JP4310455B2 - Electrostatic drive type vibration gyro device - Google Patents
Electrostatic drive type vibration gyro device Download PDFInfo
- Publication number
- JP4310455B2 JP4310455B2 JP2002380194A JP2002380194A JP4310455B2 JP 4310455 B2 JP4310455 B2 JP 4310455B2 JP 2002380194 A JP2002380194 A JP 2002380194A JP 2002380194 A JP2002380194 A JP 2002380194A JP 4310455 B2 JP4310455 B2 JP 4310455B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bias
- drive signal
- signal
- drive
- electrostatic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばカーナビゲーション装置や、自動車の姿勢制御用センサ装置などに使用される静電駆動型振動ジャイロ装置に関するものである。
【0002】
【背景技術】
図5には静電駆動型振動ジャイロ装置の一構成例が簡略化されて示されている。この静電駆動型振動ジャイロ装置1は、振動体2と、駆動信号発生部3と、C/V変換部4とを有して構成されている。
【0003】
振動体2は振動が可能に形成されているものであり、その構成には様々な形態があるが、その一例を簡単に述べる。例えば、振動体2は、図5に示すx方向とy方向に振動が可能に形成されており、当該振動体2には、駆動用の可動電極6が設けられている。その駆動用の可動電極6と間隔を介して駆動用の固定電極7が配設されている。
【0004】
駆動信号発生部3は、図6(a)に示すような直流バイアスVbに交流信号Vsが重畳されて成る駆動信号を作り出し、当該駆動信号を駆動用の固定電極7に向けて出力する構成を備えている。駆動用の固定電極7に駆動信号発生部3からの駆動信号が加えられると、その信号の大きさに応じた静電力が、振動体2の駆動用の可動電極6と、駆動用の固定電極7との間に発生し、この静電力によって、振動体2は、例えばx方向に振動する。ここでは、その静電力によるx方向の振動体2の振動を駆動振動と言う。
【0005】
このように、振動体2が駆動振動しているときに、例えば、z方向を中心軸として静電駆動型振動ジャイロ装置1が回転すると、振動体2には、y方向のコリオリ力が発生し、このコリオリ力によって、振動体2はy方向にも振動する。ここでは、そのコリオリ力によるy方向の振動体2の振動を検出振動と言う。その振動体2の検出振動を例えば静電容量の変化として検出する検出手段とC/V変換部4が設けられている。その検出手段により検出される静電容量の変化をC/V変換部4によって電圧に変換して検出信号として出力する。さらに、この検出信号を信号処理することにより、例えば角速度の大きさ等が検出される。なお、C/V変換部4は、例えば、FET、オペアンプ、あるいは、チャージアンプ等を備えている。
【0006】
また、振動体2にはモニタ用の可動電極8が設けられ、このモニタ用の可動電極8と間隔を介してモニタ用の固定電極9が配設されている。これらモニタ用の可動電極8と固定電極9は、振動体2の駆動振動によって、それら電極8,9間の静電容量が変化するように構成されている。C/V変換部4は、そのモニタ用の可動電極8と固定電極9間の静電容量(C)を電圧(V)に変換して、振動体2の駆動振動のモニタ信号として出力する構成を有している。
【0007】
この例では、駆動信号発生部3は自励振回路を構成するものであり、当該駆動信号発生部3は、C/V変換部4から出力されたモニタ信号を利用して、振動体2が共振周波数でもって振動できるような駆動信号を作り出して駆動用の固定電極7に供給する。
【0008】
【特許文献1】
特開2001−116553号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、静電駆動型振動ジャイロ装置1の検出感度を高めるためには、振動体2の検出振動の振幅が大きくなることが好ましい。振動体2の検出振動を大きくするためには、振動体2の駆動振動の振幅を大きくすればよく、そのためには、振動体2の駆動用の可動電極6と、固定電極7との間に作用する静電力を大きくすればよい。その静電力は、駆動信号発生部3から出力される駆動信号の直流バイアス値Vbに、交流信号Vsの振幅hを乗算した値に比例するものであることから、当該静電力を高めるためには、直流バイアス値Vbを高めると共に、交流信号Vsの振幅hを大きくすればよいと考えられる。
【0010】
