JP4293590B2

JP4293590B2 - X-ray tube

Info

Publication number: JP4293590B2
Application number: JP2002375105A
Authority: JP
Inventors: 貴俊吉山; 一隆鈴木
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2002-12-25
Filing date: 2002-12-25
Publication date: 2009-07-08
Anticipated expiration: 2022-12-25
Also published as: JP2004207048A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料の非破壊検査などに使用されるＸ線発生装置に組み込まれるＸ線管に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
試料を破壊することなくその内部構造を検査するための装置として、試料にＸ線を照射するＸ線管を組み込んだＸ線発生装置が従来一般に知られている（例えば特許文献１参照）。このＸ線発生装置は、試料の透視画像を得る非破壊検査システムの一部として、試料を透過したＸ線を検出するＸ線カメラと組み合わせて使用されるものであり、Ｘ線管のＸ線発生ポイントから試料までの距離が近いほど拡大率の大きな透視画像が得られる。
【０００３】
また、Ｘ線管としては、Ｘ線出射窓を有する筒部内にターゲットを収容した構造のＸ線発生部と、このＸ線発生部の筒部の周面から突出する筒部内に電子銃を収容した構造の電子銃部とを備えたものが従来一般に知られている（例えば特許文献２参照）。このＸ線管は、電子銃がターゲットに向けて電子線を出射すると、ターゲットがＸ線出射窓に向けてＸ線を出射するように構成されている。
【０００４】
ここで、特許文献１の図１に示されるように、Ｘ線管はＸ線発生部および電子銃部が外部に露出する状態でＸ線発生装置の筐体に固定されている。そして、このＸ線発生装置においては、特許文献１の図５に示されるように、試料をＸ線管のＸ線出射窓に近づけた状態でＸ線の照射方向と直交する軸廻りに傾斜可能とするための傾斜面がＸ線管のＸ線発生部および筐体に形成されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−２２４６２４号公報（図１および図５参照）
【特許文献２】
特開平７−２９６７５１号公報（図１参照）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来一般に知られているＸ線管においては、内部を真空化するための排気管（チップ管）がＸ線発生部の筒部の周面に突設されている。このため、前述のように試料をＸ線管のＸ線出射窓に近づけた状態でＸ線の照射方向と直交する軸廻りに傾斜させる際、排気管が突設された方向には排気管が邪魔となって試料または試料を載持する試料台を大きく傾斜させることができず、試料の複雑な内部構造を立体的に観察するのに支障があるという問題が指摘されている。
【０００７】
そこで、本発明は、排気管が突設された方向にも試料または試料を載持する試料台を大きく傾斜させることができるＸ線管を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るＸ線管は、先端側の開口部にＸ線出射窓を有し、基端側に取付フランジを有する第１筒部と、この第１筒部内に連通して第１筒部の周面から突出する第２筒部とを備えた真空外囲器内に電子銃およびターゲットが収容されており、電子銃がターゲットへ向けて電子線を出射し、ターゲットがＸ線出射窓を通してＸ線を出射するように構成されたＸ線管において、第１筒部の周面には真空外囲器内を真空化するための排気管が突設されており、排気管は、第１筒部の先端部周縁と取付フランジの周縁とに跨って第１筒部の周面を包囲する仮想面の内側に配置されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係るＸ線管では、試料を第1筒部の開口部に設けられたＸ線出射窓に近づけた状態でＸ線の照射方向と直交する軸廻りに傾斜させる際に、試料または試料を載持する試料台は排気管に接触することなく第１筒部の先端部周縁または取付フランジの周縁に接触するまで大きく傾斜可能となる。
