JP4348990B2 - Droplet discharge device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、描画装置の可動機構に発生した塵埃を集塵し装置外に排気する液滴吐出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
カラーフィルタの製造装置に適用した従来のインクジェット記録装置では、描画ヘッド(インクジェットヘッド)を搭載したスライダ、ガイドレールおよび2組のリニアアクチュエータおよび2組のリードねじを一括して集塵カバーで覆い、この集塵カバーを、バキューム吸引装置に連なる排気チューブに接続した塵埃排気装置が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−317604号公報(第7頁、図8)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の塵埃排気装置では、複数の可動機構を集塵カバーで一括して覆っているため、例えばリードねじ(ボールねじ)の噛合い部分で発塵した塵埃が、排気される前にガイドレールに付着する可能性があり、バキューム吸引を行なっても、十分な集塵効果が得られないことが想定される。
そこで、発塵の可能性のあるこれら可動機構を個別に集塵カバーで覆い、且つ個別に排気を行うことが考えられる。しかし、これら個別カバーに接続した複数の排気チューブを単純に接続すると、個々の集塵カバーおよび排気チューブにおける圧力損失の相違により、ショートサーキットが生ずるなどして、バキュームが十分に為される可動機構と、十分に為されない可動機構とが生ずる問題が想定される。
【0005】
本発明は、描画装置の複数の可動機構で発塵した塵埃を効率良く排気することができる液滴吐出装置を提供することをその課題としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出装置は、ワークと機能液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドからワークに機能液滴を選択的に吐出する描画装置と、描画装置に形成されてなる複数の可動機構から発生した塵埃を装置外に排気する塵埃排気装置と、を有する液滴吐出装置において、複数の可動機構をそれぞれ覆う複数の集塵カバーと、各集塵カバーに連通した複数の排気管路と、複数の排気管路を下流端において合流させる排気ヘッダと、排気ヘッダに連なる塵埃排気手段と、を備え、複数の可動機構の少なくとも1つの可動機構が、相対的な移動に伴って移動し、且つ一端が固定され、他端が可動するケーブルの担持体であることを特徴とする。
【0007】
この構成によれば、塵埃排気手段が駆動すると、描画装置の複数の可動機構で発塵した塵埃は、各集塵カバーから各排気管路を通って排気ヘッダで合流し、排気ヘッダから塵埃排気手段に吸引される。この場合、複数の排気管路をその下流端において排気ヘッダにより合流させ、この排気ヘッダ内のエアーを塵埃排気手段で吸引するようにしているため、吸引エアーのショートサーキット等が生じ難く、複数の集塵カバーから塵埃をバランス良く吸引することができる。また、排気ヘッダを用いることにより、吸引箇所(集塵カバー)の増減を簡単に行うことができる。なお、排気ヘッダおよび塵埃排気手段は、複数のもので構成してもよいが、コストを考慮すると単一のもので構成することが、より好ましい。
【0008】
この場合、排気ヘッダは、架台の1の辺の脚部廻りに配設され、排気ヘッダに至る各排気管路の主横引き管路は、描画装置を載置する架台の脚部廻りに配管されていることが、好ましい。
【0009】
この構成によれば、比較的空きスペースのある架台の脚部廻りに、排気ヘッダおよび各排気管路の主横引き管路を配管することにより、描画装置廻りの空きスペースを有効に活用することができる。また、描画装置と排気管路との干渉を防止することができ、排気管路が他の構成装置の邪魔になることがない。
【0010】
これらの場合、複数の集塵カバーの少なくとも1つの集塵カバーには、その長手方向の両端部に排気管路に連通する排気口がそれぞれ配設されていることが、好ましい。
【0011】
この構成によれば、集塵カバー内の塵埃を含むエアーを、効率良く排気することができる。集塵カバーと排気管路との接続構造を単純化することができる。
【0012】
同様に、複数の集塵カバーの少なくとも1つの集塵カバーには、その長手方向に亘って排気管路に連通する多数の排気口が配設されていることが、好ましい。
【0013】
この構成によれば、可動機構の発塵部位が集塵カバーの長手方向に連続する場合に、集塵カバー内の塵埃を含むエアーを、効率良く排気することができる。
【0014】
これらの場合、描画装置は、ワークをY軸方向に移動させるY軸テーブルを有し、担持体には、Y軸テーブルに添設され、一端を固定とし他端を可動として流体用チューブを担持するY軸流体チューブ担持体が含まれていることが、好ましい。
【0015】
この構成によれば、Y軸テーブルの移動に伴って、流体用チューブを担持するY軸流体チューブ担持体の可動側が移動する。その際、Y軸流体チューブ担持体自体、Y軸流体チューブ担持体とベースプレートとの接触部分およびY軸流体チューブ担持体と流体チューブとの接触部分から発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【0016】
これらの場合、描画装置は、機能液滴吐出ヘッドをX軸方向に移動させるX軸テーブルを有し、担持体には、X軸テーブルに添設され、一端を固定とし他端を可動としてケーブルを担持するX軸ケーブル担持体が含まれていることが、好ましい。
【0017】
この構成によれば、X軸テーブルの移動に伴って、ケーブルを担持するX軸ケーブル担持体の可動側が移動する。その際、X軸ケーブル担持体自体、X軸ケーブル担持体とベースプレートとの接触部分およびX軸ケーブル担持体とケーブルとの接触部分から発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【0018】
これらの場合、描画装置は、機能液滴吐出ヘッドをX軸方向に移動させるX軸テーブルを有し、担持体には、X軸テーブルに添設され、一端を固定とし他端を可動として流体用チューブを担持するX軸流体チューブ担持体が含まれていることが、好ましい。
【0019】
この構成によれば、X軸テーブルの移動に伴って、流体用チューブを担持するX軸流体チューブ担持体の可動側が移動する。その際、X軸流体チューブ担持体自体、X軸流体チューブ担持体とベースプレートとの接触部分およびX軸流体チューブ担持体と流体チューブとの接触部分から発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【0020】
これらの場合、描画装置は、機能液滴吐出ヘッドをX軸方向に移動させるX軸テーブルを有し、複数の可動機構には、X軸テーブルのスライダ摺接部およびそのリニアガイドが、更に含まれていることが、好ましい。
【0021】
この構成によれば、X軸テーブルの移動に伴って、X軸テーブルのスライダがリニアガイドに案内されて移動する。その際、相互に摺接するスライダのスライダ摺接部とリニアガイドとの摺接部分から発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【0022】
これらの場合、描画装置は、機能液滴吐出ヘッドをX軸方向に移動させるX軸テーブルを有し、複数の可動機構には、X軸テーブルのリニアアクチュエータが、更に含まれていることが、好ましい。
【0023】
この構成によれば、上記と同様に、リニアアクチュエータから発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【0024】
これらの場合、描画装置は、機能液滴吐出ヘッドをZ軸方向に移動させるヘッドZ軸テーブルを有し、複数の可動機構には、ヘッドZ軸テーブルが、更に含まれていることが、好ましい。
【0025】
この構成によれば、上記と同様に、ヘッドZ軸テーブルから発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【0026】
これらの場合、描画装置は、機能液滴吐出ヘッドをθ方向に移動させるヘッドθテーブルを有し、複数の可動機構には、ヘッドθテーブルが、更に含まれていることが、好ましい。
【0027】
この構成によれば、上記と同様に、ヘッドθテーブルから発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【0028】
これらの場合、描画装置は、ワークを撮像するカメラと、カメラをZ軸方向に移動させるカメラZ軸テーブルとを有し、複数の可動機構には、カメラZ軸テーブルが、更に含まれていることが、好ましい。
【0029】
この構成によれば、上記と同様に、カメラZ軸テーブルから発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【0037】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、有機ELデバイスや液晶表示装置等のフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェット方式により、基板(ワーク)に対し液滴吐出ヘッドから発光材料等の機能液滴を選択的に吐出することで描画を行い、基板上に所望の成膜部を形成するものである。
【0038】
図1ないし図3に示すように、液滴吐出装置1は、図12に示す液滴吐出ヘッド(機能液滴吐出ヘッド)21を有し機能液を吐出する吐出手段(描画装置)2と、液滴吐出ヘッド21の保全処理を行うメンテナンス手段3と、液滴吐出ヘッド21に機能液を供給する機能液供給手段4と、これら各手段・装置を統括制御する制御装置(図示省略)と、を備えている。また、液滴吐出装置1は、床上に設置された架台11と、架台11上に設置された石定盤12と、架台11に添設された機台13と、機台13の側方に添設されたラック14と、を有している。
【0039】
そして、石定盤12上には吐出手段2が広く配設されており、上方の液滴吐出ヘッド21に対応して、下方に液滴対象物となるワークW(基板、図4参照)がセットされている。ワークWは、例えばガラス基板やポリイミド基板等で構成されている。一方、機台13上には、その長手方向(Y軸方向)にスライド移動自在に支持された移動テーブル16が設置され、移動テーブル16上には、メンテナンス手段3の各種ユニットを分散して載置する共通ベース17が固定されている。また、ラック14には、機能液供給手段4のメインタンク271等のタンク類が収容されている。
【0040】
吐出手段2は、複数の液滴吐出ヘッド21を有するヘッドユニット22(参照:図11)と、ヘッドユニット22を保持したメインキャリッジ23(参照:図13)と、メインキャリッジ23を両持ち支持するように設けたX軸テーブル24と、X軸テーブル24に直交し且つその下方に位置するY軸テーブル25と、Y軸テーブル25に設けられワークWを載置するワークテーブル26と、を備えている。X軸テーブル24およびY軸テーブル25は、石定盤12上に固定されている。
【0041】
X軸テーブル24は、メインキャリッジ23をX軸方向に移動自在に取り付け、メインキャリッジ23を介してヘッドユニット22をX軸方向に移動させる。Y軸テーブル25は、ワークテーブル26をY軸方向に移動自在に取り付け、ワークテーブル26を介してワークWをY軸方向に移動させる。すなわち、吐出手段2は、X軸テーブル24およびY軸テーブル25から成るX・Y軸移動機構29により、メインキャリッジ23を介して液滴吐出ヘッド21をワークWに対しX・Y軸方向に相対移動させることで、ワークWに機能液を吐出することで描画を行う。
【0042】
具体的には、図4に示すように、Y軸テーブル25によるワークWの移動に同期して液滴吐出ヘッド21が吐出駆動する構成であり、液滴吐出ヘッド21のいわゆる主走査は、Y軸テーブル25によるワークWのY軸方向への往復動動作により行われる。また、これに対応して、いわゆる副走査は、X軸テーブル24による液滴吐出ヘッド21のX軸方向へのピッチ送り動作となる往動動作により行われる。
【0043】
