JP4237459B2 - 金属−セラミックス接合体の製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミックス基板とこのセラミックス基板に接合された金属部材とからなる金属−セラミックス接合体およびその製造方法に関し、特に抵抗素子としての銅合金からなる金属部材がセラミックス基板に接合されたシャント抵抗素子などの抵抗用電子部材に使用される金属−セラミックス接合体およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、回路の電流を検出するシャント抵抗素子などの抵抗用電子部材では、予めプレス加工などにより高精度に加工したシート状の抵抗体としてのマンガニン合金板などの合金板が、銀ろうなどの活性金属を含む金属系のろう材を用いたろう接によって、アルミナ基板などのセラミック基板に接合されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
一方、ろう材などの中間材を使用しないで金属板とセラミックス基板を直接接合する方法として、不活性雰囲気中において金属板とセラミックス基板をその共晶温度と金属の融点との間の温度に加熱して、金属板とセラミックス基板との間に共晶融体を生成させることにより、金属板とセラミックス基板を直接接合するいわゆる共晶接合法（例えば、特許文献２参照）や、溶融金属をセラミックス基板に直接接触させて接合するいわゆる溶湯接合法（例えば、特許文献３参照）などが知られている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−９７２０３号公報（段落番号０００７）
【特許文献２】
特開昭５２−３７９１４号公報（５頁、左下欄１３行〜右下欄１行）
【特許文献３】
特開平７−１９３３５８号公報（段落番号００１５〜００１６）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、活性金属を含むろう材を使用するろう接では、活性金属として銀などの貴金属の材料を使用したり、高真空で接合する必要があり、製造コストが比較的高くなるという問題もある。また、合金板とろう材との合金化により抵抗が変わるため、抵抗体用電子部材として使用するには好ましくない場合がある。また、銅−ニッケル合金や銅−ニッケル−マンガン合金などからなる合金板をろう材によりセラミックス基板に接合すると、ろう材の硬さ（強度）やろう材とセラミックス基板との熱膨張係数の差から生じる応力により、電子部材として必要な信頼性が得られない場合がある。
【０００６】
また、共晶接合法は、共晶融体を生成する金属板とセラミックス基板とを接合する場合に限られ、また、セラミックス中の酸素を接合材として利用する場合が多く、金属と非酸化物系セラミックスとを接合するのは困難である。
【０００７】
さらに、溶湯接合法では、溶融金属をセラミックス基板に直接接触させることにより金属板とセラミックス基板とを接合するため、細かい抵抗のような形状の電子材料を製造するのが困難な場合がある。
【０００８】
したがって、本発明は、このような従来の問題点に鑑み、共晶融体を生成しない場合でも金属部材とセラミックス基板とを直接接合することができ且つ溶融金属を使用することなく金属部材とセラミック基板とを直接接合することができる、金属−セラミック接合体およびその製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究した結果、銅とニッケルとマンガンを含む合金からなる金属部材を酸化物系セラミックス基板の少なくとも一方の面の上に直接配置した後、炉に入れて不活性雰囲気ガス中で合金の固相線以上且つ液相線以下の温度に加熱することにより、金属部材とセラミックス基板とを直接接合することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１０】
すなわち、本発明による金属−セラミックス接合体の製造方法は、銅とニッケルとマンガンを含む合金からなる金属部材を酸化物系セラミックス基板の少なくとも一方の面の上に直接配置した後、炉に入れて不活性雰囲気ガス中で合金の固相線以上且つ液相線以下の温度に加熱することにより、金属部材を前記セラミックス基板に直接接合することを特徴とする。
【００１１】
