JP4312501B2

JP4312501B2 - Substrate transfer device, surface mounter equipped with the same, and substrate inspection device

Info

Publication number: JP4312501B2
Application number: JP2003135172A
Authority: JP
Inventors: 晃岸田
Original assignee: i Pulse Co Ltd
Current assignee: i Pulse Co Ltd
Priority date: 2003-05-13
Filing date: 2003-05-13
Publication date: 2009-08-12
Anticipated expiration: 2023-05-13
Also published as: JP2004342706A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板等の各種基板の製造、検査等に適用される基板搬送装置であって、特に、搬送途中に基板をその搬送方向と直交する方向に移動させることが可能な可動部分を備えた基板搬送装置と、この基板搬送装置を備えた表面実装機および基板検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、部品吸着用のヘッドを備えたヘッドユニットにより、ＩＣ等のチップ部品を部品供給部から吸着してプリント基板上に移送し、プリント基板上の所定位置に実装するようにした表面実装機（以下、実装機と略す）が知られている。
【０００３】
この種の実装機としては、プリント基板が固定的に位置決めされ、ヘッドユニットが水平面上でＸ−Ｙ方向に移動するものが周知であるが、例えば特許文献１に開示されるように、プリント基板を実装作業領域においてＹ軸方向（基板の搬送方向と直交する方向）に移動可能とし、ヘッドユニットの移動およびプリント基板の移動を効果的に制御することにより実装効率を高めるようにしたものも近年開発されている。
【０００４】
なお、実装機には、通常、一対のベルトコンベア（以下、コンベアと略す）によりプリント基板の両端を支持しながら搬送する基板搬送装置が組込まれており、この基板搬送装置によりプリント基板を搬送しながら、その途中部分でプリント基板を位置決めして部品の実装処理を行うように構成されるが、特許文献１に示される実装機では、基板搬送装置が、可動部とその両側の搬入および搬出部とから構成されており、可動部のコンベアをＹ軸方向に一体的に移動させるように駆動機構が構成されることにより、基板をＹ軸方向に移動させ得るようになっている。具体的には、例えば可動部のコンベアが可動フレームに搭載され、この可動フレームが、モータを駆動源とするボールねじ機構等によりＹ軸方向に移動するように構成されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−１０２６９６号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記特許文献１に示されるような実装機では、上記のような基板搬送装置の構成に起因して、次のような解決すべき課題がある。
【０００７】
すなわち、通常、基板搬送装置には、コンベアの間隔をその基板のサイズに対応させるためのモータ駆動の幅調整機構が組込まれるが、上記特許文献１の基板搬送装置では、可動部のコンベアが他の部分（搬入部、搬出部）のコンベアに対してＹ軸方向に移動するため、可動部とその他の部分の幅調整機構を別個独立に設ける必要がある。そのため、基板搬送装置を含めた実装機全体の高重量化やコスト高を助長する構成となっている。
【０００８】
また、可動部については、モータを含めた幅調整機構を一体に可動フレームに搭載する必要があるため、可動フレームの重量が嵩み、該フレームを高速移動させる上で不利な構造となっている。つまり、実装の効率を高める上では基板を高速でＹ軸方向に移動させることが好ましいが、この点でのマイナス要素となっている。
【０００９】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、基板搬送装置における幅調整のための機構を見直すことにより、装置の軽量化、および低廉化を図るとともに、作業の効率を高め得るようにすることを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、基板の搬送方向に並び、かつ平行な一対のコンベアをそれぞれ備えた搬入側の固定搬送部と可動搬送部と搬出側の固定搬送部とを有し、可動搬送部の前記一対のコンベアが可動フレームに搭載されることにより、前記各固定搬送部および前記可動搬送部のそれぞれのコンベアを水平方向より見て同じ高さに並べた状態で、該可動フレームの移動に伴い前記基板を前記搬送方向と直交する方向に移動させ得るように構成された基板搬送装置において、前記各固定搬送部は、それらが備える一対のコンベア同士をそれぞれ相対的に接離方向に移動させることにより該一対のコンベアの間隔をそれぞれ変更させる間隔変更手段を備え、前記可動搬送部は、それが備える一対のコンベアを前記可動フレーム上で相対的に接離方向に移動可能に支持する支持手段と、前記可動フレームに搭載された一対のコンベア同士の該フレームに対する前記接離方向の移動を許容する状態と阻止する状態とに切換可能なロック手段とを備え、前記各固定搬送部および前記可動搬送部のコンベアは、前記各固定搬送部および前記可動搬送部のそれぞれのコンベアを水平方向より見て同じ高さに並べた状態で各搬送部の互いに対応するコンベア同士を係脱可能に連結する連結手段を備え、前記間隔変更手段は、前記各固定搬送部が備える一対のコンベアのうち何れか一方のコンベアがそれぞれ移動可能に装着される一対のガイドレールを備えた支持台と、前記各固定搬送部の一方のコンベアにそれぞれ設けられたナット部材に螺合すると共に前記一対のガイドレールに対してそれぞれ平行に延びる一対のボールねじ軸とを有し、前記ガイドレールは、前記基板の搬送方向に対して直交する方向に所定間隔をおいて前記各固定搬送部にそれぞれ設置された前側板と後側板との間にそれぞれ配置され、前記ボールねじ軸は、前記前側板および前記後側板によって回動可能に支持され、前記支持手段は、前記可動搬送部が備える一対のコンベアのうちいずれか一方のコンベアが移動可能に支持されるガイドシャフトを搬送方向両端部分に一対有し、前記連結手段は、前記各搬送部の前記互いに対応するコンベアのうち前記可動搬送部のコンベアの搬送方向両側に設けられる係合部材と、前記可動搬送部に設けられると共に前記一対のガイドシャフトの間に配置されて前記両係合部材を駆動する双方向型のエアシリンダを含む駆動手段と、前記各固定搬送部のコンベアの一側にそれぞれ設けられる被係合部とを有し、前記駆動手段により前記係合部材を、前記可動搬送部の両端部から外側に突出させた状態で前記各固定搬送部の前記被係合部に係合可能な作動位置と前記係合部材を前記作動位置から前記可動搬送部の両端部に退避させた退避位置とに変位させるように構成され、各搬送部の互いに対応するコンベア同士を基板搬送方向に並べた状態で前記係合部材を前記作動位置に変位させることにより前記係合部材が前記被係合部に係合して前記各搬送部の互いに対応するコンベア同士が一体に連結されるように構成されている。
【００１１】
この基板搬送装置によると、可動搬送部におけるコンベアの間隔調整（変更）を固定搬送部のコンベアの間隔変更に連動させて行うことができる。すなわち、各搬送部のコンベアが基板搬送方向に並ぶ状態で前記連結手段の作動により各搬送部の互いに対応するコンベア同士を連結した後、ロック手段を解除状態（コンベアの移動を許容する状態）に切換え、間隔変更手段の作動により固定搬送部のコンベアの間隔を調整する。このようにすると固定搬送部のコンベアに連動して可動搬送部側のコンベアが移動し、その結果、各搬送部のコンベアの間隔が同時に変更されることとなる。そして、変更後は、ロック手段を切換えて可動搬送部のコンベアを可動フレームに固定し、連結手段による各搬送部のコンベア同士の連結状態を解除して可動搬送部のコンベアを固定搬送部のコンベアから切り離すことにより、変更後のコンベアの間隔を維持した状態で、可動搬送部（可動フレーム）を単独で作動させることが可能となる。従って、このような基板搬送装置によると、可動搬送部に対してモータ等の駆動源をもつ専用の幅調整機構を設けることなく該可動搬送部におけるコンベアの幅調整を行うことが可能となり、その分、従来のこの種の基板搬送装置に比べて軽量化および低廉化を図ることが可能となる。また、このように専用の幅調整機構を設ける必要がなくなる分、可動フレームの搭載部材を軽減することが可能となるため、可動搬送部において基板を高速駆動させる上で有利な構造となる。また、可動搬送部（可動フレーム）のコンベアに対して、該コンベアを移動させるための力（駆動力）が両側の搬送部のコンベアを介して与えられるため、コンベアの姿勢を良好に維持した状態でスムーズにコンベアを移動させることができる。従って、可動搬送部におけるコンベアの間隔変更を円滑に行わせることが可能となる。
【００１６】
なお、この基板搬送装置において、前記間隔変更手段は、共通の駆動源で前記一対のボールねじ軸を駆動して、各固定搬送部のコンベアを前記接離方向に移動させるように構成されるのが、より好ましい。
【００１７】
このように駆動源を共通化した構成とすることにより、基板搬送装置の軽量化および低廉化をより一層進めることが可能となる。
【００１８】
一方、本発明に係る表面実装機は、部品吸着用のヘッドを備えた移動可能なヘッドユニットにより部品供給部から電子部品を吸着し、その部品を、基板搬送装置により搬送されて所定の作業位置に位置決めされている基板上に実装する表面実装機において、前記基板搬送装置として請求項１乃至４の何れかに記載の基板搬送装置を備え、前記作業位置として前記可動搬送部に基板を配置した状態で該基板に対して部品を実装するように構成されているものである。
【００１９】
また、本発明に係る基板検査装置は、基板表面を撮像可能な撮像手段を備えた移動可能なヘッドユニットと基板搬送装置により所定の作業位置に搬入された基板とを相対的に移動させ、前記撮像手段により基板を撮像することにより画像認識に基づいて当該基板を検査する基板検査装置において、前記基板搬送装置として請求項１乃至４の何れかに記載の基板搬送装置を備え、前記作業位置として前記可動搬送部に基板を配置した状態で該基板を前記撮像手段により撮像するように構成されているものである。
【００２０】
これらの表面実装機および基板検査装置によると、表面実装機および基板検査装置としての軽量化、低廉化を図る上で有利になる。また、基板搬送部は、上記の通り可動搬送部（可動フレーム）を高速駆動する上で有利な構造となっているので、実装作業や検査処理の効率を高める上でも有利になる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２２】
図１は、本発明に係る表面実装機（本発明に係る基板搬送装置が適用される表面実装機）の一例を概略的に示す平面図である。
【００２３】
同図に示すように、表面実装機（以下、実装機と略す）の基台１上には基板搬送装置２が設けられ、プリント基板Ｐ（以下、基板Ｐと略す）がこの基板搬送装置２の後記コンベアに沿って搬送されるようになっている。なお、当実施形態では、上記コンベアによる基板Pの搬送方向（図１で左右方向）をＸ軸方向、水平面上でＸ軸と直交する方向（図１で上下方向）をＹ軸方向という。
【００２４】
図１において、基板Ｐは基板搬送装置２のコンベアに沿って左側から実装機に搬入され、基台１の略中央に設けられた実装作業領域において実装処理に供された後、実装機の右側から次工程に搬出される（同図中の白抜き矢印方向）。
【００２５】
基板搬送装置２は、前記実装作業領域に対応する部分がＹ軸方向に独立して移動可能とされており、実装作業時には、基板Ｐを必要に応じてＹ軸方向に移動させ得るように構成されている。また、基板搬送装置２のコンベアは、互いに平行な一対のベルトコンベアから構成され、これらのベルトコンベアの間隔が変更（拡縮）可能に構成されている。これにより基板Ｐのサイズ変更に対応し得るように構成されている。なお、基板搬送装置２の具体的な構成については後に詳しく説明することにする。
【００２６】
基板搬送装置２を挟んで実装機のＹ軸方向両側には、部品供給部４Ａ，４Ｂが配置されている。これらの部品供給部４Ａ，４Ｂには部品供給用のフィーダーが固定されており、例えば、部品を収納したテープを間欠的に繰り出しながら部品を順次供給する複数のテープフィーダーがＸ軸方向に並べられた状態でそれぞれ固定されている。
【００２７】
また、前記基台１の上方には、部品装着用の一対のヘッドユニット５ａ，５ｂが装備されている。これらのヘッドユニット５ａ，５ｂは、部品供給部４Ａ，４Ｂと基板Ｐが位置する実装作業領域とにわたってＹ軸方向に一体に、またＸ軸方向に別個独立に移動し得るように構成されている。
【００２８】
すなわち、基台１上には、Ｙ軸方向に延びる一対のガイドフレーム７と、Ｙ軸サーボモータ９により回転駆動されるボールねじ軸８とが配設され、ガイドフレーム７上にヘッドユニット支持部材６が配置されて、この支持部材６に設けられたナット部分（図示省略）が前記ボールねじ軸８に螺合している。また、上記ヘッドユニット支持部材６には、Ｙ軸方向両側部にＸ軸方向に延びるガイド部材（図示省略）がそれぞれ設けられるとともにＸ軸サーボモータ１０ａ、１０ｂにより駆動されるボールねじ軸１１ａ、１１ｂが配設され、上記各ガイド部材に対してそれぞれヘッドユニット５ａ，５ｂが移動可能に保持され、各ヘッドユニット５ａ，５ｂに設けられたナット部分（図示せず）がボールねじ軸１１ａ、１１ｂに螺合している。そして、Ｙ軸サーボモータ９の作動により上記ヘッドユニット支持部材６がＹ軸方向に移動することにより両ヘッドユニット５ａ，５ｂが一体にＹ軸方向に移動するとともに、Ｘ軸サーボモータ１０ａ、１０ｂの作動により各ヘッドユニット５ａ，５ｂがヘッドユニット支持部材６に対して独立してＸ軸方向に移動するようになっている。
【００２９】
図示を省略するが、各ヘッドユニット５ａ，５ｂには、部品吸着用のノズルを先端に備えた複数の吸着ヘッドが設けられており、実装作業時には、これらの吸着ヘッドによりそれぞれ部品供給部４Ａ，４Ｂから部品を吸着して取出すようになっている。
【００３０】
なお、図１において、符号１２はヘッドユニット５ａ，５ｂの各吸着ヘッドにより吸着された部品認識用のカメラ１２であり、各部品供給部４Ａ，４ＢのＸ軸方向片側に配置されている。