なお、本実施形態では、液滴吐出ヘッド21に対しワークWを主走査方向に移動させるようにしているが、液滴吐出ヘッド21を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークWを固定とし、液滴吐出ヘッド21を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよいし、逆に液滴吐出ヘッド21を固定とし、ワークWを主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【0044】
次に、吐出手段2の各構成装置について、Y軸テーブル25、ワークテーブル26、X軸テーブル24、ヘッドユニット22、メインキャリッジ23の順で説明する。
【0045】
Y軸テーブル25は、図3、図5および図6に示すように、ワークテーブル26の下部に固定した一対のY軸エアースライダ31,31と、各Y軸エアースライダ31をY軸方向にスライド自在にガイドする一対のY軸ガイドレール32,32と、各Y軸ガイドレール32の外側に併設され、ワークテーブル26を介してワークWをY軸方向に移動させる一対のY軸リニアモータ33,33と、ワークテーブル26のY軸方向の位置をレーザで検出する位置検出ユニット34と、を備えている。また、詳細は後述するが、Y軸テーブル25には、各Y軸リニアモータ33に沿うように、一対の流体用Y軸ケーブルベア(「ケーブルベア」は商標)が設けられている(図18参照)。
【0046】
一対のY軸ガイドレール32および一対のY軸リニアモータ33は、石定盤12に相互に平行に且つ直接支持され、位置検出ユニット34は、石定盤12のY軸方向の先端部に設置されている。位置検出ユニット34は、ワークテーブル26に設けたコーナーキューブ(図示省略)にレーザ光を入射すると共に、コーナーキューブからの反射光を受光することで、ワークテーブル26のY軸方向の位置を検出する。
【0047】
Y軸リニアモータ33の駆動により、ワークテーブル26は、Y軸エアースライダ31がY軸ガイドレール32に案内されて、Y軸方向に往復移動する。また、位置検出ユニット34により適宜検出されるワークテーブル26の位置に基づいて、液滴吐出ヘッド21の機能液の吐出動作が行われて、ワークテーブル26上のワークWへの描画がなされる。この場合、位置検出ユニット34に代えてリニアスケール(とフォトセンサ)を設けるようにしてもよい。なお、図5中の符号36は、各Y軸ガイドレール32を上側から覆うように張架された帯状の一対の覆装シートであり、ワークテーブル26の後述する支持体41の上面に形成した凹溝内を挿通して、両端を支持されている。各覆装シート36により、Y軸ガイドレール32等への機能液の付着が防止される。
【0048】
ワークテーブル26は、図5ないし図7に示すように、一対のY軸エアースライダ31を下部に固定した支持体41と、支持体41上に設置したワークΘ軸テーブル42と、ワークΘ軸テーブル42上に支持した吸着テーブル43とを備えると共に、さらに支持体41上には、ワークΘ軸テーブル42を挟むように一対の描画前フラッシングユニット44,44が設置されている。
【0049】
吸着テーブル43は、それぞれが上面にエアー吸引孔46を形成すると共に整列配置された多数の載置ブロック47を有し、ワークWを複数の載置ブロック47上にエアー吸引して、ワークWを吸着セットする。すなわち、吸着テーブル43は、セットされたワークWが平坦度を維持するように、これをエアー吸引により吸着する。
【0050】
ワークΘ軸テーブル42は、吸着テーブル43の下部に固定された回転部51と、支持体41の上記一対の凹溝を逃げて支持体41の上面に固定された固定部52と、ボールねじ等により固定部52に対し回転部51をΘ軸方向に回動させるアクチュエータ(図示省略)と、を有している。ワークΘ軸テーブル42により、吸着テーブル43上のワークWをΘ軸方向に位置補正(角度補正)できるようになっている。ワークテーブル26は、Y軸テーブル25の駆動により、支持体41およびワークΘ軸テーブル42を介して、吸着テーブル43上のワークWを両描画前フラッシングユニット44と共に、Y軸方向に移動させる。
【0051】
各描画前フラッシングユニット44は、複数の液滴吐出ヘッド21のフラッシング(全ノズルからの機能液滴の捨て吐出)を受けるためのものであり、主として、液滴吐出ヘッド21の主走査時のフラッシングに使用される。描画前フラッシングユニット44は、略細長形状に形成されたフラッシングボックス61と、フラッシングボックス61内に敷設した機能液吸収材62と、フラッシングボックス61をZ軸方向に昇降させる昇降機構63と、を有している。
【0052】
昇降機構63は、支持体41の外側に張り出すようにしてこれに固定したX軸方向に一対のブラケット71,71と、各ブラケット71にZ軸方向に移動自在に支持された一対の支持脚72,72と、各支持脚72に固定されると共にフラッシングボックス61の下部を支持した支持フレーム73と、各支持脚72にピストンロッドを連結した一対のエアーシリンダ74,74と、で構成されている。一対のエアーシリンダ74により、一対の支持脚72および支持フレーム73を介してフラッシングボックス61が昇降する。
【0053】
例えば、図7(a)に示すように、下降位置のフラッシングボックス61の上端の高さレベルを、ワークテーブル26の載置ブロック47の上面のそれよりも低く設定することができる。この状態とすることにより、ワークWをワークテーブル26に搬入・搬出(交換)する際に、ワークWとフラッシングボックス61との干渉を有効に防止することができる。なお、計4つのエアーシリンダ74は、同期して駆動されることが好ましく、かかる場合には2つのフラッシングボックス61は同時に昇降する。
【0054】
また、同図(b)に示すように、上昇位置のフラッシングボックス61の上端の高さレベルを、載置ブロック47の上面のそれよりも高く設定することができる。この状態とすることにより、フラッシングボックス61の上端の高さレベルと、ワークWの表面の高さレベルとを同程度あるいはそれ以下になるように、液滴吐出ヘッド21とフラッシングボックス61との間のギャップを調整することができる。
【0055】
すなわち、本実施形態の液滴吐出装置1に導入されるワークWはその種別に応じて厚みの異なるものであるため、後述するヘッドZ軸テーブル155によりワークWの厚みに応じて液滴吐出ヘッド21の高さレベルを調整しているところ、そのワークギャップの調整により液滴吐出ヘッド21と描画前フラッシングユニット44との高さレベルの関係も変動するが、これに対応するべく、昇降機構63により描画前フラッシングユニット44の高さレベルを調整することができる。これにより、ワークWの厚みに関らず、液滴吐出ヘッド21のフラッシングにより吐出された機能液滴を外部に飛散させることなく、フラッシングボックス61で適切に受容することができる。
【0056】
フラッシングボックス61で受けた機能液は、機能液吸収材62に含浸され、これに連通した図外の排液用チューブを介して、ラック14に収容した廃液タンク272(図3参照)に貯留されるようになっている。詳細は後述するが、フラッシングボックス61の上面(表面)は、ワークW側の被検出部として、ワークギャップ調整後の検査に供される。また、フラッシングボックス61の上面と液滴吐出ヘッド21のノズル面141との間のギャップは、0.2mm前後に設定される。
【0057】
X軸テーブル24は、図8ないし図10に示すように、支柱ユニット81を介してY軸テーブル25の上方にこれを跨ぐように支持されており、メインキャリッジ23を挿通して固定したブリッジプレート82と、ブリッジプレート82をX軸方向に移動させ且つその移動を案内するリニアガイド付きX軸リニアモータ83と、X軸リニアモータ83に平行に併設されたX軸リニアスケール84と、X軸リニアモータ83に平行に併設されると共にブリッジプレート82の移動を案内するX軸リニアガイド85と、を備えている。
【0058】
ブリッジプレート82は、その中間位置に形成した開口部からメインキャリッジ23の下半部を挿通させ、メインキャリッジ23の下部に保持したヘッドユニット22をワークWに臨ませる。メインキャリッジ23は、後述するスライドベース162の両側部を介して、ブリッジプレート82の上面に固定されている。また、ブリッジプレート82の上面には、メインキャリッジ23に隣接して機能液供給手段4のサブタンク273が設置されている。
【0059】
X軸リニアモータ83の駆動により、X軸リニアモータ83およびX軸リニアガイド85は、ブリッジプレート82を両持ちでX軸方向に平行移動させる。そして、ブリッジプレート82の移動に伴い、メインキャリッジ23(ヘッドユニット22)がX軸方向に移動する。この移動において、液滴吐出ヘッド21の上記の副走査が行われる。
【0060】
支柱ユニット81は、石定盤12上に設置した4本の支柱91,91,91,91と、Y軸テーブル25を跨ぐようにX軸方向に延在すると共にこれらの支柱91の上部に両持ち支持された一対の梁92,92と、各梁92から外側に張り出した一対の支持板93,93と、を有している。一方の梁92上には、X軸リニアモータ83およびX軸リニアスケール84が支持され、他方の梁92上には、X軸リニアガイド85が支持されている。
【0061】
左側(図8では手前側)の支持板93上には、左部X軸ケーブルベア95および流体用X軸ケーブルベア96が、それぞれ集塵用のカバーで覆われるようにして載置されている。同様に、右側(図8では奥側)の支持板93上には、右部X軸ケーブルベア97およびサブX軸ケーブルベア98が、それぞれ集塵用のカバーで覆われるようにして載置されている。なお、X軸リニアモータ83およびX軸リニアガイド85も同様に、集塵用のカバーで覆われている。すなわち、これら可動部分で発生し得る塵埃を各カバーで集塵し、図外の排気チューブを介して装置外部に排出できるようになっている。
【0062】
また、図中の符号106は、ブリッジプレート82と同様に且つこれとは独立してX軸方向に移動可能なカメラ用ブリッジプレートであり、カメラ用ブリッジプレート106は、ワークWのアライメントに用いられる認識カメラを搭載したカメラユニット107を支持している。
【0063】
図11は、ヘッドユニット22の主要部を示した平面図である。同図に示すように、ヘッドユニット22は、複数(12個)の液滴吐出ヘッド21と、複数の液滴吐出ヘッド21を搭載するサブキャリッジ121と、サブキャリッジ121に各液滴吐出ヘッド21を個々に取り付けるための複数(12個)のヘッド保持部材122(図12参照)と、を備えている。また、ヘッドユニット22は、メインキャリッジ23に対し着脱自在に保持されている(図13参照)。
【0064】
12個の液滴吐出ヘッド21は、6個ずつ2列に分けて主走査方向(Y軸方向)に離間して配置されている。また、各液滴吐出ヘッド21は、ワークWに対して機能液滴の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けて配設されている。更に、一方の列と他方の列の各液滴吐出ヘッド21は、副走査方向(X軸方向)に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各液滴吐出ヘッド21のノズル146が連続(一部重複)するようになっている。なお、液滴吐出ヘッド21を専用部品で構成するなどして、ワークWに対して機能液の十分な塗布密度を確保できる場合は、液滴吐出ヘッド21をあえて傾けてセットする必要はない。
【0065】
サブキャリッジ121の一方の側方には、各液滴吐出ヘッド21とサブタンク273とを配管接続するための配管ジョイント125と、ヘッドユニット22をメインキャリッジ23に着脱する際の手持ち用の一対のハンドル126,126と、が設けられている。配管ジョイント125には、12個の液滴吐出ヘッド21に対応して12個のソケット127が取り付けられている。各ソケット127の一端には、各液滴吐出ヘッド21(の接続針131)と接続した配管アダプタ129からのヘッド側配管部材(図示省略)が接続され、その他端には、サブタンク273からの装置側配管部材128が接続されている(図9参照)。
【0066】
このような構成により、機能液は、機能液供給手段4のメインタンク271からサブタンク273に第1チューブ274を介して圧力供給されると共に、このサブタンク273で圧力的に縁切りされる。そして、サブタンク273の負圧制御ユニットにより圧力制御された機能液は、サブタンク273から分岐して各液滴吐出ヘッド21に供給される。
【0067】