この金属−セラミックス接合体の製造方法において、酸化物系セラミックス基板がアルミナ基板であるのが好ましく、アルミナ基板がジルコニアを含むのが好ましい。また、合金が全率固溶型の合金であるのが好ましい。また、合金が、１．０〜４．０重量％のニッケルと、１０．０〜１３．０重量％のマンガンとを含み、残部が銅と不可避的元素であるのが好ましい。
【００１２】
合金の固相線以上且つ液相線以下の温度は、合金の固相線より５０℃高い温度以下の温度であるのが好ましい。また、合金がマンガニン合金であり、合金の固相線以上且つ液相線以下の温度が、９６０〜９９０℃の温度であるのが好ましい。不活性雰囲気ガスは、窒素ガスまたはアルゴンガスであるのが好ましい。
【００１３】
また、金属部材の周縁部に金属部材の厚さよりも薄い薄板部を設けるのが好ましい。この薄板部の厚さは０．２ｍｍ以下であるのが好ましい。また、金属部材が予め所定の形状に加工されているのが好ましい。さらに、金属部材の全面または一部の面にめっきを施すのが好ましい。また、金属−セラミックス接合体を抵抗用電子部材として使用することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明による金属−セラミックス接合体の製造方法の実施の形態は、銅とニッケルとマンガンを含む合金からなる金属部材を酸化物系セラミックス基板の少なくとも一方の面の上に直接配置した後、炉に入れて不活性雰囲気ガス中で合金の固相線以上且つ液相線以下の温度に加熱することにより、金属部材とセラミックス基板とを直接接合することを特徴とする。
【００１６】
銅とニッケルとマンガンを含む合金としては、電流検出などに使用されるマンガニン合金が好ましい。この合金は、全率固溶体であり、体積抵抗率が最大で抵抗温度係数が最小の組成を選んだものであり、精密抵抗用の合金として好ましい。
【００１７】
セラミックスとしては、酸化物系セラミックスであるアルミナやジルコニアを主成分とするセラミックスを使用することができる。
【００１８】
金属部材とセラミックス基板の接合は、窒素ガスやアルゴンガスなどの不活性雰囲気ガス中で行うのが好ましい。不活性雰囲気ガス中で接合できるため、ベルト式トンネル炉などを使用することができ、接合体を連続生産でき、生産性が高い。
【００１９】
また、金属部材とセラミックス基板の接合は、合金の固相線以上且つ液相線以下の温度に加熱することにより行われるが、特に精密抵抗用素子などに使用する金属−セラミックス接合体を製造する場合には、合金の固相線以上の温度で且つ合金の固相線より５０℃高い温度以下の温度で行うのが好ましい。
【００２０】
この接合のメカニズムは明確ではないが、固液共存相において液相の発生によりセラミックス表面が濡れて接合に至ると考えられる。したがって、金属−セラミックス接合体を電子材料として使用する場合には、金属部材の表面形状を保つ必要があり、より固相線に近い温度で過剰に液相を発生させないことが必要であるので、合金の固相線以上の温度で且つ合金の固相線より５０℃高い温度以下の温度に制御することが好ましい。
【００２１】
また、精密抵抗用電子部材の材料であるマンガニン合金からなる金属部材を使用する場合には、接合温度の好ましい範囲は９６０〜９９０℃であり、更に好ましい範囲は９６０〜９８０℃である。例えば、２重量％のニッケルと１２重量％のマンガンを含み且つ残部が銅と不可避的元素であるマンガニン合金の場合には、固相線の温度が約９６０℃で、液相線の温度が約１０００℃であり、固相線付近の狭い温度範囲で制御しなければ金属部材の平滑な表面を保つことが困難である。
【００２２】
マンガニン合金からなる金属部材の場合には、その板厚が０．４ｍｍ未満であるのが好ましく、０．２ｍｍ以下であるのが更に好ましい。板厚が０．４ｍｍ以上になると、金属部材とセラミックス基板の接合において、それらの熱膨張係数の差により発生する応力によってセラミックス基板が破壊する場合があるからである。また、この熱応力を低減するために、ろう材を用いないで金属部材とセラミックス基板を接合した後に徐冷するのが好ましい。
【００２３】
マンガニン合金からなる金属部材の厚さが０．４ｍｍ以上の場合には、その金属部材の端部に薄板部を設けるのが好ましく、その薄板部の厚さが０．２ｍｍ以下であるのが好ましい。マンガニン合金など合金は、銅などの純金属に比べて０．２％耐力が大きく、セラミックス基板に加わる残留応力も大きいので、信頼性について十分配慮する必要があり、薄板部により応力を緩和する必要があるからである。
【００２４】
