JP4298989B2 - チップイントレイ検査用プレート - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップの外観検査その他に使用されるチップイントレイ検査用プレートに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の半導体チップの外観検査用トレイは、半導体製造の最終工程において出荷の決まった半導体チップを収納するためだけのケースであった。半導体チップをトレイに詰める作業は、主にピッカー装置と呼ばれる装置で行われる。ピッカー装置は、ダイシングされたパターン形成後の半導体ウェーハの各チップを、装置内のコレットと呼ばれる部分で吸着し、トレイが置かれている位置に搬送し、トレイのセルに1個づつ詰める作業を行う装置である。
【0003】
コレットは半導体チップに接触して吸着を行う。この際に、半導体チップにゴミの付着やチップの欠けが発生し、半導体チップが汚染されることがある。トレイ詰めが行われた後は、これらの半導体チップの汚染を検査する必要がある。
【0004】
従来は、人間による目視検査を行っていた。これらのトレイに詰められたチップの自動検査を行う場合は、トレイを負圧吸着したり、粘着シートに貼付けて粘着シートごと負圧吸着したりして固定していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
トレイに詰められたチップを検査する場合は、人間による目視検査が主流で、検査性能にバラツキがあった。さらにトレイを1個づつ顕微鏡に乗せるため、検査効率が悪かった。抜き取り検査においては、不良のまま出荷される場合があり、品質に問題があった。
【0006】
また、従来のチップの自動検査機では、複数個のトレイに詰められたチップを一括して自動検査できなかった。
【0007】
前述したトレイの固定方法では、トレイを固定した時の位置の再現性、安定性がない。そのため、自動検査が行い難く、検査結果に再現性がない等の問題があった。
【0008】
また粘着シートに貼り付けて負圧吸着する場合には、トレイを脱着交換する際に、トレイに詰められたチップに不必要な外力が発生する。この場合、トレイのセルからチップが飛び出る可能性があり、チップを汚染する危険があった。さらに、トレイのセルからチップが飛び出るのを防止するため、両手を使用する必要があり、検査を開始するまでの段取りに時間がかる問題があった。
【0009】
本発明の目的は、複数のトレイを効率よく位置決めして保持することが出来るチップイントレイ検査用プレートを提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明による課題を解決するための手段を例示すると、特許請求の範囲の各請求項に記載のとおりである。
【0029】
【実施の態様】
本発明において、チップイントレイ検査用プレートは、機械式の保持機構を有する。機械式の保持機構は、好ましくは推力付与用のばねを備えた推力付与手段と押し爪を有する。ばねを備えた押し爪を用いることにより、トレイを簡便かつ所望の推力で保持できる。なお、推力付与手段は、以下に示す実施例では、押し側として示されている。
【0030】
好ましくは、推力付与手段は、トレイの一方の隅部に推力を付与する。隅部は、尖った角で構成するのが好ましいが、僅かな曲面を含んだ部分で構成しても良い。
【0031】
好ましくは、支持部材は受け止めピンで構成される。受け止めピンを用いることにより、トレイを簡単かつ正確に位置決めできる。受け止めピンの個数は、4とするのが好ましいが、2や6以上であっても良い。支持部材は、以下に示す実施例では、受け側として示されている。
【0032】
好ましくは、推力付与手段が、推力付与用のばねを備えた押し爪を有する。推力を付与するために、ばねの代わりに他の従来周知の弾性体等を用いることもできる。
【0033】
好ましくは、推力付与手段の推力が、トレイの脱着方向に対して垂直方向に作用する。例えば、推力付与手段の付与する推力が、トレイの隅部の側面に作用する。これにより、トレイが正確に位置決めされ、推力に対して垂直方向に簡単に脱着される。
【0034】
好ましくは、推力付与手段は、トレイの一方の隅部からその一方の隅部に対して対角方向に位置する他方の隅部に向けてばねで推力を付与する。これにより、1つの推力付与手段でトレイを保持できる。