液滴吐出ヘッド21は、図12に示すように、いわゆる2連のものであり、2連の接続針131を有する機能液導入部132と、機能液導入部132に連なる2連のヘッド基板133と、機能液導入部132の下方(同(a)では上方)に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体134と、を備えている。この種のインクジェット方式の液滴吐出ヘッド21は、吐出駆動のためのエネルギー発生素子として圧電素子(ピエゾ素子)を用いたもの、あるいは電気熱変換体を用いたもので構成される。
【0068】
各接続針131は、配管アダプタ129に接続した上記のヘッド側配管部材等を介してサブタンク273に接続されており、機能液導入部132は、各接続針131から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド本体134は、ノズル面141を有するノズルプレート142と、ノズルプレート142に連なる直方体形状の2連のポンプ部143と、で構成されている。
【0069】
液滴吐出ヘッド21は、ヘッド本体134がサブキャリッジ121の下面から突出しており、ヘッド本体134の下面、すなわちノズル面141には、2本のノズル列145が相互に平行に形成されている。各ノズル列145は、略主走査方向に延在しており、多数(例えば180個)のノズル146が等ピッチで並べられて構成されている。液滴吐出ヘッド21は、ポンプ部143の作用によりノズル146から機能液滴をドット状に吐出する。なお、液滴吐出ヘッド21におけるノズル数やノズル列数は任意である。
【0070】
メインキャリッジ23は、図13および図14に示すように、ヘッドユニット22を着脱自在に搭載するキャリッジ本体151と、キャリッジ本体151を吊設するように保持したキャリッジテーブル152と、で構成されている。メインキャリッジ23は、キャリッジ本体151を上記のブリッジプレート82から下方に挿通させるようにして、キャリッジテーブル152の両側部分でブリッジプレート82の上面に固定されている(図9参照)。
【0071】
キャリッジテーブル152は、キャリッジ本体151の上部に連結されるヘッドΘテーブル154と、ヘッドΘテーブル154の上部に連結されるヘッドZ軸テーブル155と、で構成されている。ヘッドZ軸テーブル155(Z軸移動手段)は、ヘッドΘテーブル154およびキャリッジ本体151を介して液滴吐出ヘッド21をZ軸方向に微小移動させ、液滴吐出ヘッド21のノズル面141とワークWの表面との間のワークギャップを微調整するものである。
【0072】
ヘッドZ軸テーブル155は、図15に示すように、ヘッドΘテーブル154を下部に連結したZ軸スライダ161と、Z軸スライダ161をZ軸方向にスライド自在に支持するスライドベース162と、スライドベース162とZ軸スライダ161との間に介設されZ軸スライダ161の移動を案内する4組のスライドガイド163,163,163,163と、スライドベース162の上面中央に固定したZ軸モータ164と、Z軸モータ164により正逆回転するボールねじ165と、ボールねじ165に螺合すると共にZ軸スライダ161の正面に固定した雌ねじブロック166と、を有している。
【0073】
スライドベース162は、一対の鉛直板171,171と、一対の鉛直板171の上端に掛け渡した連結板172とで、全体としてアーチ型に構成されている。各鉛直板171は、外側に直角に折り曲げた下端部でブリッジプレート82の上面に固定されている。連結板172の上面中央にZ軸モータ164が固定され、連結板172の下面側にZ軸モータ164の主軸が位置している。そして、この主軸にカップリングを介してボールねじ165が、両鉛直板171間の中間位置に位置するように連結されている。
【0074】
Z軸スライダ161は、スライドベース162の内側に位置しており、雌ねじブロック166を正面側に固定した固定板部181と、各鉛直板171に対面する一対の側面板部182,182と、ヘッドΘテーブル154に連結された連結板部183と、で一体に形成されている。
【0075】
この場合、固定板部181における雌ねじブロック166の固定位置は、Z軸スライダ161の略重心部に合致している。また、これに対応して、雌ねじブロック166を挟んで4箇所に分散してスライドガイド163が、側面板部182と鉛直板171との間に設けられている。すなわち、前後方向(X軸方向)に平行に並べた一対のスライドガイド163,163が、雌ねじブロック166の軸線に対し左右対称に(Y軸方向に対称に)配置されている。
【0076】
このように、Z軸スライダ161の重量バランスを考慮して、雌ねじブロック166と4組のスライドガイド163とを有効に配置することで、Z軸スライダ161のX・Y平面内のずれを防止できる。すなわち、Z軸スライダ161をZ軸方向に姿勢精度良く適切に移動させることができる。これにより、液滴吐出ヘッド21のノズル面141とワークWの表面との平行度を適切に維持することができる。
【0077】
各スライドガイド163は、側面板部182に固定されZ軸方向に延在する単一のトラックレール191と、トラックレール191にスライド自在に案内されると共にZ軸方向に並べた一対のスライダユニット192,192とからなり、各スライダユニット192が鉛直板171に固定されている。したがって、Z軸スライダ161は、トラックレール191を両スライダユニット192に案内されながら、スライドベース162に対しZ軸方向に移動する。なお、スライドガイド163は、リニアボールガイドなどの転がり案内の他、スライドユニットをエアースライダとする空気静圧案内で構成すればよい。
【0078】
Z軸モータ164は、正逆回転可能なACサーボモータから構成されている。Z軸モータ164が正逆回転すると、ボールねじ165および雌ねじブロック166により、Z軸スライダ161が各スライドガイド163に案内されてZ軸方向に進退する(上下動する)。このZ軸スライダ161の上下動に伴い、ヘッドΘ軸テーブル154およびキャリッジ本体151を介して液滴吐出ヘッド21を上下動して、ワークギャップが微調整される。
【0079】
なお、図13(a)に示すように、Z軸スライダ161の固定板部181の背面側にはナット部195が固定され、ナット部195に螺合する雄ねじ196が連結板172に垂設するように設けられ、さらに、ナット部195の下側に位置する雄ねじ196の端部には、ナット部195に接触可能な度あたり197が設けられている。これにより、仮にZ軸モータ164が暴走しても、度あたり197がナット部195に接触することで、Z軸スライダ161がスライドベース162から抜け落ちないようになっている。なお、ナット部195、雄ねじ196および度あたり197は、ボールねじ165等と同様に、いずれもヘッドZ軸テーブル155におけるY軸方向の中心位置に設けられている。
【0080】
ヘッドΘテーブル154は、図13および図14に示すように、Z軸スライダ161の下面に固定された固定部201と、キャリッジ本体151の上部に固定された回転部202と、固定部201に対し回動自在に取り付けた回転部202をΘ軸方向に回動させるΘモータ203と、を有している。Θモータ203は、正逆回転可能なACサーボモータから構成されており、ボールねじ系を主体とする動力伝達機構部204を介して、固定部201に対し回転部202を微小回動(微小回転)させる。この回転部202の微小回動により、キャリッジ本体151がその軸心を中心に回動する。
【0081】
このように、ヘッドΘテーブル154は、Z軸スライダ161とキャリッジ本体151とを相互に連結すると共に、キャリッジ本体151を介してヘッドユニット22をX・Y平面内において正逆微小回転させる。これにより、ヘッドユニット22の初期位置決め段階において、ヘッドユニット22をΘ軸方向に位置補正(角度補正)できるようになっている。
【0082】
図16に示すように、ヘッドZ軸テーブル155の可動部は集塵用のカバーに覆われ、上記のX軸リニアモータ83等と同様に、発塵し得る粉塵のワークW等への付着が防止されている。また、ヘッドΘ軸テーブル154の動力伝達機構部204も、集塵用のカバーで覆われている。
【0083】
キャリッジ本体151は、ヘッドユニット22と共に請求項にいうキャリッジを構成するものである。キャリッジ本体151は、図13および図14に示すように、ヘッドユニット22が着座するベースプレート221と、ベースプレート221を垂設するように支持するアーチ部材222と、ベースプレート221の一方の端部に突出するように設けた一対の仮置きアングル223,223と、ベースプレート221の他方の端部に設けたストッパプレート224と、ストッパプレート224の外側に設けた断面L字状の取付けプレート225と、取付けプレート225の外側でこれに支持したギャップ検査ユニット226と、を備えている。なお、ギャップ検査ユニット226は、ヘッドZ軸テーブル155によりワークギャップの調整を行った後、ワークギャップが所定値以下のリミット状態になっているかどうかを検査するためのものである。
【0084】
アーチ部材222は、その上面中央にヘッド軸テーブル154の回転部202を固定している。ベースプレート221は、ヘッドユニット22を遊嵌するための方形開口を有すると共に、この方形開口を構成する開口縁部に、サブキャリッジ121の周縁部を介してヘッドユニット22を位置決め固定する。
【0085】
ヘッドユニット22をキャリッジ本体151にセットする場合には、ヘッドユニット22をその両ハンドル126により手持ちして運び込み、一旦、一対の仮置きアングル223上に載置する(仮置きする)。ここで、ヘッドユニット22の配管ジョイント125に装置側配管部材128を接続するなど、各種配管・配線接続する。そして、両ハンドル126を再度把持し、両仮置きアングル223をガイドにしてヘッドユニット22を先方に押し入れ、これをベースプレート221に位置決め固定するようにしている。そして、必要に応じて、ヘッドユニット22は、ヘッドΘテーブル154により回転補正される。
【0086】
このようなヘッドユニット22の運び込みを含む交換作業は、図1および図3における液滴吐出装置1の手前側から行われる。すなわち、X軸テーブル24によりメインキャリッジ23を機台13側に移動させ、ワークWから外れた機台13の上方にてヘッドユニット22が交換される。また、ワークギャップを検査する場合にも、ヘッドユニット22はこの交換位置に移動する。
【0087】
次に、本発明の要部である塵埃排気装置300について詳細に説明する。図17に示すように、塵埃排気装置300は、ケーブルベア(ケーブル担持体)等の各種可動機構を覆う複数の集塵カバー301と、各集塵カバー301に連通した複数の排気チューブ(排気管路)302と、複数の排気チューブ302を下流端において合流させる排気ヘッダ303と、排気ヘッダ303に連なる工場真空設備としての塵埃排気手段304(図17参照)と、を備えている。各種可動機構で発生した塵埃は、塵埃排気手段304により複数の排気チューブ302から排気ヘッダ303に吸引され、塵埃排気手段304に併設した集塵装置でそのキャリアエアーと共に集塵処理される。
【0088】
複数の集塵カバー301は、一対の流体用Y軸ケーブルベア38を覆う一対のY軸流体集塵カバー311(図18参照)、左部X軸ケーブルベア95を覆う左X軸集塵カバー312、流体用X軸ケーブルベア96を覆うX軸流体集塵カバー313、右部X軸ケーブルベア97を覆う右X軸集塵カバー314、サブX軸ケーブルベア98を覆うサブX軸集塵カバー315、X軸テーブル24のスライダ摺接部(ブリッジプレート82)およびX軸リニアガイド85を覆うガイド集塵カバー316、X軸テーブル24のX軸リニアモータ83を覆うモータ集塵カバー317、ヘッドZ軸テーブル155を覆う第1ヘッド集塵カバー318、ヘッドθテーブル154を覆う第2ヘッド集塵カバー319、カメラユニット107のカメラZ軸テーブル306を覆うカメラ集塵カバー320とで構成されている。なお、Y軸テーブル25に駆動・制御用ケーブルのケーブルベアを設ける場合には、これにも集塵カバーを設けることが、好ましい。
【0089】