【００１０】
本発明に係るＸ線管において、排気管が第１筒部の先端側と基端側の取付フランジとの間の周面における基端側の周面上に配置されている場合、傾斜した試料または試料を載持する試料台に接触しない範囲で排気管のチップオフ長を長くすることができ、Ｘ線管内を確実に真空化することが可能となる。
【００１１】
また、本発明のＸ線管において、第２筒部の軸線に沿ったカット面が第１筒部の周面に形成されている場合、そのカット面方向に試料または試料を載持する試料台を一層大きく傾斜させることができ、試料をＸ線出射窓に一層接近させて試料の非破壊検査を一層精密に行うことが可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明に係るＸ線管の実施の形態を説明する。参照する図面において、図１は一実施形態に係るＸ線管の概略構造を示す全体斜視図、図２は図１に示したＸ線管の縦断面図、図３は図１のＩＩＩ矢視図、図４は図１のＩＶ矢視図である。
【００１３】
図１および図２に示すように、一実施形態に係るＸ線管１は、Ｘ線発生部２、電子銃部３、バルブ部４などを備えており、後述するＸ線発生部２の第１筒部２Ｂ、電子銃部３の第２筒部３Ａおよびバルブ部４のバルブ４Ａによって真空外囲器が構成されている。
【００１４】
Ｘ線発生部２は、取付フランジ２Ａが基端部に形成された第１筒部２Ｂを有し、その先端側の開口部にはＸ線出射窓２Ｃが装着されている。この第１筒部２Ｂの内部には、電子線（ｅ）の入射を受けてＸ線（ｘ）を発生する反射型のターゲット２Ｄが収容されている（図２参照）。このターゲット２Ｄは、バルブ部４の本体であるバルブ４Ａの中心部に保持具４Ｂを介して絶縁状態で保持された棒状の高圧陽極４Ｃの内端部に構成されており、Ｘ線出射窓２Ｃに向けてＸ線（ｘ）を出射する反射面２Ｄ１が高圧陽極４Ｃの軸線に斜交して形成されている。
【００１５】
電子銃部３は、Ｘ線発生部２の第１筒部２Ｂの内部に連通して第１筒部２Ｂの周面から突出する第２筒部３Ａを有し、その先端側の開口部には給電用のステムピン３Ｂを有するステム３Ｃが装着されている。そして、第２筒部３Ａの内部には、第１筒部２Ｂ内に収容されたターゲット２Ｄの反射面２Ｄ１に向けて電子線（ｅ）を出射するための電子銃３Ｄが収容されている。
【００１６】
電子銃３Ｄは、ステムピン３Ｂから供給される電力によって発熱するヒータ３Ｅと、ヒータ３Ｅにより加熱されて熱電子を放出する陰極３Ｆ、陰極３Ｆから放出される熱電子を収束して加速することにより、ターゲット２Ｄの反射面２Ｄ１へ向けて電子線（ｅ）を出射するフォーカスグリッド電極３Ｇなどを備えて構成されている。
【００１７】
ここで、図１、図２および図３に示すように、Ｘ線発生部２の第１筒部２Ｂの周面には、電子銃部３の第２筒部３Ａの軸線３Ｌと平行な一対のカット面２Ｂ１，２Ｂ１が第１筒部２Ｂの軸線２Ｌと平行に形成されている。また、第２筒部３Ａが突出する側と反対側の第１筒部２Ｂの周面には、Ｘ線管１の内部を真空化するための排気管（チップ管）５が突設されている。
【００１８】
排気管５は、その内端部が第１筒部２Ｂの内部に連通しており（図２参照）、その外端部は、Ｘ線管１内の真空状態を保持するようにチップオフ加工されている。この排気管５の外端部の扁平に潰されて切断されたチップオフ端には、合成樹脂の接着剤６により保護キャップ７が固定されている。
【００１９】
このような排気管５は、第１筒部２Ｂの先端部の周縁と取付フランジ２Ａの周縁とに跨って第１筒部２Ｂの周面を包囲する仮想面の内側において、取付フランジ２Ａの近傍に配置されている。すなわち、排気管５は、図１および図２に２点鎖線で示すように、第１筒部２Ｂの先端部の周縁と取付フランジ２Ａの周縁とを結ぶ仮想線Ｌから外側にはみ出さないように配置されている。
【００２０】
以上のように構成された一実施形態のＸ線管１は、例えば非破壊検査システムを構成する図示しないＸ線発生装置の筐体に取付フランジ２Ａが固定されることにより、筐体の外部にＸ線発生部２および電子銃部３が露出する状態でＸ線発生装置に組み込まれる。
【００２１】
このようにＸ線発生装置に組み込まれたＸ線管１は、図５および図６に示すように、Ｘ線カメラＸＣとの間に配置された板状の試料である試料板ＳＰの内部構造をＸ線カメラＸＣにより透視画像として観察するため、Ｘ線発生部２のＸ線出射窓２ＣからＸ線カメラＸＣに向けてＸ線（ｘ）を照射する（図２参照）。
