JP4348990B2 - Droplet discharge device - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、描画装置の可動機構に発生した塵埃を集塵し装置外に排気する液滴吐出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
カラーフィルタの製造装置に適用した従来のインクジェット記録装置では、描画ヘッド（インクジェットヘッド）を搭載したスライダ、ガイドレールおよび２組のリニアアクチュエータおよび２組のリードねじを一括して集塵カバーで覆い、この集塵カバーを、バキューム吸引装置に連なる排気チューブに接続した塵埃排気装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−３１７６０４号公報（第７頁、図８）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の塵埃排気装置では、複数の可動機構を集塵カバーで一括して覆っているため、例えばリードねじ（ボールねじ）の噛合い部分で発塵した塵埃が、排気される前にガイドレールに付着する可能性があり、バキューム吸引を行なっても、十分な集塵効果が得られないことが想定される。
そこで、発塵の可能性のあるこれら可動機構を個別に集塵カバーで覆い、且つ個別に排気を行うことが考えられる。しかし、これら個別カバーに接続した複数の排気チューブを単純に接続すると、個々の集塵カバーおよび排気チューブにおける圧力損失の相違により、ショートサーキットが生ずるなどして、バキュームが十分に為される可動機構と、十分に為されない可動機構とが生ずる問題が想定される。
【０００５】
本発明は、描画装置の複数の可動機構で発塵した塵埃を効率良く排気することができる液滴吐出装置を提供することをその課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出装置は、ワークと機能液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドからワークに機能液滴を選択的に吐出する描画装置と、描画装置に形成されてなる複数の可動機構から発生した塵埃を装置外に排気する塵埃排気装置と、を有する液滴吐出装置において、複数の可動機構をそれぞれ覆う複数の集塵カバーと、各集塵カバーに連通した複数の排気管路と、複数の排気管路を下流端において合流させる排気ヘッダと、排気ヘッダに連なる塵埃排気手段と、を備え、複数の可動機構の少なくとも１つの可動機構が、相対的な移動に伴って移動し、且つ一端が固定され、他端が可動するケーブルの担持体であることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、塵埃排気手段が駆動すると、描画装置の複数の可動機構で発塵した塵埃は、各集塵カバーから各排気管路を通って排気ヘッダで合流し、排気ヘッダから塵埃排気手段に吸引される。この場合、複数の排気管路をその下流端において排気ヘッダにより合流させ、この排気ヘッダ内のエアーを塵埃排気手段で吸引するようにしているため、吸引エアーのショートサーキット等が生じ難く、複数の集塵カバーから塵埃をバランス良く吸引することができる。また、排気ヘッダを用いることにより、吸引箇所（集塵カバー）の増減を簡単に行うことができる。なお、排気ヘッダおよび塵埃排気手段は、複数のもので構成してもよいが、コストを考慮すると単一のもので構成することが、より好ましい。
【０００８】
この場合、排気ヘッダは、架台の１の辺の脚部廻りに配設され、排気ヘッダに至る各排気管路の主横引き管路は、描画装置を載置する架台の脚部廻りに配管されていることが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、比較的空きスペースのある架台の脚部廻りに、排気ヘッダおよび各排気管路の主横引き管路を配管することにより、描画装置廻りの空きスペースを有効に活用することができる。また、描画装置と排気管路との干渉を防止することができ、排気管路が他の構成装置の邪魔になることがない。
【００１０】
これらの場合、複数の集塵カバーの少なくとも１つの集塵カバーには、その長手方向の両端部に排気管路に連通する排気口がそれぞれ配設されていることが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、集塵カバー内の塵埃を含むエアーを、効率良く排気することができる。集塵カバーと排気管路との接続構造を単純化することができる。
【００１２】
同様に、複数の集塵カバーの少なくとも１つの集塵カバーには、その長手方向に亘って排気管路に連通する多数の排気口が配設されていることが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、可動機構の発塵部位が集塵カバーの長手方向に連続する場合に、集塵カバー内の塵埃を含むエアーを、効率良く排気することができる。
【００１４】
これらの場合、描画装置は、ワークをＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブルを有し、担持体には、Ｙ軸テーブルに添設され、一端を固定とし他端を可動として流体用チューブを担持するＹ軸流体チューブ担持体が含まれていることが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、Ｙ軸テーブルの移動に伴って、流体用チューブを担持するＹ軸流体チューブ担持体の可動側が移動する。その際、Ｙ軸流体チューブ担持体自体、Ｙ軸流体チューブ担持体とベースプレートとの接触部分およびＹ軸流体チューブ担持体と流体チューブとの接触部分から発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【００１６】
これらの場合、描画装置は、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルを有し、担持体には、Ｘ軸テーブルに添設され、一端を固定とし他端を可動としてケーブルを担持するＸ軸ケーブル担持体が含まれていることが、好ましい。
【００１７】
この構成によれば、Ｘ軸テーブルの移動に伴って、ケーブルを担持するＸ軸ケーブル担持体の可動側が移動する。その際、Ｘ軸ケーブル担持体自体、Ｘ軸ケーブル担持体とベースプレートとの接触部分およびＸ軸ケーブル担持体とケーブルとの接触部分から発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【００１８】
これらの場合、描画装置は、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルを有し、担持体には、Ｘ軸テーブルに添設され、一端を固定とし他端を可動として流体用チューブを担持するＸ軸流体チューブ担持体が含まれていることが、好ましい。
【００１９】
この構成によれば、Ｘ軸テーブルの移動に伴って、流体用チューブを担持するＸ軸流体チューブ担持体の可動側が移動する。その際、Ｘ軸流体チューブ担持体自体、Ｘ軸流体チューブ担持体とベースプレートとの接触部分およびＸ軸流体チューブ担持体と流体チューブとの接触部分から発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【００２０】
これらの場合、描画装置は、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルを有し、複数の可動機構には、Ｘ軸テーブルのスライダ摺接部およびそのリニアガイドが、更に含まれていることが、好ましい。
【００２１】
この構成によれば、Ｘ軸テーブルの移動に伴って、Ｘ軸テーブルのスライダがリニアガイドに案内されて移動する。その際、相互に摺接するスライダのスライダ摺接部とリニアガイドとの摺接部分から発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【００２２】
これらの場合、描画装置は、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルを有し、複数の可動機構には、Ｘ軸テーブルのリニアアクチュエータが、更に含まれていることが、好ましい。
【００２３】
この構成によれば、上記と同様に、リニアアクチュエータから発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【００２４】
これらの場合、描画装置は、機能液滴吐出ヘッドをＺ軸方向に移動させるヘッドＺ軸テーブルを有し、複数の可動機構には、ヘッドＺ軸テーブルが、更に含まれていることが、好ましい。
【００２５】
この構成によれば、上記と同様に、ヘッドＺ軸テーブルから発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【００２６】
これらの場合、描画装置は、機能液滴吐出ヘッドをθ方向に移動させるヘッドθテーブルを有し、複数の可動機構には、ヘッドθテーブルが、更に含まれていることが、好ましい。
【００２７】
この構成によれば、上記と同様に、ヘッドθテーブルから発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【００２８】
これらの場合、描画装置は、ワークを撮像するカメラと、カメラをＺ軸方向に移動させるカメラＺ軸テーブルとを有し、複数の可動機構には、カメラＺ軸テーブルが、更に含まれていることが、好ましい。
【００２９】
この構成によれば、上記と同様に、カメラＺ軸テーブルから発塵した塵埃は、集塵カバー内のエアーと共に排気される。
【００３７】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、有機ＥＬデバイスや液晶表示装置等のフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェット方式により、基板（ワーク）に対し液滴吐出ヘッドから発光材料等の機能液滴を選択的に吐出することで描画を行い、基板上に所望の成膜部を形成するものである。
【００３８】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、図１２に示す液滴吐出ヘッド（機能液滴吐出ヘッド）２１を有し機能液を吐出する吐出手段（描画装置）２と、液滴吐出ヘッド２１の保全処理を行うメンテナンス手段３と、液滴吐出ヘッド２１に機能液を供給する機能液供給手段４と、これら各手段・装置を統括制御する制御装置（図示省略）と、を備えている。また、液滴吐出装置１は、床上に設置された架台１１と、架台１１上に設置された石定盤１２と、架台１１に添設された機台１３と、機台１３の側方に添設されたラック１４と、を有している。
【００３９】
そして、石定盤１２上には吐出手段２が広く配設されており、上方の液滴吐出ヘッド２１に対応して、下方に液滴対象物となるワークＷ（基板、図４参照）がセットされている。ワークＷは、例えばガラス基板やポリイミド基板等で構成されている。一方、機台１３上には、その長手方向（Ｙ軸方向）にスライド移動自在に支持された移動テーブル１６が設置され、移動テーブル１６上には、メンテナンス手段３の各種ユニットを分散して載置する共通ベース１７が固定されている。また、ラック１４には、機能液供給手段４のメインタンク２７１等のタンク類が収容されている。
【００４０】
吐出手段２は、複数の液滴吐出ヘッド２１を有するヘッドユニット２２（参照：図１１）と、ヘッドユニット２２を保持したメインキャリッジ２３（参照：図１３）と、メインキャリッジ２３を両持ち支持するように設けたＸ軸テーブル２４と、Ｘ軸テーブル２４に直交し且つその下方に位置するＹ軸テーブル２５と、Ｙ軸テーブル２５に設けられワークＷを載置するワークテーブル２６と、を備えている。Ｘ軸テーブル２４およびＹ軸テーブル２５は、石定盤１２上に固定されている。
【００４１】
Ｘ軸テーブル２４は、メインキャリッジ２３をＸ軸方向に移動自在に取り付け、メインキャリッジ２３を介してヘッドユニット２２をＸ軸方向に移動させる。Ｙ軸テーブル２５は、ワークテーブル２６をＹ軸方向に移動自在に取り付け、ワークテーブル２６を介してワークＷをＹ軸方向に移動させる。すなわち、吐出手段２は、Ｘ軸テーブル２４およびＹ軸テーブル２５から成るＸ・Ｙ軸移動機構２９により、メインキャリッジ２３を介して液滴吐出ヘッド２１をワークＷに対しＸ・Ｙ軸方向に相対移動させることで、ワークＷに機能液を吐出することで描画を行う。
【００４２】
具体的には、図４に示すように、Ｙ軸テーブル２５によるワークＷの移動に同期して液滴吐出ヘッド２１が吐出駆動する構成であり、液滴吐出ヘッド２１のいわゆる主走査は、Ｙ軸テーブル２５によるワークＷのＹ軸方向への往復動動作により行われる。また、これに対応して、いわゆる副走査は、Ｘ軸テーブル２４による液滴吐出ヘッド２１のＸ軸方向へのピッチ送り動作となる往動動作により行われる。
【００４３】
なお、本実施形態では、液滴吐出ヘッド２１に対しワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、液滴吐出ヘッド２１を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、液滴吐出ヘッド２１を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよいし、逆に液滴吐出ヘッド２１を固定とし、ワークＷを主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００４４】
次に、吐出手段２の各構成装置について、Ｙ軸テーブル２５、ワークテーブル２６、Ｘ軸テーブル２４、ヘッドユニット２２、メインキャリッジ２３の順で説明する。
【００４５】
Ｙ軸テーブル２５は、図３、図５および図６に示すように、ワークテーブル２６の下部に固定した一対のＹ軸エアースライダ３１，３１と、各Ｙ軸エアースライダ３１をＹ軸方向にスライド自在にガイドする一対のＹ軸ガイドレール３２，３２と、各Ｙ軸ガイドレール３２の外側に併設され、ワークテーブル２６を介してワークＷをＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ３３，３３と、ワークテーブル２６のＹ軸方向の位置をレーザで検出する位置検出ユニット３４と、を備えている。また、詳細は後述するが、Ｙ軸テーブル２５には、各Ｙ軸リニアモータ３３に沿うように、一対の流体用Ｙ軸ケーブルベア（「ケーブルベア」は商標）が設けられている（図１８参照）。
【００４６】
一対のＹ軸ガイドレール３２および一対のＹ軸リニアモータ３３は、石定盤１２に相互に平行に且つ直接支持され、位置検出ユニット３４は、石定盤１２のＹ軸方向の先端部に設置されている。位置検出ユニット３４は、ワークテーブル２６に設けたコーナーキューブ（図示省略）にレーザ光を入射すると共に、コーナーキューブからの反射光を受光することで、ワークテーブル２６のＹ軸方向の位置を検出する。
【００４７】
Ｙ軸リニアモータ３３の駆動により、ワークテーブル２６は、Ｙ軸エアースライダ３１がＹ軸ガイドレール３２に案内されて、Ｙ軸方向に往復移動する。また、位置検出ユニット３４により適宜検出されるワークテーブル２６の位置に基づいて、液滴吐出ヘッド２１の機能液の吐出動作が行われて、ワークテーブル２６上のワークＷへの描画がなされる。この場合、位置検出ユニット３４に代えてリニアスケール（とフォトセンサ）を設けるようにしてもよい。なお、図５中の符号３６は、各Ｙ軸ガイドレール３２を上側から覆うように張架された帯状の一対の覆装シートであり、ワークテーブル２６の後述する支持体４１の上面に形成した凹溝内を挿通して、両端を支持されている。各覆装シート３６により、Ｙ軸ガイドレール３２等への機能液の付着が防止される。
【００４８】
ワークテーブル２６は、図５ないし図７に示すように、一対のＹ軸エアースライダ３１を下部に固定した支持体４１と、支持体４１上に設置したワークΘ軸テーブル４２と、ワークΘ軸テーブル４２上に支持した吸着テーブル４３とを備えると共に、さらに支持体４１上には、ワークΘ軸テーブル４２を挟むように一対の描画前フラッシングユニット４４，４４が設置されている。
【００４９】
吸着テーブル４３は、それぞれが上面にエアー吸引孔４６を形成すると共に整列配置された多数の載置ブロック４７を有し、ワークＷを複数の載置ブロック４７上にエアー吸引して、ワークＷを吸着セットする。すなわち、吸着テーブル４３は、セットされたワークＷが平坦度を維持するように、これをエアー吸引により吸着する。
【００５０】
ワークΘ軸テーブル４２は、吸着テーブル４３の下部に固定された回転部５１と、支持体４１の上記一対の凹溝を逃げて支持体４１の上面に固定された固定部５２と、ボールねじ等により固定部５２に対し回転部５１をΘ軸方向に回動させるアクチュエータ（図示省略）と、を有している。ワークΘ軸テーブル４２により、吸着テーブル４３上のワークＷをΘ軸方向に位置補正（角度補正）できるようになっている。ワークテーブル２６は、Ｙ軸テーブル２５の駆動により、支持体４１およびワークΘ軸テーブル４２を介して、吸着テーブル４３上のワークＷを両描画前フラッシングユニット４４と共に、Ｙ軸方向に移動させる。
【００５１】
各描画前フラッシングユニット４４は、複数の液滴吐出ヘッド２１のフラッシング（全ノズルからの機能液滴の捨て吐出）を受けるためのものであり、主として、液滴吐出ヘッド２１の主走査時のフラッシングに使用される。描画前フラッシングユニット４４は、略細長形状に形成されたフラッシングボックス６１と、フラッシングボックス６１内に敷設した機能液吸収材６２と、フラッシングボックス６１をＺ軸方向に昇降させる昇降機構６３と、を有している。
【００５２】
