JP4253202B2 - Magnetic disk glide inspection method and magnetic disk manufacturing method - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスクドライブ等の磁気ディスク装置に搭載される磁気ディスクのグライド検査方法及び、磁気ディスクの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ハードディスクドライブ（HDD）などに搭載される磁気ディスクは、高記録密度化の要請に応えるために平滑化が図られている。磁気ディスクの表面を平滑化すると、浮上飛行して記録再生を行なう磁気ヘッドの浮上量を低減させることができ、従って記録再生時のスペーシングロスを改善することができるからである。このため、例えば高度の平滑化が可能なガラスディスク基板を用いた磁気ディスクが実用化されている。
通常、磁気ディスクは、ディスク基板製造工程、成膜工程、検査工程という順次一連の製造工程を経て完成し梱包され市場に出荷される。この検査工程には通常、グライド検査工程と信号品質検査工程などが含まれる。グライド検査工程とは、磁気ディスクがハードディスクドライブに搭載されたときに、磁気ヘッドの浮上飛行が妨げられないよう、磁気ディスク上の凹凸や異物等を検査し、許容範囲外の磁気ディスクを排除する工程のことである。この検査工程を経ることにより、安定した品質を備える磁気ディスク製品が完成し、市場に供給される。
グライド検査には、グライド検査用途に製造されたグライドヘッドが用いられる。このようなグライドヘッドとしては例えば、特開２００２−１９０１０９号公報のようなグライドヘッドを用いることが知られている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−１９０１０９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
最近、一段の高記録密度化を達成するために、磁気ディスクの主表面は鏡面状態にまで平滑化されている。特に、ＬＵＬ（ロードアンロード）方式ハードディスクドライブに搭載する用途の磁気ディスクにおいては、従来のＣＳＳ方式用磁気ディスクで必要とされていた吸着防止用の凹凸形状をディスク主表面に付与する必要が無くなった為に、Ｒｍａｘで５ｎｍ以下まで鏡面化されている磁気ディスクもある。
このような鏡面化された磁気ディスクをグライド検査すると、安定的な結果が得られないという問題が発生した。例えばグライド検査中に突然に異常信号が発生して正確な検査ができなくなったり、また、検査機ごとに検査品質が異なる磁気ディスクが製造されてしまうという問題が発生した。さらに、同一の検査機を用いていても経時的に検査品質が変動してしまうという場合もあった。グライド検査中にフライスティクション障害を起こす場合もあった。また、例えば、一度グライド検査において問題なしと判定された磁気ディスクを、再度同一設定のグライド検査を行なうと、不良と判定されてしまう問題が発生した。
【０００５】
このため、製造される磁気ディスクに高度の品質保証を付与することが困難になる場合があった。また、検査歩留まりが安定しないので磁気ディスクの製造コストが上昇し、廉価な磁気ディスクの提供が阻害されるという問題もある。
本発明は、このような上記課題を解決することにより、安定的な磁気ディスクのグライド検査を実現することを第１の目的とする。また、主表面が鏡面の磁気ディスクのグライド検査を安定的に実現することを第２の目的とする。更に、ＬＵＬ（ロードアンロード）方式ハードディスクドライブに搭載する用途の磁気ディスクに好適なグライド検査方法を提供することを第３の目的とする。さらに、これらグライド検査方法を含む磁気ディスクの製造方法を提供することにより、高度な品質保証を付与することのできる、高記録密度化に好適な廉価な磁気ディスクを提供することを第４の目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上述の課題に関して鋭意研究を行なったところ、以下のような事実を見出した。