【００２２】
ここで、Ｘ線管１のＸ線発生ポイントＸＰから試料板ＳＰまでの距離が近い程、Ｘ線カメラＸＣによる試料板ＳＰの透視画像の拡大率が大きくなるため、試料板ＳＰは、通常、Ｘ線発生ポイントＸＰに近接して配置される。また、試料板ＳＰの内部構造を立体的に観察する場合には、試料板ＳＰをＸ線の照射方向と直交する軸廻りに傾斜させる。
【００２３】
図５に示すように、試料板ＳＰをＸ線の照射方向と直交する軸廻りに傾斜させた状態で試料板ＳＰの観察ポイントＰをＸ線発生ポイントＸＰに接近させて立体的に観察する際、２点鎖線で示すように排気管５が長く突出している従来例においては、試料板ＳＰが保護キャップ７に接触する距離まで、すなわち、Ｘ線発生ポイントＸＰから観察ポイントＰまでの距離がＤ１となる距離までしか試料板ＳＰの観察ポイントＰをＸ線発生ポイントＸＰに接近させることができない。
【００２４】
これに対し、図２に示すように排気管５および保護キャップ７が仮想線Ｌの内側に配置されている一実施形態のＸ線管１においては、図５に実線で示すように試料板ＳＰが第１筒部２Ｂの先端部周縁に接触する距離まで、すなわち、Ｘ線発生ポイントＸＰから観察ポイントＰまでの距離がＤ２となる距離まで試料板ＳＰの観察ポイントＰをＸ線発生ポイントＸＰに接近させることができる。その結果、試料板ＳＰの観察ポイントＰの透視画像を一層大きく拡大して観察ポイントＰの非破壊検査を一層精密に行うことが可能となる。
【００２５】
一方、図６に示すように、試料板ＳＰをＸ線の照射方向と直交する軸廻りに傾斜させてＸ線発生ポイントＸＰから距離Ｄ３にある試料板ＳＰの観察ポイントＰを立体的に観察する際、２点鎖線で示すように排気管５が長く突出している従来例においては、試料板ＳＰを保護キャップ８に接触するまでの角度θ１までしか傾斜させることができない。
【００２６】
これに対し、図２に示すように排気管５および保護キャップ７が仮想線Ｌの内側に配置されている一実施形態のＸ線管１においては、図６に示すように試料板ＳＰを取付フランジ２Ａの周縁に接触する角度θ２まで大きく傾斜させることができる。その結果、試料板ＳＰの観察ポイントＰの非破壊検査を立体的に一層精密に行うことが可能となる。
【００２７】
ここで、一実施形態のＸ線管１では、排気管５が取付フランジ２Ａの近傍に配置されているため、図５および図６に示すように傾斜した試料板ＳＰに接触しない範囲で排気管５のチップオフ長を長くすることができ、Ｘ線管１内を確実に真空化することが可能となる。
【００２８】
また、一実施形態のＸ線管１では、電子銃部３の第２筒部３Ａの軸線に沿ったカット面２Ｂ１，２Ｂ１がＸ線発生部２の第１筒部２Ｂの周面に形成されているため、そのカット面２Ｂ１，２Ｂ１に向かって試料板ＳＰを傾斜させることにより、試料板ＳＰを一層大きく傾斜させることができ、また、試料板ＳＰをＸ線発生ポイントＸＰに向かって一層接近させることができる。
【００２９】
本発明に係るＸ線管は、一実施形態に限定されるものではない。例えば、排気管５は、図７に実線で示すように第１筒部２Ｂの一方のカット面２Ｂ１から突出するように配置してもよいし、図７に２点鎖線で示すように電子銃部３の第２筒部３Ａに沿って突出するように配置してもよい。
【００３０】
第１筒部２Ｂの一方のカット面２Ｂ１から突出するように配置された排気管５は、取付フランジ２Ａの近傍に配置することで、チップオフ長をより一層長くすることができ、Ｘ線管１内をより確実に真空化することが可能となる。
【００３１】
また、第１筒部２Ｂの基端側に突設される取付フランジ２Ａは、図示のような円形に限らず、四角形や六角形などの任意の形状とすることができる。
【００３２】
さらに、第１筒部２Ｂの先端部周縁と取付フランジ２Ａの周縁とに跨って第１筒部２Ｂの周面を包囲する仮想面は、電子銃部３の近傍においては、第１筒部２Ｂの先端部周縁と第２筒部３Ａの外周縁と取付フランジ２Ａの周縁との３者に跨って第１筒部２Ｂの周面を包囲する仮想面とすることができる。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るＸ線管によれば、先端側の開口部にＸ線出射窓を有する第１筒部の先端部周縁と取付フランジの周縁とに跨って第１筒部の周面を包囲する仮想面の内側に排気管が配置されているため、試料をＸ線出射窓に近づけた状態でＸ線の照射方向と直交する軸廻りに傾斜させる際、排気管が突設された方向にも試料または試料を載持する試料台を第１筒部の先端部周縁または取付フランジの周縁に接触するまで大きく傾斜させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るＸ線管の概略構造を示す全体斜視図である。