【００３１】
次に、上記基板搬送装置２の構成について図２〜図１０を用いて説明する。なお、図２は基板搬送装置２を示す平面図、図３は同正面図、図４〜図８はそれぞれ同断面略図、図９は後述するロック装置の構成を示す正面図、図１０は基板搬送ベルト用の駆動伝達系統を説明する模式図である。
【００３２】
図1及び図２に示すように、基板搬送装置２は、それぞれ一対のベルトコンベアを備えたＸ軸方向に並ぶ３つの構成部分、具体的には、同図の左側（基板Ｐの搬送方向上流側）から順に、ベルトコンベア２０Ａ，２１Ａを備えた搬入部２Ａ（固定搬送部）、ベルトコンベア２０Ｂ，２１Ｂを備えた可動部２Ｂ（可動搬送部）およびベルトコンベア２０Ｃ，２１Ｃを備えた搬出部２Ｃ（固定搬送部）の３つの構成部分を有しており、これら各部２Ａ〜２Ｃの各コンベア２０Ａ，２１Ａ…（コンベア２０Ａ，２１Ａ等と略す）等により基板Ｐの両端（Ｙ軸方向両端）を支持した状態で該基板Ｐを搬送するようになっている。
【００３３】
各部２Ａ〜２Ｃのうち可動部２Ｂは、前記実装作業領域内に配置され、かつＹ軸方向に基板Ｐを移動させ得るように構成されている。
【００３４】
基板搬送装置２には、さらに基板Ｐのサイズに応じて前記各部２Ａ〜２Ｃのコンベア２０Ａ，２１Ａ等の間隔を変更するための機構、各部２Ａ〜２Ｃのコンベア２０Ａ，２１Ａ等を駆動する機構、および可動部２Ｂにおいて基板ＰをＹ軸方向に移動させるための機構等が設けられている。以下、搬入部２Ａ、可動部２Ｂ、搬出部２Ｃの各構成および上記各機構の構成について詳細に説明することにする。
【００３５】
なお、基板搬送装置２については、図２の下側を装置前側、上側を装置下側として以下の説明を行うことにする。また、搬入部２Ａと搬出部２Ｃは、可動部２Ｂを挟んで互いに対称な構成とされている以外、それらの基本的な構成は略共通しているため、搬入部２Ａおよび搬出部２Ｃについては、共通する部分に同一の符合を付した上で主に搬入部２Ａの構成について説明し、搬出部２Ｃについては、搬入部２Ａとの相違点についてのみ言及することにする。
【００３６】
図５及び図６に示すように、搬入部２Ａは、基台１に固定される一対の側板３０，３１（前側板３０，後側板３１）を有している。これら側板３０，３１のうち前側板３０には、前記コンベア２０Ａ，２１Ａのうち前側のコンベア２０Ａが一体に組付けられており、このコンベア２０Ａと後側板３１との間に後側のコンベア２１ＡがＹ軸方向に移動可能に設けられ、後記モータ４２で駆動されるように構成されている。つまり、前側のコンベア２０Ａに対して後側のコンベア２１Ａを移動させることにより基板Ｐのサイズに対応できるようになっている。
【００３７】
具体的には、側板３０，３１の間に、Ｙ軸方向に延びるガイドレール３３を備えた支持台３２が設けられるとともに、このガイドレール３３の上方に該レール３３と平行に延びるボールねじ軸３４が設けられ、このボールねじ軸３４が側板３０，３１に回転可能に支持されている。そして、前記コンベア２１Ａがそのフレーム２５を介してガイドレール３３に移動可能に装着されるとともに、前記ボールねじ軸３４が前記フレーム２５に組付けられたナット部材２８に螺合装着されている。
【００３８】
ボールねじ軸３４の前端には駆動プーリ３４ａが装着されており、図２および図３に示すように、この駆動プーリ３４ａと、基台１に固定されたモータ４２の出力軸に装着されるプーリ４２ａとに亘って駆動ベルト４７Ａが装着されている。この構成により、モータ４２が作動するとプーリ４２ａ、駆動ベルト４７Ａおよび駆動プーリ３４ａを介してボールねじ軸３４に回転駆動力が伝達され、このボールねじ軸３４の回転に伴いコンベア２１Ａがガイドレール３３に沿ってＹ軸方向に移動するようになっている。つまり、この基板搬送装置２では、これらガイドレール３３、モータ４２およびボールねじ軸３４等により本発明の間隔変更手段が構成されている。
【００３９】
なお、モータ４２は、同図に示すように装置前側であって可動部２Ｂの側方部分に配置されており、フレーム４３を介し基台１に固定されている。また、このモータ４２と搬入部２Ａの前側板３０との間には、ガイドプーリ４６ａおよびテンションプーリ４６ｂを備えたフレーム４５が立設されており、これらガイドプーリ４６ａおよびテンションプーリ４６ｂに駆動ベルト４７Ａが掛け渡されることにより、該駆動ベルト４７Ａが張設されている。
【００４０】
各コンベア２０Ａ，２１Ａには、図４および図６に示すように駆動プーリ２３と複数の従動プーリ２２が所定の配列で設けられており、基板Ｐを搬送するための搬送ベルト２４がこれらプーリ２２，２３に亘って装着されている。
【００４１】
各コンベア２０Ａ，２１Ａの駆動プーリ２３は同一方向に一体的に回転するように互いに連結されている。すなわち、前記側板３０，３１の間には、スプラインシャフトからなるＹ軸方向に延びる駆動シャフト３５が前記ボールねじ軸３４と横並びに設けられており、この駆動シャフト３５が、コンベア２０Ａ，２１Ａの各駆動プーリ２３および後側のコンベア２１Ａのフレーム２５をそれぞれ貫通した状態で前記側板３０，３１に回転可能に支持されている。そして、後側のコンベア２１Ａの駆動プーリ２３がベアリング等を介してフレーム２５に回転自在に支持されるとともに前記駆動シャフト３５に対してスプラインナットを介して連結されており、その結果、後側のコンベア２１Ａの駆動プーリ２３が前記駆動シャフト３５に対してその軸方向（Ｙ軸方向）への相対的な移動が可能で、かつ駆動シャフト３５と一体回転するように構成されている。なお、前側のコンベア２０Ａの駆動プーリ２３は駆動シャフト３５に一体に固定されている。従って、駆動シャフト３５が回転すると、Ｙ軸方向におけるコンベア２１Ａの配置に拘らず、各コンベア２０Ａ，２１Ａの駆動プーリ２３が一体に回転し、この回転により各コンベア２０Ａ，２１Ａの各搬送ベルト２４が一体に周回移動するようになっている。
【００４２】
駆動シャフト３５の後端には駆動プーリ３５ａが装着されている。この駆動プーリ３５ａには駆動ベルト４０が掛け渡されており、後記モータ３７の回転駆動力がこの駆動ベルト４０を介して駆動プーリ３５ａに伝達されることにより、駆動シャフト３５が回転駆動されるようになっている。この点については後に詳述することにする。
【００４３】
以上、搬入部２Ａの構成について説明したが、これに対して搬出部２Ｃは以下の点で搬入部２Ａと構成が相違している。
【００４４】
まず、前記モータ４２の出力軸には、前記プーリ４２ａと同一構成のプーリ４２ｂが並べて装着されており、搬出部２Ｃについては、このプーリ４２ｂと前記ボールねじ軸３４の駆動プーリ３４ａとに亘って駆動ベルト４７Ｂが装着されている。
【００４５】
また、搬出部２Ｃについては、駆動シャフト３５の後端に駆動プーリ３５ａは設けられておらず、その代わりに、図３および図６（一点鎖線）に示すように、駆動シャフト３５の前端に駆動プーリ３５ｂが装着されている。この駆動プーリ３５ｂは前側板３０に繋がる延設部３０ａの前側に配置されており、後記伝動ベルト９２がこの駆動プーリ３５ｂと前記延設部３０ａに支持されるプーリ９３とに掛け渡されている。これにより後述するようにモータ３７の回転駆動力が伝動ベルト９２及び駆動プーリ３５ａを介して駆動シャフト３５に伝達されるようになっている。
【００４６】
一方、可動部２Ｂは、図２、図３、図７及び図８に示すような可動フレーム５０を有している。可動フレーム５０は、底板５１ｃの前後両端に前後側板５１ａ，５１ｂ（前側板５１ａ、後側板５１ｂという）が立設された側面視凹型のフレームで、基台１上に固定されたY軸方向に延びる一対のガイドレール５３にベース板５２を介して固定されている。
【００４７】
可動フレーム５０には、基台１上に回転可能に支持されたY軸方向に延びるボールねじ軸５５（図１参照）が螺合装着されている。このボールネジ軸５５は基台１に固定されるモータ５４の出力軸に連結されており、従って、このモータ５４によりボールねじ軸５５が回転駆動されると、可動フレーム５０がガイドレール５３に沿ってY軸方向に移動するようになっている。
【００４８】
可動フレーム５０の前後側板５１ａ，５１ｂの間には一対のガイドシャフト６０と、スプラインシャフトからなる駆動シャフト８６が回転自在に支持されているとともに、前側板５１ａに対してスプラインシャフトかなる伝動シャフト９０が貫通している。ガイドシャフト６０はそれぞれ可動フレーム５０のＸ軸方向両端部分にそれぞれ支持されており、駆動シャフト８６はそれらの中間より僅かに搬入部２Ａ寄りの位置に支持されている。一方、伝動シャフト９０は、搬入部２Ａ側のガイドシャフト６０の下側に配置されており、スプラインナット８８およびその外側のベアリング８９を介して該前側板５１ａに連結されるとともに、その両端は、図７に示すように基台１に固定されたモータ固定プレート３６および支持プレート７９にそれぞれ回転可能に支持されている。
【００４９】
可動フレーム５０の前後側板５１ａ，５１ｂの間には、コンベア２０Ｂ，２１Ｂが設けられ、これらコンベア２０Ｂ，２１Ｂがそれぞれ前記両ガイドシャフト６０に支持されている。これらのコンベア２０Ｂ，２１Ｂのうち、前側のコンベア２０Ｂはカラー６１を介して前側板５１ａに固定されている。一方、後側のコンベア２１Ｂは、リニアブッシュ６２を介してガイドシャフト６０に装着されており、これによりガイドシャフト６０に沿ってコンベア２１ＢがＹ軸方向に移動可能となっている。つまり、前側のコンベア２０Ｂに対して後側のコンベア２１Ｂを移動させることにより基板Ｐのサイズに対応できるようになっている。
【００５０】
ここで、前記可動フレーム５０には、可動部２Ｂのコンベア２１Ｂを前記搬入部２Ａ及び搬出部２Ｃの各後側のコンベア２１Ａ，２１Ｃに対して連結するための機構と、コンベア２０ＢのＹ軸方向への移動を規制して可動フレーム５０の任意の位置にコンベア２０Ｂを固定するための機構とが設けられている。
【００５１】
コンベア同士を連結する機構としては、連結装置６５がコンベア２１Ｂに設けられている。連結装置６５は、Ｘ軸方向に延びる一対の連結用ロッド６７と、これら連結用ロッド６７の間に配置される双方型のエアシリンダ６６とを有している。各連結用ロッド６７は、それぞれガイド６８を介してＸ軸方向に移動可能に支持されるとともに前記エアシリンダ６６のロッドに連結されており、エアシリンダ６６へのエア圧の給排に応じて進退駆動されるようになっている。具体的には、エアシリンダ６６がロッド突出駆動状態とされると、コンベア２１Ｂの端部からロッド先端が外側に突出する位置（作動位置という）まで各連結用ロッド６７が前進し、エアシリンダ６６がロット引き込み駆動状態に切換えられると、ロッド先端がコンベア２１Ｂの端部に位置するところ（図２に示す位置；退避位置という）まで各連結用ロッド６７が後退するようになっている。
【００５２】
そして、前記搬入部２Ａおよび搬出部２Ｃの各コンベア２１Ａ，２１Ｃのうち可動部２Ｂ側の端部に連結用ロッド６７の挿入孔２７を備えた連結用ブラケット２６（図５，図６参照）がそれぞれ組付けられている。
【００５３】
この構成において、図２に示すように各コンベア２１Ａ〜２１ＣがＸ軸方向に横並びに配置された状態で前記エアシリンダ６６がロッド突出駆動状態に切換えられると、各連結用ロッド６７が作動位置に前進して各連結用ブラケット２６の挿入孔２７に先端が挿入され、これによって可動部２Ｂの後側のコンベア２０Ｂが搬入部２Ａ及び可動部２Ｂの各後側のコンベア２１Ａに連結されるようになっている。つまり、当実施形態では、この連結装置６５および連結用ブラケット２６等により本発明の連結手段が構成されている。
【００５４】
一方、可動フレーム５０の任意の位置にコンベア２１Ｂを固定するための機構構成としては、各ガイドシャフト６０の回転方向を規制するワンウェイクラッチ６３がコンベア２１Ｂに組込まれるとともに、各ガイドシャフト６０に対してそれぞれロック装置７０ａ，７０ｂが設けられている。
【００５５】
ワンウェイクラッチ６３は、図７に示すように、コンベア２１Ｂに一体に組み込まれており、前記リニアブッシュ６２の直ぐ後側で各ガイドシャフト６０に装着されている。詳細図を示していないが、ワンウェイクラッチ６３は、例えば内側にフライス歯状のカム部を備えた円筒状の外輪および、これら外輪の内側の各カム部間に回動可能に配設される複数のローラにより構成されており、前記コンベア２１Ｂのフレームに対して前記外輪が固定され、前記各ローラの内側にガイドシャフト６０が挿入されている。そして、コンベア２１Ｂ（外輪）に対してガイドシャフト６０を特定方向に回転させようとすると、前記外輪のカム部間の狭部方向にローラが移動して外輪とガイドシャフト６０との間に詰まり、これによりコンベア２１Ｂ（外輪）とガイドシャフト６０が係合状態となってコンベア２１Ｂに対するガイドシャフト６０の回転を阻止する一方、コンベア２１Ｂ（外輪）に対してガイドシャフト６０を前記特定方向と反対方向に回転させようとすると、外輪の前記カム部間の狭部方向とは逆方向にローラが移動し、これによりコンベア２１Ｂ（外輪）とガイドシャフト６０とが非係合状態となってコンベア２１Ｂに対するガイドシャフト６０の回転が許容されるように構成されている。
【００５６】
当実施形態では、搬入部２Ａ側のガイドシャフト６０を装置前側から見た場合、図９（ａ）に示すように、ガイドシャフト６０の反時計回りの回転（破線矢印方向の回転）を許容し、時計回りの回転（実線矢印方向の回転）を阻止するようにワンウェイクラッチ６３が構成されている。また、図示を省略するが、搬出部２Ｃ側のガイドシャフト６０については、ガイドシャフト６０の回転許容（阻止）方向が搬入部２Ａ側のガイドシャフト６０とは逆になるようにワンウェイクラッチ６３が構成されている。
【００５７】
ロック装置７０ａ，７０ｂは、可動フレーム５０の前記前側板５１ａに組付けられている。搬入部２Ａ側のロック装置７０ａを例にその構成を説明すると、ロック装置７０ａは、図９（ｂ）に示すように、前記ガイドシャフト６０（搬入部２Ａ側のガイドシャフト６０）の端部に固定され、かつラチェットホイール７３を一体に備えた操作ホイール７２と、この操作ホイール７２を駆動するエアシリンダ７１と、ラチェットホイール７３に係合するラチェット７５とを備えている。
【００５８】
エアシリンダ７１は、前側板５１ａに固定されており、そのロッド７１ａ先端が前記操作ホイール７２に連結されている。そして、ロッド引込み駆動状態からロッド突出駆動状態への切換えに応じて前記操作ホイール７２を反時計回り（装置前側から見て反時計回り）に回動させるように設けられている。
【００５９】