まず、上述のグライド検査の問題点は、従来の磁気ディスク、特に従来のＣＳＳ方式用の磁気ディスクでは殆ど観察されず、ＬＵＬ方式用の磁気ディスクで発生し易いこと、また、同様の鏡面を備える磁気ディスクを検査しても、課題が発生する場合もあれば発生しない場合もあり、必ずしも再現性が得られないこと、さらに、同一仕様のグライドヘッドを用いて検査しても、課題が発生する場合もあれば発生しない場合もあり、必ずしも再現性が得られないことが判明した。
このため、発明者は、グライド検査工程に影響を及ぼしうる多くの因子について、課題との因果関係を調査した。例えば、グライド検査が行なわれる雰囲気の清浄度や、磁気ディスクの主表面上に形成されている保護層や潤滑層の物質や特性、グライドヘッドの素材など多くの因子を一つ一つ解析していった。
その結果、グライドヘッドの表面粗さ、特に、検査するグライドヘッドの表面粗さと、検査される磁気ディスク主表面の表面粗さとのバランスが問題の根源にあることを突き止めた。
【０００７】
本発明は上記の知見に基づいて完成されたものである。本発明は以下の構成を有する。
（構成１）磁気ディスク上を浮上飛行するグライドヘッドを用いて、磁気ディスクのグライド検査をする方法であって、前記磁気ディスクの表面粗さよりも、表面粗さの大きなグライドヘッドを選定し、該選定したグライドヘッドを用いて検査を行なうことを特徴とする磁気ディスクのグライド検査方法。
（構成２）構成１に記載の磁気ディスクのグライド検査方法であって、検査される磁気ディスクの表面は鏡面であることを特徴とする磁気ディスクのグライド検査方法。
（構成３）構成１又は２に記載の磁気ディスクのグライド検査方法であって、検査される磁気ディスク上に形成されている潤滑層の膜厚は１５Å以下であることを特徴とする磁気ディスクのグライド検査方法。
（構成４）構成１乃至３の何れか１項に記載の磁気ディスクのグライド検査方法であって、前記グライドヘッドの表面粗さは、Ｒｍａｘで１５nm以下の範囲内で選定することを特徴とする、磁気ディスクのグライド検査方法。
（構成５）構成１乃至４の何れか１項に記載の磁気ディスクのグライド検査方法に基づく磁気ディスクのグライド検査工程を含むことを特徴とする磁気ディスクの製造方法。
【０００８】
本発明にあってはグライド検査方法として、以下のステップを少なくとも含む。
（第１のステップ）
磁気ディスクの表面粗さよりも、表面粗さの大きなグライドヘッドを選定するステップ。
（第２のステップ）
該選定したグライドヘッドを用いて検査を行なうステップ。
このように、第１のステップに基づく判断基準でグライドヘッドを選定することにより、第２のステップにおいて、安定的なグライド検査を実現することができる。
具体的な第１のステップの実現手段としては、グライド検査前にグライドヘッドの表面を測定して選定することもできるが、予め、検査される磁気ディスクの表面粗さの仕様が判明している場合などでは、磁気ディスクの表面粗さよりも表面粗さの粗いグライドヘッドの仕様を選定し、前記選定した仕様に基づいてグライドヘッドを製造し、該製造されたグライドヘッドを用いてグライド検査を行なうと、個々のグライドヘッドの表面粗さを測定することなく第１のステップを実現することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明にあって表面粗さは、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）による表面粗さとすることが好ましい。ＡＦＭは微細な表面形状を精緻に分析することができるので本発明にとって好適である。５μｍ×５μｍの領域のＡＦＭ測定結果を用いることが好ましい。
また、本発明において言うグライドヘッドの表面粗さとは、グライド検査時に磁気ディスクと接触し得る部位の表面粗さとする。具体的には、グライドヘッドのＡＢＳ（Air Bearing Surface）面の表面粗さとすることが好ましい。グライドヘッドやグライド検査の詳細については、前述の特許文献１や、国際ディスクドライブ協会編集の最新ストレージ用語辞典（日経ＢＰ社発行）などにより知ることができる。
本発明において、検査される磁気ディスクは主表面が鏡面の磁気ディスクにおいて顕著な作用を得ることができるので好ましい。勿論、鏡面でない磁気ディスクに対して用いることもできる。
本発明にとって好ましい磁気ディスクの表面粗さは、Ｒｍａｘで１０nm以下の鏡面の磁気ディスクが好ましく、さらには、Rmaxで６ｎｍ以下の鏡面の磁気ディスクのグライド検査において顕著な作用を得ることができる。さらに、磁気ディスクの表面粗さは、Ｒａが0.7nm以下、さらにはＲａが0.5nm以下であることが好ましい。
また、磁気ディスクの表面粗さの下限については、Ｒｍａｘで１ｎｍ以上とするのが実用的である。また、Ｒａでは0.1nm以上が実用的である。
なお、本発明にいう表面粗さＲｍａｘ、Ｒａとは日本工業規格（ＪＩＳ）に定めるものを言う。
【００１０】
また、本発明にあっては、磁気ディスクの主表面上に形成される潤滑層の膜厚は１５Å以下とするのが好ましい。潤滑層の膜厚が１５Åを超えると、グライド検査中にフライスティクション障害を起こして安定的な検査を阻害する場合がある。
なお潤滑層とは、磁気ディスク表面に形成されて、磁気ヘッドの衝撃を緩和するためのものであって、ＰＦＰＥ（パーフルオロポリエーテル）化合物からなる潤滑剤を塗布して形成される。フライスティクション障害を緩和するためには、潤滑性能と付着力に優れるアルコール変性ＰＦＰＥ潤滑剤を用いることが好ましい。
本発明においては、グライドヘッドの表面粗さに関しては、余りにも粗いと逆にグライド検査結果をばらつかせて、検査の信頼性が低下する場合がある。実用上、具体的にはグライドヘッドの表面粗さは、構成１の選定条件の下で、Ｒｍａｘで１５nm以下の範囲内で選定することが好ましく、特に、Ｒｍａｘで１０ｎｍ以下の範囲内で選定することが望ましい。さらに、グライドヘッドの表面粗さは、Ｒａが1.2nm以下、さらにはＲａが1.0nm以下であることが好ましい。
また、グライドヘッドの表面粗さの下限については、構成１の選定条件の下で、Ｒｍａｘで３nm以上とするのが実用的である。また、Ｒａでは0.3nm以上とするのが実用的である。
本発明において、グライドヘッドの表面、特にＡＢＳ面には保護層が形成されていることが好ましい。例えばＤＬＣ保護層などが挙げられる。保護層が形成されていると、グライド検査において、安定的な磁気ディスクを製造できるからである。
【００１１】
以下、本発明の実施形態について具体的な例を掲げるが、勿論本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
（実施例１）
（ディスク基板製造工程）
アルミノシリケートガラスからなるドーナツ状のガラスディスク準備し、端面鏡面研磨工程、主表面鏡面研磨工程を経て、化学強化工程を施した。この後、精密洗浄工程と乾燥工程を経て、２．５インチ型磁気ディスク用のガラスディスク基板が完成した。外径は６５ｍｍ、内径は２０ｍｍ、ディスク厚は０．６３５ｍｍである。ディスク基板の主表面の５μｍ×５μｍ領域をＡＦＭで測定したとき、Ｒｍａｘで４．５nm、Ｒａで０．３ｎｍの鏡面であることを確認した。
（成膜工程）
次いで、DCマグネトロンスパッタリング法によりアルゴン雰囲気で順次、CrW合金からなる非磁性下地層、CoCrPtB合金からなる磁性層を形成した。この後にプラズマＣＶＤ法により水素化炭素からなる保護層を６０Å形成した。この保護層上にアルコール変性パーフルオロポリエーテル化合物を主成分とするフォンブリンＺ誘導体（商品名）からなる潤滑剤をディップ法で塗布し、潤滑層を形成した。該潤滑層の膜厚をフーリエ変換型赤外分光光度計（ＦＴＩＲ）を用いて分析したところ１０Åであった。得られた磁気ディスクの主表面の５μｍ×５μｍ領域をＡＦＭで測定したとき、Ｒｍａｘで４．６nm、Ｒａで０．３ｎｍの鏡面であることを確認した。同様の工程による同様の磁気ディスクを１００枚作製した。