昇降機構６３は、支持体４１の外側に張り出すようにしてこれに固定したＸ軸方向に一対のブラケット７１，７１と、各ブラケット７１にＺ軸方向に移動自在に支持された一対の支持脚７２，７２と、各支持脚７２に固定されると共にフラッシングボックス６１の下部を支持した支持フレーム７３と、各支持脚７２にピストンロッドを連結した一対のエアーシリンダ７４，７４と、で構成されている。一対のエアーシリンダ７４により、一対の支持脚７２および支持フレーム７３を介してフラッシングボックス６１が昇降する。
【００５３】
例えば、図７（ａ）に示すように、下降位置のフラッシングボックス６１の上端の高さレベルを、ワークテーブル２６の載置ブロック４７の上面のそれよりも低く設定することができる。この状態とすることにより、ワークＷをワークテーブル２６に搬入・搬出（交換）する際に、ワークＷとフラッシングボックス６１との干渉を有効に防止することができる。なお、計４つのエアーシリンダ７４は、同期して駆動されることが好ましく、かかる場合には２つのフラッシングボックス６１は同時に昇降する。
【００５４】
また、同図（ｂ）に示すように、上昇位置のフラッシングボックス６１の上端の高さレベルを、載置ブロック４７の上面のそれよりも高く設定することができる。この状態とすることにより、フラッシングボックス６１の上端の高さレベルと、ワークＷの表面の高さレベルとを同程度あるいはそれ以下になるように、液滴吐出ヘッド２１とフラッシングボックス６１との間のギャップを調整することができる。
【００５５】
すなわち、本実施形態の液滴吐出装置１に導入されるワークＷはその種別に応じて厚みの異なるものであるため、後述するヘッドＺ軸テーブル１５５によりワークＷの厚みに応じて液滴吐出ヘッド２１の高さレベルを調整しているところ、そのワークギャップの調整により液滴吐出ヘッド２１と描画前フラッシングユニット４４との高さレベルの関係も変動するが、これに対応するべく、昇降機構６３により描画前フラッシングユニット４４の高さレベルを調整することができる。これにより、ワークＷの厚みに関らず、液滴吐出ヘッド２１のフラッシングにより吐出された機能液滴を外部に飛散させることなく、フラッシングボックス６１で適切に受容することができる。
【００５６】
フラッシングボックス６１で受けた機能液は、機能液吸収材６２に含浸され、これに連通した図外の排液用チューブを介して、ラック１４に収容した廃液タンク２７２（図３参照）に貯留されるようになっている。詳細は後述するが、フラッシングボックス６１の上面（表面）は、ワークＷ側の被検出部として、ワークギャップ調整後の検査に供される。また、フラッシングボックス６１の上面と液滴吐出ヘッド２１のノズル面１４１との間のギャップは、０．２ｍｍ前後に設定される。
【００５７】
Ｘ軸テーブル２４は、図８ないし図１０に示すように、支柱ユニット８１を介してＹ軸テーブル２５の上方にこれを跨ぐように支持されており、メインキャリッジ２３を挿通して固定したブリッジプレート８２と、ブリッジプレート８２をＸ軸方向に移動させ且つその移動を案内するリニアガイド付きＸ軸リニアモータ８３と、Ｘ軸リニアモータ８３に平行に併設されたＸ軸リニアスケール８４と、Ｘ軸リニアモータ８３に平行に併設されると共にブリッジプレート８２の移動を案内するＸ軸リニアガイド８５と、を備えている。
【００５８】
ブリッジプレート８２は、その中間位置に形成した開口部からメインキャリッジ２３の下半部を挿通させ、メインキャリッジ２３の下部に保持したヘッドユニット２２をワークＷに臨ませる。メインキャリッジ２３は、後述するスライドベース１６２の両側部を介して、ブリッジプレート８２の上面に固定されている。また、ブリッジプレート８２の上面には、メインキャリッジ２３に隣接して機能液供給手段４のサブタンク２７３が設置されている。
【００５９】
Ｘ軸リニアモータ８３の駆動により、Ｘ軸リニアモータ８３およびＸ軸リニアガイド８５は、ブリッジプレート８２を両持ちでＸ軸方向に平行移動させる。そして、ブリッジプレート８２の移動に伴い、メインキャリッジ２３（ヘッドユニット２２）がＸ軸方向に移動する。この移動において、液滴吐出ヘッド２１の上記の副走査が行われる。
【００６０】
支柱ユニット８１は、石定盤１２上に設置した４本の支柱９１，９１，９１，９１と、Ｙ軸テーブル２５を跨ぐようにＸ軸方向に延在すると共にこれらの支柱９１の上部に両持ち支持された一対の梁９２，９２と、各梁９２から外側に張り出した一対の支持板９３，９３と、を有している。一方の梁９２上には、Ｘ軸リニアモータ８３およびＸ軸リニアスケール８４が支持され、他方の梁９２上には、Ｘ軸リニアガイド８５が支持されている。
【００６１】
左側（図８では手前側）の支持板９３上には、左部Ｘ軸ケーブルベア９５および流体用Ｘ軸ケーブルベア９６が、それぞれ集塵用のカバーで覆われるようにして載置されている。同様に、右側（図８では奥側）の支持板９３上には、右部Ｘ軸ケーブルベア９７およびサブＸ軸ケーブルベア９８が、それぞれ集塵用のカバーで覆われるようにして載置されている。なお、Ｘ軸リニアモータ８３およびＸ軸リニアガイド８５も同様に、集塵用のカバーで覆われている。すなわち、これら可動部分で発生し得る塵埃を各カバーで集塵し、図外の排気チューブを介して装置外部に排出できるようになっている。
【００６２】
また、図中の符号１０６は、ブリッジプレート８２と同様に且つこれとは独立してＸ軸方向に移動可能なカメラ用ブリッジプレートであり、カメラ用ブリッジプレート１０６は、ワークＷのアライメントに用いられる認識カメラを搭載したカメラユニット１０７を支持している。
【００６３】
図１１は、ヘッドユニット２２の主要部を示した平面図である。同図に示すように、ヘッドユニット２２は、複数（１２個）の液滴吐出ヘッド２１と、複数の液滴吐出ヘッド２１を搭載するサブキャリッジ１２１と、サブキャリッジ１２１に各液滴吐出ヘッド２１を個々に取り付けるための複数（１２個）のヘッド保持部材１２２（図１２参照）と、を備えている。また、ヘッドユニット２２は、メインキャリッジ２３に対し着脱自在に保持されている（図１３参照）。
【００６４】
１２個の液滴吐出ヘッド２１は、６個ずつ２列に分けて主走査方向（Ｙ軸方向）に離間して配置されている。また、各液滴吐出ヘッド２１は、ワークＷに対して機能液滴の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けて配設されている。更に、一方の列と他方の列の各液滴吐出ヘッド２１は、副走査方向（Ｘ軸方向）に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各液滴吐出ヘッド２１のノズル１４６が連続（一部重複）するようになっている。なお、液滴吐出ヘッド２１を専用部品で構成するなどして、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保できる場合は、液滴吐出ヘッド２１をあえて傾けてセットする必要はない。
【００６５】
サブキャリッジ１２１の一方の側方には、各液滴吐出ヘッド２１とサブタンク２７３とを配管接続するための配管ジョイント１２５と、ヘッドユニット２２をメインキャリッジ２３に着脱する際の手持ち用の一対のハンドル１２６，１２６と、が設けられている。配管ジョイント１２５には、１２個の液滴吐出ヘッド２１に対応して１２個のソケット１２７が取り付けられている。各ソケット１２７の一端には、各液滴吐出ヘッド２１（の接続針１３１）と接続した配管アダプタ１２９からのヘッド側配管部材（図示省略）が接続され、その他端には、サブタンク２７３からの装置側配管部材１２８が接続されている（図９参照）。
【００６６】
このような構成により、機能液は、機能液供給手段４のメインタンク２７１からサブタンク２７３に第１チューブ２７４を介して圧力供給されると共に、このサブタンク２７３で圧力的に縁切りされる。そして、サブタンク２７３の負圧制御ユニットにより圧力制御された機能液は、サブタンク２７３から分岐して各液滴吐出ヘッド２１に供給される。
【００６７】
液滴吐出ヘッド２１は、図１２に示すように、いわゆる２連のものであり、２連の接続針１３１を有する機能液導入部１３２と、機能液導入部１３２に連なる２連のヘッド基板１３３と、機能液導入部１３２の下方（同（ａ）では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体１３４と、を備えている。この種のインクジェット方式の液滴吐出ヘッド２１は、吐出駆動のためのエネルギー発生素子として圧電素子（ピエゾ素子）を用いたもの、あるいは電気熱変換体を用いたもので構成される。
【００６８】
各接続針１３１は、配管アダプタ１２９に接続した上記のヘッド側配管部材等を介してサブタンク２７３に接続されており、機能液導入部１３２は、各接続針１３１から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド本体１３４は、ノズル面１４１を有するノズルプレート１４２と、ノズルプレート１４２に連なる直方体形状の２連のポンプ部１４３と、で構成されている。
【００６９】
液滴吐出ヘッド２１は、ヘッド本体１３４がサブキャリッジ１２１の下面から突出しており、ヘッド本体１３４の下面、すなわちノズル面１４１には、２本のノズル列１４５が相互に平行に形成されている。各ノズル列１４５は、略主走査方向に延在しており、多数（例えば１８０個）のノズル１４６が等ピッチで並べられて構成されている。液滴吐出ヘッド２１は、ポンプ部１４３の作用によりノズル１４６から機能液滴をドット状に吐出する。なお、液滴吐出ヘッド２１におけるノズル数やノズル列数は任意である。
【００７０】
メインキャリッジ２３は、図１３および図１４に示すように、ヘッドユニット２２を着脱自在に搭載するキャリッジ本体１５１と、キャリッジ本体１５１を吊設するように保持したキャリッジテーブル１５２と、で構成されている。メインキャリッジ２３は、キャリッジ本体１５１を上記のブリッジプレート８２から下方に挿通させるようにして、キャリッジテーブル１５２の両側部分でブリッジプレート８２の上面に固定されている（図９参照）。
【００７１】
キャリッジテーブル１５２は、キャリッジ本体１５１の上部に連結されるヘッドΘテーブル１５４と、ヘッドΘテーブル１５４の上部に連結されるヘッドＺ軸テーブル１５５と、で構成されている。ヘッドＺ軸テーブル１５５（Ｚ軸移動手段）は、ヘッドΘテーブル１５４およびキャリッジ本体１５１を介して液滴吐出ヘッド２１をＺ軸方向に微小移動させ、液滴吐出ヘッド２１のノズル面１４１とワークＷの表面との間のワークギャップを微調整するものである。
【００７２】
ヘッドＺ軸テーブル１５５は、図１５に示すように、ヘッドΘテーブル１５４を下部に連結したＺ軸スライダ１６１と、Ｚ軸スライダ１６１をＺ軸方向にスライド自在に支持するスライドベース１６２と、スライドベース１６２とＺ軸スライダ１６１との間に介設されＺ軸スライダ１６１の移動を案内する４組のスライドガイド１６３，１６３，１６３，１６３と、スライドベース１６２の上面中央に固定したＺ軸モータ１６４と、Ｚ軸モータ１６４により正逆回転するボールねじ１６５と、ボールねじ１６５に螺合すると共にＺ軸スライダ１６１の正面に固定した雌ねじブロック１６６と、を有している。
【００７３】
スライドベース１６２は、一対の鉛直板１７１，１７１と、一対の鉛直板１７１の上端に掛け渡した連結板１７２とで、全体としてアーチ型に構成されている。各鉛直板１７１は、外側に直角に折り曲げた下端部でブリッジプレート８２の上面に固定されている。連結板１７２の上面中央にＺ軸モータ１６４が固定され、連結板１７２の下面側にＺ軸モータ１６４の主軸が位置している。そして、この主軸にカップリングを介してボールねじ１６５が、両鉛直板１７１間の中間位置に位置するように連結されている。
【００７４】
Ｚ軸スライダ１６１は、スライドベース１６２の内側に位置しており、雌ねじブロック１６６を正面側に固定した固定板部１８１と、各鉛直板１７１に対面する一対の側面板部１８２，１８２と、ヘッドΘテーブル１５４に連結された連結板部１８３と、で一体に形成されている。
【００７５】
この場合、固定板部１８１における雌ねじブロック１６６の固定位置は、Ｚ軸スライダ１６１の略重心部に合致している。また、これに対応して、雌ねじブロック１６６を挟んで４箇所に分散してスライドガイド１６３が、側面板部１８２と鉛直板１７１との間に設けられている。すなわち、前後方向（Ｘ軸方向）に平行に並べた一対のスライドガイド１６３，１６３が、雌ねじブロック１６６の軸線に対し左右対称に（Ｙ軸方向に対称に）配置されている。
【００７６】
このように、Ｚ軸スライダ１６１の重量バランスを考慮して、雌ねじブロック１６６と４組のスライドガイド１６３とを有効に配置することで、Ｚ軸スライダ１６１のＸ・Ｙ平面内のずれを防止できる。すなわち、Ｚ軸スライダ１６１をＺ軸方向に姿勢精度良く適切に移動させることができる。これにより、液滴吐出ヘッド２１のノズル面１４１とワークＷの表面との平行度を適切に維持することができる。
【００７７】
各スライドガイド１６３は、側面板部１８２に固定されＺ軸方向に延在する単一のトラックレール１９１と、トラックレール１９１にスライド自在に案内されると共にＺ軸方向に並べた一対のスライダユニット１９２，１９２とからなり、各スライダユニット１９２が鉛直板１７１に固定されている。したがって、Ｚ軸スライダ１６１は、トラックレール１９１を両スライダユニット１９２に案内されながら、スライドベース１６２に対しＺ軸方向に移動する。なお、スライドガイド１６３は、リニアボールガイドなどの転がり案内の他、スライドユニットをエアースライダとする空気静圧案内で構成すればよい。
【００７８】
Ｚ軸モータ１６４は、正逆回転可能なＡＣサーボモータから構成されている。Ｚ軸モータ１６４が正逆回転すると、ボールねじ１６５および雌ねじブロック１６６により、Ｚ軸スライダ１６１が各スライドガイド１６３に案内されてＺ軸方向に進退する（上下動する）。このＺ軸スライダ１６１の上下動に伴い、ヘッドΘ軸テーブル１５４およびキャリッジ本体１５１を介して液滴吐出ヘッド２１を上下動して、ワークギャップが微調整される。
【００７９】
なお、図１３（ａ）に示すように、Ｚ軸スライダ１６１の固定板部１８１の背面側にはナット部１９５が固定され、ナット部１９５に螺合する雄ねじ１９６が連結板１７２に垂設するように設けられ、さらに、ナット部１９５の下側に位置する雄ねじ１９６の端部には、ナット部１９５に接触可能な度あたり１９７が設けられている。これにより、仮にＺ軸モータ１６４が暴走しても、度あたり１９７がナット部１９５に接触することで、Ｚ軸スライダ１６１がスライドベース１６２から抜け落ちないようになっている。なお、ナット部１９５、雄ねじ１９６および度あたり１９７は、ボールねじ１６５等と同様に、いずれもヘッドＺ軸テーブル１５５におけるＹ軸方向の中心位置に設けられている。
【００８０】
ヘッドΘテーブル１５４は、図１３および図１４に示すように、Ｚ軸スライダ１６１の下面に固定された固定部２０１と、キャリッジ本体１５１の上部に固定された回転部２０２と、固定部２０１に対し回動自在に取り付けた回転部２０２をΘ軸方向に回動させるΘモータ２０３と、を有している。Θモータ２０３は、正逆回転可能なＡＣサーボモータから構成されており、ボールねじ系を主体とする動力伝達機構部２０４を介して、固定部２０１に対し回転部２０２を微小回動（微小回転）させる。この回転部２０２の微小回動により、キャリッジ本体１５１がその軸心を中心に回動する。
【００８１】
このように、ヘッドΘテーブル１５４は、Ｚ軸スライダ１６１とキャリッジ本体１５１とを相互に連結すると共に、キャリッジ本体１５１を介してヘッドユニット２２をＸ・Ｙ平面内において正逆微小回転させる。これにより、ヘッドユニット２２の初期位置決め段階において、ヘッドユニット２２をΘ軸方向に位置補正（角度補正）できるようになっている。
【００８２】
図１６に示すように、ヘッドＺ軸テーブル１５５の可動部は集塵用のカバーに覆われ、上記のＸ軸リニアモータ８３等と同様に、発塵し得る粉塵のワークＷ等への付着が防止されている。また、ヘッドΘ軸テーブル１５４の動力伝達機構部２０４も、集塵用のカバーで覆われている。
【００８３】
キャリッジ本体１５１は、ヘッドユニット２２と共に請求項にいうキャリッジを構成するものである。キャリッジ本体１５１は、図１３および図１４に示すように、ヘッドユニット２２が着座するベースプレート２２１と、ベースプレート２２１を垂設するように支持するアーチ部材２２２と、ベースプレート２２１の一方の端部に突出するように設けた一対の仮置きアングル２２３，２２３と、ベースプレート２２１の他方の端部に設けたストッパプレート２２４と、ストッパプレート２２４の外側に設けた断面Ｌ字状の取付けプレート２２５と、取付けプレート２２５の外側でこれに支持したギャップ検査ユニット２２６と、を備えている。なお、ギャップ検査ユニット２２６は、ヘッドＺ軸テーブル１５５によりワークギャップの調整を行った後、ワークギャップが所定値以下のリミット状態になっているかどうかを検査するためのものである。
【００８４】
アーチ部材２２２は、その上面中央にヘッド軸テーブル１５４の回転部２０２を固定している。ベースプレート２２１は、ヘッドユニット２２を遊嵌するための方形開口を有すると共に、この方形開口を構成する開口縁部に、サブキャリッジ１２１の周縁部を介してヘッドユニット２２を位置決め固定する。
【００８５】
ヘッドユニット２２をキャリッジ本体１５１にセットする場合には、ヘッドユニット２２をその両ハンドル１２６により手持ちして運び込み、一旦、一対の仮置きアングル２２３上に載置する（仮置きする）。ここで、ヘッドユニット２２の配管ジョイント１２５に装置側配管部材１２８を接続するなど、各種配管・配線接続する。そして、両ハンドル１２６を再度把持し、両仮置きアングル２２３をガイドにしてヘッドユニット２２を先方に押し入れ、これをベースプレート２２１に位置決め固定するようにしている。そして、必要に応じて、ヘッドユニット２２は、ヘッドΘテーブル１５４により回転補正される。