ラチェット７５は、取付部材７６の先端部分に固定されており、この取付部材７６を介して前側板５１ａに支持されている。取付部材７６は、Ｘ軸方向に細長のガイド孔７６ａを介して前側板５１ａにピン７７で支持されるとともに、圧縮ばね７８により付勢されている。これにより、ラチェット７５が、Ｘ軸方向に変位可能で、かつ圧縮ばね７８の弾発力によりその先端をラチェットホイール７３に押し付けた状態で前側板５１ａに支持されている。なお、ラチェットホイール７３及びラチェット７５は、同図に示すように、ラチェットホイール７３にラチェット７５が係合した状態でラチェットホイール７３の時計回りの回転（図９で時計回り；装置前側から見て時計回り）を許容し、反時計回りの回転を阻止するように構成されている。
【００６０】
このロック装置７０ａの構成において、エアシリンダ７１にエア圧が供給されると各ガイドシャフト６０に対するコンベア２１ＢのＹ軸方向の移動が可能となり（ロック解除状態）、一方、エアシリンダ７１へのエア圧の供給が停止されるとコンベア２１Ｂが各ガイドシャフト６０にロックされる（ロック状態）。
【００６１】
すなわち、エアシリンダ７１にエア圧が供給されて該シリンダ７１がロッド突出駆動状態とされると、操作ホイール７２に設けられる押圧部７４がラチェット７５の先端に当接してラチェット７５を圧縮ばね７８の弾発力に抗して押し戻す。これに伴いラチェット７５と操作ホイール７２との係合状態が解除され、図９（ｂ）の二点鎖線に示すように操作ホイール７２が反時計回りに回動するとともに、この操作ホイール７２の回動に伴いガイドシャフト６０が一体に反時計回りに回転することとなる。この際、上記の通りコンベア２１Ｂに対するガイドシャフト６０の反時計回りの回転を許容するようにワンウェイクラッチ６３が構成されている結果、ガイドシャフト６０が反時計回りに回動すると、ワンウェイクラッチ６３とガイドシャフト６０との係合状態が解除され、これによりガイドシャフト６０に対するコンベア２１ＢのＹ軸方向の移動が許容されることとなる。
【００６２】
すなわち、ワンウェイクラッチ６３は、上記のように内蔵されたローラが外輪とガイドシャフト６０との間に詰まり、これによりコンベア２１Ｂ（外輪）とガイドシャフト６０を係合状態とするものであるため、この係合状態ではコンベア２１Ｂに対するガイドシャフト６０の回転のみならず、ガイドシャフト６０に対するコンベア２１Ｂの軸方向の移動も阻止される。逆に、コンベア２１Ｂとガイドシャフト６０が非係合状態のときには、上記のようなローラの詰まった状態が解消されるため、この非係合状態ではコンベア２１Ｂに対するガイドシャフト６０の回転のみならず、ガイドシャフト６０に対するコンベア２１Ｂの軸方向の移動も許容されることとなる。従って、上記のようにガイドシャフト６０を反時計回りに回転させると、ワンウェイクラッチ６３とガイドシャフト６０との係合状態が解除され、これによりガイドシャフト６０に対するコンベア２１ＢのＹ軸方向の移動が許容されることとなる。
【００６３】
一方、この状態からエアシリンダ７１へのエア圧の供給が停止されると、圧縮ばね７８の弾発力によるラチェット７５の押し付けによりラチェットホイール７３が時計回りに回動し、これに伴い操作ホイール７２およびガイドシャフト６０が一体に時計回りに回転することとなる。この際、上記の通りワンウェイクラッチ６３が構成されている結果、ガイドシャフト６０が時計回りに回転すると、ワンウェイクラッチ６３とガイドシャフト６０とが係合状態となり、その結果、ガイドシャフト６０に対するコンベア２１ＢのＹ軸方向の移動が阻止され、ガイドシャフト６０に対してコンベア２１Ｂがロックされることとなる。なお、この際、エアシリンダ７１内のエアは操作ホイール７２の回動に伴うロッド７１ａの押し戻しにより自然排出される。
【００６４】
以上は、搬入部２Ａ側のロック装置７０ａの構成であるが、搬出部２Ｃ側のロック装置７０ｂも共通の構成とされている。但し、搬出部２Ｃ側のロック装置７０ｂは、対応するガイドシャフト６０に装着される前記ワンウェイクラッチ６３との関係で搬入部２Ａ側のロック装置７０ａとは対称な構成となっている。
【００６５】
なお、この基板搬送装置２では、ガイドシャフト６０により本発明の支持手段が構成され、また上記ワンウェイクラッチ６３、ガイドシャフト６０およびロック装置７０ａ，７０ｂ等により本発明のロック手段が構成されている。
【００６６】
図４および図８に示すように、可動部２Ｂの各コンベア２０Ｂ，２１Ｂには、駆動プーリ８３と複数の従動プーリ８２が所定の配列で設けられており、基板Ｐを搬送するための搬送ベルト８４がこれらプーリ８２，８３に亘って装着されている。各コンベア２０Ｂ，２１Ｂの駆動プーリ２３は、それぞれベアリングを介してコンベア２０Ｂ，２１Ｂのフレームに回転自在に支持されるとともに前記駆動シャフト８６に装着されており、駆動シャフト８６の回転に伴い互いに同一方向に一体に回転するように互いに連結されている。
【００６７】
なお、後側のコンベア２１Ｂの駆動プーリ８３は、駆動シャフト８６に対してスプラインナットを介して連結されており、これにより駆動プーリ２３が駆動シャフト８６に対して軸方向（Ｙ軸方向）への相対的な移動が可能で、かつ駆動シャフト８６と一体に回転するように連結されている。従って、コンベア２１ＢのＹ軸方向の配置に拘らず、駆動シャフト８６が回転すると、各コンベア２０Ｂ，２１Ｂの駆動プーリ８３が一体に回転し、その結果、各コンベア２０Ｂ，２１Ｂの各搬送ベルト８４が一体に周回移動するようになっている。
【００６８】
可動部２Ｂの各搬送ベルト８４および搬入部２Ａ、可動部２Ｂの各搬送ベルト２４は、共通のモータにより駆動されるようになっている。
【００６９】
すなわち、図２，図４および図７に示すように、可動部２Ｂの後側の部分には、モータ固定プレート３６を介して基台１にモータ３７が固定されており、このモータ３７の出力軸にプーリ３７ａが装着されている。また、前記伝動シャフト９０の後端に伝動プーリ９０ｂが装着され、この伝動プーリ９０ｂの近傍において前記モータ固定プレート３６にテンションプーリ３８が設けられ、これらプーリ３７ａ、３８、９０ｂと搬入部２Ａの前記駆動プーリ３５ａとに亘って駆動ベルト４０が装着されている。また、前記伝動シャフト９０の前端部分に伝動プーリ９０ａが装着され、この伝動プーリ９０ａと、搬出部２Ｃの前記駆動プーリ３５ｂおよびプーリ９３とに亘って伝動ベルト９２が装着されている。さらに、伝動シャフト９０における前記伝動プーリ９０ａよりも後側の部分に伝動プーリ９０ｃが装着され、この伝動プーリ９０ｃがベアリングを介して可動フレーム５０の前記前側板５１ａに回転自在に支持されるとともに、伝動シャフト９０に対してスプラインナットを介して連結されている。そして、前記駆動シャフト８６の前端に駆動プーリ８６ａが装着され、これら両プーリ８６ａ，９０ｃに亘って伝動ベルト９１が装着されている。
【００７０】
図１０は、上記の駆動伝達系統のみを模式的に示したものである。つまり、モータ３７が作動すると、その回転駆動力が駆動ベルト４０及び駆動プーリ３５ａ等を介して搬入部２Ａの駆動シャフト３５に伝達されるとともに、駆動ベルト４０及び伝動プーリ９０ｂを介して伝動シャフト９０に伝達される。そして、この伝動シャフト９０に伝達された回転駆動力がさらにプーリ８６ａ，９０ｃおよび伝動ベルト９１を介して可動部２Ｂの駆動シャフト８６に伝達されるとともに、プーリ３５ｂ，９０ａ及び伝動ベルト９２を介して搬出部２Ｃの駆動シャフト３５に伝達される。その結果、搬入部２Ａの駆動シャフト３５、可動部２Ｂの駆動シャフト８６および搬出部２Ｃの駆動シャフト３５が一体に回転し、この回転により搬入部２Ａ、搬出部２Ｃの各搬送ベルト２４および可動部２Ｂの各搬送ベルト８４が一体に同一方向に周回移動するようになっている。そして、各部２Ａ〜２Ｃの後側の駆動プーリ２３，８３がそれぞれ上記のように駆動シャフト３５，８６に対してスプラインナットを介して装着されている結果（スプライン結合されている結果）、各部２Ａ〜２Ｃの後側のコンベア２１Ａ〜２１Ｃの配置（Ｙ軸方向の位置）に拘わらずモータ３７の回転駆動力が駆動シャフト３５，８６等を介して搬送ベルト２４，８４に伝達されるようになっている。
【００７１】
次に、以上のように構成された実装機の実装動作について図１１及び図１２説明する。
【００７２】
実装作業に際しては、まず基板搬送装置２の作動により基板Ｐが実装機に搬送され、基板搬送装置２の前記可動部２Ｂに位置決め固定される。このとき、基板搬送装置２の前記可動フレーム５０は、ホームポジション、すなわち可動部２Ｂのコンベア２０Ｂ，２１Ｂと、搬入部２Ａおよび搬出部２Ｃのコンベア２０Ａ，２１Ａ等とが横並びとなる位置にセットされており、これにより可動部２Ｂに対して基板Ｐの搬送が可能となっている。なお、説明を省略しているが、可動部２Ｂの前記可動フレーム５０には、基板Ｐをその下側から持ち上げた状態で位置決め固定する位置決め機構が搭載されている。
【００７３】
そして、基板Ｐが可動フレーム５０に位置決め固定された状態で、前記サーボモータ９，１０ａ、１０ｂ，５４等が制御されることにより、ヘッドユニット支持部材６とこれに支持された２つのヘッドユニット５ａ，５ｂが作動されるとともに、基板搬送装置２の可動部２Ｂ（可動フレーム５０）が作動されて、基板Ｐに対する部品の実装が行われる。
【００７４】
具体的には、まず、ヘッドユニット支持部材６が一方側の部品供給部４Ａに移動し、一方のヘッドユニット５ａの各吸着ヘッドによって部品の吸着が行われ、部品吸着後は、部品認識用のカメラ１２上にヘッドユニット５ａが移動してカメラ１２による撮像に基づき部品認識が行われてから、他方のヘッドユニット５ｂによる部品吸着および部品認識を行うべくヘッドユニット支持部材６が他方の部品供給部４Ｂ側に移動する。このとき基板Ｐが固定されている可動フレーム５０も実装作業領域内で他方の部品供給部４Ｂに近い位置に移動する。
【００７５】
そして、ヘッドユニット支持部材６が他方の部品供給部４Ｂ付近で停止し、この状態で、ヘッドユニット５ｂの各吸着ヘッドによって部品の吸着が行われ、さらにヘッドユニット５ｂが部品供給部４Ｂの側方のカメラ１２上に移動してカメラ１２による撮像に基づき部品認識が行われる。その一方で、このようなヘッドユニット５ｂによる部品の吸着および認識が行われている間に、ヘッドユニット５ａがＸ軸方向に移動し、かつ、基板Ｐが固定されている可動フレーム５０がＹ軸方向に移動することにより、基板Ｐに対する部品の位置決めが行われ、この部品位置決め動作が繰り返し行われてながら、ヘッドユニット５ａの各吸着ヘッドに吸着されている部品が順次基板Ｐに実装される。
【００７６】
ヘッドユニット５ａによる部品の装着が完了すると、ヘッドユニット支持部材６が部品供給部４Ａ側に移動するとともに、可動フレーム５０が部品供給部４Ａ側に移動する。そして、今度はヘッドユニット支持部材６が部品供給部４Ａ付近で停止した状態で、ヘッドユニット５ａによる部品吸着および部品認識が行われる一方、ヘッドユニット５ｂがＸ軸方向に移動し、かつ、基板Ｐが固定されている可動フレーム５０がＹ軸方向に移動することにより、基板Ｐに対する部品の位置決めが行われながら、ヘッドユニット５ｂの各吸着ヘッドに吸着されている部品の実装が順次行われる。
【００７７】
以後、各ヘッドユニット５ａ，５ｂによる部品の装着および吸着が交互に、かつ片方のヘッドユニット５ａ（又は５ｂ）による部品吸着動作と他方のヘッドユニット５ｂ（又は５ａ）による部品装着動作とが並行して行われながら基板Ｐへの部品の装着が効率良く行われ、基板Ｐに対する全部品の実装が終了すると、可動フレーム５０がホームポジション初期位置にリセットされ、基板Ｐが搬出部２Ｃを介して次工程へと搬出される。
【００７８】
そして、基板Ｐが搬出された後、次の基板Ｐの搬入に先立ち、当該基板Ｐのサイズに応じた基板搬送装置２の幅調整が以下のようにして行われる。
【００７９】
まず、図１１（ａ）に示すように、可動フレーム５０がホームポジションにセットされた状態で、連結装置６５が作動され、これにより搬入部２Ａおよび搬出部２Ｃの各後側のコンベア２１Ａ，２１Ｃと、これらに対応する可動部２Ｂの後側のコンベア２１Ｂとが連結される。具体的には、図１１（ｂ）に示すように、エアシリンダ６６がロッド突出駆動状態に切換えられることにより各連結用ロッド６７が退避位置から作動位置に前進し、その結果、各連結用ロッド６７が両側のコンベア２１Ａ，２１Ｃの連結用ブラケット２６に挿入された状態となる。
【００８０】
コンベア同士が連結されると、ロック装置７０ａ，７０ｂの作動によりコンベア２１Ｂのロック状態が解除され、該コンベア２１Ｂがガイドシャフト６０に沿ってＹ軸方向へ移動可能な状態に切換えられる。具体的には、各ロック装置７０ａ，７０ｂのエアシリンダ７１にそれぞれエア圧が供給されることにより該シリンダ７１がロッド突出駆動状態とされ、これに伴う各ガイドシャフト６０の回転によりワンウェイクラッチ６３とガイドシャフト６０とが非係合状態とされる。
【００８１】
コンベア２１Ｂのロック状態が解除されると、モータ４２の作動により搬入部２Ａ及び搬出部２Ｃの各ボールねじ軸３４が回転駆動される。このようにボールねじ軸３４が駆動されると、図１１（ｃ）に示すように搬入部２Ａ及び搬出部２Ｃの後側のコンベア２１Ａ，２１Ｃがガイドレール３３に沿って一体的にＹ軸方向に移動するとともに、コンベア２１Ａ，２１Ｃに連結されたコンベア２１Ｂが、コンベア２１Ａ，２１Ｃと共に一体にＹ軸方向に移動することとなる。その結果、搬入部２Ａ、可動部２Ｂ及び搬出部２Ｃの各後側のコンベア２１Ａ〜２１Ｃが前側のコンベア２０Ａ〜２０Ｃに対して相対的に接近又は離間し、これによって基板搬送装置２の幅調整が行われる。
【００８２】
コンベア２０Ａ，２１Ａ等の間隔が、次の基板Ｐに対応する所定の間隔にセットされると、ロック装置７０ａ，７０ｂの各エアシリンダ７１へのエア圧の供給が停止され、これによりコンベア２１Ｂが各ガイドシャフト６０に対してロックされる。つまり、ロック装置７０ａ，７０ｂにおいて、各エアシリンダ７１へのエア圧の供給が停止されることにより、上述したように前記圧縮ばね７８の弾発力によりラチェット７５等を介してガイドシャフト６０がロック解除方向とは反対方向に回転し、これによってワンウェイクラッチ６３とガイドシャフト６０が係合状態とされる。
【００８３】
可動部２Ｂのコンベア２１Ｂがロック状態に切換えられると、図１２（ａ）に示すように連結装置６５の各連結用ロッド６７が退避位置にリセットされ、可動部２Ｂのコンベア２１Ｂが搬入部２Ａ及び搬出部２Ｃの各コンベア２１Ａ，２１Ｃから切り離される。これにより基板搬送装置２の幅調整が完了することとなる。
【００８４】