しかしながら、駆動信号発生部3は、ICやオペアンプ等の能動素子を利用して駆動信号を作り出しており、その能動素子は予め定められた上限電圧値よりも大きい電圧の信号を出力することはできない。すなわち、駆動信号発生部3から出力する駆動信号の上限電圧値Vmaxが定まっている。このため、例えば、直流バイアスVbを、図6(a)に示すような値Vαから、上限電圧値Vmaxに近い図6(b)に示すような値Vβに高めると、直流バイアスVbは高くなるが、駆動信号の上限電圧値Vmaxの規制によって、図6(b)に示されるように、交流信号Vsの振幅h’は図6(a)の交流信号Vsの振幅hよりも小さくなってしまう。また、交流信号Vsの振幅hを大きくしようとすると、直流バイアスVbが小さくなってしまう。このように、駆動信号発生部3の能動素子の性質によって、駆動信号の直流バイアス値Vbと、交流信号Vsの振幅hとを両方共に大きくすることは難しい。よって、駆動信号に基づいた静電力の最大値が駆動信号発生部3の能動素子の出力の上限電圧値Vmaxによって定まってしまって、静電駆動型振動ジャイロ装置1の検出感度の向上は難しかった。
【0011】
本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的は、検出感度の向上が容易な静電駆動型振動ジャイロ装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明は次に示す構成をもって前記課題を解決するための手段としている。すなわち、この発明は、直流バイアスに交流信号を重畳して予め定められる上限電圧値以下の電圧の駆動信号を作り出す駆動信号発生部と、前記駆動信号に基づいた静電力によって振動する振動体とを有する静電駆動型振動ジャイロ装置において、前記駆動信号発生部から前記振動体に至る駆動信号の経路に駆動信号直流バイアス変換部が介設されており、該駆動信号直流バイアス変換部は、前記駆動信号発生部から供給される駆動信号を取り込む駆動信号の導入部と、前記駆動信号発生部とは別個の直流バイアス電源から供給される直流バイアスを取り込む直流バイアスの導入部と、前記駆動信号発生部から前記駆動信号の導入部に出力された駆動信号の直流バイアスをカットして駆動信号から交流信号を取り出し、この取り出した交流信号を前記直流バイアス電源から前記直流バイアスの導入部に供給された直流バイアスに重畳させ、この重畳信号を駆動信号として振動体に向けて出力する回路とを備え、前記直流バイアス電源は、前記駆動信号発生部の直流バイアスよりも高い直流バイアスを発生させる構成と成すか、又は直流バイアス電源から前記直流バイアスの導入部に至る電気経路に電圧の昇圧部を設けて、前記直流バイアスの導入部に導入される直流バイアスを前記駆動信号発生部から出力される直流バイアスよりも高くし、以て、前記駆動信号直流バイアス変換部は、前記交流信号を重畳する直流バイアスを前記駆動信号発生部の直流バイアスから前記直流バイアス電源を供給源とする直流バイアスに変換して、振動体に印加する重畳信号の電圧を前記駆動信号発生部が出力する重畳信号の電圧よりも高めることを特徴としている。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明に係る実施形態例を図面に基づいて説明する。なお、以下に述べる各実施形態例の説明において、図5に示す静電駆動型振動ジャイロ装置と同一構成部分には同一符号を付し、その共通部分の重複説明は省略する。
【0014】
第1実施形態例の静電駆動型振動ジャイロ装置では、図5に示したような構成に加えて、図1に示すように、駆動信号発生部3から駆動用の固定電極7に至るまでの駆動信号の経路上に、駆動信号直流バイアス変換部として機能するパッシブフィルター10が介設されている。このパッシブフィルター10には、直流電源接続部11を介して外部の直流バイアス電源12が接続されている。このパッシブフィルター10に関する構成以外の静電駆動型振動ジャイロ装置1の構成は、図5に示す静電駆動型振動ジャイロ装置1の構成とほぼ同様である。
【0015】
パッシブフィルター10は、図2に示すように、コンデンサ14と、抵抗体15とを有するハイパスフィルターにより構成されている。コンデンサ14の一端側は駆動信号発生部3に接続され、コンデンサ14の他端側は駆動用の固定電極7に接続されている。このコンデンサ14の他端側から駆動用の固定電極7に至るまでの信号経路上に抵抗体15の一端側が接続され、抵抗体15の他端側は直流電源接続部11を介して直流バイアス電源12に接続されている。
【0016】
このパッシブフィルター10において、コンデンサ14は、駆動信号発生部3から出力された駆動信号の直流バイアスVbをカットして駆動信号から交流信号Vsを取り出して出力する。抵抗体15は、直流バイアス電源12から直流電源接続部11を介して直流バイアスVeを取り込んで、この直流バイアスVeと、コンデンサ14により取り出された交流信号Vsとを重畳させる。その重畳信号が駆動信号としてパッシブフィルター10から駆動用の固定電極7に供給される。
【0017】
この第1実施形態例では、駆動信号発生部3から出力される駆動信号の交流信号Vsの振幅hが最も大きくなるように、駆動信号発生部3から出力される駆動信号の直流バイアスVbが定められている。例えば、駆動信号発生部3の出力の上限電圧値をVmaxとした場合に、その直流バイアスVbは、Vmax/2、又は、その近傍の値となっている。
【0018】
また、直流バイアス電源12からパッシブフィルター10に供給される直流バイアスVeは、駆動信号発生部3から出力された駆動信号の直流バイアスVbよりも高い値を有している。このため、この第1実施形態例では、駆動用の固定電極7に供給される駆動信号は、駆動信号発生部3から出力できる最大振幅を持つ交流信号Vsと、駆動信号発生部3の出力駆動信号の直流バイアスVbよりも高い直流バイアスVeとの重畳信号となっている。これにより、この第1実施形態例では、駆動信号発生部3から直接的に駆動信号がパッシブフィルター10に供給される場合に比べて、駆動信号の直流バイアスが駆動信号発生部3の直流バイアスVbから当該直流バイアスVbよりも高い直流バイアス電源12の直流バイアスVeに変換された分、駆動用の可動電極6と固定電極7間の静電力(つまり、駆動信号の直流バイアスVeと、交流信号Vsの振幅hとの積に応じた力)を大きくすることができる。
