JP4279217B2 - Plasma processing apparatus and method for manufacturing solar cell using the same - Google Patents
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Description
本発明は、プラズマを用いて基板に種々の処理を施すプラズマ処理装置に関し、特に、CVD(化学気相成長)処理により基板に薄膜を形成するのに適したプラズマ処理装置及びこれを用いた太陽電池の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a plasma processing apparatus that performs various processes on a substrate using plasma, and in particular, a plasma processing apparatus suitable for forming a thin film on a substrate by a CVD (chemical vapor deposition) process and a solar system using the plasma processing apparatus. The present invention relates to a battery manufacturing method .
従来、半導体や電子部品における薄膜形成等は、プラズマを用いて行われることが多く、特に、太陽電池等の薄膜形成には、プラズマ処理の代表例であるCVD手法を用いたプラズマCVD装置等が利用されている。
プラズマCVD手法とは、電磁波等のエネルギーを電子を介して、ガスを電離、解離することにより、反応ガスを化学的に活性なラジカルとし、さらに、ラジカルが基板等に堆積することにより、基板上に薄膜を形成させる手法をいう。
このCVD手法を用いた薄膜形成装置として、例えば、特許文献1に示されるものがある。これは、平行平板型の電極の間で放電させてプラズマを形成するもので、基板に対向する対向電極の表面に複数の溝を設け、この溝によってホロー放電を発生させるものである。そして、この溝の深さを部分的に調整してプラズマの密度を均一にしようとするものである。
Conventionally, thin film formation and the like in semiconductors and electronic parts are often performed using plasma, and in particular, for forming thin films such as solar cells, a plasma CVD apparatus using a CVD method, which is a typical example of plasma processing, is used. It's being used.
The plasma CVD method is to ionize and dissociate gas via electrons with energy such as electromagnetic waves, etc., to make the reaction gas chemically active radicals, and further, the radicals are deposited on the substrate etc. This is a technique for forming a thin film.
As a thin film forming apparatus using this CVD method, for example, there is one disclosed in
近年、太陽電池の生産性の向上及び生産コストの大幅な低減を効果的に実現させるために、成膜される基板の大面積化、成膜速度の向上等が求められている。
しかしながら、前記特許文献1に開示されているものは、特定の電極形状において予めプラズマ密度の大小がわかっている場合において、ホロー放電を発生させようとする溝の深さを増減させて均一化するために、プラズマ分布の正しい予想を必要とするが、プラズマ分布は、電力、ガス圧、ガス種等の放電条件により変化するために、予測は簡単ではないという問題がある。また、大面積・高速成膜を実現する場合において、超高周波電圧の波長λが電極の大きさよりも小さく(例えばλ/4<電極直径)なれば、溝の深さの調整だけでは均一化は困難となる。
In recent years, in order to effectively realize improvement in productivity of solar cells and a significant reduction in production cost, it is required to increase the area of a substrate on which a film is formed and to improve the film formation rate.
However, the technique disclosed in
本発明は、上記問題点に鑑み、成膜速度の向上及び生産コストの低減、並びに成膜品質の向上を効果的に図ることができるプラズマ処理装置を提供することを目的とする。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a plasma processing apparatus capable of effectively improving the deposition rate, reducing the production cost, and improving the deposition quality.
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
すなわち、本発明にかかるプラズマ処理装置は、内部圧力を調整可能に設けられたチャンバーと、該チャンバー内に基板を保持するように設けられ、接地されている基板電極と、前記チャンバー内に該基板電極に対向して間隔を空けて設けられた対向電極と、を備え、前記基板電極と前記対向電極との間でプラズマが形成されるプラズマ処理装置において、前記対向電極には、前記基板電極側に設けられ、超高周波電力を供給される第一放電電極と、該第一放電電極の前記基板電極に対して反対側に絶縁体を介して設けられ、接地された第二放電電極と、少なくとも前記絶縁体と前記第一放電電極とを貫通して複数形成され、前記間隔内に成膜ガスを供給するガス噴出孔と、該ガス噴出孔の間に設けられたガス排気部と、が備えられ、前記ガス噴出孔内で前記第一放電電極および前記第二放電電極によってマイクロホロープラズマが形成されることを特徴とする。
In order to solve the above problems, the present invention employs the following means.
That is, a plasma processing apparatus according to the present invention includes a chamber provided so that the internal pressure can be adjusted, a substrate electrode provided to hold the substrate in the chamber and grounded, and the substrate in the chamber. A counter electrode provided opposite to the electrode at an interval, and in the plasma processing apparatus in which plasma is formed between the substrate electrode and the counter electrode, the counter electrode includes the substrate electrode side A first discharge electrode that is supplied with super-high frequency power, a second discharge electrode that is provided on the opposite side of the first discharge electrode with respect to the substrate electrode, and is grounded, and at least A plurality of gas injection holes that are formed through the insulator and the first discharge electrode and supply a film forming gas within the interval, and a gas exhaust part provided between the gas injection holes are provided. It is, the moth By the in ejection hole first discharge electrode and the second discharge electrode, characterized in that micro hollow plasma is formed.
