からなる配線部19Aと、該配線部19Aの上に設けられたシリコン材料からなるパッド部19Bとによって構成されている。
【0026】
ここで、支持部13、電極支持部17,17および引出部19は、角速度検出部11を電気的に接続する接続部を構成している。
【0027】
20,20,…は上側基板3から角速度検出部11に亘って形成された4個のビアホール(2個のみ図示)で、該各ビアホール20は後述する貫通孔21と、該貫通孔21の底部に設けられた凹底部22と、前記貫通孔21と凹底部22との内壁に設けられた導電膜23とにより構成されている。なお、実施の形態では、ビアホール20は電極支持部17に設ける場合のみについて図示しているが、支持部13、引出部19にも図1と同様にビアホールが穿設されている。
【0028】
21,21,…は上側基板3を貫通して設けられたテーパ状の貫通孔21で、該各貫通孔21内には、シリコン基板2のうち接続部をなす各電極支持部17が露出している。また、各貫通孔21は、例えば、開口部となる上側基板3の表面3C側の直径寸法が裏面3A側の直径寸法よりも大きくなっている。このため、貫通孔21は、上側基板3の表面3C側からシリコン基板2側に向かって漸次縮径するテーパ状をなしている。
【0029】
22,22,…は貫通孔21の底部に位置してシリコン基板2に形成された凹底部で、該凹底部22は貫通孔21との間に段差なく滑らかに連続した壁面を有し、略円形の浅溝形状をなしている。
【0030】
23,23,…は各貫通孔21と凹底部22との内壁に設けられた導電膜で、該導電膜23は、角速度検出部11の接続部(支持部13、各電極支持部17、引出部19)から上側基板3の表面3C側に延びている。また、導電膜23のうち上側基板3の表面3C側に位置した部位は、電極パッド23Aを構成している。そして、この電極パッド23Aに半田バンプ、ワイヤーボンディング等を施すことによって、導電膜23は角速度検出部11と外部とを電気的に接続するものである。
【0031】
このように構成される角速度センサでは、振動体14のくし状電極14Aと電極支持部17のくし状電極17Aとの間には、外部の発振回路から導電膜23等を通じて駆動信号が印加され、振動体14を矢示A方向に振動させる。この状態で、角速度センサに回転軸X−X回りの角速度Ωが作用すると、振動体14にコリオリ力が作用し、このコリオリ力の大きさに対応して振動体14が矢示B方向に変位し、振動体14と電極板18との間の離間距離が変化する。
【0032】
そして、この離間距離の変化を、振動体14と電極板18との間の静電容量による信号とし、この信号を導電膜23を通じて検出回路に出力する。そして、該検出回路では静電容量を電圧に変換し、回転軸X−X回りに加わる角速度Ωを測定することができる。
【0033】
次に、図3ないし図11に基づいて、本実施の形態による角速度センサの製造方法について述べる。なお、本実施の形態では単一の角速度センサを製造する場合を例に挙げて説明するが、一枚のシリコン基板2(シリコンウエハ)に多数の角速度センサを製造した後、各角速度センサを切り離す構成としてもよい。
【0034】
まず、図3は初期貫通孔24等を形成する前の上側基板3を示している。そして、図4に示す貫通孔加工工程では、上側基板3の裏面側には、角速度検出部11を収容する収容凹部3Bを形成する。また、上側基板3のうち接続部となる支持部13、各電極支持部17、引出部19に接合される部位には、厚さ方向に貫通した初期貫通孔24を穿設する。このとき、初期貫通孔24は、上側基板3の表面側からサンドブラスト等の穴あけ加工手段を用いることによって形成する。このため、初期貫通孔24は表面側から裏面側に向けて漸次縮径した形状をなすと共に、初期貫通孔24のうち上側基板3の裏面3A側に開口した部位には、開口端の欠損等によって面取り形状をした環状突起部24Aが形成されている。
【0035】
図5に示す第1の接合工程では、初期貫通孔24を有する上側基板3の裏面3Aにシリコン基板2の表面を衝合させる。そして、この状態で、これらを接合温度まで加熱しつつ、上側基板3、シリコン基板2に例えば1000V程度の電圧を印加し、該シリコン基板2と下側基板1とを陽極接合等の接合手段を用いて面接合し、貼り合わせる。
【0036】
図6に示す機能部加工工程では、シリコン基板2の裏面にマスク(図示せず)を成膜した上で、エッチング処理によって凹溝部15を形成し、シリコン基板2のうち凹溝部15に対応した位置が薄肉部2Aとなる。この状態で、角速度検出部11と枠部12を型取ったマスク(図示せず)をシリコン基板2の裏面に成膜した上で、シリコン基板2の裏面側からマスクを通してエッチング処理を施し、該シリコン基板2のうち薄肉部2Aに対応した位置には角速度検出部11を形成し、その外側には枠部12を加工する。
