JP4354121B2 - 動的光散乱式粒径分布測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、動的光散乱式粒径分布測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
粒径分布測定方法の一つに、動的光散乱式粒径分布測定装置を用いるものがある。この動的光散乱式粒径分布測定装置は、試料セル内に、分散媒中に粒子を分散させた測定試料を収容し、この測定試料に対してレーザ光を照射し、前記粒子により散乱された光の周波数強度分布に基づいて粒径分布を求めるもので、従来の有機顔料やセラミックスなどに加えて、近時においては、半導体ウェハやハードディスクの研磨剤や、インクジェットプリンタなど先端材料の研究開発の現場におけるニーズが高まっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記動的光散乱式粒径分布測定装置は、従来においては、測定の都度、試料セルに対して測定試料を供給する所謂バッチ処理が主流であるとともに、測定装置の測定可能濃度が非常に低く、測定試料として低濃度のものまたは高濃度のものを希釈して用いる必要があったため、試料を測定可能な範囲の濃度にまで自動的に希釈する手法が採用されることもあった。これは、従来においては、この種の装置を用いるユーザにおいて、希釈によって測定するノウハウやデータベースを多く持っていたことにもその原因があると思われる。
【0004】
そして、前記試料を希釈するに際しては、従来、試料を定量的に採取し、この試料に対して100倍あるいは1000倍と言うように希釈液を定量的に注入する方法が採用されていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記手法は、測定装置の測定可能濃度に測定試料を希釈調整することが目的であり、凝集しやすい試料(粒子)においては、希釈による凝集の影響を受けたまま測定されることになり、粒子の実際の現場における使用状態と異なった状態における測定になる場合もあった。そして、前記凝集が生じた状態で粒径分布測定を行うと、散乱光強度に大きな変化を生じたり、希釈しても散乱光強度が微弱となり、所定の測定を行えないことが生ずる。
【0006】
この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、粒径分布測定前に測定に供される試料濃度を測定し、所望の測定濃度に達するまで自動的に試料を希釈するようにして、所定の粒径分布測定を効率よく行うことができるようにした動的光散乱式粒径分布測定装置を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明では、試料セル内に、分散媒中に粒子を分散させた測定試料を収容し、この測定試料に対してレーザ光を照射し、前記粒子により散乱された光の周波数強度分布に基づいて粒径分布を求めるようにした動的光散乱式粒径分布測定装置において、前記分散媒と粒子が供給され、分散媒中に粒子を分散させるための分散バスと前記試料セルとを循環流路で接続するとともに、粒径分布測定に先立って、前記分散バスから試料セルに対して測定試料を供給し、この測定試料に対してレーザ光を照射し、そのとき得られる散乱光強度に基づいて前記測定試料の濃度を測定し、この測定された濃度を予め設定されている目標濃度と比較し、この比較結果に基づいて前記測定試料の濃度調整を行えるようにしている。
【0008】
上記動的光散乱式粒径分布測定装置においては、測定に供される試料を、希釈したい濃度(または濃度範囲)まで自動的に希釈することができる。そして、希釈による試料の状態変化を防止しながら濃度の確認を行うことができるので、希釈しすぎになったり希釈不足を生ずることがない。
【0009】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図1〜図5は、この発明の一つの実施例を示す。まず、図1は、この発明の動的光散乱式粒径分布測定装置の一例を概略的に示すもので、この図において、1は分散バス、2は試料セルで、両者1,2は循環流路3で接続されている。
【0010】
前記分散バス1は、例えば円筒状の液槽よりなり、測定対象試料である粒子4aとこれを分散させる分散媒4bとを混合して測定試料4とするもので、その底部外部には、発振器によって振動する超音波振動子5が設けられており、分散バス1内で粒子4aが凝集するのを防止するようにされている。
【0011】
前記試料セル2は、所謂フローセルよりなり、その一端に試料入口2aが形成され、他端に試料出口2bが形成されている。
【0012】
前記循環流路3は、一端が分散バス1の底部に接続され、他端が試料セル2の試料入口2aに接続された往路管3aと、一端が試料セル2の試料出口2bに接続され、他端が分散バス1の上部において分散バス1内に開口する復路管3bとから構成されている。
【0013】