本発明によれば、基板を基板電極上に保持した状態で、多数のガス噴出孔から成膜ガスを基板と第一放電電極との間に供給し、第一放電電極に超高周波電力を印加すると、接地された基板電極との間に、電子の閉じ込め効果により高密度の超高周波プラズマが生成される。
このように、複数形成されたガス噴出孔から成膜ガスを供給しているので、ガス組成に偏りがなく基板面内の超高周波プラズマは均一な密度となる。
また、同時に絶縁体を挟んで配置された第一放電電極と第二放電電極との間で小径のガス噴出孔内にマイクロホロー放電が発生し、これによりガス噴出孔内に高密度のマイクロホロープラズマが発生する。多数の小孔を密に設けることで電極面内に均一なマイクロホロー放電を生成できる。ガス圧が高い(例えば500Pa以上)場合、小孔内に高密度のマイクロホロー放電としてプラズマが維持される。このマイクロホロープラズマが成膜ガスの流れに乗って基板と第一放電電極との間に流入し、超高周波プラズマと一体となって、基板に作用するプラズマ密度が高くなる。
このように、基板面に均一で高密度のプラズマが形成されるので、例えば均一膜質の成膜を高速に生成できる。
また、第二放電電極は接地されるだけであるので、電極構造が簡素で、安価に製造できる。
なお、ガス噴出孔は、略均等配置とされている場合には、マイクロホロープラズマは基板面内で一層均一な密度とできる。
According to the present invention, while the substrate is held on the substrate electrode, the film forming gas is supplied between the substrate and the first discharge electrode from a large number of gas ejection holes, and the ultrahigh frequency power is applied to the first discharge electrode. Then, high-density ultrahigh-frequency plasma is generated between the grounded substrate electrode and the electron confinement effect.
Thus, since the film forming gas is supplied from the plurality of formed gas ejection holes, there is no bias in the gas composition, and the ultrahigh frequency plasma in the substrate surface has a uniform density.
At the same time, micro-hollow discharge is generated in the small-diameter gas ejection hole between the first discharge electrode and the second discharge electrode, which are arranged with the insulator sandwiched therebetween, thereby causing high-density micro-hollow in the gas ejection hole. Plasma is generated. By providing a large number of small holes densely, a uniform micro hollow discharge can be generated in the electrode surface. When the gas pressure is high (for example, 500 Pa or more), the plasma is maintained as a high-density micro hollow discharge in the small holes. This micro-hollow plasma rides on the flow of the deposition gas and flows between the substrate and the first discharge electrode, and becomes integrated with the ultrahigh frequency plasma, and the plasma density acting on the substrate is increased.
As described above, since uniform and high-density plasma is formed on the substrate surface, for example, uniform film formation can be generated at high speed.
Further, since the second discharge electrode is only grounded, the electrode structure is simple and can be manufactured at low cost.
In addition, when the gas ejection holes are substantially evenly arranged, the micro hollow plasma can have a more uniform density in the substrate surface.
前記第二放電電極には、接地に代えて直流電圧または高周波電圧を印加するのが好適である。
このようにすると、第一放電電極と第二放電電極との間で形成されるマイクロホロー放電が接地に比べてより強くなるので、ガス噴出孔内に形成されるマイコロホロープラズマの密度が一層増加し、超高周波プラズマと組み合わされたプラズマ密度が増加して成膜速度をさらに向上できる。
It is preferable to apply a DC voltage or a high-frequency voltage to the second discharge electrode instead of grounding .
In this case, since the micro hollow discharge formed between the first discharge electrode and the second discharge electrode is stronger than the ground, the density of the myco-hollow plasma formed in the gas ejection hole is further increased. The plasma density combined with the ultra-high frequency plasma increases and the film formation rate can be further improved.
また、本発明にかかるプラズマ処理装置では、前記チャンバー内の圧力は、500Pa以上に保持されていることを特徴とする。 The plasma processing apparatus according to the present invention is characterized in that the pressure in the chamber is maintained at 500 Pa or more.
このように、チャンバー内の圧力は、500Pa以上に保持されているので、小径のガス噴出孔でもマイクロホロー放電が有効に発生させることができる。これにより、ガス噴出孔の径を細くしてガス噴出孔の数を増加させることにより、生成されるプラズマの密度を基板面内で均一にできるので、成膜品質を向上させることができる。 Thus, since the pressure in the chamber is maintained at 500 Pa or more, micro-hollow discharge can be effectively generated even with a small-diameter gas ejection hole. Thus, by reducing the diameter of the gas ejection holes and increasing the number of gas ejection holes, the density of the generated plasma can be made uniform in the substrate plane, so that the film formation quality can be improved.
また、本発明にかかるプラズマ処理装置では、前記基板電極に保持された前記基板と、前記対向電極との間隔は、10mm以下とされていることを特徴とする。 In the plasma processing apparatus according to the present invention, the distance between the substrate held by the substrate electrode and the counter electrode is 10 mm or less.
このように、基板と、前記対向電極との間隔は、10mm以下とされているので、ラジカル同士あるいはラジカルと母ガスのシランとが衝突する頻度が低下する。このため、高次シランの発生が抑制されるので、例えば膜質の低下を防止することができる。 Thus, since the space | interval of a board | substrate and the said counter electrode is 10 mm or less, the frequency with which radicals collide with radicals or silane of mother gas falls. For this reason, since generation | occurrence | production of higher order silane is suppressed, the fall of film quality can be prevented, for example.
