JP4342893B2 - プラズマ発生電極及びプラズマ反応器 - Google Patents
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Description
互いに対向する三十枚の板状の単位電極と、この単位電極を所定間隔に隔てた状態で保持する保持部材とを備えたプラズマ発生電極(実施例1)を製造した。プラズマ発生電極を構成する単位電極は、誘電体となるセラミック体と、セラミック体の内部に配設された導電膜とを有している。
保持部材が、気孔率が25%の酸化アルミニウムを切削加工して形成されたものであること以外は、実施例1と同様に構成されたプラズマ発生電極(比較例1)を製造した。本実施例のプラズマ発生電極においては、保持部材の曲げ強度が250MPa、ヤング率が150GPa、熱伝導率が15W/mKであり、単位電極を構成するセラミック体のヤング率に対する保持部材のヤング率の割合が0.47、単位電極を構成するセラミック体の熱伝導率に対する保持部材の熱伝導率の割合が0.75であった。
窒化珪素から構成されたセラミック体を有する単位電極と、酸化アルミニウムから構成された保持部材とを用いてプラズマ発生電極(実施例3)を製造した。本実施例のプラズマ発生電極においては、単位電極を構成するセラミック体の熱伝導率に対する保持部材の熱伝導率の割合が0.29であった。
保持部材が、実施例1の単位電極を構成するセラミック体と同じ酸化アルミニウムによって形成されたものであること以外は、実施例1と同様に構成されたプラズマ発生電極(比較例1)を製造した。
保持部材が、実施例1の単位電極を構成するセラミック体よりヤング率が高く、熱伝導率の高い緻密質酸化アルミニウムによって形成されたものであること以外は、実施例1と同様に構成されたプラズマ発生電極(比較例2)を製造した。本比較例のプラズマ発生電極においては、単位電極を構成するセラミック体のヤング率に対する保持部材のヤング率の割合が1.07、単位電極を構成するセラミック体の熱伝導率に対する保持部材の熱伝導率の割合が1.1であった。
Claims (10)
- 互いに対向する二以上の板状の単位電極と、前記単位電極を所定間隔に隔てた状態で保持する保持部材とを備え、前記単位電極相互間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極であって、
互いに対向する前記単位電極の少なくとも一方が、誘電体となるセラミック体と、前記セラミック体の内部に配設された導電膜とを有するとともに、
前記保持部材は、前記単位電極相互間の間隔の長さに相当する厚さを有し、互いに対向する前記単位電極の一方の端部又は両方の端部に配置されたものであり、
前記単位電極を構成する前記セラミック体のヤング率に対する前記保持部材のヤング率の割合が1より小さい、及び/又は前記単位電極を構成する前記セラミック体の熱伝導率に対する前記保持部材の熱伝導率の割合が1より小さいプラズマ発生電極。 - 前記保持部材が、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化珪素、窒化珪素、ジルコニア、ムライト、コージェライト、及び結晶化ガラスからなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物を含む請求項1に記載のプラズマ発生電極。
- 前記セラミック体が、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム、ムライト、コージェライト、マグネシウム−カルシウム−チタン系酸化物、バリウム−チタン−亜鉛系酸化物、及びバリウム−チタン系酸化物からなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物を含む請求項1又は2に記載のプラズマ発生電極。
- 前記単位電極を構成する前記セラミック体のヤング率に対する前記保持部材のヤング率の割合が0.8以下である請求項1〜3のいずれかに記載のプラズマ発生電極。
- 前記保持部材のヤング率が250GPa以下である請求項1〜4のいずれかに記載のプラズマ発生電極。
- 前記単位電極を構成する前記セラミック体の熱伝導率に対する前記保持部材の熱伝導率の割合が0.5以下である請求項1〜5のいずれかに記載のプラズマ発生電極。
- 前記保持部材の熱伝導率が20W/mK以下である請求項1〜6のいずれかに記載のプラズマ発生電極。
- 請求項1〜7のいずれかに記載のプラズマ発生電極と、所定の成分を含むガスの流路(ガス流路)を内部に有するケース体とを備え、前記ガスが前記ケース体の前記ガス流路に導入されたときに、前記プラズマ発生電極で発生したプラズマにより前記ガスに含まれる前記所定の成分が反応することが可能なプラズマ反応器。
- 前記プラズマ発生電極に電圧を印加するためのパルス電源をさらに備えた請求項8に記載のプラズマ反応器。
- 前記パルス電源が、その内部に少なくとも一つのSIサイリスタを有する請求項9に記載のプラズマ反応器。
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