図18に示すように、各Y軸流体集塵カバー311は、一端を固定とし他端を可動として流体用チューブを担持する液体用Y軸ケーブルベア38から発塵する塵埃を封じ込めるものであり、底板が液体用Y軸ケーブルベア38のベースプレートを兼ねる本体カバー331と、本体カバー331の上開放部を閉蓋する蓋カバー332とで構成されている。本体カバー331の長手方向両端部には、その外側面に一対の排気口金具333,333が設けられており、この両排気口金具33,333には、それぞれ第1排気チューブ334,334が接続されている。この場合、両第1排気チューブ334,334は、それぞれY軸テーブル25の側端から鉛直方向に延び、且つここで合流し、さらに架台11の脚部廻りに配管した第1横引きチューブ335を介して排気ヘッダ303に接続されている。なお、他方のY軸流体集塵カバー311の両第1排気チューブ334,334も、第1横引きチューブ335を介して排気ヘッダ303に接続されるが、図17では図示省略されている。もっとも、両第1排気チューブ334,334を(第1横引きチューブ335を介して)別々に排気ヘッダ303に接続してもよい。
【0090】
図17、図19ないし図24に示すように、左X軸集塵カバー312は、一端を固定とし他端を可動としてケーブルを担持する3連の左部X軸ケーブルベア95から発塵する塵埃を封じ込めるものであり、底板が上記の支持板93を兼ねる本体カバー338と、本体カバー338の上開放部を閉蓋する蓋カバー339とで構成されている。本体カバー338の長手方向両端部には、その外側面に一対の排気口金具340,340が設けられており、この両排気口金具340,340は、それぞれ第2排気チューブ341,341にそれぞれ接続されている。この場合、両第2排気チューブ341,341は、X軸テーブル24の端から鉛直方向に延び、且つここで合流し、さらに架台11の脚部廻りに配管した第2横引きチューブ342を介して排気ヘッダ303に接続されている(図27参照)。
【0091】
X軸流体集塵カバー313は、一端を固定とし他端を可動として流体チューブを担持する流体用X軸ケーブルベア96から発塵する塵埃を封じ込めるものであり、底板が上記の支持板93を兼ねる本体カバー345を有している。本体カバー345の外側面には、長手方向に亘って多数の排気口金具347が均等に配設されており、この多数の排気口金具347は、本体カバー345に沿って配管された共用の第3排気チューブ348にそれぞれ接続されている。この場合、第3排気チューブ348は、本体カバー345に沿ってX軸方向に延びると共にX軸テーブル24の端から鉛直方向に延び、さらに架台11の脚部廻りに配管した第3横引きチューブ349を介して排気ヘッダ303に接続されている。なお、第3排気チューブ348をX軸方向の両側に延長し、これを(第3横引きチューブ349を介して)別々に排気ヘッダ303に接続してよい。
【0092】
右X軸集塵カバー314は、一端を固定とし他端を可動としてケーブルを担持する2連の右部X軸ケーブルベア97から発塵する塵埃を封じ込めるものであり、底板が上記の支持板93を兼ねる本体カバー352と、本体カバー352の上開放部を閉蓋する蓋カバー353とで構成されている。本体カバー352の長手方向両端部には、その外側面に一対の排気口金具354,354が設けられており、この両排気口金具354,354は、それぞれ第4排気チューブ355,355にそれぞれ接続されている。この場合、第4排気チューブ355,355は、X軸テーブル24の端から鉛直方向に延び、且つここで合流し、さらに架台11の脚部廻りに配管した第4横引きチューブ356を介して排気ヘッダ303に接続されている。
【0093】
サブX軸集塵カバー315は、一端を固定とし他端を可動としてケーブルを担持するサブX軸ケーブルベア98から発塵する塵埃を封じ込めるものであり、底板が上記の支持板93を兼ねる本体カバー359と、本体カバー359の上開放部を閉蓋する蓋カバー360とで構成されている。本体カバー359の外側面には、長手方向に亘って多数の排気口金具361が均等に配設されており、この多数の排気口金具361は、本体カバーに沿って配管された共用の第5排気チューブ362にそれぞれ接続されている。この場合、第5排気チューブ362は、本体カバー359に沿ってX軸方向に延びると共にX軸テーブル24の端から鉛直方向に延び、さらに架台11の脚部廻りに配管した第5横引きチューブ363を介して排気ヘッダ303に接続されている。なお、第5排気チューブ362をX軸方向の両側に延長し、これを(第5横引きチューブ363を介して)別々に排気ヘッダ303に接続してよい。
【0094】
ガイド集塵カバー316は、X軸テーブル24のスライダ摺接部がX軸リニアガイド85上を摺動するときに発生する塵埃を封じ込めるものであり、底面が上記の梁92の上面を兼ねる本体カバー366を有している。本体カバー366の外側面には、長手方向に渡って多数の排気口金具368が均等に配設されており、この多数の排気口金具368は、本体カバー366に沿って配管された共用の第6排気チューブ369にそれぞれ接続されている。この場合、第6排気チューブ369は、本体カバー366に沿ってX軸方向に延びると共にX軸テーブル24の端から鉛直方向に延び、さらに架台11の脚部廻りに配管した第6横引きチューブ370を介して排気ヘッダ303に接続されている。なお、第6排気チューブ369をX軸方向の両側に延長し、これを(第6横引きチューブ370を介して)別々に排気ヘッダ303に接続してよい。
【0095】
モータ集塵カバー317は、X軸テーブル24のX軸リニアモータ(ロータとステータ)83から発生する塵埃を封じ込めるものであり、底面が上記の梁92の上面を兼ねる本体カバー373を有している。本体カバー373の長手方向両端部には、その外側面に一対の排気口金具375,375が設けられており、この両排気口金具354,354は、本体カバー373に沿って配管された共用の第7排気チューブ376にそれぞれ接続されている。この場合、第7排気チューブ376は、本体カバー373に沿ってX軸方向に延びると共にX軸テーブル24の端から鉛直方向に延び、さらに架台11の脚部廻りに配管した第7横引きチューブ177を介して排気ヘッダ303に接続されている。
【0096】
図17および図25に示すように、第1ヘッド集塵カバー318は、ヘッドZ軸テーブル155のボールねじ165やスライドガイド163から発塵する塵埃を封じ込めるものであり、ボールねじ165を覆うねじカバー380aと、スライドベース162を利用して形成して左側の2つのスライドガイド163を覆う左部カバー380bおよび右側の2つのスライドガイド163を覆う右部カバー380cとで構成されている。そして、ねじカバー380a、左部カバー380bおよび右部カバー380cには、それぞれ排気口金具381,381,381が設けられており、これら排気口金具381は、共用の第8排気チューブ382にそれぞれ接続されている。この場合、第8排気チューブ382は、上記の左部X軸ケーブルベア95または右部X軸ケーブルベア97を通ってX軸テーブル24の端から鉛直方向に延び、さらに架台11の脚部廻りに配管した第8横引きチューブ383を介して排気ヘッダ303に接続されている。もっとも、図17に示すように、第8排気チューブ382を流体用X軸ケーブルベア96に通すようにしてもよい。また、第8排気チューブ382を2系統とし、左部X軸ケーブルベア95および右部X軸ケーブルベア97を介して、別々に排気ヘッダ303に接続してもよい。
【0097】
第2ヘッド集塵カバー319は、ヘッドθテーブル154のボールねじ等(動力伝達機構部204)から発塵する塵埃を封じ込めるものであり、動力伝達機構部204を覆うボックス状のカバー本体386と、カバー本体386の上開放部を閉蓋する蓋状の天板387とで構成されている。カバー本体386のモータ側の側面には、排気口金具388が設けられており、この排気口金具388は第9排気チューブ389に接続されている。この場合、第9排気チューブ389は、第8排気チューブ382と同様に、上記の左部X軸ケーブルベア95または右部X軸ケーブルベア97を通ってX軸テーブル24の端から鉛直方向に延び、さらに架台11の脚部廻りに配管した第9横引きチューブ390を介して排気ヘッダ303に接続されている。この場合も、図17に示すように、第9排気チューブ389を流体用X軸ケーブルベア96に通すようにしてもよい。また、第9排気チューブ389を2系統とし、左部X軸ケーブルベア95および右部X軸ケーブルベア97を介して、別々に排気ヘッダ303に接続してもよい。
【0098】
図17および図26に示すように、カメラ集塵カバー320は、カメラZ軸テーブル306のボールねじやスライドガイドから発塵する塵埃を封じ込めるものであり、四辺を覆う正面板392a、背面板392bおよび両側面板392c,392cで構成されている。両側面板392c,392cには、それぞれ排気口金具393,393が設けられており、この両排気口金具393,393は、共用の第10排気チューブ394にそれぞれ接続されている。この場合、第10排気チューブ394は、上記の流体用X軸ケーブルベア96を通ってX軸テーブル24の端から鉛直方向に延び、さらに架台11の脚部廻りに配管した第10横引きチューブ395を介して排気ヘッダ303に接続されている。
【0099】
このように、第2横引きチューブ342、第3横引きチューブ349、第7横引きチューブ377、第8横引きチューブ383、第9横引きチューブ390および第10横引きチューブ395は、左側チューブ群Aとして、架台11の左側脚部廻りに纏めて配管され排気ヘッダ303まで延びている。同様に、第4横引きチューブ356、第5横引きチューブ363および第6横引きチューブ370は、右側チューブ群Bとして、架台11の右側脚部廻りに纏めて配管され排気ヘッダ303まで延びている(図27参照)。
【0100】
例えば、図28に示すように、左側チューブ群Aは、架台11の左側の脚部廻りに設けた左部ブラケットCにバンド止めするようにして配管され、右側チューブ群Bは、架台11の右側の脚部廻りに設けた右部ブラケットDにバンド止めするようにして配管されている。なお、第1横引きチューブ335は、排気ヘッダ303の近傍でわずかに引き回された後、排気ヘッダ303に接続されている。このように、複数本の排気チューブ302を左側チューブ群Aおよび右側チューブ群Bに分け、且つこれらを左部ブラケットCおよび右部ブラケットDにより、架台11の脚部廻りに配管するようにしているため、配管の取り回し或いはそのメンテナンスが容易になり、且つ脚部廻りのスペースを有効に活用することができる。
【0101】
図17、図29および図30に示すように、排気ヘッダ303は、気化した機能液の有機溶剤を含む有機ガスを排気する有機系ヘッダ(処理が必要)であり、上記ヘッドユニット22の搬入側に位置して架台11の脚部廻りに配されている。具体的には、架台11におけるヘッドユニット22搬入側の側面には、レギュレータキャビネットEが取り付けられており、排気ヘッダ303は、このレギュレータキャビネットEの両側面から下方に延びるチャンネル材F,Fに左右一対の配管バンドG,Gを介して支持されている。また、詳細な説明は省略するが、排気ヘッダ303には、左右一対のダブル配管バンドH,Hを介して一般系ヘッダ307が取り付けられている。
【0102】
排気ヘッダ303には、図示左側から、予備用の第1ポート398A、上記の塵埃排気手段304に連なる第2ポート398B、真空吸引装置の真空ポンプに連なる第3ポート398C、第2横引きチューブ342が接続された第4ポート398D、第3横引きチューブ349が接続された第5ポート398E、第7横引きチューブ377が接続された第6ポート398F、第6横引きチューブ370が接続された第7ポート398G、第5横引きチューブ363が接続された第8ポート398H、第4横引きチューブ356が接続された第9ポート398I、第1横引きチューブ335が接続された第10ポート398J、第8横引きチューブ383が接続された第11ポート398K、第9横引きチューブ390が接続された第12ポート398Lおよび第10横引きチューブ395が接続された第13ポート398Mが形成されている。また、排気ヘッダ303の図示右小口端は、予備用の第14ポート398Nとなっている。
【0103】
このような構成では、塵埃排気手段304の駆動により、各集塵カバー301内のエアー(実際には有機ガス)は、各排気チューブ302を介して排気ヘッダ303で合流し、この排気ヘッダ303から塵埃排気手段304に吸引(真空吸引)される。このように、複数の排気チューブ302をその下流端に設けた排気ヘッダ303を介して吸引するようにしているため、各集塵カバー301内のエアーをバランス良く吸引することができる。なお、排気チューブ302に代えてパイプを用いるようにしてもよい。
【0104】