【0035】
好ましくは、前述の対角に隣接する2辺が、推力を得て支持部材によって位置決めされる。あるいは、好ましくは前述の対角に隣接する2辺に向かって推力が分散されている。これにより、トレイが精度良く支持部材に支持される。
【0036】
好ましくは、トレイと保持機構が、プレート本体上に格子状に並べられる。
【0037】
好ましくは、推力付与手段の高さが、トレイの隅部の高さより低く形成されている。そのため、例えば取り外す際にチップがトレイのセルから飛び出るのを防止する意図で、トレイに蓋又はトレイを被せながら脱着できる。
【0038】
好ましくは、トレイの一方の辺を受けるための第1の受け止めピンと、トレイの他方の辺を受けるための第2の受け止めピンは、それぞれ2つの受け止めピンからなる。2つの受け止めピンにより1つの辺を受けるのが好ましいが、1つの受け止めピンにより1つの辺を受けても良い。
【0039】
好ましくは、逃げ溝は、トレイの両側を2つの指で挟んだときに、指の先端が逃げ溝に入るように構成されている。逃げ溝により、トレイを指で確実に把持することができる。
【0040】
【作用】
作用の一例を説明する。
【0041】
チップが詰められたトレイを取り付ける際には、例えば親指と中指でトレイの2辺を保持し、水平に持つ。トレイの隅部(角)で押し爪を押す。押し爪を押すことにより、ばねを圧縮しながら、トレイをプレート上に接地させる。トレイの2辺を受け止めピンに当てる。押し爪と受け止めピンでトレイを挟み込んで保持する。取り付けられたトレイは、受け止めピンで位置決めされて、精度及び再現性よく保持される。
【0042】
トレイを取り付けている状態では、ばねによる推力がトレイに働いているため、トレイが動くことはない。チップが詰められたトレイを取り外す際には、親指と中指でトレイ2辺を保持し、トレイを水平に持ち上げる。押し爪の高さは、トレイが押されている部位より低いと良い。この場合、取り外す際にチップがトレイのセルから飛び出るのを防止する意図で、トレイに蓋又はトレイを被せながら脱着できる。
【0043】
こうして、チップイントレイ検査用プレート上にトレイを最大積載数まで設置して検査する。これにより、トレイ脱着時にチップがトレイのセルから飛び出すことを防止する。トレイを保持した時の位置再現性、検査中のトレイ位置の安定性を向上させる。さらに片手でトレイを脱着交換することができ、段取り時間を短縮できる。
【0044】
トレイに詰められたチップを検査する場合には、例えば検査装置のステージにチップイントレイ検査用プレートを設置する。検査装置の操作に従い、設置した全てのトレイに詰められた全チップを検査できる。こうして目視検査での段取り換えの手間や検査結果のバラツキ等の不都合が解消される。
【0045】
なお、本発明の作用は上記に限定されるものではない。トレイの脱着は自動で行っても良い。保持機構はトレイを動かないように保持していればよく、推力の方向は垂直方向に限定されない。
【0046】
【実施例】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【0047】
図1は、本発明によるチップイントレイ検査用プレートの1例を示す斜視図である。図2は、図1のプレートにトレイを取り付けた例を示す斜視図である。図3は、トレイと保持機構の関係を示す図である。図4は、保持機構の一部を示す斜視図である。
【0048】
チップイントレイ検査用プレート10は、プレート本体1と、トレイ9を保持するための保持機構11を有している。
【0049】
プレート本体1は、矩形の硬板で形成されている。プレート本体1の2つの側面には、一対の取っ手部2が対向配置されている。作業者は、取っ手部2を把持してプレート本体1を取扱い可能である。プレート本体1は、自動検査装置のステージ(図示省略)に突き当てにより位置決めされ、負圧吸着により固定される。
【0050】
プレート本体1の下側の4隅には、脚3が配置されている。脚3は、プレート本体1を支えるために用いられる。この脚3の高さを所定の値に設定することにより、チップが詰められたトレイ9を保持した状態でも重ね置きすることができる。さらに、重ね置きに際して、脚3の上側に設けたプレート本体1上面の凹部12に脚3を入れる。これにより、位置ずれが少なく整然と重ね置きをすることが可能になる。なお、トレイ9は、角を4隅に有する矩形の部材からなり、チップ(図1、2において図示省略)を搭載可能に構成されている。
