JP4342050B2 - Sliding device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、摺動装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
半導体製造装置等の精密な摺動が要求される摺動装置として、例えば、特開昭55−60718号公報に開示されているように、基体と摺動体とから成り、基体及び摺動体には夫々負荷路が設けられ、該夫々の負荷路間には、板体に並設された窓孔に転動体が回動自在に配設された転動機構が介在せしめられ、この転動機構により基体に対して摺動体が往復摺動される摺動装置が提案されている。
【0003】
この転動機構を有する摺動装置は、摺動体の摺動の際、夫々の負荷路に当接する転動体の回動により摺動体の摺動量に対して板体(転動機構)が約1/2摺動するものである。
【0004】
しかし、この構造の摺動装置では、前記特開昭55−60718号公報にも開示されているように、摺動体の往復摺動回数が多くなると、転動体と負荷路との間に生じるわずかな滑りにより、板体の配設位置が適正な位置から摺動体の摺動方向に徐々にズレてしまい、結果として板体が不適正な位置に移動してしまうという問題点がある。
【0005】
この問題点の解決手段として、例えば、前記特開昭55−60718号公報に開示されているように、リンク機構や滑車機構や歯車機構等によって確実に板体の摺動量を摺動体の摺動量の1/2となるように構成し、該板体の配設位置のズレを防止する方法、即ち、板体のズレを防止する方法や、摺動装置の端部にして基体と摺動体との間隙から押圧体を挿入し、該押圧体によって板体を押圧し、板体を適正な配設位置に修正する方法、即ち、板体のズレを修正する方法があるが、前者の方法では、リンク機構や滑車機構や歯車機構が複雑で、摺動装置がコスト高になり、更に該リンク機構や滑車機構や歯車機構等が摺動装置の周囲に複雑に配設される為邪魔になるという欠点があり、後者の方法では、摺動装置の端部双方のいずれからでも押圧体を挿入できるように構成しないと板体を適正な配設位置に修正することができず、例えば、摺動装置の端部を前記半導体製造装置等に付設した場合、該付設側端部からは押圧体を挿入することができず板体のズレを修正することができない。
【0006】
本発明は、上記問題点を解決するもので、簡単な構成でありながら、摺動装置の一端部側からのみで板体を適正な配設位置に修正することが可能で、この修正も基体に対する摺動体の摺動の際に確実に行われることになる実用性,コスト安に秀れた摺動装置を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【0008】
基体1と摺動体2とから成り、この基体1及び摺動体2には夫々負荷路3・4が設けられ、この夫々の負荷路3・4間には前記基体1に対して前記摺動体2を摺動せしめる転動機構5が介在せしめられ、この転動機構5として、板体6に並設された窓孔7に転動体8が回動自在に配設され、前記摺動体2の摺動の際、夫々の前記負荷路3・4に当接する転動体8の回動により該摺動体2の摺動量に対して約1/2摺動する構造の転動機構5が採用された摺動装置であって、前記板体6の一端部は前記摺動体2の摺動方向側に突出状態に設けられ、この板体6の一端部には前記摺動体2の摺動方向と直交する方向に突出する突出部9が設けられ、この突出部9には貫通孔10が設けられ、一方、前記摺動体2の一端部には前記貫通孔10に貫通される突出軸11が連設され、この突出軸11には該突出軸11が前記貫通孔10を貫通し前記突出部9から突出する部分を抜け止め状態にする抜止部12が設けられ、前記基体1に対して前記摺動体2を摺動させた際、前記突出部9が前記摺動体2の一端部若しくは前記抜止部12に当接するように構成されていることを特徴とする摺動装置に係るものである。
【0009】
また、請求項1記載の摺動装置において、前記基体1に対して前記摺動体2を一方へ摺動させた際、前記摺動体2の一端部と前記板体6の突出部9とが当接することで該板体6のズレが修正され、前記基体1に対して前記摺動体2を他方へ摺動させた際、この摺動体2に連設された前記突出軸11の前記抜止部12と前記突出部9とが当接することで前記板体6のズレが修正されるように構成されていることを特徴とする摺動装置に係るものである。
【0010】
また、請求項1,2いずれか1項に記載の摺動装置において、前記突出部9は、弾性部材13・14を介して前記摺動体2の一端部若しくは前記抜止部12に当接するように構成されていることを特徴とする摺動装置に係るものである。
【0011】