【図２】図１に示したＸ線管の縦断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ矢視図図である。
【図４】図１のＩＶ矢視図である。
【図５】一実施形態に係るＸ線管の第１の作用を説明する側面図である。
【図６】一実施形態に係るＸ線管の第２の作用を説明する側面図である。
【図７】図１に示した排気管の配置の変形例を示す図４に対応した図である。
【符号の説明】
１…Ｘ線管、２…Ｘ線発生部、２Ａ…取付フランジ、２Ｂ…第１筒部、２Ｂ１…カット面、２Ｃ…Ｘ線出射窓、３…電子銃部、３Ａ…第２筒部、３Ｂ…ステムピン、３Ｃ…ステム、３Ｄ…電子銃、３Ｅ…ヒータ、３Ｆ…陰極、３Ｇ…フォーカスグリッド電極、４…バルブ部、４Ａ…バルブ、４Ｂ…保持具、４Ｃ…高圧陽極、、５…排気管、６…接着剤、７…保護キャップ、Ｌ…仮想線、ＸＣ…Ｘ線カメラ、ＳＰ…試料板、Ｐ…観察ポイント、ＸＰ…Ｘ線発生ポイント。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an X-ray tube incorporated in an X-ray generator used for non-destructive inspection of a sample.
[0002]
[Prior art]
As an apparatus for inspecting the internal structure of a sample without destroying it, an X-ray generator incorporating an X-ray tube that irradiates the sample with X-rays is generally known (see, for example, Patent Document 1). This X-ray generator is used in combination with an X-ray camera that detects X-rays transmitted through a sample as part of a nondestructive inspection system for obtaining a fluoroscopic image of the sample. As the distance from the generation point to the sample is shorter, a fluoroscopic image with a larger magnification rate is obtained.
[0003]
As an X-ray tube, an X-ray generator having a structure in which a target is accommodated in a cylindrical portion having an X-ray exit window, and an electron gun is accommodated in a cylindrical portion protruding from the peripheral surface of the cylindrical portion of the X-ray generating portion. An apparatus including an electron gun portion having the above-described structure is generally known (see, for example, Patent Document 2). The X-ray tube is configured such that when the electron gun emits an electron beam toward the target, the target emits an X-ray toward the X-ray emission window.