【0051】
プレート本体1の上面には、格子状の逃げ溝13が設けられている。逃げ溝13は、トレイ9が保持機構11に保持された時に、トレイ9の下面よりも窪んで構成されていて、トレイ9の周辺に露出するようになっている。逃げ溝13により、指とプレート本体1の干渉を避けることができ、指がトレイ9に引っ掛かりやすくなっていている。
【0052】
プレート本体1上には、複数の保持機構11が取り付けられている。保持機構11の数は、トレイ9の寸法と検査装置(図示省略)の側のステージ(図示省略)のストロークによって決められる。保持機構11は、プレート本体1上に格子状に配置されている。図1及び2に示された例においては、トレイ9の数は9であり、トレイ9のサイズは3インチである。
【0053】
保持機構11は、押し側14と受け側4からなる。保持機構11は、後述のように、ばね8の推力により、機械式でプレート9を保持する構成になっている。
【0054】
図5は、押し側14の一例を示す部分断面図である。図6は、押し側14をプレート本体1に取り付けた状態の一例を示す側断面図である。
【0055】
押し側14は、押し爪6、ばね8、ストッパービス7、及びカバー5からなり、本発明の推力付与手段として構成されている。
【0056】
押し爪6は、一方の端部にトレイ9の角に対応したくぼみ16を有していて、トレイ9の4隅の1角19aを押すために使用される。押し爪6の下面は、プレート本体1に対してスライド可能である。
【0057】
押し爪6は、他方の端部にばね8を有している。ばね8は、後述するカバー5を介してプレート本体1に固定されている。ばね8により、押し爪6はトレイ9に対して推力を機械式に付与することができる。
【0058】
押し爪6の中心付近には、押し爪6の駆動範囲を限定するためのストッパービス7が設けられている。ばね8が伸縮したときに、ストッパービス7が後述するカバー5の枠17に接触する。ストッパービス7により、押し爪6が所定の駆動範囲を移動するようになっている。
【0059】
カバー5は、プレート本体1に固定されていて、押し爪6とばね8とストッパービス7を格納している。カバー5の内部には、ばね8が固定されている。カバー5の上部には穴18を有する枠17が設けられている。穴18の中でストッパービス7の頭部が移動するようになっている。
【0060】
受け側4は、4個の受け止めピン4a、4b、4c、4dからなり、本発明の支持部材として機能する。受け止めピン4a〜4dは、第1の受け止めピン4a、4bと、第2の受け止めピン4c、4dからなり、2個組みで垂直等辺方向に設置される。第1の受け止めピン4a、4bの各中心を通る線と、第2の受け止めピン4c、4dの各中心を通る線は直交している。第1の受け止めピン4a、4bと第2の受け止めピン4c、4dは、トレイ9の2辺からそれぞれ推力を受ける。こうして、トレイ9の一方の辺が第1の受け止めピン4a、4bによって位置決めされ、トレイ9の他方の辺が第2の受け止めピン4c、4dによって位置決めされる。
【0061】
トレイ9を取り付ける際は、押し爪6がトレイ9の一方の角19aで押される。押し爪6によりばね8が圧縮されることにより、押し爪6はトレイ9に対して推力を発生する。トレイ9を取り外すと、ばね8が開放される。これにより、押し爪6はばね8の推力方向に移動する。押し爪6の上部に設けられたストッパービス7がカバー5の枠17に接触する。このため、押し爪6は、カバー5から必要以上に飛び出さず、押し爪6の移動が拘束されている。
【0062】
本発明において特徴的なことは、トレイ9の一方の角19aに作用する推力を一方向にしたことである。トレイ9を取り付ける際に、推力方向に逆らって作業者が加える力は一方向でよい。このため、片手でトレイ9を取り付けやすくなっている。
【0063】
さらに、トレイ9の一方の角19aに作用する一方向の推力をトレイ9の2辺への分力にしている。これにより、トレイ9の位置再現性、安定性を実現している。
【0064】
