JP4289239B2 - Glass tube manufacturing method and glass tube manufacturing apparatus - Google Patents

Description

本発明は、ガラス管の製造方法およびガラス管の製造装置に関する。   The present invention relates to a glass tube manufacturing method and a glass tube manufacturing apparatus.

近年、光通信技術の進歩に伴い、光ファイバの利用が高まってきている。光ファイバの
主な製造方法としては、ＶＡＤ法（Vapor phase Axial Deposition:気相軸付法）、ＯＶ
Ｄ法（Outer Vapor phase Deposition：外付け法）、ＭＣＶＤ法（Modified Chemical Va
por phase Deposition:内付法）がある。 In recent years, the use of optical fibers has been increasing with the progress of optical communication technology. The main optical fiber manufacturing methods include VAD (Vapor phase Axial Deposition), OV
Method D (Outer Vapor phase Deposition), MCVD method (Modified Chemical Va)
por phase Deposition).

光ファイバの製造に際しては、通常はプリフォームと呼ばれる成形体を高速で線引きす
ることによって所望の口径の光ファイバを得るという方法がとられている。光ファイバの
形状は、プリフォームの形状および品質を引き継いでしまうため、光ファイバのプリフォ
ームの形成に際しては、極めて高精度の形状および品質制御が求められている。
特に、高ビットレート化、波長多重度の高度化により、情報伝達容量の高密度化が高ま
っており、光ファイバの偏波分散の低減が強く望まれている。 In manufacturing an optical fiber, a method of obtaining an optical fiber having a desired diameter by drawing a molded body called a preform at a high speed is generally used. Since the shape of the optical fiber takes over the shape and quality of the preform, extremely high-precision shape and quality control are required when forming the preform of the optical fiber.
In particular, as the bit rate and wavelength multiplexing become higher, the density of information transmission capacity is increasing, and the reduction of polarization dispersion of optical fibers is strongly desired.

例えばＭＣＶＤ法は、ガラス管からなる肉付け用パイプの内壁にガラス微粒子（すす）
を堆積する方法であるが、このガラス管はそのまま用いられるため、非円率および偏心率
が小さく、肉厚が均一で、特性の優れたものである必要がある。非円率または偏肉の大き
なガラス管から作製された光ファイバは、偏波分散（ＰＭＤ）が大きな値となってしまう
。 For example, the MCVD method uses glass fine particles (soot) on the inner wall of a meat pipe made of glass.
However, since this glass tube is used as it is, it needs to have a small non-circularity and eccentricity, a uniform wall thickness, and excellent characteristics. An optical fiber manufactured from a glass tube having a large non-circularity or uneven thickness has a large polarization dispersion (PMD) value.

そこで、出発材料であるガラス素材を加熱して軟化領域を形成し、前記軟化領域に穿孔
部材（成形治具）を挿入することによって、所望サイズの内径を有するガラス管を成形す
るガラス管の製造方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
この穿孔部材を用いた穿孔方法は、例えば図５に示すように、出発材料である円柱状の
石英ガラスロッド１０１の先端（図中右端）と、片持ち支持された支持棒１０３の先端（
図中左端）に装備された穿孔部材１０５の先端とを互いに中心軸線を揃えて突き合わせ、
石英ガラスロッド１０１の先端側から加熱手段（ヒータ）１０７により加熱軟化させなが
ら穿孔部材１０５を石英ガラスロッド１０１に徐々に挿入させることで、石英ガラスロッ
ド１０１を所望サイズの内径を有した石英ガラス管に成形するものである。 Therefore, manufacturing a glass tube that forms a glass tube having an inner diameter of a desired size by heating a glass material as a starting material to form a softened region and inserting a perforated member (forming jig) into the softened region. A method has been proposed (see, for example, Patent Document 1).
For example, as shown in FIG. 5, the drilling method using this punching member includes a tip of a columnar quartz glass rod 101 as a starting material (right end in the figure) and a tip of a support rod 103 that is cantilevered (
The front end of the piercing member 105 mounted on the left end in the figure is abutted against each other with the center axis aligned.
The quartz glass rod 101 is gradually inserted into the quartz glass rod 101 while being softened by heating means (heater) 107 from the front end side of the quartz glass rod 101, so that the quartz glass rod 101 has a desired size inner diameter. To be molded.

図５に示した装置では、石英ガラスロッド１０１の先端に接合されたダミーシリンダ１
０９と石英ガラスロッド１０１の基端１０１ａとが、それぞれ送りテーブル１１１，１１
３のチャックに把持されて両持ち状態に支持されている。
各送りテーブル１１１，１１３は、石英ガラスロッド１０１の中心軸線方向に移動可能
であり、これら送りテーブル１１１，１１３の移動によって、石英ガラスロッド１０１が
支持棒１０３に対して中心軸線方向に移動し、穿孔部材１０５の挿入を実現する。また、
各送りテーブル１１１，１１３は、把持した石英ガラスロッド１０１をその中心軸線回り
に回転させる回転駆動機構を内蔵している。 In the apparatus shown in FIG. 5, the dummy cylinder 1 joined to the tip of the quartz glass rod 101.
09 and the base end 101a of the quartz glass rod 101 are respectively connected to the feed tables 111 and 11.
3 is held by both chucks and supported in a both-end supported state.
Each feed table 111, 113 is movable in the direction of the central axis of the quartz glass rod 101, and the movement of the feed tables 111, 113 moves the quartz glass rod 101 in the direction of the central axis with respect to the support rod 103, The insertion of the piercing member 105 is realized. Also,
Each feed table 111, 113 has a built-in rotation drive mechanism that rotates the gripped quartz glass rod 101 about its central axis.

支持棒１０３は、棒支持台１１５のチャックに基端（図中右端）が把持されて片持ち状
態に支持されている。また、棒支持台１１５は、支持棒１０３を回転させる回転駆動機構
を内蔵しており、その下の基台１１７に固定されている。
そこで、上述したガラス管の製造装置では、石英ガラスロッド１０１の先端を加熱軟化
させた状態で、石英ガラスロッド１０１及び支持棒１０３をそれぞれ適宜回転させながら
、石英ガラスロッド１０１を徐々に支持棒１０３の基端側に移動させてゆくことで、穿孔
部材１０５を石英ガラスロッド１０１内に挿通させて石英ガラス管を成形する。 The support rod 103 is supported in a cantilevered state with a base end (right end in the drawing) gripped by a chuck of the rod support base 115. The rod support 115 has a built-in rotation drive mechanism for rotating the support rod 103, and is fixed to the base 117 below it.
Therefore, in the glass tube manufacturing apparatus described above, the quartz glass rod 101 is gradually supported by the support rod 103 while appropriately rotating the quartz glass rod 101 and the support rod 103 with the tip of the quartz glass rod 101 heated and softened. As a result, the perforated member 105 is inserted into the quartz glass rod 101 to form a quartz glass tube.

