JP4328798B2 - ガス放電プラズマに基づく短波長光線の生成のための装置および冷却剤搬送電極ハウジングの製作方法 - Google Patents
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Description
11 出口開口部
12 電極カラー
13 管状絶縁体
2 第2の電極ハウジング
21 幅を狭められた出口
22 電極カラー
23 電気的絶縁層
24 高電圧パルス発生器
3 予備電離ユニット
31 予備電離箱
32 予備電離電極
33 絶縁体管
34 予備電離パルス発生器
35 滑り放電
4 真空室
41 真空ポンプ素子
5 プラズマ
51 放出される光線
52 放電箱
6 対称軸
7 ガス供給ユニット
8 熱交換器系
81 冷却剤貯槽
82 冷却剤ポンプユニット
83 冷却チャネル(半径方向)
84 (幅を狭められた)チャネル部分
85 チャネル構造
86 多孔性材料
87 キャピラリ構造
88 顆粒
89 ねじ部
9 密閉(ねじ)
A−A 断面平面
B−B 直交断面平面
Claims (38)
- 第1および第2の同軸電極ハウジングによって包囲され、かつ第1および第2の同軸電極ハウジング内で真空排気され作動ガスが所定の圧力下でその中に導入される放電箱を含み、前記短波長光線用の出口開口部を有するような、ガス放電によって生成されるホットプラズマに基づく短波長光線の生成のための装置であり、そこでは、前記2つの電極ハウジングが絶縁破壊に耐えるように絶縁層によって互いに絶縁されており、前記第2の電極ハウジングは、幅を狭められた出口によって前記第1の電極ハウジングの中に突出し、前記第1の電極ハウジングが前記出口開口部の周りに電極カラーを有し、前記第2の電極ハウジングが前記幅を狭められた出口において電極カラーを有することにより、放射プラズマを生成するための前記ガス放電が、前記第1の電極ハウジングの前記放電箱の内側で、これらの電極カラーの間で意図的に発火され、冷却剤を循環させるための特殊な冷却チャネルが前記電極カラーまで電極材料中に組み込まれる生成装置において、
前記冷却チャネル(83)は前記電極カラー(12、22)の熱応力の高い表面領域の数mm以内まで半径方向に進み、前記電極ハウジング(1、2)の対称軸(6)に実質的に平行な前記熱応力の高い表面の領域内に幅を狭められたチャネル部分(84)を有することにより、循環する冷却剤の流速を増大することと、
前記幅を狭められたチャネル部分(84)が内表面を増大するため、および循環する冷却剤の流速をさらに増大するためのチャネル構造(85)を備え、前記チャネル構造(85)は幅を狭められたチャネル部分(84)の適切な表面加工によって生成されることを特徴とする装置。 - 前記幅を狭められたチャネル部分(84)は、表面材料の追加的な腐食除去によって構造化されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記材料の除去は、チル鋳物顆粒、ガラスビーズ、スチールショットまたは鋼玉の群からなるブラスト材料の1つを用いてブラストによって行われることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記幅を狭められたチャネル部分(84)は、エッチングによる材料の除去によって構造化されることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記幅を狭められたチャネル部分(84)は、材料粉砕法による材料の除去によって構造化されることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記幅を狭められたチャネル部分(84)は、前記表面に対する追加的な材料コーティングによって構造化されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記幅を狭められたチャネル部分(84)は、顆粒材料(88)の塗布によって構造化されることを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 前記顆粒材料(88)は、きわめて良好な熱伝導率を有する少なくとも一種の金属、金属合金または金属セラミックを含むことを特徴とする請求項7に記載の装置。
- 前記顆粒材料(88)は、金属、すなわち、銅、アルミニウム、銀、金、モリブデン、タングステンまたはそれらの合金のうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 前記顆粒材料(88)は、MoCu、WCuまたはAgCuの合金の一種を含むことを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 前記顆粒材料(88)は、AlO、SiCまたはAlNの金属セラミックの1つを含むことを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 前記顆粒材料(88)は、ダイヤモンドを含むことを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 前記幅を狭められたチャネル部分(84)の直径は、用いられる前記顆粒材料(88)の粒子サイズに適合し、前記チャネル部分(84)の直径は、前記顆粒(88)の粒子サイズの少なくとも2倍の大きさであることを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 前記幅を狭められたチャネル部分(84)の直径は、100μm〜2mmであることを特徴とする請求項13に記載の装置。