[0004]
Here, as shown in FIG. 1 of Patent Document 1, the X-ray tube is fixed to the housing of the X-ray generator with the X-ray generator and the electron gun exposed to the outside. In this X-ray generator, as shown in FIG. 5 of Patent Document 1, the sample can be tilted around an axis orthogonal to the X-ray irradiation direction while being close to the X-ray exit window of the X-ray tube. Are formed on the X-ray generation part and the housing of the X-ray tube.
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-11-224624 (see FIGS. 1 and 5)
[Patent Document 2]
Japanese Patent Laid-Open No. 7-296751 (see FIG. 1)
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the conventionally known X-ray tube, an exhaust pipe (chip tube) for evacuating the inside is provided on the peripheral surface of the cylindrical portion of the X-ray generation unit. For this reason, when the sample is tilted around an axis orthogonal to the X-ray irradiation direction in the state of being close to the X-ray exit window of the X-ray tube as described above, the exhaust pipe protrudes in the direction in which the exhaust pipe protrudes. It has been pointed out that the sample or the sample stage on which the sample is placed cannot be tilted so as to be in the way, which hinders the three-dimensional observation of the complicated internal structure of the sample.
[0007]
Therefore, an object of the present invention is to provide an X-ray tube capable of greatly tilting a sample or a sample stage on which a sample is placed in a direction in which an exhaust pipe is protruded.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
An X-ray tube according to the present invention has a first tube portion having an X-ray exit window at an opening on the distal end side and a mounting flange on a proximal end side, and a first tube portion communicating with the inside of the first tube portion. An electron gun and a target are accommodated in a vacuum envelope provided with a second cylindrical portion projecting from the peripheral surface, the electron gun emits an electron beam toward the target, and the target passes through the X-ray emission window. In the X-ray tube configured to emit X-rays, an exhaust pipe for evacuating the inside of the vacuum envelope protrudes from the peripheral surface of the first cylinder portion. It arrange | positions inside the virtual surface which surrounds the surrounding surface of a 1st cylinder part ranging over the front-end | tip part periphery of a cylinder part, and the periphery of an attachment flange, It is characterized by the above-mentioned.
[0009]
In the X-ray tube according to the present invention, when the sample is tilted around an axis perpendicular to the X-ray irradiation direction in a state of being close to the X-ray emission window provided in the opening of the first cylinder portion, The sample stage on which the lens is mounted can be largely tilted until it comes into contact with the peripheral edge of the tip end portion of the first tube part or the peripheral edge of the mounting flange without contacting the exhaust pipe.
[0010]
In the X-ray tube according to the present invention, when the exhaust pipe is disposed on the peripheral surface on the proximal end side of the peripheral surface between the distal end side and the proximal end mounting flange of the first tube portion , the inclined sample Alternatively, the tip-off length of the exhaust pipe can be increased as long as it does not come into contact with the sample stage on which the sample is mounted, and the inside of the X-ray tube can be surely evacuated.
[0011]
Further, in the X-ray tube of the present invention, when the cut surface along the axis of the second cylinder part is formed on the peripheral surface of the first cylinder part, the sample stage or the sample stage that holds the sample in the cut surface direction Can be further tilted, and the sample can be brought closer to the X-ray exit window to perform nondestructive inspection of the sample more precisely.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of an X-ray tube according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In the drawings to be referred to, FIG. 1 is an overall perspective view showing a schematic structure of an X-ray tube according to an embodiment, FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the X-ray tube shown in FIG. 1, and FIG. FIG. 4 and FIG. 4 are views taken along the arrow IV in FIG.
[0013]
As shown in FIGS. 1 and 2, an X-ray tube 1 according to an embodiment includes an X-ray generation unit 2, an electron gun unit 3, a valve unit 4, and the like. A vacuum envelope is configured by the one cylinder part 2B, the second cylinder part 3A of the electron gun part 3, and the valve 4A of the valve part 4.