【００８６】
このようなヘッドユニット２２の運び込みを含む交換作業は、図１および図３における液滴吐出装置１の手前側から行われる。すなわち、Ｘ軸テーブル２４によりメインキャリッジ２３を機台１３側に移動させ、ワークＷから外れた機台１３の上方にてヘッドユニット２２が交換される。また、ワークギャップを検査する場合にも、ヘッドユニット２２はこの交換位置に移動する。
【００８７】
次に、本発明の要部である塵埃排気装置３００について詳細に説明する。図１７に示すように、塵埃排気装置３００は、ケーブルベア（ケーブル担持体）等の各種可動機構を覆う複数の集塵カバー３０１と、各集塵カバー３０１に連通した複数の排気チューブ（排気管路）３０２と、複数の排気チューブ３０２を下流端において合流させる排気ヘッダ３０３と、排気ヘッダ３０３に連なる工場真空設備としての塵埃排気手段３０４（図１７参照）と、を備えている。各種可動機構で発生した塵埃は、塵埃排気手段３０４により複数の排気チューブ３０２から排気ヘッダ３０３に吸引され、塵埃排気手段３０４に併設した集塵装置でそのキャリアエアーと共に集塵処理される。
【００８８】
複数の集塵カバー３０１は、一対の流体用Ｙ軸ケーブルベア３８を覆う一対のＹ軸流体集塵カバー３１１（図１８参照）、左部Ｘ軸ケーブルベア９５を覆う左Ｘ軸集塵カバー３１２、流体用Ｘ軸ケーブルベア９６を覆うＸ軸流体集塵カバー３１３、右部Ｘ軸ケーブルベア９７を覆う右Ｘ軸集塵カバー３１４、サブＸ軸ケーブルベア９８を覆うサブＸ軸集塵カバー３１５、Ｘ軸テーブル２４のスライダ摺接部（ブリッジプレート８２）およびＸ軸リニアガイド８５を覆うガイド集塵カバー３１６、Ｘ軸テーブル２４のＸ軸リニアモータ８３を覆うモータ集塵カバー３１７、ヘッドＺ軸テーブル１５５を覆う第１ヘッド集塵カバー３１８、ヘッドθテーブル１５４を覆う第２ヘッド集塵カバー３１９、カメラユニット１０７のカメラＺ軸テーブル３０６を覆うカメラ集塵カバー３２０とで構成されている。なお、Ｙ軸テーブル２５に駆動・制御用ケーブルのケーブルベアを設ける場合には、これにも集塵カバーを設けることが、好ましい。
【００８９】
図１８に示すように、各Ｙ軸流体集塵カバー３１１は、一端を固定とし他端を可動として流体用チューブを担持する液体用Ｙ軸ケーブルベア３８から発塵する塵埃を封じ込めるものであり、底板が液体用Ｙ軸ケーブルベア３８のベースプレートを兼ねる本体カバー３３１と、本体カバー３３１の上開放部を閉蓋する蓋カバー３３２とで構成されている。本体カバー３３１の長手方向両端部には、その外側面に一対の排気口金具３３３，３３３が設けられており、この両排気口金具３３，３３３には、それぞれ第１排気チューブ３３４，３３４が接続されている。この場合、両第１排気チューブ３３４，３３４は、それぞれＹ軸テーブル２５の側端から鉛直方向に延び、且つここで合流し、さらに架台１１の脚部廻りに配管した第１横引きチューブ３３５を介して排気ヘッダ３０３に接続されている。なお、他方のＹ軸流体集塵カバー３１１の両第１排気チューブ３３４，３３４も、第１横引きチューブ３３５を介して排気ヘッダ３０３に接続されるが、図１７では図示省略されている。もっとも、両第１排気チューブ３３４，３３４を（第１横引きチューブ３３５を介して）別々に排気ヘッダ３０３に接続してもよい。
【００９０】
図１７、図１９ないし図２４に示すように、左Ｘ軸集塵カバー３１２は、一端を固定とし他端を可動としてケーブルを担持する３連の左部Ｘ軸ケーブルベア９５から発塵する塵埃を封じ込めるものであり、底板が上記の支持板９３を兼ねる本体カバー３３８と、本体カバー３３８の上開放部を閉蓋する蓋カバー３３９とで構成されている。本体カバー３３８の長手方向両端部には、その外側面に一対の排気口金具３４０，３４０が設けられており、この両排気口金具３４０，３４０は、それぞれ第２排気チューブ３４１，３４１にそれぞれ接続されている。この場合、両第２排気チューブ３４１，３４１は、Ｘ軸テーブル２４の端から鉛直方向に延び、且つここで合流し、さらに架台１１の脚部廻りに配管した第２横引きチューブ３４２を介して排気ヘッダ３０３に接続されている（図２７参照）。
【００９１】
Ｘ軸流体集塵カバー３１３は、一端を固定とし他端を可動として流体チューブを担持する流体用Ｘ軸ケーブルベア９６から発塵する塵埃を封じ込めるものであり、底板が上記の支持板９３を兼ねる本体カバー３４５を有している。本体カバー３４５の外側面には、長手方向に亘って多数の排気口金具３４７が均等に配設されており、この多数の排気口金具３４７は、本体カバー３４５に沿って配管された共用の第３排気チューブ３４８にそれぞれ接続されている。この場合、第３排気チューブ３４８は、本体カバー３４５に沿ってＸ軸方向に延びると共にＸ軸テーブル２４の端から鉛直方向に延び、さらに架台１１の脚部廻りに配管した第３横引きチューブ３４９を介して排気ヘッダ３０３に接続されている。なお、第３排気チューブ３４８をＸ軸方向の両側に延長し、これを（第３横引きチューブ３４９を介して）別々に排気ヘッダ３０３に接続してよい。
【００９２】
右Ｘ軸集塵カバー３１４は、一端を固定とし他端を可動としてケーブルを担持する２連の右部Ｘ軸ケーブルベア９７から発塵する塵埃を封じ込めるものであり、底板が上記の支持板９３を兼ねる本体カバー３５２と、本体カバー３５２の上開放部を閉蓋する蓋カバー３５３とで構成されている。本体カバー３５２の長手方向両端部には、その外側面に一対の排気口金具３５４，３５４が設けられており、この両排気口金具３５４，３５４は、それぞれ第４排気チューブ３５５，３５５にそれぞれ接続されている。この場合、第４排気チューブ３５５，３５５は、Ｘ軸テーブル２４の端から鉛直方向に延び、且つここで合流し、さらに架台１１の脚部廻りに配管した第４横引きチューブ３５６を介して排気ヘッダ３０３に接続されている。
【００９３】
サブＸ軸集塵カバー３１５は、一端を固定とし他端を可動としてケーブルを担持するサブＸ軸ケーブルベア９８から発塵する塵埃を封じ込めるものであり、底板が上記の支持板９３を兼ねる本体カバー３５９と、本体カバー３５９の上開放部を閉蓋する蓋カバー３６０とで構成されている。本体カバー３５９の外側面には、長手方向に亘って多数の排気口金具３６１が均等に配設されており、この多数の排気口金具３６１は、本体カバーに沿って配管された共用の第５排気チューブ３６２にそれぞれ接続されている。この場合、第５排気チューブ３６２は、本体カバー３５９に沿ってＸ軸方向に延びると共にＸ軸テーブル２４の端から鉛直方向に延び、さらに架台１１の脚部廻りに配管した第５横引きチューブ３６３を介して排気ヘッダ３０３に接続されている。なお、第５排気チューブ３６２をＸ軸方向の両側に延長し、これを（第５横引きチューブ３６３を介して）別々に排気ヘッダ３０３に接続してよい。
【００９４】
ガイド集塵カバー３１６は、Ｘ軸テーブル２４のスライダ摺接部がＸ軸リニアガイド８５上を摺動するときに発生する塵埃を封じ込めるものであり、底面が上記の梁９２の上面を兼ねる本体カバー３６６を有している。本体カバー３６６の外側面には、長手方向に渡って多数の排気口金具３６８が均等に配設されており、この多数の排気口金具３６８は、本体カバー３６６に沿って配管された共用の第６排気チューブ３６９にそれぞれ接続されている。この場合、第６排気チューブ３６９は、本体カバー３６６に沿ってＸ軸方向に延びると共にＸ軸テーブル２４の端から鉛直方向に延び、さらに架台１１の脚部廻りに配管した第６横引きチューブ３７０を介して排気ヘッダ３０３に接続されている。なお、第６排気チューブ３６９をＸ軸方向の両側に延長し、これを（第６横引きチューブ３７０を介して）別々に排気ヘッダ３０３に接続してよい。
【００９５】
モータ集塵カバー３１７は、Ｘ軸テーブル２４のＸ軸リニアモータ（ロータとステータ）８３から発生する塵埃を封じ込めるものであり、底面が上記の梁９２の上面を兼ねる本体カバー３７３を有している。本体カバー３７３の長手方向両端部には、その外側面に一対の排気口金具３７５，３７５が設けられており、この両排気口金具３５４，３５４は、本体カバー３７３に沿って配管された共用の第７排気チューブ３７６にそれぞれ接続されている。この場合、第７排気チューブ３７６は、本体カバー３７３に沿ってＸ軸方向に延びると共にＸ軸テーブル２４の端から鉛直方向に延び、さらに架台１１の脚部廻りに配管した第７横引きチューブ１７７を介して排気ヘッダ３０３に接続されている。
【００９６】
図１７および図２５に示すように、第１ヘッド集塵カバー３１８は、ヘッドＺ軸テーブル１５５のボールねじ１６５やスライドガイド１６３から発塵する塵埃を封じ込めるものであり、ボールねじ１６５を覆うねじカバー３８０ａと、スライドベース１６２を利用して形成して左側の２つのスライドガイド１６３を覆う左部カバー３８０ｂおよび右側の２つのスライドガイド１６３を覆う右部カバー３８０ｃとで構成されている。そして、ねじカバー３８０ａ、左部カバー３８０ｂおよび右部カバー３８０ｃには、それぞれ排気口金具３８１，３８１，３８１が設けられており、これら排気口金具３８１は、共用の第８排気チューブ３８２にそれぞれ接続されている。この場合、第８排気チューブ３８２は、上記の左部Ｘ軸ケーブルベア９５または右部Ｘ軸ケーブルベア９７を通ってＸ軸テーブル２４の端から鉛直方向に延び、さらに架台１１の脚部廻りに配管した第８横引きチューブ３８３を介して排気ヘッダ３０３に接続されている。もっとも、図１７に示すように、第８排気チューブ３８２を流体用Ｘ軸ケーブルベア９６に通すようにしてもよい。また、第８排気チューブ３８２を２系統とし、左部Ｘ軸ケーブルベア９５および右部Ｘ軸ケーブルベア９７を介して、別々に排気ヘッダ３０３に接続してもよい。
【００９７】
第２ヘッド集塵カバー３１９は、ヘッドθテーブル１５４のボールねじ等（動力伝達機構部２０４）から発塵する塵埃を封じ込めるものであり、動力伝達機構部２０４を覆うボックス状のカバー本体３８６と、カバー本体３８６の上開放部を閉蓋する蓋状の天板３８７とで構成されている。カバー本体３８６のモータ側の側面には、排気口金具３８８が設けられており、この排気口金具３８８は第９排気チューブ３８９に接続されている。この場合、第９排気チューブ３８９は、第８排気チューブ３８２と同様に、上記の左部Ｘ軸ケーブルベア９５または右部Ｘ軸ケーブルベア９７を通ってＸ軸テーブル２４の端から鉛直方向に延び、さらに架台１１の脚部廻りに配管した第９横引きチューブ３９０を介して排気ヘッダ３０３に接続されている。この場合も、図１７に示すように、第９排気チューブ３８９を流体用Ｘ軸ケーブルベア９６に通すようにしてもよい。また、第９排気チューブ３８９を２系統とし、左部Ｘ軸ケーブルベア９５および右部Ｘ軸ケーブルベア９７を介して、別々に排気ヘッダ３０３に接続してもよい。
【００９８】
図１７および図２６に示すように、カメラ集塵カバー３２０は、カメラＺ軸テーブル３０６のボールねじやスライドガイドから発塵する塵埃を封じ込めるものであり、四辺を覆う正面板３９２ａ、背面板３９２ｂおよび両側面板３９２ｃ，３９２ｃで構成されている。両側面板３９２ｃ，３９２ｃには、それぞれ排気口金具３９３，３９３が設けられており、この両排気口金具３９３，３９３は、共用の第１０排気チューブ３９４にそれぞれ接続されている。この場合、第１０排気チューブ３９４は、上記の流体用Ｘ軸ケーブルベア９６を通ってＸ軸テーブル２４の端から鉛直方向に延び、さらに架台１１の脚部廻りに配管した第１０横引きチューブ３９５を介して排気ヘッダ３０３に接続されている。
【００９９】
このように、第２横引きチューブ３４２、第３横引きチューブ３４９、第７横引きチューブ３７７、第８横引きチューブ３８３、第９横引きチューブ３９０および第１０横引きチューブ３９５は、左側チューブ群Ａとして、架台１１の左側脚部廻りに纏めて配管され排気ヘッダ３０３まで延びている。同様に、第４横引きチューブ３５６、第５横引きチューブ３６３および第６横引きチューブ３７０は、右側チューブ群Ｂとして、架台１１の右側脚部廻りに纏めて配管され排気ヘッダ３０３まで延びている（図２７参照）。
【０１００】
例えば、図２８に示すように、左側チューブ群Ａは、架台１１の左側の脚部廻りに設けた左部ブラケットＣにバンド止めするようにして配管され、右側チューブ群Ｂは、架台１１の右側の脚部廻りに設けた右部ブラケットＤにバンド止めするようにして配管されている。なお、第１横引きチューブ３３５は、排気ヘッダ３０３の近傍でわずかに引き回された後、排気ヘッダ３０３に接続されている。このように、複数本の排気チューブ３０２を左側チューブ群Ａおよび右側チューブ群Ｂに分け、且つこれらを左部ブラケットＣおよび右部ブラケットＤにより、架台１１の脚部廻りに配管するようにしているため、配管の取り回し或いはそのメンテナンスが容易になり、且つ脚部廻りのスペースを有効に活用することができる。
【０１０１】
図１７、図２９および図３０に示すように、排気ヘッダ３０３は、気化した機能液の有機溶剤を含む有機ガスを排気する有機系ヘッダ（処理が必要）であり、上記ヘッドユニット２２の搬入側に位置して架台１１の脚部廻りに配されている。具体的には、架台１１におけるヘッドユニット２２搬入側の側面には、レギュレータキャビネットＥが取り付けられており、排気ヘッダ３０３は、このレギュレータキャビネットＥの両側面から下方に延びるチャンネル材Ｆ，Ｆに左右一対の配管バンドＧ，Ｇを介して支持されている。また、詳細な説明は省略するが、排気ヘッダ３０３には、左右一対のダブル配管バンドＨ，Ｈを介して一般系ヘッダ３０７が取り付けられている。
【０１０２】
排気ヘッダ３０３には、図示左側から、予備用の第１ポート３９８Ａ、上記の塵埃排気手段３０４に連なる第２ポート３９８Ｂ、真空吸引装置の真空ポンプに連なる第３ポート３９８Ｃ、第２横引きチューブ３４２が接続された第４ポート３９８Ｄ、第３横引きチューブ３４９が接続された第５ポート３９８Ｅ、第７横引きチューブ３７７が接続された第６ポート３９８Ｆ、第６横引きチューブ３７０が接続された第７ポート３９８Ｇ、第５横引きチューブ３６３が接続された第８ポート３９８Ｈ、第４横引きチューブ３５６が接続された第９ポート３９８Ｉ、第１横引きチューブ３３５が接続された第１０ポート３９８Ｊ、第８横引きチューブ３８３が接続された第１１ポート３９８Ｋ、第９横引きチューブ３９０が接続された第１２ポート３９８Ｌおよび第１０横引きチューブ３９５が接続された第１３ポート３９８Ｍが形成されている。また、排気ヘッダ３０３の図示右小口端は、予備用の第１４ポート３９８Ｎとなっている。
【０１０３】
このような構成では、塵埃排気手段３０４の駆動により、各集塵カバー３０１内のエアー（実際には有機ガス）は、各排気チューブ３０２を介して排気ヘッダ３０３で合流し、この排気ヘッダ３０３から塵埃排気手段３０４に吸引（真空吸引）される。このように、複数の排気チューブ３０２をその下流端に設けた排気ヘッダ３０３を介して吸引するようにしているため、各集塵カバー３０１内のエアーをバランス良く吸引することができる。なお、排気チューブ３０２に代えてパイプを用いるようにしてもよい。
【０１０４】
ところで、本実施形態の液滴吐出装置１は、各種の材料からなる機能液を用いることで、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることができる。すなわち、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。もちろん、液晶表示装置等に用いるカラーフィルタの製造にも適用することができる。また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。そして、これらの電気光学装置を備えた電子機器、例えばフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話を提供することができる。
【０１０５】
そこで、この液滴吐出装置１を用いた製造方法を、液晶表示装置の製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に説明し、他のデバイスについても簡単に説明する。
【０１０６】
図３１は、液晶表示装置の断面図である。同図に示すように、液晶表示装置４５０は、上下の偏光板４６２、４６７間に、カラーフィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物４６５を封入することにより構成されている。また、カラーフィルタ４００および対向基板４６６間には、配向膜４６１、４６４が構成され、対向基板４６６の内側の面には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。
【０１０７】
カラーフィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタエレメント）を備え、画素と画素の境目は、バンク４１３により区切られている。画素の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのフィルタ材料（機能液）が導入されている。すなわち、カラーフィルタ４００は、透光性の基板４１１（ワークＷ）と、遮光性のバンク４１３とを備えている。バンク４１３が形成されていない（除去された）部分は上記画素を構成し、この画素に導入された各色のフィルタ材料は着色層４２１を構成する。バンク４１３及び着色層４２１の上面には、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形成されている。