また、本発明にかかるプラズマ処理装置では、前記基板電極を前記対向電極に対向させた状態で搬送する基板搬送手段が備えられていることを特徴とする。 Moreover, the plasma processing apparatus according to the present invention is characterized in that a substrate transfer means for transferring the substrate electrode in a state of facing the counter electrode is provided.
第一放電電極に超高周波電力を供給しているので、成膜の均一性の観点から寸法が限定される。すなわち、定在波の1/4波長が電極と同等の長さになること、また、電極上での電力減衰が生じるため、電極の電圧分布が不均一となることから大面積製膜が困難となる。
本発明によれば、基板電極を対向電極に対向させた状態で搬送する基板搬送手段が備えられているので、対向電極で生成されたプラズマは、基板搬送手段により所定の速度で、搬送される搬送方向に長い基板に連続的に作用し、結果的に、基板全面に薄膜を形成することができる。
このように、基板搬送手段が基板を対向電極に対向配置させた状態で搬送させるので、基板と同等の大きさの対向電極を設けることなく、長い大面積の基板に薄膜を形成することができる。このため、スループット(生産性)は格段に向上することができる。
なお、対向電極は、処理の程度に応じて同一チャンバー内に搬送方向に複数個設けられていてもよい。
Since the super-high frequency power is supplied to the first discharge electrode, the dimensions are limited from the viewpoint of film formation uniformity. That is, the quarter wavelength of the standing wave becomes the same length as that of the electrode, and power attenuation occurs on the electrode, so that the voltage distribution of the electrode becomes non-uniform, making it difficult to form a large area film. It becomes.
According to the present invention, since the substrate transport means for transporting the substrate electrode in a state of facing the counter electrode is provided, the plasma generated by the counter electrode is transported at a predetermined speed by the substrate transport means. A thin film can be formed on the entire surface of the substrate as a result of continuously acting on the substrate that is long in the transport direction.
As described above, since the substrate transporting means transports the substrate in a state of being opposed to the counter electrode, a thin film can be formed on a long large-area substrate without providing a counter electrode having the same size as the substrate. . For this reason, throughput (productivity) can be remarkably improved.
Note that a plurality of counter electrodes may be provided in the transport direction in the same chamber depending on the degree of processing.
また、本発明にかかるプラズマ処理装置では、前記ガス噴出孔は、前記基板電極の搬送方向に対して直交する方向に所定間隔空けて配置された孔列を形成し、該孔列は、前記搬送方向に複数列設けられ、前記ガス排気部は、前記孔列の間に前記対向電極を貫通して形成されていることを特徴とする。
Moreover, in the plasma processing apparatus according to the present invention, the gas ejection holes form hole rows arranged at predetermined intervals in a direction orthogonal to the transfer direction of the substrate electrode, and the hole rows A plurality of rows are provided in the direction, and the gas exhaust portion is formed to penetrate the counter electrode between the row of holes.
このように、ガス噴出孔は、基板電極の搬送方向に対して直交する方向(幅方向)に所定間隔空けて配置された孔列を形成され、孔列の間にガス排気部を設けているので、搬送方向に対して直交する方向に均一なプラズマが効率的に形成される。また、孔列は、搬送方向に複数列設けられているので、孔列毎にプラズマが基板に連続的に作用する。このため、長い基板に対して幅方向に均一品質の薄膜を効率的に形成することができる。 As described above, the gas ejection holes are formed with a row of holes arranged at a predetermined interval in a direction (width direction) orthogonal to the transport direction of the substrate electrode, and a gas exhaust unit is provided between the hole rows. Therefore, uniform plasma is efficiently formed in a direction orthogonal to the transport direction. Since a plurality of hole rows are provided in the transport direction, plasma continuously acts on the substrate for each hole row. For this reason, a uniform quality thin film can be efficiently formed in the width direction on a long substrate.
また、本発明にかかるプラズマ処理装置では、複数の前記対向電極を、前記基板電極の搬送方向に略直交して直列配置したことを特徴とする。 In the plasma processing apparatus according to the present invention, the plurality of counter electrodes are arranged in series substantially perpendicular to the transport direction of the substrate electrode.
このように、複数の前記対向電極を、前記基板電極の搬送方向に略直交して直列配置したので、幅方向に長いすなわち幅方向にも搬送方向にも長い大面積の基板に対して均一品質の薄膜を高速に形成することができる。 As described above, since the plurality of counter electrodes are arranged in series substantially orthogonal to the transport direction of the substrate electrode, uniform quality is obtained with respect to a large-area substrate that is long in the width direction, that is, long in both the width direction and the transport direction The thin film can be formed at high speed.
前記プラズマ処理装置は、大要電池を構成する薄膜を形成するのに好適である。
前記太陽電池としては、例えば、p型シリコン層、n型シリコン層及びi型シリコン層からなるpin構造またはnip構造の多結晶シリコン層を少なくとも1層有する太陽電池、p型シリコン層、n型シリコン層及びi型シリコン層からなるpin構造またはnip構造のアモルファスシリコン層を少なくとも1層有する太陽電池、pin構造またはnip構造の多結晶シリコン層と、pin構造またはnip構造のアモルファスシリコン層とを積層して2層構造としたいわゆるタンデム型の太陽電池、pin構造またはnip構造のアモルファスシリコン層、pin構造またはnip構造の多結晶シリコン層、pin構造またはnip構造の別の多結晶シリコン層を積層して3層構造としたいわゆるトリプル型の太陽電池が挙げられる。
The plasma processing apparatus is suitable for forming a thin film constituting a main battery.