【0037】
図7に示す第2の接合工程では、予めほぼ中央部に電極板18等が形成された下側基板1によって角速度検出部11を覆うと共に、下側基板1の表面をシリコン基板2のうち接続部となる支持部13、各電極支持部17、引出部19(図2参照)および枠部12に当接させる。そして、これらを減圧雰囲気中で陽極接合によって面接合させる。このとき、角速度検出部11は画成された密閉室4内に封止される。
【0038】
図8、図9に示す穴加工工程では、上側基板3の表面全面に亘ってサンドブラスト等の穴加工手段を用いて初期貫通孔24の内壁全面または内壁のうち環状突起部24Aを有するシリコン基板2側を研磨する。このとき、初期貫通孔24は、その内壁が研磨されるから、内径寸法が僅かに拡大し、環状突起部24Aは除去される。また、初期貫通孔24内に露出した電極支持部17の表面にも穴加工が施されるから、電極支持部17の表面に浅溝状の凹底部22が形成され、上側基板3と電極支持部17との間には、貫通孔21と凹底部22とは段差無くテーパ状に連続した内壁を有する。
【0039】
なお、サンドブラストによる穴加工は上側基板3の表面3C全面に施すものとしたが、例えば初期貫通孔24を型取ったマスク(図示せず)を上側基板3の表面側に成膜した上で、初期貫通孔24内だけを穴加工する構成としてもよい。
【0040】
さらに、図10に示す導電膜加工工程は、貫通孔21の位置に合わせてメタルマスク(図示せず)を上側基板3の表面3C側に配置し、このメタルマスクをマスクとして例えばスパッタ等の手段を用いて、上側基板3の貫通孔21の内壁にアルミニウム等の金属薄膜を成膜し、導電膜23を設ける。このように、穴加工工程と導電膜加工工程とによって、貫通孔21、凹底部22および導電膜23からなるビアホール20を加工し、導電膜23のうち上側基板3の表面3Cに位置した部位には、ニッケルまたは白金等の電極用下地金属を設ける。
【0041】
なお、導電膜23はメタルマスクを通じて金属薄膜を成膜することとしたが、例えば上側基板3の表面全面に導電膜を形成した後、フォトリソグラフィ等を用いて貫通孔21内等の導電膜を残存させ、他の部位の導電膜を除去する構成としてもよい。
【0042】
然るに、本実施の形態によれば、初期貫通孔24を有する上側基板3をシリコン基板2に貼り合わせた後、初期貫通孔24に穴加工を施すから、サンドブラスト等の穴加工による研磨量を少なくし、加工時間を短くすることができる。このため、例えば単一のウエハ上に形成した多数の角速度センサに同時に穴加工を施す場合であっても、各角速度センサに設けた貫通孔21の内径寸法等のばらつきをなくすことができ、略同一形状の貫通孔21を形成することができる。
【0043】
また、貫通孔21は初期貫通孔24の内壁を研磨することによって形成するから、初期貫通孔24の環状突起部24Aを除去することができ、貫通孔21は、上側基板3と電極支持部17との間が段差無く連続したテーパ形状をなすと共に、その底面には確実に電極支持部17を露出させることができる。このため、貫通孔21内に設けた導電膜23に段差による断線が生じることがなく、導電膜23を通じて確実に電極支持部17と外部との間を電気的に接続することができ、信頼性を向上することができる。
【0044】
さらに、貫通孔21を形成するために穴加工時間は短時間ですむから、貫通孔21がシリコン基板2を貫通することがない。このため、角速度検出部11の損傷を防止できると共に、密閉室4の密閉性を確保することができるから、歩留を高めて生産性を向上させることができる。
【0045】
一方、貫通孔21の開口面積も略等しくすることができるから、導電膜23と電極支持部17等の接続部との間のコンタクト抵抗を略等しくすることができる。このため、角速度センサの入力抵抗、出力抵抗のばらつきを抑制し、角速度検出部11の動作特性、検出特性等を安定化することができる。
【0046】
次に、図11ないし図15は本発明の第2の実施の形態による角速度センサを示し、本実施の形態の特徴は、シリコン基板の上側に配設された上側基板には貫通孔の開口周囲に位置して配線用溝を形成すると共に、該配線用溝には貫通孔内に接続した導電膜を設けたことにある。なお、本実施の形態では、前述した第1の実施の形態と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
【0047】
31,31,…は貫通孔21の開口近傍に位置して上側基板3の表面3Cに設けられた配線用溝で、該配線用溝31は貫通孔21よりも浅い深さ寸法をもって上側基板3の表面3C側に溝状の設けられ、貫通孔21の開口を取り囲むと共に、その一部が略四角形状の電極部31Aをなしている。
【0048】