なお、電子材料用の信頼性の評価としては、耐ヒートサイクル特性が知られており、例えば、室温→−４０℃×３０分→室温×１０分→１２５℃×３０分→室温×１０分を１サイクルとする繰り返しヒートサイクルを３０回行った後も、セラミックス基板の割れや電気特性などの劣化がないことが求められる。金属部材の厚さが０．４ｍｍ未満の場合には、これらの特性の条件が満たされる。
【００２５】
金属部材を予め所定の形状に加工しておくと、後加工を行う必要がないため、プレスやエッチングにより金属部材を所定の形状に加工した後に、金属部材をセラミックス基板に接合するのが好ましい。さらに、半田付けを容易にするとともに金属部材の経時変化を防止するために、金属部材の全面または一部の面にＮｉめっきやＮｉ合金めっきなどのめっきを施すことが好ましい。このめっきは、電解めっきまたは無電解めっきにより行うことができる。
【００２６】
また、セラミックス基板の表裏に別の種類の金属部材を接合してもよい。例えば、予め片面に銅部材を直接接合法により接合しておき、他方の面にＣｕ−Ｎｉ−Ｍｎ合金からなる部材を接合してもよい。この場合、銅部材を放熱板として利用することができる。
【００２７】
【実施例】
以下、本発明による金属−セラミックス接合体およびその製造方法の実施例について詳細に説明する。
【００２８】
［実施例１］
図１に示すように、アルミナからなる敷板１０上に、４５ｍｍ×６７ｍｍ×０．６３５ｍｍの大きさの９６％アルミナからなるセラミックス基板１２を載せ、その上面に４０ｍｍ×５０ｍｍ×０．２ｍｍの大きさの２Ｎｉ−１２Ｍｎ−Ｃｕ合金からなるマンガニン板１４を直接配置し、窒素ガスを流したベルト式トンネル炉に入れて、最高温度９７５℃で１０分間加熱した後、冷却して金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００２９】
［実施例２］
図２に示すように、セラミックス基板１２の両面にマンガニン板１４を直接配置し、スペーサ１６を介して敷板１０に載せた以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００３０】
［実施例３］
図３に示すように、セラミックス基板１２の下面にマンガニン板１４を直接配置し、スペーサ１６を介して敷板１０に載せた以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００３１】
［実施例４］
マンガニン板の大きさが２０ｍｍ×３０ｍｍ×０．２ｍｍである以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。さらに、室温→−４０℃×３０分→室温×１０分→１２５℃×３０分→室温×１０分を１サイクルとする繰り返しヒートサイクルを３０回行った後にも、セラミックス基板の割れはなく、電気特性の劣化もなかった。
【００３２】
［実施例５］
マンガニン板の大きさが２０ｍｍ×３０ｍｍ×０．１ｍｍである以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。さらに、実施例４と同じヒートサイクルを３０回行った後にも、セラミックス基板の割れはなく、電気特性の劣化もなかった。
【００３３】
［実施例６］
マンガニン板の大きさが２０ｍｍ×３０ｍｍ×０．０５ｍｍである以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。さらに、実施例４と同じヒートサイクルを３０回行った後にも、セラミックス基板の割れはなく、電気特性の劣化もなかった。
【００３４】
［実施例７］
セラミックス基板として４５ｍｍ×６７ｍｍ×０．２５ｍｍの大きさのジルコニアを含むアルミナ基板を使用した以外は、実施例４と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００３５】
［実施例８］
セラミックス基板として４５ｍｍ×６７ｍｍ×０．２５ｍｍの大きさのジルコニアを含むアルミナ基板を使用した以外は、実施例５と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００３６】
［実施例９］
セラミックス基板として４５ｍｍ×６７ｍｍ×０．２５ｍｍの大きさのジルコニアを含むアルミナ基板を使用した以外は、実施例６と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００３７】
［実施例１０］