Examples of the solar cell include a solar cell having at least one pin structure or nip structure polycrystalline silicon layer composed of a p-type silicon layer, an n-type silicon layer, and an i-type silicon layer, a p-type silicon layer, and an n-type silicon. A solar cell having at least one pin structure or nip structure amorphous silicon layer comprising a layer and an i-type silicon layer, a pin structure or nip structure polycrystalline silicon layer, and a pin structure or nip structure amorphous silicon layer A so-called tandem solar cell having a two-layer structure, an amorphous silicon layer having a pin structure or a nip structure, a polycrystalline silicon layer having a pin structure or a nip structure, and another polycrystalline silicon layer having a pin structure or a nip structure. A so-called triple solar cell having a three-layer structure can be given.
本発明のプラズマ処理装置によれば、基板面に均一で高密度のプラズマが形勢されるので、成膜速度の向上及び生産コストの低減、並びに成膜品質の向上を効果的に図ることができるという効果を奏する。 According to the plasma processing apparatus of the present invention, since uniform and high-density plasma is formed on the substrate surface, it is possible to effectively improve the film forming speed, reduce the production cost, and improve the film forming quality. There is an effect.
以下に、本発明にかかる実施形態について、図面を参照して説明する。
〔第一実施形態〕
図1は、本発明の第一実施形態に係るプラズマCVD装置(プラズマ処理装置)1の構成を示す模式断面図である。図2は、図1のチャンバー10の内部を拡大して示す斜視図である。
プラズマCVD装置1について、図1を用いて説明する。チャンバー10には基板電極3と基板電極3を搬送方向へ移動させる複数のローラ(基板搬送手段)7と、対向電極装置9が設けられている。また、チャンバー10には図示しない真空ポンプと原料ガス供給源と、例えば60MHzの超高周波電力を供給する超高周波電源とが接続されている。超高周波電源としては、13.56MHz〜200MHzの間で選択される。
Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
[First embodiment]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a plasma CVD apparatus (plasma processing apparatus) 1 according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged perspective view showing the inside of the
The
基板電極3は、複数のローラ7により搬送方向5の方向へ移動させられる。基板電極3はローラ7を介して電気的に接地されている。
対向電極装置9は、チャンバー10の搬送方向5に対して略中央部に設置されており、その長手方向6が基板電極3の搬送方向5に直交するように設けられている。
The
The
対向電極装置9の構成について、図3〜図5により説明する。
図3は、図2のA−A断面を、図4は図3のX−X断面を、図5は図3のY−Y断面を示している。
対向電極装置9には、図3に示すようにその長手方向6に5個の対向電極15が直列に連接して取り付けられている。
The configuration of the
3 shows the AA cross section of FIG. 2, FIG. 4 shows the XX cross section of FIG. 3, and FIG. 5 shows the YY cross section of FIG.
As shown in FIG. 3, five
対向電極15は上から見た時、例えば一辺が60cmの正方形をしており、したがって、対向電極装置9の長手方向6の長さは略3mである。この一辺の長さは、超高周波電源13から供給される超高周波電力の1/4波長より短い長さで選択される。
対向電極15には、基板電極3と対向してそれと略平行に設置された第一放電電極17と、第一放電電極17の基板電極3に対して反対側(上側)に取り付けられた絶縁体19と、絶縁体19の第一放電電極17に対して反対側(上側)に取り付けられた第二放電電極21とが設けられている。
When viewed from above, the
The
第一放電電極17は、直方体形状をし、例えばステンレスで形成されている。第一放電電極17は、超高周波電力が印加されるように超高周波電源13と接続されている。
第一放電電極17と基板11との間隔は、例えば5mmとされている。
絶縁体19は、直方体形状をし、例えばアルミナで形成されている。
第二放電電極21は、図5に示されるように、長手方向6に延設された中空の細長いかまぼこ形状のものが多数設けられ、これらが長手方向6両端部において集合部に接続されている。第二放電電極21は、例えばステンレスで形成されており、電気的に接地されている。また、第二放電電極21は、成膜ガス供給源と接続されており、中空部には成膜ガスが充満されるように構成されている。
The
The distance between the
The
As shown in FIG. 5, the
第二放電電極21の隣り合うかまぼこ形状のものの間には、長手方向6に延設され、鉛直方向8に対向電極15を貫通して、ガス排気用スリット(ガス排気部)23が設けられている。
搬送方向5における隣り合うガス排気用スリット23の間には、第二放電電極21の下面、絶縁体19及び第一放電電極17を鉛直方向8に貫通するガス噴出孔25が設けられている。ガス噴出孔25は、第二放電電極21の中空部に流入した成膜ガスを対向電極15と基板11の間の空間に噴出するように構成されている。