そして、幅調整が完了すると、次の基板Ｐが基板搬送装置２の可動部２Ｂに搬入、位置決めされ、この状態で可動フレーム５０がＹ軸方向に駆動されることにより、上述したように基板ＰがＹ軸方向に移動されながら部品の実装が行われることとなる（図１２（ｂ））。
【００８５】
以上のような実装機によると次のような効果を得ることができる。
【００８６】
すなわち、この実装機に適用される基板搬送装置２は、その一部分（可動部２Ｂ）がＹ軸方向に移動可能に構成される装置であって、しかもコンベアの間隔を基板Ｐのサイズに応じて変更可能に構成されるものであるが、この基板搬送装置２では、上記の通り、当該幅変更に際して、可動部２Ｂのコンベア２１Ｂを搬送方向両側のコンベア（搬入部２Ａ及び搬出部２Ｃの各コンベア２１Ａ，２１Ｃ）に連結し、これら両側のコンベア２１Ａ，２１Ｃの駆動力を利用してコンベア２１Ｂを移動させるように構成しているので、可動部２Ｂに対して専用の幅調整機構を設けることなく可動部２Ｂのコンベア２１ＢをＹ軸方向に移動させることができる。従って、可動部（可動搬送部）についてもモータを駆動源とする専用の幅調整機構を設けてコンベアの幅変更を行わせている従来のこの種の基板搬送装置と比べると、そのような専用の幅調整機構が不要な分、基板搬送装置２を軽量化することができ、また低廉化を図ることができるという効果がある。
【００８７】
特に、専用の幅調整機構を可動部２Ｂ（可動フレーム５０）に設ける必要がない分、従来装置に比べて可動フレーム５０を大幅に軽量化することができ、これによって可動フレーム５０をより高速で駆動することが可能になる。また、可動フレーム５０を駆動するモータ５４として出力の低いものを適用することが可能となるため、この点でも基板搬送装置２の軽量化および低廉化を図ることが可能となる。
【００８８】
そして、このように基板搬送装置２０において軽量化、および低廉化が図られる結果、この基板搬送装置２０を搭載する上記実装機としてもその軽量化、および低廉化を図ることができるという効果がある。
【００８９】
しかも、上記の基板搬送装置２０によれば、上記の通り可動フレーム５０を従来に比べて高速で駆動することが可能となるため、実装動作中は、基板ＰをＹ軸方向により高速で移動させることにより、実装作業の効率を高めることができるようになるという効果もある。
【００９０】
なお、以上説明した実装機は、本発明に係る実装機の一実施形態であって、基板搬送装置２０の具体的な構成や実装機の具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、以下のような態様を採用することもできる。
（１）実施形態では、エアシリンダ６６の作動により連結用ロッド６７を進退駆動させる連結装置６５を設け、搬入部２Ａおよび搬出部２Ｃの各コンベア２１Ａ，２１Ｃに設けた連結用ブラケット２６に前記連結用ロッド６７を挿入させることにより、可動部２Ｂのコンベア２１Ｂと、搬入部２Ａおよび搬出部２Ｃの各コンベア２１Ａ，２１Ｃとを連結するように構成されているが、コンベア同士を連結する構成（連結手段）は実施形態のものには限られず各種の構成を採用できる。例えば、エアシリンダにより揺動変位するフック部材をコンベア２１Ｂに設け、このフック部材を各コンベア２１Ａ，２１Ｃに係合させることによりコンベア同士を連結させるようにしても構わない。また、エアシリンダ６６に代え、電磁ソレノイド等を使って電気的に連結用ロッド６７を駆動するようにしてもよい。
（２）実施形態では、搬入部２Ａ、可動部２Ｂおよび搬出部２Ｃの各後側のコンベア２１Ａ，２１Ｂ，２１ＣをＹ軸方向に移動させることにより、コンベア幅の調整を行うように構成されているが、勿論、前側のコンベア２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを移動させる構成であってもよい。また、前後双方のコンベア２０Ａ，２１Ａ等を互いに接離させてコンベア幅の調整を行うように構成してもよい。なお、このように前後双方のコンベア２０Ａ，２１Ａ等を移動させる場合には、可動部２Ｂの前後双方のコンベア２０Ｂ，２１Ｂに連結装置６５を搭載し、また搬入部２Ａ、搬出部２Ｃの前後双方のコンベア２０Ａ，２１Ａ等に連結用ブラケット２６を設けるようにすればよい。
（３）実施形態では、可動部２Ｂのコンベア２１Ｂを搬入部２Ａおよび搬出部２Ｃの双方のコンベア２１Ａ，２１Ｃに連結させるように連結装置６５が構成されており、このように双方のコンベア２１Ａ，２１Ｃに連結させる構成によると、各ガイドシャフト６０に対してコンベア２１Ｂの姿勢をバランス良く保った状態でスムーズに移動させることができるので、幅調整動作を円滑、かつ速やかに行わせることが可能になるという利点がある。
（４）なお、上記実装機に搭載されている基板搬送装置２０は、実装機以外の各種装置に適用可能であり、例えば、部品実装後の基板を検査する検査装置に適用することも可能である。すなわち、基板搬送装置により所定の作業位置に搬入された基板に対して、基板表面を撮像可能なカメラ（撮像手段）を備えたヘッドユニットを相対的に移動させながら、前記カメラにより基板を撮像してその画像に基づいて当該基板を検査する装置が従来から周知であるが、例えば、その基板搬送装置として上記実施形態のような基板搬送装置２０を搭載することもできる。このような検査装置によると、例えばヘッドユニットをＸ軸方向に移動させる一方、基板が固定されている可動フレームをＹ軸方向に移動させることにより基板の任意の位置をカメラにより撮像しながら効率良く検査を行うことができる。
【００９１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の基板搬送装置は、可動搬送部（可動フレーム）のコンベアと固定搬送部のコンベアと係脱可能に連結する連結手段を設け、この連結手段により可動搬送部のコンベアと固定搬送部のコンベアとを連結した状態で固定搬送部のコンベアの間隔調整を行わせることにより、可動搬送部側のコンベア間隔の調整を固定搬送部のコンベアに連動させるように構成するとともに、可動搬送部のコンベアをロック手段により任意の位置で固定し得るように構成したので、従来のように、可動搬送部に対して専用の幅調整機構を設けることなく該可動搬送部のコンベア間隔を調整することができる。従って、従来装置と比べると、そのような専用の幅調整機構が不要な分、基板搬送装置を軽量化することができ、また低廉化を図ることができるという効果がある。
【００９２】
しかも、そのような専用の幅調整機構を設ける必要がなくなる分、可動搬送部（可動フレーム）を従来装置に比べて大幅に軽量化することができる。従って、可動フレームをより高速で駆動することが可能となり、これにより作業の効率を高めることが可能になるという効果もある。
【００９３】
そして、本発明に係る表面実装機および基板検査装置によると、上記のような基板搬送装置が搭載されている結果、表面実装機および基板検査装置としての軽量化、低廉化を効果的に図ることができ、また、可動搬送部（可動フレーム）を高速駆動させて実装作業や検査処理の効率を高めることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る表面実装機（本発明に係る基板搬送装置が適用される表面実装機）を示す平面図である。
【図２】基板搬送装置の構成を示す平面図である。
【図３】基板搬送装置の構成を示す正面図である。
【図４】基板搬送装置を構成する搬入部、可動部および搬出部の各後側のコンベアを示す図２におけるＡ−Ａ断面図である。
【図５】搬入部の構成を示す図２のＢ矢視図である。
【図６】搬入部の構成を示す図２のＣ−Ｃ断面図である。
【図７】可動部の構成を示す図２のＤ−Ｄ断面図である。
【図８】可動部の構成を示す図２のＥ−Ｅ断面図である。
【図９】（ａ）はワンウェイクラッチによるガイドシャフト（搬入部側のガイドシャフト）の回転規制方向を説明する図であり、（ｂ）はロック装置の構成を示す正面図である。
【図１０】搬入部、可動部および搬出部の各搬送ベルトへの駆動力伝達系統を説明するための模式図である。
【図１１】基板搬送装置（コンベア）の幅調整動作を説明する模式図である（（ａ）は可動部がホームポジションにセットされた状態、（ｂ）は可動部のコンベアと搬入部および搬出部の各コンベアとが連結された状態、（ｃ）は後側コンベアがＹ軸方向に一体に移動している状態をそれぞれ示している）。
【図１２】基板搬送装置（コンベア）の幅調整動作を説明する模式図である（（ａ）は可動部のコンベアが搬入部および搬出部の各コンベアから切り離された状態、（ｂ）は幅調整後、基板が搬入されて実装動作が開始された状態をそれぞれ示している）。
【符号の説明】
２基板搬送装置
２Ａ搬入部（固定搬送部）
２Ｂ可動部（可動搬送部）
２Ｃ搬出部（固定搬送部）
２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃコンベア（前側）
２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃコンベア（後側）
２６連結用ブラケット
６５連結装置
６６エアシリンダ
６７連結用ロッド
７０ａ，７０ｂロック装置
Ｐ基板[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention is a substrate transport apparatus applied to manufacture, inspection, etc. of various substrates such as a printed circuit board, and in particular, a movable part capable of moving a substrate in a direction orthogonal to the transport direction during the transport. The present invention relates to a substrate transport device provided, and a surface mounter and a substrate inspection device including the substrate transport device.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a surface mounting machine in which a chip unit such as an IC is sucked from a component supply unit and transferred onto a printed circuit board by a head unit equipped with a component suction head and mounted on a predetermined position on the printed circuit board. (Hereinafter abbreviated as a mounting machine) is known.
[0003]
As this type of mounting machine, one in which the printed board is fixedly positioned and the head unit moves in the XY direction on a horizontal plane is well known. For example, as disclosed in Patent Document 1, the printed board is used. In recent years, the mounting efficiency can be improved by effectively controlling the movement of the head unit and the movement of the printed circuit board in a mounting work area that can be moved in the Y-axis direction (direction orthogonal to the board conveyance direction). Has been developed.
[0004]
In addition, the mounting machine usually incorporates a substrate transport device that transports while supporting both ends of the printed circuit board by a pair of belt conveyors (hereinafter referred to as conveyors), and the printed circuit board is transported by this circuit board transport device. However, the printed circuit board is positioned in the middle of the mounting part to perform component mounting processing. However, in the mounting machine disclosed in Patent Document 1, the board transport device includes a movable part and a carry-in and carry-out part on both sides thereof. The drive mechanism is configured to integrally move the conveyor of the movable part in the Y-axis direction, so that the substrate can be moved in the Y-axis direction. Specifically, for example, a conveyor of a movable part is mounted on a movable frame, and this movable frame is configured to move in the Y-axis direction by a ball screw mechanism or the like using a motor as a drive source.