32,32,…は各貫通孔21の内壁と配線用溝31の内壁とに設けられた導電膜で、該導電膜32は、角速度検出部11の接続部(支持部13、各電極支持部17、引出部19)から上側基板3の配線用溝31内に延びている。また、導電膜32のうち電極部31A内に位置した部位は、電極パッド32Aを構成している。そして、この電極パッド32Aに半田バンプ、ワイヤーボンディング等を施すことによって、導電膜32は角速度検出部11と外部とを電気的に接続するものである。
【0049】
次に、図13ないし図15に基づいて、本実施の形態による角速度センサの製造方法について述べる。
【0050】
まず、第1の実施の形態と同様に、貫通孔加工工程によって上側基板3に初期貫通孔24を形成し、第1の接合工程によって上側基板3とシリコン基板2とを接合した後、機能部加工工程によってシリコン基板2に角速度検出部11を形成する。そして、第2の接合工程によってシリコン基板2に下側基板1を接合し、角速度検出部11を下側基板1と上側基板3との間に封止する。
【0051】
次に、図14に示す穴加工工程では、配線用溝31を型取ったマスク(図示せず)を上側基板3の表面3C側に成膜した上で、初期貫通孔24にサンドブラスト等の穴加工を施し、上側基板3にテーパ状の貫通孔21,21,…を加工する。これにより、上側基板3と電極支持部17とには、段差無くテーパ状に連続した内壁を有する貫通孔21と凹底部22とがそれぞれ形成される。また、この貫通孔21の形成と同時に、該貫通孔21の開口近傍には上側基板3の表面3Cよりも窪んだ配線用溝31が形成される。
【0052】
そして、図15に示す導電膜加工工程は、上側基板3の表面3Cと貫通孔21、凹底部22とに全面に亘って導電膜としてのアルミニウム等の金属薄膜33を成膜する。このとき、貫通孔21、凹底部22、配線用溝31の内壁に金属薄膜33が形成されると共に、上側基板3の表面3Cにも全面に亘って金属薄膜33が形成される。
【0053】
その後、表面研磨工程によって上側基板3の表面3C側を図15中に仮想線a−aで示す位置まで研磨する。これにより、金属薄膜33のうち上側基板3の表面3C上に形成されたものは除去される。一方、金属薄膜33のうち貫通孔21、凹底部22の内壁と配線用溝31内に形成されたものは、そのまま残存して図11に示すように導電膜32となる。
【0054】
かくして、本実施の形態によっても第1の実施の形態と同様の作用効果を得ることができるが、本実施の形態では、上側基板3の表面よりも窪んだ配線用溝31内に導電膜32を形成したから、例えば製造工程の途中で角速度センサを運搬等するときでも導電膜32が工具等に接触することがなく、導電膜32の剥離を防止することができる。また、配線用溝31の電極部31Aには電極パッド32Aを設けたから、角速度センサを実装した後にはワイヤボンディングが電極部31A内で電極パッド32Aに接続される。このため、電極パッド32Aとワイヤボンディングとの接続箇所を配線用溝31内に配置することができ、これらの接続部位を保護することができる。このため、ワイヤボンディング等を長期間に亘って確実に接続することができ、信頼性、生産性を向上することができる。
【0055】
また、配線用溝31によって導電膜32の配線形状を設定することができるから、例えばメタルマスクを用いて導電膜を成膜する場合に比べてメタルマスクのずれ等が生じることがなく、配線の幅寸法を小さくすることができる。このため、角速度センサを小型化し、製造コストを低減することができる。
【0056】
なお、各実施の形態では、電子部品として角速度センサを例に挙げて説明したが、本発明はこれに限らず、加速度センサ、メカニカルフィルタ等に適用してもよい。
【0057】
また、第1,第2の接合工程では、陽極接合を例に挙げて説明したが、接着剤等によって接着してもよく、要はガラス基板とシリコン基板との接着力が確保されればよい。
【0058】
また、各実施の形態では、貫通孔21等からなるビアホール20を角速度検出部11の電極支持部17に形成したものを図示して説明したが、これに限らず、角速度検出部11の接続部をなす支持部13、引出部19にも同様にしてビアホール20を形成している。
【0059】
さらに、貫通孔21は、上側基板3に形成する構成としたが、本発明はこれに限らず下側基板1に形成する構成としてもよい。また、本実施の形態では初期貫通孔24を有する上側基板3をシリコン基板2に接合した後、シリコン基板2に下側基板1を接合するものとしたが、下側基板1をシリコン基板2に接合した後、シリコン基板2に初期貫通孔24を有する上側基板3を接合する構成としてもよい。
【0060】
【発明の効果】