厚さ０．２ｍｍのマンガニン板をシャント抵抗用としてエッチングにより所定の形状に加工した後に、アルミナ基板上に直接配置し、最高温度９８０℃とした以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００３８】
［実施例１１］
厚さ０．２ｍｍのマンガニン板をシャント抵抗用としてエッチングにより所定の形状に加工した後、ジルコニア含有アルミナ基板上に直接配置し、最高温度９８０℃とした以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００３９】
［実施例１２］
２０ｍｍ×３０ｍｍ×０．４ｍｍのマンガニン板の外周１ｍｍの部分をエッチングにより厚さ０．２ｍｍに加工した後、アルミナ基板上に直接配置し、最高温度９８０℃とした以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００４０】
［比較例］
マンガニン板とアルミナ基板との間に、活性金属としてチタンを含有する銀ろうを配置し、接合温度を８５０℃として真空中で接合する以外は、実施例５と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。しかし、ろう材成分がマンガニン板に拡散してマンガニン板が変質し、抵抗体として使用することができなかった。
【００４１】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、共晶融体を生成しない場合でも金属部材とセラミックス基板とを直接接合することができるとともに、溶融金属を使用することなく金属部材とセラミック基板とを直接接合することができる。また、本発明の方法により製造された金属−セラミックス接合体は、電子部材として十分に強固に接合され、合金として抵抗特性が維持されるとともに信頼性も十分であるので、汎用インバータの回路の電流測定に利用されるシャント抵抗や、混成集積回路における電流検出素子や、ひずみゲージ式変換器などの温度補償回路などに使用することができる。さらに、不活性雰囲気ガス中で接合することができ、トンネル炉による連続生産により、生産効率の高い製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による金属−セラミックス接合体の製造方法によりセラミックス基板の上面に金属部材を直接接合する工程を示す側面図。
【図２】本発明による金属−セラミックス接合体の製造方法によりセラミックス基板の両面に金属部材を直接接合する工程を示す側面図。
【図３】本発明による金属−セラミックス接合体の製造方法によりセラミックス基板の下面に金属部材を直接接合する工程を示す側面図。
【符号の説明】
１０ 敷板
１２ セラミックス基板
１４ マンガニン板
１６ スペーサ
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミックス基板とこのセラミックス基板に接合された金属部材とからなる金属−セラミックス接合体およびその製造方法に関し、特に抵抗素子としての銅合金からなる金属部材がセラミックス基板に接合されたシャント抵抗素子などの抵抗用電子部材に使用される金属−セラミックス接合体およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、回路の電流を検出するシャント抵抗素子などの抵抗用電子部材では、予めプレス加工などにより高精度に加工したシート状の抵抗体としてのマンガニン合金板などの合金板が、銀ろうなどの活性金属を含む金属系のろう材を用いたろう接によって、アルミナ基板などのセラミック基板に接合されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
一方、ろう材などの中間材を使用しないで金属板とセラミックス基板を直接接合する方法として、不活性雰囲気中において金属板とセラミックス基板をその共晶温度と金属の融点との間の温度に加熱して、金属板とセラミックス基板との間に共晶融体を生成させることにより、金属板とセラミックス基板を直接接合するいわゆる共晶接合法（例えば、特許文献２参照）や、溶融金属をセラミックス基板に直接接触させて接合するいわゆる溶湯接合法（例えば、特許文献３参照）などが知られている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−９７２０３号公報（段落番号０００７）
