JP4296088B2 - 樹脂封止装置 - Google Patents
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Description
12…上型
14…下型
16…キャビティ
16A…可動底面
18…枠型
20…本体
24…Oリング(第2のシール機構に相当)
26…Oリング(第3のシール機構に相当)
30…第1空気流路
32…負圧源
34、36、38…バルブ
50…底部
52…Oリング(第1のシール機構に相当)
54…外周部
56…ばね
70…第2空気流路
72…第3空気流路
80…リリースフィルム
Claims (6)
- 上下に対向する上型と下型のそれぞれの金型を用いて、該金型間に形成されるキャビティ内に樹脂を投入して封止・成形する樹脂封止装置において、
前記下型は、前記キャビティの底面を有する底部と、該底部に対して相対的に上下動可能な外周部と、を有し、更に、
該外周部が前記底部に対して相対的に上下動する際の摺動面に配備される第1のシール機構と、
前記上型に設けられる際には該上型の本体の周囲に、前記下型に設けられる際には前記外周部の周囲に配置されると共に前記上型の本体又は下型の外周部に対して上下動可能で且つ相手方の金型に付勢可能な状態で組み込まれた枠型と、
該枠型の前記付勢を伴った上下動を利用して、前記一方の金型及び相手方の金型で最終的なキャビティ空間を形成する以前に、該最終的なキャビティ空間を含む密閉空間を形成すると共に該密閉空間内の空気の流出入を遮断可能とする第2のシール機構と、
前記密閉空間外から密閉空間内に接続可能とされた空気流路と、
該空気流路を介して前記密閉空間内の圧力を減圧・調整可能な圧力調整手段と、を備え、
前記外周部に下方にのみ力を受けることが可能な接続部を設けて、該接続部により該外周部を下方に引き下げ可能な引き下げ機構を前記底部側に付設した
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1において、
前記枠型が前記一方の金型の本体に対して上下動する際の摺動面にも、第3のシール機構が配備されている
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1または2において、
前記空気流路を複数系統備え、該空気流路が前記上型及び下型の双方を通って前記密閉空間に接続可能とされている
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1〜3のいずれかにおいて、
前記空気流路を複数系統備え、且つそのうち少なくとも2系統の空気流路が独立して減圧制御可能に構成されている
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項3または4において、
前記第1のシール機構の密閉空間側にも、前記密閉空間内の圧力を減圧・調整するための前記空気流路が臨まされている
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1〜5のいずれかにおいて、
前記上型又は下型の一方に電子部品を搭載した基板を設置・保持し、該基板上を樹脂にて成形・封止する
ことを特徴とする樹脂封止装置。
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