以上詳述した通り、請求項1の発明に係る製造方法によれば、初期貫通孔を有するガラス基板と機能部を形成する機能部形成基板とを貼り合わせ、初期貫通孔に穴加工を施した後、加工済み貫通孔の内壁に導電膜を設ける構成としたから、単一のウエハ上に形成した多数の電子部品に同時に穴加工を施す場合であっても、各電子部品毎の加工済み貫通孔の形状ばらつきをなくすことができ、生産性を向上することができる。また、導電膜を通じて確実に機能部と外部との間を電気的に接続することができ、信頼性を向上することができる。さらに、加工済み貫通孔の開口面積も略同一形状とし、導電膜と機能部との間のコンタクト抵抗を略等しくすることができるから、電子部品の入力抵抗、出力抵抗のばらつきを抑制し、電子部品の動作特性、検出特性等を安定化させることができる。
【0061】
また、請求項2の発明によれば、初期貫通孔の穴加工と同時に初期貫通孔の周囲に溝加工を施してガラス基板の表面に配線用溝を形成したから、ガラス基板の表面全面に導電膜を形成することによって、加工済み貫通孔と配線用溝との内壁に導電膜を設けることができる。そして、この状態でガラス基板の表面に研磨処理等を施すことによって、導電膜のうちガラス基板の表面のものを除去し、加工済み貫通孔と配線用溝との内壁に機能部と外部とを電気的に接続する導電膜を設けることができる。このため、配線用溝を用いてガラス基板の表面に加工済み貫通孔内に接続した配線を形成することができる。また、配線用溝によって導電膜の配線形状を設定することができるから、配線の幅寸法を小さくすることができ、角速度センサ等の電子部品を小型化し、製造コストを低減することができる。
【0062】
一方、請求項3の発明による電子部品は、初期貫通孔の内壁を削ることによって初期貫通孔に穴加工を施すから、ガラス基板には加工済み貫通孔を形成することができ、初期貫通孔の突起等を除去し、ガラス基板と機能部形成基板との間の段差をなくすことができる。また、ガラス基板の表面よりも窪んだ配線用溝内に導電膜を形成したから、例えば製造工程の途中で電子部品を運搬等するときでも導電膜が工具等に接触することがなく、導電膜の剥離を防止することができ、信頼性を向上することができる。
【0063】
また、請求項4の発明によれば、導電膜のうち配線用溝内に位置した部位は電極パッドをなすから、電極パッドとなる配線用溝内の導電膜にワイヤーボンディング等を施すことによって、機能部と外部とを電気的に接続することができる。また、電極パッドとワイヤボンディングとの接続箇所を配線用溝内に配置することができるから、これらの接続部位を保護することができ、信頼性、生産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態による角速度センサを示す断面図である。
【図2】図1の角速度センサを上側基板を取外した状態で示す斜視図である。
【図3】上側基板を初期貫通孔を形成する前の状態で示す断面図である。
【図4】貫通孔加工工程によって上側基板に初期貫通孔を形成した状態を示す断面図である。
【図5】第1の接合工程によって上側基板とシリコン基板とを接合した状態を示す断面図である。
【図6】機能部加工工程によってシリコン基板に角速度検出部を形成した状態を示す断面図である。
【図7】第2の接合工程によってシリコン基板に下側基板を接合した状態を示す断面図である。
【図8】穴加工工程によって上側基板に貫通孔を形成した状態を示す断面図である。
【図9】図8中の貫通孔を拡大して示す拡大断面図である。
【図10】導電膜加工工程によって貫通孔の内壁に導電膜を形成した状態を示す拡大断面図である。
【図11】第2の実施の形態による角速度センサを示す断面図である。
【図12】第2の実施の形態による角速度センサを示す平面図である。
【図13】シリコン基板に上側基板と下側基板とを接合した状態を示す図7と同様の断面図である。
【図14】穴加工工程によって上側基板に貫通孔を形成し、上側基板の表面に配線用溝を形成した状態を示す断面図である。
【図15】導電膜加工工程によって上側基板の表面と貫通孔等の全面に金属薄膜を形成した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
1 下側基板(ガラス基板)
2 シリコン基板
3 上側基板(ガラス基板)
11 角速度検出部(機能部)
12 枠部
13 支持部(接続部)
17 電極支持部(接続部)
19 引出部(接続部)
20 ビアホール
21 貫通孔(加工済み貫通孔)
22 凹底部
23,32 導電膜
24 初期貫通孔
31 配線用溝
33 金属薄膜(導電膜)
Claims (4)
- 初期貫通孔を有するガラス基板と機能部を形成する機能部形成基板とを貼り合わせ、前記初期貫通孔を通じて当該初期貫通孔に穴加工を施し、該加工済み貫通孔の内壁に前記機能部と外部との間を電気的に接続する導電膜を設ける構成としてなる電子部品の製造方法であって、