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-9-102696
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the mounting machine as shown in the above-mentioned patent document 1, due to the configuration of the substrate transport apparatus as described above, there are the following problems to be solved.
[0007]
That is, normally, the substrate transport apparatus incorporates a motor-driven width adjusting mechanism for making the interval between the conveyors correspond to the size of the substrate. In order to move in the Y-axis direction with respect to the conveyor of this part (carry-in part, carry-out part), it is necessary to provide the width adjustment mechanism for the movable part and other parts separately. For this reason, the entire mounting machine including the substrate transfer device is configured to increase the weight and cost.
[0008]
Moreover, since it is necessary to mount the width adjusting mechanism including the motor integrally on the movable frame, the movable part has a disadvantageous structure because the weight of the movable frame is increased and the frame is moved at high speed. . That is, in order to increase the mounting efficiency, it is preferable to move the substrate in the Y-axis direction at a high speed, but this is a negative factor.
[0009]
The present invention has been made to solve the above problems, and by reviewing the mechanism for adjusting the width in the substrate transfer apparatus, the apparatus can be reduced in weight and cost, and the work efficiency can be improved. The purpose is to do so.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
 In order to solve the above problems, the present invention includes a pair of conveyors arranged in parallel and parallel to the substrate transport direction.On the import sideA fixed transport section and a movable transport section,Fixed transfer section on the unloading sideAnd the movable transfer unitA pair ofBy mounting the conveyor on the movable frame,eachThe substrate can be moved in a direction orthogonal to the transport direction with the movement of the movable frame in a state where the conveyors of the fixed transport unit and the movable transport unit are arranged at the same height when viewed from the horizontal direction. In the configured substrate transfer apparatus,eachFixed transfer sectionIs a pair of themThe conveyors are moved relative to each other in the direction of contact and separation.A pair ofConveyor spacingRespectivelyInterval change means to changeWithThe movable transfer unitIs a pair ofSupport means for supporting the conveyor so as to be relatively movable in the approaching / separating direction on the movable frame;AboveMounted on a movable frameA pair ofConveyorMutualLocking means switchable between a state allowing and preventing movement of the frame in the contact / separation direction with respect to the frameEach comprisingFixed transfer sectionandThe conveyor of the movable transfer unit isEachA connecting means for detachably connecting the conveyors corresponding to each other in each conveying section in a state where the respective conveyors of the fixed conveying section and the movable conveying section are arranged at the same height when viewed from the horizontal direction;The interval changing means includes a support base provided with a pair of guide rails on which any one of the pair of conveyors included in each of the fixed conveyance units is movably mounted, and one of the fixed conveyance units. A pair of ball screw shafts that are screwed into nut members respectively provided on the conveyor and extend in parallel to the pair of guide rails, and the guide rails are orthogonal to the substrate transport direction. The ball screw shaft is rotatably supported by the front side plate and the rear side plate, respectively, disposed between a front side plate and a rear side plate respectively installed at the fixed conveying portions with a predetermined interval in the direction. The support means includes guide shafts that are supported so that any one of the pair of conveyors included in the movable conveyance unit is movable. A pair,The connecting means includes a conveyor of the movable transport unit among the corresponding conveyors of the transport units.Transport directionEngagement member provided on both sidesWhen,Provided in the movable transfer sectionAnd a bidirectional air cylinder that is disposed between the pair of guide shafts and drives the engaging members.Drive means and engaged portions respectively provided on one side of the conveyor of each fixed transport section, and the engaging members are protruded outward from both ends of the movable transport section by the drive means. The operation unit is configured to displace the engagement position of each of the fixed conveyance units in the state to be engaged with the engaged portion and the retraction position where the engagement member is retreated from the operation position to both ends of the movable conveyance unit. The engagement members are arranged in a state where the conveyors corresponding to each other in the respective conveyance units are arranged in the substrate conveyance direction.AboveBy displacing to the operating position, the engaging member isAboveEngage with engaged partsAboveConveyors corresponding to each other in each transport unit are configured to be integrally connected.
[0011]
 According to this board | substrate conveying apparatus, the space | interval adjustment (change) of the conveyor in a movable conveyance part can be performed in response to the interval change of the conveyor of a fixed conveyance part. That is, after the conveyors of the respective transport units are aligned in the substrate transport direction, the corresponding conveyors of the respective transport units are coupled to each other by the operation of the coupling unit, and then the lock unit is released (a state in which the conveyor is allowed to move). The interval of the conveyor of the fixed conveyance unit is adjusted by the operation of switching and interval changing means. If it does in this way, the conveyor by the side of a movable conveyance part will move in response to the conveyor of a fixed conveyance part, As a result, the space | interval of the conveyor of each conveyance part will be changed simultaneously. After the change, the locking means is switched to fix the conveyor of the movable conveyance section to the movable frame, the connection state of the conveyors of the respective conveyance sections by the coupling means is released, and the conveyor of the movable conveyance section is fixed to the conveyor of the fixed conveyance section. By separating from the above, it is possible to operate the movable transport unit (movable frame) independently while maintaining the changed conveyor interval. Therefore, according to such a substrate transfer device, it is possible to adjust the width of the conveyor in the movable transfer section without providing a dedicated width adjustment mechanism having a drive source such as a motor for the movable transfer section. Therefore, it is possible to reduce the weight and the cost as compared with the conventional substrate transfer apparatus of this type. Further, since there is no need to provide a dedicated width adjusting mechanism in this way, it is possible to reduce the mounting member of the movable frame, which is an advantageous structure for driving the substrate at a high speed in the movable conveyance section.In addition, since the force (driving force) for moving the conveyor is applied to the conveyor of the movable conveyance unit (movable frame) via the conveyors of the conveyance units on both sides, the attitude of the conveyor is maintained well. Can move the conveyor smoothly. Therefore, it is possible to smoothly change the interval of the conveyor in the movable conveyance unit.
[0016]
 In this substrate transfer apparatus, the interval changing means is a common drive source.Driving the pair of ball screw shafts;It is more preferable that the conveyor of each fixed conveyance unit is configured to move in the contact / separation direction.
[0017]
By adopting a configuration in which the drive source is shared in this way, it is possible to further reduce the weight and cost of the substrate transfer apparatus.
[0018]
On the other hand, the surface mounter according to the present invention sucks an electronic component from a component supply unit by a movable head unit having a component sucking head, and the component is transported by a board transport device to a predetermined work position. A surface mounter for mounting on a substrate positioned at a substrate includes the substrate transfer device according to any one of claims 1 to 4 as the substrate transfer device, and the substrate is disposed at the movable transfer portion as the work position. In this state, components are mounted on the board.
[0019]
Further, the substrate inspection apparatus according to the present invention relatively moves the movable head unit including an imaging unit capable of imaging the substrate surface and the substrate carried into a predetermined work position by the substrate transport device, In the board | substrate inspection apparatus which test | inspects the said board | substrate based on image recognition by imaging a board | substrate with an imaging means, it has the board | substrate conveyance apparatus in any one of Claim 1 thru | or 4 as said board | substrate conveyance apparatus, As said work position The substrate is configured to be imaged by the imaging means in a state in which the substrate is disposed on the movable transfer unit.
[0020]
These surface mounters and board inspection apparatuses are advantageous in reducing the weight and cost of the surface mounters and board inspection apparatuses. Further, since the substrate transfer unit has an advantageous structure for driving the movable transfer unit (movable frame) at a high speed as described above, it is also advantageous for improving the efficiency of the mounting work and the inspection process.
[0021]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0022]
FIG. 1 is a plan view schematically showing an example of a surface mounter according to the present invention (a surface mounter to which a substrate transfer apparatus according to the present invention is applied).
[0023]
As shown in the figure, a substrate transfer device 2 is provided on a base 1 of a surface mounter (hereinafter abbreviated as a mounter), and a printed board P (hereinafter abbreviated as a substrate P) is connected to the substrate transfer device 2. It is conveyed along the postscript conveyor. In the present embodiment, the conveyance direction (left-right direction in FIG. 1) of the substrate P by the conveyor is referred to as the X-axis direction, and the direction orthogonal to the X-axis on the horizontal plane (up-down direction in FIG. 1) is referred to as the Y-axis direction.
[0024]
In FIG. 1, the board P is carried into the mounting machine from the left side along the conveyor of the board transfer device 2, and after being subjected to a mounting process in a mounting work area provided in the approximate center of the base 1, the right side of the mounting machine. To the next process (in the direction of the white arrow in the figure).
[0025]
The substrate transfer device 2 is configured such that a portion corresponding to the mounting work area can be moved independently in the Y-axis direction, and the substrate P can be moved in the Y-axis direction as needed during the mounting work. Has been. Moreover, the conveyor of the board | substrate conveyance apparatus 2 is comprised from a pair of mutually parallel belt conveyor, and it is comprised so that the space | interval of these belt conveyors can be changed (expanded / reduced). Thereby, it is comprised so that it can respond to the size change of the board | substrate P. FIG. A specific configuration of the substrate transfer apparatus 2 will be described in detail later.
[0026]
Component supply units 4A and 4B are arranged on both sides in the Y-axis direction of the mounting machine with the board conveying device 2 interposed therebetween. These component supply units 4A and 4B have component supply feeders fixed thereto. For example, a plurality of tape feeders that sequentially supply components while intermittently feeding out the tape containing the components are arranged in the X-axis direction. Each is fixed in the state.
[0027]
Above the base 1, a pair of head units 5a and 5b for mounting components are provided. These head units 5a and 5b are configured to be able to move integrally in the Y-axis direction and separately in the X-axis direction over the component supply units 4A and 4B and the mounting work area where the substrate P is located. .
[0028]
That is, a pair of guide frames 7 extending in the Y-axis direction and a ball screw shaft 8 that is rotationally driven by a Y-axis servo motor 9 are disposed on the base 1, and a head unit support member is disposed on the guide frame 7. 6 is arranged, and a nut portion (not shown) provided on the support member 6 is screwed onto the ball screw shaft 8. The head unit support member 6 is provided with guide members (not shown) extending in the X-axis direction on both sides in the Y-axis direction, and ball screw shafts 11a and 11b driven by the X-axis servomotors 10a and 10b. The head units 5a and 5b are movably held with respect to the guide members, and nut portions (not shown) provided on the head units 5a and 5b are attached to the ball screw shafts 11a and 11b. It is screwed. When the head unit support member 6 moves in the Y-axis direction by the operation of the Y-axis servo motor 9, both head units 5a and 5b move integrally in the Y-axis direction, and the X-axis servo motors 10a and 10b Each head unit 5a, 5b is moved in the X-axis direction independently of the head unit support member 6 by the operation.
[0029]
Although not shown in the drawings, each head unit 5a, 5b is provided with a plurality of suction heads provided with component suction nozzles at the tips. During the mounting operation, these suction heads respectively provide component supply units 4A, 4A, Parts are picked up and taken out from 4B.
[0030]
In FIG. 1, reference numeral 12 denotes a component recognition camera 12 sucked by the suction heads of the head units 5a and 5b, and is arranged on one side in the X-axis direction of the component supply units 4A and 4B.
[0031]
Next, the structure of the said board | substrate conveyance apparatus 2 is demonstrated using FIGS. 2 is a plan view showing the substrate transfer device 2, FIG. 3 is a front view thereof, FIGS. 4 to 8 are cross-sectional schematic views thereof, FIG. 9 is a front view showing a configuration of a locking device to be described later, and FIG. It is a schematic diagram explaining the drive transmission system for conveyance belts.
[0032]
As shown in FIGS. 1 and 2, the substrate transport apparatus 2 includes three components arranged in the X-axis direction, each having a pair of belt conveyors, specifically, the left side of the figure (upstream in the transport direction of the substrate P). In order from the side), a carry-in part 2A (fixed transport part) provided with belt conveyors 20A and 21A, a movable part 2B (movable transport part) provided with belt conveyors 20B and 21B, and a carry-out part 2C provided with belt conveyors 20C and 21C. (Fixed transport section) has three components, and both ends (Y-axis direction both ends) of the substrate P are provided by the conveyors 20A, 21A... (Abbreviated as conveyors 20A, 21A, etc.) of these sections 2A to 2C. The substrate P is transported in a supported state.
[0033]
Of the respective parts 2A to 2C, the movable part 2B is arranged in the mounting work area and is configured to move the substrate P in the Y-axis direction.
[0034]
The substrate transport device 2 further includes a mechanism for changing the intervals of the conveyors 20A, 21A, etc. of the respective parts 2A-2C according to the size of the substrate P, a mechanism for driving the conveyors 20A, 21A, etc. of the respective parts 2A-2C, In addition, a mechanism for moving the substrate P in the Y-axis direction in the movable part 2B is provided. Hereinafter, the configurations of the carry-in portion 2A, the movable portion 2B, and the carry-out portion 2C and the configurations of the mechanisms will be described in detail.
[0035]
The following description will be given with respect to the substrate transfer apparatus 2 with the lower side of FIG. 2 being the front side of the apparatus and the upper side being the lower side of the apparatus. Moreover, since the carrying-in part 2A and the carrying-out part 2C have substantially the same basic configuration except that the movable part 2B is sandwiched between them, the carrying-in part 2A and the carrying-out part 2C are substantially the same. The configuration of the carry-in unit 2A will be mainly described with the same reference numerals attached to the common parts, and only the difference from the carry-in unit 2A will be referred to for the carry-out unit 2C.
[0036]
As shown in FIGS. 5 and 6, the carry-in portion 2 A has a pair of side plates 30 and 31 (a front side plate 30 and a rear side plate 31) fixed to the base 1. Of these side plates 30, 31, the front side plate 30 is integrally assembled with the front side conveyor 20 A among the conveyors 20 A, 21 A, and the rear side conveyor 21 A is interposed between the conveyor 20 A and the rear side plate 31. It is provided so as to be movable in the Y-axis direction and is configured to be driven by a motor 42 described later. That is, the size of the substrate P can be accommodated by moving the rear conveyor 21A relative to the front conveyor 20A.