【００１２】
（グライド検査工程）
グライド検査で用いるグライドヘッドの仕様を表面粗さＲｍａｘで１０ｎｍと決定し、この仕様に合致する製造方法で得られたグライドヘッドを選定した。
選定されたグライドヘッドのＡＢＳ面の５μｍ×５μｍ領域の表面粗さをＡＦＭで測定したとき、Ｒｍａｘで９．５nm、Ｒａで０．９ｎｍであった。なお、グライドヘッドのＡＢＳ面にはＤＬＣ保護層が形成されている。
得られた磁気ヘッドと磁気ディスクを用いて、グライド検査を行なった。検査機には日立電子エンジニアリング株式会社製の磁気ディスクテストシステムＲＱ３０００（商品名）を用いた。またグライドヘッドの浮上量は、１０nmに設定した。１００枚の磁気ディスクを検査した結果、検査不良などの問題なく正常にグライド検査を終了した。なお、グライド検査の結果、１００枚の磁気ディスクは全て検査合格品であった。従って、得られた磁気ディスクは少なくとも、浮上量が１０nmの磁気ヘッドが搭載されるＨＤＤで用いることが可能であることが分かった。
【００１３】
この後、磁気ディスクはグライド検査工程の後に、信号品質検査工程を経て梱包され、検査合格品はＬＵＬ（ロードアンロード）方式用の磁気ディスク製品として出荷される。
なお、得られた磁気ディスクをＬＵＬ（ロードアンロード）方式ハードディスクドライブに搭載し、浮上量が１０nmの磁気ヘッドによりＬＵＬ耐久性試験を行なったところ、ＬＵＬ耐久回数は６０万回を超えることができた。通常のＨＤＤの使用状況ではＬＵＬ回数が４０万回を超えるには概ね１０年程度の使用が必要と言われており、本発明による磁気ディスクは、高い信頼性と品質保証を付与できることが分かる。
【００１４】
（比較例１）
次に、ＡＢＳ面（５μｍ×５μｍ領域）の表面粗さをＡＦＭで測定したとき、Ｒｍａｘで４．３ｎｍ、Ｒａで０．２８ｎｍのヘッドを準備し、実施例１で作製した検査合格品の磁気ディスク１００枚を用いてグライド検査を行なった。ＡＢＳ面の表面粗さ以外のグライド検査条件は実施例１と同様である。
結果、１００枚中３枚の磁気ディスクに検査不良が発生したが、この３枚の磁気ディスクのグライド検査において、検査信号が異常バーストするという現象が確認された。フライスティクション障害が発生したものと考えられる。この３枚の検査不良磁気ディスクを詳細に分析したが、磁気ディスクには異常が観察されなかった。なお、グライド検査後のＡＢＳ面には、磁気ディスクの潤滑剤と思われる物質が移着しているのが観察された。
この比較例によるグライド検査では歩留まりが９７％となってしまうので、製造コストが上昇し、廉価な磁気ディスクの提供が阻害されてしまう。
【００１５】
【発明の効果】
本発明によれば、磁気ディスクの表面粗さよりも、表面粗さの大きなグライドヘッドを選定し、該選定したグライドヘッドを用いてグライド検査を行なうので、安定的な磁気ディスクのグライド検査を実現することができる。また、主表面が鏡面の磁気ディスクのグライド検査を安定的に実現することができる。更に、ＬＵＬ（ロードアンロード）方式ハードディスクドライブに搭載する用途の磁気ディスクに好適なグライド検査方法を提供することができる。さらに、これらグライド検査方法を含む磁気ディスクの製造方法を提供することにより、高度な品質保証を付与することのできる、高記録密度化に好適で廉価な磁気ディスクを提供することができる。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for inspecting a glide of a magnetic disk mounted on a magnetic disk device such as a hard disk drive and a method for manufacturing a magnetic disk.
[0002]
[Prior art]
Magnetic disks mounted on hard disk drives (HDD) and the like are smoothed to meet the demand for higher recording density. This is because if the surface of the magnetic disk is smoothed, the flying height of the magnetic head that flies and flies can be reduced, and therefore the spacing loss during recording and reproduction can be improved. For this reason, for example, a magnetic disk using a glass disk substrate capable of highly smoothing has been put into practical use.
Usually, a magnetic disk is completed, packed and shipped to the market through a sequential series of manufacturing processes including a disk substrate manufacturing process, a film forming process, and an inspection process. This inspection process usually includes a glide inspection process and a signal quality inspection process. The glide inspection process is to check the unevenness and foreign matter on the magnetic disk so that the flying of the magnetic head is not hindered when the magnetic disk is mounted on the hard disk drive, and exclude the magnetic disk outside the allowable range It is a process. Through this inspection process, a magnetic disk product with stable quality is completed and supplied to the market.
For glide inspection, a glide head manufactured for glide inspection is used. As such a glide head, for example, it is known to use a glide head as disclosed in JP-A-2002-190109.
[0003]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 2002-190109
[Problems to be solved by the invention]
Recently, in order to achieve a higher recording density, the main surface of a magnetic disk has been smoothed to a mirror state. In particular, in a magnetic disk for use in a LUL (load / unload) hard disk drive, it is no longer necessary to provide the main surface of the disk with an anti-adhesive shape that is required for conventional CSS magnetic disks. Therefore, some magnetic disks are mirror-finished to Rmax of 5 nm or less.
When such a mirrored magnetic disk is subjected to a glide inspection, there is a problem that a stable result cannot be obtained. For example, an abnormal signal suddenly occurs during the glide inspection, and an accurate inspection cannot be performed, and a magnetic disk having a different inspection quality is produced for each inspection machine. Furthermore, even when the same inspection machine is used, the inspection quality may sometimes change over time. In some cases, fly stiction problems occurred during the glide test. In addition, for example, when a magnetic disk once determined to have no problem in the glide inspection is again subjected to the same setting of the glide inspection, there is a problem that it is determined to be defective.
[0005]
For this reason, it may be difficult to give a high quality assurance to the manufactured magnetic disk. Further, since the inspection yield is not stable, there is a problem that the manufacturing cost of the magnetic disk rises and the provision of an inexpensive magnetic disk is hindered.
A first object of the present invention is to realize a stable magnetic disk glide inspection by solving the above-described problems. A second object is to stably realize a glide inspection of a magnetic disk whose main surface is a mirror surface. It is a third object of the present invention to provide a glide inspection method suitable for a magnetic disk for use in a LUL (load / unload) type hard disk drive. Furthermore, a fourth object of the present invention is to provide an inexpensive magnetic disk suitable for increasing the recording density, which can provide high quality assurance by providing a method of manufacturing a magnetic disk including these glide inspection methods. And
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The present inventor conducted intensive studies on the above-mentioned problems and found the following facts. First, the problems of the above-mentioned glide inspection are hardly observed on the conventional magnetic disk, particularly the conventional CSS type magnetic disk, and are likely to occur on the LUL type magnetic disk, and have the same mirror surface. Even if a magnetic disk is inspected, there may or may not be a problem, and reproducibility is not necessarily obtained. Further, even if a glide head of the same specification is used for inspection, a problem occurs. In some cases, it did not occur, and it was found that reproducibility was not always obtained.
For this reason, the inventor investigated the causal relationship with a subject about many factors that can influence the glide inspection process. For example, many factors are analyzed one by one, such as the cleanliness of the atmosphere in which the glide inspection is performed, the material and characteristics of the protective layer and lubricating layer formed on the main surface of the magnetic disk, and the material of the glide head. It was.