【0019】
すなわち、この第1実施形態例の構成では、駆動信号発生部3から出力できる交流信号Vsの最大振幅を維持したまま、駆動信号の直流バイアスを容易に高めることができるので、駆動信号に基づいた駆動用の可動電極6と固定電極7間の静電力を容易に大きくすることができる。これにより、静電駆動型振動ジャイロ装置1の検出感度を向上させることができる。
【0020】
以下に、第2実施形態例を説明する。この第2実施形態例では、図3に示されるように、直流バイアス電源12からパッシブフィルター10に至るまでの直流バイアス供給経路上に、昇圧部17が設けられている。この昇圧部17は、直流バイアス電源12から供給されてきた直流バイアスVeを昇圧してパッシブフィルター10に加える構成を有している。昇圧部17以外の構成は第1実施形態例と同様であり、この第2実施形態例の説明では、第1実施形態例と同一構成部分には同一符号を付し、その共通部分の重複説明は省略する。
【0021】
例えば、直流バイアス電源12から出力される直流バイアスVeが、駆動信号の直流バイアスとして要求する電圧値よりも低い場合に、昇圧部17によって、その直流バイアス電源12の直流バイアスVeを要求の電圧値まで高めることができる。その昇圧部17の回路構成は簡単であることから、直流バイアス電源12の直流バイアスVeが、検出感度を高めるための電圧値よりも低い場合であっても、静電駆動型振動ジャイロ装置1の大型化を抑制しながら、検出感度を高めることができる高い直流バイアスを持つ駆動信号を作り出すことが可能である。
【0022】
以下に、第3実施形態例を説明する。
【0023】
この第3実施形態例では、外部の直流バイアス電源12から直流バイアスVeをパッシブフィルター10に供給するのではなく、図4に示すように、自動利得制御部18を設け当該自動利得制御部18を直流バイアス電源として機能させ、自動利得制御部18から直流バイアスVeをパッシブフィルター10に供給する構成としている。それ以外の構成は、第1実施形態例と同様である。この第3実施形態例では、第1実施形態例と同一構成部分には同一符号を付し、その共通部分の重複説明は省略する。
【0024】
振動体2に設けられているモニタ用の可動電極8と、これに間隔を介して対向するモニタ用の固定電極9と、C/V変換部4とは、駆動振動モニタ手段を構成している。つまり、振動体2の駆動振動の振幅変化に応じて、モニタ用の可動電極8と固定電極9間の静電容量が変化し、この静電容量変化がC/V変換部4によって電圧に変換されてC/V変換部4から駆動振動の検出振幅のモニタ信号が出力される。
【0025】
自動利得制御部18は、直流バイアス発生部20と整流平滑部21を有して構成されている。整流平滑部21は、C/V変換部4から出力された交流のモニタ信号を整流平滑して直流のモニタ信号に変換する。
【0026】
直流バイアス発生部20には基準電源接続部22が接続されており、基準電源接続部22に接続される基準電源(図示せず)から予め定められた基準電圧が供給される。直流バイアス発生部20は、整流平滑部21から出力された直流のモニタ信号と、基準電源接続部22を介して供給される基準電圧とを比較し、基準電圧値に対する直流のモニタ信号の差分に応じた直流バイアスを作り出す。この直流バイアスVeがパッシブフィルター10に供給される。パッシブフィルター10は、駆動信号発生部3の駆動信号から取り出した交流信号Vsをその自動利得制御部18からの直流バイアスVeに重畳して駆動信号を作り出して駆動用の固定電極7に出力する。
【0027】
この第3実施形態例では、自動利得制御部18から出力される直流バイアスVeは、振動体2の駆動振動の振幅が設定の振幅となるように調整された電圧値であり、また、駆動信号発生部3から出力される信号の直流バイアスVbよりも高い値まで調整することができる。この直流バイアスVeに交流信号Vsが重畳されて成る駆動信号が駆動用の固定電極7に供給されることによって、静電駆動型振動ジャイロ装置1の検出感度を高めることができるだけでなく、振動体2の駆動信号の振幅の安定化を図ることができる。
【0028】
なお、この発明は第1〜第3の各実施形態例の形態に限定されるものではなく、様々な実施の形態を採り得る。例えば、第1実施形態例では、駆動信号発生部3から出力される交流信号Vsは、駆動信号発生部3から出力できる最大の振幅を持つものであったが、その交流信号Vsの振幅はその最大振幅に限定されるものではなく、最大振幅以外の振幅としてもよいものである。
【0029】
また、第3実施形態例では、自動利得制御部18から直接的に直流バイアスVeをパッシブフィルター10に供給していたが、例えば、自動利得制御部18からパッシブフィルター10に至るまでの信号経路上に、第2実施形態例に示したような昇圧部17を介設してもよい。
【0030】
【発明の効果】