[0037]
Specifically, a support base 32 having a guide rail 33 extending in the Y-axis direction is provided between the side plates 30 and 31, and a ball screw shaft 34 extending parallel to the rail 33 is provided above the guide rail 33. The ball screw shaft 34 is rotatably supported by the side plates 30 and 31. The conveyor 21A is movably attached to the guide rail 33 through the frame 25, and the ball screw shaft 34 is screwed to a nut member 28 assembled to the frame 25.
[0038]
A drive pulley 34a is attached to the front end of the ball screw shaft 34. As shown in FIGS. 2 and 3, the drive pulley 34a and a pulley attached to the output shaft of the motor 42 fixed to the base 1 are installed. A drive belt 47A is attached to the belt 42a. With this configuration, when the motor 42 is operated, the rotational driving force is transmitted to the ball screw shaft 34 via the pulley 42a, the driving belt 47A, and the driving pulley 34a, and the conveyor 21A moves to the guide rail 33 as the ball screw shaft 34 rotates. It moves along the Y-axis direction. That is, in the substrate transport apparatus 2, the guide rail 33, the motor 42, the ball screw shaft 34, and the like constitute the interval changing means of the present invention.
[0039]
The motor 42 is arranged on the front side of the apparatus and on the side portion of the movable portion 2B as shown in the figure, and is fixed to the base 1 via the frame 43. A frame 45 including a guide pulley 46a and a tension pulley 46b is provided between the motor 42 and the front plate 30 of the carry-in portion 2A. As a result, the driving belt 47A is stretched.
[0040]
As shown in FIGS. 4 and 6, each conveyor 20 A, 21 A is provided with a drive pulley 23 and a plurality of driven pulleys 22 in a predetermined arrangement, and a transport belt 24 for transporting the substrate P is provided with these pulleys 22. , 23.
[0041]
The drive pulleys 23 of the conveyors 20A and 21A are connected to each other so as to rotate integrally in the same direction. That is, between the side plates 30 and 31, a drive shaft 35 consisting of a spline shaft extending in the Y-axis direction is provided side by side with the ball screw shaft 34, and this drive shaft 35 is connected to each of the conveyors 20A and 21A. The side plates 30 and 31 are rotatably supported by the drive pulley 23 and the frame 25 of the rear conveyor 21A. The drive pulley 23 of the rear conveyor 21A is rotatably supported by the frame 25 via bearings and the like, and is connected to the drive shaft 35 via a spline nut. As a result, the rear pulley 21A The drive pulley 23 of the conveyor 21 A can move relative to the drive shaft 35 in the axial direction (Y-axis direction) and is configured to rotate integrally with the drive shaft 35. Note that the drive pulley 23 of the front conveyor 20A is integrally fixed to the drive shaft 35. Therefore, when the drive shaft 35 rotates, regardless of the arrangement of the conveyor 21A in the Y-axis direction, the drive pulleys 23 of the conveyors 20A and 21A rotate together, and this rotation causes the conveyor belts 24 of the conveyors 20A and 21A to rotate. It is designed to move around together.
[0042]
A drive pulley 35 a is attached to the rear end of the drive shaft 35. A drive belt 40 is stretched over the drive pulley 35a, and the drive shaft 35 is driven to rotate by transmitting the rotational drive force of the motor 37 described later to the drive pulley 35a via the drive belt 40. It has become. This point will be described in detail later.
[0043]
While the configuration of the carry-in unit 2A has been described above, the carry-out unit 2C is different from the carry-in unit 2A in the following points.
[0044]
First, a pulley 42b having the same configuration as that of the pulley 42a is mounted side by side on the output shaft of the motor 42, and the carry-out portion 2C extends over the pulley 42b and the drive pulley 34a of the ball screw shaft 34. A drive belt 47B is attached.
[0045]
Further, as for the carry-out portion 2C, the drive pulley 35a is not provided at the rear end of the drive shaft 35, and instead, it is driven at the front end of the drive shaft 35 as shown in FIG. 3 and FIG. A pulley 35b is attached. The drive pulley 35b is disposed on the front side of the extended portion 30a connected to the front side plate 30, and a power transmission belt 92, which will be described later, is stretched over the drive pulley 35b and a pulley 93 supported by the extended portion 30a. . Thereby, as will be described later, the rotational driving force of the motor 37 is transmitted to the drive shaft 35 via the transmission belt 92 and the drive pulley 35a.
[0046]
 On the other hand, the movable part 2B is shown in FIGS.,FIG.And FIG.A movable frame 50 as shown in FIG. The movable frame 50 is a side view concave frame in which front and rear side plates 51a and 51b (referred to as a front side plate 51a and a rear side plate 51b) are erected on both front and rear ends of a bottom plate 51c, and is fixed in the Y-axis direction fixed on the base 1. A pair of extending guide rails 53 are fixed via a base plate 52.
[0047]
A ball screw shaft 55 (see FIG. 1) extending in the Y-axis direction supported rotatably on the base 1 is screwed to the movable frame 50. The ball screw shaft 55 is connected to an output shaft of a motor 54 fixed to the base 1. Therefore, when the ball screw shaft 55 is rotationally driven by the motor 54, the movable frame 50 is moved along the guide rail 53. It moves in the Y-axis direction.
[0048]
A pair of guide shafts 60 and a drive shaft 86 formed of a spline shaft are rotatably supported between the front and rear side plates 51a and 51b of the movable frame 50, and a transmission shaft 90 formed of a spline shaft with respect to the front plate 51a. Has penetrated. The guide shafts 60 are respectively supported at both ends of the movable frame 50 in the X-axis direction, and the drive shaft 86 is supported at a position slightly closer to the carry-in portion 2A than the middle thereof. On the other hand, the transmission shaft 90 is disposed below the guide shaft 60 on the carry-in portion 2A side, and is connected to the front plate 51a via a spline nut 88 and a bearing 89 outside thereof, and both ends thereof are As shown in FIG. 7, the motor is fixedly supported by a motor fixing plate 36 and a support plate 79 fixed to the base 1.
[0049]
 Conveyors 20B and 21B are provided between the front and rear side plates 51a and 51b of the movable frame 50, and these conveyors 20B and 21B are supported by the both guide shafts 60, respectively. Of these conveyors 20B and 21B, the front conveyor 20B is fixed to the front plate 51a via a collar 61. Meanwhile, the rear conveyor21BIs mounted on the guide shaft 60 via the linear bushing 62, and thereby the conveyor along the guide shaft 60.21BIs movable in the Y-axis direction. That is, the size of the substrate P can be accommodated by moving the rear conveyor 21B relative to the front conveyor 20B.
[0050]
Here, the movable frame 50 includes a mechanism for connecting the conveyor 21B of the movable portion 2B to the respective rear conveyors 21A and 21C of the carry-in portion 2A and the carry-out portion 2C, and the Y-axis direction of the conveyor 20B. And a mechanism for fixing the conveyor 20B to an arbitrary position of the movable frame 50 by restricting the movement to the movable frame 50.
[0051]
As a mechanism for connecting the conveyors, a connecting device 65 is provided on the conveyor 21B. The connecting device 65 has a pair of connecting rods 67 extending in the X-axis direction, and a double-type air cylinder 66 disposed between the connecting rods 67. Each connecting rod 67 is supported through a guide 68 so as to be movable in the X-axis direction, and is connected to the rod of the air cylinder 66, and advances and retreats according to the supply and discharge of air pressure to the air cylinder 66. It is designed to be driven. Specifically, when the air cylinder 66 is in the rod protruding drive state, each connecting rod 67 moves forward from the end of the conveyor 21B to a position where the rod tip protrudes outward (referred to as an operating position). Is switched to the lot pull-in driving state, the connecting rods 67 are retracted to a position where the rod tip is located at the end of the conveyor 21B (position shown in FIG. 2; referred to as a retracted position).
[0052]
And the connection bracket 26 (refer FIG. 5, FIG. 6) provided with the insertion hole 27 of the connection rod 67 in the edge part by the side of the movable part 2B among conveyors 21A and 21C of the said carrying-in part 2A and carrying-out part 2C. Each is assembled.
[0053]
 In this configuration,FIG.When the air cylinder 66 is switched to the rod projecting drive state with the conveyors 21A to 21C arranged side by side in the X-axis direction, the connecting rod 67 moves forward to the operating position and moves to the connecting position. The leading end is inserted into the insertion hole 27 of the bracket 26, whereby the conveyor 20B on the rear side of the movable part 2B is connected to the conveyor 21A on the rear side of the carry-in part 2A and the movable part 2B. That is, in this embodiment, the connecting device 65 and the connecting bracket 26 constitute the connecting means of the present invention.
[0054]
 On the other hand, the conveyor can be placed at any position of the movable frame 50.21BThe one-way clutch 63 that regulates the rotation direction of each guide shaft 60 is incorporated in the conveyor 21 B, and lock devices 70 a and 70 b are provided for the respective guide shafts 60.
[0055]
As shown in FIG. 7, the one-way clutch 63 is integrated into the conveyor 21 B, and is attached to each guide shaft 60 immediately behind the linear bush 62. Although not shown in detail, the one-way clutch 63 includes, for example, a cylindrical outer ring provided with a milled tooth cam portion on the inside, and a plurality of one-way clutches 63 rotatably disposed between the cam portions inside the outer ring. The outer ring is fixed to the frame of the conveyor 21B, and a guide shaft 60 is inserted inside each roller. When the guide shaft 60 is rotated in a specific direction with respect to the conveyor 21B (outer ring), the roller moves in the narrow direction between the cam portions of the outer ring and is clogged between the outer ring and the guide shaft 60. As a result, the conveyor 21B (outer ring) and the guide shaft 60 are engaged with each other to prevent the guide shaft 60 from rotating relative to the conveyor 21B, while the guide shaft 60 is moved in a direction opposite to the specific direction with respect to the conveyor 21B (outer ring). When the rotation is attempted, the roller moves in the direction opposite to the direction of the narrow portion between the cam portions of the outer ring, thereby causing the conveyor 21B (outer ring) and the guide shaft 60 to be disengaged to guide the conveyor 21B. The shaft 60 is configured to be allowed to rotate.
[0056]
In this embodiment, when the guide shaft 60 on the carry-in portion 2A side is viewed from the front side of the apparatus, as shown in FIG. 9A, the guide shaft 60 is allowed to rotate counterclockwise (rotation in the direction of the broken arrow). The one-way clutch 63 is configured to prevent clockwise rotation (rotation in the direction of the solid line arrow). Although not shown, the one-way clutch 63 is configured so that the guide shaft 60 on the carry-out portion 2C side is opposite to the guide shaft 60 on the carry-in portion 2A side in the rotation allowable (blocking) direction of the guide shaft 60. Has been.
[0057]
The locking devices 70 a and 70 b are assembled to the front side plate 51 a of the movable frame 50. The configuration of the lock device 70a on the carry-in portion 2A side will be described as an example. As shown in FIG. 9B, the lock device 70a is disposed at the end of the guide shaft 60 (the guide shaft 60 on the carry-in portion 2A side). An operation wheel 72 that is fixed and integrally provided with a ratchet wheel 73, an air cylinder 71 that drives the operation wheel 72, and a ratchet 75 that engages with the ratchet wheel 73 are provided.
[0058]
The air cylinder 71 is fixed to the front side plate 51 a, and the tip of the rod 71 a is connected to the operation wheel 72. The operation wheel 72 is provided to rotate counterclockwise (counterclockwise when viewed from the front side of the apparatus) in accordance with switching from the rod retracting driving state to the rod protruding driving state.
[0059]
The ratchet 75 is fixed to the distal end portion of the mounting member 76 and is supported by the front side plate 51a via the mounting member 76. The attachment member 76 is supported by a pin 77 on the front side plate 51a through a guide hole 76a elongated in the X-axis direction, and is urged by a compression spring 78. As a result, the ratchet 75 can be displaced in the X-axis direction, and is supported by the front side plate 51 a in a state where the tip is pressed against the ratchet wheel 73 by the elastic force of the compression spring 78. As shown in the figure, the ratchet wheel 73 and the ratchet 75 rotate clockwise in the state in which the ratchet wheel 73 is engaged with the ratchet wheel 73 (clockwise in FIG. 9; watched from the front side of the device). Rotation), and counterclockwise rotation is prevented.
[0060]
In the configuration of the lock device 70a, when air pressure is supplied to the air cylinder 71, the conveyor 21B can move in the Y-axis direction with respect to each guide shaft 60 (unlocked state), while the air pressure to the air cylinder 71 is reduced. When the supply is stopped, the conveyor 21B is locked to each guide shaft 60 (locked state).
[0061]
That is, when air pressure is supplied to the air cylinder 71 and the cylinder 71 is brought into the rod protruding drive state, the pressing portion 74 provided on the operation wheel 72 abuts on the tip of the ratchet 75 so that the ratchet 75 is brought into contact with the compression spring 78. Push back against resilience. Along with this, the engagement state between the ratchet 75 and the operation wheel 72 is released, and the operation wheel 72 rotates counterclockwise as indicated by a two-dot chain line in FIG. With the movement, the guide shaft 60 integrally rotates counterclockwise. At this time, as described above, the one-way clutch 63 is configured to allow the countershaft rotation of the guide shaft 60 relative to the conveyor 21B. As a result, when the guide shaft 60 rotates counterclockwise, the one-way clutch 63 and the guide The engaged state with the shaft 60 is released, and thereby the movement of the conveyor 21B in the Y-axis direction with respect to the guide shaft 60 is allowed.
[0062]
 That is, the one-way clutch 63 has a built-in roller as described above.With a circleSince it is clogged between the guide shaft 60 and the conveyor 21B (outer ring) and the guide shaft 60 are engaged with each other, not only the rotation of the guide shaft 60 with respect to the conveyor 21B but also the guide shaft is engaged in this engaged state. The axial movement of the conveyor 21B with respect to 60 is also prevented. Conversely, when the conveyor 21B and the guide shaft 60 are in a non-engaged state, the clogged state of the rollers as described above is eliminated. In this non-engaged state, not only the rotation of the guide shaft 60 with respect to the conveyor 21B, The movement of the conveyor 21B in the axial direction with respect to the guide shaft 60 is also allowed. Therefore, when the guide shaft 60 is rotated counterclockwise as described above, the engagement state between the one-way clutch 63 and the guide shaft 60 is released, and thus the movement of the conveyor 21B relative to the guide shaft 60 in the Y-axis direction is allowed. Will be.
[0063]
On the other hand, when the supply of air pressure to the air cylinder 71 is stopped from this state, the ratchet wheel 73 is rotated clockwise by the pressing of the ratchet 75 by the elastic force of the compression spring 78, and accordingly the operation wheel 72 is moved. And the guide shaft 60 will rotate clockwise integrally. At this time, as a result of the configuration of the one-way clutch 63 as described above, when the guide shaft 60 rotates clockwise, the one-way clutch 63 and the guide shaft 60 are engaged with each other. As a result, the conveyor 21B is engaged with the guide shaft 60. The movement in the Y-axis direction is prevented, and the conveyor 21 B is locked with respect to the guide shaft 60. At this time, the air in the air cylinder 71 is naturally discharged by pushing back the rod 71 a accompanying the rotation of the operation wheel 72.
[0064]
The above is the configuration of the lock device 70a on the carry-in portion 2A side, but the lock device 70b on the carry-out portion 2C side is also configured in common. However, the lock device 70b on the carry-out portion 2C side is symmetrical with the lock device 70a on the carry-in portion 2A side in relation to the one-way clutch 63 attached to the corresponding guide shaft 60.
[0065]
In the substrate transport apparatus 2, the guide means 60 constitutes the support means of the present invention, and the one-way clutch 63, the guide shaft 60, the lock devices 70a and 70b, etc. constitute the lock means of the present invention.
[0066]
As shown in FIGS. 4 and 8, each conveyor 20B, 21B of the movable portion 2B is provided with a drive pulley 83 and a plurality of driven pulleys 82 in a predetermined arrangement, and a transport belt for transporting the substrate P. 84 is mounted over these pulleys 82 and 83. The drive pulleys 23 of the conveyors 20B and 21B are rotatably supported on the frames of the conveyors 20B and 21B via bearings, and are attached to the drive shaft 86. The drive pulleys 86 rotate in the same direction as the drive shaft 86 rotates. Are connected to each other so as to rotate together.
[0067]
The drive pulley 83 of the rear conveyor 21B is connected to the drive shaft 86 via a spline nut, so that the drive pulley 23 moves in the axial direction (Y-axis direction) with respect to the drive shaft 86. Relative movement is possible, and the drive shaft 86 is connected to rotate integrally. Therefore, regardless of the arrangement of the conveyors 21B in the Y-axis direction, when the drive shaft 86 rotates, the drive pulleys 83 of the conveyors 20B and 21B rotate integrally, and as a result, the conveyor belts 84 of the conveyors 20B and 21B It is designed to move around together.
[0068]
Each conveyor belt 84 and carry-in part 2A of the movable part 2B and each conveyor belt 24 of the movable part 2B are driven by a common motor.
[0069]
 That is, as shown in FIGS. 2, 4, and 7, a motor 37 is fixed to the base 1 via a motor fixing plate 36 at a rear portion of the movable portion 2 B. A pulley 37a is attached to the shaft. A transmission pulley 90b is mounted on the rear end of the transmission shaft 90, and a tension pulley 38 is provided on the motor fixing plate 36 in the vicinity of the transmission pulley 90b. The pulleys 37a, 38, 90b and the carry-in portion 2A A drive belt 40 is mounted across the drive pulley 35a. A transmission pulley 90a is attached to the front end portion of the transmission shaft 90, and a transmission belt extends across the transmission pulley 90a and the drive pulley 35b and pulley 93 of the carry-out portion 2C.92Is installed. Further, a transmission pulley 90c is attached to a portion of the transmission shaft 90 on the rear side of the transmission pulley 90a, and the transmission pulley 90c is rotatably supported by the front plate 51a of the movable frame 50 through a bearing. The transmission shaft 90 is connected via a spline nut. A drive pulley 86a is attached to the front end of the drive shaft 86, and a transmission belt 91 is attached across the pulleys 86a and 90c.
[0070]
FIG. 10 schematically shows only the drive transmission system. That is, when the motor 37 is operated, the rotational driving force is transmitted to the driving shaft 35 of the carry-in portion 2A via the driving belt 40 and the driving pulley 35a and the transmission shaft 90 via the driving belt 40 and the transmission pulley 90b. Is transmitted to. The rotational driving force transmitted to the transmission shaft 90 is further transmitted to the driving shaft 86 of the movable portion 2B via the pulleys 86a and 90c and the transmission belt 91, and via the pulleys 35b and 90a and the transmission belt 92. It is transmitted to the drive shaft 35 of the carry-out part 2C. As a result, the drive shaft 35 of the carry-in part 2A, the drive shaft 86 of the movable part 2B, and the drive shaft 35 of the carry-out part 2C rotate together. By this rotation, the conveyor belts 24 and the movable parts of the carry-in part 2A and carry-out part 2C Each of the 2B conveyor belts 84 is integrally moved in the same direction. Then, as a result of attaching the drive pulleys 23 and 83 on the rear side of the respective parts 2A to 2C to the drive shafts 35 and 86 through the spline nuts as described above (results of spline coupling), the respective parts 2A The rotational driving force of the motor 37 is transmitted to the conveyor belts 24 and 84 via the drive shafts 35 and 86 regardless of the arrangement (position in the Y-axis direction) of the rear conveyors 21A to 21C. ing.
[0071]
Next, the mounting operation of the mounting machine configured as described above will be described with reference to FIGS.
[0072]
In the mounting operation, first, the substrate P is transported to the mounting machine by the operation of the substrate transport device 2, and is positioned and fixed to the movable portion 2 B of the substrate transport device 2. At this time, the movable frame 50 of the substrate transport apparatus 2 is set to a home position, that is, a position where the conveyors 20B and 21B of the movable part 2B and the conveyors 20A and 21A of the carry-in part 2A and the carry-out part 2C are arranged side by side. Thus, the substrate P can be transferred to the movable part 2B. Although not described, the movable frame 50 of the movable portion 2B is equipped with a positioning mechanism that positions and fixes the substrate P in a state where it is lifted from the lower side.
[0073]
Then, the servo motors 9, 10a, 10b, 54, etc. are controlled in a state where the substrate P is positioned and fixed to the movable frame 50, whereby the head unit support member 6 and the two head units 5a supported by the head unit support member 6 are supported. , 5b are operated, and the movable portion 2B (movable frame 50) of the substrate transfer device 2 is operated, so that components are mounted on the substrate P.
[0074]
Specifically, first, the head unit support member 6 moves to the component supply unit 4A on one side, and the components are adsorbed by the adsorption heads of one head unit 5a. After the head unit 5a moves on the camera 12 and component recognition is performed based on the image captured by the camera 12, the head unit support member 6 is used for the other component supply unit to perform component suction and component recognition by the other head unit 5b. Move to 4B side. At this time, the movable frame 50 to which the substrate P is fixed also moves to a position close to the other component supply unit 4B in the mounting work area.
[0075]
Then, the head unit support member 6 stops near the other component supply unit 4B, and in this state, components are adsorbed by the respective adsorption heads of the head unit 5b, and the head unit 5b is further to the side of the component supply unit 4B. The component recognition is performed based on the image captured by the camera 12. On the other hand, while the suction and recognition of components by the head unit 5b is performed, the head unit 5a moves in the X-axis direction, and the movable frame 50 to which the substrate P is fixed is connected to the Y-axis. By moving in the direction, the components are positioned with respect to the substrate P, and the components attracted to the respective suction heads of the head unit 5a are sequentially mounted on the substrate P while the component positioning operation is repeatedly performed.
[0076]
When the mounting of the component by the head unit 5a is completed, the head unit support member 6 moves to the component supply unit 4A side, and the movable frame 50 moves to the component supply unit 4A side. Then, while the head unit support member 6 is stopped in the vicinity of the component supply unit 4A, component adsorption and component recognition by the head unit 5a are performed, while the head unit 5b moves in the X-axis direction and the substrate P When the movable frame 50 to which is fixed is moved in the Y-axis direction, the components that are attracted to each suction head of the head unit 5b are sequentially mounted while the components are positioned with respect to the substrate P.
[0077]
Thereafter, the mounting and suction of components by the head units 5a and 5b are alternately performed, and the component suction operation by one head unit 5a (or 5b) and the component mounting operation by the other head unit 5b (or 5a) are performed in parallel. When the mounting of the components onto the board P is efficiently performed and the mounting of all the parts on the board P is completed, the movable frame 50 is reset to the initial position of the home position, and the board P is next transferred via the carry-out unit 2C. It is carried out to the process.
[0078]
Then, after the substrate P is unloaded, prior to loading the next substrate P, the width adjustment of the substrate transfer device 2 according to the size of the substrate P is performed as follows.
[0079]
First, as shown in FIG. 11 (a), the connecting device 65 is operated in a state where the movable frame 50 is set at the home position, whereby the conveyors 21A and 21C on the rear sides of the carry-in part 2A and the carry-out part 2C are operated. And the conveyor 21B of the rear side of the movable part 2B corresponding to these is connected. Specifically, as shown in FIG. 11B, the air cylinder 66 is switched to the rod protruding drive state, so that each connecting rod 67 moves forward from the retracted position to the operating position, and as a result, each connecting rod 67 is inserted into the connecting brackets 26 of the conveyors 21A and 21C on both sides.
[0080]
When the conveyors are connected to each other, the lock state of the conveyor 21B is released by the operation of the locking devices 70a and 70b, and the conveyor 21B is switched to a state in which the conveyor 21B can move in the Y-axis direction along the guide shaft 60. Specifically, the air pressure is supplied to the air cylinders 71 of the respective locking devices 70a and 70b to bring the cylinders 71 into a rod projecting drive state. The guide shaft 60 is disengaged.
[0081]
 When the locked state of the conveyor 21B is released, the ball screw shafts 34 of the carry-in part 2A and the carry-out part 2C are rotationally driven by the operation of the motor 42. When the ball screw shaft 34 is driven in this way, the conveyors 21A and 21C on the rear side of the carry-in part 2A and the carry-out part 2C are integrated along the guide rail 33 as shown in FIG. The conveyor 21B connected to the conveyors 21A and 21C moves together with the conveyors 21A and 21C in the Y-axis direction. As a result, the conveyors 21A to 21C on the rear side of the carry-in part 2A, the movable part 2B, and the carry-out part 2C become front conveyors.20A~20C, The width of the substrate transport apparatus 2 is adjusted.
[0082]
When the intervals of the conveyors 20A, 21A, etc. are set to the predetermined intervals corresponding to the next substrate P, the supply of air pressure to the air cylinders 71 of the lock devices 70a, 70b is stopped, thereby causing the conveyor 21B to The guide shaft 60 is locked. That is, in the locking devices 70a and 70b, when the supply of air pressure to each air cylinder 71 is stopped, the guide shaft 60 is locked via the ratchet 75 or the like by the elastic force of the compression spring 78 as described above. The one-way clutch 63 and the guide shaft 60 are engaged with each other by rotating in the direction opposite to the release direction.
[0083]
When the conveyor 21B of the movable part 2B is switched to the locked state, as shown in FIG. 12A, each connecting rod 67 of the connecting device 65 is reset to the retracted position, and the conveyor 21B of the movable part 2B It is cut off from each conveyor 21A, 21C of the carry-out part 2C. Thereby, the width adjustment of the substrate transfer apparatus 2 is completed.
[0084]
When the width adjustment is completed, the next substrate P is loaded and positioned in the movable portion 2B of the substrate transport apparatus 2, and the movable frame 50 is driven in the Y-axis direction in this state. The component is mounted while being moved in the Y-axis direction (FIG. 12B).
[0085]
According to the mounting machine as described above, the following effects can be obtained.
[0086]
 That is, the substrate transfer device 2 applied to this mounting machine is a device in which a part (movable part 2B) is configured to be movable in the Y-axis direction, and the interval between the conveyors depends on the size of the substrate P. Although it is configured to be changeable, in this substrate transfer device 2, as described above, when the width is changed, the conveyor 21B of the movable portion 2B is moved to the conveyors on the both sides in the transfer direction (the loading portions 2A and 2A).Carrying outPart2CThe conveyor 21B is moved using the driving force of the conveyors 21A and 21C on both sides of the conveyors 21A and 21C). The conveyor 21B of the movable part 2B can be moved in the Y-axis direction without providing it. Therefore, the movable section (movable transport section) is also provided with a dedicated width adjusting mechanism using a motor as a drive source to change the width of the conveyor. Since there is no need for the width adjusting mechanism, it is possible to reduce the weight of the substrate transfer device 2 and to reduce the cost.
[0087]
In particular, since it is not necessary to provide a dedicated width adjusting mechanism in the movable portion 2B (movable frame 50), the movable frame 50 can be significantly reduced in weight compared to the conventional device, thereby making the movable frame 50 faster. It becomes possible to drive. In addition, since a motor with a low output can be applied as the motor 54 for driving the movable frame 50, the substrate transport apparatus 2 can be reduced in weight and cost in this respect as well.
[0088]
As a result of the weight reduction and the cost reduction in the substrate transfer device 20 as described above, the mounting machine on which the substrate transfer device 20 is mounted can also be reduced in weight and cost. .
[0089]
In addition, according to the substrate transport apparatus 20 described above, the movable frame 50 can be driven at a higher speed than the conventional one as described above, so that the substrate P is moved at a higher speed in the Y-axis direction during the mounting operation. This also has the effect of improving the efficiency of the mounting work.
[0090]
 The mounting machine described above is an embodiment of the mounting machine according to the present invention, and the specific configuration of the board transfer device 20 and the specific configuration of the mounting machine are within the scope of the present invention. It can be changed as appropriate. For example, the following aspects can also be adopted.