- 前記幅を狭められたチャネル部分(84)は、前記対称軸(6)を中心とする同軸の環状間隙として構成されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記幅を狭められたチャネル部分(84)は、穿孔として構成されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 穿孔として構成される前記幅を狭められたチャネル部分(84)は、ねじ部(89)に切削することによって構造化されることを特徴とする請求項16に記載の装置。
- 低粘性の冷却剤が、前記幅を狭められたチャネル部分(84)を通って流れることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 脱イオン水が、低粘性の冷却剤として用いられることを特徴とする請求項18に記載の装置。
- 特殊な低粘性の油が冷却剤として用いられることを特徴とする請求項18に記載の装置。
- ガス放電によって生成されるホットプラズマ用の冷却剤搬送電極ハウジングの製作方法であり、放電箱が第1および第2の同軸電極ハウジングによって包囲され、かつ第1および第2の同軸電極ハウジング内で真空排気され、作動ガスが所定の圧力下で前記第1および前記第2の同軸電極ハウジングの中に導入され、前記2つの電極ハウジングは、絶縁破壊に耐えるように絶縁層によって互いに絶縁されており、かつ冷却チャネルを有し、前記第2の電極ハウジングは、幅を狭められた出口によって前記第1の電極ハウジングの中に突出することにより、前記第1の電極ハウジングの対向する位置にある領域でのガス放電を可能する冷却剤搬送電極ハウジングの製作方法において、
冷却チャネル(83)が、前記電極ハウジング(1、2)の対称軸(6)に対する少なくとも2つの異なる直交平面にて前記電極ハウジング(1、2)内に穴あけされて、外側から、熱応力の高い表面から数mmまでの距離へ半径方向内側に進むことと、
前記半径方向の冷却チャネル(83)の端部領域にて、異なる直交平面の2つの冷却チャネル(83)の間でそれぞれ小さい直径の接続チャネル(84)が作製されるように、幅を狭められたチャネル部分(84)が、前記対称軸(6)に実質的に平行に実現されることを特徴とする方法。 - 前記幅を狭められたチャネル部分(84)は、環状間隙として前記対称軸(6)に対して同心に凹部が形成され、前記電極ハウジング(1、2)の中で電極カラー(12;22)を隣接した状態で完全に包囲するようにし、2つの冷却チャネル(83)は、循環する冷却剤用の入口および出口として前記異なる直交平面にて、前記対称軸(6)に対して互いに対向するように配置されることを特徴とする請求項21に記載の方法。
- 前記幅を狭められたチャネル部分(84)は、穿孔として前記対称軸(6)に対して同軸に穴あけされ、一様に分散された態様で穴あけされるこの種の複数のチャネル部分(84)は、前記対称軸(6)に対して同心の円筒形の外面に沿って前記電極ハウジング(1、2)の内側で電極カラー(12;22)を包囲するように配置されることができることを特徴とする請求項21に記載の方法。
- 前記幅を狭められたチャネル部分(84)は、内面を増大するために、材料の除去によってチャネル構造(85)を備えることを特徴とする請求項21に記載の方法。
- 前記チャネル構造(85)は、ねじ部(89)を切削することによって形成されることを特徴とする請求項24に記載の方法。
- 前記チャネル構造(85)は、エッチングによって形成されることを特徴とする請求項24に記載の方法。
- 前記チャネル構造(85)は、材料粉砕によって形成されることを特徴とする請求項24に記載の方法。
- 前記幅を狭められたチャネル部分(84)は、材料の塗布によってチャネル構造(85)を備えることを特徴とする請求項21に記載の方法。
- 前記チャネル構造(85)は、良好な熱伝導率を有する金属、金属合金または金属セラミックの顆粒材料(88)でコーティングすることによって形成されることを特徴とする請求項28に記載の方法。
- 前記顆粒材料(88)は、前記幅を狭められたチャネル部分(84)の前記内面に噴霧技術によって塗布されることを特徴とする請求項28に記載の方法。
- 前記顆粒材料(88)は、引き続いての焼結によって前記チャネル部分(84)の前記内面に固定されることを特徴とする請求項28に記載の方法。
- 前記顆粒材料(88)は、ハンダ接続によって前記チャネル部分(84)の前記内面に固定されることを特徴とする請求項28に記載の方法。
- 前記幅を狭められたチャネル部分(84)を製作するときに、前記電極ハウジング(1、2)に形成されるが、冷却剤の循環には必要ではない開口部は、電極材料の閉鎖プラグ(9)によって気密密閉されることを特徴とする請求項21に記載の方法。
- 前記閉鎖プラグ(9)は、前記開口部で溶融されることを特徴とする請求項33に記載の方法。
- 前記閉鎖プラグ(9)は、螺入されて溶融されることを特徴とする請求項33に記載の方法。
- 前記幅を狭められたチャネル部分(84)を製作するときに、前記電極ハウジング(1、2)に形成されるが、冷却剤の循環には必要ではない開口部は、前記電極ハウジング(1、2)の一体部品であるか、一体部品になる少なくとも1つの部品でそれらを被覆することによって気密密閉されることを特徴とする請求項21に記載の方法。
- 前記電極ハウジング(1、2)の被覆部品は、適切な切断平面(A−A)に沿って前記電極ハウジング(1、2)を切断することによって製作することができ、前記切断は、チャネル部分(84)を導入する前に行われることを特徴とする請求項36に記載の方法。
- 前記電極ハウジング(1、2)の被覆部品は、前記電極ハウジング(1、2)の主要部品および前記被覆部品の合致する個別の部品の適切な成形によって製作され、前記電極ハウジング(1、2)の前記個別部品は、仮想の切断平面(A−A)に沿って前記主要部品にチャネル部分(84)を導入した後で接合されることを特徴とする請求項36に記載の方法。
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