JP4229793B2 - Optical distance measuring device - Google Patents
Optical distance measuring device Download PDFInfo
- Publication number
- JP4229793B2 JP4229793B2 JP2003332875A JP2003332875A JP4229793B2 JP 4229793 B2 JP4229793 B2 JP 4229793B2 JP 2003332875 A JP2003332875 A JP 2003332875A JP 2003332875 A JP2003332875 A JP 2003332875A JP 4229793 B2 JP4229793 B2 JP 4229793B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical path
- light
- optical
- measurement
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
本発明は、低コヒーレンス光を用いて非接触で距離を計測する光学式距離計測装置に関する。 The present invention relates to an optical rangefinder HakaSo location for measuring a distance without contact with the low-coherence light.
従来、計測用光源として低コヒーレンス光源を用い、計測光と参照光の干渉を利用して計測ヘッドから計測対象面の間の距離を計測する場合、計測用低コヒーレンス光源として赤外光源を用いている(下記非特許文献1参照)。
上記の従来の光学式距離計測装置においては、一般的に計測用の低コヒーレンス光源の波長が赤外領域であるため計測対象面上の計測点を視認することができない。また、同様に波長領域の観点から計測用低コヒーレンス光源からの光は水中での透過性が悪いため、水中での距離計測が困難である。 In the above conventional optical distance measuring device, since the wavelength of the low-coherence light source for measurement is generally in the infrared region, the measurement point on the measurement target surface cannot be visually recognized. Similarly, from the viewpoint of the wavelength region, the light from the low-coherence light source for measurement is difficult to measure the distance in water because of its poor permeability in water.
本発明はかかる従来の事情に対処してなされたものであり、計測対象面上の計測点の視認性が良く、水中でも距離計測を行うことができ、計測感度および精度の高い光学式距離計測装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in response to such a conventional situation, and has excellent visibility of measurement points on a measurement target surface, can perform distance measurement even in water, and has high measurement sensitivity and accuracy. an object of the present invention is to provide a HakaSo location.
請求項1の発明の光学式距離計測装置は、距離計測用の低コヒーレンス光を発生する低コヒーレンス光源と、可視光を発生する可視光源と、前記低コヒーレンス光と前記可視光を同一光路に合成する波長合成器と、前記波長合成器に接続され前記同一光路に合成された光を計測用光路と参照用光路に分割する光分配器と、前記計測用光路の末端に接続され計測対象面に対向して設けられる計測ヘッドと、前記参照用光路に順次接続された周期的光路長変化素子および遅延光学系および全反射素子と、前記光分配器に接続され前記計測用光路を戻った光および前記参照用光路を戻った光が合成された光から低コヒーレンス光と可視光を分離する波長分離器と、前記波長分離器に接続され低コヒーレンス光を検出して前記計測用光路からの低コヒーレンス光と前記参照用光路からの低コヒーレンス光の干渉による光強度変化を電気信号に変換する光検出器と、前記光検出器に接続され前記電気信号を電気強度変化信号に変換する信号検出部と、前記信号検出部に接続され前記電気強度変化信号により前記干渉による光強度変化が最大になるように前記遅延光学系の変位量を調節して前記計測用光路の光路長と前記参照用光路の光路長を等しくするとともに前記遅延光学系の遅延光路長から前記計測ヘッドと前記計測対象面の間の距離を求める信号処理制御部と、前記信号処理制御部に接続され前記距離を表示する距離表示部とを備え、前記低コヒーレンス光源は水中透過率の高い波長の光を発生する光源であり、前記計測ヘッドは水密構造であり、前記信号処理制御部は水の屈折率によって光路長を補正する屈折率補正部を備えている構成とする。 An optical distance measuring device according to a first aspect of the present invention is a low-coherence light source that generates low-coherence light for distance measurement, a visible light source that generates visible light, and combines the low-coherence light and the visible light in the same optical path. A wavelength synthesizer, a light distributor that is connected to the wavelength synthesizer and combined in the same optical path, and divides the light into a measurement optical path and a reference optical path, and is connected to an end of the measurement optical path and is connected to a measurement target surface. Opposing measuring head, periodic optical path length changing element and delay optical system and total reflection element sequentially connected to the reference optical path, light returning to the measuring optical path connected to the optical distributor, and A wavelength separator that separates low-coherence light and visible light from the combined light returning from the reference optical path, and a low-coherence light from the measurement optical path that is connected to the wavelength separator and detects the low-coherence light. A photodetector that converts a change in light intensity due to interference between the lens light and the low-coherence light from the reference optical path into an electrical signal, and a signal detector that is connected to the photodetector and converts the electrical signal into an electrical intensity change signal. And the optical path length of the measurement optical path and the reference optical path by adjusting the amount of displacement of the delay optical system so that the change in the optical intensity due to the interference is maximized by the electrical intensity change signal connected to the signal detection unit A signal processing control unit for obtaining a distance between the measurement head and the measurement target surface from the delay optical path length of the delay optical system, and a distance connected to the signal processing control unit for displaying the distance The low coherence light source is a light source that generates light having a high wavelength in water, the measurement head has a watertight structure, and the signal processing control unit is based on the refractive index of water. Te a configuration that has a refractive index correcting unit for correcting the optical path length.