また、押し爪6の高さは、トレイ9の他方の角19b(押される部位)の高さよりも低い。押し爪6の先端上部には面取りが施されている。これにより、トレイ9の蓋(図示省略)又は別のトレイ9を被せながらトレイ9を脱着しても、押し爪6にトレイ9の蓋(図示省略)又は別のトレイ9が引っ掛かることがない。このため、トレイ9に詰められたチップがトレイ9のセルから飛び出ることが無い。また、片手による脱着作業ができるため、検査の段取り替え時間の短縮を実現している。この保持機構11は、プレート本体1上に複数設置され、複数のトレイ9を保持できるように構成されている。
【0065】
図7及び図8には、本発明によるチップイントレイ検査用プレートの別の例が示されている。
【0066】
図7は、本発明によるチップイントレイ検査用プレートの別の例を示す斜視図である。図8は、図7のプレートにトレイを取り付けた例を示す斜視図である。なお、同一の部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
【0067】
チップイントレイ検査用プレート40は、プレート本体31と、トレイ39を保持するための保持機構41を有している。
【0068】
プレート本体31上には、逃げ溝43が等間隔で設けられている。逃げ溝43は、指とプレート本体31の干渉を避けるためのものである。逃げ溝43により、トレイ39の脱着の際に、指がトレイ39に引っ掛かりやすくなっている。
【0069】
プレート本体31上には、複数の保持機構41が設けられている。保持機構41の数は、トレイ39の寸法と検査装置(図示省略)の側のステージ(図示省略)のストロークによって決められる。図7及び図8に示された例において、トレイ39の数は16であり、トレイ39のサイズは2インチである。なお、トレイ39にはチップ45が詰められている。トレイ39の一方の角の高さは、押し爪6の高さより低い。
【0070】
保持機構41は、押し側44と受け側34で構成されている。
【0071】
押し側44は、先の実施例に示された押し側14と同じ物を用いることができるため、その説明を省略する。
【0072】
受け側34は、4個の受け止めピン34a、34b、34c、34dからなり、支持部材として機能する。受け側34は、先の実施例に示された受け側4と同じ物を用いることができるため、その説明を省略する。
【0073】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体チップが詰められた複数のトレイを搭載でき、それらに詰められた半導体チップを、効率良く、安定して一括で自動検査をすることができる。
【0074】
例えば、トレイに詰められたチップを自動検査する際に、トレイの保持位置の再現性、安定性を高めることができる。トレイを脱着する場合には、片手でトレイの脱着できる。これにより、安全かつ確実に取り替えでき、取り替え時間を短縮できる。トレイの周辺部の高さを推力付与手段の高さより低くすれば、トレイにトレイの蓋又はトレイを被せた状態で交換できる。これによりトレイのセルからチップが飛び出すことを防止できる。複数のトレイに詰められたチップに対して、検査効率と検査結果の安定性を向上した自動検査が可能となる。
【0075】
なお、本発明は上述の実施例に限定されない。機械式の保持機構には他のアタッチメント等を用いることが出来る。トレイの脱着を自動で行うようにしても良い。推力付与手段の構成も図示されたものに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるチップイントレイ検査用プレートの1例を示す斜視図
【図2】図1のプレートにトレイを取り付けた状態を示す斜視図
【図3】トレイと保持機構の関係を示す上面図。
【図4】保持機構の一部を示す斜視図
【図5】押し側の一例を示す拡大部分断面図
【図6】押し側をプレート本体に取り付けた状態の一例を示す側断面図
【図7】本発明によるチップイントレイ検査用プレートの別の例を示す斜視図
【図8】図7のプレートにトレイを取り付けた状態を示す斜視図。
【符号の説明】
1、31 プレート本体
2 取っ手部
3 脚
4、34 受け側(支持部材)
4a、4b、4c、4d、34a、34b、34c、34d 受け止めピン
5 カバー
6 トレイ保持用押し爪
7 ストッパービス
8 ばね
9、39 トレイ
10、40 チップイントレイ検査用プレート
11、41 保持機構
12、42 凹部
13、43 逃げ溝
14、44 押し側
16 くぼみ
17 枠
18 穴
19a、19b 隅部
45 チップ
Claims (15)