A gas exhaust slit (gas exhaust part) 23 is provided between the adjacent discharge portions of the
Between the adjacent gas exhaust slits 23 in the
ガス噴出孔25は、例えば絶縁体19部での直径が1mmで、第一放電電極17では1mmより大きくなっている。ガス噴出孔25は、長手方向6に例えば2mm間隔で列状に配置され孔列27を形成している。
ガス噴出孔25の直径は、主として成膜圧力により決定でき、成膜圧力が高くなれば小さくでき、低くなれば大きくなる。大気圧程度の成膜圧力であれば、数十μm程度とできる。500Pa程度では3mmとなる。
The
The diameter of the
以上説明した本実施形態にかかるプラズマCVD装置1の作用について説明する。
基板11が保持された基板電極3をチャンバー10内にローラ7によって搬送した後、チャンバー10を密閉状態とする。
続いて、チャンバー内10に接続されている真空ポンプ(図示略)を作動させ、真空排気し、チャンバー10内を減圧する。
その後、チャンバー10内に成膜ガス供給源から成膜ガスを送り込むとともに、対向電極装置9を構成する対向電極15の第一放電電極17へ60MHzの超高周波電力を供給すると対向電極装置9と基板11との間に後述するように濃密な成膜プラズマが形成される。そして、ローラ7を駆動して基板電極3を搬送方向5へ所定速度で搬送する。
これにより、成膜プラズマによって成膜ガスが励起されて解離し、対向電極装置9の下方を所定速度で搬送される基板11に連続的に作用し、薄膜を形成する。
The operation of the
After the
Subsequently, a vacuum pump (not shown) connected to the inside of the
Thereafter, when the film forming gas is fed into the
As a result, the deposition gas is excited and dissociated by the deposition plasma, and continuously acts on the
以下、対向電極装置9の作用について説明する。
図4及び図5において、超高周波電源13から第一放電電極17に60MHzの超高周波電力が供給されると、第一放電電極17と接地された基板電極3との間に、グロー放電が発生し、高密度の超高周波プラズマ29が形成される。
超高周波プラズマ29は、平行に配置された平板同士の第一放電電極17と基板電極3との間に形成されるので、略均一の密度で形成される。
Hereinafter, the operation of the
4 and 5, when 60 MHz ultrahigh frequency power is supplied from the ultrahigh
Since the
一方、ガス噴出孔25内において、第一放電電極17と接地された第二放電電極21との間に、マイクロホロー放電が発生し、高密度のマイクロホロープラズマ31が形成される。
なお、本実施形態では、第二放電電極21は電極構造の簡素化を考慮して接地構造としているが、第二放電電極21に直流電圧または高周波電圧を印加するようにしてもよい。このようにすると、第一放電電極17と第二放電電極21との間で発生するマイクロホロー放電が接地の場合と比べてより強くなるので、マイクロホロープラズマ31の密度が一層増加することになる。
On the other hand, in the
In the present embodiment, the
第二放電電極21の内部を通ってガス噴出孔25に供給される成膜ガスは、一部このマイクロホロープラズマ31によって分解されるとともに、マイクロホロープラズマ31を第一放電電極17と基板電極3との間に押し出す。
そして、成膜ガスは、ガス排気用スリット23から外部に排気される。これらの成膜ガスの動きによってマイクロホロープラズマ31は、第一放電電極17と基板電極3との間に拡散されて、超高周波プラズマ29と一体となり、非常に高密度な成膜プラズマが形成される。
ガス噴出孔25は、第一放電電極17の部分で径が拡大しているので、マイクロホロープラズマ31の拡散を促進できる。
The film forming gas supplied to the gas ejection holes 25 through the inside of the
Then, the film forming gas is exhausted to the outside through the gas exhaust slit 23. Due to the movement of these film forming gases, the micro
Since the diameter of the
ガス噴出孔25は、対向電極装置9の長手方向6に均一間隔で列状に配置された孔列27を形成しているので、成膜プラズマは長手方向6において略均一な密度を持つように形成される。また、孔列27は基板11の搬送方向5に複数、例えば200列形成され、かつ隣り合う孔列27の間にガス排気用スリット23が配置されているので、長手方向6に均一な成膜プラズマは効率的に形成される。
なお、隣り合う孔列27のガス噴出孔25の長手方向6における位置をずらして、例えば千鳥状にすれば、成膜の均一性をさらに向上させることができる。
Since the gas ejection holes 25
In addition, if the positions in the
この時、基板11と第一放電電極17との間隔が5mmと小さいので、ラジカル同士あるいはラジカルと成膜ガスのシランとが衝突する頻度が低下する。このため、高次シランの発生が抑制されるので、膜質の低下を防止することができる。
At this time, since the distance between the
このようにして、発生した高密度の成膜プラズマにより、成膜ガス供給源から第二放電電極21及びガス噴出孔25を経由して供給される成膜ガスが励起されて解離し、対向電極装置9の下方を所定速度で搬送される基板11に連続的に作用し、薄膜を形成する。
このように、高密度の成膜プラズマにより成膜されるので、成膜形成量が多くなり、成膜速度が向上する。
In this way, the generated high-density film-forming plasma excites and dissociates the film-forming gas supplied from the film-forming gas supply source via the
As described above, since the film is formed by the high-density film formation plasma, the amount of film formation is increased and the film formation speed is improved.