ところが、上述のように片持ち支持された支持棒１０３の先端に装備された穿孔部材１
０５によって石英ガラスロッド１０１を穿孔する方法では、支持棒１０３の撓み等により
、穿孔部材１０５に中心軸線に直交する方向の振れが発生し易く、例えば、穿孔開始前に
石英ガラスロッド１０１の先端中心と穿孔部材１０５の先端中心とを整合させる位置合わ
せ処理が困難になる虞があった。又、穿孔処理時には、支持棒１０３の撓みに起因した穿
孔部材１０５の振れによって、穿孔部材１０５が石英ガラスロッド１０１の中心軸線から
外れて、石英ガラスロッド１０１に穿設された孔が大きく偏心してしまう虞もあった。
そこで、このような不都合を解消する為、上記特許文献１には、図６に示すように、支
持棒１０３とダミーシリンダ１０９との間に円環状の振れ止め具（振れ止め治具）１１９
を嵌装することが提案されている。 However, the piercing member 1 provided at the tip of the support rod 103 that is cantilevered as described above.
In the method of punching the quartz glass rod 101 with 05, the deflection in the direction perpendicular to the central axis is likely to occur in the punching member 105 due to the bending of the support rod 103, for example, the center of the tip of the quartz glass rod 101 before the start of drilling. And the alignment processing for aligning the center of the piercing member 105 with the tip center may be difficult. Further, during the perforation process, due to the deflection of the perforating member 105 due to the bending of the support rod 103, the perforating member 105 deviates from the central axis of the quartz glass rod 101, and the hole formed in the quartz glass rod 101 is greatly eccentric. There was also a risk of it.
Therefore, in order to eliminate such inconvenience, in Patent Document 1 described above, as shown in FIG. 6, an annular steady rest (stabilization jig) 119 between the support rod 103 and the dummy cylinder 109 is provided.
It has been proposed to fit.

また、片持ち支持された支持棒１０３の先端に装備された穿孔部材１０５を石英ガラス
ロッド１０１の中心軸線に簡単に位置合わせ可能にするため、石英ガラスロッド１０１と
穿孔部材１０５との突き合わせ部の近傍に、これらの相対位置関係を三次元的に検出する
三次元モニターを装備すると共に、支持棒１０３を支持する棒支持台１１５に、支持棒１
０３の中心軸線の傾き角θの調整と中心軸線位置の３軸方向の調整とが可能な多軸の位置
調整装置を組み込む技術も提案されている（例えば、特許文献２参照）。 Further, in order to enable easy positioning of the perforating member 105 provided at the tip of the support rod 103 supported in a cantilever manner with the central axis of the quartz glass rod 101, the abutting portion between the quartz glass rod 101 and the perforating member 105 In the vicinity, a three-dimensional monitor for three-dimensionally detecting these relative positional relationships is equipped, and a support bar 1 is mounted on a support bar 115 for supporting the support bar 103.
A technique has also been proposed in which a multi-axis position adjustment device capable of adjusting the tilt angle θ of the central axis line 03 and adjusting the central axis position in three axial directions is incorporated (see, for example, Patent Document 2).

特許第２７９８４６５号公報Japanese Patent No. 2798465 特開２００３−２３８１７７号公報JP 2003-238177 A

しかしながら、支持棒１０３に円環状の振れ止め具１１９を嵌装する上記特許文献１に
記載の装置では、穿孔部材１０５の振れを最小限に留めるために、振れ止め具１１９とダ
ミーシリンダ１０９との間のクリアランスを狭めると、振れ止め具１１９自体がダミーシ
リンダ１０９内に圧入固定された状態となり、振れ止め具１１９よりも先端側に突出した
支持棒１０３の撓みにより穿孔部材１０５が必ずしも石英ガラスロッド１０１の中心に調
心されないという問題が生じる。更に、振れ止め具１１９の外径を穿孔部材１０５の外径
よりも小さくすると、穿孔が進んでいく内に、振れ止め具１１９が石英ガラスロッド１０
１の孔内に入り込んで、石英ガラスロッド１０１の内面が振れ止め具１１９との擦れで汚
染される虞もあった。 However, in the apparatus described in Patent Document 1 in which the annular steady rest 119 is fitted to the support rod 103, in order to minimize the swing of the punch member 105, the steady rest 119 and the dummy cylinder 109 When the clearance between them is narrowed, the steady rest 119 itself is press-fitted and fixed in the dummy cylinder 109, and the perforated member 105 is not necessarily made of the quartz glass rod due to the deflection of the support rod 103 protruding to the front end side from the steady rest 119. There arises a problem that the center of 101 is not aligned. Further, when the outer diameter of the steady rest 119 is made smaller than the outer diameter of the perforating member 105, the steady rest 119 is moved to the quartz glass rod 10 while the perforation progresses.
The quartz glass rod 101 may be contaminated by rubbing with the steady rest 119 by entering the hole 1.

また、ダミーシリンダ１０９は石英ガラス製であり、同一寸法で製作しようとしても寸
法、特に内径のバラツキが存在していた。このため、外径寸法の異なる振れ止め具１１９
をいくつか準備しておき、治具をセットする前にダミーシリンダ１０９と適当なクリアラ
ンスが保持できる振れ止め具１１９を選択する必要があった。 In addition, the dummy cylinder 109 is made of quartz glass, and there is a variation in dimensions, particularly the inner diameter, even if it is manufactured with the same dimensions. For this reason, the steady rest 119 from which an outer diameter differs differs.
Before the jig is set, it is necessary to select the dummy cylinder 109 and the steady rest 119 that can hold an appropriate clearance.

また、特許文献２に記載の穿孔方法では、突き合わせ部の相対的な位置関係を検出する
ための三次元モニターの組み込みや、支持棒１０３を位置調整する多軸の位置調整装置の
組み込みのために、装置構成が繁雑化して、コストアップを招く。
従って、本発明の目的は上記課題を解消することに係り、偏心率が小さく、肉厚が均一
なガラス管を製造することができる安価なガラス管の製造方法およびガラス管の製造装置
を提供することである。 Further, in the drilling method described in Patent Document 2, for the incorporation of a three-dimensional monitor for detecting the relative positional relationship of the abutting portions, and for the incorporation of a multi-axis position adjustment device for adjusting the position of the support rod 103 The device configuration becomes complicated, leading to an increase in cost.
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described problems, and to provide an inexpensive glass tube manufacturing method and glass tube manufacturing apparatus capable of manufacturing a glass tube having a small eccentricity and a uniform wall thickness. That is.

本発明のガラス管の製造方法では、出発材料であるガラス素材を加熱して軟化領域を形成し、前記軟化領域に成形治具を挿入することによって、所定のサイズの内径を有するガラス管を成形するガラス管の製造方法であって、前記ガラス素材の成形開始端に接合される筒状のダミーシリンダの内部にステンレス等の高精度に加工された金属素材で製造された案内用基準パイプを配設し、前記成形治具よりも外径の大きい振れ止め治具を前記成形治具の挿入方向後方に設け、前記案内用基準パイプの内周面で前記振れ止め治具を摺動案内しながら前記成形治具を前記軟化領域に挿入することを特徴とする。
In the glass tube manufacturing method of the present invention, a glass material that is a starting material is heated to form a softened region, and a molding jig is inserted into the softened region, thereby forming a glass tube having an inner diameter of a predetermined size. A guide pipe made of a metal material processed with high precision such as stainless steel is disposed inside a cylindrical dummy cylinder joined to the glass material forming start end. An anti-skid jig having an outer diameter larger than that of the forming jig is provided at the rear of the forming jig in the insertion direction, and the anti-skid jig is slidably guided on the inner peripheral surface of the guiding reference pipe. The forming jig is inserted into the softened region.

望ましくは、前記軟化領域の外径を所定のサイズに成型する外径調整手段を設けると共
に、前記案内用基準パイプの中心軸線が前記外径調整手段の中心軸線と合うように前記案
内用基準パイプを位置調整することを特徴とする。 Preferably, the guide reference pipe is provided with outer diameter adjusting means for molding the outer diameter of the softened region into a predetermined size, and the center axis of the guide reference pipe is aligned with the center axis of the outer diameter adjusting means. The position is adjusted.

本発明のガラス管の製造装置では、出発材料であるガラス素材を加熱して軟化領域を形成する加熱手段と、前記軟化領域に挿入されることによって所定のサイズの内径を有するガラス管を成形する成形治具と、前記ガラス素材の成形開始端に接合される筒状のダミーシリンダの内部に配設されるステンレス等の高精度に加工された金属素材で製造された案内用基準パイプと、前記成形治具の挿入方向後方に取付けられる前記成形治具よりも外径の大きい振れ止め治具と、を備えることを特徴とする。
In the glass tube manufacturing apparatus of the present invention, a heating means for heating a glass material as a starting material to form a softened region, and a glass tube having an inner diameter of a predetermined size by being inserted into the softened region are formed. A forming reference, a guide pipe made of a metal material processed with high precision such as stainless steel disposed inside a cylindrical dummy cylinder joined to a molding start end of the glass material, And a steady-state jig having an outer diameter larger than that of the molding jig attached to the rear of the molding jig in the insertion direction.

望ましくは、前記軟化領域の外側からガラス管材料の外径を所定のサイズに成型する外
径調整手段を備えると共に、前記案内用基準パイプの位置調整機構を備えることを特徴と
する。 Desirably, it comprises an outer diameter adjusting means for molding the outer diameter of the glass tube material into a predetermined size from the outside of the softened region, and further includes a position adjusting mechanism for the guiding reference pipe.

以上説明したように、本発明のガラス管の製造方法およびガラス管の製造装置によれば
、成形または穿孔初期段階において成形治具をガラス材の軟化領域に挿入する際、該成形
治具自体が挿入方向後方に設けられた振れ止め治具により案内用基準パイプと同軸になる
ように調心される。振れ止め治具は案内用基準パイプの内周面で挿入案内されるので、案
内用基準パイプの中心軸をガラス材の成形開始端における中心軸線と一致させることによ
り、成形治具はガラス材の成形開始端における中心軸線に対して良好に調心された状態で
位置合わせされて挿入される。
そこで、三次元モニター等の高価な装置を使用せずとも、成形開始時にガラス素材の成
形開始端と成形治具の先端とを簡単に、且つ高精度に調心することができる。 As described above, according to the glass tube manufacturing method and glass tube manufacturing apparatus of the present invention, when the forming jig is inserted into the softened region of the glass material in the initial stage of forming or drilling, the forming jig itself It is centered so as to be coaxial with the guide reference pipe by a steadying jig provided at the rear in the insertion direction. Since the steady rest jig is inserted and guided on the inner peripheral surface of the guide reference pipe, the molding jig is made of the glass material by aligning the center axis of the guide reference pipe with the center axis of the glass material forming start end. It is aligned and inserted in a well-aligned state with respect to the central axis at the molding start end.
Therefore, without using an expensive device such as a three-dimensional monitor, the glass material forming start end and the forming jig tip can be easily and accurately aligned at the start of forming.

そして、振れ止め治具の外径が成形治具の外径よりも大きいと、成形治具がガラス素材
に挿入されても、振れ止め治具は、ガラス素材の成形開始端に当接して成形治具から離れ
るので、成形治具と一緒にガラス素材内に進入することがない。
従って、製造したガラス管の内面が振れ止め治具によって汚染されることもなく、偏心
率が小さく肉厚が均一なガラス管を安価に製造することができる。 And if the outside diameter of the steadying jig is larger than the outside diameter of the forming jig, the steadying jig will come into contact with the molding start end of the glass material even if the shaping jig is inserted into the glass material. Since it is separated from the jig, it does not enter the glass material together with the forming jig.
Therefore, the inner surface of the manufactured glass tube is not contaminated by the steadying jig, and a glass tube having a small eccentricity and a uniform thickness can be manufactured at low cost.

以下、本発明に係るガラス管の製造方法およびガラス管の製造装置の好適な実施形態に
ついて、図面を参照して詳細に説明する。
図１及び図２は、本発明に係るガラス管の製造方法を実施するガラス管の製造装置の実
施形態を示したものである。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a glass tube manufacturing method and a glass tube manufacturing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
1 and 2 show an embodiment of a glass tube manufacturing apparatus for carrying out the glass tube manufacturing method according to the present invention.

本実施形態に係るガラス管の製造装置１は、図１に示すように、出発材料である円柱状
の石英ガラス素材（ガラス素材）３の中心軸線を水平に向けて支持するガラス支持手段５
と、先端に穿孔用の成形治具７が装備された支持棒９と、成形治具７の先端が石英ガラス
素材３の成形開始端（図１中右端）に対向するように支持棒９の基端を片持ち状態に支持
する棒支持手段１１と、前記成形治具７の先端近傍の石英ガラス素材３を加熱軟化させる
加熱手段１３と、石英ガラス素材３を成形治具７の中心軸線に沿って相対移動させるガラ
ス移動手段１５と、成形治具７の挿入方向後端に着脱自在に設けられた振れ止め治具２１
を内周面で摺動案内する案内用基準パイプ３３と、案内用基準パイプ３３を中心軸線に沿
って相対移動させる基準パイプ支持手段４３と、を備える。図１では、案内用基準パイプ
３３を基準パイプ支持手段４３で把持しているが、案内用基準パイプ３３を第２の送りテ
ーブル５３で固定して基準パイプ支持手段４３を省略しても良い。 As shown in FIG. 1, a glass tube manufacturing apparatus 1 according to the present embodiment has a glass support means 5 that supports the center axis of a columnar quartz glass material (glass material) 3 as a starting material horizontally.
The support rod 9 provided with a forming jig 7 for drilling at the tip, and the support rod 9 so that the tip of the forming jig 7 faces the forming start end (right end in FIG. 1) of the quartz glass material 3. Rod support means 11 for supporting the base end in a cantilever state, heating means 13 for heating and softening the quartz glass material 3 in the vicinity of the tip of the forming jig 7, and the quartz glass material 3 as the central axis of the forming jig 7 A glass moving means 15 for relative movement along the direction, and a steadying jig 21 detachably provided at the rear end of the forming jig 7 in the insertion direction.
And a reference pipe support means 43 for relatively moving the guide reference pipe 33 along the central axis. In FIG. 1, the guide reference pipe 33 is gripped by the reference pipe support means 43, but the guide reference pipe 33 may be fixed by the second feed table 53 and the reference pipe support means 43 may be omitted.