前記穴加工では、前記初期貫通孔の内壁を削ることにより、前記ガラス基板のうち前記機能部形成基板と貼り合わされる側の開口端の欠損による突起部を少なくとも除去し、前記ガラス基板と機能部形成基板との間の段差をなくす構成としたことを特徴とする電子部品の製造方法。 - 初期貫通孔を有するガラス基板と機能部を形成する機能部形成基板とを貼り合わせ、前記初期貫通孔を通じて当該初期貫通孔に穴加工を施すと共に前記ガラス基板のうち前記初期貫通孔の周囲に配線用の溝加工を施し、前記ガラス基板の表面と加工済み貫通孔とに全面に亘って導電膜を設け、該導電膜のうちガラス基板の表面の導電膜を除去し、前記加工済み貫通孔と配線用溝との内壁に前記機能部を外部に電気的に接続する導電膜を設ける構成としてなる電子部品の製造方法であって、
前記穴加工では、前記初期貫通孔の内壁を削ることにより、前記ガラス基板のうち前記機能部形成基板と貼り合わされる側の開口端の欠損による突起部を少なくとも除去し、前記ガラス基板と機能部形成基板との間の段差をなくし、
前記溝加工では、前記ガラス基板に形成された前記初期貫通孔の開口近傍に前記ガラス基板の表面よりも窪んだ前記配線用溝を形成する構成としたことを特徴とする電子部品の製造方法。 - 初期貫通孔を有するガラス基板と機能部を形成する機能部形成基板とを貼り合わせ、前記初期貫通孔を通じて当該初期貫通孔に穴加工を施すと共に前記ガラス基板のうち前記初期貫通孔の周囲に配線用の溝加工を施し、前記加工済み貫通孔と配線用溝との内壁に前記機能部を外部に電気的に接続する導電膜を設ける構成としてなる電子部品であって、
前記穴加工では、前記初期貫通孔の内壁を削ることにより、前記ガラス基板のうち前記機能部形成基板と貼り合わされる側の開口端の欠損による突起部を少なくとも除去し、前記ガラス基板と機能部形成基板との間の段差をなくし、
前記溝加工では、前記ガラス基板に形成された前記初期貫通孔の開口近傍に前記ガラス基板の表面よりも窪んだ前記配線用溝を形成する構成としたことを特徴とする電子部品。 - 前記導電膜のうち配線用溝内に位置した部位は電極パッドである請求項3に記載の電子部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000259252A JP4356217B2 (ja) | 2000-08-29 | 2000-08-29 | 電子部品の製造方法及び電子部品 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000259252A JP4356217B2 (ja) | 2000-08-29 | 2000-08-29 | 電子部品の製造方法及び電子部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002076368A JP2002076368A (ja) | 2002-03-15 |
JP4356217B2 true JP4356217B2 (ja) | 2009-11-04 |
Family
ID=18747450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000259252A Expired - Fee Related JP4356217B2 (ja) | 2000-08-29 | 2000-08-29 | 電子部品の製造方法及び電子部品 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4356217B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100503472B1 (ko) * | 2003-03-06 | 2005-07-25 | 삼성전자주식회사 | 회전형 자이로스코프 |
JP4502125B2 (ja) * | 2005-02-07 | 2010-07-14 | セイコーインスツル株式会社 | 力学量センサ及び電子機器並びに力学量センサの製造方法 |
JP2006226777A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Seiko Instruments Inc | 力学量センサの製造方法及び力学量センサ並びに電子機器 |
DE102005015584B4 (de) * | 2005-04-05 | 2010-09-02 | Litef Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils |
JP5067378B2 (ja) * | 2009-02-17 | 2012-11-07 | 三菱電機株式会社 | 容量式加速度センサおよびその製造方法 |
-
2000