【特許文献２】
特開昭５２−３７９１４号公報（５頁、左下欄１３行〜右下欄１行）
【特許文献３】
特開平７−１９３３５８号公報（段落番号００１５〜００１６）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、活性金属を含むろう材を使用するろう接では、活性金属として銀などの貴金属の材料を使用したり、高真空で接合する必要があり、製造コストが比較的高くなるという問題もある。また、合金板とろう材との合金化により抵抗が変わるため、抵抗体用電子部材として使用するには好ましくない場合がある。また、銅−ニッケル合金や銅−ニッケル−マンガン合金などからなる合金板をろう材によりセラミックス基板に接合すると、ろう材の硬さ（強度）やろう材とセラミックス基板との熱膨張係数の差から生じる応力により、電子部材として必要な信頼性が得られない場合がある。
【０００６】
また、共晶接合法は、共晶融体を生成する金属板とセラミックス基板とを接合する場合に限られ、また、セラミックス中の酸素を接合材として利用する場合が多く、金属と非酸化物系セラミックスとを接合するのは困難である。
【０００７】
さらに、溶湯接合法では、溶融金属をセラミックス基板に直接接触させることにより金属板とセラミックス基板とを接合するため、細かい抵抗のような形状の電子材料を製造するのが困難な場合がある。
【０００８】
したがって、本発明は、このような従来の問題点に鑑み、共晶融体を生成しない場合でも金属部材とセラミックス基板とを直接接合することができ且つ溶融金属を使用することなく金属部材とセラミック基板とを直接接合することができる、金属−セラミック接合体およびその製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究した結果、銅とニッケルとマンガンを含む合金からなる金属部材を酸化物系セラミックス基板の少なくとも一方の面の上に直接配置した後、炉に入れて不活性雰囲気ガス中で合金の固相線以上且つ液相線以下の温度に加熱することにより、金属部材とセラミックス基板とを直接接合することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１０】
すなわち、本発明による金属−セラミックス接合体の製造方法は、銅とニッケルとマンガンを含む合金からなる金属部材を酸化物系セラミックス基板の少なくとも一方の面の上に直接配置した後、炉に入れて不活性雰囲気ガス中で合金の固相線以上且つ液相線以下の温度に加熱することにより、金属部材を前記セラミックス基板に直接接合することを特徴とする。
【００１１】
この金属−セラミックス接合体の製造方法において、酸化物系セラミックス基板がアルミナ基板であるのが好ましく、アルミナ基板がジルコニアを含むのが好ましい。また、合金が全率固溶型の合金であるのが好ましい。また、合金が、１．０〜４．０重量％のニッケルと、１０．０〜１３．０重量％のマンガンとを含み、残部が銅と不可避的元素であるのが好ましい。
【００１２】
合金の固相線以上且つ液相線以下の温度は、合金の固相線より５０℃高い温度以下の温度であるのが好ましい。また、合金がマンガニン合金であり、合金の固相線以上且つ液相線以下の温度が、９６０〜９９０℃の温度であるのが好ましい。不活性雰囲気ガスは、窒素ガスまたはアルゴンガスであるのが好ましい。
【００１３】
また、金属部材の周縁部に金属部材の厚さよりも薄い薄板部を設けるのが好ましい。この薄板部の厚さは０．２ｍｍ以下であるのが好ましい。また、金属部材が予め所定の形状に加工されているのが好ましい。さらに、金属部材の全面または一部の面にめっきを施すのが好ましい。また、金属−セラミックス接合体を抵抗用電子部材として使用することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明による金属−セラミックス接合体の製造方法の実施の形態は、銅とニッケルとマンガンを含む合金からなる金属部材を酸化物系セラミックス基板の少なくとも一方の面の上に直接配置した後、炉に入れて不活性雰囲気ガス中で合金の固相線以上且つ液相線以下の温度に加熱することにより、金属部材とセラミックス基板とを直接接合することを特徴とする。
【００１６】
銅とニッケルとマンガンを含む合金としては、電流検出などに使用されるマンガニン合金が好ましい。この合金は、全率固溶体であり、体積抵抗率が最大で抵抗温度係数が最小の組成を選んだものであり、精密抵抗用の合金として好ましい。