請求項2の発明は、前記信号検出部は、前記電気強度変化信号を整流してエンベロープを求める振幅復調部と、信号レベルを高め所定レベルの信号を出力する自動利得制御部とを備えている構成とする。 According to a second aspect of the present invention, the signal detection unit includes an amplitude demodulation unit that rectifies the electrical intensity change signal to obtain an envelope, and an automatic gain control unit that increases the signal level and outputs a signal of a predetermined level. The configuration.
請求項3の発明は、前記信号処理制御部は、前記周期的光路長変化素子の光路長変化周波数を持つ信号で前記信号検出部からの電気強度変化信号を同期検波し、前記電気強度変化信号の周波数成分のうち支配的周波数成分が前記周期的光路長変化素子の周波数の2倍高調波成分となるように前記遅延光学系を制御する構成とする。 According to a third aspect of the present invention, the signal processing control unit synchronously detects an electric intensity change signal from the signal detection unit with a signal having an optical path length change frequency of the periodic optical path length changing element, and the electric intensity change signal The delay optical system is controlled such that a dominant frequency component of the frequency components is a second harmonic component of the frequency of the periodic optical path length changing element.
請求項4の発明は、前記光分配器の後段に第2の光分配器を備え、前記計測ヘッドからの反射光と前記計測対象面からの反射光および散乱光との干渉を利用する構成とする。
請求項5の発明は、前記計測ヘッドから前記計測対象面に照射される計測光を、集束照射型あるいは平行照射型とした構成とする。
According to a fourth aspect of the present invention, a second light distributor is provided at a subsequent stage of the light distributor, and the interference between the reflected light from the measurement head and the reflected light and scattered light from the measurement target surface is used. To do.
According to a fifth aspect of the present invention, the measurement light emitted from the measurement head to the measurement target surface is a focused irradiation type or a parallel irradiation type.
請求項6の発明は、前記遅延光学系は多重反射素子を備えている構成とする。
請求項7の発明は、前記全反射素子は、全反射ミラーと、前記全反射ミラーを光軸の方向に微小振動させる微小振動機構と、前記全反射ミラーを光軸の方向に移動させる移動機構とを備えている構成とする。
According to a sixth aspect of the present invention, the delay optical system includes a multiple reflection element.
According to a seventh aspect of the present invention, the total reflection element includes a total reflection mirror, a minute vibration mechanism that minutely vibrates the total reflection mirror in the direction of the optical axis, and a moving mechanism that moves the total reflection mirror in the direction of the optical axis. It is set as the structure provided with.
請求項8の発明は、前記低コヒーレンス光源は、変調されたレーザ光源あるいはスーパールミネッセントダイオード光源あるいはフラッシュランプ光源あるいはX線光源である構成とする。
請求項9の発明は、前記計測用光路は、複数の計測ヘッドと、前記複数の計測ヘッドに光路を切り替える光路切替え器とを備えている構成とする。
According to an eighth aspect of the present invention, the low coherence light source is a modulated laser light source, a super luminescent diode light source, a flash lamp light source, or an X-ray light source.
According to a ninth aspect of the present invention, the measurement optical path includes a plurality of measurement heads and an optical path switch that switches the optical paths to the plurality of measurement heads.
請求項10の発明は、前記各光学部品間の光路あるいはその一部が光ファイバーあるいは導波管で構成されている構成とする。
請求項11の発明は、前記光ファイバーのコネクタ端面からの反射光が計測光と参照光の光路差内に存在しないように光路長設定された位置に前記コネクタが設置されている構成とする。
The invention of
According to an eleventh aspect of the present invention, the connector is installed at a position where the optical path length is set so that reflected light from the connector end face of the optical fiber does not exist within the optical path difference between the measurement light and the reference light.
本発明によれば、計測対象面上の計測点の視認性が良く、水中でも距離計測を行うことができ、計測感度および精度の高い光学式距離計測装置を提供することができる。 According to the present invention, good visibility of the measurement point on the measurement target surface, it can be performed even if the distance measurement in water, it is possible to provide a high measurement sensitivity and accuracy optical rangefinder HakaSo location.
以下、図面を参照して本発明の第1〜第10の実施例を説明する。 Hereinafter, first to tenth embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
本発明に係る光学式距離計測装置の第1の実施例を図1,2,3を参照して説明する。
本発明の第1の実施例の光学式距離計測装置は、図1に示すように、低コヒーレンス光源1、アイソレータ2、可視光源16、波長合成器17、光分配器3、計測用光路12、計測ヘッド4、参照用光路13、周期的光路長変化素子5、遅延光学系6、全反射素子7、波長分離器18、光検出器8、信号検出部9、信号処理制御部10および距離表示部11から構成されている。
A first embodiment of an optical distance measuring device according to the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, the optical distance measuring device according to the first embodiment of the present invention includes a low
低コヒーレンス光源1、アイソレータ2、可視光源16、波長合成器17、光分配器3、計測用光路12および計測ヘッド4が計測用光学系を構成し、光分配器3、参照用光路13、周期的光路長変化素子5、遅延光学系6および全反射素子7が参照用光学系を構成し、波長分離器18、光検出器8、信号検出部9、信号処理制御部10および距離表示部11が信号検出演算部を構成する。
The low
このように構成された本実施例の光学式距離計測装置において、低コヒーレンス光源1から発せられた光はアイソレータ2を通過した後、波長合成器17に入射する。また、このとき可視光源16から発せられた可視光も波長合成器17に入射し、ここで、低コヒーレンス光と可視光が同一光路に合成される。合成された光は、ハーフミラーなどからなる光分配器3により計測用光路12と参照用光路13に分けられる。
In the optical distance measuring device of the present embodiment configured as described above, the light emitted from the low
計測用光路12に分けられた光は計測ヘッド4を経て計測対象面14に照射され、反射および散乱する。反射光および散乱光の一部15は再び計測ヘッド4に入射し、計測用光路12を光分配器3の方向に進む。一方、参照用光路13に分けられた光は周期的光路長変化素子5および遅延光学系6を通過した後、全反射素子7で全反射し、参照用光路13を光分配器3の方向に進む。
The light divided into the measurement
光分配器3に戻ってきた計測用光路12の光と参照用光路13の光は光分配器3で再び一つの光に合成され、波長分離器18に入射する。波長分離器18に入射した波長の異なる低コヒーレンス光と可視光は、ここで分離され各々異なる光路を進む。可視光側の光路を遮光し、低コヒーレンス光側の光路の後段に光検出器8を設置することで、低コヒーレンス光のみが光検出器8に入射する。
The light in the measurement
光検出器8に入射した低コヒーレンス光の強度は計測用光路12と参照用光路13の光路差により変化し、光路差が計測用低コヒーレンス光源1の持つ波長の1/2の整数倍となったときに最大強度を示す。図1(b)に光検出器8に入射した光の強度変化の一例を示す。
The intensity of the low coherence light incident on the photodetector 8 changes due to the optical path difference between the measurement
図1(b)のような光強度変化が現れる場合の条件は、計測用光路12と参照用光路13の光路長が等しく(光路差がゼロと)なるように遅延光学系6が調整されており、周期的光路長変化素子5により光路差ゼロの点を中心として周期的に光路差を変化させた場合である。また、このとき周期的に変化させた光路差の振幅Aは計測用低コヒーレンス光源1のコヒーレンス長より大きい場合である。
The condition when the light intensity change as shown in FIG. 1B appears is that the delay
周期的光路長変化素子5の振幅がゼロとなり、計測用光路12と参照用光路13の光路長が等しくなったとき光強度は最大となり、周期的光路長変化素子5の変化にともない光強度は強弱変化する。しかし、周期的光路長変化素子5の振幅が低コヒーレンス光源1のコヒーレンス長に近づくにつれ、計測用光路12からの光と参照用光路13からの光の干渉度が小さくなるため光強度変化は徐々に小さくなる。そして、周期的光路長変化素子5の振幅が低コヒーレンス光源1のコヒーレンス長より大きくなると光強度変化は観測されなくなる。
When the amplitude of the periodic optical path length changing element 5 becomes zero and the optical path lengths of the measurement
図1(c)は、遅延光学系6により調整された計測用光路12と参照用光路13の光路差Lが計測用低コヒーレンス光源1のコヒーレンス長より十分に大きい場合の光強度変化の一例である。この場合は、図1(b)と同様に周期的光路長変化素子5を振幅Aで変化させても光強度変化は観測されない。
FIG. 1C is an example of a change in light intensity when the optical path difference L between the measurement
したがって、周期的光路長変化素子5で光路長を周期的に変化させながら、遅延光学系6を変化させ、図1(b)に示すような光強度変化信号を探すことで、計測用光路12と参照用光路13の光路長が等しい点がわかり、間接的に計測ヘッド4と計測対象面14の間の距離を計測することができる。
Accordingly, the optical path length is periodically changed by the periodic optical path length changing element 5 and the delay
計測ヘッド4と計測対象面14の間の距離を自動で計測し表示するには以下のように行う。図1(a)に示した光検出器8は干渉による光強度変化信号を電気信号に変換する。変換された電気信号は信号検出部9により強度変化が検出され、信号処理制御部10に送られる。信号処理制御部10では入力された電気強度変化信号を処理し、常に計測用光路12と参照用光路13の光路長が等しくなるように遅延光学系6の遅延光路長を自動で制御する。また、遅延光学系6の遅延光路長から計測ヘッド4と計測対象面14の間の距離を求め、距離表示部11で距離を表示する。これらの動作により、自動で距離を計測し表示することができる。
In order to automatically measure and display the distance between the measurement head 4 and the measurement target surface 14, the following is performed. The photodetector 8 shown in FIG. 1A converts a light intensity change signal due to interference into an electrical signal. The converted electric signal is detected by the
本実施例によれば、計測対象面14に計測用の低コヒーレンス光と可視光が照射され、光検出器8には低コヒーレンス光のみが入射するので、計測対象面14上の計測点の視認性を確保することができ、可視光を計測ノイズ光とすることなく、計測ヘッド4と計測対象面14の間の距離を計測することができる。 According to the present embodiment, the measurement target surface 14 is irradiated with low-coherence light and visible light for measurement, and only the low-coherence light is incident on the photodetector 8, so that the measurement point on the measurement target surface 14 is visually recognized. The distance between the measurement head 4 and the measurement target surface 14 can be measured without using visible light as measurement noise light.
図2は、本発明に係る光学式距離計測装置の第1の実施例の第1の変形例を示す図である。図2に示すように、本変形例は、低コヒーレンス光源1、アイソレータ2、可視光源16、波長合成器17、光分配器3、計測ヘッド4、周期的光路長変化素子5、遅延光学系6、全反射素子7、波長分離器18および光検出器8を接続する光路が光ファイバーあるいは導波管62によって構成されている。
FIG. 2 is a diagram showing a first modification of the first embodiment of the optical distance measuring device according to the present invention. As shown in FIG. 2, the present modified example includes a low coherence
このように構成された本変形例においては、低コヒーレンス光および可視光は光ファイバーあるいは導波管62内を伝送する。そのため、計測ヘッド4を含む各光学素子の配置の自由度が高まる。したがって、自由な装置配置が可能となる他、直線光路では光を照射できないような計測対象面14の計測を行うことができる。 In this modified example configured as described above, the low-coherence light and the visible light are transmitted through the optical fiber or the waveguide 62. Therefore, the freedom degree of arrangement | positioning of each optical element containing the measurement head 4 increases. Therefore, it is possible to freely arrange the apparatus, and it is possible to perform measurement on the measurement target surface 14 so that light cannot be irradiated on the straight optical path.
図3は、本発明に係る光学式距離計測装置の第1の実施例の第2の変形例を示す図である。図3に示すように、本変形例は、低コヒーレンス光源1、アイソレータ2、可視光源16、波長合成器17、光分配器3、光路切替え器60、複数の計測ヘッド61、周期的光路長変化素子5、遅延光学系6、全反射素子7、波長分離器18、光検出器8、信号検出部9、信号処理制御部10および距離表示部11から構成されている。
FIG. 3 is a diagram showing a second modification of the first embodiment of the optical distance measuring device according to the present invention. As shown in FIG. 3, this modified example is a low-
このように構成された本変形例においては、光路切替え器60によって複数の計測ヘッド61の各々に光路を切り替えるという簡単な操作によって複雑な形状あるいは複数の計測対象面の距離計測を行うことができる。 In this modified example configured as described above, it is possible to perform distance measurement of a complicated shape or a plurality of measurement target surfaces by a simple operation of switching the optical path to each of the plurality of measurement heads 61 by the optical path switch 60. .
次に、本発明の第2の実施例を説明する。本実施例の光学式距離計測装置は、図4に示すように、水中透過率の高い波長の低コヒーレンス光源19、アイソレータ2、可視光源16、波長合成器17、光分配器3、計測用光路12、水密構造の計測ヘッド20、参照用光路13、周期的光路長変化素子5、遅延光学系6、全反射素子7、波長分離器18、光検出器8、信号検出部9、信号処理制御部10、信号処理制御部10および距離表示部11から構成され、信号処理制御部10には屈折率補正部21が備えられている。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. As shown in FIG. 4, the optical distance measuring device of the present embodiment includes a low-coherence light source 19, an isolator 2, a visible light source 16, a wavelength synthesizer 17, a
低コヒーレンス光源19、アイソレータ2、可視光源16、波長合成器17、光分配器3、計測用光路12および計測ヘッド20が計測用光学系を構成し、光分配器3、参照用光路13、周期的光路長変化素子5、遅延光学系6および全反射素子7が参照用光学系を構成し、波長分離器18、光検出器8、信号検出部9、信号処理制御部10および距離表示部11が信号検出演算部を構成する。
The low coherence light source 19, isolator 2, visible light source 16, wavelength synthesizer 17,
このように構成された本実施例の光学式距離計測装置において、計測対象面14が水中に設置されている場合、水密構造の計測ヘッド20を水中に設置することができ、水密構造の計測ヘッド20から計測対象面14に照射される光は水中透過率の高い波長を有する低コヒーレンス光であるため、水中を低損失で透過する。 In the optical distance measuring device according to the present embodiment configured as described above, when the measurement target surface 14 is installed in water, the watertight structure measurement head 20 can be installed in water, and the watertight structure measurement head. Since the light irradiated from 20 to the measurement target surface 14 is low-coherence light having a wavelength with high transmittance in water, it transmits through water with low loss.
ここで、水中に設置された水密構造の計測ヘッド20と計測対象面14の間の距離は、空気中に設置された遅延光学系6での遅延光路長により求められるが、水と空気の屈折率が異なるため、水中での距離を求めるためには屈折率による校正が必要となる。信号処理制御部10に備えられた屈折率校正部21は、この屈折率による校正を行い、空気中に設置された遅延光学系6での遅延光路長から水中に設置された水密構造の計測ヘッド20と計測対象面14の間の距離を求める。そして距離表示部11で水中の距離が表示される。
Here, the distance between the measurement head 20 having a watertight structure installed in the water and the measurement target surface 14 is determined by the delay optical path length in the delay
本実施例によれば、水密構造の計測ヘッド20を水中に設置することができ、水密構造の計測ヘッド20からの光は低損失で水中を透過して計測対象面14で反射および散乱し、この反射光および散乱光の一部15は再び水密構造の計測ヘッド20に入射する。また、信号処理制御部10に備えられた屈折率補正部21において空気の屈折率と水の屈折率との校正をすることができるので、水中に設置された水密構造の計測ヘッド20と計測対象面14の間の距離を計測することができる。
According to the present embodiment, the watertight structure measuring head 20 can be installed in the water, and the light from the watertight structure measuring head 20 is transmitted through the water with low loss and reflected and scattered by the measurement target surface 14. A part 15 of the reflected light and scattered light again enters the measurement head 20 having a watertight structure. Further, since the refractive index correction unit 21 provided in the signal
次に本発明に係る光学式距離計測装置の第3の実施例を図5を用いて説明する。
本実施例の光学式距離計測装置は、図5(a)に示すように、水中透過率の高い波長の低コヒーレンス光源19、アイソレータ2、可視光源16、波長合成器17、光分配器3、計測用光路12、水密構造の計測ヘッド20、参照用光路13、周期的光路長変化素子5、遅延光学系6、全反射素子7、波長分離器18、光検出器8、振幅復調部22と自動利得制御部23を備えた信号検出部9、屈折率補正部21を備えた信号処理制御部10、および信号処理制御部10に接続された距離表示部11から構成されている。
Next, a third embodiment of the optical distance measuring device according to the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 5A, the optical distance measuring device of the present embodiment includes a low-coherence light source 19 having a high transmittance in water, an isolator 2, a visible light source 16, a wavelength synthesizer 17, a
低コヒーレンス光源19、アイソレータ2、可視光源16、波長合成器17、光分配器3、計測用光路12および計測ヘッド20が計測用光学系を構成し、光分配器3、参照用光路13、周期的光路長変化素子5、遅延光学系6および全反射素子7が参照用光学系を構成し、波長分離器18、光検出器8、信号検出部9、信号処理制御部10および距離表示部11が信号検出演算部を構成する。
The low coherence light source 19, isolator 2, visible light source 16, wavelength synthesizer 17,
このように構成された本実施例の光学式距離計測装置において、光検出器8において検出され変換された電気信号は、一般に直流成分と強度変化信号成分が合成されたものとなっている。例えば、信号検出部9において、まず、電気信号の中から直流成分を除去すると、図5(b)に示すような強度変化信号が得られる。この強度変化信号はエンベロープを持つ。したがって、このエンベロープを検出することによっても、距離計測が可能となる。
In the optical distance measuring device of the present embodiment thus configured, the electrical signal detected and converted by the photodetector 8 is generally a combination of a direct current component and an intensity change signal component. For example, in the
強度変化信号エンベロープを検出するためには、例えば、強度変化信号を全波または半波整流した後、信号検出部9に備えられた振幅復調部22により、図5(c)に示すように検出することができる。さらに、検出されたエンベロープを信号検出部9に備えられた自動利得制御部23に通すことで、信号レベルを高くし、かつ一定レベルの検出信号を出力することができる。
In order to detect the intensity change signal envelope, for example, the intensity change signal is full-wave or half-wave rectified, and then detected by the amplitude demodulation unit 22 provided in the
本実施例によれば、光検出器8において検出、変換された電気信号の中から、強度変化信号のエンベロープを検出し、さらに高い一定レベルの検出信号を出力することができるので、高感度で安定した水中距離計測を行うことができる。なお、本実施例の光学式距離計測装置における信号検出部9および信号処理制御部10の構成および動作は気中距離計測においても利用することができる。
According to the present embodiment, since the envelope of the intensity change signal can be detected from the electric signal detected and converted by the photodetector 8, and a detection signal having a higher constant level can be output. Stable underwater distance measurement can be performed. In addition, the structure and operation | movement of the
次に本発明に係る光学式距離計測装置の第4の実施例を図6を用いて説明する。
本実施例の光学式距離計測装置は、図6(a)に示すように、水中透過率の高い波長の低コヒーレンス光源19、アイソレータ2、可視光源16、波長合成器17、光分配器3、計測用光路12、水密構造の計測ヘッド20、参照用光路13、周期的光路長変化素子5、遅延光学系6、全反射素子7、波長分離器18、光検出器8、振幅復調部22と自動利得制御部23を備えた信号検出部9、発振器24と同期検波部25と演算制御部26と屈折率補正部21を備えた信号処理制御部10、および距離表示部11から構成されている。
Next, a fourth embodiment of the optical distance measuring device according to the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 6A, the optical distance measuring device according to the present embodiment includes a low-coherence light source 19 having a high underwater transmittance, an isolator 2, a visible light source 16, a wavelength synthesizer 17, a
低コヒーレンス光源19、アイソレータ2、可視光源16、波長合成器17、光分配器3、計測用光路12および計測ヘッド20が計測用光学系を構成し、光分配器3、参照用光路13、周期的光路長変化素子5、遅延光学系6および全反射素子7が参照用光学系を構成し、波長分離器18、光検出器8、信号検出部9、信号処理制御部10および距離表示部11が信号検出演算部を構成する。
The low coherence light source 19, isolator 2, visible light source 16, wavelength synthesizer 17,
このように構成された本実施例の光学式距離計測装置において、信号処理制御部10に備えられた発振器24は周期的光路長変化素子5と同期検波部25に周波数fの周期的信号を送る。信号検出部9で検出され、出力された信号は信号処理制御部10に入力され、同期検波部25において発振器24から送られてきた周波数fの周期的信号により同期検波される。
In the optical distance measuring apparatus of the present embodiment configured as described above, the oscillator 24 provided in the signal
遅延光学系6により計測用光路12と参照用光路13の光路長が等しく(光路差がゼロに)調整されたとき、信号検出部9からの出力信号は、例えば、図6(b)のように周波数2fの周期的信号となる。また、計測用光路12と参照用光路13の光路差がゼロより大きくなるにつれて、信号検出部9からの出力信号の中の周波数2f成分は減少する。
When the optical path lengths of the measurement
したがって、信号検出部9からの出力信号を同期検波部25で同期検波した後、演算制御部26で検波信号中の周波数2f成分を演算により検知し、周波数2f成分が大きくなるように演算制御部26が遅延光学系6の遅延光路長を調整制御することによって、水密構造の計測ヘッド20と計測対象面14の間の水中距離を自動で精度良く計測することができる。
Therefore, after the output signal from the
本実施例によれば、計測用光路12と参照用光路13の光路長が常に等しくなるように遅延光学系6での遅延光路長を制御するので、距離を自動で精度良く計測することができる。なお、本実施例の光学式距離計測装置における信号検出部9および信号処理制御部10の構成および動作は気中距離計測においても利用することができる。
According to the present embodiment, the delay optical path length in the delay
次に本発明に係る光学式距離計測装置の第5の実施例を説明する。
本実施例の光学式距離計測装置は、図7に示すように、水中透過率の高い波長の低コヒーレンス光源19、アイソレータ2、可視光源16、波長合成器17、第1の光分配器3a、計測用光路12、水密構造の計測ヘッド20、第2の光分配器3b、参照用光路13a,13b、周期的光路長変化素子5、全反射素子付き遅延光学系29、全反射素子7、波長分離器18、光検出器8、振幅復調部22と自動利得制御部23を備えた信号検出部9、発振器24と同期検波部25と演算制御部26と屈折率補正部21を備えた信号処理制御部10、および距離表示部11から構成されている。ここで、第1の光分配器3aおよび第2の光分配器3bは、前記光分配器3と同様に例えばハーフミラーなどによって構成されている。
Next, a fifth embodiment of the optical distance measuring device according to the present invention will be described.
As shown in FIG. 7, the optical distance measuring device according to the present embodiment includes a low-coherence light source 19 having a high transmittance in water, an isolator 2, a visible light source 16, a wavelength synthesizer 17, a first light distributor 3a, Measurement
低コヒーレンス光源19、アイソレータ2、可視光源16、波長合成器17、光分配器3a、計測用光路12および計測ヘッド20が計測用光学系を構成し、光分配器3b、参照用光路13a,13b、周期的光路長変化素子5、全反射素子付き遅延光学系29および全反射素子7が参照用光学系を構成し、波長分離器18、光検出器8、信号検出部9、信号処理制御部10および距離表示部11が信号検出演算部を構成する。
The low coherence light source 19, the isolator 2, the visible light source 16, the wavelength synthesizer 17, the light distributor 3a, the measurement
このように構成された本実施例の光学式距離計測装置において、低コヒーレンス光源19から発せられた光はアイソレータ2を通過した後、波長合成器17で可視光源16からの可視光と同一光路に合成され、第1の光分配器3aに入射する。 In the optical distance measuring device of the present embodiment configured as described above, the light emitted from the low coherence light source 19 passes through the isolator 2 and is then placed in the same optical path as the visible light from the visible light source 16 by the wavelength synthesizer 17. The combined light enters the first light distributor 3a.
第1の光分配器3aに入射した光は二つの光路に分けられ、計測用光路12を通って一方は水密構造の計測ヘッド20へ向かい、もう一方は遮光される。計測ヘッド20へ向かった光は、計測ヘッド20の出口に設けられている例えば光学基板でできた窓を通過して計測対象面14に照射される。また、このとき、光学基板でできている窓を光が通過する際、窓の表面で反射して第1の光分配器3aへ戻る反射光28が存在する。
The light incident on the first light distributor 3a is divided into two optical paths. One passes through the measurement
計測対象面14に照射された光は計測対象面14の表面で反射および散乱し、反射光および散乱光の一部15が再び水密構造の計測ヘッド20に戻り、計測用光路12を通って第1の光分配器3aへと進む。つまり反射光28と反射光および散乱光の一部15は光路差を持って第1の光分配器3aを通過し、第2の光分配器3bに入射する。
The light irradiated on the measurement target surface 14 is reflected and scattered on the surface of the measurement target surface 14, and a part 15 of the reflected light and scattered light returns to the measurement head 20 having a watertight structure again, and passes through the measurement
第2の光分配器3bに入射した光は参照用光路13aと参照用光路13bに分けられ、参照用光路13aに分けられた光は全反射素子付き遅延光学系29を通過して再び第2光分配器3bに戻る。他方、参照用光路13bに分けられた光は周期的光路長変化素子5を通過した後、全反射素子7で全反射して再び第2の光分配器3bに戻る。参照用光路13aからの光と参照用光路13bからの光は光分配器3bで再び合成され、波長分離器18を通過して光検出器8に入射する。 The light incident on the second light distributor 3b is divided into a reference optical path 13a and a reference optical path 13b, and the light divided into the reference optical path 13a passes through the delay optical system 29 with a total reflection element and again enters the second optical path 13a. Return to the light distributor 3b. On the other hand, after the light divided into the reference optical path 13b passes through the periodic optical path length changing element 5, it is totally reflected by the total reflection element 7 and returns to the second light distributor 3b again. The light from the reference optical path 13a and the light from the reference optical path 13b are combined again by the optical distributor 3b, pass through the wavelength separator 18, and enter the photodetector 8.