- 2000-08-29 JP JP2000259252A patent/JP4356217B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002076368A (ja) | 2002-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6263735B1 (en) | Acceleration sensor | |
US6391742B2 (en) | Small size electronic part and a method for manufacturing the same, and a method for forming a via hole for use in the same | |
US5095752A (en) | Capacitance type accelerometer | |
JP2001189467A (ja) | 高真空パッケ−ジングマイクロジャイロスコ−プ及びその製造方法 | |
EP1449810B1 (en) | Method for manufacturing micro-electro-mechanical system using solder balls | |
US7540191B2 (en) | Angular rate sensor and method of manufacturing the same | |
JP2007215177A (ja) | 容量性マイクロマシン加工超音波トランスジューサ並びにその製作方法 | |
JP4556454B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4356217B2 (ja) | 電子部品の製造方法及び電子部品 | |
CN102377407A (zh) | 压电振动片及其制造方法 | |
JP7456412B2 (ja) | 慣性センサ | |
JP3405108B2 (ja) | 外力計測装置およびその製造方法 | |
JP2728237B2 (ja) | 静電容量式加速度センサ | |
JP2001015768A (ja) | マイクロセンサ及びそのパッケージ方法 | |
JP2023156169A (ja) | 微小振動体の実装構造 | |
JP2007194611A (ja) | 三次元配線及びその製造方法、力学量センサ及びその製造方法 | |
JP2000261002A (ja) | 小型電子部品及びその製造方法 | |
JP3435647B2 (ja) | 振動型半導体センサの製造方法 | |
JP2002050772A (ja) | 半導体センサの製造装置および半導体センサの製造方法 | |
JPH06273442A (ja) | 静電容量型半導体加速度センサ及びその製造方法並びに当該静電容量型半導体加速度センサの実装構造 | |
JP3604246B2 (ja) | 静電容量型トランスデューサの製造方法および静電容量型トランスデューサ | |
JP4631406B2 (ja) | 半導体部品の電気信号取り出し部構造及びその製造方法 | |
JP5167848B2 (ja) | 支持基板及びそれを用いた静電容量型力学量検出センサの製造方法 | |
JP2006200920A (ja) | 静電容量型半導体物理量センサ及びその製造方法 | |
JPH05264579A (ja) | 容量性センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070511 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090106 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090216 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090714 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090727 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120814 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4356217 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120814 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130814 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |