JP4280268B2

JP4280268B2 - Disk drive suspension

Info

Publication number: JP4280268B2
Application number: JP2006001700A
Authority: JP
Inventors: 康司高木; 幸司魚住; 正夫半谷; 則幸齋藤
Original assignee: NHK Spring Co Ltd
Current assignee: NHK Spring Co Ltd
Priority date: 1999-09-17
Filing date: 2006-01-06
Publication date: 2009-06-17
Anticipated expiration: 2020-02-29
Also published as: JP2006139913A

Description

この発明は、例えばパーソナルコンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるディスクドライブ用サスペンションに関する。 The present invention relates to a disk drive suspension built in an information processing apparatus such as a personal computer.

回転する磁気ディスクあるいは光磁気ディスク等に情報を記録し再生するためのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、軸を中心に旋回可能なキャリッジを有している。このキャリッジは、ポジショニング用モータによって、前記軸を中心に旋回駆動される。 2. Description of the Related Art A hard disk drive (HDD) for recording and reproducing information on a rotating magnetic disk or magneto-optical disk has a carriage that can pivot about an axis. The carriage is driven to rotate around the axis by a positioning motor.

例えば米国特許（ＵＳＰ）第４，１６７，７６５号明細書に記載されているようにキャリッジは、アームと、アームの先端部に設けたサスペンションと、サスペンションに取付けたスライダを含むヘッド部などを備えている。そしてディスクが高回転することによってスライダがディスクから僅かに浮上するとともに、ディスクとスライダとの間にエアベアリングが形成されるようになっている。 For example, as described in US Pat. No. 4,167,765, a carriage includes an arm, a suspension provided at the tip of the arm, a head portion including a slider attached to the suspension, and the like. ing. When the disk rotates at a high speed, the slider slightly floats from the disk, and an air bearing is formed between the disk and the slider.

前記サスペンションは、精密な薄板ばねからなるロードビーム（load beam ）と、ロードビームの先端部にレーザ溶接等によって固定された極薄い板ばねからなるフレキシャ（flexure ）と、ロードビームの基部にレーザ溶接等によって固定されたベースプレートなどからなる。ベースプレートは前記アームのサスペンション取付面に固定される。 The suspension includes a load beam made of a precise thin plate spring, a flexure made of a very thin plate spring fixed to the tip of the load beam by laser welding or the like, and a laser weld to the base of the load beam. It consists of a base plate fixed by etc. The base plate is fixed to the suspension mounting surface of the arm.

このようなディスクドライブでは、記録すべき情報の高密度化とディスクの高回転化が進む傾向にある。したがってディスクドライブ用サスペンションは、ディスクの記録面に対して高精度に位置決めすることの可能な優れた振動特性を有すること、およびディスクの高回転化によって生じる風乱の影響を受けにくいことが要求される。しかもこの種のサスペンションには、新たに要求される種々の機能に対応すべく、さらに複雑な加工が施される傾向もある。
米国特許第４，１６７，７６５号明細書 In such a disk drive, there is a tendency that information to be recorded has a higher density and a higher rotation speed of the disk. Therefore, disk drive suspensions are required to have excellent vibration characteristics that can be positioned with high precision with respect to the recording surface of the disk, and to be less susceptible to wind turbulence caused by higher disk rotation. The In addition, this type of suspension also tends to be subjected to more complicated processing to cope with various newly required functions.
U.S. Pat. No. 4,167,765

前記サスペンションは、ディスクの高密度化に伴って、さらに高剛性でかつ、ばね定数が低いことが要求されている。しかし従来は、図１１に示すサスペンション１のロードビーム２のように、長さＬ１にわたる剛体部２ａと、長さＬ２のばね部２ｂとが一体となった部品であるため、剛体部２ａに要求される性能（高剛性）と、ばね部２ｂに要求される性能（低ばね定数）とを同時に満足することが難しかった。 The suspension is required to have higher rigidity and a lower spring constant as the disk density increases. However, conventionally, since the rigid body portion 2a having the length L1 and the spring portion 2b having the length L2 are integrated as the load beam 2 of the suspension 1 shown in FIG. 11, the rigid body portion 2a is required. It is difficult to simultaneously satisfy the performance (high rigidity) and the performance (low spring constant) required for the spring portion 2b.

特に剛体部２ａは、ばね部２ｂによって材質と板厚が制約を受けてしまうことから、剛体部２ａの剛性を高くするために、剛体部２ａの両側縁を折曲げることによって曲げ縁３を形成したり、あるいはエンボス加工によってリブ４を形成する必要があった。このためロードビーム２に高精度な加工が必要であり、加工工数が多く、コストも高くなる。 In particular, since the material portion and the plate thickness of the rigid body portion 2a are restricted by the spring portion 2b, the bending edge 3 is formed by bending both side edges of the rigid body portion 2a in order to increase the rigidity of the rigid body portion 2a. Or the ribs 4 have to be formed by embossing. For this reason, the load beam 2 needs to be processed with high accuracy, which requires a large number of processing steps and high costs.

しかもロードビーム２に形成する曲げ縁３やリブ４は、風の流れを妨げる原因となるため、ディスクが高回転したときに風乱の影響を受けやすく、ロードビーム２がばたつくという問題も生じた。なお、ロードビーム２の基部にベースプレート５が固定されている。ロードビーム２の先端部にフレキシャ６が固定されている。フレキシャ６にはヘッド部７を構成するスライダ８が装着される。 In addition, the bent edges 3 and ribs 4 formed on the load beam 2 cause the flow of the wind to be hindered, so that the disk is easily affected by wind turbulence when the disk rotates at a high speed, and the load beam 2 flutters. . A base plate 5 is fixed to the base of the load beam 2. A flexure 6 is fixed to the tip of the load beam 2. A slider 8 constituting the head unit 7 is attached to the flexure 6.

ロードビームのばね定数を下げるために、例えば特開平９−１９１００４号公報に記載されているロードビームのように、ばね部の板厚をパーシャルエッチングによって部分的に薄くすることも提案されている。しかしながらパーシャルエッチングによってばね部の板厚を正確に制御することには限界があり、ばね部の板厚が不安定になって、ばね定数がばらつきやすいという問題があった。 In order to reduce the spring constant of the load beam, it has also been proposed to partially reduce the plate thickness of the spring portion by partial etching, for example, as in the load beam described in JP-A-9-191004. However, there is a limit to accurately controlling the plate thickness of the spring portion by partial etching, and there is a problem that the plate thickness of the spring portion becomes unstable and the spring constant tends to vary.

また、特開平９−１２８９１９号公報に記載されているサスペンションのように、ロードビームのスライダ搭載部分の周囲にエッチングあるいはプレスによって幅の狭い複数の板ばね状の部分を形成し、これら板ばね状の部分を板厚方向に変形させたものも提案されている。しかしこの従来例は、ロードビームの先端の狭い領域に前記板ばね状の部分を形成する必要があり、そのためにきわめて繊細な加工を必要とし、ビームの形状やばね定数がばらつきやすく品質が安定しないという問題がある。 Further, like the suspension described in Japanese Patent Laid-Open No. 9-128919, a plurality of narrow leaf spring-like portions are formed by etching or pressing around the slider mounting portion of the load beam, and these leaf spring shapes are formed. There has also been proposed one obtained by deforming this part in the thickness direction. However, in this conventional example, it is necessary to form the leaf spring portion in a narrow region at the tip of the load beam. For this reason, extremely delicate processing is required, and the shape of the beam and the spring constant are likely to vary, and the quality is not stable. There is a problem.

従って本発明の目的は、要求される性能に応じることのできる高性能なディスクドライブ用サスペンションを提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a high-performance disk drive suspension capable of meeting the required performance.

前記目的を果たすための本発明のサスペンションは、ベースプレートと、前記ベースプレートに取付けるロードビームと、前記ロードビームのディスクと対向する側に取付けられかつヘッド部が設けられるフレキシャと、を有するディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記ロードビームは、ステンレス鋼または軽金属からなり前記ベースプレートから分離独立していて前記フレキシャが固定される剛体部と、前記剛体部および前記フレキシャとは別体に構成されて前記剛体部と前記ベースプレートとをつなぐステンレス鋼製のばね部材であって前記ベースプレートおよび前記剛体部に対して前記フレキシャと同じくディスクと対向する側に配置され前記剛体部の端部に重ねて固定されたばね部材とを具備し、かつ、前記ばね部材に形成され前記ベースプレートの端部と前記剛体部の端部との間に開口する開口部と、該開口部の両側に形成され前記剛体部よりもばね定数が低いばね部と、前記ベースプレートの端部と前記剛体部の端部との間において前記ばね部材の長さ方向中間部を前記ディスクとは反対側が凸となる形状に折曲げることによって前記それぞれのばね部に形成された折曲部とを有し、前記フレキシャはばね性を有する薄い金属基板の表面に電気絶縁層を介して導電路を形成した配線付きフレキシャであり、該配線付きフレキシャが前記剛体部の先端部から前記剛体部に沿って前記ばね部材の前記開口部を跨いで前記ベースプレートに向って延びている。 To achieve the above object, a suspension according to the present invention includes a base plate, a load beam attached to the base plate, and a flexure attached to a side of the load beam facing the disk and provided with a head portion. The load beam is made of stainless steel or light metal and is separated and independent from the base plate, and the rigid body portion to which the flexure is fixed is formed separately from the rigid body portion and the flexure. A spring member made of stainless steel that connects to a base plate, and is disposed on the side opposite to the disk in the same manner as the flexure with respect to the base plate and the rigid body portion, and is fixed on the end portion of the rigid body portion. And the spring member is shaped An opening opening between the end of the base plate and the end of the rigid body, a spring formed on both sides of the opening and having a lower spring constant than the rigid body, and an end of the base plate Bending portions formed on the respective spring portions by bending the lengthwise intermediate portion of the spring member into a shape in which the opposite side to the disk is convex between the ends of the rigid body portions. The flexure is a flexure with wiring in which a conductive path is formed on the surface of a thin metal substrate having a spring property via an electric insulating layer, and the flexure with wiring extends from the distal end portion of the rigid body portion along the rigid body portion. It extends toward the base plate across the opening of the spring member.

この発明のサスペンションは、ロードビームを構成する剛体部とばね部とが別部品であ、ばね部とフレキシャも互いに別部品であるため、サスペンションに要求される性能を満足すべく、剛体部とばね部およびフレキシャの材質あるいは板厚等がそれぞれ個別に選択される。例えばロードビームの剛体部に板厚の大きなプレートを採用し、ばね部には板厚の薄い圧延鋼材などからなる精度の高い低ばね定数のばね部材が採用され、フレキシャには極薄い板ばねが使用される。 In the suspension of the present invention, the rigid body portion and the spring portion constituting the load beam are separate parts, and the spring portion and the flexure are also separate parts. Therefore, in order to satisfy the performance required for the suspension, the rigid body portion and the spring portion are included. The material and thickness of the part and flexure are individually selected. For example, a plate with a large plate thickness is used for the rigid portion of the load beam, a spring member with high accuracy and a low spring constant made of rolled steel with a thin plate thickness is used for the spring portion, and a very thin plate spring is used for the flexure. used.

前記ロードビームの剛体部にはステンレス鋼を採用することも考えられるが、Ａｌ，Ｔｉ等の軽金属（Ｆｅよりも軽い金属）の合金、もしくは合成樹脂によって構成することにより、さらなる軽量化と高剛性化を両立させることもできる。あるいは前記ロードビーム等が、アルミニウムやチタン等の軽金属もしくはそれらを主体とする合金と、それ以外の金属（例えばステンレス鋼）とを積層した２種類以上の材料からなる複合材（クラッド材）によって構成されていてもよい。前記フレキシャと前記ばね部を、互いに一体に連なる１枚の板によって構成することで、部品の共通化を図ってもよい。 Stainless steel may be used for the rigid part of the load beam, but it is made of light metal (metal lighter than Fe) such as Al, Ti, or synthetic resin, making it lighter and more rigid. It is also possible to achieve both. Alternatively, the load beam or the like is composed of a composite material (cladding material) made of two or more materials obtained by laminating a light metal such as aluminum or titanium or an alloy mainly composed thereof and other metal (for example, stainless steel). May be. The flexure and the spring portion may be configured by a single plate that is integrally connected to each other, so that parts can be shared.

請求項１に記載した発明によれば、ロードビームを構成する剛体部の材質や板厚がばね部に制約を受けることがなくなり、剛体部とばね部およびフレキシャにそれぞれの要求に応じた適正材質および板厚の選択が可能となり、サスペンションに要求される性能を満足することができる。例えばロードビームの剛体部に板厚の大きなプレートを採用すれば、曲げ縁やリブなどの曲げ加工を行なうことなく、さらなる高剛性化が可能になるとともに、剛体部の空気抵抗が減少する。このためディスク高回転時の風乱の影響が減少し、サスペンションフラッタ（風によるサスペンションのばたつき）の発生を抑制できる。 According to the invention described in claim 1, the material and plate thickness of the rigid body part constituting the load beam are not restricted by the spring part, and the rigid body part, the spring part and the flexure are made of appropriate materials according to the respective requirements. Further, the plate thickness can be selected, and the performance required for the suspension can be satisfied. For example, if a plate having a large plate thickness is employed for the rigid portion of the load beam, the rigidity can be further increased and the air resistance of the rigid portion can be reduced without bending bending edges and ribs. For this reason, the influence of wind turbulence at the time of high disk rotation is reduced, and the occurrence of suspension flutter (suspension flapping of the wind) can be suppressed.

この発明のサスペンションは安定した低ばね定数のばね部を得ることができ、ばね部の精度と低ばね定数を両立させたサスペンションが得られる。ロードビームの剛体部とばね部とが別体であるから、剛体部にばね部よりも軟質な材料を使用でき、剛体部を成形する際のプレス等の加工自由度が増える。 The suspension according to the present invention can provide a stable spring portion having a low spring constant, and a suspension having both the accuracy of the spring portion and a low spring constant can be obtained. Since the rigid portion and the spring portion of the load beam are separate, a material softer than the spring portion can be used for the rigid portion, and the degree of freedom of processing such as pressing when forming the rigid portion is increased.

以下に第１の形態について、図１から図３を参照して説明する。図３に示されたハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１０は、軸１１を中心に旋回可能なキャリッジ１２を有している。キャリッジ１２は、ボイスコイルモータ等のポジショニング用モータ１３によって、軸１１を中心に旋回駆動される。 Hereinafter, the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 3. A hard disk drive (HDD) 10 shown in FIG. 3 has a carriage 12 that can pivot about a shaft 11. The carriage 12 is driven to turn about the shaft 11 by a positioning motor 13 such as a voice coil motor.

キャリッジ１２は、複数のアーム（アクチュエータアーム）１６と、各アーム１６の先端部に取付けられたサスペンション１７と、各サスペンション１７の先端部に設けたヘッド部１８などを備えている。モータ１３によってキャリッジ１２が駆動されることにより、ヘッド部１８がディスク１９の所望トラックまで移動する。 The carriage 12 includes a plurality of arms (actuator arms) 16, a suspension 17 attached to the distal end portion of each arm 16, a head portion 18 provided at the distal end portion of each suspension 17, and the like. When the carriage 12 is driven by the motor 13, the head unit 18 moves to a desired track on the disk 19.

ヘッド部１８は、ディスク１９のトラックと対向可能な位置に設けたスライダ２０と、スライダ２０に保持されたトランスジューサ（図示せず）などを含んでいる。ディスク１９が高速回転したときに、ディスク１９とスライダ２０との間に入り込む空気によって、スライダ２０がディスク１９から僅かに浮上するとともに、ディスク１９とスライダ２０との間にエアベアリングが形成される。 The head unit 18 includes a slider 20 provided at a position facing the track of the disk 19, a transducer (not shown) held by the slider 20, and the like. When the disk 19 rotates at a high speed, the air that enters between the disk 19 and the slider 20 slightly floats from the disk 19, and an air bearing is formed between the disk 19 and the slider 20.

図１に示すようにサスペンション１７は、ベースプレート３０と、このベースプレート３０に取付けるロードビーム３１などを含んでいる。図３に示すようにベースプレート３０はアーム１６に固定される。ベースプレート３０にはアーム１６のボス部（図示せず）が挿入される円形の孔３３が形成されている。 As shown in FIG. 1, the suspension 17 includes a base plate 30 and a load beam 31 attached to the base plate 30. As shown in FIG. 3, the base plate 30 is fixed to the arm 16. The base plate 30 is formed with a circular hole 33 into which a boss portion (not shown) of the arm 16 is inserted.

図２に示すようにロードビーム３１は、ベースプレート３０とは分離独立した剛体部４０と、この剛体部４０に固定されるばね部材４１からなるばね部４２とを具備している。剛体部４０の厚さはばね部材４１の板厚よりも厚い。図１において、長さＬがばね部４２として機能する領域である。このばね部４２は、剛体部４０よりもばね定数が小さく撓みやすくなっている。図示例の剛体部４０は、軽量化と高剛性を両立させるために、例えばアルミニウム合金などの軽合金からなり、しかも厚み方向に貫通する開口部４５が形成されている。この剛体部４０は、アルミニウムなどの軽合金の板とステンレス鋼の板を積層してなる複合材であってもよい。 As shown in FIG. 2, the load beam 31 includes a rigid body portion 40 that is separated and independent from the base plate 30, and a spring portion 42 including a spring member 41 that is fixed to the rigid body portion 40. The rigid body portion 40 is thicker than the plate thickness of the spring member 41. In FIG. 1, the length L is a region that functions as the spring portion 42. The spring portion 42 has a smaller spring constant than the rigid portion 40 and is easily bent. In the illustrated example, the rigid body portion 40 is made of a light alloy such as an aluminum alloy and has an opening 45 penetrating in the thickness direction in order to achieve both weight reduction and high rigidity. The rigid body portion 40 may be a composite material formed by laminating a light alloy plate such as aluminum and a stainless steel plate.

開口部４５の代りに、例えばエッチング等によって肉厚を薄くした凹部を形成してよい。ロードビーム３１の材料にＴｉやＡｌ合金等の軽金属（Ｆｅよりも比重の小さい金属）もしくはＡｌ合金とステンレス鋼の複合材を用いてもよいし、あるいは合成樹脂を用いてもよい。こうすることにより軽量化が図れ、周波数特性と振動特性が向上する。なお、ロードビーム３１に必要に応じて曲げ加工が施されてもよい。 Instead of the opening 45, a recess whose thickness is reduced by etching or the like may be formed. As the material of the load beam 31, a light metal such as Ti or Al alloy (a metal having a specific gravity smaller than Fe), a composite material of an Al alloy and stainless steel, or a synthetic resin may be used. By doing so, the weight can be reduced and the frequency characteristics and vibration characteristics are improved. The load beam 31 may be bent as necessary.

ばね部４２を構成する板状のばね部材４１は、例えばばね性のある薄いステンレス鋼圧延板からなり、その一端部４１ａは、剛体部４０の端部４０ａに重ねた状態でレーザ溶接等によって固定されている。ばね部材４１の他端部４１ｂは、ベースプレート３０に重ねかつレーザ溶接等によって固定されている。 The plate-like spring member 41 constituting the spring portion 42 is made of, for example, a thin stainless steel rolled plate having spring properties, and one end portion 41a thereof is fixed by laser welding or the like in a state of being overlapped with the end portion 40a of the rigid portion 40. Has been. The other end 41b of the spring member 41 is overlaid on the base plate 30 and fixed by laser welding or the like.

ばね部材４１をロードビーム３１の剛体部４０に固定する手段として、溶接の代りに接着剤が使われてもよい。剛体部４０が合成樹脂製の場合には、剛体部４０を成形するための型にばね部材４１をセットした状態で樹脂材料を型に流し込み硬化させ、いわゆるインモールド成形によってばね部材４１を剛体部４０に固定してもよい。 As a means for fixing the spring member 41 to the rigid body portion 40 of the load beam 31, an adhesive may be used instead of welding. When the rigid body portion 40 is made of a synthetic resin, the resin material is poured into the mold and cured with the spring member 41 set in a mold for molding the rigid body portion 40, and the spring member 41 is fixed to the rigid body portion by so-called in-mold molding. 40 may be fixed.

剛体部４０に極薄い板ばねからなるフレキシャ５０が取付けられている。フレキシャ５０は例えばステンレス鋼の圧延材からなり、レーザ溶接等によってロードビーム３１に固定されている。図２に示すように剛体部４０の端部４０ｂに凸部５１が設けられている。この凸部５１はフレキシャ５０のタング部５２に当接している。この凸部５１はタング部５２に向かって突出している。フレキシャ５０に、ヘッド部１８を構成するスライダ２０が装着される。 A flexure 50 made of an extremely thin leaf spring is attached to the rigid portion 40. The flexure 50 is made of, for example, a stainless steel rolled material, and is fixed to the load beam 31 by laser welding or the like. As shown in FIG. 2, a convex portion 51 is provided at the end 40 b of the rigid portion 40. The convex portion 51 is in contact with the tongue portion 52 of the flexure 50. The convex portion 51 protrudes toward the tongue portion 52. The slider 20 constituting the head unit 18 is attached to the flexure 50.

このように構成されたサスペンション１７は、ロードビーム３１を構成する剛体部４０とばね部４２とが別部品によって構成され、それぞれに適した材料と板厚を選定できるため、剛体部４０に要求される性能（例えば高剛性）と、ばね部４２に要求される性能（例えば低ばね定数）を両立させることが容易となる。また、ばね部材４１に精度の高い圧延材を使用することで、安定した低ばね定数のばね部４２が得られる。 The suspension 17 configured as described above is required for the rigid body portion 40 because the rigid body portion 40 and the spring portion 42 constituting the load beam 31 are configured as separate parts, and materials and plate thicknesses suitable for each can be selected. Performance (for example, high rigidity) and performance required for the spring portion 42 (for example, low spring constant) can be easily achieved. Moreover, the spring part 42 with the stable low spring constant is obtained by using a highly accurate rolling material for the spring member 41. FIG.

このロードビーム３１は、板厚の厚いプレートを用いることができるため、図１１に示す従来例のような曲げ縁やリブを設ける場合に比較して空気の流れを妨げにくい形状にすることができ、ディスクが高回転しても風乱による影響が低減する。 Since the load beam 31 can be a plate having a large plate thickness, the load beam 31 can be made to have a shape that does not obstruct air flow as compared with the case of providing bent edges and ribs as in the conventional example shown in FIG. Even if the disk rotates at high speed, the influence of wind turbulence is reduced.

図４は第２の形態のサスペンション１７Ａを示している。このサスペンション１７Ａのばね部４２は、ばね部材４１の長さ方向中間部を折曲げることによって折曲部６０が形成されている。それ以外の構成は前記第１の形態のサスペンション１７と同様であるから、第１の形態と共通の箇所に共通符号を付して説明を省略する。 FIG. 4 shows a suspension 17A of the second form. The spring portion 42 of the suspension 17 </ b> A has a bent portion 60 formed by bending the lengthwise intermediate portion of the spring member 41. Since the other configuration is the same as that of the suspension 17 of the first embodiment, the same reference numerals are assigned to the same portions as those of the first embodiment, and the description thereof is omitted.

図５は第３の形態のサスペンション１７Ｂを示している。このサスペンション１７Ｂは、ばね部材４１の中央部に開口部６１が形成され、開口部６１の両側が低ばね定数のばね部４２として機能するようにしている。また、ばね部材４１の一部を折曲げることによって折曲部６０が形成されている。それ以外の構成は第１の形態と同様であるから、第１の形態と共通の箇所に共通符号を付して説明を省略する。 FIG. 5 shows a suspension 17B of the third form. In the suspension 17B, an opening 61 is formed at the center of the spring member 41, and both sides of the opening 61 function as spring portions 42 having a low spring constant. Further, the bent portion 60 is formed by bending a part of the spring member 41. Since the configuration other than that is the same as that of the first embodiment, common portions to those of the first embodiment are denoted by common reference numerals and description thereof is omitted.

図６は本発明の一実施例である第４の形態のサスペンション１７Ｃを示している。このサスペンション１７Ｃは、アーム部分を有するいわゆるアームタイプのロングベースプレート３０Ｃと、配線付きフレキシャ５０Ｃを備えている。配線付きフレキシャ５０Ｃは、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板等の金属基板６５の表面に、電気絶縁層を介して導電路６６を形成したものである。導電路６６の一端はヘッド部１８の端子６７に導通し、導電路６６の他端はベースプレート３０Ｃ上に設ける端子６８に導通している。ばね部材４１の一部に折曲部６０と開口部６１が形成されている。それ以外の構成は第１の形態と同様であるから、第１の形態と共通の箇所に共通符号を付して説明を省略する。このようなアームタイプのベースプレート３０Ｃのアーム部分についても、前述したようなＴｉやＡｌ合金等の軽金属（Ｆｅよりも比重の小さな金属）や、Ａｌとステンレス鋼などからなる複合材、あるいは合成樹脂を用いることで、軽量化が図れるとともに、周波数特性と振動特性を向上させることができる。 FIG. 6 shows a fourth embodiment of a suspension 17C according to an embodiment of the present invention. The suspension 17C includes a so-called arm-type long base plate 30C having an arm portion and a flexure 50C with wiring. In the flexure 50C with wiring, a conductive path 66 is formed on the surface of a metal substrate 65 such as a thin stainless steel rolled plate having spring properties through an electric insulating layer. One end of the conductive path 66 is electrically connected to the terminal 67 of the head portion 18, and the other end of the conductive path 66 is electrically connected to the terminal 68 provided on the base plate 30C. A bent portion 60 and an opening 61 are formed in a part of the spring member 41. Since the configuration other than that is the same as that of the first embodiment, common portions to those of the first embodiment are denoted by common reference numerals and description thereof is omitted. The arm portion of the arm-type base plate 30C is also made of a light metal such as Ti or Al alloy (a metal having a specific gravity smaller than Fe), a composite material made of Al and stainless steel, or a synthetic resin. By using it, the weight can be reduced and the frequency characteristics and vibration characteristics can be improved.

図７は第５の形態のサスペンション１７Ｄを示している。このサスペンション１７Ｄは、図８に示すようなサスペンション半成品７０を用いて製造される。サスペンション半成品７０は、ベースプレート３０と、ロードビーム３１の剛体部４０と、これらベースプレート３０と剛体部４０とをつなぐ左右一対の連結部７１とを備えている。連結部７１は、図７に示すようにばね部材４１をベースプレート３０と剛体部４０に重ねたときに、ばね部材４１の両側に張り出すようになっている。 FIG. 7 shows a suspension 17D of the fifth embodiment. The suspension 17D is manufactured using a suspension semi-finished product 70 as shown in FIG. The suspension semi-finished product 70 includes a base plate 30, a rigid body portion 40 of the load beam 31, and a pair of left and right connecting portions 71 that connect the base plate 30 and the rigid body portion 40. As shown in FIG. 7, the connecting portion 71 projects to both sides of the spring member 41 when the spring member 41 is overlapped with the base plate 30 and the rigid body portion 40.

サスペンション半成品７０の剛体部４０とベースプレート３０の双方にわたってばね部材４１を重ね、例えばレーザ溶接等によってばね部材４１をベースプレート３０と剛体部４０に固定する。そののち、プレス等によって連結部７１を剛体部４０とベースプレート３０から切離す。 The spring member 41 is overlapped over both the rigid body portion 40 and the base plate 30 of the suspension semi-finished product 70, and the spring member 41 is fixed to the base plate 30 and the rigid body portion 40 by, for example, laser welding. After that, the connecting portion 71 is separated from the rigid body portion 40 and the base plate 30 by a press or the like.

この第５の形態によれば、ばね部材４１をサスペンション半成品７０に固定する前は、ベースプレート３０と剛体部４０が連結部７１によって接続された１個の部品となっているため、取扱いが容易であり、しかも剛体部４０とベースプレート３０の相対位置をより正確に規制することができる。 According to the fifth embodiment, before the spring member 41 is fixed to the suspension semi-finished product 70, the base plate 30 and the rigid body portion 40 are one component connected by the connecting portion 71, so that handling is easy. In addition, the relative position between the rigid body portion 40 and the base plate 30 can be more accurately regulated.

図９は第６の形態のサスペンション１７Ｅを示している。このサスペンション１７Ｅは、１枚の板状のばね部材４１Ｅによって、ばね部４２とフレキシャ５０が形成されている。この場合、ばね部４２とフレキシャ５０が一体化することにより、部品の共通化が図れる。また、前記第６の形態のサスペンション半成品７０と同様に、剛体部４０とベースプレート３０が連結部７１によってつながれていて、ばね部材４１Ｅをサスペンション半成品７０に固定したのち、連結部７１を切除するようにしている。 FIG. 9 shows a suspension 17E of the sixth embodiment. In the suspension 17E, a spring portion 42 and a flexure 50 are formed by a single plate-like spring member 41E. In this case, the spring part 42 and the flexure 50 are integrated, so that parts can be shared. Similarly to the suspension semi-finished product 70 of the sixth embodiment, the rigid body portion 40 and the base plate 30 are connected by the connecting portion 71, and after the spring member 41E is fixed to the suspension semi-finished product 70, the connecting portion 71 is cut off. ing.

図１０は第７の形態のサスペンション１７Ｆを示している。このサスペンション１７Ｆは、配線付きフレキシャ５０Ｆを構成する１枚の板状のばね部材４１Ｆに、ばね部４２と、ベースプレート３０に積層する部分８０が一体に形成されている。配線付きフレキシャ５０Ｆは、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板等の金属基板６５の表面に、電気絶縁層を介して導電路６６を形成したものであり、導電路６６の一端はヘッド部の端子６７に導通し、導電路６６の他端はベースプレート３０に積層される部分８０に設ける端子６８に導通している。この第７の形態の剛体部４０とベースプレート３０は、前記第６の形態のサスペンション半成品７０と同様に、連結部７１によってつながれていて、ばね部材４１Ｆをサスペンション半成品７０に固定したのち、連結部７１を切除するようにしている。 FIG. 10 shows a suspension 17F of the seventh embodiment. In the suspension 17F, a spring portion 42 and a portion 80 laminated on the base plate 30 are integrally formed on a single plate-like spring member 41F constituting the flexure 50F with wiring. The flexure 50F with wiring is obtained by forming a conductive path 66 on the surface of a metal substrate 65 such as a thin stainless steel rolled plate having a spring property through an electrical insulating layer, and one end of the conductive path 66 is a terminal of the head portion. The other end of the conductive path 66 is connected to a terminal 68 provided in the portion 80 laminated on the base plate 30. The rigid body portion 40 and the base plate 30 of the seventh embodiment are connected by the connecting portion 71 in the same manner as the suspension semi-finished product 70 of the sixth embodiment, and after fixing the spring member 41F to the suspension semi-finished product 70, the connecting portion 71 To be excised.

なお、この発明を実施するに当たって、ベースプレートやロードビームをはじめとして、フレキシャ、剛体部、ばね部材などのサスペンション構成要素を、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更して実施できることは言うまでもない。 In implementing the present invention, it goes without saying that the suspension components such as the base plate and the load beam, the flexure, the rigid body portion, and the spring member can be variously changed without departing from the gist of the present invention. .