As a result, it has been found that the balance between the surface roughness of the glide head, particularly the surface roughness of the glide head to be inspected, and the surface roughness of the main surface of the magnetic disk to be inspected lies at the root of the problem.
[0007]
The present invention has been completed based on the above findings. The present invention has the following configuration.
(Configuration 1) A method of performing a glide inspection of a magnetic disk using a glide head flying and flying over a magnetic disk, wherein a glide head having a surface roughness larger than the surface roughness of the magnetic disk is selected, A glide inspection method for a magnetic disk, wherein inspection is performed using a selected glide head.
(Configuration 2) A magnetic disk glide inspection method according to Configuration 1, wherein the surface of the magnetic disk to be inspected is a mirror surface.
(Structure 3) A magnetic disk glide inspection method according to Structure 1 or 2, wherein the lubricating layer formed on the magnetic disk to be inspected has a thickness of 15 mm or less. Glide inspection method.
(Structure 4) The magnetic disk glide inspection method according to any one of Structures 1 to 3, wherein the surface roughness of the glide head is selected within a range of 15 nm or less in terms of Rmax. , Glide inspection method for magnetic disk.
(Structure 5) A magnetic disk manufacturing method comprising a magnetic disk glide inspection step based on the magnetic disk glide inspection method according to any one of Structures 1 to 4.
[0008]
In the present invention, the glide inspection method includes at least the following steps.
(First step)
A step of selecting a glide head having a surface roughness larger than the surface roughness of the magnetic disk.
(Second step)
Performing an inspection using the selected glide head;
As described above, by selecting the glide head based on the criterion based on the first step, a stable glide inspection can be realized in the second step.
As a concrete means for realizing the first step, the surface of the glide head can be selected by measuring the surface of the glide head before the glide inspection, but the specification of the surface roughness of the magnetic disk to be inspected is known in advance. In some cases, the specification of a glide head having a surface roughness greater than the surface roughness of the magnetic disk is selected, a glide head is manufactured based on the selected specification, and a glide inspection is performed using the manufactured glide head. Thus, the first step can be realized without measuring the surface roughness of the individual glide heads.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
In the present invention, the surface roughness is preferably the surface roughness measured by an atomic force microscope (AFM). AFM is suitable for the present invention because it can precisely analyze a fine surface shape. It is preferable to use an AFM measurement result in a region of 5 μm × 5 μm.
Further, the surface roughness of the glide head referred to in the present invention is the surface roughness of the portion that can come into contact with the magnetic disk during the glide inspection. Specifically, the surface roughness of the glide head ABS (Air Bearing Surface) surface is preferable. Details of the glide head and glide inspection can be found from the above-mentioned Patent Document 1 and the latest storage terminology dictionary edited by the International Disk Drive Association (issued by Nikkei BP).
In the present invention, the magnetic disk to be inspected is preferable because a significant effect can be obtained in a magnetic disk whose main surface is a mirror surface. Of course, it can also be used for magnetic disks that are not mirror surfaces.
The surface roughness of the magnetic disk preferable for the present invention is preferably a mirror-surface magnetic disk having an Rmax of 10 nm or less, and further, a remarkable effect can be obtained in a glide inspection of a mirror-surface magnetic disk having an Rmax of 6 nm or less. Further, the surface roughness of the magnetic disk is preferably such that Ra is 0.7 nm or less, and further Ra is 0.5 nm or less.
Further, regarding the lower limit of the surface roughness of the magnetic disk, it is practical to set Rmax to 1 nm or more. Further, Ra is practically 0.1 nm or more.
The surface roughness Rmax and Ra referred to in the present invention are those defined in Japanese Industrial Standard (JIS).
[0010]
In the present invention, the thickness of the lubricating layer formed on the main surface of the magnetic disk is preferably 15 mm or less. If the film thickness of the lubricating layer exceeds 15 mm, a fly stiction failure may occur during the glide inspection, which may hinder stable inspection.