前記分散バス1側の構成を説明すると、復路管3bの下流側には、三方電磁弁6と循環用ポンプ7が設けられており、より上流側に位置する三方電磁弁6は、その第1、第2のポート6a,6bが復路管3bにそれぞれ接続され、第3のポート6cには管8を介して分散媒貯留槽9が接続されている。そして、三方電磁弁6は、例えば、電源オフ時にはポート6b,6cが連通し、電源オン時にはポート6a,6bが連通するよう構成されている。また、分散バス1の上部には、別途秤量された粒子4aを分散バス1内に供給する粒子供給ホッパー10と、分散剤を分散バス1内に供給する分散剤供給管11が設けられている。さらに、往路管3aの分散バス1の底部に近い部分には、開閉弁12を備えた排水管13が分岐接続されている。
【0014】
なお、前記分散媒4bとしては、例えば水(純水)、エタノール、油などの液体が用いられるが、測定対象である粒子4aの種類によって適宜使い分けられる。また、前記分散剤は、粒子4aが分散媒4b中において分散しやすくするもので、例えば界面活性剤など粒子どうしを反発させるもので、必要により供給される。
【0015】
そして、前記試料セル2側の構成を説明すると、14は試料セル2の一側に設けられるレーザ光源で、このレーザ光源14と試料セル2との間の光路には、レーザ光源14からのレーザ光15をコリメートするレンズ16、ビームスプリッタ17、集光レンズ18がこの順で設けられている。前記ビームスプリッタ17は、例えば中央にレーザ光15を通過させる孔が設けられ、その反射面が試料セル2方向に形成されたミラーよりなり、レーザ光源14を発したレーザ光15の光軸と例えば45°の角度をなすように設けられており、前記孔を通過したレーザ光15が試料セル2内の粒子4bによる散乱光のドップラーシフトによって生じた干渉光19を90°以下の適宜の角度曲げて反射するように構成されている。そして、ミラー17で反射された干渉光19の光路にはこれを集光するレンズ20と、前記干渉光19を電気的な検出信号D(t)に変換する光検出器21が設けられている。
【0016】
また、22は信号処理部で、前記光検出器21の出力D(t)を必要により増幅しディジタル信号に変換処理する信号処理部23、この信号処理部23から出力される検出信号D(t)をデータ処理して粒径分布を求めるCPU24、装置の各部を制御したり、前記CPU24における処理結果を表示するための画像処理など種々の処理を行うパソコン25などよりなり、パソコン25には、粒径分布など処理結果を表示したり、各種の制御画面を表示するための表示装置26が付設されている。
【0017】
次に、上記構成の動的光散乱式粒径分布測定装置の作動について、図2〜図5をも参照しながら説明する。この実施例の動的光散乱式粒径分布測定装置は、以下の作動を、パソコン25に内蔵されているプログラムにしたがって自動的に行う。
【0018】
(1)まず、開閉弁12を閉状態にして、秤量された粒子4aおよび分散媒4bを分散バス1内に投入する(図2のステップS1)。分散媒4bの投入は、三方電磁弁6がオフの状態(ポート6b,6cが連通している状態)でポンプ7を適宜時間オンすることにより適宜量の分散媒4bが分散バス1内に供給される。このとき、必要に応じて分散剤を適量投入してもよい。
【0019】
(2)三方電磁弁6をオンにして、ポート6a,6bを連通させることにより循環流路3が開成され、ポンプ7をオンすることにより、分散バス1内の粒子4aおよび分散媒4bは、往路管3a、試料セル2、復路管3b、三方電磁弁6およびポンプ7を経て分散バス1に戻るようにして循環流路3内を循環し、これによって、粒子4aが分散媒4b内に分散して十分に攪拌混合された測定試料4になる(図2のステップS2)。この場合、超音波振動子5を動作させ、分散バス1内で粒子4aが凝集するのを防止するようにしてもよい。
【0020】
(3)前記測定試料4の循環を適宜行い、これを十分に攪拌混合した後、ポンプ7をオフにした状態で、レーザ光源14をオンにしてレーザ光15を試料セル2内の測定試料4に照射する。すなわち、レーザ光源14から出たレーザ光15は、コリメートレンズ16、ビームスプリッタ17および集光レンズ18を経て試料セル2内に集光する。このとき、一部のレーザ光はセル壁面を通過して、分散媒4b中に分散し、ブラウン運動する粒子4aに当たり、前記ブラウン運動によってドップラーシフトしたレーザ光(散乱光)が散乱する。一方、一部のレーザ光はセル壁面で散乱(非散乱光)して、もとの周波数のレーザ光が逆方向に進む。前記散乱光と非散乱光は互いに干渉し合って干渉光となり、集光レンズ18、ビームスプリッタ17、レンズ20を経て光検出器21上に集光する。
【0021】
前記干渉光は、光検出器21において電気的な検出信号D(t)に変換され、信号処理部23において適宜処理され、ディジタル化された光散乱データがCPU24に取り込まれる。前記光散乱データは、図3に示すように、測定試料4の濃度に応じた振幅Amを有しており、この振幅Amに基づいて測定試料4の濃度(測定濃度)を得ることができる(図2のステップS3)。なお、前記光散乱データをCPU24において高速フーリエ変換してパワースペクトルを求め、このパワースペクトルに基づいて粒子4aの粒径分布状態を求めるようにしてもよい。
【0022】
そして、パソコン25において、測定担当者が、図4に示す画面を用いて目標濃度(電圧値)を設定する。図4は、自動濃度調整を行うときの表示装置26における画面の一例を示し、この例では、目標濃度を表す電圧値は12.50Vである。そして、前記測定濃度を目標濃度と比較する(図2のステップS4)。ここで、図5に示すように、測定濃度(測定濃度電圧)が目標濃度(目標濃度電圧)と一致しているときは、測定試料濃度の調整が終了したことになり(図2のステップS5)、粒径分布測定に移行する。この粒径分布測定は、前記(3)で説明したように、レーザ光源14をオンにしてレーザ光15を試料セル2内の測定試料4に照射し、そのとき得られる、粒子4a粒子により散乱された光の周波数強度分布に基づいて粒径分布を求めるようにすればよい。