【００１７】
セラミックスとしては、酸化物系セラミックスであるアルミナやジルコニアを主成分とするセラミックスを使用することができる。
【００１８】
金属部材とセラミックス基板の接合は、窒素ガスやアルゴンガスなどの不活性雰囲気ガス中で行うのが好ましい。不活性雰囲気ガス中で接合できるため、ベルト式トンネル炉などを使用することができ、接合体を連続生産でき、生産性が高い。
【００１９】
また、金属部材とセラミックス基板の接合は、合金の固相線以上且つ液相線以下の温度に加熱することにより行われるが、特に精密抵抗用素子などに使用する金属−セラミックス接合体を製造する場合には、合金の固相線以上の温度で且つ合金の固相線より５０℃高い温度以下の温度で行うのが好ましい。
【００２０】
この接合のメカニズムは明確ではないが、固液共存相において液相の発生によりセラミックス表面が濡れて接合に至ると考えられる。したがって、金属−セラミックス接合体を電子材料として使用する場合には、金属部材の表面形状を保つ必要があり、より固相線に近い温度で過剰に液相を発生させないことが必要であるので、合金の固相線以上の温度で且つ合金の固相線より５０℃高い温度以下の温度に制御することが好ましい。
【００２１】
また、精密抵抗用電子部材の材料であるマンガニン合金からなる金属部材を使用する場合には、接合温度の好ましい範囲は９６０〜９９０℃であり、更に好ましい範囲は９６０〜９８０℃である。例えば、２重量％のニッケルと１２重量％のマンガンを含み且つ残部が銅と不可避的元素であるマンガニン合金の場合には、固相線の温度が約９６０℃で、液相線の温度が約１０００℃であり、固相線付近の狭い温度範囲で制御しなければ金属部材の平滑な表面を保つことが困難である。
【００２２】
マンガニン合金からなる金属部材の場合には、その板厚が０．４ｍｍ未満であるのが好ましく、０．２ｍｍ以下であるのが更に好ましい。板厚が０．４ｍｍ以上になると、金属部材とセラミックス基板の接合において、それらの熱膨張係数の差により発生する応力によってセラミックス基板が破壊する場合があるからである。また、この熱応力を低減するために、ろう材を用いないで金属部材とセラミックス基板を接合した後に徐冷するのが好ましい。
【００２３】
マンガニン合金からなる金属部材の厚さが０．４ｍｍ以上の場合には、その金属部材の端部に薄板部を設けるのが好ましく、その薄板部の厚さが０．２ｍｍ以下であるのが好ましい。マンガニン合金など合金は、銅などの純金属に比べて０．２％耐力が大きく、セラミックス基板に加わる残留応力も大きいので、信頼性について十分配慮する必要があり、薄板部により応力を緩和する必要があるからである。
【００２４】
なお、電子材料用の信頼性の評価としては、耐ヒートサイクル特性が知られており、例えば、室温→−４０℃×３０分→室温×１０分→１２５℃×３０分→室温×１０分を１サイクルとする繰り返しヒートサイクルを３０回行った後も、セラミックス基板の割れや電気特性などの劣化がないことが求められる。金属部材の厚さが０．４ｍｍ未満の場合には、これらの特性の条件が満たされる。
【００２５】
金属部材を予め所定の形状に加工しておくと、後加工を行う必要がないため、プレスやエッチングにより金属部材を所定の形状に加工した後に、金属部材をセラミックス基板に接合するのが好ましい。さらに、半田付けを容易にするとともに金属部材の経時変化を防止するために、金属部材の全面または一部の面にＮｉめっきやＮｉ合金めっきなどのめっきを施すことが好ましい。このめっきは、電解めっきまたは無電解めっきにより行うことができる。
【００２６】
また、セラミックス基板の表裏に別の種類の金属部材を接合してもよい。例えば、予め片面に銅部材を直接接合法により接合しておき、他方の面にＣｕ−Ｎｉ−Ｍｎ合金からなる部材を接合してもよい。この場合、銅部材を放熱板として利用することができる。
【００２７】
【実施例】
以下、本発明による金属−セラミックス接合体およびその製造方法の実施例について詳細に説明する。
【００２８】
［実施例１］
図１に示すように、アルミナからなる敷板１０上に、４５ｍｍ×６７ｍｍ×０．６３５ｍｍの大きさの９６％アルミナからなるセラミックス基板１２を載せ、その上面に４０ｍｍ×５０ｍｍ×０．２ｍｍの大きさの２Ｎｉ−１２Ｍｎ−Ｃｕ合金からなるマンガニン板１４を直接配置し、窒素ガスを流したベルト式トンネル炉に入れて、最高温度９７５℃で１０分間加熱した後、冷却して金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００２９】