【０１０８】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、バンク４１３で区切られて形成された画素内に、液滴吐出ヘッド２１により、Ｒ・Ｇ・Ｂ各色の機能液を着色層形成領域毎に選択的に吐出している。そして、塗布した機能液を乾燥させることにより、成膜部となる着色層４２１を得るようにしている。また、液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド２１により、オーバーコート層４２２など各種の成膜部を形成している。もちろん、ヘッドＺ軸テーブル１５５により、基板４１１の厚みに対応したワークギャップに調整されている。
【０１０９】
同様に、図３２を参照して、有機ＥＬ装置とその製造方法を説明する。同図に示すように、有機ＥＬ装置５００は、ガラス基板５０１（ワークＷ）上に回路素子部５０２が積層され、回路素子部５０２上に主体を為す有機ＥＬ素子５０４が積層されている。また有機ＥＬ素子５０４の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板５０５が形成されている。
【０１１０】
有機ＥＬ素子５０４には、無機物バンク層５１２ａおよびこれに重ねた有機物バンク層５１２ｂによりバンク５１２が形成され、このバンク５１２により、マトリクス状の画素が画成されている。そして、各画素内には、下側から画素電極５１１、Ｒ・Ｇ・Ｂいずれかの発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａが積層され、且つ全体がＣａやＡｌ等の薄膜を複数層に亘って積層した対向電極５０３で覆われている。
【０１１１】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａの成膜部を形成するようにしている。また、液滴吐出装置１では、正孔注入／輸送層５１０ａを形成した後に、液滴吐出ヘッド２１に導入する機能液としてＣａやＡｌ等の液体金属材料を用いて、対向電極５０３を形成する等している。もちろん、ヘッドＺ軸テーブル１５５により、基板５０１の厚みに対応したワークギャップに調整されている。
【０１１２】
そして、以下に示すデバイスの製造方法において、ヘッドＺ軸テーブル１５５により、ワークＷ（基板）の厚みに対応したワークギャップに調整されている。
【０１１３】
すなわち、ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド２１にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２１を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板（ワークＷ）上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。
【０１１４】
電気泳動表示装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド２１に各色の泳動体材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２１を主走査および副走査し、泳動体材料を選択的に吐出して、電極（ワークＷ）上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。なお、帯電粒子と染料とからなる泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが好ましい。
【０１１５】
金属配線形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド２１に液状金属材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２１を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板（ワークＷ）上に金属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用してこれらのデバイスを製造することができる。また、この種のフラットパネルディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることは言うまでもない。
【０１１６】
レンズの形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド２１にレンズ材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２１を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板（ワークＷ）上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記ＦＥＤ装置におけるビーム収束用のデバイスを製造する場合に適用可能である。また、各種光デバイスの製造技術にも適用可能である。
【０１１７】
レンズの製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド２１に透光性のコーティング材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２１を主走査および副走査し、コーティング材料を選択的に吐出して、レンズの表面にコーティング膜を形成する。
【０１１８】
レジスト形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド２１にレジスト材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２１を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板（ワークＷ）上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置におけるバンクの形成はもとより、半導体製造技術の主体をなすフォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
【０１１９】
光拡散体形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド２１に光拡散材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２１を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して、基板（ワークＷ）上に多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【０１２０】
【発明の効果】
以上のように、本発明の塵埃排気装置およびこれを備えた液滴吐出装置によれば、集塵カバーに連なる複数の排気管路を排気ヘッダで合流させるようにしているため、複数の集塵カバーから塵埃を効率良く排気することができ、装置の信頼性を高めることができる。
【０１２１】
本発明の電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器によれば、信頼性ある液滴吐出装置により製造されるため、結果物である電気光学装置、その製造方法および電子機器の信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図２】実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図３】実施形態に係る液滴吐出装置の左側面図である。
【図４】実施形態に係る液滴吐出装置の描画動作を模式的に示す説明図である。
【図５】実施形態に係るＹ軸テーブルおよびワークテーブルを示す平面図である。
【図６】実施形態に係るＹ軸テーブルおよびワークテーブルを示す正面図である。
【図７】実施形態に係るワークテーブルを示す側面図である。
【図８】実施形態に係るＸ軸テーブルおよびメインキャリッジを示す外観斜視図である。
【図９】実施形態に係るＸ軸テーブルおよびメインキャリッジを示す正面図である。
【図１０】実施形態に係るＸ軸テーブルおよびメインキャリッジの要部を示す平面図である。
【図１１】実施形態に係るヘッドユニットの主要部を示す平面図である。
【図１２】（ａ）実施形態に係る液滴吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図１３】実施形態に係るメインキャリッジを示す斜視図である。
【図１４】実施形態に係るメインキャリッジを示す分解斜視図である。
【図１５】実施形態に係るキャリッジテーブルを示す図であり、（ａ）分解斜視図、（ｂ）組立て図である。
【図１６】図１３に示すメインキャリッジに集塵カバーを取り付けた状態を示す分解斜視図である。
【図１７】本発明の塵埃排気装置を表した系統図である。
【図１８】実施形態に係るＹ軸テーブルの斜視図である。
【図１９】実施形態に係るＸ軸テーブルの拡大正面図である。
【図２０】実施形態に係るＸ軸テーブルの拡大断面図である。
【図２１】実施形態に係るＸ軸テーブルを右斜めから見た斜視図である。
【図２２】実施形態に係るＸ軸テーブルのケーブルベアを露出させて右斜めから見た斜視図である。
【図２３】実施形態に係るＸ軸テーブルを左斜めから見た斜視図である。
【図２４】実施形態に係るＸ軸テーブルのケーブルベアを露出させて右斜めから見た斜視図である。
【図２５】実施形態に係るヘッドＺ軸テーブル廻りの斜視図である。
【図２６】実施形態に係るカメラユニットの斜視図である。
【図２７】実施形態に係る液滴吐出装置の左側面図である。
【図２８】実施形態に係る架台の脚部廻りの配管構造図である。
【図２９】実施形態に係る排気ヘッダ廻りの斜視図である。
【図３０】実施形態に係る排気ヘッダ廻りの平面図である。
【図３１】本発明の製造方法を用いて製造した液晶表示装置の断面図である。
【図３２】本発明の製造方法を用いて製造した有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１ 液滴吐出装置 ２ 吐出手段
１１ 架台 ２１ 液滴吐出ヘッド
２２ ヘッドユニット ２４ Ｘ軸テーブル
２５ Ｙ軸テーブル ３８ 流体用Ｙ軸ケーブルベア
８３ Ｘ軸リニアモータ ８５ Ｘ軸リニアガイド
９５ 左部Ｘ軸ケーブルベア ９６ 流体用Ｘ軸ケーブルベア
９７ 左部Ｘ軸ケーブルベア ９８ サブＸ軸ケーブルベア
１０７ カメラユニット １５４ ヘッドθテーブル
１５５ ヘッドＺ軸テーブル ３００ 塵埃排気装置
３０１ 集塵カバー ３０２ 排気チューブ
３０３ 排気ヘッダ ３０４ 塵埃排気手段
３１１ Ｙ軸流体集塵カバー ３１２ 左Ｘ軸集塵カバー
３１３ Ｘ軸流体集塵カバー ３１４ 右Ｘ軸集塵カバー
３１５ サブＸ軸集塵カバー ３１６ ガイド集塵カバー
３１７ モータ集塵カバー ３１８ 第１ヘッド集塵カバー
３１９ 第２ヘッド集塵カバー ３２０ カメラ集塵カバー
３３５ 第１横引きチューブ ３４２ 第２横引きチューブ
３４９ 第３横引きチューブ ３５６ 第４横引きチューブ
３６３ 第５横引きチューブ ３７０ 第６横引きチューブ
３７７ 第７横引きチューブ ３８３ 第８横引きチューブ
３９０ 第９横引きチューブ ３９５ 第１０横引きチューブ
４００ 液晶表示装置 ５００ 有機ＥＬ装置
Ｗ ワーク[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a droplet discharge device that collects dust generated in a movable mechanism of a drawing apparatus and exhausts it outside the apparatus. In place It is related.
[0002]
[Prior art]
In a conventional inkjet recording apparatus applied to a color filter manufacturing apparatus, a slider equipped with a drawing head (inkjet head), a guide rail, two sets of linear actuators, and two sets of lead screws are collectively covered with a dust collecting cover, There is known a dust exhaust device in which the dust collection cover is connected to an exhaust tube connected to a vacuum suction device (for example, see Patent Document 1).
[0003]
[Patent Document 1]
JP 2001-317604 A (page 7, FIG. 8)
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
In such a conventional dust exhaust device, since a plurality of movable mechanisms are collectively covered with the dust collection cover, for example, dust generated at the meshing portion of the lead screw (ball screw) is discharged before being exhausted. There is a possibility of adhering to the guide rail, and it is assumed that a sufficient dust collecting effect cannot be obtained even if vacuum suction is performed.
Therefore, it is conceivable to individually cover these movable mechanisms that may generate dust with a dust collection cover and exhaust them individually. However, if a plurality of exhaust tubes connected to these individual covers are simply connected, a movable mechanism that can achieve sufficient vacuum due to a short circuit caused by the difference in pressure loss between the individual dust collection covers and exhaust tubes. And a movable mechanism which is not sufficiently performed is assumed.
[0005]
The present invention relates to a droplet discharge device capable of efficiently exhausting dust generated by a plurality of movable mechanisms of a drawing apparatus. Place The issue is to provide.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
Droplet discharge device of the present invention Is ,work When Functional droplet discharge head When From the functional droplet discharge head To work Selective ejection of functional droplets Do Drawing device When, Drawing device Formed into a plurality Movable mechanism From Exhaust the generated dust outside the equipment. Dust Dust exhaust device And a droplet discharge device having A plurality of dust collecting covers respectively covering the plurality of movable mechanisms, a plurality of exhaust pipe lines communicating with the respective dust collection covers, an exhaust header for joining the plurality of exhaust pipe lines at the downstream end, and dust connected to the exhaust header And an exhaust means The at least one movable mechanism of the plurality of movable mechanisms is a cable carrier that moves with relative movement and that has one end fixed and the other end movable. It is characterized by that.