また、請求項3記載の摺動装置において、前記弾性部材13・14の弾性力は、前記転動体8と前記負荷路3・4との摩擦力よりも大きい弾性力に設定されていることを特徴とする摺動装置に係るものである。
【0012】
また、請求項1〜4いずれか1項に記載の摺動装置において、前記転動体8としてローラ体8が採用され、前記転動機構5として隣接する前記ローラ体8の回転軸が交互に直交する構造の転動機構5が採用されていることを特徴とする摺動装置に係るものである。
【0013】
【発明の作用及び効果】
板体6が適正な配設位置からズレた場合、摺動体2の摺動に伴って摺動する板体6の突出部9が摺動体2の一端部若しくは抜止部12に当接して該板体6のズレは修正される。
【0014】
この板体6の突出部9及び抜止部12は、摺動体2の摺動方向の一端部側にのみ設けられている為、基体1の他端部側を工作装置等に取り付けても、該修正機構の保守,点検は容易に行われる。
【0015】
【発明の実施の形態】
図面は本発明の一実施例を図示したものであり、以下に説明する。
【0016】
本実施例は、基体1と摺動体2とから成り、基体1及び摺動体2には夫々負荷路3・4が設けられ、該夫々の負荷路3・4間には基体1に対して摺動体2を摺動せしめる転動機構5が介在せしめられ、この転動機構5として、板体6に並設された窓孔7に転動体8が回動自在に配設され、摺動体2の摺動の際、夫々の負荷路3・4に当接する転動体8の回動により摺動体2の摺動量に対して転動機構5が約1/2摺動する構造の転動機構5が採用された摺動装置であって、摺動体2の摺動方向の一端部側にのみ、摺動体2の摺動の際、転動機構5の板体6が当接して該板体6のズレを修正する修正機構が突出状態に設けられているものである。
【0017】
この修正機構は、板体6の一端部は摺動体2の摺動方向側に突出状態に設けられ、該板体6の一端部には摺動体2の摺動方向と直交する方向に突出する突出部9が設けられ、摺動体2の摺動の際、該突出部9が任意の部位に当接することで板体6が押圧され、この押圧により該板体6のズレを修正する構成の修正機構が採用されている。
【0018】
また、突出部9には、摺動体2の摺動方向に貫通する貫通孔10が設けられ、一方、摺動体2の一端部には前記貫通孔10に嵌挿される突出軸11が連設され、この突出軸11には、該突出軸11が前記貫通孔10に嵌挿された前記板体6の突出部9(突出軸11が貫通孔10を貫通し突出部9から突出する部分)を抜け止め状態にする抜止部12が設けられ、基体1に対して摺動体2を一方へ摺動させた際、該摺動体2の一端部と前記突出部9とが第一弾性部材13を介して当接し、基体1に対して摺動体2を他方へ摺動させた際、突出軸11の抜止部12と前記突出部9とが第二弾性部材14を介して当接するように構成されている。尚、摺動体2の摺動方向が垂直方向で、転動機構5が一方向へズレてしまうおそれが高い場合等には、第一弾性部材13若しくは第二弾性部材14のいずれか1方のみが設けられる構成でも良い。
【0019】
基体1としては、左右側壁間が凹溝15に設定され、この左右側壁面に上下2条の負荷路3が形成された基体1が採用されている。
【0020】
摺動体2としては、前記基体1の凹溝15に挿入され、該凹溝15に沿って摺動する摺動体2が採用されている。また、この摺動体2の左右側面には前記基体2の上下2条の負荷路3と対向状態に上下2条の負荷路4が形成されている。
【0021】
転動機構5としては、転動体8としてローラ体8が採用され、隣接するローラ体8の回転軸が交互に直交する構造の転動機構5が採用されている。このローラ体8は、外周面が前記基体1側の負荷路3及び摺動体2側の負荷路4に当接する構成で、摺動体2の摺動の際、該ローラ体8が回動し、摺動体2の摺動量の1/2だけ板体6(転動機構5)が該摺動体2の摺動方向に移動する。
【0022】
板体6の突出部9は、該板体6の端部を屈曲して形成している。
【0023】
摺動体2の摺動方向の側面には突出軸11が連設され、該突出軸11の先端には抜止部12として螺着体が螺着脱自在に設けられている。従って、突出軸11から抜止部12を取り外した後、該突出軸11に前記突出部9の貫通孔10を嵌挿させ、続いて、再び突出軸11に抜止部12を螺着することで該突出部9を抜け止め状態にすることができる。また、本実施例では、ダブルナット方式によって螺着した抜止部12の螺合移動を阻止する構成を採用している。
【0024】
第一弾性部材13は、摺動体2の摺動方向の側面に付設されている。尚、第一弾性部材13が突出部9に付設される構成でも同様である。
【0025】
また、この第一弾性部材13としては、ウレタンワッシャが採用されている。尚、ウレタンワッシャ以外の弾性部材、例えば、コイルバネ等を採用しても同様である。