［実施例２］
図２に示すように、セラミックス基板１２の両面にマンガニン板１４を直接配置し、スペーサ１６を介して敷板１０に載せた以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００３０】
［実施例３］
図３に示すように、セラミックス基板１２の下面にマンガニン板１４を直接配置し、スペーサ１６を介して敷板１０に載せた以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００３１】
［実施例４］
マンガニン板の大きさが２０ｍｍ×３０ｍｍ×０．２ｍｍである以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。さらに、室温→−４０℃×３０分→室温×１０分→１２５℃×３０分→室温×１０分を１サイクルとする繰り返しヒートサイクルを３０回行った後にも、セラミックス基板の割れはなく、電気特性の劣化もなかった。
【００３２】
［実施例５］
マンガニン板の大きさが２０ｍｍ×３０ｍｍ×０．１ｍｍである以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。さらに、実施例４と同じヒートサイクルを３０回行った後にも、セラミックス基板の割れはなく、電気特性の劣化もなかった。
【００３３】
［実施例６］
マンガニン板の大きさが２０ｍｍ×３０ｍｍ×０．０５ｍｍである以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。さらに、実施例４と同じヒートサイクルを３０回行った後にも、セラミックス基板の割れはなく、電気特性の劣化もなかった。
【００３４】
［実施例７］
セラミックス基板として４５ｍｍ×６７ｍｍ×０．２５ｍｍの大きさのジルコニアを含むアルミナ基板を使用した以外は、実施例４と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００３５】
［実施例８］
セラミックス基板として４５ｍｍ×６７ｍｍ×０．２５ｍｍの大きさのジルコニアを含むアルミナ基板を使用した以外は、実施例５と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００３６】
［実施例９］
セラミックス基板として４５ｍｍ×６７ｍｍ×０．２５ｍｍの大きさのジルコニアを含むアルミナ基板を使用した以外は、実施例６と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００３７】
［実施例１０］
厚さ０．２ｍｍのマンガニン板をシャント抵抗用としてエッチングにより所定の形状に加工した後に、アルミナ基板上に直接配置し、最高温度９８０℃とした以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００３８】
［実施例１１］
厚さ０．２ｍｍのマンガニン板をシャント抵抗用としてエッチングにより所定の形状に加工した後、ジルコニア含有アルミナ基板上に直接配置し、最高温度９８０℃とした以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００３９】
［実施例１２］
２０ｍｍ×３０ｍｍ×０．４ｍｍのマンガニン板の外周１ｍｍの部分をエッチングにより厚さ０．２ｍｍに加工した後、アルミナ基板上に直接配置し、最高温度９８０℃とした以外は、実施例１と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。また、マンガニン板の変質はなく、精密抵抗体として使用可能な電子部品を作製することができた。
【００４０】
［比較例］
マンガニン板とアルミナ基板との間に、活性金属としてチタンを含有する銀ろうを配置し、接合温度を８５０℃として真空中で接合する以外は、実施例５と同様の方法により、金属−セラミックス接合体を得た。このようにして得られた金属−セラミックス接合体についてピール強度を測定したところ、ピール強度は５ｋｇ／ｃｍ以上であり、電子部材として十分に強固な接合が得られたことがわかった。しかし、ろう材成分がマンガニン板に拡散してマンガニン板が変質し、抵抗体として使用することができなかった。
