JP4338748B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
半導体基板の表面上に、SiOFまたは水素シルセスキオキサンを含む層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜の表面上に、該層間絶縁膜とはエッチング耐性の異なる材料からなるエッチング停止層を形成する工程と、
前記エッチング停止層の表面上に、開口を有するレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜をマスクとし、該レジスト膜の開口下の前記エッチング停止層をエッチングする工程と、
前記エッチング停止層のエッチング速度よりも前記レジスト膜及び前記層間絶縁膜のエッチング速度の方が速い条件で、酸素プラズマを用いない反応性イオンエッチングにより、前記レジスト膜及び該レジスト膜の前記開口下の前記層間絶縁膜をエッチングし、該層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールを形成するとともに前記レジスト膜を除去する工程と、
前記コンタクトホール内を導電性プラグで埋め込む工程と、
前記層間絶縁膜の上に、前記導電性プラグに接続された配線を形成する工程とを有する半導体装置の製造方法が提供される。
2 フィールド酸化膜
3 不純物拡散領域
4、20、30、32 層間絶縁膜
5、34 レジスト膜
6、35、36 開口
7、21、37 コンタクトホール
10 接着層
11 W膜
15、22、38 導電性プラグ
16、23 配線
25 被覆膜
31 下層配線
33 エッチング停止層
39 上層配線
Claims (2)
- 半導体基板の表面上に、SiOFまたは水素シルセスキオキサンを含む層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜の表面上に、該層間絶縁膜とはエッチング耐性の異なる材料からなるエッチング停止層を形成する工程と、
前記エッチング停止層の表面上に、開口を有するレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜をマスクとし、該レジスト膜の開口下の前記エッチング停止層をエッチングする工程と、
前記エッチング停止層のエッチング速度よりも前記レジスト膜及び前記層間絶縁膜のエッチング速度の方が速い条件で、酸素プラズマを用いない反応性イオンエッチングにより、前記レジスト膜及び該レジスト膜の前記開口下の前記層間絶縁膜をエッチングし、該層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールを形成するとともに前記レジスト膜を除去する工程と、
前記コンタクトホール内を導電性プラグで埋め込む工程と、
前記層間絶縁膜の上に、前記導電性プラグに接続された配線を形成する工程とを有する半導体装置の製造方法。 - 前記レジスト膜を除去した後、前記コンタクトホール内を前記導電性プラグで埋め込む前に、前記エッチング停止層を除去する工程を含む請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
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JP2007281507A JP2007281507A (ja) | 2007-10-25 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710 Year of fee payment: 3 |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710 Year of fee payment: 3 |
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R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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