ところで、本実施形態の液滴吐出装置1は、各種の材料からなる機能液を用いることで、各種の電気光学装置(デバイス)の製造に用いることができる。すなわち、液晶表示装置、有機EL装置、PDP装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。もちろん、液晶表示装置等に用いるカラーフィルタの製造にも適用することができる。また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。そして、これらの電気光学装置を備えた電子機器、例えばフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話を提供することができる。
【0105】
そこで、この液滴吐出装置1を用いた製造方法を、液晶表示装置の製造方法および有機EL装置の製造方法を例に説明し、他のデバイスについても簡単に説明する。
【0106】
図31は、液晶表示装置の断面図である。同図に示すように、液晶表示装置450は、上下の偏光板462、467間に、カラーフィルタ400と対向基板466とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物465を封入することにより構成されている。また、カラーフィルタ400および対向基板466間には、配向膜461、464が構成され、対向基板466の内側の面には、TFT(薄膜トランジスタ)素子(図示せず)と画素電極463とがマトリクス状に形成されている。
【0107】
カラーフィルタ400は、マトリクス状に並んだ画素(フィルタエレメント)を備え、画素と画素の境目は、バンク413により区切られている。画素の1つ1つには、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかのフィルタ材料(機能液)が導入されている。すなわち、カラーフィルタ400は、透光性の基板411(ワークW)と、遮光性のバンク413とを備えている。バンク413が形成されていない(除去された)部分は上記画素を構成し、この画素に導入された各色のフィルタ材料は着色層421を構成する。バンク413及び着色層421の上面には、オーバーコート層422及び電極層423が形成されている。
【0108】
そして、本実施形態の液滴吐出装置1では、バンク413で区切られて形成された画素内に、液滴吐出ヘッド21により、R・G・B各色の機能液を着色層形成領域毎に選択的に吐出している。そして、塗布した機能液を乾燥させることにより、成膜部となる着色層421を得るようにしている。また、液滴吐出装置1では、液滴吐出ヘッド21により、オーバーコート層422など各種の成膜部を形成している。もちろん、ヘッドZ軸テーブル155により、基板411の厚みに対応したワークギャップに調整されている。
【0109】
同様に、図32を参照して、有機EL装置とその製造方法を説明する。同図に示すように、有機EL装置500は、ガラス基板501(ワークW)上に回路素子部502が積層され、回路素子部502上に主体を為す有機EL素子504が積層されている。また有機EL素子504の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板505が形成されている。
【0110】
有機EL素子504には、無機物バンク層512aおよびこれに重ねた有機物バンク層512bによりバンク512が形成され、このバンク512により、マトリクス状の画素が画成されている。そして、各画素内には、下側から画素電極511、R・G・Bいずれかの発光層510bおよび正孔注入/輸送層510aが積層され、且つ全体がCaやAl等の薄膜を複数層に亘って積層した対向電極503で覆われている。
【0111】
そして、本実施形態の液滴吐出装置1では、R・G・Bの各発光層510bおよび正孔注入/輸送層510aの成膜部を形成するようにしている。また、液滴吐出装置1では、正孔注入/輸送層510aを形成した後に、液滴吐出ヘッド21に導入する機能液としてCaやAl等の液体金属材料を用いて、対向電極503を形成する等している。もちろん、ヘッドZ軸テーブル155により、基板501の厚みに対応したワークギャップに調整されている。
【0112】
そして、以下に示すデバイスの製造方法において、ヘッドZ軸テーブル155により、ワークW(基板)の厚みに対応したワークギャップに調整されている。
【0113】
すなわち、PDP装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド21にR、G、B各色の蛍光材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド21を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板(ワークW)上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。
【0114】
電気泳動表示装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド21に各色の泳動体材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド21を主走査および副走査し、泳動体材料を選択的に吐出して、電極(ワークW)上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。なお、帯電粒子と染料とからなる泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが好ましい。
【0115】
金属配線形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド21に液状金属材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド21を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板(ワークW)上に金属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記有機EL装置におけるTFT等と各電極とを接続する金属配線に適用してこれらのデバイスを製造することができる。また、この種のフラットパネルディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることは言うまでもない。
【0116】
レンズの形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド21にレンズ材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド21を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板(ワークW)上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記FED装置におけるビーム収束用のデバイスを製造する場合に適用可能である。また、各種光デバイスの製造技術にも適用可能である。
【0117】
レンズの製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド21に透光性のコーティング材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド21を主走査および副走査し、コーティング材料を選択的に吐出して、レンズの表面にコーティング膜を形成する。
【0118】
レジスト形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド21にレジスト材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド21を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板(ワークW)上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置におけるバンクの形成はもとより、半導体製造技術の主体をなすフォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
【0119】
光拡散体形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド21に光拡散材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド21を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して、基板(ワークW)上に多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【0120】
【発明の効果】
以上のように、本発明の塵埃排気装置およびこれを備えた液滴吐出装置によれば、集塵カバーに連なる複数の排気管路を排気ヘッダで合流させるようにしているため、複数の集塵カバーから塵埃を効率良く排気することができ、装置の信頼性を高めることができる。
【0121】
本発明の電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器によれば、信頼性ある液滴吐出装置により製造されるため、結果物である電気光学装置、その製造方法および電子機器の信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態に係る液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図2】実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図3】実施形態に係る液滴吐出装置の左側面図である。
【図4】実施形態に係る液滴吐出装置の描画動作を模式的に示す説明図である。
【図5】実施形態に係るY軸テーブルおよびワークテーブルを示す平面図である。
【図6】実施形態に係るY軸テーブルおよびワークテーブルを示す正面図である。
【図7】実施形態に係るワークテーブルを示す側面図である。
【図8】実施形態に係るX軸テーブルおよびメインキャリッジを示す外観斜視図である。
【図9】実施形態に係るX軸テーブルおよびメインキャリッジを示す正面図である。
【図10】実施形態に係るX軸テーブルおよびメインキャリッジの要部を示す平面図である。
【図11】実施形態に係るヘッドユニットの主要部を示す平面図である。
【図12】(a)実施形態に係る液滴吐出ヘッドの斜視図、(b)液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図13】実施形態に係るメインキャリッジを示す斜視図である。
【図14】実施形態に係るメインキャリッジを示す分解斜視図である。
【図15】実施形態に係るキャリッジテーブルを示す図であり、(a)分解斜視図、(b)組立て図である。
【図16】図13に示すメインキャリッジに集塵カバーを取り付けた状態を示す分解斜視図である。
【図17】本発明の塵埃排気装置を表した系統図である。
【図18】実施形態に係るY軸テーブルの斜視図である。
【図19】実施形態に係るX軸テーブルの拡大正面図である。
【図20】実施形態に係るX軸テーブルの拡大断面図である。
【図21】実施形態に係るX軸テーブルを右斜めから見た斜視図である。
【図22】実施形態に係るX軸テーブルのケーブルベアを露出させて右斜めから見た斜視図である。
【図23】実施形態に係るX軸テーブルを左斜めから見た斜視図である。
【図24】実施形態に係るX軸テーブルのケーブルベアを露出させて右斜めから見た斜視図である。
【図25】実施形態に係るヘッドZ軸テーブル廻りの斜視図である。
【図26】実施形態に係るカメラユニットの斜視図である。
【図27】実施形態に係る液滴吐出装置の左側面図である。
【図28】実施形態に係る架台の脚部廻りの配管構造図である。
【図29】実施形態に係る排気ヘッダ廻りの斜視図である。
【図30】実施形態に係る排気ヘッダ廻りの平面図である。
【図31】本発明の製造方法を用いて製造した液晶表示装置の断面図である。
【図32】本発明の製造方法を用いて製造した有機EL装置の断面図である。
【符号の説明】
1 液滴吐出装置 2 吐出手段
11 架台 21 液滴吐出ヘッド
22 ヘッドユニット 24 X軸テーブル
25 Y軸テーブル 38 流体用Y軸ケーブルベア
83 X軸リニアモータ 85 X軸リニアガイド
95 左部X軸ケーブルベア 96 流体用X軸ケーブルベア