[0007]
According to this configuration, when the dust exhaust means is driven, the dust generated by the plurality of movable mechanisms of the drawing apparatus is joined from the dust collection covers through the exhaust pipes at the exhaust header, and the dust exhaust from the exhaust header. Sucked into the means. In this case, since a plurality of exhaust pipes are merged by the exhaust header at the downstream end thereof, and the air in the exhaust header is sucked by the dust exhaust means, a short circuit of suction air or the like hardly occurs, Dust can be sucked in a well-balanced manner from the dust collection cover. Further, by using the exhaust header, it is possible to easily increase or decrease the suction location (dust collection cover). The exhaust header and the dust exhaust means may be composed of a plurality of ones, but it is more preferable that they are composed of a single one in consideration of cost.
[0008]
In this case, the exhaust header is disposed around the leg portion of one side of the gantry, and the main horizontal pulling conduit of each exhaust conduit reaching the exhaust header is: Place the drawing device It is preferable that piping is provided around the legs of the gantry.
[0009]
According to this configuration, the empty space around the drawing device can be effectively utilized by piping the exhaust header and the main horizontal pipe line of each exhaust pipe around the legs of the frame having a relatively empty space. Can do. In addition, interference between the drawing device and the exhaust pipe can be prevented, and the exhaust pipe does not interfere with other components.
[0010]
In these cases, it is preferable that at least one dust collection cover of the plurality of dust collection covers is provided with exhaust ports communicating with the exhaust pipe lines at both ends in the longitudinal direction.
[0011]
According to this structure, the air containing the dust in a dust collection cover can be exhausted efficiently. The connection structure between the dust collection cover and the exhaust pipe can be simplified.
[0012]
Similarly, it is preferable that at least one dust collection cover of the plurality of dust collection covers is provided with a large number of exhaust ports communicating with the exhaust pipe line in the longitudinal direction.
[0013]
According to this configuration, when the dust generation part of the movable mechanism continues in the longitudinal direction of the dust collection cover, the air containing the dust in the dust collection cover can be efficiently exhausted.
[0014]
In these cases, the drawing apparatus has a Y-axis table that moves the workpiece in the Y-axis direction, Carrier It is preferable that a Y-axis fluid tube carrier, which is attached to the Y-axis table and supports the fluid tube with one end fixed and the other end movable, is preferably included.
[0015]
According to this configuration, as the Y-axis table moves, the movable side of the Y-axis fluid tube carrier that carries the fluid tube moves. At that time, the dust generated from the Y-axis fluid tube carrier itself, the contact portion between the Y-axis fluid tube carrier and the base plate, and the contact portion between the Y-axis fluid tube carrier and the fluid tube is removed from the air in the dust collecting cover. It is exhausted with.
[0016]
In these cases, the drawing apparatus has an X-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction, Carrier Preferably includes an X-axis cable carrier that is attached to the X-axis table and carries the cable with one end fixed and the other end movable.
[0017]
According to this configuration, as the X-axis table moves, the movable side of the X-axis cable carrier that carries the cable moves. At that time, the dust generated from the X-axis cable carrier itself, the contact portion between the X-axis cable carrier and the base plate, and the contact portion between the X-axis cable carrier and the cable is exhausted together with the air in the dust collection cover. .
[0018]
In these cases, the drawing apparatus has an X-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction, Carrier It is preferable that an X-axis fluid tube carrier which is attached to the X-axis table and holds the fluid tube with one end fixed and the other end movable is preferably included.
[0019]
According to this configuration, as the X-axis table moves, the movable side of the X-axis fluid tube carrier that carries the fluid tube moves. At that time, the dust generated from the X-axis fluid tube carrier itself, the contact portion between the X-axis fluid tube carrier and the base plate, and the contact portion between the X-axis fluid tube carrier and the fluid tube is removed from the air in the dust collecting cover. It is exhausted with.
[0020]
In these cases, the drawing apparatus has an X-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction, and the plurality of movable mechanisms include a slider sliding contact portion of the X-axis table and its linear guide. And more It is preferable that it is contained.
[0021]
According to this configuration, as the X-axis table moves, the slider of the X-axis table moves while being guided by the linear guide. At that time, the dust generated from the sliding contact portion between the slider sliding contact portion and the linear guide of the slider that is in sliding contact with each other is exhausted together with the air in the dust collecting cover.
[0022]
In these cases, the drawing apparatus has an X-axis table that moves the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction, and a linear actuator of the X-axis table is included in the plurality of movable mechanisms. And more It is preferable that it is contained.
[0023]
According to this configuration, the dust generated from the linear actuator is exhausted together with the air in the dust collection cover as described above.
[0024]
In these cases, the drawing apparatus has a head Z-axis table that moves the functional liquid droplet ejection head in the Z-axis direction, and the head Z-axis table is included in the plurality of movable mechanisms. And more It is preferable that it is contained.
[0025]
According to this configuration, the dust generated from the head Z-axis table is exhausted together with the air in the dust collection cover, as described above.
[0026]
In these cases, the drawing apparatus has a head θ table that moves the functional liquid droplet ejection head in the θ direction, and the plurality of movable mechanisms include the head θ table. And more It is preferable that it is contained.
[0027]
According to this configuration, similarly to the above, dust generated from the head θ table is exhausted together with the air in the dust collection cover.
[0028]
In these cases, the drawing apparatus includes a camera that captures an image of a workpiece, and a camera Z-axis table that moves the camera in the Z-axis direction. And more It is preferable that it is contained.
[0029]
According to this configuration, the dust generated from the camera Z-axis table is exhausted together with the air in the dust collection cover, as described above.
[0037]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a droplet discharge device of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. This droplet discharge device is incorporated in a production line for flat panel displays such as organic EL devices and liquid crystal display devices, and a functional liquid such as a luminescent material from a droplet discharge head to a substrate (work) by an inkjet method. Drawing is performed by selectively discharging droplets to form a desired film forming portion on the substrate.
[0038]
As shown in FIGS. 1 to 3, the droplet discharge device 1 includes a discharge unit (drawing device) 2 having a droplet discharge head (functional droplet discharge head) 21 shown in FIG. Maintenance means 3 for performing maintenance processing of the droplet discharge head 21, functional liquid supply means 4 for supplying functional liquid to the droplet discharge head 21, a control device (not shown) for overall control of these means and devices, It has. Further, the droplet discharge device 1 includes a gantry 11 installed on the floor, a stone surface plate 12 installed on the gantry 11, a machine 13 attached to the gantry 11, and a side of the machine 13. And an attached rack 14.
[0039]
Discharge means 2 is widely disposed on the stone surface plate 12, and a work W (substrate, see FIG. 4), which is a liquid drop object, is provided below the drop discharge head 21 on the upper side. It is set. The workpiece W is made of, for example, a glass substrate or a polyimide substrate. On the other hand, a moving table 16 is installed on the machine base 13 so as to be slidable in the longitudinal direction (Y-axis direction). Various units of the maintenance means 3 are distributed and mounted on the moving table 16. The common base 17 to be placed is fixed. The rack 14 accommodates tanks such as the main tank 271 of the functional liquid supply means 4.
[0040]
The ejection means 2 supports a head unit 22 (see: FIG. 11) having a plurality of droplet ejection heads 21, a main carriage 23 (see: FIG. 13) holding the head unit 22, and the main carriage 23. An X-axis table 24 provided in such a manner, a Y-axis table 25 orthogonal to and below the X-axis table 24, and a work table 26 provided on the Y-axis table 25 for placing the work W thereon. Yes. The X-axis table 24 and the Y-axis table 25 are fixed on the stone surface plate 12.
[0041]
The X-axis table 24 is attached to the main carriage 23 so as to be movable in the X-axis direction, and moves the head unit 22 in the X-axis direction via the main carriage 23. The Y-axis table 25 is attached with a work table 26 movably in the Y-axis direction, and moves the work W in the Y-axis direction via the work table 26. That is, the discharge unit 2 causes the droplet discharge head 21 to move relative to the workpiece W in the X / Y-axis direction via the main carriage 23 by the X / Y-axis moving mechanism 29 including the X-axis table 24 and the Y-axis table 25. Drawing is performed by discharging the functional liquid onto the workpiece W by moving the workpiece W.
[0042]
Specifically, as shown in FIG. 4, the droplet discharge head 21 is driven to discharge in synchronization with the movement of the work W by the Y-axis table 25. This is performed by reciprocating movement of the workpiece W in the Y-axis direction by the axis table 25. Correspondingly, so-called sub-scanning is performed by a forward movement operation that is a pitch feed operation of the droplet discharge head 21 in the X-axis direction by the X-axis table 24.
[0043]
In the present embodiment, the workpiece W is moved in the main scanning direction with respect to the droplet discharge head 21, but a configuration in which the droplet discharge head 21 is moved in the main scanning direction may be used. Alternatively, the workpiece W may be fixed and the droplet discharge head 21 may be moved in the main scanning direction and the sub-scanning direction. Conversely, the droplet discharge head 21 may be fixed and the workpiece W may be moved in the main scanning direction. It may be configured to move in the sub-scanning direction.
[0044]
Next, each component device of the ejection unit 2 will be described in the order of the Y-axis table 25, the work table 26, the X-axis table 24, the head unit 22, and the main carriage 23.
[0045]
As shown in FIGS. 3, 5, and 6, the Y-axis table 25 is a pair of Y-axis air sliders 31, 31 fixed to the lower part of the work table 26, and slides each Y-axis air slider 31 in the Y-axis direction. A pair of Y-axis guide rails 32 and 32 that guide freely, and a pair of Y-axis linear motors 33 that are provided outside the Y-axis guide rails 32 and move the workpiece W in the Y-axis direction via the work table 26. 33 and a position detection unit 34 for detecting the position of the work table 26 in the Y-axis direction with a laser. As will be described in detail later, the Y-axis table 25 is provided with a pair of Y-axis cable bears for fluid (“cable bear” is a trademark) along each Y-axis linear motor 33 (FIG. 18). reference).
[0046]
The pair of Y-axis guide rails 32 and the pair of Y-axis linear motors 33 are supported directly and parallel to the stone surface plate 12, and the position detection unit 34 is installed at the tip end of the stone surface plate 12 in the Y-axis direction. Has been. The position detection unit 34 detects the position of the work table 26 in the Y-axis direction by entering laser light into a corner cube (not shown) provided on the work table 26 and receiving reflected light from the corner cube. .
[0047]
By driving the Y-axis linear motor 33, the work table 26 reciprocates in the Y-axis direction with the Y-axis air slider 31 guided by the Y-axis guide rail 32. Further, based on the position of the work table 26 appropriately detected by the position detection unit 34, the functional liquid is discharged from the droplet discharge head 21, and the drawing on the work W on the work table 26 is performed. In this case, a linear scale (and a photo sensor) may be provided instead of the position detection unit 34. Reference numeral 36 in FIG. 5 is a pair of belt-shaped covering sheets stretched so as to cover each Y-axis guide rail 32 from above, and is formed on the upper surface of a support body 41 described later of the work table 26. Both ends are supported by being inserted through the groove. Each covering sheet 36 prevents the functional liquid from adhering to the Y-axis guide rail 32 and the like.
[0048]
As shown in FIGS. 5 to 7, the work table 26 includes a support 41 having a pair of Y-axis air sliders 31 fixed to the lower part, a work Θ-axis table 42 installed on the support 41, and a work Θ-axis table. And a pair of pre-drawing flushing units 44, 44 are provided on the support 41 so as to sandwich the work Θ-axis table 42.
[0049]
The suction table 43 has a plurality of mounting blocks 47 each having an air suction hole 46 formed on the upper surface and arranged in an aligned manner. The work W is sucked onto the plurality of mounting blocks 47 by air suction. Suction set. In other words, the suction table 43 sucks the set work W by air suction so that the flatness is maintained.
[0050]
The work Θ-axis table 42 includes a rotating portion 51 fixed to the lower portion of the suction table 43, a fixed portion 52 fixed to the upper surface of the support 41 by escaping the pair of concave grooves of the support 41, a ball screw, and the like. And an actuator (not shown) for rotating the rotating part 51 in the Θ-axis direction with respect to the fixed part 52. The workpiece Θ-axis table 42 enables position correction (angle correction) of the workpiece W on the suction table 43 in the Θ-axis direction. The work table 26 drives the Y-axis table 25 to move the work W on the suction table 43 in the Y-axis direction together with the two pre-drawing flushing units 44 via the support body 41 and the work Θ-axis table 42.
[0051]
Each pre-drawing flushing unit 44 is for receiving flushing of the plurality of droplet ejection heads 21 (discarding and ejecting functional droplets from all nozzles), and mainly flushing during main scanning of the droplet ejection heads 21. Used for. The pre-drawing flushing unit 44 has a flushing box 61 formed in a substantially elongated shape, a functional liquid absorbent 62 laid in the flushing box 61, and an elevating mechanism 63 that raises and lowers the flushing box 61 in the Z-axis direction. is doing.
[0052]
The elevating mechanism 63 has a pair of brackets 71, 71 fixed to the support body 41 so as to project outside and a pair of support legs supported by the brackets 71 so as to be movable in the Z-axis direction. 72, 72, a support frame 73 fixed to each support leg 72 and supporting the lower portion of the flushing box 61, and a pair of air cylinders 74, 74 each having a piston rod connected to each support leg 72. Yes. The flushing box 61 is moved up and down by the pair of air cylinders 74 through the pair of support legs 72 and the support frame 73.
[0053]
For example, as shown in FIG. 7A, the height level of the upper end of the flushing box 61 in the lowered position can be set lower than that of the upper surface of the mounting block 47 of the work table 26. By setting it in this state, when the work W is carried into and out of the work table 26 (exchange), interference between the work W and the flushing box 61 can be effectively prevented. In addition, it is preferable that the four air cylinders 74 in total are driven synchronously. In such a case, the two flushing boxes 61 are moved up and down simultaneously.
[0054]
Further, as shown in FIG. 5B, the height level of the upper end of the flushing box 61 at the raised position can be set higher than that of the upper surface of the mounting block 47. In this state, the height level of the upper end of the flushing box 61 and the height level of the surface of the workpiece W are approximately equal to or less than each other. The gap can be adjusted.
[0055]
That is, since the workpiece W introduced into the droplet discharge device 1 of the present embodiment has a different thickness depending on the type, the droplet discharge head according to the thickness of the workpiece W by the head Z-axis table 155 described later. When the height level of 21 is being adjusted, the relationship of the height level between the droplet discharge head 21 and the pre-drawing flushing unit 44 also varies depending on the adjustment of the work gap. Thus, the height level of the pre-drawing flushing unit 44 can be adjusted. As a result, regardless of the thickness of the workpiece W, the functional liquid droplets ejected by the flushing of the liquid droplet ejection head 21 can be appropriately received by the flushing box 61 without being scattered outside.