(1) In the embodiment, a connecting device 65 that drives the connecting rod 67 forward and backward by the operation of the air cylinder 66 is provided, and the connection is made to the connecting bracket 26 provided on each of the conveyors 21A and 21C of the carry-in part 2A and the carry-out part 2C. It is configured to connect the conveyor 21B of the movable part 2B and the conveyors 21A and 21C of the carry-in part 2A and the carry-out part 2C by inserting the rod 67 for use. The means) is not limited to that of the embodiment, and various configurations can be adopted. For example, a hook member that swings and displaces by an air cylinder may be provided on the conveyor 21B, and the hook members may be engaged with the conveyors 21A and 21C to connect the conveyors. Air cylinder66Instead of this, the connecting rod 67 may be electrically driven using an electromagnetic solenoid or the like.
(2) In the embodiment, the conveyor width is adjusted by moving the conveyors 21A, 21B, 21C on the rear side of the carry-in part 2A, the movable part 2B, and the carry-out part 2C in the Y-axis direction. Of course, the front conveyors 20A, 20B, and 20C may be moved. Further, the conveyor width may be adjusted by moving the front and rear conveyors 20A, 21A, etc. close to each other. When moving both the front and rear conveyors 20A and 21A in this way, the connecting device 65 is mounted on both the front and rear conveyors 20B and 21B of the movable part 2B, and both the front and rear of the carry-in part 2A and the carry-out part 2C. The connecting bracket 26 may be provided on the conveyors 20A and 21A.
(3) In the embodiment, the connecting device 65 is configured to connect the conveyor 21B of the movable part 2B to the conveyors 21A and 21C of the carry-in part 2A and the carry-out part 2C.ThisAs described above, according to the configuration in which the conveyors 21A and 21C are connected to each other, the conveyor 21B can be smoothly moved with respect to each guide shaft 60 in a well-balanced state. There is an advantage that it is possible to make it happen quickly.
(4In addition, the board | substrate conveyance apparatus 20 mounted in the said mounting machine is applicable to various apparatuses other than a mounting machine, for example, can also be applied to the inspection apparatus which test | inspects the board | substrate after component mounting. In other words, the substrate is imaged by the camera while moving a head unit provided with a camera (imaging means) capable of imaging the surface of the substrate relative to the substrate carried into the predetermined work position by the substrate transport device. An apparatus for inspecting the substrate based on the image is conventionally known. For example, the substrate transfer apparatus 20 as in the above embodiment can be mounted as the substrate transfer apparatus. According to such an inspection apparatus, for example, while moving the head unit in the X-axis direction and moving the movable frame in which the substrate is fixed in the Y-axis direction, an image of an arbitrary position of the substrate can be efficiently captured with a camera. Inspection can be performed.
[0091]
【The invention's effect】
As described above, the substrate transfer apparatus of the present invention is provided with the connecting means detachably connected to the conveyer of the movable transfer portion (movable frame) and the conveyer of the fixed transfer portion, and the conveyer of the movable transfer portion is connected by this connecting means. And adjusting the interval of the conveyor of the fixed conveyance unit in a state where the conveyor of the fixed conveyance unit is connected, and configured to interlock the adjustment of the conveyor interval on the movable conveyance unit side with the conveyor of the fixed conveyance unit, Since the conveyor of the movable conveyance unit can be fixed at an arbitrary position by the locking means, the conveyor interval of the movable conveyance unit can be increased without providing a dedicated width adjusting mechanism for the movable conveyance unit as in the past. Can be adjusted. Therefore, as compared with the conventional apparatus, the substrate transport apparatus can be reduced in weight and cost can be reduced because such a dedicated width adjusting mechanism is unnecessary.
[0092]
In addition, since it is not necessary to provide such a dedicated width adjusting mechanism, the movable conveyance portion (movable frame) can be significantly reduced in weight compared to the conventional apparatus. Therefore, it is possible to drive the movable frame at a higher speed, thereby improving the work efficiency.
[0093]
And according to the surface mounter and the board inspection apparatus according to the present invention, as a result of the board transport apparatus as described above being mounted, the surface mounter and the board inspection apparatus can be effectively reduced in weight and cost. In addition, there is an effect that the efficiency of the mounting operation and the inspection process can be increased by driving the movable conveyance portion (movable frame) at a high speed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a surface mounter according to the present invention (a surface mounter to which a substrate transfer apparatus according to the present invention is applied).
FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a substrate transfer apparatus.
FIG. 3 is a front view showing a configuration of a substrate transfer apparatus.
4 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 2 showing conveyors on the rear side of the carry-in portion, the movable portion, and the carry-out portion that constitute the substrate transfer apparatus.
FIG. 5 is a view taken in the direction of arrow B in FIG. 2 showing the configuration of the carry-in unit.
6 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 2 showing the configuration of the carry-in portion.
7 is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG. 2 showing the configuration of the movable part.
8 is a cross-sectional view taken along the line E-E in FIG. 2 showing the configuration of the movable part.
FIG. 9A is a view for explaining a rotation restricting direction of a guide shaft (guide shaft on the carry-in portion side) by a one-way clutch, and FIG. 9B is a front view showing a configuration of a lock device.
FIG. 10 is a schematic diagram for explaining a driving force transmission system to each conveyor belt of the carry-in portion, the movable portion, and the carry-out portion.
11A and 11B are schematic diagrams for explaining the width adjusting operation of the substrate transfer device (conveyor) ((a) is a state in which the movable part is set to the home position, and (b) is a conveyor, a carry-in part, and a carry-out of the movable part. (C) shows a state in which the rear conveyor is integrally moved in the Y-axis direction).
12A and 12B are schematic diagrams for explaining the width adjustment operation of the substrate transfer device (conveyor) ((a) is a state in which the conveyor of the movable part is separated from the conveyors of the carry-in part and the carry-out part, and (b) is the width. After adjustment, the board is loaded and the mounting operation is started).
[Explanation of symbols]
2 Substrate transfer device
2A carry-in part (fixed transport part)
2B Movable part (movable transport part)
2C Unloading part (fixed conveying part)
20A, 20B, 20C Conveyor (front side)
21A, 21B, 21C Conveyor (rear side)
26 Connecting bracket
65 Connecting device
66 Air cylinder
67 Connecting rod
70a, 70b Locking device
P substrate

Claims

基板の搬送方向に並び、かつ平行な一対のコンベアをそれぞれ備えた搬入側の固定搬送部と可動搬送部と搬出側の固定搬送部とを有し、可動搬送部の前記一対のコンベアが可動フレームに搭載されることにより、前記各固定搬送部および前記可動搬送部のそれぞれのコンベアを水平方向より見て同じ高さに並べた状態で、該可動フレームの移動に伴い前記基板を前記搬送方向と直交する方向に移動させ得るように構成された基板搬送装置において、
前記各固定搬送部は、それらが備える一対のコンベア同士をそれぞれ相対的に接離方向に移動させることにより該一対のコンベアの間隔をそれぞれ変更させる間隔変更手段を備え、
前記可動搬送部は、それが備える一対のコンベアを前記可動フレーム上で相対的に接離方向に移動可能に支持する支持手段と、前記可動フレームに搭載された一対のコンベア同士の該フレームに対する前記接離方向の移動を許容する状態と阻止する状態とに切換可能なロック手段とを備え、
前記各固定搬送部および前記可動搬送部のコンベアは、前記各固定搬送部および前記可動搬送部のそれぞれのコンベアを水平方向より見て同じ高さに並べた状態で各搬送部の互いに対応するコンベア同士を係脱可能に連結する連結手段を備え、
前記間隔変更手段は、前記各固定搬送部が備える一対のコンベアのうち何れか一方のコンベアがそれぞれ移動可能に装着される一対のガイドレールを備えた支持台と、前記各固定搬送部の一方のコンベアにそれぞれ設けられたナット部材に螺合すると共に前記一対のガイドレールに対してそれぞれ平行に延びる一対のボールねじ軸とを有し、
前記ガイドレールは、前記基板の搬送方向に対して直交する方向に所定間隔をおいて前記各固定搬送部にそれぞれ設置された前側板と後側板との間にそれぞれ配置され、
前記ボールねじ軸は、前記前側板および前記後側板によって回動可能に支持され、
前記支持手段は、前記可動搬送部が備える一対のコンベアのうちいずれか一方のコンベアが移動可能に支持されるガイドシャフトを搬送方向両端部分に一対有し、
前記連結手段は、前記各搬送部の前記互いに対応するコンベアのうち前記可動搬送部のコンベアの搬送方向両側に設けられる係合部材と、前記可動搬送部に設けられると共に前記一対のガイドシャフトの間に配置されて前記両係合部材を駆動する双方向型のエアシリンダを含む駆動手段と、前記各固定搬送部のコンベアの一側にそれぞれ設けられる被係合部とを有し、前記駆動手段により前記係合部材を、前記可動搬送部の両端部から外側に突出させた状態で前記各固定搬送部の前記被係合部に係合可能な作動位置と前記係合部材を前記作動位置から前記可動搬送部の両端部に退避させた退避位置とに変位させるように構成され、各搬送部の互いに対応するコンベア同士を基板搬送方向に並べた状態で前記係合部材を前記作動位置に変位させることにより前記係合部材が前記被係合部に係合して前記各搬送部の互いに対応するコンベア同士が一体に連結されるように構成されていることを特徴とする基板搬送装置。A pair of conveyors arranged in parallel and parallel to the substrate conveyance direction, each having a carry-in side fixed conveyance unit, a movable conveyance unit, and a carry-out side fixed conveyance unit, and the pair of conveyors in the movable conveyance unit are movable frames by being mounted on, the state in which the respective conveyor arranged at the same height as viewed from the horizontal direction of the fixed conveying section and the movable transport unit, the transport direction of the substrate with the movement of the movable frame In the substrate transfer apparatus configured to be moved in the orthogonal direction,
Each of the fixed conveyance units includes a distance changing unit that changes the distance between the pair of conveyors by moving the pair of conveyors provided in the fixed conveyance units relatively in the approaching and separating directions, respectively .
The movable feed unit, a support unit for movably supporting relatively separable direction a pair of conveyors on said movable frame to which it is provided, wherein for the frame of a pair of conveyors between which is mounted on the movable frame Lock means that can be switched between a state that allows movement in the contact and separation directions and a state that prevents movement ;
The conveyor of each fixed conveying section and the movable conveyor section, the conveyor mutually corresponding of each conveying portion in a state in which the aligned flush with each conveyor for each fixed conveying section and the movable conveyor section when viewed from the horizontal direction It has a connecting means for detachably connecting each other,
The interval changing means includes a support base provided with a pair of guide rails on which any one of the pair of conveyors included in each of the fixed conveyance units is movably mounted, and one of the fixed conveyance units. A pair of ball screw shafts that are threadedly engaged with nut members respectively provided on the conveyor and extend in parallel to the pair of guide rails;
The guide rails are respectively disposed between a front side plate and a rear side plate that are respectively installed in the fixed conveyance units at a predetermined interval in a direction orthogonal to the conveyance direction of the substrate.
The ball screw shaft is rotatably supported by the front side plate and the rear side plate,
The support means has a pair of guide shafts at both end portions in the transport direction in which any one of the pair of conveyors included in the movable transport unit is supported so as to be movable,
Said coupling means, said engaging member provided in the conveying direction on both sides of the conveyor of the movable transport unit of the corresponding conveyor to one another in each transport unit, of Rutotomoni the pair of guide shafts provided in the movable transport unit Drive means including a bidirectional air cylinder disposed between and driving the engaging members; and an engaged portion provided on one side of the conveyor of each of the fixed conveying portions; The engagement position of the engaging member of each of the fixed conveyance portions and the engagement member in the operation position in a state where the engagement member protrudes outward from both ends of the movable conveyance portion by means. It is configured to be displaced in a retracted position retracted in the opposite ends of the movable transport unit from the engaging member to the operative position in a state where the mutually corresponding conveyor of the respective conveying section arranged in the substrate transfer direction Displace Substrate transfer apparatus conveyor between mutually corresponding of the engaging member said respective conveying portion engages with the engaged portion is characterized by being configured to be coupled together by.

請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記間隔変更手段は、共通の駆動源で前記一対のボールねじ軸を駆動して、各固定搬送部のコンベアを前記接離方向に移動させるように構成されることを特徴とする基板搬送装置。The substrate transfer apparatus according to claim 1,
The said space | interval change means drives a pair of ball screw axis | shaft with a common drive source, and is comprised so that the conveyor of each fixed conveyance part may be moved to the said contact / separation direction, The board | substrate conveyance apparatus characterized by the above-mentioned.

部品吸着用のヘッドを備えた移動可能なヘッドユニットにより部品供給部から電子部品を吸着し、その部品を、基板搬送装置により搬送されて所定の作業位置に位置決めされている基板上に実装する表面実装機において、
前記基板搬送装置として請求項１または２に記載の基板搬送装置を備え、前記作業位置として前記可動搬送部に基板を配置した状態で該基板に対して部品を実装するように構成されていることを特徴とする表面実装機。A surface on which a movable head unit equipped with a component suction head sucks an electronic component from a component supply unit, and mounts the component on a substrate that is transported by a substrate transport device and positioned at a predetermined work position. In the mounting machine,
The substrate transfer device according to claim 1 or 2 is provided as the substrate transfer device, and the component is mounted on the substrate in a state where the substrate is disposed on the movable transfer unit as the work position. A surface-mount machine characterized by

基板表面を撮像可能な撮像手段を備えた移動可能なヘッドユニットと基板搬送装置により所定の作業位置に搬入された基板とを相対的に移動させ、前記撮像手段により基板を撮像することにより画像認識に基づいて当該基板を検査する基板検査装置において、
前記基板搬送装置として請求項１または２に記載の基板搬送装置を備え、前記作業位置として前記可動搬送部に基板を配置した状態で該基板を前記撮像手段により撮像するように構成されていることを特徴とする基板検査装置。Image recognition is performed by relatively moving a movable head unit having an imaging unit capable of imaging the substrate surface and a substrate carried to a predetermined work position by the substrate transfer device, and imaging the substrate by the imaging unit. In the substrate inspection apparatus for inspecting the substrate based on
The substrate transfer device according to claim 1 or 2 is provided as the substrate transfer device, and the substrate is configured to be imaged by the imaging unit in a state where the substrate is disposed on the movable transfer unit as the work position. A board inspection apparatus characterized by the above.