97 左部X軸ケーブルベア 98 サブX軸ケーブルベア
107 カメラユニット 154 ヘッドθテーブル
155 ヘッドZ軸テーブル 300 塵埃排気装置
301 集塵カバー 302 排気チューブ
303 排気ヘッダ 304 塵埃排気手段
311 Y軸流体集塵カバー 312 左X軸集塵カバー
313 X軸流体集塵カバー 314 右X軸集塵カバー
315 サブX軸集塵カバー 316 ガイド集塵カバー
317 モータ集塵カバー 318 第1ヘッド集塵カバー
319 第2ヘッド集塵カバー 320 カメラ集塵カバー
335 第1横引きチューブ 342 第2横引きチューブ
349 第3横引きチューブ 356 第4横引きチューブ
363 第5横引きチューブ 370 第6横引きチューブ
377 第7横引きチューブ 383 第8横引きチューブ
390 第9横引きチューブ 395 第10横引きチューブ
400 液晶表示装置 500 有機EL装置
W ワーク[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a droplet discharge device that collects dust generated in a movable mechanism of a drawing apparatus and exhausts it outside the apparatus. In place It is related.
[0002]
[Prior art]
In a conventional inkjet recording apparatus applied to a color filter manufacturing apparatus, a slider equipped with a drawing head (inkjet head), a guide rail, two sets of linear actuators, and two sets of lead screws are collectively covered with a dust collecting cover, There is known a dust exhaust device in which the dust collection cover is connected to an exhaust tube connected to a vacuum suction device (for example, see Patent Document 1).
[0003]
[Patent Document 1]
JP 2001-317604 A (page 7, FIG. 8)
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
In such a conventional dust exhaust device, since a plurality of movable mechanisms are collectively covered with the dust collection cover, for example, dust generated at the meshing portion of the lead screw (ball screw) is discharged before being exhausted. There is a possibility of adhering to the guide rail, and it is assumed that a sufficient dust collecting effect cannot be obtained even if vacuum suction is performed.
Therefore, it is conceivable to individually cover these movable mechanisms that may generate dust with a dust collection cover and exhaust them individually. However, if a plurality of exhaust tubes connected to these individual covers are simply connected, a movable mechanism that can achieve sufficient vacuum due to a short circuit caused by the difference in pressure loss between the individual dust collection covers and exhaust tubes. And a movable mechanism which is not sufficiently performed is assumed.
[0005]
The present invention relates to a droplet discharge device capable of efficiently exhausting dust generated by a plurality of movable mechanisms of a drawing apparatus. Place The issue is to provide.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
Droplet discharge device of the present invention Is ,work When Functional droplet discharge head When From the functional droplet discharge head To work Selective ejection of functional droplets Do Drawing device When, Drawing device Formed into a plurality Movable mechanism From Exhaust the generated dust outside the equipment. Dust Dust exhaust device And a droplet discharge device having A plurality of dust collecting covers respectively covering the plurality of movable mechanisms, a plurality of exhaust pipe lines communicating with the respective dust collection covers, an exhaust header for joining the plurality of exhaust pipe lines at the downstream end, and dust connected to the exhaust header And an exhaust means The at least one movable mechanism of the plurality of movable mechanisms is a cable carrier that moves with relative movement and that has one end fixed and the other end movable. It is characterized by that.
[0007]
According to this configuration, when the dust exhaust means is driven, the dust generated by the plurality of movable mechanisms of the drawing apparatus is joined from the dust collection covers through the exhaust pipes at the exhaust header, and the dust exhaust from the exhaust header. Sucked into the means. In this case, since a plurality of exhaust pipes are merged by the exhaust header at the downstream end thereof, and the air in the exhaust header is sucked by the dust exhaust means, a short circuit of suction air or the like hardly occurs, Dust can be sucked in a well-balanced manner from the dust collection cover. Further, by using the exhaust header, it is possible to easily increase or decrease the suction location (dust collection cover). The exhaust header and the dust exhaust means may be composed of a plurality of ones, but it is more preferable that they are composed of a single one in consideration of cost.
[0008]
In this case, the exhaust header is disposed around the leg portion of one side of the gantry, and the main horizontal pulling conduit of each exhaust conduit reaching the exhaust header is: Place the drawing device It is preferable that piping is provided around the legs of the gantry.
[0009]
According to this configuration, the empty space around the drawing device can be effectively utilized by piping the exhaust header and the main horizontal pipe line of each exhaust pipe around the legs of the frame having a relatively empty space. Can do. In addition, interference between the drawing device and the exhaust pipe can be prevented, and the exhaust pipe does not interfere with other components.
[0010]
In these cases, it is preferable that at least one dust collection cover of the plurality of dust collection covers is provided with exhaust ports communicating with the exhaust pipe lines at both ends in the longitudinal direction.
[0011]
According to this structure, the air containing the dust in a dust collection cover can be exhausted efficiently. The connection structure between the dust collection cover and the exhaust pipe can be simplified.