この時、孔列27は基板11の搬送方向5に複数設けられているので、基板11が搬送される間に孔列27毎に成膜プラズマが基板11に連続的に作用する。したがって、搬送方向に60cmの対向電極装置9でも、例えば、3mの長い基板11に対して均一品質の成膜を効率的に形成することができる。
このように、例えば、3m×3mの大面積の基板11でも、同じ大きさの対向電極装置9を設けることなく成膜を形成できるので、成膜効率を向上できるし、プラズマCVD装置の製造コストを安価とできる。
At this time, since a plurality of
Thus, for example, even on a
なお、本実施形態では、基板11が搬送されつつ対向電極装置9によって成膜されているが、本発明はこれに限定されるものではない。
すなわち、基板電極3と、対向電極装置9または対向電極15とを固定して設け、基板電極3に保持された基板11に成膜することとしてもよい。
また、基板11及び基板電極3を固定して、対向電極装置9を移動させてもよい。
いずれにしても、基板11と第一放電電極17との間に、高密度のプラズマが形成できるので、成膜速度を向上させることができる。
In the present embodiment, the
That is, the
Alternatively, the
In any case, since a high-density plasma can be formed between the
なお、本実施形態では、ガス噴出孔25は対向電極装置9の長手方向6に展設された列状に配置されているが、これに限定されるものではない。
例えば、図7に示すように、ガス噴出孔25を正六角形の各頂点の位置に配置し、各正六角形の中心にガス排気用孔24を設けるようにしてもよい。
このようにすると、ガス排気用スリット23は最も密に配置できるので、成膜品質及び成膜速度の向上を図ることができる。
In the present embodiment, the gas ejection holes 25 are arranged in rows extending in the
For example, as shown in FIG. 7, the gas ejection holes 25 may be arranged at the positions of the apexes of the regular hexagon, and the gas exhaust holes 24 may be provided at the centers of the regular hexagons.
In this way, the gas exhaust slits 23 can be arranged most densely, so that the film formation quality and film formation speed can be improved.
〔第二実施形態〕
次に、本発明の第二実施形態に係るプラズマCVD装置1について、図6を用いて説明する。
本実施形態は、太陽電池用発電層となるシリコン膜の成膜を行うものであり、成膜を行うチャンバー10が複数直列に配置されている点で前述した第一実施形態のものと異なる。その他の構成要素については前述した第一実施形態のものと同じであるので、第一実施形態と同じ部材には同じ符号を付して、説明を省略する。
[Second Embodiment]
Next, a
This embodiment forms a silicon film to be a solar cell power generation layer, and is different from that of the first embodiment described above in that a plurality of
図6は、本発明の第二実施形態に係るプラズマCVD装置の構成を示す模式断面図である。
本実施形態に係るプラズマCVD装置1は、ゲートバルブ20を介して連結される複数のチャンバー10を備えている。
これらチャンバー10は、形成する薄膜に対応してそれぞれ設けられるものであり、例えば、太陽電池を構成するpin構造のシリコン層を形成する場合には、p型シリコン層、i型シリコン層、n型シリコン層を形成するそれぞれのチャンバー10が設けられることとなる。
チャンバー10間に設けられたゲートバルブ20には、例えば、チャンバー10間で互いに原料ガスの混入を抑えるために不活性ガスを噴射するゲートガス導入部等が備えられている。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the plasma CVD apparatus according to the second embodiment of the present invention.
The
These
The
チャンバー10には、第一実施形態と同様に、3m×60cmの対向電極装置9がその長手方向が基板11の搬送方向5に直交するように設けられている。
また、基板11の下方には、対向電極装置9に対して対向配置されたローラ7が設けられている。このローラ7は、チャンバー10内で基板11を所定速度で搬送方向5に移動させることができる。
基板11は、3m×3mの大きさで、基板電極3上に配置され、ローラ7下部のヒータにより所定の温度、例えば160℃に加熱されている。基板11は基板電極3と一体となってローラ7上を移動する。
Similar to the first embodiment, a
Further, below the
The
次に、上記構成からなるプラズマCVD装置1により基板11上に薄膜を形成する処理工程について、簡単に説明する。
まず、例えばガラスの表面に透明電極が形成された基板11が配された基板電極3をp室チャンバー10内に配置してp型シリコン層を成膜する。次いで、基板11をi室チャンバー10に移動させてi型シリコン層を成膜する。次いで、基板11をn室チャンバー10に移動させてn型シリコン層を成膜する。
その後、この基板11は、プラズマCVD装置1から取り出され、更に、第2透明電極及び裏面電極が順次形成されることにより、太陽電池が製造される。
Next, a processing process for forming a thin film on the
First, for example, a
Thereafter, the
前述の各室での成膜工程は略同一であるので、代表してi室での成膜工程について説明する。
p室チャンバー10でp型シリコン層が成膜された基板11は、i室チャンバー10内に配置される。そして、真空排気装置(図示略)によってi室チャンバー10内を図示しない真空ポンプによって真空排気させ、例えば10-4Paまで減圧する。
次いで、チャンバー10内に成膜ガス供給源から成膜ガスとしてシラン(SiH4)ガス100sccmと水素(H2)ガス1ksccmを送り込みチャンバー内を1kPaに調整し、60MHzの超高周波電力を供給することで、対向電極装置9と基板11との間に成膜プラズマを発生させる。
3台の対向電極装置9で発生された成膜プラズマは、対向電極装置9と対向した状態で所定の速さで搬送される基板11にそれぞれ連続的に作用し、結果的に、基板11全面に多結晶i型シリコン層薄膜が形成される。
Since the film forming process in each chamber is substantially the same, the film forming process in the i chamber will be described as a representative.