【0023】
これに対して、前記測定濃度が目標濃度と一致していないときは、図2に示すように、ステップS2に戻り、測定試料4の濃度調整をさらに行う必要がある。すなわち、前記測定濃度(測定濃度電圧)が、例えば図6の画面例に示すように、12.50Vというように、目標濃度(目標濃度電圧)10.50Vより大きいときは、希釈倍率を設定し、測定試料4の調整を行うのである。
【0024】
具体的には、開閉弁12を1〜2秒程度開いて分散バス1内の測定試料4の一部を排出した後、この排出量に等しい分散媒4bを分散媒貯留槽9から分散バス1に供給して希釈するのである。このとき、分散剤を適宜量供給してもよい。その後、前記(2)に記載した手法により、粒子4aおよび分散媒4bよりなる測定試料4を循環流路3を循環させることにより、十分に攪拌混合された測定試料4とする。
【0025】
そして、ステップS3に示すように、測定試料4の濃度を再度測定するのである。
【0026】
以下、測定試料4の濃度が目標濃度になるまで、上記作業を繰り返す。なお、測定試料4の濃度が目標濃度よりも小さい場合、粒子4aを分散バス1に加えるようにすればよい。また、目標濃度として、±の多少の許容範囲を設けておき、測定濃度がこの目標濃度の許容範囲内に入った場合に、粒径分布測定に移行するようにしてもよい。
【0027】
上述のように、この発明の動的光散乱式粒径分布測定装置においては、粒径分布測定に先立って、測定試料4の濃度を散乱光強度に基づいて確認し、試料濃度が測定可能範囲内にあるか否かを確認しながら希釈しているので、希釈しすぎになったり希釈不足を生ずることがない。そして、測定試料4が所定の濃度になった状態で粒径分布測定を行うことができるので、精度の高い測定結果を得ることができ、所定の粒径分布測定を効率よく行うことができる。
【0028】
特に、分散バス1と試料セル2とを循環流路3によって接続し、測定試料4を循環流路3内を繰り返し循環させることができるので、粒子4aと分散媒4bの混合攪拌が確実に行われるとともに、凝集による粒径の変化やそれに伴う散乱光強度の急激な変化を抑制することができる。
【0029】
なお、測定試料4の希釈方法として、濃度を定量的に2の倍数ずつ希釈するようにしてもよい。すなわち、分散バス1内の測定試料4の量を分散バス1に設けたセンサ(図示していない)によってモニターして、半量排水し、この排出量と同量の分散媒4bを供給して、2倍希釈し、この2倍希釈を回数から希釈倍率を簡単に求めるようにしてもよい。
【0030】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の動的光散乱式粒径分布測定装置においては、分散バスと試料セルとを循環流路で接続するとともに、粒径分布測定に先立って、記分散バスから試料セルに対して測定試料を供給し、この測定試料に対してレーザ光を照射し、そのとき得られる散乱光強度に基づいて前記測定試料の濃度を測定し、この測定された濃度を予め設定されている目標濃度と比較し、この比較結果に基づいて前記測定試料の濃度調整を行えるようにしているので、測定試料を希釈したい濃度にまで効率よく、自動的に(無人で)希釈することができる。そして、希釈による状態変化を防止しながら濃度の確認を行うことができ、したがって、最適な濃度状態で所望の粒径分布測定を行うことができ、精度の高い測定を効率よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の動的光散乱式粒径分布測定装置の一例を概略的に示す図である。
【図2】前記測定装置による粒径分布測定に先立って行われる測定試料の調整手順の一例を示すフローチャートである。
【図3】検出信号(光散乱データ)の一例を示す図である。
【図4】自動濃度調整を行うための画面の一例を示す図である。
【図5】自動濃度調整を行うための画面の一例を示す図である。
【図6】自動濃度調整を行うための画面の一例を示す図である。
【符号の説明】
1…分散バス、2…試料セル、3…循環流路、4…測定試料、4a…粒子、4b…分散媒、15…レーザ光。
Claims (1)
- 試料セル内に、分散媒中に粒子を分散させた測定試料を収容し、この測定試料に対してレーザ光を照射し、前記粒子により散乱された光の周波数強度分布に基づいて粒径分布を求めるようにした動的光散乱式粒径分布測定装置において、前記分散媒と粒子が供給され、分散媒中に粒子を分散させるための分散バスと前記試料セルとを循環流路で接続するとともに、粒径分布測定に先立って、前記分散バスから試料セルに対して測定試料を供給し、この測定試料に対してレーザ光を照射し、そのとき得られる散乱光強度に基づいて前記測定試料の濃度を測定し、この測定された濃度を予め設定されている目標濃度と比較し、この比較結果に基づいて前記測定試料の濃度調整を行えるようにしたことを特徴とする動的光散乱式粒径分布測定装置。
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