[0012]
Similarly, it is preferable that at least one dust collection cover of the plurality of dust collection covers is provided with a large number of exhaust ports communicating with the exhaust pipe line in the longitudinal direction.
[0013]
According to this configuration, when the dust generation part of the movable mechanism continues in the longitudinal direction of the dust collection cover, the air containing the dust in the dust collection cover can be efficiently exhausted.
[0014]
In these cases, the drawing apparatus has a Y-axis table that moves the workpiece in the Y-axis direction, Carrier It is preferable that a Y-axis fluid tube carrier, which is attached to the Y-axis table and supports the fluid tube with one end fixed and the other end movable, is preferably included.
[0015]
According to this configuration, as the Y-axis table moves, the movable side of the Y-axis fluid tube carrier that carries the fluid tube moves. At that time, the dust generated from the Y-axis fluid tube carrier itself, the contact portion between the Y-axis fluid tube carrier and the base plate, and the contact portion between the Y-axis fluid tube carrier and the fluid tube is removed from the air in the dust collecting cover. It is exhausted with.
[0016]
In these cases, the drawing apparatus has an X-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction, Carrier Preferably includes an X-axis cable carrier that is attached to the X-axis table and carries the cable with one end fixed and the other end movable.
[0017]
According to this configuration, as the X-axis table moves, the movable side of the X-axis cable carrier that carries the cable moves. At that time, the dust generated from the X-axis cable carrier itself, the contact portion between the X-axis cable carrier and the base plate, and the contact portion between the X-axis cable carrier and the cable is exhausted together with the air in the dust collection cover. .
[0018]
In these cases, the drawing apparatus has an X-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction, Carrier It is preferable that an X-axis fluid tube carrier which is attached to the X-axis table and holds the fluid tube with one end fixed and the other end movable is preferably included.
[0019]
According to this configuration, as the X-axis table moves, the movable side of the X-axis fluid tube carrier that carries the fluid tube moves. At that time, the dust generated from the X-axis fluid tube carrier itself, the contact portion between the X-axis fluid tube carrier and the base plate, and the contact portion between the X-axis fluid tube carrier and the fluid tube is removed from the air in the dust collecting cover. It is exhausted with.
[0020]
In these cases, the drawing apparatus has an X-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction, and the plurality of movable mechanisms include a slider sliding contact portion of the X-axis table and its linear guide. And more It is preferable that it is contained.
[0021]
According to this configuration, as the X-axis table moves, the slider of the X-axis table moves while being guided by the linear guide. At that time, the dust generated from the sliding contact portion between the slider sliding contact portion and the linear guide of the slider that is in sliding contact with each other is exhausted together with the air in the dust collecting cover.
[0022]
In these cases, the drawing apparatus has an X-axis table that moves the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction, and a linear actuator of the X-axis table is included in the plurality of movable mechanisms. And more It is preferable that it is contained.
[0023]
According to this configuration, the dust generated from the linear actuator is exhausted together with the air in the dust collection cover as described above.
[0024]
In these cases, the drawing apparatus has a head Z-axis table that moves the functional liquid droplet ejection head in the Z-axis direction, and the head Z-axis table is included in the plurality of movable mechanisms. And more It is preferable that it is contained.
[0025]
According to this configuration, the dust generated from the head Z-axis table is exhausted together with the air in the dust collection cover, as described above.
[0026]
In these cases, the drawing apparatus has a head θ table that moves the functional liquid droplet ejection head in the θ direction, and the plurality of movable mechanisms include the head θ table. And more It is preferable that it is contained.
[0027]
According to this configuration, similarly to the above, dust generated from the head θ table is exhausted together with the air in the dust collection cover.
[0028]
In these cases, the drawing apparatus includes a camera that captures an image of a workpiece, and a camera Z-axis table that moves the camera in the Z-axis direction. And more It is preferable that it is contained.
[0029]
According to this configuration, the dust generated from the camera Z-axis table is exhausted together with the air in the dust collection cover, as described above.
[0037]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a droplet discharge device of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. This droplet discharge device is incorporated in a production line for flat panel displays such as organic EL devices and liquid crystal display devices, and a functional liquid such as a luminescent material from a droplet discharge head to a substrate (work) by an inkjet method. Drawing is performed by selectively discharging droplets to form a desired film forming portion on the substrate.
[0038]
As shown in FIGS. 1 to 3, the
[0039]
Discharge means 2 is widely disposed on the
[0040]
The ejection means 2 supports a head unit 22 (see: FIG. 11) having a plurality of droplet ejection heads 21, a main carriage 23 (see: FIG. 13) holding the
[0041]
The X-axis table 24 is attached to the
[0042]
Specifically, as shown in FIG. 4, the
[0043]
In the present embodiment, the workpiece W is moved in the main scanning direction with respect to the
[0044]
Next, each component device of the
[0045]
As shown in FIGS. 3, 5, and 6, the Y-axis table 25 is a pair of Y-
[0046]
The pair of Y-axis guide rails 32 and the pair of Y-axis
[0047]
By driving the Y-axis
[0048]
As shown in FIGS. 5 to 7, the work table 26 includes a
[0049]
The suction table 43 has a plurality of mounting
[0050]
The work Θ-axis table 42 includes a rotating
[0051]
Each
[0052]
The elevating
[0053]
For example, as shown in FIG. 7A, the height level of the upper end of the
[0054]
Further, as shown in FIG. 5B, the height level of the upper end of the
[0055]
That is, since the workpiece W introduced into the
[0056]
The functional liquid received in the
[0057]
As shown in FIGS. 8 to 10, the X-axis table 24 is supported so as to straddle the Y-axis table 25 via the
[0058]
The
[0059]
By driving the X-axis
[0060]
The
[0061]
On the
[0062]
[0063]
FIG. 11 is a plan view showing the main part of the
[0064]
The twelve droplet discharge heads 21 are divided into two rows of six, and are arranged apart from each other in the main scanning direction (Y-axis direction). In addition, each
[0065]
On one side of the sub-carriage 121, a pipe joint 125 for pipe-connecting each
[0066]
With such a configuration, the functional liquid is pressure-supplied from the
[0067]
As shown in FIG. 12, the
[0068]
Each
[0069]
In the
[0070]
As shown in FIGS. 13 and 14, the
[0071]
The carriage table 152 includes a head Θ table 154 connected to the upper part of the
[0072]
As shown in FIG. 15, the head Z-axis table 155 includes a Z-
[0073]
The
[0074]
The Z-
[0075]
In this case, the fixing position of the
[0076]
As described above, in consideration of the weight balance of the Z-
[0077]
Each
[0078]
The Z-
[0079]
As shown in FIG. 13A, a
[0080]
As shown in FIGS. 13 and 14, the head Θ table 154 includes a fixed
[0081]
As described above, the head Θ table 154 connects the Z-
[0082]
As shown in FIG. 16, the movable part of the head Z-axis table 155 is covered with a dust collection cover, and, like the X-axis
[0083]
The carriage
[0084]
The
[0085]
When the
[0086]
The replacement operation including the carry-in of the
[0087]
Next, the
[0088]
The plurality of dust collecting covers 301 includes a pair of Y-axis fluid dust collecting covers 311 (see FIG. 18) covering the pair of fluid Y-axis cable bears 38 and a left X-axis
[0089]
As shown in FIG. 18, each Y-axis fluid
[0090]
As shown in FIGS. 17 and 19 to 24, the left X-axis
[0091]
The X-axis fluid
[0092]
The right X-axis
[0093]
The sub-X-axis
[0094]
The guide
[0095]
The motor
[0096]
As shown in FIGS. 17 and 25, the first head
[0097]
The second head
[0098]
As shown in FIGS. 17 and 26, the camera
[0099]
Thus, the second horizontal pulling
[0100]
For example, as shown in FIG. 28, the left tube group A is piped so as to be banded to the left bracket C provided around the left leg of the
[0101]
As shown in FIGS. 17, 29, and 30, the
[0102]
From the left side of the figure, the
[0103]
In such a configuration, by driving the dust exhaust means 304, the air (actually organic gas) in each
[0104]
By the way, the
[0105]
Therefore, a manufacturing method using the
[0106]
FIG. 31 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device. As shown in the figure, the liquid
[0107]
The
[0108]
In the
[0109]
Similarly, an organic EL device and a manufacturing method thereof will be described with reference to FIG. As shown in the figure, in the
[0110]
In the
[0111]
In the
[0112]
In the device manufacturing method described below, the head Z-axis table 155 is adjusted to a work gap corresponding to the thickness of the work W (substrate).
[0113]
That is, in the method for manufacturing a PDP apparatus, fluorescent materials of R, G, and B colors are introduced into a plurality of droplet discharge heads 21, and the plurality of droplet discharge heads 21 are main-scanned and sub-scanned to selectively select the fluorescent material. The phosphors are respectively formed in a large number of recesses on the rear substrate (work W).
[0114]
In the method of manufacturing the electrophoretic display device, each color of the electrophoretic material is introduced into the plurality of liquid droplet ejection heads 21, and the plurality of liquid droplet ejection heads 21 are main-scanned and sub-scanned to selectively eject the electrophoretic material. Thus, phosphors are respectively formed in a large number of recesses on the electrode (work W). In addition, it is preferable that the migrating body composed of the charged particles and the dye is enclosed in a microcapsule.
[0115]
In the metal wiring forming method, a liquid metal material is introduced into a plurality of droplet discharge heads 21, the plurality of droplet discharge heads 21 are main-scanned and sub-scanned, and the liquid metal material is selectively discharged to form a substrate (workpiece). W) A metal wiring is formed thereon. For example, these devices can be manufactured by applying to a metal wiring connecting the driver and each electrode in the liquid crystal display device or a metal wiring connecting the TFT and the like in the organic EL device to each electrode. In addition to this type of flat panel display, it goes without saying that it can be applied to general semiconductor manufacturing techniques.