The
Next, silane (SiH 4 ) gas 100 sccm and hydrogen (H 2 )
The film-forming plasmas generated by the three
この条件で形成された多結晶i型シリコン層は、全領域でシリコン膜厚が±10%、膜質を示す結晶性(ラマン分光による結晶シリコンのピーク強度Icとアモルファスシリコンのピーク強度Iaの比のIc/Iaで評価)Ic/Iaは3〜5と良好な膜厚及び膜質均一性を有している。 The polycrystalline i-type silicon layer formed under these conditions has a silicon film thickness of ± 10% in all regions, and the crystallinity showing the film quality (the ratio of the peak intensity Ic of crystalline silicon to the peak intensity Ia of amorphous silicon by Raman spectroscopy) Evaluation by Ic / Ia) Ic / Ia has a good film thickness and film quality uniformity of 3 to 5.
次に、アモルファスシリコンの製膜に関しても、成膜ガスとして、シラン(SiH4)ガス100sccmと水素(H2)ガス200sccmを供給し、チャンバー内圧力を500Paに調整し、基板電極11を移動させながら基板全面にアモルファスi型シリコン層薄膜を形成する。この条件で形成されたアモルファスi型シリコン層は、均一性としては、全領域でシリコン膜厚が±10%、水素含有量が14〜16%と良好な膜厚及び膜質均一性を有している。
Next, as for film formation of amorphous silicon, silane (SiH 4 ) gas 100 sccm and hydrogen (H 2 ) gas 200 sccm are supplied as film formation gases, the pressure in the chamber is adjusted to 500 Pa, and the
なお、p室では、i室での成膜ガスに適正なp型不純物ガス(例えばB2H6等)を加えることによって、p型結晶性シリコン層またはp型アモルファスシリコン層を成膜することができる。
また、n室では、i室での成膜ガスに適正なn型不純物ガス(例えばPH3等)を加えることで、n型結晶性シリコン層またはn型アモルファスシリコン層を成膜することができる。
In the p chamber, a p-type crystalline silicon layer or a p-type amorphous silicon layer is formed by adding an appropriate p-type impurity gas (such as B 2 H 6 ) to the film formation gas in the i chamber. Can do.
In the n chamber, an n-type crystalline silicon layer or an n-type amorphous silicon layer can be formed by adding an appropriate n-type impurity gas (for example, PH 3 ) to the film-forming gas in the i chamber. .
このように、p室、i室及びn室のチャンバー10を備えた本実施形態では、ガラス/透明電極上に、p型アモルファスシリコン/i型アモルファスシリコン/n型アモルファスシリコン及び裏面電極を積層したアモルファスシリコン太陽電池、ガラス/透明電極上に、p型結晶性シリコン/i型結晶性シリコン/n型結晶性シリコン及び裏面電極を積層した結晶性シリコン太陽電池を製造できる。
このような太陽電池は、透明絶縁性基板側から太陽光のような光を入射させてpin構造の多結晶シリコン層或いはアモルファスシリコン層で光電変換させることにより起電される。
Thus, in this embodiment provided with the
Such a solar cell is generated by causing light such as sunlight to enter from the transparent insulating substrate side and performing photoelectric conversion on a polycrystalline silicon layer or an amorphous silicon layer having a pin structure.
なお、p室チャンバー10及びn室チャンバー10では対向電極装置9が1台であるのに対して、i型シリコン層のチャンバー10では、対向電極装置9が3台設けられている。これは、i型シリコン層の膜厚が、他のシリコン層に比べて厚いためである。このように、形成する膜厚、成膜速度等に応じて、複数の対向電極装置9を設けることも可能である。
Note that the p-
以上説明したようなプラズマCVD装置1によれば、対向電極装置9等によって発生せられたプラズマは、ローラ3により所定の速度で搬送される基板11に連続的に作用し、基板11全面に薄膜形成を施すことが可能となる。
これにより、基板11と同等の大きさの対向電極装置9を設けることなく、例えば、3m角にも及ぶ大面積の基板11の全面に渡り、処理を施すことが可能となる。
この結果、例えば、太陽電池の量産性の向上、生産コストの大幅な低減を図ることができるという効果を奏する。
According to the
As a result, it is possible to perform the processing over the entire surface of the large-
As a result, for example, it is possible to improve the mass productivity of the solar cell and significantly reduce the production cost.
なお、第二実施形態では、p層、i層、n層をそれぞれ形成するチャンバー10を3個設けた場合について説明したが、例えば、これらのチャンバー10を更に反復して設け6個とし、それぞれの成膜ガスを導入することにより、pin構造の多結晶シリコン層と、pin構造のアモルファスシリコン層とを積層して2層構造としたタンデム構成の太陽電池を作成することが可能となる。
更に、チャンバー10を更に反復して設け、9個とすることにより、pin構造のアモルファスシリコン層、pin構造の多結晶シリコン層、pin構造の別の多結晶シリコン層を積層して3層構造としたトリプル構成の太陽電池を作成することも可能となる。
また、図6では、p層、i層、n層の順に薄膜を形成する場合について述べたが、これに限定されることなく、n層、i層、p層の順に薄膜を形成しても良い。つまり、形成する薄膜に応じて、成膜ガス等を調整することにより、種々の薄膜を形成することが可能となる。
In the second embodiment, the case where the three
Further, the
6 describes the case where the thin film is formed in the order of the p layer, the i layer, and the n layer. However, the present invention is not limited to this, and the thin film may be formed in the order of the n layer, the i layer, and the p layer. good. That is, various thin films can be formed by adjusting a film forming gas or the like according to the thin film to be formed.