そして、加熱手段１３により石英ガラス素材３の成形開始端近傍を加熱して軟化領域を
形成し、この軟化領域に成形治具７を徐々に挿入することで、石英ガラス素材３を所定の
サイズの内径を有する石英ガラス管に成形する。
前記ガラス支持手段５は、チャック５１ａを介して石英ガラス素材３の基端（図１中左
端）を把持する第１の送りテーブル５１と、チャック５３ａ介して石英ガラス素材３の先
端（成形開始端）に接合される円筒状のダミーシリンダ１７を把持する第２の送りテーブ
ル５３と、を備えた構成であり、これら第１及び第２の送りテーブル５１，５３によって
、石英ガラス素材３を両持ち状態に支持する。 Then, the heating means 13 is used to heat the vicinity of the forming start end of the quartz glass material 3 to form a softened region, and by gradually inserting the forming jig 7 into this softened region, the quartz glass material 3 having a predetermined size is formed. Molded into a quartz glass tube having an inner diameter.
The glass support means 5 includes a first feed table 51 that holds the base end (left end in FIG. 1) of the quartz glass material 3 via the chuck 51a, and the tip (formation start end) of the quartz glass material 3 via the chuck 53a. And a second feed table 53 for gripping the cylindrical dummy cylinder 17 joined to each other), and the first and second feed tables 51 and 53 hold the quartz glass material 3 in both ends. Support the state.

また、これら第１及び第２の送りテーブル５１，５３は、石英ガラス素材３及び支持棒
９の中心軸線に沿って移動可能にそれぞれ基台５５，５７に配置されており、図示せぬモ
ータからの駆動力により所定速度で石英ガラス素材３を軸方向に移動させる例えばボール
ネジ・ナットやラック＆ピニオン等を備えたガラス移動手段１５を構成している。
更に、第１及び第２の送りテーブル５１，５３のチャック５１ａ，５３ａには、図１に
示すように、それぞれ支持した石英ガラス素材３をフレーム５１ｄ，５３ｄに対してモー
タ５１ｂ，５３ｂによりその中心軸線回りに所定の回転速度で回転させる回転駆動機構が
装備されている。 The first and second feed tables 51 and 53 are arranged on the bases 55 and 57 so as to be movable along the central axes of the quartz glass material 3 and the support rod 9, respectively. The glass moving means 15 provided with, for example, a ball screw / nut, a rack & pinion, or the like for moving the quartz glass material 3 in the axial direction at a predetermined speed by the driving force is configured.
Further, as shown in FIG. 1, the chucks 51a and 53a of the first and second feed tables 51 and 53 are respectively centered on the quartz glass material 3 supported by the motors 51b and 53b with respect to the frames 51d and 53d. A rotation drive mechanism that rotates around the axis at a predetermined rotation speed is provided.

前記棒支持手段１１は、基台５７に立設された支柱１１ａに装備したチャック１１ｂに
よって、支持棒９の基端を把持するものである。チャック１１ｂは、把持した支持棒９を
その中心軸回りに所定の回転速度で回転させる回転駆動機構（図示略）が装備されている
。 The rod support means 11 grips the base end of the support rod 9 by a chuck 11 b mounted on a support column 11 a erected on a base 57. The chuck 11b is equipped with a rotation drive mechanism (not shown) for rotating the gripped support bar 9 around the central axis at a predetermined rotation speed.

更に、前記加熱手段１３における発熱体１３ａの内側には、石英ガラス素材３の外径を
所定のサイズに成型する外径調整手段２５が配設されている。
尚、この外径調整手段２５としては、所定の間隔を持つように平行に配設された平板、
断面円形の穴を有するダイス、ガラス管の形状に合わせた断面円弧の溝が付された板など
が適用可能である。 Furthermore, an outside diameter adjusting means 25 for forming the outside diameter of the quartz glass material 3 into a predetermined size is disposed inside the heating element 13a in the heating means 13.
As the outer diameter adjusting means 25, a flat plate arranged in parallel so as to have a predetermined interval,
A die having a hole with a circular cross section, a plate provided with a groove having a circular arc in accordance with the shape of the glass tube, and the like are applicable.

そして本実施形態に係るガラス管の製造装置１では、前記石英ガラス素材３の成形開始
端に溶着して接合されるダミーシリンダ１７の内部に配設された案内用基準パイプ３３の
内径よりも小さくかつ前記成形治具７の外径よりも大きい外径を有した振れ止め治具２１
が、前記成形治具７の挿入方向後端（図１中右端）に着脱自在に設けられている。
この有底円筒状の振れ止め治具２１は、案内用基準パイプ３３内を挿通する支持棒９に
よって底部を貫通されて支持棒９と摺動可能とされると共に、成形治具７の挿入方向後端
に嵌合して取付けられている。 In the glass tube manufacturing apparatus 1 according to this embodiment, the inner diameter of the guide reference pipe 33 disposed inside the dummy cylinder 17 welded and joined to the molding start end of the quartz glass material 3 is smaller than the inner diameter. In addition, the steady rest jig 21 having an outer diameter larger than the outer diameter of the forming jig 7.
Is detachably provided at the rear end (right end in FIG. 1) of the forming jig 7 in the insertion direction.
The bottomed cylindrical steady rest jig 21 is slidable with the support bar 9 through the bottom by a support bar 9 inserted through the guide reference pipe 33, and the insertion direction of the forming jig 7 It is fitted to the rear end.

成形治具７は、振れ止め治具２１に対する径方向（挿入方向に垂直な方向）の振れが抑
制されている。振れ止め治具２１は、案内用基準パイプ３３に対する径方向の振れが抑制
されている。従って成形治具７は、挿入方向後方に設けられた振れ止め治具２１を介して
案内用基準パイプ３３内における径方向の振れを抑制されている。 In the forming jig 7, the deflection in the radial direction (direction perpendicular to the insertion direction) with respect to the steadying jig 21 is suppressed. The steadying jig 21 is restrained from shaking in the radial direction with respect to the guide reference pipe 33. Therefore, the shaping jig 7 is suppressed from shaking in the radial direction in the guide reference pipe 33 through the steadying jig 21 provided at the rear in the insertion direction.