[0116]
In the lens forming method, a lens material is introduced into a plurality of droplet discharge heads 21, the plurality of droplet discharge heads 21 are main-scanned and sub-scanned, and the lens material is selectively discharged to form a transparent substrate (work W ) A large number of microlenses are formed thereon. For example, the present invention is applicable when manufacturing a beam focusing device in the FED apparatus. Moreover, it is applicable also to the manufacturing technology of various optical devices.
[0117]
In the lens manufacturing method, a translucent coating material is introduced into a plurality of droplet discharge heads 21, the plurality of droplet discharge heads 21 are subjected to main scanning and sub-scanning, and the coating material is selectively discharged to form a lens. A coating film is formed on the surface.
[0118]
In the resist forming method, a resist material is introduced into a plurality of droplet discharge heads 21, the plurality of droplet discharge heads 21 are main-scanned and sub-scanned, and a resist material is selectively discharged onto the substrate (work W). A photoresist having an arbitrary shape is formed. For example, in addition to the formation of banks in the various display devices described above, the present invention can be widely applied to the application of a photoresist in a photolithography method that forms the main body of semiconductor manufacturing technology.
[0119]
In the light diffusing body forming method, a light diffusing material is introduced into a plurality of droplet discharge heads 21, the plurality of droplet discharge heads 21 are main-scanned and sub-scanned, and a light diffusing material is selectively discharged to form a substrate ( A number of light diffusers are formed on the workpiece W). It goes without saying that this case is also applicable to various optical devices.
[0120]
【The invention's effect】
As described above, according to the dust exhaust device of the present invention and the droplet discharge device including the dust exhaust device, a plurality of exhaust pipe lines connected to the dust collection cover are joined by the exhaust header. Dust can be efficiently exhausted from the cover, and the reliability of the device can be improved.
[0121]
According to the electro-optical device, the method of manufacturing the electro-optical device, and the electronic apparatus of the present invention, the electro-optical apparatus as a result, the manufacturing method thereof, and the reliability of the electronic apparatus are manufactured by the reliable droplet discharge device. Can be increased.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an external perspective view of a droplet discharge device according to an embodiment.
FIG. 2 is a plan view of the droplet discharge device according to the embodiment.
FIG. 3 is a left side view of the droplet discharge device according to the embodiment.
FIG. 4 is an explanatory diagram schematically illustrating a drawing operation of the droplet discharge device according to the embodiment.
FIG. 5 is a plan view showing a Y-axis table and a work table according to the embodiment.
FIG. 6 is a front view showing a Y-axis table and a work table according to the embodiment.
FIG. 7 is a side view showing a work table according to the embodiment.
FIG. 8 is an external perspective view showing an X-axis table and a main carriage according to the embodiment.
FIG. 9 is a front view showing an X-axis table and a main carriage according to the embodiment.
FIG. 10 is a plan view showing main parts of an X-axis table and a main carriage according to the embodiment.
FIG. 11 is a plan view showing a main part of the head unit according to the embodiment.
12A is a perspective view of a droplet discharge head according to an embodiment, and FIG. 12B is a cross-sectional view of a main part of the droplet discharge head.
FIG. 13 is a perspective view showing a main carriage according to the embodiment.
FIG. 14 is an exploded perspective view showing a main carriage according to the embodiment.
FIGS. 15A and 15B are views showing a carriage table according to the embodiment, in which FIG. 15A is an exploded perspective view and FIG. 15B is an assembled view;
16 is an exploded perspective view showing a state in which a dust collection cover is attached to the main carriage shown in FIG.
FIG. 17 is a system diagram showing the dust exhaust device of the present invention.
FIG. 18 is a perspective view of a Y-axis table according to the embodiment.
FIG. 19 is an enlarged front view of the X-axis table according to the embodiment.
FIG. 20 is an enlarged cross-sectional view of an X-axis table according to the embodiment.
FIG. 21 is a perspective view of the X-axis table according to the embodiment as viewed from the right side.
FIG. 22 is a perspective view of the X-axis table cable bear according to the embodiment exposed from an oblique right side.
FIG. 23 is a perspective view of the X-axis table according to the embodiment as viewed from the left side.
FIG. 24 is a perspective view of the X-axis table according to the embodiment exposed from an oblique right side with the cable bear exposed.
FIG. 25 is a perspective view around the head Z-axis table according to the embodiment.
FIG. 26 is a perspective view of a camera unit according to the embodiment.
FIG. 27 is a left side view of the droplet discharge device according to the embodiment.
FIG. 28 is a piping structure diagram around the legs of the gantry according to the embodiment.
FIG. 29 is a perspective view around the exhaust header according to the embodiment.
FIG. 30 is a plan view around the exhaust header according to the embodiment.
FIG. 31 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device manufactured using the manufacturing method of the present invention.
FIG. 32 is a cross-sectional view of an organic EL device manufactured using the manufacturing method of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
11
22
25 Y-axis table 38 Y-axis cable carrier for fluid
83 X-axis
95 Left
97 Left
155 Head Z-axis table 300 Dust exhaust device
301
303
311 Y-axis fluid
313 X-axis
315 Sub X-axis
317
319 Second
335 First
349 Third horizontal pulling
363 Fifth pulling
377 7th
390 Nine horizontal pulling
400 Liquid
W Work
Claims (12)
前記複数の可動機構をそれぞれ覆う複数の集塵カバーと、
前記各集塵カバーに連通した複数の排気管路と、
前記複数の排気管路を下流端において合流させる排気ヘッダと、
前記排気ヘッダに連なる塵埃排気手段と、を備え、
前記複数の可動機構の少なくとも1つの前記可動機構が、前記相対的な移動に伴って移動し、且つ一端が固定され、他端が可動するケーブルの担持体であることを特徴とする液滴吐出装置。 While relatively moving the workpiece and the functional liquid droplet ejecting heads, the functional liquid and drawing device for selectively discharging the functional liquid droplet to the workpiece from the droplet discharge head, a plurality of composed formed before Symbol drawing device in the droplet ejection apparatus having a dust dust exhaust device you exhaust the dust generated from the moving mechanism to the outside of the apparatus, and
A plurality of dust collecting covers respectively covering the plurality of movable mechanisms;
A plurality of exhaust pipe lines communicating with each dust collecting cover;
An exhaust header for joining the plurality of exhaust pipes at the downstream end; and
A dust exhaust means connected to the exhaust header ,
At least one of the plurality of movable mechanisms is a cable carrier that moves with the relative movement and that has one end fixed and the other end movable. equipment.
前記排気ヘッダに至る前記各排気管路の主横引き管路は、前記描画装置を載置する架台の脚部廻りに配管されていることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。 The exhaust header is disposed around a leg of one side of the gantry,
2. The droplet discharge device according to claim 1, wherein a main horizontal pulling conduit of each of the exhaust conduits leading to the exhaust header is piped around a leg portion of a gantry on which the drawing device is placed. Place.
前記担持体には、前記Y軸テーブルに添設され、一端を固定とし他端を可動として流体用チューブを担持するY軸流体チューブ担持体が含まれていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing device has a Y-axis table moving the workpiece in the Y-axis direction,
Wherein the bearing member, wherein are additionally provided in the Y-axis table, claims 1, characterized in that Y-axis fluid tube carrying member for carrying a fluid tube is included as movable other end to one end fixed droplet discharge equipment as claimed in any one of the four.
前記担持体には、前記X軸テーブルに添設され、一端を固定とし他端を可動としてケーブルを担持するX軸ケーブル担持体が含まれていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing apparatus has an X-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction,
Wherein the carrier is one wherein the additionally provided to the X-axis table, of claims 1, characterized in that the X-axis cable carrier for carrying the cable is included as movable other end to one end fixed to 5 droplet discharge equipment crab according.
前記担持体には、前記X軸テーブルに添設され、一端を固定とし他端を可動として流体用チューブを担持するX軸流体チューブ担持体が含まれていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing apparatus has an X-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction,
Wherein the bearing member, wherein are additionally provided to the X-axis table, we claim 1, characterized in that the X-axis fluid tube carrying member for carrying a fluid tube is included as movable other end to one end fixed droplet discharge equipment as claimed in any one of 6.
前記複数の可動機構には、前記X軸テーブルのスライダ摺接部およびそのリニアガイドが、更に含まれていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing apparatus has an X-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction,
The plurality of movable mechanism, the droplet discharge equipment as claimed in any one of claims 1 to 7 slider sliding portion and its linear guide of the X-axis table, characterized in that it further includes.
前記複数の可動機構には、前記X軸テーブルのリニアアクチュエータが、更に含まれていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing apparatus has an X-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction,
The plurality of movable mechanism, the droplet discharge equipment as claimed in any one of claims 1 to 8 linear actuator of the X-axis table, characterized in that it further includes.
前記複数の可動機構には、前記ヘッドZ軸テーブルが、更に含まれていることを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing apparatus has a head Z-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the Z-axis direction,
The plurality of movable mechanism, the droplet discharge equipment as claimed in any one of claims 1 to 9, wherein the head Z-axis table, characterized in that it further includes.
前記複数の可動機構には、前記ヘッドθテーブルが、更に含まれていることを特徴とする請求項1ないし10のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing apparatus has a head θ table that moves the functional liquid droplet ejection head in the θ direction,
The plurality of movable mechanism, the droplet discharge equipment as claimed in any one of claims 1 to 10 wherein the head θ table, characterized in that it further includes.
前記複数の可動機構には、前記カメラZ軸テーブルが、更に含まれていることを特徴とする請求項1ないし11のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing device has a camera for imaging the workpiece, a camera Z-axis table for moving the camera in the Z-axis direction,
The plurality of movable mechanism, the droplet discharge equipment as claimed in any one of claims 1 to 11 wherein the camera Z-axis table, characterized in that it further includes.
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