The lubrication layer is formed on the surface of the magnetic disk to reduce the impact of the magnetic head, and is formed by applying a lubricant made of a PFPE (perfluoropolyether) compound. In order to alleviate fly stiction obstruction, it is preferable to use an alcohol-modified PFPE lubricant that is excellent in lubrication performance and adhesion.
In the present invention, regarding the surface roughness of the glide head, if the surface is too rough, the glide inspection results may be varied and the inspection reliability may be lowered. Practically, specifically, the surface roughness of the glide head is preferably selected within the range of 15 nm or less as Rmax under the selection conditions of Configuration 1, and particularly selected within the range of 10 nm or less as Rmax. It is desirable. Furthermore, the surface roughness of the glide head is preferably such that Ra is 1.2 nm or less, and further Ra is 1.0 nm or less.
As for the lower limit of the surface roughness of the glide head, it is practical to set Rmax to 3 nm or more under the selection conditions of Configuration 1. For Ra, it is practical to be 0.3 nm or more.
In the present invention, a protective layer is preferably formed on the surface of the glide head, particularly on the ABS surface. For example, a DLC protective layer etc. are mentioned. This is because when the protective layer is formed, a stable magnetic disk can be manufactured in the glide inspection.
[0011]
Specific examples of embodiments of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples.
Example 1
(Disc board manufacturing process)
A doughnut-shaped glass disk made of aluminosilicate glass was prepared and subjected to a chemical strengthening step through an end face mirror polishing step and a main surface mirror polishing step. Thereafter, a glass disk substrate for a 2.5 inch magnetic disk was completed through a precision cleaning process and a drying process. The outer diameter is 65 mm, the inner diameter is 20 mm, and the disc thickness is 0.635 mm. When the 5 μm × 5 μm region of the main surface of the disk substrate was measured by AFM, it was confirmed that the mirror surface had a Rmax of 4.5 nm and a Ra of 0.3 nm.
(Film formation process)
Next, a nonmagnetic underlayer composed of a CrW alloy and a magnetic layer composed of a CoCrPtB alloy were sequentially formed in an argon atmosphere by a DC magnetron sputtering method. Thereafter, a protective layer made of hydrogenated carbon was formed by plasma CVD. On this protective layer, a lubricant comprising a fomblin Z derivative (trade name) mainly composed of an alcohol-modified perfluoropolyether compound was applied by a dip method to form a lubricating layer. When the thickness of the lubricating layer was analyzed using a Fourier transform infrared spectrophotometer (FTIR), it was 10 mm. When the 5 μm × 5 μm region of the main surface of the obtained magnetic disk was measured by AFM, it was confirmed that the mirror surface had a Rmax of 4.6 nm and a Ra of 0.3 nm. 100 similar magnetic disks were manufactured in the same process.
[0012]
(Glide inspection process)
The specification of the glide head used in the glide inspection was determined to have a surface roughness Rmax of 10 nm, and a glide head obtained by a manufacturing method meeting this specification was selected.
When the surface roughness of the 5 μm × 5 μm region of the ABS surface of the selected glide head was measured by AFM, it was 9.5 nm for Rmax and 0.9 nm for Ra. A DLC protective layer is formed on the ABS surface of the glide head.
A glide inspection was performed using the obtained magnetic head and magnetic disk. A magnetic disk test system RQ3000 (trade name) manufactured by Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. was used as the inspection machine. The flying height of the glide head was set to 10 nm. As a result of inspecting 100 magnetic disks, the glide inspection was successfully completed without problems such as defective inspection. As a result of the glide inspection, all 100 magnetic disks were inspected products. Therefore, it was found that the obtained magnetic disk can be used in at least an HDD equipped with a magnetic head having a flying height of 10 nm.
[0013]
Thereafter, the magnetic disk is packed through a signal quality inspection process after the glide inspection process, and a product that has passed the inspection is shipped as a magnetic disk product for a LUL (load unload) system.