この発明によれば、駆動信号発生部から振動体に向かう駆動信号経路上に、例えばパッシブフィルター等から成る駆動信号直流バイアス変換部を設け、この駆動信号直流バイアス変換部によって、駆動信号発生部の駆動信号から交流信号が取り出され、この取り出された交流信号が直流バイアス電源からの直流バイアスに重畳され当該重畳信号が駆動信号として振動体に向けて供給される構成とした。この構成によって、駆動信号発生部から出力された駆動信号の交流信号の振幅を維持したままの交流信号と、駆動信号発生部から出力された駆動信号の直流バイアスよりも高い直流バイアス電源の直流バイアスとの重畳信号である駆動信号を作り出すことができる。これにより、駆動信号発生部から直接的に駆動信号が振動体に供給される場合に比べて、駆動信号の直流バイアスが高くなる分、駆動信号に基づいた静電力(つまり、駆動信号の直流バイアスと、交流信号の振幅との積に応じた力)を大きくすることができる。
【0031】
駆動信号発生部は、通常、ICやオペアンプ等の能動素子を利用して駆動信号を作り出す構成を有しており、その能動素子の性質によって、駆動信号発生部から出力する駆動信号の上限電圧値は予め定まり、この上限電圧値の規制によって、駆動信号発生部の駆動信号の直流バイアスと、交流信号の振幅とを両方共に大きくすることは難しかった。今までは、その駆動信号発生部の駆動信号が直接的に振動体に供給されていたので、その駆動信号に基づいた静電力の増加は難しかった。
【0032】
これに対して、この発明では、振動体に供給される駆動信号は、駆動信号発生部により作り出された交流信号と、駆動信号発生部とは別個独立の直流バイアス電源からの直流バイアスとの重畳信号であることから、当該振動体に供給される駆動信号の交流信号の振幅と、直流バイアスとを別々に制御することができる。このため、駆動信号に基づいた静電力の増加が容易となる。この静電力の増加によって、静電駆動型振動ジャイロ装置の検出感度を向上させることが容易となる。
【0033】
また、直流バイアス電源から駆動信号直流バイアス変換部に至るまでの直流バイアス供給経路上に昇圧部が設けられているものにあっては、例えば、直流バイアス電源から出力する直流バイアスが、検出感度を高めるための要求の電圧値よりも低い場合に、昇圧部によって、その直流バイアス電源の直流バイアスを要求の電圧値に昇圧することで、検出感度を高めることができる直流バイアスを駆動信号直流バイアス変換部に供給することができて、静電駆動型振動ジャイロ装置の検出感度を向上させることができる。
【0034】
自動利得制御部を直流バイアス電源として機能させるものにあっては、自動利得制御部から出力される直流バイアスに交流信号が重畳されて駆動信号が作り出されて振動体に出力される。自動利得制御部から出力される直流バイアスは、振動体の駆動信号の振幅が設定の振幅となるように調整された電圧値であり、また、駆動信号発生部から出力される信号の直流バイアスよりも高い値まで調整することができるので、検出の高さを高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態例の静電駆動型振動ジャイロ装置を説明するための図である。
【図2】パッシブフィルターの一構成例を示す説明図である。
【図3】第2実施形態例を説明するための図である。
【図4】第3実施形態例を説明するための図である。
【図5】静電駆動型振動ジャイロ装置の一従来例を説明するための図である。
【図6】従来の課題を説明するための図である。
【符号の説明】
1 静電駆動型振動ジャイロ装置
2 振動体
3 駆動信号発生部
10 パッシブフィルター
12 直流バイアス電源
14 コンデンサ
15 抵抗体
17 昇圧部
18 自動利得制御部
20 直流バイアス発生部
21 整流平滑部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electrostatic drive type vibration gyro device used in, for example, a car navigation device, a sensor device for attitude control of an automobile, and the like.
[0002]
[Background]
FIG. 5 shows a simplified configuration example of the electrostatic drive type vibration gyro device. The electrostatic drive type vibration gyro apparatus 1 includes a vibrating
[0003]
The vibrating
[0004]
The
[0005]
As described above, when the
[0006]
The vibrating
[0007]
In this example, the drive
[0008]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 2001-116553
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in order to increase the detection sensitivity of the electrostatic drive type vibration gyro apparatus 1, it is preferable that the amplitude of the detection vibration of the vibrating
[0010]
However, the