[0014]
The X-ray generation part 2 has a first tube part 2B in which a mounting flange 2A is formed at the base end part, and an X-ray emission window 2C is attached to the opening part on the distal end side. A reflection type target 2D that receives an electron beam (e) and generates X-rays (x) is accommodated inside the first cylindrical portion 2B (see FIG. 2). The target 2D is configured at the inner end of a rod-shaped high-pressure anode 4C that is held in an insulated state via a holder 4B at the center of the valve 4A that is the main body of the valve unit 4, and the X-ray exit window 2C. A reflection surface 2D1 that emits X-rays (x) toward is formed obliquely to the axis of the high-pressure anode 4C.
[0015]
The electron gun section 3 has a second cylinder section 3A that communicates with the inside of the first cylinder section 2B of the X-ray generation section 2 and protrudes from the peripheral surface of the first cylinder section 2B. Is mounted with a stem 3C having a stem pin 3B for feeding. An electron gun 3D for emitting an electron beam (e) toward the reflecting surface 2D1 of the target 2D accommodated in the first cylinder part 2B is accommodated in the second cylinder part 3A.
[0016]
The electron gun 3D has a heater 3E that generates heat by power supplied from the stem pin 3B, a cathode 3F that is heated by the heater 3E and emits thermoelectrons, and converges and accelerates the thermoelectrons emitted from the cathode 3F. A focus grid electrode 3G that emits an electron beam (e) toward the reflecting surface 2D1 of the target 2D is provided.
[0017]
Here, as shown in FIGS. 1, 2, and 3, a pair parallel to the axis 3 </ b> L of the second cylindrical portion 3 </ b> A of the electron gun unit 3 is provided on the peripheral surface of the first cylindrical portion 2 </ b> B of the X-ray generating unit 2. The cut surfaces 2B1 and 2B1 are formed in parallel with the axis 2L of the first cylindrical portion 2B. Further, an exhaust pipe (tip pipe) 5 for evacuating the inside of the X-ray tube 1 is provided on the peripheral surface of the first cylindrical part 2B opposite to the side from which the second cylindrical part 3A protrudes. Yes.
[0018]
The inner end of the exhaust pipe 5 communicates with the inside of the first tube part 2B (see FIG. 2), and the outer end of the exhaust pipe 5 is chip-off processed so that the vacuum state in the X-ray tube 1 is maintained. Has been. A protective cap 7 is fixed to the chip-off end of the exhaust pipe 5 that is crushed flat and cut by a synthetic resin adhesive 6.
[0019]
Such an exhaust pipe 5 is located in the vicinity of the mounting flange 2A on the inner side of the virtual surface surrounding the peripheral surface of the first cylindrical portion 2B across the peripheral edge of the distal end portion of the first cylindrical portion 2B and the peripheral edge of the mounting flange 2A. Is arranged. That is, as shown by the two-dot chain line in FIGS. 1 and 2, the exhaust pipe 5 does not protrude outward from the imaginary line L that connects the peripheral edge of the distal end portion of the first cylindrical portion 2B and the peripheral edge of the mounting flange 2A. Is arranged.
[0020]
The X-ray tube 1 according to an embodiment configured as described above is provided outside the casing by fixing the mounting flange 2A to the casing of an X-ray generator (not shown) that constitutes a nondestructive inspection system, for example. The X-ray generator 2 and the electron gun unit 3 are incorporated into the X-ray generator in a state where they are exposed.
[0021]
As shown in FIGS. 5 and 6, the X-ray tube 1 incorporated in the X-ray generator as described above has an internal structure of a sample plate SP that is a plate-like sample disposed between the X-ray camera XC. Is observed as a fluoroscopic image by the X-ray camera XC, X-ray (x) is irradiated from the X-ray exit window 2C of the X-ray generation unit 2 toward the X-ray camera XC (see FIG. 2).
[0022]
Here, the closer the distance from the X-ray generation point XP of the X-ray tube 1 to the sample plate SP, the larger the magnification of the fluoroscopic image of the sample plate SP by the X-ray camera XC. It is arranged close to the X-ray generation point XP. Further, when the internal structure of the sample plate SP is observed three-dimensionally, the sample plate SP is inclined around an axis orthogonal to the X-ray irradiation direction.