[0056]
The functional liquid received in the flushing box 61 is impregnated in the functional liquid absorbent 62 and stored in a waste liquid tank 272 (see FIG. 3) accommodated in the rack 14 via a drainage tube (not shown) connected to the functional liquid absorbent 62. It has become so. Although the details will be described later, the upper surface (front surface) of the flushing box 61 is used as an object to be detected on the workpiece W side for inspection after adjusting the workpiece gap. The gap between the upper surface of the flushing box 61 and the nozzle surface 141 of the droplet discharge head 21 is set to about 0.2 mm.
[0057]
As shown in FIGS. 8 to 10, the X-axis table 24 is supported so as to straddle the Y-axis table 25 via the support unit 81, and is bridged through the main carriage 23 and fixed. 82, an X-axis linear motor 83 with a linear guide for moving the bridge plate 82 in the X-axis direction and guiding the movement, an X-axis linear scale 84 provided in parallel with the X-axis linear motor 83, and an X-axis linear An X-axis linear guide 85 that is provided in parallel with the motor 83 and guides the movement of the bridge plate 82 is provided.
[0058]
The bridge plate 82 allows the lower half of the main carriage 23 to be inserted through an opening formed at an intermediate position thereof so that the head unit 22 held under the main carriage 23 faces the work W. The main carriage 23 is fixed to the upper surface of the bridge plate 82 via both sides of a slide base 162 described later. A sub tank 273 of the functional liquid supply unit 4 is installed on the upper surface of the bridge plate 82 adjacent to the main carriage 23.
[0059]
By driving the X-axis linear motor 83, the X-axis linear motor 83 and the X-axis linear guide 85 move the bridge plate 82 in parallel in the X-axis direction by holding both the bridge plates 82. As the bridge plate 82 moves, the main carriage 23 (head unit 22) moves in the X-axis direction. In this movement, the sub-scanning of the droplet discharge head 21 is performed.
[0060]
The column unit 81 extends in the X-axis direction so as to straddle the four columns 91, 91, 91, 91 installed on the stone surface plate 12 and the Y-axis table 25. A pair of supported beams 92 and 92 and a pair of support plates 93 and 93 projecting outward from each beam 92 are provided. An X-axis linear motor 83 and an X-axis linear scale 84 are supported on one beam 92, and an X-axis linear guide 85 is supported on the other beam 92.
[0061]
On the support plate 93 on the left side (the front side in FIG. 8), the left X-axis cable bear 95 and the fluid X-axis cable bear 96 are placed so as to be covered with a dust collection cover, respectively. . Similarly, the right-side X-axis cable bear 97 and the sub-X-axis cable bear 98 are placed on the support plate 93 on the right side (the back side in FIG. 8) so as to be covered with a dust collection cover. ing. The X-axis linear motor 83 and the X-axis linear guide 85 are similarly covered with a dust collection cover. That is, dust that can be generated at these movable parts is collected by each cover and can be discharged to the outside of the apparatus through an exhaust tube (not shown).
[0062]
Reference numeral 106 in the figure denotes a camera bridge plate that can move in the X-axis direction independently of the bridge plate 82, and the camera bridge plate 106 is used for alignment of the workpiece W. A camera unit 107 equipped with a recognition camera is supported.
[0063]
FIG. 11 is a plan view showing the main part of the head unit 22. As shown in the figure, the head unit 22 includes a plurality (12) of droplet discharge heads 21, a sub-carriage 121 on which the plurality of droplet discharge heads 21 are mounted, and each droplet discharge head 21 on the sub-carriage 121. And a plurality of (12) head holding members 122 (see FIG. 12). The head unit 22 is detachably held with respect to the main carriage 23 (see FIG. 13).
[0064]
The twelve droplet discharge heads 21 are divided into two rows of six, and are arranged apart from each other in the main scanning direction (Y-axis direction). In addition, each droplet discharge head 21 is disposed at a predetermined angle with respect to the workpiece W in order to ensure a sufficient application density of functional droplets. Further, the droplet discharge heads 21 in one column and the other column are arranged so as to be displaced from each other in the sub-scanning direction (X-axis direction). The nozzles 146 are continuous (partially overlap). In addition, when the droplet discharge head 21 is configured by a dedicated component, for example, when a sufficient application density of the functional liquid can be ensured with respect to the workpiece W, the droplet discharge head 21 does not need to be tilted and set.
[0065]
On one side of the sub-carriage 121, a pipe joint 125 for pipe-connecting each droplet discharge head 21 and the sub-tank 273, and a pair of hand-held handles for attaching / detaching the head unit 22 to / from the main carriage 23. 126, 126 are provided. Twelve sockets 127 are attached to the pipe joint 125 corresponding to the twelve droplet discharge heads 21. One end of each socket 127 is connected to a head-side piping member (not shown) from the piping adapter 129 connected to each droplet discharge head 21 (the connection needle 131), and the other end is a device from the sub tank 273. A side piping member 128 is connected (see FIG. 9).
[0066]
With such a configuration, the functional liquid is pressure-supplied from the main tank 271 of the functional liquid supply unit 4 to the sub tank 273 via the first tube 274 and is pressure-cut by the sub tank 273. The functional liquid whose pressure is controlled by the negative pressure control unit of the sub tank 273 is branched from the sub tank 273 and supplied to each droplet discharge head 21.
[0067]
As shown in FIG. 12, the droplet discharge head 21 has a so-called double structure, a functional liquid introduction unit 132 having two connection needles 131, and a dual head substrate 133 connected to the functional liquid introduction part 132. And a head main body 134 that is connected to the lower side of the functional liquid introduction part 132 (upper side in FIG. 5A) and in which an in-head flow path filled with the functional liquid is formed. This type of ink jet type droplet discharge head 21 is configured by using a piezoelectric element (piezo element) as an energy generating element for driving ejection or using an electrothermal transducer.
[0068]
Each connection needle 131 is connected to the sub tank 273 via the head-side piping member or the like connected to the pipe adapter 129 so that the functional liquid introduction unit 132 receives supply of the functional liquid from each connection needle 131. It has become. The head body 134 includes a nozzle plate 142 having a nozzle surface 141 and two rectangular parallelepiped pump portions 143 that are continuous with the nozzle plate 142.
[0069]
In the droplet discharge head 21, a head main body 134 protrudes from the lower surface of the sub-carriage 121, and two nozzle rows 145 are formed in parallel to each other on the lower surface of the head main body 134, that is, the nozzle surface 141. Each nozzle row 145 extends substantially in the main scanning direction, and includes a large number (for example, 180) of nozzles 146 arranged at an equal pitch. The droplet discharge head 21 discharges functional droplets from the nozzle 146 in the form of dots by the action of the pump unit 143. Note that the number of nozzles and the number of nozzle rows in the droplet discharge head 21 are arbitrary.
[0070]
As shown in FIGS. 13 and 14, the main carriage 23 includes a carriage body 151 on which the head unit 22 is detachably mounted, and a carriage table 152 that holds the carriage body 151 so as to be suspended. . The main carriage 23 is fixed to the upper surface of the bridge plate 82 at both side portions of the carriage table 152 so that the carriage body 151 is inserted downward from the bridge plate 82 (see FIG. 9).
[0071]
The carriage table 152 includes a head Θ table 154 connected to the upper part of the carriage body 151 and a head Z-axis table 155 connected to the upper part of the head Θ table 154. The head Z-axis table 155 (Z-axis moving means) finely moves the droplet discharge head 21 in the Z-axis direction via the head Θ table 154 and the carriage body 151, and the nozzle surface 141 of the droplet discharge head 21 and the work W This is to finely adjust the work gap between the surface and the surface.
[0072]
As shown in FIG. 15, the head Z-axis table 155 includes a Z-axis slider 161 having a head Θ table 154 connected to the lower part, a slide base 162 that supports the Z-axis slider 161 slidably in the Z-axis direction, and a slide base. Four sets of slide guides 163, 163, 163, and 163 that are interposed between the Z-axis slider 161 and guide the movement of the Z-axis slider 161, and a Z-axis motor 164 that is fixed at the center of the upper surface of the slide base 162, And a ball screw 165 that rotates forward and backward by a Z-axis motor 164 and a female screw block 166 that is screwed into the ball screw 165 and fixed to the front surface of the Z-axis slider 161.
[0073]
The slide base 162 has a pair of vertical plates 171 and 171 and a connecting plate 172 that spans the upper ends of the pair of vertical plates 171 and has an arch shape as a whole. Each vertical plate 171 is fixed to the upper surface of the bridge plate 82 at a lower end portion bent at a right angle to the outside. The Z-axis motor 164 is fixed at the center of the upper surface of the connecting plate 172, and the main shaft of the Z-axis motor 164 is located on the lower surface side of the connecting plate 172. A ball screw 165 is connected to the main shaft through a coupling so as to be positioned at an intermediate position between the two vertical plates 171.
[0074]
The Z-axis slider 161 is located on the inner side of the slide base 162, and includes a fixed plate portion 181 that fixes the female screw block 166 to the front side, a pair of side plate portions 182 and 182 that face each vertical plate 171, and a head. The connecting plate portion 183 connected to the Θ table 154 is integrally formed.
[0075]
In this case, the fixing position of the female screw block 166 in the fixing plate portion 181 matches the substantially center of gravity of the Z-axis slider 161. Correspondingly, slide guides 163 are provided between the side plate portion 182 and the vertical plate 171 so as to be dispersed at four positions across the female screw block 166. That is, a pair of slide guides 163 and 163 arranged in parallel in the front-rear direction (X-axis direction) are arranged symmetrically with respect to the axis of the female screw block 166 (symmetrically in the Y-axis direction).
[0076]
As described above, in consideration of the weight balance of the Z-axis slider 161, the internal thread block 166 and the four sets of slide guides 163 are effectively arranged to prevent the Z-axis slider 161 from being displaced in the XY plane. . That is, the Z-axis slider 161 can be appropriately moved in the Z-axis direction with a good posture accuracy. Thereby, the parallelism between the nozzle surface 141 of the droplet discharge head 21 and the surface of the workpiece W can be appropriately maintained.
[0077]
Each slide guide 163 is fixed to the side plate portion 182 and has a single track rail 191 extending in the Z-axis direction, and a pair of slider units 192 that are slidably guided by the track rail 191 and arranged in the Z-axis direction. , 192, and each slider unit 192 is fixed to the vertical plate 171. Therefore, the Z-axis slider 161 moves in the Z-axis direction with respect to the slide base 162 while the track rail 191 is guided by both the slider units 192. Note that the slide guide 163 may be configured by a static pressure guide using a slide unit as an air slider in addition to a rolling guide such as a linear ball guide.
[0078]
The Z-axis motor 164 is composed of an AC servo motor that can rotate forward and reverse. When the Z-axis motor 164 rotates forward and backward, the Z-axis slider 161 is guided by the slide guides 163 by the ball screw 165 and the female screw block 166 to move forward and backward (moves up and down) in the Z-axis direction. As the Z-axis slider 161 moves up and down, the droplet discharge head 21 is moved up and down via the head Θ-axis table 154 and the carriage body 151 to finely adjust the work gap.
[0079]
As shown in FIG. 13A, a nut portion 195 is fixed to the back side of the fixed plate portion 181 of the Z-axis slider 161, and a male screw 196 that is screwed into the nut portion 195 is suspended from the connecting plate 172. Further, an end 197 of the male screw 196 positioned below the nut portion 195 is provided with 197 per degree that can contact the nut portion 195. As a result, even if the Z-axis motor 164 runs away, the Z-axis slider 161 does not fall out of the slide base 162 because the 197 contacts the nut portion 195 per degree. Note that the nut portion 195, the male screw 196, and 197 per degree are all provided at the center position in the Y-axis direction of the head Z-axis table 155, like the ball screw 165 and the like.
[0080]
As shown in FIGS. 13 and 14, the head Θ table 154 includes a fixed portion 201 fixed to the lower surface of the Z-axis slider 161, a rotating portion 202 fixed to the upper portion of the carriage body 151, and a fixed portion 201. And a Θ motor 203 that rotates the rotating part 202 attached in a rotatable manner in the Θ axis direction. The Θ motor 203 is composed of an AC servo motor that can rotate in the forward and reverse directions. The rotating unit 202 is slightly rotated (micro rotated) with respect to the fixed unit 201 via a power transmission mechanism unit 204 mainly composed of a ball screw system. ) The carriage body 151 is rotated about its axis by the minute rotation of the rotating unit 202.
[0081]
As described above, the head Θ table 154 connects the Z-axis slider 161 and the carriage main body 151 to each other, and rotates the head unit 22 slightly forward and backward in the XY plane via the carriage main body 151. Thereby, in the initial positioning stage of the head unit 22, the head unit 22 can be position-corrected (angle corrected) in the Θ-axis direction.
[0082]
As shown in FIG. 16, the movable part of the head Z-axis table 155 is covered with a dust collection cover, and, like the X-axis linear motor 83 and the like, dust that can generate dust adheres to the workpiece W or the like. It is prevented. The power transmission mechanism 204 of the head Θ-axis table 154 is also covered with a dust collection cover.
[0083]
The carriage main body 151 constitutes a carriage referred to in the claims together with the head unit 22. As shown in FIGS. 13 and 14, the carriage main body 151 protrudes from one end of the base plate 221, a base plate 221 on which the head unit 22 is seated, an arch member 222 that supports the base plate 221 so as to be suspended. A pair of temporary placement angles 223 and 223 provided in this manner, a stopper plate 224 provided at the other end of the base plate 221, an L-shaped mounting plate 225 provided outside the stopper plate 224, and a mounting plate 225 And a gap inspection unit 226 supported on the outside thereof. The gap inspection unit 226 is for inspecting whether the work gap is in a limit state equal to or less than a predetermined value after adjusting the work gap by the head Z-axis table 155.
[0084]
The arch member 222 fixes the rotating portion 202 of the head axis table 154 at the center of the upper surface thereof. The base plate 221 has a rectangular opening for loosely fitting the head unit 22, and positions and fixes the head unit 22 to the opening edge portion constituting the rectangular opening via the peripheral edge portion of the sub-carriage 121.
[0085]
When the head unit 22 is set on the carriage main body 151, the head unit 22 is carried by both its handles 126 and temporarily placed on a pair of temporary placement angles 223 (temporarily placed). Here, various piping / wiring connections are made, such as connecting the apparatus-side piping member 128 to the piping joint 125 of the head unit 22. Then, both the handles 126 are gripped again, the head unit 22 is pushed forward by using both temporary placing angles 223 as a guide, and the head unit 22 is positioned and fixed to the base plate 221. If necessary, the head unit 22 is rotationally corrected by the head Θ table 154.
[0086]
The replacement operation including the carry-in of the head unit 22 is performed from the front side of the droplet discharge device 1 in FIGS. 1 and 3. That is, the main carriage 23 is moved to the machine base 13 side by the X-axis table 24, and the head unit 22 is exchanged above the machine base 13 removed from the workpiece W. Also, when inspecting the work gap, the head unit 22 moves to this exchange position.
[0087]
Next, the dust exhaust apparatus 300 that is a main part of the present invention will be described in detail. As shown in FIG. 17, the dust exhaust device 300 includes a plurality of dust collection covers 301 that cover various movable mechanisms such as a cable bear (cable carrier), and a plurality of exhaust tubes (exhaust pipes) that communicate with each dust collection cover 301. Path) 302, an exhaust header 303 that joins a plurality of exhaust tubes 302 at the downstream end, and dust exhaust means 304 (see FIG. 17) as factory vacuum equipment connected to the exhaust header 303. Dust generated by the various movable mechanisms is sucked into the exhaust header 303 from the plurality of exhaust tubes 302 by the dust exhaust means 304, and is collected together with the carrier air by the dust collector provided in the dust exhaust means 304.