[0011]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide an electrostatic drive type vibration gyro apparatus in which detection sensitivity can be easily improved.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration as means for solving the above problems. That is, the present invention includes a drive signal generation unit that generates a drive signal having a voltage equal to or lower than a predetermined upper limit voltage value by superimposing an AC signal on a DC bias, and a vibrating body that vibrates by an electrostatic force based on the drive signal. In the electrostatic drive type vibration gyro apparatus, a drive signal direct current bias conversion unit is interposed in a path of a drive signal from the drive signal generation unit to the vibrating body, and the drive signal direct current bias conversion unit includes the drive signal A drive signal introduction section for capturing a drive signal supplied from a signal generation section; a DC bias introduction section for capturing a DC bias supplied from a DC bias power supply separate from the drive signal generation section ; and the drive signal generation section taking out an AC signal from the cut to the drive signal DC bias of the drive signals output to the introductory part of the drive signal from the extracted AC signal Was superimposed on a DC bias said supplied to the introductory part of the DC bias from the DC bias power supply, and a circuit for outputting the superposed signal to the vibrator as a drive signal, the DC bias power supply, the driving signal Either a configuration to generate a DC bias higher than the DC bias of the generating unit, or a voltage boosting unit is provided in the electrical path from the DC bias power source to the DC bias introducing unit, and introduced into the DC bias introducing unit. And the drive signal DC bias converter converts the DC bias that superimposes the AC signal to the DC bias of the drive signal generator. Is converted to a DC bias using the DC bias power supply as a supply source, and the voltage of the superimposed signal applied to the vibrating body is Part is characterized Rukoto higher than the voltage of the superimposed signal to be output.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description of each embodiment, the same components as those of the electrostatic drive type vibration gyro apparatus shown in FIG.