また、本発明は太陽電池の薄膜形成に限られることなく、液晶ディスプレイや半導体素子の薄膜形成にも適用することが可能であり、また、その用途も、薄膜形成に限定されることなく、エッチング、スパッタリング等、幅広く利用することが可能である。 In addition, the present invention is not limited to the thin film formation of solar cells, but can be applied to the thin film formation of liquid crystal displays and semiconductor elements. It can be used widely, such as sputtering.
1 プラズマCVD装置
3 基板電極
5 搬送方向
7 ローラ
10 チャンバー
11 基板
15 対向電極
17 第一放電電極
19 絶縁体
21 第二放電電極
25 ガス噴出孔
DESCRIPTION OF
Claims (9)
該チャンバー内に基板を保持するように設けられ、接地されている基板電極と、
前記チャンバー内に該基板電極に対向して間隔を空けて設けられた対向電極と、
を備え、前記基板電極と前記対向電極との間でプラズマが形成されるプラズマ処理装置において、
前記対向電極には、
前記基板電極側に設けられ、超高周波電力を供給される第一放電電極と、
該第一放電電極の前記基板電極に対して反対側に絶縁体を介して設けられ、接地された第二放電電極と、
少なくとも前記絶縁体と前記第一放電電極とを貫通して複数形成され、前記間隔内に成膜ガスを供給するガス噴出孔と、
該ガス噴出孔の間に設けられたガス排気部と、
が備えられ、
前記ガス噴出孔内で前記第一放電電極および前記第二放電電極によってマイクロホロープラズマが形成されることを特徴とするプラズマ処理装置。 A chamber provided with adjustable internal pressure;
A substrate electrode provided to hold the substrate in the chamber and grounded;
A counter electrode provided in the chamber so as to be opposed to the substrate electrode and spaced apart;
In a plasma processing apparatus in which plasma is formed between the substrate electrode and the counter electrode ,
The counter electrode includes
A first discharge electrode provided on the substrate electrode side and supplied with ultra-high frequency power;
A second discharge electrode provided on the opposite side of the first discharge electrode with respect to the substrate electrode via an insulator, and grounded;
A plurality of gas penetrating holes that are formed through at least the insulator and the first discharge electrode and supply a film forming gas within the interval;
A gas exhaust part provided between the gas ejection holes;
Is provided,
A plasma processing apparatus, wherein micro hollow plasma is formed by the first discharge electrode and the second discharge electrode in the gas ejection hole .
該孔列は、前記搬送方向に複数列設けられ、
前記ガス排気部は、前記孔列の間に前記対向電極を貫通して形成されていることを特徴とする請求項6に記載のプラズマ処理装置。 The gas ejection holes form a hole array arranged at a predetermined interval in a direction orthogonal to the transport direction of the substrate electrode,
The hole row is provided in a plurality of rows in the transport direction,
The plasma processing apparatus according to claim 6, wherein the gas exhaust unit is formed so as to penetrate the counter electrode between the hole rows.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4279217B2 (en) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4859472B2 (en) * | 2006-02-08 | 2012-01-25 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | Plasma process equipment |
JP4949695B2 (en) * | 2006-02-22 | 2012-06-13 | 三菱重工業株式会社 | Photoelectric conversion device manufacturing apparatus and photoelectric conversion device manufacturing method |
AU2007230338B2 (en) * | 2006-03-24 | 2011-04-07 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Electrode and vacuum processing apparatus |
JP4745920B2 (en) * | 2006-08-28 | 2011-08-10 | 三菱重工業株式会社 | Discharge electrode, thin film manufacturing apparatus, and solar cell manufacturing method |
US8134137B2 (en) | 2008-06-18 | 2012-03-13 | Micron Technology, Inc. | Memory device constructions, memory cell forming methods, and semiconductor construction forming methods |
EP2139025A1 (en) * | 2008-06-25 | 2009-12-30 | Applied Materials, Inc. | Arrangement for coating a cristalline silicon solar cell with an antireflection/passivation layer |
JP5018688B2 (en) * | 2008-08-08 | 2012-09-05 | 株式会社島津製作所 | Film forming apparatus and film forming method |
JP5251548B2 (en) * | 2009-01-29 | 2013-07-31 | 富士電機株式会社 | Deposition equipment |
US9177761B2 (en) | 2009-08-25 | 2015-11-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Plasma CVD apparatus, method for forming microcrystalline semiconductor film and method for manufacturing semiconductor device |
KR20110021654A (en) | 2009-08-25 | 2011-03-04 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | Method for manufacturing microcrystalline semiconductor film and method for manufacturing semiconductor device |
JP5678883B2 (en) * | 2009-11-02 | 2015-03-04 | 東レ株式会社 | Plasma CVD apparatus and silicon thin film manufacturing method |
-
2004
- 2004-07-16 JP JP2004210469A patent/JP4279217B2/en active Active
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---|---|
JP2006032720A (en) | 2006-02-02 |
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