When the obtained magnetic disk was mounted on a LUL (load / unload) type hard disk drive and a LUL durability test was performed with a magnetic head having a flying height of 10 nm, the number of LUL durability could exceed 600,000 times. It was. Under normal usage conditions of the HDD, it is said that the use of about 10 years is necessary for the number of LULs to exceed 400,000, and it can be seen that the magnetic disk according to the present invention can provide high reliability and quality assurance.
[0014]
(Comparative Example 1)
Next, when the surface roughness of the ABS surface (5 μm × 5 μm region) was measured by AFM, a head having a Rmax of 4.3 nm and a Ra of 0.28 nm was prepared. Glide inspection was performed using 100 discs. Glide inspection conditions other than the surface roughness of the ABS surface are the same as those in Example 1.
As a result, an inspection failure occurred in three of the 100 magnetic disks, but in the glide inspection of these three magnetic disks, a phenomenon that the inspection signal abnormally burst was confirmed. It is probable that a fly stiction failure occurred. These three defectively tested magnetic disks were analyzed in detail, but no abnormality was observed on the magnetic disks. In addition, it was observed that a substance considered to be a magnetic disk lubricant was transferred to the ABS surface after the glide test.
In the glide inspection according to this comparative example, the yield is 97%, which increases the manufacturing cost and hinders the provision of an inexpensive magnetic disk.
[0015]
【The invention's effect】
According to the present invention, since a glide head having a surface roughness larger than the surface roughness of the magnetic disk is selected and the glide inspection is performed using the selected glide head, a stable magnetic disk glide inspection is realized. be able to. Further, it is possible to stably realize the glide inspection of the magnetic disk whose main surface is a mirror surface. Further, it is possible to provide a glide inspection method suitable for a magnetic disk for use in an LUL (load / unload) type hard disk drive. Furthermore, by providing a magnetic disk manufacturing method including these glide inspection methods, it is possible to provide an inexpensive magnetic disk suitable for increasing the recording density and capable of giving a high level of quality assurance.

Claims (3)

磁気ディスク上を浮上飛行するグライドヘッドを用いて、ロードアンロード方式の磁気ディスク装置に搭載される磁気ディスクのグライド検査をする方法であって、検査される磁気ディスク上に形成されている潤滑層の膜厚は１５Å以下であり、前記磁気ディスクの表面粗さはＲｍａｘで１０ｎｍ以下、Ｒａで０．７ｎｍ以下であり、前記磁気ディスクの表面粗さＲｍａｘおよびＲａよりも、表面粗さの大きな、かつＲｍａｘで１５ｎｍ以下、Ｒａで１．２ｎｍ以下の範囲内でグライドヘッドを選定し、該選定したグライドヘッドを用いて検査を行なうことを特徴とする磁気ディスクのグライド検査方法。A method for glide inspection of a magnetic disk mounted on a load / unload type magnetic disk apparatus using a glide head flying and flying over a magnetic disk, wherein a lubricating layer is formed on the magnetic disk to be inspected The magnetic disk has a surface roughness Rmax of 10 nm or less and Ra of 0.7 nm or less, and has a surface roughness larger than the surface roughness Rmax and Ra of the magnetic disk . A magnetic disk glide inspection method comprising: selecting a glide head within a range of Rmax of 15 nm or less and Ra of 1.2 nm or less, and performing inspection using the selected glide head. 請求項１に記載の磁気ディスクのグライド検査方法であって、検査される磁気ディスクの表面は鏡面であることを特徴とする磁気ディスクのグライド検査方法。  2. The magnetic disk glide inspection method according to claim 1, wherein the surface of the magnetic disk to be inspected is a mirror surface. 請求項１又は２に記載の磁気ディスクのグライド検査方法に基づく磁気ディスクのグライド検査工程を含むことを特徴とする磁気ディスクの製造方法。Method of manufacturing a magnetic disk, characterized by including the claims 1 or 2 glide inspection process of the magnetic disk based on the glide inspection method of a magnetic disk according to.