第１の形態を示すディスクドライブ用サスペンションの斜視図。The perspective view of the suspension for disk drives which shows a 1st form. 図１に示されたサスペンションの分解斜視図。FIG. 2 is an exploded perspective view of the suspension shown in FIG. 1. 図１に示されたサスペンションを備えたハードディスクドライブの一部の断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view of a part of the hard disk drive including the suspension shown in FIG. 1. 第２の形態を示すディスクドライブ用サスペンションの斜視図。The perspective view of the suspension for disk drives which shows a 2nd form. 第３の形態を示すディスクドライブ用サスペンションの斜視図。The perspective view of the suspension for disk drives which shows a 3rd form. 本発明の一実施例である第４の形態を示すディスクドライブ用サスペンションの斜視図。The perspective view of the suspension for disk drives which shows the 4th form which is one Example of this invention. 第５の形態を示すディスクドライブ用サスペンションの斜視図。The perspective view of the suspension for disk drives which shows a 5th form. 図７に示されたサスペンションに使われるサスペンション半成品とばね部材の斜視図。The perspective view of the suspension semi-finished product and spring member which are used for the suspension shown by FIG. 第６の形態を示すディスクドライブ用サスペンションの斜視図。The perspective view of the suspension for disk drives which shows a 6th form. 第７の形態を示すディスクドライブ用サスペンションの分解斜視図。The disassembled perspective view of the suspension for disk drives which shows a 7th form. 従来のディスクドライブ用サスペンションの斜視図。The perspective view of the conventional suspension for disk drives.

符号の説明Explanation of symbols

１０…ディスクドライブ
１７Ｃ…サスペンション
１８…ヘッド部
３０Ｃ…ベースプレート
３１…ロードビーム
４０…剛体部
４１…ばね部材
４２…ばね部
５０Ｃ…フレキシャ（配線付きフレキシャ）
６０…折曲部
６１…開口部
６６…導電路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Disk drive 17C ... Suspension 18 ... Head part 30C ... Base plate 31 ... Load beam 40 ... Rigid body part 41 ... Spring member 42 ... Spring part 50C ... Flexure (flexure with wiring)
60 ... bent portion 61 ... opening 66 ... conductive path

Claims

ベースプレートと、
前記ベースプレートに取付けるロードビームと、
前記ロードビームのディスクと対向する側に取付けられかつヘッド部が設けられるフレキシャと、
を有するディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記ロードビームは、
ステンレス鋼または軽金属からなり前記ベースプレートから分離独立していて前記フレキシャが固定される剛体部と、
前記剛体部および前記フレキシャとは別体に構成されて前記剛体部と前記ベースプレートとをつなぐステンレス鋼製のばね部材であって前記ベースプレートおよび前記剛体部に対して前記フレキシャと同じくディスクと対向する側に配置され前記剛体部の端部に重ねて固定されたばね部材とを具備し、かつ、
前記ばね部材に形成され前記ベースプレートの端部と前記剛体部の端部との間に開口する開口部と、
該開口部の両側に形成され前記剛体部よりもばね定数が低いばね部と、
前記ベースプレートの端部と前記剛体部の端部との間において前記ばね部材の長さ方向中間部を前記ディスクとは反対側が凸となる形状に折曲げることによって前記それぞれのばね部に形成された折曲部とを有し、
前記フレキシャはばね性を有する薄い金属基板の表面に電気絶縁層を介して導電路を形成した配線付きフレキシャであり、該配線付きフレキシャが前記剛体部の先端部から前記剛体部に沿って前記ばね部材の前記開口部を跨いで前記ベースプレートに向って延びていることを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。 A base plate;
A load beam attached to the base plate;
A flexure mounted on the side of the load beam facing the disk and provided with a head portion;
In a suspension for a disk drive having
The load beam is
A rigid body portion made of stainless steel or light metal and separated and independent from the base plate to which the flexure is fixed;
A stainless steel spring member configured separately from the rigid body portion and the flexure to connect the rigid body portion and the base plate, and facing the disc in the same manner as the flexure with respect to the base plate and the rigid body portion And a spring member that is disposed and fixed to the end of the rigid body portion, and
An opening formed between the end of the base plate and the end of the rigid body formed in the spring member;
A spring part formed on both sides of the opening and having a lower spring constant than the rigid part;
Between the end portion of the base plate and the end portion of the rigid body portion, the intermediate portion in the longitudinal direction of the spring member is formed in each spring portion by bending it into a shape in which the opposite side to the disk is convex. A bent portion,
The flexure is a flexure with wiring in which a conductive path is formed on the surface of a thin metal substrate having spring properties via an electric insulating layer, and the flexure with wiring is connected to the spring along the rigid body portion from the distal end portion of the rigid body portion. A suspension for a disk drive characterized by extending toward the base plate across the opening of the member.