- プレート本体(1、31)と、プレート本体(1、31)に取り付けられた複数の機械式保持機構(11、41)とを有するチップイントレイ検査用プレートにおいて、プレート本体(1、31)は、トレイ(9、39)が保持機構(11、41)に保持されたときに、逃げ溝(13、43)がトレイ(9、39)の下面よりも窪んでいて、トレイ(9、39)の周辺において露出する逃げ溝が設けられており、各保持機構(11、41)は、トレイ(9、39)の一方の隅部(19a)に推力を付与するための推力付与手段(14、44)と、その一方の隅部(19a)に対して対角方向に位置する他方の隅部(19b)を支持するための受け止めピン(4a;4b;4c;4d、34a;34b;34c;34d)からなる支持部材(4、34)と、を有し、逃げ溝は、指の先端が入り得るように構成されることを特徴とするチップイントレイ検査用プレート。
- 推力付与手段(14、44)が、推力付与用のばね(8)を備えた押し爪(6)を有することを特徴とする請求項1に記載のチップイントレイ検査用プレート。
- 推力付与手段(14、44)の推力が、トレイ(9、39)の脱着方向に対して垂直方向に作用するように、推力付与手段(14、44)が設けられていることを特徴とする請求項1〜2のいずれか1項に記載のチップイントレイ検査用プレート。
- 推力付与手段(14、44)が、トレイ(9、39)の一方の隅部(19a)からその一方の隅部(19a)に対して対角方向に位置する他方の隅部(19b)に向けてばねで推力を付与することを特徴とする請求項2〜3のいずれか1項に記載のチップイントレイ検査用プレート。
- 複数のトレイ(9、39)がプレート本体(1、31)上に格子形状に沿って並べられることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のチップイントレイ検査用プレート。
- 複数の保持機構(11、41)がプレート本体(1、31)上に格子形状の交点に並べられることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のチップイントレイ検査用プレート。
- 各トレイ(9、39)の隅部に隣接して保持機構(11、41)が配置されることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のチップイントレイ検査用プレート。
- 推力付与手段(14、44)から推力を受けて、トレイ(9、39)が、支持部材(4、34)によって位置決めされることを特徴とする請求項2〜7のいずれか1項に記載のチップイントレイ検査用プレート。
- トレイ(9、39)の一方の隅部(19a)に付与された推力が、他方の隅部(19b)に隣接する2辺に向かって分散されていることを特徴とする請求項2〜5のいずれか1項に記載のチップイントレイ検査用プレート。
- 推力付与手段(14、44)と、一方の隅部(19a)と、他方の隅部(19b)とが、直線状に並んで配置されていることを特徴とする請求項2〜9のいずれか1項に記載のチップイントレイ検査用プレート。
- 押し爪(6)の高さが、一方の隅部(19a)の高さより低く形成されていることを特徴とする請求項2〜10のいずれか1項に記載のチップイントレイ検査用プレート。
- 支持部材(4、34)が、トレイ(9、39)の一方の辺を受けるための第1の受け止めピン(4a;4b、34a;34b)と、トレイ(9、39)の他方の辺を受けるための第2の受け止めピン(4c;4d、34c;34d)からなることを特徴とする請求項2〜11のいずれか1項に記載のチップイントレイ検査用プレート。
- 推力付与手段(14、44)から推力を受けて、トレイ(9,39)の一方の辺が、第1の受け止めピン(4a;4b、34a;34b)によって位置決めされ、トレイ(9、39)の他方の辺が、第2の受け止めピン(4c;4d、34c;34d)によって位置決めされることを特徴とする請求項12に記載のチップイントレイ検査用プレート。
- 逃げ溝(13、43)がプレート本体(1、31)上に格子状に形成されていることを特徴とする請求項13に記載のチップイントレイ検査用プレート。
- 逃げ溝(13、43)がプレート本体(1、31)上に平行に形成されていることを特徴とする請求項13に記載のチップイントレイ検査用プレート。
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