[0014]
In the electrostatic drive type vibration gyro apparatus of the first embodiment, in addition to the configuration shown in FIG. 5, as shown in FIG. 1, from the drive
[0015]
As shown in FIG. 2, the
[0016]
In this
[0017]
In the first embodiment, the DC bias Vb of the drive signal output from the
[0018]
The DC bias Ve supplied from the DC bias
[0019]
That is, in the configuration of the first embodiment, the DC bias of the drive signal can be easily increased while maintaining the maximum amplitude of the AC signal Vs that can be output from the drive
[0020]
The second embodiment will be described below. In the second embodiment, as shown in FIG. 3, a
[0021]
For example, when the DC bias Ve output from the DC bias
[0022]
The third embodiment will be described below.
[0023]
In the third embodiment, instead of supplying the DC bias Ve from the external DC bias
[0024]
The monitor
[0025]
The automatic
[0026]
A reference power
[0027]
In the third embodiment, the DC bias Ve output from the
[0028]
In addition, this invention is not limited to the form of each 1st-3rd embodiment, Various embodiments can be taken. For example, in the first embodiment, the AC signal Vs output from the
[0029]
In the third embodiment, the direct current bias Ve is directly supplied to the
[0030]
【The invention's effect】
According to the present invention, the drive signal direct current bias conversion unit composed of, for example, a passive filter is provided on the drive signal path from the drive signal generation unit toward the vibrating body, and the drive signal direct current bias conversion unit provides a drive signal direct current bias conversion unit. An AC signal is extracted from the drive signal, the extracted AC signal is superimposed on a DC bias from a DC bias power supply, and the superimposed signal is supplied to the vibrating body as a drive signal. With this configuration, an AC signal that maintains the amplitude of the AC signal of the drive signal output from the drive signal generator, and a DC bias of the DC bias power source that is higher than the DC bias of the drive signal output from the drive signal generator It is possible to create a drive signal that is a superposition signal. As a result, the electrostatic force based on the drive signal (that is, the DC bias of the drive signal) is increased by the amount of the DC bias of the drive signal compared to the case where the drive signal is directly supplied to the vibrating body from the drive signal generator. And the force corresponding to the product of the amplitude of the AC signal) can be increased.
[0031]
The drive signal generator usually has a configuration for generating a drive signal by using an active element such as an IC or an operational amplifier. Depending on the nature of the active element, the upper limit voltage value of the drive signal output from the drive signal generator It is difficult to increase both the DC bias of the drive signal of the drive signal generator and the amplitude of the AC signal by regulating the upper limit voltage value. Until now, since the drive signal of the drive signal generator has been directly supplied to the vibrating body, it has been difficult to increase the electrostatic force based on the drive signal.
[0032]
On the other hand, in the present invention, the drive signal supplied to the vibrating body is a superposition of the AC signal generated by the drive signal generation unit and the DC bias from a DC bias power supply independent of the drive signal generation unit. Since it is a signal, the amplitude of the AC signal of the drive signal supplied to the vibrator and the DC bias can be controlled separately. For this reason, an increase in electrostatic force based on the drive signal is facilitated. By increasing the electrostatic force, it becomes easy to improve the detection sensitivity of the electrostatic drive type vibration gyro device.