即ち、図３において成形治具７は、案内用基準パイプ３３の内周面と振れ止め治具２１
の外周面との間のクリアランス分しか径方向に移動できず、このクリアランス分に相応す
る精度で自動的に成形治具７の径方向への振れが規制され、石英ガラス素材３と成形治具
７とは調心された状態になる。振れ止め治具２１は、案内用基準パイプ３３の内周面で摺
動案内される。ここで、案内用基準パイプ３３には、ステンレス等の加工性に優れた金属
を採用することで、簡単且つ安価に位置決め精度の向上を図ることができると共に、成形
治具７の振れ回り抑制効果を向上させて長期間にわたり維持することができる。
尚、前記案内用基準パイプ３３は、内部に水を循環させて冷却可能な構造を備えている
。 That is, in FIG. 3, the forming jig 7 includes the inner peripheral surface of the guide reference pipe 33 and the steadying jig 21.
Only the clearance between the outer peripheral surface and the outer peripheral surface can move in the radial direction, and the deflection of the molding jig 7 in the radial direction is automatically regulated with an accuracy corresponding to the clearance, and the quartz glass material 3 and the molding jig are controlled. 7 will be aligned. The steadying jig 21 is slidably guided on the inner peripheral surface of the guiding reference pipe 33. Here, for the guide reference pipe 33, by using a metal having excellent workability such as stainless steel, the positioning accuracy can be improved easily and inexpensively, and the effect of suppressing the swinging of the forming jig 7 can be achieved. Can be maintained over a long period of time.
The guide reference pipe 33 has a structure capable of cooling by circulating water therein.

更に、図２（ａ）に示すように、径方向に移動可能とされた複数の把持部材４３ａによ
って前記外径調整手段２５の中心軸線と同心となるように前記案内用基準パイプ３３の中
心軸線を位置調整する位置調整機構が、前記基準パイプ支持手段４３に設けられている。
基準パイプ支持手段４３の把持部材４３ａには、図２（ｂ）に示すように、支持した案内
用基準パイプ３３をフレーム４３ｄに対してモータ４３ｂによりその中心軸線回りに所定
の回転速度で回転させる回転駆動機構が装備されている。 Further, as shown in FIG. 2A, the central axis of the guide reference pipe 33 is concentric with the central axis of the outer diameter adjusting means 25 by a plurality of gripping members 43a that are movable in the radial direction. The reference pipe support means 43 is provided with a position adjusting mechanism for adjusting the position of the reference pipe.
As shown in FIG. 2B, the gripping member 43a of the reference pipe support means 43 rotates the guided reference pipe 33 supported by the motor 43b around the central axis at a predetermined rotational speed with respect to the frame 43d. Equipped with a rotary drive mechanism.

案内用基準パイプ３３は、図２（ｂ）に示すようにダミーシリンダ１７と別々に把持す
る方式でも、図２（ｃ）に示すように径方向に移動可能とされた複数の把持部材５３ｃを
第２の送りテーブル５３に設けることによって、該第２の送りテーブル５３にダミーシリ
ンダ１７と共に把持する方式でもかまわない。
ガラス管の成形処理を開始する前の位置調整時には、案内用基準パイプ３３の中心軸線
が外径調整手段２５の中心軸線と合うように位置調整される。 As shown in FIG. 2 (b), the guide reference pipe 33 is configured to hold a plurality of gripping members 53c movable in the radial direction as shown in FIG. By providing the second feed table 53, a method of gripping the second feed table 53 together with the dummy cylinder 17 may be used.
At the time of adjusting the position before starting the glass tube forming process, the position is adjusted so that the center axis of the guide reference pipe 33 is aligned with the center axis of the outer diameter adjusting means 25.

前記加熱手段１３は、石英ガラス素材３の成形開始端近傍を誘導加熱によって部分的に
加熱するもので、石英ガラス素材３を囲繞するように配置したカーボンチューブからなる
発熱体１３ａを有している。この発熱体１３ａはヒータ支持台１４に固定されている。
ここで、加熱手段１３の加熱温度は、石英ガラス素材３が軟化するガラス軟化点（例え
ば、１７００℃）程度で加熱されるように設定されている。 The heating means 13 partially heats the vicinity of the forming start end of the quartz glass material 3 by induction heating, and has a heating element 13a made of a carbon tube disposed so as to surround the quartz glass material 3. . The heating element 13 a is fixed to the heater support 14.
Here, the heating temperature of the heating means 13 is set to be heated at a glass softening point (for example, 1700 ° C.) at which the quartz glass material 3 is softened.

次に、上述したガラス管の製造装置１によって、石英ガラス素材３から所定のサイズの
内径を有するガラス管を成形するガラス管の製造方法について説明する。
先ず、図１に示すように、第１の送りテーブル５１のチャック５１ａに出発材料として
の石英ガラス素材３の一端を固定する。
一方、棒支持手段１１により片持ち支持された支持棒９の先端に装備した成形治具７と
、該成形治具７の挿入方向後端に取付けられた振れ止め治具２１とを、基準パイプ支持手
段４３に把持された案内用基準パイプ３３内に配置する。 Next, a glass tube manufacturing method for forming a glass tube having an inner diameter of a predetermined size from the quartz glass material 3 by the glass tube manufacturing apparatus 1 described above will be described.
First, as shown in FIG. 1, one end of a quartz glass material 3 as a starting material is fixed to a chuck 51 a of a first feed table 51.
On the other hand, the forming jig 7 provided at the tip of the support bar 9 cantilevered by the bar support means 11 and the steadying jig 21 attached to the rear end in the insertion direction of the forming jig 7 are connected to the reference pipe. It is arranged in the guide reference pipe 33 held by the support means 43.

案内用基準パイプ３３は、基準パイプ支持手段４３に把持された状態で予め外径調整手
段２５と中心が合うように調整しておく。両者の中心のズレは、０．１ｍｍ以内となるの
が好ましい。外径調整手段２５の代わりに、加熱手段１３の中心軸と合わせておくことで
も良い。案内用基準パイプ３３は、ステンレス等の高精度に加工された金属素材を用いる
と、一旦中心調整すれば以降は外径調整手段２５との芯を合わせる必要がない。 The guide reference pipe 33 is adjusted in advance so as to be centered with the outer diameter adjusting means 25 while being held by the reference pipe support means 43. The deviation between the centers of the two is preferably within 0.1 mm. Instead of the outer diameter adjusting means 25, it may be aligned with the central axis of the heating means 13. When the guide reference pipe 33 is made of a highly accurate metal material such as stainless steel, once the center is adjusted, it is not necessary to align the core with the outer diameter adjusting means 25 thereafter.

次いで、ダミーシリンダ１７を把持するチャック５３ａを調整することで、ダミーシリ
ンダ１７の回転軸が案内用基準パイプ３３の回転軸と一致するように調整する。ダミーシ
リンダ１７は石英ガラス製等で、ダミーシリンダ毎に外径・内径が微妙にずれるため、予
め中心軸が調整されている案内用基準パイプ３３に合わせてダミーシリンダ１７の内面の
中心軸を合わせていくのが望ましい。ダミーシリンダ１７を第２の送りテーブル５３にセ
ットし、ダミーシリンダ１７を回転させながら案内用基準パイプ３３とのクリアランスが
均等になるようにチャック５３ａを調整する。 Next, by adjusting the chuck 53 a that holds the dummy cylinder 17, the rotation axis of the dummy cylinder 17 is adjusted to coincide with the rotation axis of the guide reference pipe 33. The dummy cylinder 17 is made of quartz glass or the like, and the outer diameter and inner diameter of each dummy cylinder are slightly shifted. Therefore, the center axis of the inner surface of the dummy cylinder 17 is aligned with the reference pipe 33 for guide whose center axis is adjusted in advance. It is desirable to go. The dummy cylinder 17 is set on the second feed table 53, and the chuck 53a is adjusted so that the clearance with the guide reference pipe 33 is uniform while the dummy cylinder 17 is rotated.

次いで、支持棒９の先端に成形治具７および振れ止め治具２１をセットした状態で、案
内用基準パイプ３３の内側にこれらを挿入する。成形治具７と振れ止め治具２１、振れ止
め治具２１と案内用基準パイプ３３のクリアランスはそれぞれ０．０５ｍｍ以内になるよ
うに作成されており、案内用基準パイプ３３に内接させることにより、振れ回りは０．１
ｍｍ以内に抑え込まれている。
これにより、成形開始段階での成形治具７の振れ回りは抑えられ、成形治具７の中心は
外径調整手段２５、及びダミーシリンダ１７の内面の中心軸に高精度に一致させることが
可能となる。 Next, in a state where the forming jig 7 and the steadying jig 21 are set at the tip of the support bar 9, these are inserted into the inside of the guiding reference pipe 33. The clearances of the forming jig 7 and the steadying jig 21 and the steadying jig 21 and the guiding reference pipe 33 are each set to be within 0.05 mm, and are inscribed in the guiding reference pipe 33. The swing is 0.1
It is suppressed within mm.
Thereby, the swing of the forming jig 7 at the start of forming can be suppressed, and the center of the forming jig 7 can be made to coincide with the center axis of the inner surface of the outer diameter adjusting means 25 and the dummy cylinder 17 with high accuracy. It becomes.

ダミーシリンダ１７の先端を石英ガラス素材３の成形開始端に同心的な状態で突き合わ
せ、回転させながら加熱手段１３をオンにする。つまり、コイル１３ｂに通電して発熱体
１３ａに誘導電力を生じさせて該発熱体１３ａを発熱させる。そして、石英ガラス素材３
とダミーシリンダ１７の突き合わせ部をガラス軟化点（例えば１７００℃）まで加熱して
融着させる。 The tip of the dummy cylinder 17 is abutted concentrically with the forming start end of the quartz glass material 3, and the heating means 13 is turned on while rotating. That is, the coil 13b is energized to generate inductive power in the heating element 13a to cause the heating element 13a to generate heat. And quartz glass material 3
The butted portion of the dummy cylinder 17 is heated and fused to the glass softening point (for example, 1700 ° C.).

次に、石英ガラス素材３の成形開始端近傍が引き抜き成形可能な軟化領域となるまで加
熱する。そして、第１及び第２の送りテーブル５１，５３をそれぞれ駆動し、石英ガラス
素材３及び成形治具７を同軸的にそれぞれ１〜５０ｒｐｍ、１〜２０ｒｐｍで同一方向に
回転させるとともに、第１及び第２の送りテーブル５１，５３と基準パイプ支持手段４３
をそれぞれ所定の速度で図１中右方向へ移動させる。また、加熱手段１３の内側に取付け
られた外径調整手段２５を成型位置にセットして石英ガラス素材３の軟化領域の外周に当
接させる。 Next, it heats until the shaping | molding start end vicinity of the quartz glass raw material 3 turns into the softening area | region which can be drawn. Then, the first and second feed tables 51 and 53 are driven, respectively, and the quartz glass material 3 and the forming jig 7 are coaxially rotated in the same direction at 1 to 50 rpm and 1 to 20 rpm, respectively. Second feed tables 51 and 53 and reference pipe support means 43
Are moved to the right in FIG. 1 at a predetermined speed. Further, the outer diameter adjusting means 25 attached inside the heating means 13 is set at the molding position and brought into contact with the outer periphery of the softened region of the quartz glass material 3.

すると、図３（ａ）に示すように、軟化された石英ガラス素材３内に成形治具７が相対
的に挿入されて所定のサイズの内径を有する孔を穿設すると共に、外径調整手段２５が石
英ガラス素材３の外周を所定のサイズの外径に成型する。
この成形（穿孔）初期段階において、成形治具７を石英ガラス素材３の軟化領域に挿入
する際、成形治具７自体の径方向の振れが成形治具７の挿入方向後端に嵌装された振れ止
め治具２１を介して抑制される。 Then, as shown in FIG. 3A, the forming jig 7 is relatively inserted into the softened quartz glass material 3 to form a hole having an inner diameter of a predetermined size, and an outer diameter adjusting means. 25 molds the outer periphery of the quartz glass material 3 to an outer diameter of a predetermined size.
In the initial stage of forming (drilling), when the forming jig 7 is inserted into the softened region of the quartz glass material 3, the radial deflection of the forming jig 7 itself is fitted to the rear end of the forming jig 7 in the insertion direction. It is suppressed via the steady rest jig 21.

そこで、成形治具７は石英ガラス素材３の成形開始端における中心軸線に対して良好に
調心された状態で位置合わせされて挿入される。
従って、三次元モニター等の高価な装置を使用せずとも、成形開始時に石英ガラス素材
３の成形開始端と成形治具７の先端とを簡単に、且つ高精度に調心することができる。 Therefore, the forming jig 7 is inserted after being aligned in a well-aligned state with respect to the central axis at the forming start end of the quartz glass material 3.
Therefore, without using an expensive apparatus such as a three-dimensional monitor, the forming start end of the quartz glass material 3 and the tip of the forming jig 7 can be easily and accurately aligned at the start of forming.

そして、加熱軟化している石英ガラス素材３の軟化領域に成形治具７を更に挿通させる
と、該成形治具７の挿入方向後端に着脱自在に設けられて成形治具７の外径よりも大きい
外径を有する振れ止め治具２１は、図３（ｂ）に示すように、石英ガラス素材３の成形開
始端に当接して成形治具７から脱落するので、成形治具７と一緒に石英ガラス素材３内に
進入することがない。尚、これ以降は成形治具７の後方が順次冷却固化されたガラス管Ｇ
に拘束された状態で石英ガラス素材３内を進入するので、穿孔終了するまで振れ回りが悪
化することはない。
従って、製造したガラス管の内面が振れ止め治具２１によって汚染されることもなく、
偏心率が小さく肉厚が均一なガラス管を安価に製造することができる。 Then, when the molding jig 7 is further inserted into the softened region of the quartz glass material 3 that has been softened by heating, it is detachably provided at the rear end of the molding jig 7 in the insertion direction. As shown in FIG. 3B, the steady-state jig 21 having a larger outer diameter comes into contact with the molding start end of the quartz glass material 3 and falls off from the molding jig 7. The quartz glass material 3 does not enter the glass. In addition, after this, the glass tube G in which the rear of the forming jig 7 is cooled and solidified sequentially.
Since it enters the quartz glass material 3 while being constrained by the sway, the whirling does not deteriorate until the drilling is completed.
Therefore, the inner surface of the manufactured glass tube is not contaminated by the steady rest jig 21,
A glass tube having a small eccentricity and a uniform thickness can be manufactured at low cost.

更に、本実施形態のガラス管の製造装置１によるガラス管の製造方法では、石英ガラス
素材３の軟化領域に挿入されて石英ガラス素材３を穿孔する成形治具７が、成形開始時に
案内用基準パイプ３３により径方向の振れが規制されて所定の寸法精度に調心される一方
、外径調整手段２５の中心軸線と同心となるように位置調整されている。 Furthermore, in the glass tube manufacturing method by the glass tube manufacturing apparatus 1 of the present embodiment, the molding jig 7 that is inserted into the softened region of the quartz glass material 3 and perforates the quartz glass material 3 serves as a guide reference at the start of molding. The pipe 33 restricts radial runout and is adjusted to a predetermined dimensional accuracy, while being adjusted to be concentric with the central axis of the outer diameter adjusting means 25.

成形されたガラス管は、外径調整手段２５により外周面の位置が決定されるので、外径
調整手段２５と成形治具７が同心となることは、外周面と中心孔とが同心になることであ
り、偏肉の無い高精度な円筒となる。
もし、石英ガラス素材３の中心軸線と外径調整手段２５の中心軸線とがズレてしまって
も、本実施形態によればガラス管の偏肉が防止される。
従って、偏心率が小さく肉厚が均一なガラス管を安価に製造することができる。 Since the outer diameter of the molded glass tube is determined by the outer diameter adjusting means 25, the outer diameter adjusting means 25 and the forming jig 7 are concentric with each other so that the outer peripheral surface and the center hole are concentric. That is, a highly accurate cylinder without uneven thickness.
Even if the center axis of the quartz glass material 3 and the center axis of the outer diameter adjusting means 25 are misaligned, the thickness deviation of the glass tube is prevented according to this embodiment.
Therefore, a glass tube having a small eccentricity and a uniform thickness can be manufactured at low cost.

尚、上記実施形態では、出発材料である石英ガラス素材３としては、中実の円柱状のも
のを使用したが、中心に孔が穿設された円筒状のものを出発材料として利用することも可
能である。また、石英ガラス素材３は純石英でもよく、フッ素や塩素などの添加物を添加
したガラス素材でも良い。
また、上記実施形態においては、中実の石英ガラス素材３の成形開始端面に挿入穿孔す
る成形治具７を使用してガラス管を作製する例を示したが、中空のガラス素材の孔内に成
形治具を挿入し、孔を所望の内径に拡径又は縮径してガラス管を作製するガラス管の製造
方法にも適用できる。 In the above embodiment, the quartz glass material 3 that is a starting material is a solid columnar material, but a cylindrical material having a hole in the center may be used as a starting material. Is possible. The quartz glass material 3 may be pure quartz or a glass material to which an additive such as fluorine or chlorine is added.
Moreover, in the said embodiment, although the example which produces a glass tube using the shaping | molding jig | tool 7 which inserts and drills in the shaping | molding start end surface of the solid quartz glass raw material 3 was shown, in the hole of a hollow glass raw material The present invention can also be applied to a glass tube manufacturing method in which a forming jig is inserted and a hole is expanded or contracted to a desired inner diameter to produce a glass tube.

以下、上記実施形態に係るガラス管の製造装置１の具体的な実施例を示す。
石英ガラス素材３には、外径が１８０ｍｍ、長さが２０００ｍｍの丸棒を使用した。又
、ダミーシリンダ１７には、内径が１００ｍｍ、長さが１５００ｍｍのものを使用した。
ダミーシリンダ１７の内部に配設される案内用基準パイプ３３は、外径が９０ｍｍ、内
径が７０ｍｍのステンレス製であり、内部には水を循環させて冷却可能な構造を備えてい
る。また、外径調整手段２５の内径を１４０ｍｍ、成形治具７の外径を８０ｍｍとした。 Hereinafter, the specific Example of the manufacturing apparatus 1 of the glass tube which concerns on the said embodiment is shown.
As the quartz glass material 3, a round bar having an outer diameter of 180 mm and a length of 2000 mm was used. A dummy cylinder 17 having an inner diameter of 100 mm and a length of 1500 mm was used.
The guide reference pipe 33 disposed inside the dummy cylinder 17 is made of stainless steel having an outer diameter of 90 mm and an inner diameter of 70 mm, and has a structure capable of cooling by circulating water inside. The inner diameter of the outer diameter adjusting means 25 was 140 mm, and the outer diameter of the forming jig 7 was 80 mm.

石英ガラス素材３とダミーシリンダ１７をそれぞれ一定速度で回転させながら加熱手段
１３の中心付近に移動させ、加熱手段１３に誘導電力を供給して、石英ガラス素材３を約
１７００℃に加熱・軟化させた上で、加熱手段１３のほぼ中央部で石英ガラス素材３とダ
ミーシリンダ１７を接触させて接合させる。
この時、成形治具７は、振れ止め治具２１に支持された状態で案内用基準パイプ３３に
セットされ、先端位置は外径調整手段２５付近に固定しておく。ダミーシリンダ１７と一
体化させた石英ガラス素材３を移動させることで、外径調整手段２５と成形治具７の径に
合わせて石英ガラス素材３が高精度に成形される。 The quartz glass material 3 and the dummy cylinder 17 are respectively moved to the vicinity of the center of the heating means 13 while rotating at a constant speed, and induction power is supplied to the heating means 13 to heat and soften the quartz glass material 3 to about 1700 ° C. After that, the quartz glass material 3 and the dummy cylinder 17 are brought into contact with each other at the substantially central portion of the heating means 13 and joined.
At this time, the forming jig 7 is set on the guiding reference pipe 33 while being supported by the steadying jig 21, and the tip position is fixed near the outer diameter adjusting means 25. By moving the quartz glass material 3 integrated with the dummy cylinder 17, the quartz glass material 3 is formed with high accuracy in accordance with the diameters of the outer diameter adjusting means 25 and the forming jig 7.

上記ガラス管の製造装置１によって、上記寸法の石英ガラス素材３をガラス管に成形し
、成形したガラス管の長手位置における偏肉率を測定した。結果を図４に示す。
また、比較の為に図６に示した従来装置で同寸法のガラス管の成形を実施し、成形した
ガラス管の長手位置における偏肉率を測定した。結果を図４に示す。 The quartz glass material 3 having the above dimensions was formed into a glass tube by the glass tube manufacturing apparatus 1, and the thickness deviation rate at the longitudinal position of the formed glass tube was measured. The results are shown in FIG.
For comparison, a glass tube having the same dimensions was formed using the conventional apparatus shown in FIG. 6, and the thickness deviation rate at the longitudinal position of the formed glass tube was measured. The results are shown in FIG.

図４に示したように、従来の方法では、石英ガラス素材３の加工長さが増大するに従っ
て、偏肉が増大する。従来方式では、振れ止め具１１９が石英ガラス素材３の先端から成
形治具の長さ分（１００〜２００ｍｍ）離れた位置に存在するため、穿孔部材１０５の振
れを完全に抑えることができない。また、振れ止め具１１９の外径は、ダミーシリンダ１
７の内径と一定のクリアランスを確保しているが、石英ガラス製であるダミーシリンダ１
７の内径がバラツクため、クリアランスが増加することもその一因である。
しかし、本実施例の場合は、略一定の偏肉率で、偏肉率の小さい高精度なガラス管を製
造できることが確認できた。 As shown in FIG. 4, in the conventional method, the uneven thickness increases as the processing length of the quartz glass material 3 increases. In the conventional method, since the steady rest 119 is present at a position away from the tip of the quartz glass material 3 by the length of the forming jig (100 to 200 mm), the runout of the piercing member 105 cannot be completely suppressed. In addition, the outer diameter of the steady rest 119 is the dummy cylinder 1
A dummy cylinder 1 that has an inner diameter of 7 and a certain clearance, but is made of quartz glass.
One reason is that the inner diameter of 7 varies, and the clearance increases.
However, in the case of the present Example, it has confirmed that a highly accurate glass tube with a substantially uniform thickness deviation ratio and a small thickness deviation ratio could be manufactured.

本発明に係るガラス管の製造装置の実施形態を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows embodiment of the manufacturing apparatus of the glass tube which concerns on this invention. （ａ）は図１に示した基準パイプ支持手段の拡大正面図、（ｂ）は図１に示した第２の送りテーブル及び基準パイプ支持手段の拡大断面図、（ｃ）は図１に示した第２の送りテーブルの変形例を示す拡大断面図である。(A) is an enlarged front view of the reference pipe support means shown in FIG. 1, (b) is an enlarged sectional view of the second feed table and reference pipe support means shown in FIG. 1, and (c) is shown in FIG. It is an expanded sectional view showing the modification of the 2nd feed table. （ａ）は図１に示したガラス管の製造装置における穿孔開始時の石英ガラス素材と成形治具との調心状態を示す拡大断面図、（ｂ）は図１に示したガラス管の製造装置における穿孔処理中の拡大断面図である。(A) is an expanded sectional view which shows the alignment state of the quartz glass raw material and shaping | molding jig | tool at the time of the punching start in the manufacturing apparatus of the glass tube shown in FIG. 1, (b) is manufacture of the glass tube shown in FIG. It is an expanded sectional view in the drilling process in an apparatus. 図１に示したガラス管の製造装置と従来のガラス管の製造装置とでの偏肉率の比較図である。It is a comparison figure of the thickness deviation rate with the manufacturing apparatus of the glass tube shown in FIG. 1, and the manufacturing apparatus of the conventional glass tube. 従来のガラス管の製造装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the manufacturing apparatus of the conventional glass tube. 図５に示したガラス管の製造装置における穿孔用治具の振れ防止構造を示す要部拡大図である。It is a principal part enlarged view which shows the shake prevention structure of the jig | tool for punching in the manufacturing apparatus of the glass tube shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１ ガラス管の製造装置
３ 石英ガラス素材（ガラス素材）
５ ガラス支持手段
７ 成形治具
９ 支持棒
１１ 棒支持手段
１３ 加熱手段
１５ ガラス移動手段
１７ ダミーシリンダ
２１ 振れ止め治具
２５ 外径調整手段
３３ 案内用基準パイプ
４３ 基準パイプ支持手段
５１ 第１の送りテーブル
５３ 第２の送りテーブル
５５，５７ 基台
1 Glass tube manufacturing equipment 3 Quartz glass material (glass material)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 5 Glass support means 7 Forming jig 9 Support rod 11 Rod support means 13 Heating means 15 Glass moving means 17 Dummy cylinder 21 Stabilizing jig 25 Outer diameter adjustment means 33 Guide reference pipe 43 Reference pipe support means 51 First feed Table 53 Second feed table 55, 57 Base

Claims (4)

出発材料であるガラス素材を加熱して軟化領域を形成し、前記軟化領域に成形治具を挿入することによって、所定のサイズの内径を有するガラス管を成形するガラス管の製造方法であって、
前記ガラス素材の成形開始端に接合される筒状のダミーシリンダの内部にステンレス等の高精度に加工された金属素材で製造された案内用基準パイプを配設し、前記成形治具よりも外径の大きい振れ止め治具を前記成形治具の挿入方向後方に設け、前記案内用基準パイプの内周面で前記振れ止め治具を摺動案内しながら前記成形治具を前記軟化領域に挿入することを特徴とするガラス管の製造方法。 A glass tube manufacturing method for forming a glass tube having an inner diameter of a predetermined size by heating a glass material as a starting material to form a softened region and inserting a forming jig into the softened region,
A guide reference pipe made of a metal material processed with high precision such as stainless steel is disposed inside a cylindrical dummy cylinder joined to the glass material forming start end, and is disposed outside the molding jig. A large-diameter steadying jig is provided behind the molding jig in the insertion direction, and the molding jig is inserted into the softening region while sliding the steadying jig on the inner peripheral surface of the guiding reference pipe. A method for producing a glass tube, comprising: 前記軟化領域の外径を所定のサイズに成型する外径調整手段を設けると共に、前記案内用基準パイプの中心軸線が前記外径調整手段の中心軸線と合うように前記案内用基準パイプを位置調整することを特徴とする請求項１に記載のガラス管の製造方法。   An outer diameter adjusting means for forming the outer diameter of the softened region into a predetermined size is provided, and the position of the guide reference pipe is adjusted so that the center axis of the guide reference pipe matches the center axis of the outer diameter adjusting means. The manufacturing method of the glass tube of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 出発材料であるガラス素材を加熱して軟化領域を形成する加熱手段と、前記軟化領域に挿入されることによって所定のサイズの内径を有するガラス管を成形する成形治具と、前記ガラス素材の成形開始端に接合される筒状のダミーシリンダの内部に配設されるステンレス等の高精度に加工された金属素材で製造された案内用基準パイプと、前記成形治具の挿入方向後方に取付けられる前記成形治具よりも外径の大きい振れ止め治具と、
を備えることを特徴とするガラス管の製造装置。 Heating means for heating a glass material as a starting material to form a softened region, a forming jig for forming a glass tube having an inner diameter of a predetermined size by being inserted into the softened region, and molding of the glass material A guide pipe made of a metal material processed with high precision such as stainless steel disposed inside a cylindrical dummy cylinder joined to the start end, and attached to the rear of the forming jig in the insertion direction. A steady rest jig having an outer diameter larger than that of the forming jig ,
An apparatus for manufacturing a glass tube, comprising: 前記軟化領域の外側からガラス管材料の外径を所定のサイズに成型する外径調整手段を備えると共に、前記案内用基準パイプの位置調整機構を備えることを特徴とする請求項３に記載のガラス管の製造装置。
The glass according to claim 3, further comprising an outer diameter adjusting unit that molds the outer diameter of the glass tube material into a predetermined size from the outside of the softened region, and a position adjusting mechanism for the guiding reference pipe. Pipe manufacturing equipment.

Images