[0088]
The plurality of dust collecting covers 301 includes a pair of Y-axis fluid dust collecting covers 311 (see FIG. 18) covering the pair of fluid Y-axis cable bears 38 and a left X-axis dust collecting cover 312 covering the left X-axis cable bear 95. X-axis fluid dust collecting cover 313 covering fluid X-axis cable bear 96, right X-axis dust collecting cover 314 covering right X-axis cable bear 97, and sub X-axis dust collecting cover 315 covering sub X-axis cable bear 98. , A guide dust collecting cover 316 covering the slider sliding contact portion (bridge plate 82) of the X axis table 24 and the X axis linear guide 85, a motor dust collecting cover 317 covering the X axis linear motor 83 of the X axis table 24, and the head Z axis. A first head dust collecting cover 318 covering the table 155, a second head dust collecting cover 319 covering the head θ table 154, and the camera Z-axis table of the camera unit 107. Is constructed 06 by the camera dust collection cover 320 for covering the. In addition, when providing the cable bear of a drive / control cable in the Y-axis table 25, it is preferable to provide a dust collection cover also for this.
[0089]
As shown in FIG. 18, each Y-axis fluid dust collection cover 311 contains dust generated from the Y-axis cable bear 38 for liquid carrying a fluid tube with one end fixed and the other end movable. The bottom plate includes a main body cover 331 that also serves as a base plate of the liquid Y-axis cable bear 38, and a lid cover 332 that closes the upper open portion of the main body cover 331. A pair of exhaust port fittings 333 and 333 are provided on the outer side surfaces at both ends in the longitudinal direction of the main body cover 331, and first exhaust tubes 334 and 334 are connected to both the exhaust port fittings 33 and 333, respectively. Has been. In this case, both the first exhaust tubes 334 and 334 extend in the vertical direction from the side ends of the Y-axis table 25 and join together here, and further, the first horizontal pulling tube 335 piped around the legs of the gantry 11 is provided. To the exhaust header 303. The first exhaust tubes 334 and 334 of the other Y-axis fluid dust collecting cover 311 are also connected to the exhaust header 303 via the first horizontal pulling tube 335, but are not shown in FIG. But you may connect both the 1st exhaust tubes 334 and 334 to the exhaust header 303 separately (via the 1st horizontal drawing tube 335).
[0090]
As shown in FIGS. 17 and 19 to 24, the left X-axis dust collecting cover 312 has dust generated from the three left X-axis cable bears 95 carrying the cable with one end fixed and the other end movable. The bottom plate is composed of a main body cover 338 that also serves as the support plate 93 and a lid cover 339 that closes the upper open portion of the main body cover 338. A pair of exhaust port fittings 340 and 340 are provided on the outer side surfaces of both ends in the longitudinal direction of the main body cover 338, and both the exhaust port fittings 340 and 340 are connected to the second exhaust tubes 341 and 341, respectively. Has been. In this case, both the second exhaust tubes 341 and 341 extend vertically from the end of the X-axis table 24 and merge here, and further via a second horizontal pulling tube 342 piped around the legs of the gantry 11. It is connected to the exhaust header 303 (see FIG. 27).
[0091]
The X-axis fluid dust collecting cover 313 is configured to contain dust generated from the X-axis cable bear 96 for fluid carrying a fluid tube with one end fixed and the other end movable, and the bottom plate also serves as the support plate 93 described above. A main body cover 345 is provided. A large number of exhaust port fittings 347 are evenly arranged in the longitudinal direction on the outer surface of the main body cover 345, and the large number of exhaust port fittings 347 are connected to a common second pipe lined along the main body cover 345. Three exhaust tubes 348 are connected to each other. In this case, the third exhaust tube 348 extends in the X-axis direction along the main body cover 345, extends in the vertical direction from the end of the X-axis table 24, and is further piped around the legs of the gantry 11. To the exhaust header 303. Note that the third exhaust tube 348 may be extended to both sides in the X-axis direction and connected separately to the exhaust header 303 (via the third horizontal pulling tube 349).
[0092]
The right X-axis dust collecting cover 314 encloses dust generated from the two right X-axis cable bears 97 carrying the cable with one end fixed and the other end movable, and the bottom plate has the support plate 93 described above. And a lid cover 353 that closes the upper open portion of the body cover 352. A pair of exhaust port fittings 354 and 354 are provided on the outer side surfaces of both ends of the main body cover 352 in the longitudinal direction, and both the exhaust port fittings 354 and 354 are connected to the fourth exhaust tubes 355 and 355, respectively. Has been. In this case, the fourth exhaust tubes 355 and 355 extend in the vertical direction from the end of the X-axis table 24 and join here, and further exhaust through the fourth horizontal pulling tube 356 piped around the legs of the gantry 11. It is connected to the header 303.
[0093]
The sub-X-axis dust collecting cover 315 is configured to contain dust generated from the sub-X-axis cable bear 98 carrying the cable with one end fixed and the other end movable, and a bottom cover serving as the support plate 93. 359 and a lid cover 360 that closes the upper open portion of the main body cover 359. On the outer surface of the main body cover 359, a large number of exhaust port fittings 361 are evenly arranged in the longitudinal direction, and the many exhaust port fittings 361 are shared fifth pipes piped along the main body cover. Each is connected to an exhaust tube 362. In this case, the fifth exhaust tube 362 extends in the X-axis direction along the main body cover 359, extends in the vertical direction from the end of the X-axis table 24, and is further provided in the fifth horizontal pulling tube 363 piped around the legs of the gantry 11. To the exhaust header 303. Note that the fifth exhaust tube 362 may be extended to both sides in the X-axis direction and connected separately to the exhaust header 303 (via the fifth lateral pulling tube 363).
[0094]
The guide dust collecting cover 316 contains dust generated when the slider sliding contact portion of the X-axis table 24 slides on the X-axis linear guide 85, and the bottom cover serves as the upper surface of the beam 92. 366. A large number of exhaust port fittings 368 are evenly arranged in the longitudinal direction on the outer surface of the main body cover 366, and the multiple exhaust port fittings 368 are connected to the common first pipes that are piped along the main body cover 366. 6 exhaust tubes 369 are connected to each other. In this case, the sixth exhaust tube 369 extends in the X-axis direction along the main body cover 366, extends in the vertical direction from the end of the X-axis table 24, and is further piped around the legs of the gantry 11. To the exhaust header 303. Note that the sixth exhaust tube 369 may be extended on both sides in the X-axis direction and connected separately to the exhaust header 303 (via the sixth lateral pulling tube 370).
[0095]
The motor dust collecting cover 317 contains dust generated from the X-axis linear motor (rotor and stator) 83 of the X-axis table 24, and has a main body cover 373 whose bottom surface also serves as the top surface of the beam 92. . A pair of exhaust port fittings 375 and 375 are provided on the outer sides of both ends in the longitudinal direction of the main body cover 373, and both the exhaust port fittings 354 and 354 are shared along the main body cover 373. Each is connected to a seventh exhaust tube 376. In this case, the seventh exhaust tube 376 extends in the X-axis direction along the main body cover 373, extends in the vertical direction from the end of the X-axis table 24, and is further provided in a seventh horizontal pulling tube 177 piped around the legs of the gantry 11. To the exhaust header 303.
[0096]
As shown in FIGS. 17 and 25, the first head dust collecting cover 318 contains dust generated from the ball screw 165 and the slide guide 163 of the head Z-axis table 155, and covers the ball screw 165. 380 a, a left cover 380 b that is formed using the slide base 162 and covers the left two slide guides 163, and a right cover 380 c that covers the two right slide guides 163. The screw cover 380a, the left cover 380b, and the right cover 380c are provided with exhaust port fittings 381, 381, and 381, respectively. These exhaust port fittings 381 are connected to the common eighth exhaust tube 382, respectively. Has been. In this case, the eighth exhaust tube 382 extends in the vertical direction from the end of the X-axis table 24 through the left X-axis cable bear 95 or the right X-axis cable bear 97, and further around the legs of the gantry 11. It is connected to the exhaust header 303 via a piped eighth horizontal pulling tube 383. However, as shown in FIG. 17, the eighth exhaust tube 382 may be passed through the fluid X-axis cable bear 96. Alternatively, the eighth exhaust tube 382 may have two systems, and may be separately connected to the exhaust header 303 via the left X-axis cable bear 95 and the right X-axis cable bear 97.
[0097]
The second head dust collecting cover 319 contains dust generated from a ball screw or the like (power transmission mechanism unit 204) of the head θ table 154, a box-shaped cover body 386 that covers the power transmission mechanism unit 204, A lid-shaped top plate 387 that closes the upper open portion of the cover main body 386 is formed. An exhaust port fitting 388 is provided on the side surface of the cover main body 386 on the motor side, and the exhaust port fitting 388 is connected to the ninth exhaust tube 389. In this case, similarly to the eighth exhaust tube 382, the ninth exhaust tube 389 extends in the vertical direction from the end of the X-axis table 24 through the left X-axis cable bear 95 or the right X-axis cable bear 97. Further, it is connected to the exhaust header 303 via a ninth horizontal pulling tube 390 piped around the legs of the gantry 11. Also in this case, as shown in FIG. 17, the ninth exhaust tube 389 may be passed through the fluid X-axis cable bear 96. Alternatively, the ninth exhaust tube 389 may have two systems and may be separately connected to the exhaust header 303 via the left X-axis cable bear 95 and the right X-axis cable bear 97.
[0098]
As shown in FIGS. 17 and 26, the camera dust collecting cover 320 contains dust generated from the ball screw and slide guide of the camera Z-axis table 306, and includes a front plate 392a, a back plate 392b and four sides covering the four sides. It is composed of both side plates 392c and 392c. Exhaust port fittings 393 and 393 are provided on both side plates 392c and 392c, respectively, and both the exhaust port fittings 393 and 393 are connected to a common tenth exhaust tube 394, respectively. In this case, the tenth exhaust tube 394 extends in the vertical direction from the end of the X-axis table 24 through the fluid X-axis cable bear 96 and is further piped around the legs of the gantry 11. To the exhaust header 303.
[0099]
Thus, the second horizontal pulling tube 342, the third horizontal pulling tube 349, the seventh horizontal pulling tube 377, the eighth horizontal pulling tube 383, the ninth horizontal pulling tube 390, and the tenth horizontal pulling tube 395 are the left tube group. A is piped around the left leg of the gantry 11 and extends to the exhaust header 303. Similarly, the fourth horizontal pulling tube 356, the fifth horizontal pulling tube 363, and the sixth horizontal pulling tube 370 are piped together around the right leg portion of the gantry 11 as the right tube group B and extend to the exhaust header 303. (See FIG. 27).
[0100]
For example, as shown in FIG. 28, the left tube group A is piped so as to be banded to the left bracket C provided around the left leg of the gantry 11, and the right tube group B is arranged on the right side of the gantry 11. It is piped so as to be band-stopped to a right bracket D provided around the legs. The first horizontal pulling tube 335 is connected slightly to the exhaust header 303 and then connected to the exhaust header 303. Thus, the plurality of exhaust tubes 302 are divided into the left tube group A and the right tube group B, and these are piped around the legs of the gantry 11 by the left bracket C and the right bracket D. Therefore, the piping can be easily handled or maintained, and the space around the legs can be used effectively.
[0101]
As shown in FIGS. 17, 29, and 30, the exhaust header 303 is an organic header (requires processing) that exhausts an organic gas containing the organic solvent of the vaporized functional liquid. And is arranged around the legs of the gantry 11. Specifically, a regulator cabinet E is attached to the side surface of the gantry 11 on the side where the head unit 22 is carried, and the exhaust header 303 has left and right channel materials F and F extending downward from both side surfaces of the regulator cabinet E. It is supported via a pair of piping bands G, G. Although not described in detail, a general header 307 is attached to the exhaust header 303 via a pair of left and right double piping bands H, H.
[0102]
From the left side of the figure, the exhaust header 303 has a spare first port 398A, a second port 398B connected to the dust exhaust means 304, a third port 398C connected to the vacuum pump of the vacuum suction device, and a second horizontal tube 342. Is connected to the fourth port 398D, the third horizontal pulling tube 349 is connected to the fifth port 398E, the seventh horizontal pulling tube 377 is connected to the sixth port 398F, and the sixth horizontal pulling tube 370 is connected. 7 port 398G, 8th port 398H to which 5th horizontal pulling tube 363 is connected, 9th port 398I to which 4th horizontal pulling tube 356 is connected, 10th port 398J to which 1st horizontal pulling tube 335 is connected, 11th port 398K to which 8 horizontal pulling tube 383 is connected, 12th port to which 9th horizontal pulling tube 390 is connected 13 port 398M to 398L and 10 crosscut tube 395 is connected is formed. Further, the right end of the exhaust header 303 shown in the figure serves as a spare 14th port 398N.
[0103]
In such a configuration, by driving the dust exhaust means 304, the air (actually organic gas) in each dust collection cover 301 is merged in the exhaust header 303 via each exhaust tube 302, and from the exhaust header 303. Suction (vacuum suction) is performed by the dust exhaust means 304. In this way, since the plurality of exhaust tubes 302 are sucked through the exhaust header 303 provided at the downstream end thereof, the air in each dust collection cover 301 can be sucked in a well-balanced manner. A pipe may be used instead of the exhaust tube 302.
[0104]
By the way, the droplet discharge apparatus 1 of the present embodiment can be used for manufacturing various electro-optical devices (devices) by using functional liquids made of various materials. That is, it can be applied to the manufacture of liquid crystal display devices, organic EL devices, PDP devices, electrophoretic display devices, and the like. Of course, the present invention can also be applied to the manufacture of color filters used in liquid crystal display devices and the like. As other electro-optical devices, devices including metal wiring formation, lens formation, resist formation, light diffuser formation, and the like are conceivable. In addition, an electronic device including these electro-optical devices, for example, a mobile phone equipped with a flat panel display can be provided.
[0105]
Therefore, a manufacturing method using the droplet discharge device 1 will be described by taking a manufacturing method of a liquid crystal display device and a manufacturing method of an organic EL device as examples, and other devices will also be described briefly.
[0106]
FIG. 31 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device. As shown in the figure, the liquid crystal display device 450 is configured by combining a color filter 400 and a counter substrate 466 between upper and lower polarizing plates 462 and 467 and enclosing a liquid crystal composition 465 therebetween. Yes. In addition, alignment films 461 and 464 are formed between the color filter 400 and the counter substrate 466, and TFT (thin film transistor) elements (not shown) and pixel electrodes 463 are arranged in a matrix on the inner surface of the counter substrate 466. Is formed.
[0107]
The color filter 400 includes pixels (filter elements) arranged in a matrix, and the boundaries between the pixels are separated by banks 413. One of the filter materials (functional liquid) of red (R), green (G), and blue (B) is introduced into each pixel. That is, the color filter 400 includes a light-transmitting substrate 411 (work W) and a light-blocking bank 413. The portion where the bank 413 is not formed (removed) constitutes the pixel, and the filter material of each color introduced into the pixel constitutes the colored layer 421. Overcoat layers 422 and electrode layers 423 are formed on the top surfaces of the banks 413 and the colored layers 421.
[0108]
In the droplet discharge device 1 according to the present embodiment, the R, G, and B functional liquids are selected for each colored layer formation region by the droplet discharge head 21 in the pixels formed by being partitioned by the bank 413. Is discharged. And the colored layer 421 used as the film-forming part is obtained by drying the applied functional liquid. In the droplet discharge device 1, various film forming portions such as the overcoat layer 422 are formed by the droplet discharge head 21. Of course, the work gap corresponding to the thickness of the substrate 411 is adjusted by the head Z-axis table 155.
[0109]
Similarly, an organic EL device and a manufacturing method thereof will be described with reference to FIG. As shown in the figure, in the organic EL device 500, a circuit element unit 502 is laminated on a glass substrate 501 (work W), and an organic EL element 504 which is a main component is laminated on the circuit element unit 502. A sealing substrate 505 is formed above the organic EL element 504 with an inert gas space.
[0110]
In the organic EL element 504, a bank 512 is formed by an inorganic bank layer 512 a and an organic bank layer 512 b superimposed on the inorganic bank layer 512 a, and a matrix pixel is defined by the bank 512. In each pixel, a pixel electrode 511, a light emitting layer 510b of any one of R, G, and B and a hole injection / transport layer 510a are stacked from the bottom, and a plurality of thin films such as Ca and Al are formed as a whole. It is covered with the counter electrode 503 laminated over the entire area.
[0111]
In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the R, G, and B light emitting layers 510b and the hole injection / transport layer 510a are formed. In the droplet discharge device 1, after forming the hole injection / transport layer 510 a, the counter electrode 503 is formed using a liquid metal material such as Ca or Al as a functional liquid introduced into the droplet discharge head 21. Are equal. Of course, the work gap corresponding to the thickness of the substrate 501 is adjusted by the head Z-axis table 155.
[0112]
In the device manufacturing method described below, the head Z-axis table 155 is adjusted to a work gap corresponding to the thickness of the work W (substrate).
[0113]
That is, in the method for manufacturing a PDP apparatus, fluorescent materials of R, G, and B colors are introduced into a plurality of droplet discharge heads 21, and the plurality of droplet discharge heads 21 are main-scanned and sub-scanned to selectively select the fluorescent material. The phosphors are respectively formed in a large number of recesses on the rear substrate (work W).
[0114]
In the method of manufacturing the electrophoretic display device, each color of the electrophoretic material is introduced into the plurality of liquid droplet ejection heads 21, and the plurality of liquid droplet ejection heads 21 are main-scanned and sub-scanned to selectively eject the electrophoretic material. Thus, phosphors are respectively formed in a large number of recesses on the electrode (work W). In addition, it is preferable that the migrating body composed of the charged particles and the dye is enclosed in a microcapsule.
[0115]
In the metal wiring forming method, a liquid metal material is introduced into a plurality of droplet discharge heads 21, the plurality of droplet discharge heads 21 are main-scanned and sub-scanned, and the liquid metal material is selectively discharged to form a substrate (workpiece). W) A metal wiring is formed thereon. For example, these devices can be manufactured by applying to a metal wiring connecting the driver and each electrode in the liquid crystal display device or a metal wiring connecting the TFT and the like in the organic EL device to each electrode. In addition to this type of flat panel display, it goes without saying that it can be applied to general semiconductor manufacturing techniques.
[0116]
In the lens forming method, a lens material is introduced into a plurality of droplet discharge heads 21, the plurality of droplet discharge heads 21 are main-scanned and sub-scanned, and the lens material is selectively discharged to form a transparent substrate (work W ) A large number of microlenses are formed thereon. For example, the present invention is applicable when manufacturing a beam focusing device in the FED apparatus. Moreover, it is applicable also to the manufacturing technology of various optical devices.
[0117]
In the lens manufacturing method, a translucent coating material is introduced into a plurality of droplet discharge heads 21, the plurality of droplet discharge heads 21 are subjected to main scanning and sub-scanning, and the coating material is selectively discharged to form a lens. A coating film is formed on the surface.
[0118]
In the resist forming method, a resist material is introduced into a plurality of droplet discharge heads 21, the plurality of droplet discharge heads 21 are main-scanned and sub-scanned, and a resist material is selectively discharged onto the substrate (work W). A photoresist having an arbitrary shape is formed. For example, in addition to the formation of banks in the various display devices described above, the present invention can be widely applied to the application of a photoresist in a photolithography method that forms the main body of semiconductor manufacturing technology.
[0119]
In the light diffusing body forming method, a light diffusing material is introduced into a plurality of droplet discharge heads 21, the plurality of droplet discharge heads 21 are main-scanned and sub-scanned, and a light diffusing material is selectively discharged to form a substrate ( A number of light diffusers are formed on the workpiece W). It goes without saying that this case is also applicable to various optical devices.
[0120]
【The invention's effect】
As described above, according to the dust exhaust device of the present invention and the droplet discharge device including the dust exhaust device, a plurality of exhaust pipe lines connected to the dust collection cover are joined by the exhaust header. Dust can be efficiently exhausted from the cover, and the reliability of the device can be improved.
[0121]
According to the electro-optical device, the method of manufacturing the electro-optical device, and the electronic apparatus of the present invention, the electro-optical apparatus as a result, the manufacturing method thereof, and the reliability of the electronic apparatus are manufactured by the reliable droplet discharge device. Can be increased.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an external perspective view of a droplet discharge device according to an embodiment.
FIG. 2 is a plan view of the droplet discharge device according to the embodiment.
FIG. 3 is a left side view of the droplet discharge device according to the embodiment.
FIG. 4 is an explanatory diagram schematically illustrating a drawing operation of the droplet discharge device according to the embodiment.
FIG. 5 is a plan view showing a Y-axis table and a work table according to the embodiment.
FIG. 6 is a front view showing a Y-axis table and a work table according to the embodiment.
FIG. 7 is a side view showing a work table according to the embodiment.
FIG. 8 is an external perspective view showing an X-axis table and a main carriage according to the embodiment.
FIG. 9 is a front view showing an X-axis table and a main carriage according to the embodiment.
FIG. 10 is a plan view showing main parts of an X-axis table and a main carriage according to the embodiment.
FIG. 11 is a plan view showing a main part of the head unit according to the embodiment.
12A is a perspective view of a droplet discharge head according to an embodiment, and FIG. 12B is a cross-sectional view of a main part of the droplet discharge head.
FIG. 13 is a perspective view showing a main carriage according to the embodiment.
FIG. 14 is an exploded perspective view showing a main carriage according to the embodiment.
FIGS. 15A and 15B are views showing a carriage table according to the embodiment, in which FIG. 15A is an exploded perspective view and FIG. 15B is an assembled view;
16 is an exploded perspective view showing a state in which a dust collection cover is attached to the main carriage shown in FIG.
FIG. 17 is a system diagram showing the dust exhaust device of the present invention.
FIG. 18 is a perspective view of a Y-axis table according to the embodiment.
FIG. 19 is an enlarged front view of the X-axis table according to the embodiment.
FIG. 20 is an enlarged cross-sectional view of an X-axis table according to the embodiment.
FIG. 21 is a perspective view of the X-axis table according to the embodiment as viewed from the right side.
FIG. 22 is a perspective view of the X-axis table cable bear according to the embodiment exposed from an oblique right side.
FIG. 23 is a perspective view of the X-axis table according to the embodiment as viewed from the left side.
FIG. 24 is a perspective view of the X-axis table according to the embodiment exposed from an oblique right side with the cable bear exposed.
FIG. 25 is a perspective view around the head Z-axis table according to the embodiment.
FIG. 26 is a perspective view of a camera unit according to the embodiment.
FIG. 27 is a left side view of the droplet discharge device according to the embodiment.
FIG. 28 is a piping structure diagram around the legs of the gantry according to the embodiment.
FIG. 29 is a perspective view around the exhaust header according to the embodiment.
FIG. 30 is a plan view around the exhaust header according to the embodiment.
FIG. 31 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device manufactured using the manufacturing method of the present invention.
FIG. 32 is a cross-sectional view of an organic EL device manufactured using the manufacturing method of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Droplet discharge device 2 Discharge means
11 Mount 21 Droplet discharge head
22 Head unit 24 X-axis table
25 Y-axis table 38 Y-axis cable carrier for fluid
83 X-axis linear motor 85 X-axis linear guide
95 Left X-axis cable track 96 Fluid X-axis cable track
97 Left X-axis cable track 98 Sub-X-axis cable track
107 Camera unit 154 Head θ table
155 Head Z-axis table 300 Dust exhaust device
301 Dust collection cover 302 Exhaust tube
303 Exhaust header 304 Dust exhaust means
311 Y-axis fluid dust collection cover 312 Left X-axis dust collection cover
313 X-axis dust collection cover 314 Right X-axis dust collection cover
315 Sub X-axis dust collection cover 316 Guide dust collection cover
317 Motor dust cover 318 First head dust cover
319 Second head dust cover 320 Camera dust cover
335 First horizontal tube 342 Second horizontal tube
349 Third horizontal pulling tube 356 Fourth horizontal pulling tube
363 Fifth pulling tube 370 Sixth pulling tube
377 7th horizontal tube 383 8th horizontal tube
390 Nine horizontal pulling tube 395 Tenth horizontal pulling tube
400 Liquid crystal display device 500 Organic EL device
W Work

Claims (12)

ワークと機能液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから前記ワークに機能液滴を選択的に吐出する描画装置と、前記描画装置に形成されてなる複数の可動機構から発生した塵埃を装置外に排気する塵埃排気装置と、を有する液滴吐出装置において、
前記複数の可動機構をそれぞれ覆う複数の集塵カバーと、
前記各集塵カバーに連通した複数の排気管路と、
前記複数の排気管路を下流端において合流させる排気ヘッダと、
前記排気ヘッダに連なる塵埃排気手段と、を備え、
前記複数の可動機構の少なくとも１つの前記可動機構が、前記相対的な移動に伴って移動し、且つ一端が固定され、他端が可動するケーブルの担持体であることを特徴とする液滴吐出装置。 While relatively moving the workpiece and the functional liquid droplet ejecting heads, the functional liquid and drawing device for selectively discharging the functional liquid droplet to the workpiece from the droplet discharge head, a plurality of composed formed before Symbol drawing device in the droplet ejection apparatus having a dust dust exhaust device you exhaust the dust generated from the moving mechanism to the outside of the apparatus, and
A plurality of dust collecting covers respectively covering the plurality of movable mechanisms;
A plurality of exhaust pipe lines communicating with each dust collecting cover;
An exhaust header for joining the plurality of exhaust pipes at the downstream end; and
A dust exhaust means connected to the exhaust header ,
At least one of the plurality of movable mechanisms is a cable carrier that moves with the relative movement and that has one end fixed and the other end movable. equipment. 前記排気ヘッダは、前記架台の１の辺の脚部廻りに配設され、
前記排気ヘッダに至る前記各排気管路の主横引き管路は、前記描画装置を載置する架台の脚部廻りに配管されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。 The exhaust header is disposed around a leg of one side of the gantry,
2. The droplet discharge device according to claim 1, wherein a main horizontal pulling conduit of each of the exhaust conduits leading to the exhaust header is piped around a leg portion of a gantry on which the drawing device is placed. Place. 前記複数の集塵カバーの少なくとも１つの集塵カバーには、その長手方向の両端部に前記排気管路に連通する排気口がそれぞれ配設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。 3. At least one dust collecting cover of the plurality of dust collecting covers is provided with exhaust ports communicating with the exhaust pipe line at both ends in the longitudinal direction thereof, respectively. droplet discharge equipment as claimed. 前記複数の集塵カバーの少なくとも１つの集塵カバーには、その長手方向に亘って前記排気管路に連通する多数の排気口が配設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。 3. The exhaust port that communicates with the exhaust pipe line in the longitudinal direction is provided in at least one dust collection cover of the plurality of dust collection covers. droplet discharge equipment as claimed. 前記描画装置は、前記ワークをＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブルを有し、
前記担持体には、前記Ｙ軸テーブルに添設され、一端を固定とし他端を可動として流体用チューブを担持するＹ軸流体チューブ担持体が含まれていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing device has a Y-axis table moving the workpiece in the Y-axis direction,
Wherein the bearing member, wherein are additionally provided in the Y-axis table, claims 1, characterized in that Y-axis fluid tube carrying member for carrying a fluid tube is included as movable other end to one end fixed droplet discharge equipment as claimed in any one of the four. 前記描画装置は、前記機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルを有し、
前記担持体には、前記Ｘ軸テーブルに添設され、一端を固定とし他端を可動としてケーブルを担持するＸ軸ケーブル担持体が含まれていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing apparatus has an X-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction,
Wherein the carrier is one wherein the additionally provided to the X-axis table, of claims 1, characterized in that the X-axis cable carrier for carrying the cable is included as movable other end to one end fixed to 5 droplet discharge equipment crab according. 前記描画装置は、前記機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルを有し、
前記担持体には、前記Ｘ軸テーブルに添設され、一端を固定とし他端を可動として流体用チューブを担持するＸ軸流体チューブ担持体が含まれていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing apparatus has an X-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction,
Wherein the bearing member, wherein are additionally provided to the X-axis table, we claim 1, characterized in that the X-axis fluid tube carrying member for carrying a fluid tube is included as movable other end to one end fixed droplet discharge equipment as claimed in any one of 6. 前記描画装置は、前記機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルを有し、
前記複数の可動機構には、前記Ｘ軸テーブルのスライダ摺接部およびそのリニアガイドが、更に含まれていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing apparatus has an X-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction,
The plurality of movable mechanism, the droplet discharge equipment as claimed in any one of claims 1 to 7 slider sliding portion and its linear guide of the X-axis table, characterized in that it further includes. 前記描画装置は、前記機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルを有し、
前記複数の可動機構には、前記Ｘ軸テーブルのリニアアクチュエータが、更に含まれていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing apparatus has an X-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the X-axis direction,
The plurality of movable mechanism, the droplet discharge equipment as claimed in any one of claims 1 to 8 linear actuator of the X-axis table, characterized in that it further includes. 前記描画装置は、前記機能液滴吐出ヘッドをＺ軸方向に移動させるヘッドＺ軸テーブルを有し、
前記複数の可動機構には、前記ヘッドＺ軸テーブルが、更に含まれていることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing apparatus has a head Z-axis table for moving the functional liquid droplet ejection head in the Z-axis direction,
The plurality of movable mechanism, the droplet discharge equipment as claimed in any one of claims 1 to 9, wherein the head Z-axis table, characterized in that it further includes. 前記描画装置は、前記機能液滴吐出ヘッドをθ方向に移動させるヘッドθテーブルを有し、
前記複数の可動機構には、前記ヘッドθテーブルが、更に含まれていることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing apparatus has a head θ table that moves the functional liquid droplet ejection head in the θ direction,
The plurality of movable mechanism, the droplet discharge equipment as claimed in any one of claims 1 to 10 wherein the head θ table, characterized in that it further includes. 前記描画装置は、前記ワークを撮像するカメラと、前記カメラをＺ軸方向に移動させるカメラＺ軸テーブルとを有し、
前記複数の可動機構には、前記カメラＺ軸テーブルが、更に含まれていることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれかに記載の液滴吐出装置。 The drawing device has a camera for imaging the workpiece, a camera Z-axis table for moving the camera in the Z-axis direction,
The plurality of movable mechanism, the droplet discharge equipment as claimed in any one of claims 1 to 11 wherein the camera Z-axis table, characterized in that it further includes.

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