[0033]
Also, the apparatus having the boosting unit is provided on the DC bias supply path from the DC bias power source up to the drive signal DC bias converting unit, for example, a DC bias output from the DC bias power supply, the detection sensitivity When the voltage value is lower than the required voltage value, the DC bias of the DC bias power supply is boosted to the required voltage value by the boosting unit, and the DC bias that can increase the detection sensitivity is changed to the drive signal DC bias. This can be supplied to the converter, and the detection sensitivity of the electrostatic drive type vibration gyro device can be improved.
[0034]
In the case where the automatic gain control unit functions as a DC bias power source, an AC signal is superimposed on the DC bias output from the automatic gain control unit, and a drive signal is generated and output to the vibrator. The direct current bias output from the automatic gain control unit is a voltage value adjusted so that the amplitude of the drive signal of the vibrator becomes the set amplitude, and from the direct current bias of the signal output from the drive signal generation unit Can be adjusted to a higher value, so that the height of detection can be increased.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram for explaining an electrostatic drive type vibration gyro apparatus according to a first embodiment;
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a configuration example of a passive filter.
FIG. 3 is a diagram for explaining a second embodiment.
FIG. 4 is a diagram for explaining a third embodiment.
FIG. 5 is a diagram for explaining a conventional example of an electrostatic drive type vibration gyro device.
FIG. 6 is a diagram for explaining a conventional problem.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electrostatic drive type
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002380194A JP4310455B2 (en) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | Electrostatic drive type vibration gyro device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002380194A JP4310455B2 (en) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | Electrostatic drive type vibration gyro device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004212133A JP2004212133A (en) | 2004-07-29 |
JP4310455B2 true JP4310455B2 (en) | 2009-08-12 |
Family
ID=32816492
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002380194A Expired - Lifetime JP4310455B2 (en) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | Electrostatic drive type vibration gyro device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4310455B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101819047B (en) * | 2010-04-13 | 2012-01-25 | 浙江大学 | Device and method for evaluating power supply sensitivity of fiber gyro |
-
2002
- 2002-12-27 JP JP2002380194A patent/JP4310455B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004212133A (en) | 2004-07-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20050274181A1 (en) | Vibration type angular rate sensor | |
US7322237B2 (en) | Gyro sensor of an electrostatic driving and capacitance detecting type | |
CN104682871B (en) | Clock signal generating circuit, detection device, electronic equipment and moving body | |
JP2009186213A (en) | Gyro sensor unit | |
US20080178672A1 (en) | Driving device, physical quantity measurement device, and electronic instrument | |
US6167744B1 (en) | Angular velocity sensor and diagnosis system for this sensor | |
JP4310571B2 (en) | Capacitance detection type vibration gyro and capacitance change detection method | |
JP4449110B2 (en) | Angular velocity sensor | |
JP4310455B2 (en) | Electrostatic drive type vibration gyro device | |
US6177756B1 (en) | Piezoelectric gyro and method of driving the piezoelectric gyro | |
US10309783B2 (en) | Physical quantity detection system, electronic apparatus, and moving object | |
JP4126785B2 (en) | Angular velocity sensor | |
JP2007285936A (en) | Detector for dynamical quantity | |
JP2001091535A (en) | Capacitor type physical-quantity detecting apparatus | |
JP2005043098A (en) | Physical quantity detector | |
EP0803704A3 (en) | Vibration gyroscope | |
JP2003028642A (en) | Vibrator driving method, vibrator driving circuit, vibration detection circuit for vibrator and angular velocity sensor having vibrator | |
JPH08304075A (en) | Angular speed sensor | |
JP2000002543A (en) | Angular velocity sensor | |
US11591209B2 (en) | Method for operating a capacitive MEMS sensor, and capacitive MEMS sensor | |
JP4600031B2 (en) | Angular velocity detector | |
JP2010043962A (en) | Circuit and device for detecting angular velocity and method for diagnosing fault of the device | |
JP2000193459A (en) | Angular velocity sensor | |
JP2007178299A (en) | Angular velocity sensor | |
JP2006010408A (en) | Vibratory gyro |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051014 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081111 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090108 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090407 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090420 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4310455 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130522 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130522 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140522 Year of fee payment: 5 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |