JP4324693B2 - 光検出器の分光応答度測定装置、その測定方法及び光源の分光放射照度校正方法 - Google Patents
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Description
(1)黒化した受光面を有するサーモパイルやボロメータなどの熱型検出器との比較測定方法
(2)分光器の透過率測定と分光放射輝度標準光源との組み合わせに基づく2分光器法
(3)分光放射照度標準光源と分光器から出射する準単色光の分光放射照度測定に基づく2分光器法
(1)の測定方法は、黒化した受光面をもつ熱型検出器の分光応答度の波長に対する非選択性に基づく方法である。
という効果を奏することができる。
光光度計、第2フーリエ変換赤外分光光度計、積分球、入射光束切換集光鏡及び空洞型黒体放射光源を備え、前記積分球が、前記第1フーリエ変換赤外分光光度計からの出力光を受光し、前記入射光束切換集光鏡が、前記積分球の出力光又は前記空洞型黒体放射光源の出力光を、前記第2フーリエ変換赤外分光光度計に入力させる光検出器の分光応答度測定装置を用い、前記第2フーリエ変換赤外分光光度計の第2移動鏡を長光路差の位置に固定し、前記第1フーリエ変換赤外分光光度計の第1移動鏡を走査して白色放射光源の出力光を前記積分球に入力し、前記積分球の出力光を前記第2フーリエ変換赤外分光光度計の検出器で測定する第1ステップと、前記第2移動鏡を走査し、前記空洞型黒体放射光源の出力光を前記検出器で測定する第2ステップと、前記第1ステップで得られた干渉放射束曲線をフーリエ変換して得られる値を、前記第2ステップで得られた干渉放射束曲線をフーリエ変換して得られる値で除算し、その結果得られる値に前記空洞型黒体放射光源の分光放射照度を乗算し、前記積分球の出射開口の分光放射照度を求める第3ステップと、前記積分球の前記出射開口の位置に試験用検出器を設置し、前記第1移動鏡を走査して前記試験用検出器の出力を取得する第4ステップと、前記第4ステップで得られた干渉放射束曲線をフーリエ変換して得られる値を、前記積分球の前記放射照度及び前記試験検出器の受光面積の積で除算し、前記試験検出器の分光応答度を求める第5ステップとを含むことを特徴としている。
の分光放射照度S(ν)(W/cm2)、並びに試験検出器17の受光面積AD(cm2)を用いて、式5で求めることができる。
3 白色放射光源
4 ビームスプリッター
5、14 移動鏡
6、15 固定鏡
7 小型積分球
8 積分球の出射開口
9 空洞型黒体放射光源
10 空洞型黒体放射光源の開口
11 入射光束切換集光鏡(トロイダル反射鏡)
12 FT−IR分光光度計2の入射開口
13 ビームスプリッター
16 検出器
17 試験検出器
L1、L3 平行レンズ
L2、L4 集光レンズ
Claims (6)
- 白色放射光源、第1ビームスプリッター、第1移動鏡及び第1固定鏡を装備した第1フーリエ変換赤外分光光度計と、
入射開口、第2ビームスプリッター、第2移動鏡、第2固定鏡及び検出器を装備した第2フーリエ変換赤外分光光度計と、
積分球と、
入射光束切換集光鏡と、
空洞型黒体放射光源とを備え、
前記積分球が、前記第1フーリエ変換赤外分光光度計からの出力光を受光し、
前記入射光束切換集光鏡が、前記積分球の出力光又は前記空洞型黒体放射光源の出力光を、前記第2フーリエ変換赤外分光光度計の前記入射開口に入力させ、
前記第2フーリエ変換赤外分光光度計に入力される前記積分球の出力光を前記検出器で測定する場合、前記第2移動鏡を長光路差の位置に固定することを特徴とする光検出器の分光応答度測定装置。 - 前記積分球が、
直径が約10cm以下2.5cm以上であり、
前記白色放射光源が中赤外域の光源の場合には、内壁に金がコートされ、
前記白色放射光源が可視及び近赤外域の光源の場合には、内壁に硫酸バリュウムがコートされていることを特徴とする光検出器の分光応答度測定装置。 - 第1フーリエ変換赤外分光光度計、第2フーリエ変換赤外分光光度計、積分球、入射光束切換集光鏡及び空洞型黒体放射光源を備え、前記積分球が、前記第1フーリエ変換赤外分光光度計からの出力光を受光し、前記入射光束切換集光鏡が、前記積分球の出力光又は前記空洞型黒体放射光源の出力光を、前記第2フーリエ変換赤外分光光度計に入力させる光検出器の分光応答度測定装置を用い、
前記第2フーリエ変換赤外分光光度計の第2移動鏡を長光路差の位置に固定し、前記第1フーリエ変換赤外分光光度計の第1移動鏡を走査して白色放射光源の出力光を前記積分球に入力し、前記積分球の出力光を前記第2フーリエ変換赤外分光光度計の検出器で測定する第1ステップと、
前記第2移動鏡を走査し、前記空洞型黒体放射光源の出力光を前記検出器で測定する第2ステップと、
前記第1ステップで得られた干渉放射束曲線をフーリエ変換して得られる値を、前記第2ステップで得られた干渉放射束曲線をフーリエ変換して得られる値で除算し、その結果得られる値に前記空洞型黒体放射光源の分光放射照度を乗算し、前記積分球の出射開口の分光放射照度を求める第3ステップと、
前記積分球の前記出射開口の位置に試験用検出器を設置し、前記第1移動鏡を走査して前記試験用検出器の出力を取得する第4ステップと、
前記第4ステップで得られた干渉放射束曲線をフーリエ変換して得られる値を、前記積分球の前記放射照度及び前記試験検出器の受光面積の積で除算し、前記試験検出器の分光応答度を求める第5ステップと
を含むことを特徴とする光検出器の分光応答度測定方法。 - 前記試験用検出器が、単一の光検出器又は複数の光検出素子から構成された光検出器であることを特徴とする請求項3に記載の光検出器の分光応答度測定方法。
- 前記第2移動鏡をステップ走査によって長光路差の位置に固定することを特徴とする請求項3に記載の光検出器の分光応答度測定方法。
- 第1フーリエ変換赤外分光光度計、第2フーリエ変換赤外分光光度計、積分球、入射光束切換集光鏡及び光源を備え、前記積分球が、前記第1フーリエ変換赤外分光光度計からの出力光を受光し、前記入射光束切換集光鏡が、前記積分球の出力光又は前記光源の出力光を、前記第2フーリエ変換赤外分光光度計に入力させる分光応答度測定装置を用い、