[0023]
As shown in FIG. 5, when the sample plate SP is tilted around an axis orthogonal to the X-ray irradiation direction, the observation point P of the sample plate SP is brought close to the X-ray generation point XP to perform three-dimensional observation. In the conventional example in which the exhaust pipe 5 protrudes long as shown by a two-dot chain line, the distance from the X-ray generation point XP to the observation point P is D1 up to the distance at which the sample plate SP contacts the protective cap 7. The observation point P of the sample plate SP can be brought close to the X-ray generation point XP only up to a distance that becomes.
[0024]
On the other hand, in the X-ray tube 1 of the embodiment in which the exhaust pipe 5 and the protective cap 7 are arranged inside the virtual line L as shown in FIG. 2, the sample plate SP as shown by the solid line in FIG. Until the distance at which the edge of the first cylindrical portion 2B contacts the peripheral edge of the first cylindrical portion 2B, that is, until the distance from the X-ray generation point XP to the observation point P becomes D2, the observation point P of the sample plate SP becomes the X-ray generation point XP. Can be approached. As a result, the fluoroscopic image of the observation point P on the sample plate SP can be further enlarged to perform the nondestructive inspection of the observation point P more precisely.
[0025]
On the other hand, as shown in FIG. 6, the sample plate SP is tilted around an axis orthogonal to the X-ray irradiation direction, and the observation point P of the sample plate SP at a distance D3 from the X-ray generation point XP is stereoscopically observed. On the other hand, in the conventional example in which the exhaust pipe 5 protrudes long as shown by the two-dot chain line, the sample plate SP can be inclined only to the angle θ1 until it contacts the protective cap 8.
[0026]
On the other hand, in the X-ray tube 1 of the embodiment in which the exhaust pipe 5 and the protective cap 7 are arranged inside the virtual line L as shown in FIG. 2, the sample plate SP is attached as shown in FIG. It can be greatly inclined to the angle θ2 that contacts the peripheral edge of the flange 2A. As a result, the non-destructive inspection of the observation point P of the sample plate SP can be more accurately performed three-dimensionally.
[0027]
Here, in the X-ray tube 1 of the embodiment, since the exhaust pipe 5 is disposed in the vicinity of the mounting flange 2A, the exhaust pipe is within a range not in contact with the inclined sample plate SP as shown in FIGS. 5 can be lengthened, and the inside of the X-ray tube 1 can be surely evacuated.
[0028]
Further, in the X-ray tube 1 of the embodiment, cut surfaces 2B1 and 2B1 along the axis of the second tube portion 3A of the electron gun unit 3 are formed on the peripheral surface of the first tube portion 2B of the X-ray generation unit 2. Therefore, by inclining the sample plate SP toward the cut surfaces 2B1 and 2B1, the sample plate SP can be further inclined, and the sample plate SP is further closer to the X-ray generation point XP. Can be made.
[0029]
The X-ray tube according to the present invention is not limited to one embodiment. For example, the exhaust pipe 5 may be disposed so as to protrude from one cut surface 2B1 of the first cylindrical portion 2B as shown by a solid line in FIG. 7, or an electron gun as shown by a two-dot chain line in FIG. You may arrange | position so that it may protrude along 3 A of 2nd cylinder parts of the part 3. FIG.
[0030]
The exhaust pipe 5 arranged so as to protrude from one cut surface 2B1 of the first cylindrical portion 2B can be further increased in tip-off length by being arranged in the vicinity of the mounting flange 2A. The inside of 1 can be evacuated more reliably.
[0031]
In addition, the mounting flange 2A protruding from the base end side of the first cylindrical portion 2B is not limited to a circular shape as shown in the figure, but may be an arbitrary shape such as a square or a hexagon.
[0032]
Furthermore, the virtual surface surrounding the peripheral surface of the first cylinder part 2B across the peripheral edge of the first cylinder part 2B and the peripheral edge of the mounting flange 2A is the first cylinder part 2B in the vicinity of the electron gun part 3. It can be set as the virtual surface which surrounds the peripheral surface of the 1st cylinder part 2B ranging over three persons, the outer periphery of the front-end | tip part, the outer periphery of 2nd cylinder part 3A, and the periphery of 2 A of attachment flanges.