【0026】
第二弾性部材14は、突出部9にして前記抜止部12側に付設されている。尚、第二弾性部材14が抜止部12に付設される構成でも同様である。
【0027】
また、この第二弾性部材13としては、コイルバネが採用されている。尚、コイルバネ以外の弾性部材、例えば、合成樹脂製ゴム等を採用しても同様である。
【0028】
この第一弾性部材13及び第二弾性部材14の弾性力は、前記転動体8と負荷路3・4との摩擦力よりも大きい力に設定される。この弾性力が前記摩擦力よりも小さいと、第一弾性部材13及び第二弾性部材14の押圧によって板体6のズレ修正することができなくなる。
【0029】
また、第一弾性部材13と突出部9との距離は、図1中左方向への摺動体2の摺動量の1/2に設定される。また、第二弾性部材14と抜止部12との距離は図1中右方向への摺動体2の摺動量の1/2に設定される。この構成によれば、基体1に対する摺動体2の摺動量と,第一弾性部材13と突出部9との距離及び第二弾性部材14と抜止部12との距離の2倍とが等しくなり、板体6が適正な配設位置から僅かでもズレた際、第一弾性部材13若しくは第二弾性部材14の押圧作用によって突出部9、即ち、板体6が押圧されることになり、よって、板体6が適正な配設位置に修正されることになる。
【0030】
図中符号16は、転動機構5が基体1と摺動体2との間隙から万が一抜け出ること(即ち、摺動体2が摺動し過ぎること)を防止するストッパーである。このストッパー16は、前記板体6がズレていない状態では、該板体6が該ストッパー16に当接しないように設定される。また、符号17は摺動体2に工作具等を取り付け固定する取付部である。
【0031】
尚、図面では、摺動体2の片側側面にのみ転動機構5を配設し、摺動体2の他側側面の転動機構5は省略しているが、この摺動体2の他側側面の転動機構5にも本実施例と同様に突出部9等が設けられる。
【0032】
本実施例は上述のように構成したから、摺動体2の摺動方向片側のみに突設された修正機構により、摺動体2の摺動の際に板体6が押圧されて該板体6のズレが修正されることになる実用性に秀れた摺動装置となる。
【0033】
また、板体6の一端部に設けられた突出部9が押圧される構成であるから、摺動体2の摺動方向片側のみに修正機構が設けられた構成でも、転動機構5の適正な配設位置からのズレが摺動体2の前後摺動方向のいずれの方向に向かって発生しても該ズレを修正することができる実用性に秀れた摺動装置となる。
【0034】
また、修正機構は、摺動体2の摺動方向の一端部側にのみ設けられ、この修正機構は突出状態で設けられた構成であるから、該修正機構の保守,点検を容易に行え、更に、修正機構の形成も容易に行えることになる実用性,コスト安に秀れた摺動装置となる。
【0035】
また、突出部9の押圧による転動機構5の板体6のズレの修正は、第一弾性部材13若しくは第二弾性部材14により行われるから、該突出部9に加えられる押圧力が、硬質部材とぶつかる衝撃力のような強い力とは異なり、板体6のずれを緩やかに修正できる程度の押圧力となり、よって、突出部9が押圧され過ぎて逆に板体6が不適正な位置にズレたりすることがなく、確実に板体6を適正な配設位置へ修正することができる実用性に秀れた摺動装置となる。
【0036】
また、第一弾性部材13及び第二弾性部材14の押圧力は、転動体8と負荷路3・4との摩擦力よりも大きい力に設定されているから、該第一弾性部材13及び第二弾性部材14の押圧による板体6のズレの修正が確実に行われることになるより一層実用性に秀れた摺動装置となる。
【0037】
また、この修正機構は、板体6の一端部を摺動体2より突出させ、この板体6の一端部に突出部9を設け、該突出部9に貫通孔10を設け、この貫通孔10に摺動体2に連設された突出軸11を嵌挿させる構成で、突出部9や摺動体2の側面等に弾性部材を付設することで簡単に設けることができ、更に、この修正機構を非常にコンパクトに設けることができる実用性,コスト安に秀れた摺動装置なる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本実施例の説明平面図である。
【図2】 本実施例の要部の説明図である。
【図3】 本実施例の転動機構5の説明斜視図である。
【図4】 本実施例の要部の説明断面図である。
【符号の説明】
1 基体
2 摺動体
3・4 負荷部
5 転動機構
6 板体
7 窓孔
8 転動体
9 突出部
10 貫通孔
11 突出軸
12 抜止体
13・14 弾性部材[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a sliding device.
[0002]
[Prior art and problems to be solved by the invention]
As a sliding device that requires precise sliding, such as a semiconductor manufacturing device, for example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-60718, it is composed of a base and a sliding body. Each of the load paths is provided with a rolling mechanism in which a rolling element is rotatably disposed in a window hole provided in parallel with the plate body. There has been proposed a sliding device in which a sliding body slides back and forth with respect to a base.
[0003]
In the sliding device having this rolling mechanism, when the sliding body slides, the plate body (rolling mechanism) is about 1 with respect to the sliding amount of the sliding body due to the rotation of the rolling body contacting each load path. / 2 It slides.
[0004]
However, in the sliding device having this structure, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 55-60718, when the number of reciprocating slides of the sliding body increases, a slight amount generated between the rolling element and the load path is generated. As a result of slipping, there is a problem that the arrangement position of the plate body gradually shifts from the appropriate position in the sliding direction of the slide body, and as a result, the plate body moves to an inappropriate position.
[0005]
As a means for solving this problem, for example, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 55-60718, the sliding amount of the plate member is reliably set by the link mechanism, pulley mechanism, gear mechanism, or the like. The method of preventing the displacement of the arrangement position of the plate body, that is, the method of preventing the displacement of the plate body, the end of the sliding device and the substrate and the sliding body There is a method of inserting a pressing body through the gap, pressing the plate body with the pressing body, and correcting the plate body to an appropriate arrangement position, that is, a method of correcting displacement of the plate body, In addition, the link mechanism, pulley mechanism, and gear mechanism are complicated, and the cost of the sliding device becomes high. Further, the link mechanism, pulley mechanism, gear mechanism, and the like are complicatedly disposed around the sliding device. In the latter method, from both ends of the sliding device Unless the pressure body can be inserted, the plate body cannot be corrected to an appropriate arrangement position. For example, when the end of the sliding device is attached to the semiconductor manufacturing apparatus, the attached side end Therefore, the pressing body cannot be inserted, and the displacement of the plate body cannot be corrected.
[0006]
The present invention solves the above-mentioned problems, and it is possible to correct the plate body to an appropriate arrangement position only from one end side of the sliding device while having a simple configuration. Therefore, the present invention is to provide a sliding device excellent in practicality and low cost which is surely performed when the sliding body slides against the above.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The gist of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
[0008]
[0009]
Further, in the sliding apparatus according to
[0010]
Further, in the sliding apparatus according to any one of
[0011]
Further, in the sliding apparatus according to
[0012]
Also, orthogonal in the sliding apparatus according to any one of claims 1-4, wherein the
[0013]
[Action and effect of the invention]
When the
[0014]
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The drawings illustrate one embodiment of the present invention and are described below.
[0016]
In this embodiment, the
[0017]
In this correction mechanism, one end portion of the
[0018]
Further, the projecting
[0019]
As the
[0020]
As the sliding
[0021]
As the
[0022]
The protruding
[0023]
A projecting
[0024]
The first
[0025]
As the first
[0026]
The second
[0027]
As the second
[0028]
The elastic force of the first
[0029]
Further, the distance between the first
[0030]
[0031]
In the drawing, the
[0032]
Since the present embodiment is configured as described above, the
[0033]
Further, since the protruding
[0034]
Further, the correction mechanism is provided only on one end side in the sliding direction of the sliding
[0035]
Further, since the displacement of the
[0036]
Further, since the pressing force of the first
[0037]
Further, this correction mechanism has one end of the
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory plan view of the present embodiment.
FIG. 2 is an explanatory diagram of a main part of the present embodiment.
FIG. 3 is an explanatory perspective view of the
FIG. 4 is an explanatory sectional view of a main part of the present embodiment.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
10 Through hole
11 Protruding shaft
12 Retaining body
13.14 Elastic members
Claims (5)
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