前記第2フーリエ変換赤外分光光度計の第2移動鏡を長光路差の位置に固定し、前記第1フーリエ変換赤外分光光度計の第1移動鏡を走査して白色放射光源の出力光を前記積分球に入力し、前記積分球の出力光を前記第2フーリエ変換赤外分光光度計の検出器で測定する第1ステップと、
前記第2移動鏡を走査し、前記光源の出力光を前記検出器で測定する第2ステップと、
前記積分球の出射開口の位置に基準検出器を設置し、前記第1移動鏡を走査して前記基準検出器の出力を取得する第3ステップと、
前記第2ステップで得られた干渉放射束曲線をフーリエ変換して得られる値及び前記第3ステップで得られた干渉放射束曲線をフーリエ変換して得られる値の積を、前記第1ステップで得られた干渉放射束曲線をフーリエ変換して得られる値、前記基準検出器の受光面積、及び前記基準検出器の分光応答度の積で除算し、前記光源の分光放射照度を求める第4ステップと
を含むことを特徴とする光源の分光放射照度校正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004324448A JP4324693B2 (ja) | 2004-11-09 | 2004-11-09 | 光検出器の分光応答度測定装置、その測定方法及び光源の分光放射照度校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004324448A JP4324693B2 (ja) | 2004-11-09 | 2004-11-09 | 光検出器の分光応答度測定装置、その測定方法及び光源の分光放射照度校正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006133146A JP2006133146A (ja) | 2006-05-25 |
JP4324693B2 true JP4324693B2 (ja) | 2009-09-02 |
Family
ID=36726809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004324448A Expired - Fee Related JP4324693B2 (ja) | 2004-11-09 | 2004-11-09 | 光検出器の分光応答度測定装置、その測定方法及び光源の分光放射照度校正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4324693B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102384761A (zh) * | 2011-08-15 | 2012-03-21 | 西北核技术研究所 | 一种光电探测器绝对光谱响应率的标定方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103017912B (zh) * | 2012-12-10 | 2015-03-04 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 红外探测器的测量装置和测量方法 |
CN103542934B (zh) * | 2013-11-07 | 2016-03-02 | 杭州远方光电信息股份有限公司 | 一种光谱响应度校准方法及其装置 |
CN107091730B (zh) * | 2017-06-08 | 2024-04-16 | 金华职业技术学院 | 一种估算光电倍增管的绝对光响应率的装置 |
JP6782470B2 (ja) | 2018-09-05 | 2020-11-11 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 計測装置及び計測方法 |
CN110470456B (zh) * | 2019-08-16 | 2021-08-10 | 中国信息通信研究院 | 一种光插回损校准装置和测试方法 |
US20230408330A1 (en) * | 2020-04-14 | 2023-12-21 | Hangzhou Everfine Photo-E-Info Co., Ltd. | Integrating sphere photometer spectral response measurement method and system |
CN112629823B (zh) * | 2020-12-14 | 2022-12-16 | 北方夜视技术股份有限公司 | 一种像增强器光响应特性测试***及方法 |
CN113405776B (zh) * | 2021-06-09 | 2022-05-20 | 中国人民解放军陆军工程大学 | 一种光电观测***的多光轴一致性检测装置及方法 |
CN114112314B (zh) * | 2021-12-21 | 2022-11-18 | 天津大学 | 一种多功能光电探测***探测性能测试方法 |
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2004
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102384761A (zh) * | 2011-08-15 | 2012-03-21 | 西北核技术研究所 | 一种光电探测器绝对光谱响应率的标定方法 |
CN102384761B (zh) * | 2011-08-15 | 2013-08-14 | 西北核技术研究所 | 一种光电探测器绝对光谱响应率的标定方法 |
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---|---|
JP2006133146A (ja) | 2006-05-25 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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