[0033]
【The invention's effect】
As described above, according to the X-ray tube of the present invention, the first tube portion straddles the distal end portion periphery of the first tube portion having the X-ray exit window at the distal end side opening and the periphery of the mounting flange. Since the exhaust pipe is arranged inside the virtual plane surrounding the peripheral surface of the X-ray, the exhaust pipe protrudes when the sample is tilted around an axis perpendicular to the X-ray irradiation direction in the state of being close to the X-ray emission window. The sample or the sample stage on which the sample is placed can be greatly inclined in the installed direction until it comes into contact with the peripheral edge of the tip end portion of the first tube part or the peripheral edge of the mounting flange.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall perspective view showing a schematic structure of an X-ray tube according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the X-ray tube shown in FIG.
FIG. 3 is a view taken in the direction of arrow III in FIG. 1;
4 is a view taken along arrow IV of FIG.
FIG. 5 is a side view for explaining a first action of the X-ray tube according to one embodiment.
FIG. 6 is a side view illustrating a second action of the X-ray tube according to one embodiment.
7 is a view corresponding to FIG. 4 showing a modified example of the arrangement of the exhaust pipe shown in FIG. 1. FIG.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... X-ray tube, 2 ... X-ray generation part, 2A ... Mounting flange, 2B ... 1st cylinder part, 2B1 ... Cut surface, 2C ... X-ray emission window, 3 ... Electron gun part, 3A ... 2nd cylinder part, 3B ... Stem pin, 3C ... Stem, 3D ... Electron gun, 3E ... Heater, 3F ... Cathode, 3G ... Focus grid electrode, 4 ... Valve part, 4A ... Valve, 4B ... Holder, 4C ... High-pressure anode, 5 ... Exhaust Tube, 6 ... Adhesive, 7 ... Protective cap, L ... Virtual line, XC ... X-ray camera, SP ... Sample plate, P ... Observation point, XP ... X-ray generation point.

Claims

先端側の開口部にＸ線出射窓を有し、基端側に取付フランジを有する第１筒部と、この第１筒部内に連通して第１筒部の周面から突出する第２筒部とを備えた真空外囲器内に電子銃およびターゲットが収容されており、前記電子銃が前記ターゲットへ向けて電子線を出射し、前記ターゲットが前記Ｘ線出射窓を通してＸ線を出射するように構成されたＸ線管において、
前記第１筒部の周面には前記真空外囲器内を真空化するための排気管が突設されており、
前記排気管は、前記第１筒部の先端部周縁と前記取付フランジの周縁とに跨って第１筒部の周面を包囲する仮想面の内側に配置されていることを特徴とするＸ線管。A first tube portion having an X-ray emission window in the opening on the distal end side and a mounting flange on the proximal end side, and a second tube communicating with the inside of the first tube portion and projecting from the peripheral surface of the first tube portion An electron gun and a target are accommodated in a vacuum envelope provided with a portion, the electron gun emits an electron beam toward the target, and the target emits an X-ray through the X-ray emission window. In an X-ray tube configured as follows:
An exhaust pipe for evacuating the inside of the vacuum envelope protrudes from the peripheral surface of the first cylindrical portion,
The X-ray is characterized in that the exhaust pipe is disposed inside a virtual plane that surrounds the peripheral surface of the first cylindrical portion across the peripheral edge of the first cylindrical portion and the peripheral edge of the mounting flange. tube.

前記排気管が前記第１筒部の先端側と基端側の取付フランジとの間の周面における基端側の周面上に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線管。2. The X according to claim 1, wherein the exhaust pipe is disposed on a peripheral surface on a proximal end side in a peripheral surface between a distal end side and a proximal end mounting flange of the first cylindrical portion. Wire tube.

前記第１筒部の周面には、前記第２筒部の軸線に沿ったカット面が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のＸ線管。The X-ray tube according to claim 1, wherein a cut surface along the axis of the second cylinder part is formed on a peripheral surface of the first cylinder part.