【００４１】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、共晶融体を生成しない場合でも金属部材とセラミックス基板とを直接接合することができるとともに、溶融金属を使用することなく金属部材とセラミック基板とを直接接合することができる。また、本発明の方法により製造された金属−セラミックス接合体は、電子部材として十分に強固に接合され、合金として抵抗特性が維持されるとともに信頼性も十分であるので、汎用インバータの回路の電流測定に利用されるシャント抵抗や、混成集積回路における電流検出素子や、ひずみゲージ式変換器などの温度補償回路などに使用することができる。さらに、不活性雰囲気ガス中で接合することができ、トンネル炉による連続生産により、生産効率の高い製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による金属−セラミックス接合体の製造方法によりセラミックス基板の上面に金属部材を直接接合する工程を示す側面図。
【図２】本発明による金属−セラミックス接合体の製造方法によりセラミックス基板の両面に金属部材を直接接合する工程を示す側面図。
【図３】本発明による金属−セラミックス接合体の製造方法によりセラミックス基板の下面に金属部材を直接接合する工程を示す側面図。
【符号の説明】
１０ 敷板
１２ セラミックス基板
１４ マンガニン板
１６ スペーサ
Claims (14)
- 銅とニッケルとマンガンを含む合金からなる金属部材を酸化物系セラミックス基板の少なくとも一方の面の上に直接配置した後、炉に入れて不活性雰囲気ガス中で前記合金の固相線以上且つ液相線以下の温度に加熱することにより、前記金属部材を前記セラミックス基板に直接接合することを特徴とする、金属−セラミックス接合体の製造方法。
- 前記酸化物系セラミックス基板がアルミナ基板であることを特徴とする、請求項１に記載の金属−セラミックス接合体の製造方法。
- 前記アルミナ基板がジルコニアを含むことを特徴とする、請求項２に記載の金属−セラミックス接合体の製造方法。
- 前記合金が全率固溶型の合金であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれかに記載の金属−セラミックス接合体の製造方法。
- 前記合金が、１．０〜４．０重量％のニッケルと、１０．０〜１３．０重量％のマンガンとを含み、残部が銅と不可避的元素であることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれかに記載の金属−セラミックス接合体の製造方法。
- 前記合金の固相線以上且つ液相線以下の温度が、前記合金の固相線より５０℃高い温度以下の温度であることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれかに記載の金属−セラミックス接合体の製造方法。
- 前記合金がマンガニン合金であり、前記合金の固相線以上且つ液相線以下の温度が、９６０〜９９０℃の温度であることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれかに記載の金属−セラミックス接合体の製造方法。
- 前記不活性雰囲気ガスが、窒素ガスまたはアルゴンガスであることを特徴とする、請求項１乃至７のいずれかに記載の金属−セラミックス接合体の製造方法。
- 前記金属部材の周縁部に前記金属部材の厚さよりも薄い薄板部を設けることを特徴とする、請求項１乃至８のいずれかに記載の金属−セラミックス接合体の製造方法。
- 前記薄板部の厚さが０．２ｍｍ以下であることを特徴とする、請求項９に記載の金属−セラミックス接合体の製造方法。
- 前記金属部材が予め所定の形状に加工されていることを特徴とする、請求項１乃至１０のいずれかに記載の金属−セラミックス接合体の製造方法。
- 前記金属部材の全面または一部の面にめっきを施すことを特徴とする、請求項１乃至１１のいずれかに記載の金属−セラミックス接合体の製造方法。
- 前記金属−セラミックス接合体が抵抗用電子部材であることを特徴とする、請求項１乃至１２のいずれかに記載の金属−セラミックス接合体の製造方法。
- 前記炉がベルト式トンネル炉であることを特徴とする、請求項１乃至１３のいずれかに記載の金属−セラミックス接合体の製造方法。
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