これらの過程において、反射光28と反射光および散乱光の一部15が干渉するように全反射素子付き遅延光学系29の遅延光路長を調整することで、水密構造の計測ヘッド20と計測対象面14の間の距離が計測できる。この構成の場合、第1の光分配器3aから水密構造の計測ヘッド20までの計測用光路12の長さは干渉に影響を与えない。例えば、計測用光路12の長さが極端に長い場合、この長さに合わせた参照用の光路13a,13bを必要としない。
In these processes, by adjusting the delay optical path length of the delay optical system 29 with a total reflection element so that the reflected light 28 and a part 15 of the reflected light and scattered light interfere with each other, the measurement head 20 having a watertight structure and the measurement target are adjusted. The distance between the surfaces 14 can be measured. In the case of this configuration, the length of the measurement
ここで、反射光28は窓等の部分反射面の反射率が34%のときに最適となる。すなわち、計測ヘッド20の部分反射率をRr1、全反射素子7の反射率をRr2、計測対象面14の反射率をRsとすると、干渉信号強度Sは、
本実施の形態によれば、第1の光分配器3aから水密構造の計測ヘッド20までの計測用光路12の長さが干渉に影響を与えないので、水密構造の計測ヘッド20の配置構成の自由度が高まる。なお、本実施例の構成および動作は気中距離計測においても利用することができる。
According to the present embodiment, the length of the measurement
次に本発明に係る光学式距離計測装置の第6の実施例を図8を用いて説明する。この第6の実施例は計測用の低コヒーレンス光を発生する低コヒーレンス光源1,19に関する実施例である。
Next, a sixth embodiment of the optical distance measuring device according to the present invention will be described with reference to FIG. The sixth embodiment is an embodiment relating to the low-
図8(a)に示す実施例は、レーザダイオード48および変調ドライブ用高周波電源49から構成されている。このように構成された本実施例のコヒーレンス光源において、変調ドライブ用高周波電源49によりレーザダイオード48のドライブ電流を高周波で振動させレーザダイオード48を発振させる。これにより、通常コヒーレンス長の長いレーザダイオードからの光50は低コヒーレンス光となる。低コヒーレンス光源として使用しやすいレーザダイオードの波長は主に近赤外領域であるので、変調されたレーザ光を低コヒーレンス光源とすることで、近赤外領域の光を用いる距離計測装置が可能となる。 The embodiment shown in FIG. 8A includes a laser diode 48 and a modulation drive high-frequency power source 49. In the coherence light source of this embodiment configured as described above, the laser diode 48 is oscillated by oscillating the drive current of the laser diode 48 at a high frequency by the modulation drive high frequency power supply 49. Thereby, the light 50 from the laser diode having a long coherence length is usually a low coherence light. The wavelength of laser diodes that are easy to use as a low-coherence light source is mainly in the near-infrared region, so by using modulated laser light as a low-coherence light source, a distance measurement device that uses light in the near-infrared region is possible. Become.
図8(b)に示す実施例は、スーパールミネッセントダイオード51およびドライブ用電源52から構成されている。このように構成された本実施例の低コヒーレンス光源において、ドライブ用電源52によりスーパールミネッセントダイオード51は発光する。ここで、スーパールミネッセントダイオードからの光53は通常低コヒーレンス光であるため、このまま計測用光源として使用できる。スーパールミネッセントダイオードは低コヒーレンス光源として可視光端から極近赤外領域の波長もカバーすることができるので、スーパールミネッセントダイオード51を低コヒーレンス光源とすることで、可視光端から極近赤外領域の光を用いる距離計測装置が可能となる。 The embodiment shown in FIG. 8B includes a super luminescent diode 51 and a drive power source 52. In the low coherence light source of this embodiment configured as described above, the superluminescent diode 51 emits light from the drive power source 52. Here, since the light 53 from the super luminescent diode is usually low coherence light, it can be used as it is as a light source for measurement. Since the super luminescent diode can cover the wavelength from the visible light end to the near-infrared region as a low coherence light source, the super luminescent diode 51 can be used as a low coherence light source so as to be close to the visible light end. A distance measuring device using light in the infrared region becomes possible.
図8(c)に示す実施例は、フラッシュランプ54およびドライブ用パルス電源55から構成されている。このように構成された本実施例の低コヒーレンス光源において、ドライブ用パルス電源55によりフラッシュランプ54は発光する。ここで、フラッシュランプからの光56は通常低コヒーレンス光であるため、このまま計測用光源として使用できる。フラッシュランプは低コヒーレンス光源として紫外領域の波長もカバーすることができるので、フラッシュランプ54を低コヒーレンス光源とすることで、紫外領域の光を利用した距離計測装置が可能となる。 The embodiment shown in FIG. 8C includes a flash lamp 54 and a drive pulse power supply 55. In the low coherence light source of this embodiment configured as described above, the flash lamp 54 emits light by the drive pulse power supply 55. Here, since the light 56 from the flash lamp is usually low-coherence light, it can be used as it is as a light source for measurement. Since the flash lamp can cover the wavelength in the ultraviolet region as a low coherence light source, a distance measuring device using light in the ultraviolet region can be realized by using the flash lamp 54 as a low coherence light source.
図8(d)に示す本実例は、X線源57および電源58から構成されている。このように構成された本実施例の低コヒーレンス光源において、電源58によりX線源57中の電子が加速され、この電子の制動放射によりX線源57からX線59が発生する。ここで、X線源57からのX線59は通常低コヒーレンス光であるため、このまま計測用光源として使用できる。これにより、X線領域の光を利用した距離計測装置が可能となる。 The actual example shown in FIG. 8D includes an X-ray source 57 and a power source 58. In the low coherence light source of this embodiment configured as described above, electrons in the X-ray source 57 are accelerated by the power source 58, and X-rays 59 are generated from the X-ray source 57 by the bremsstrahlung of the electrons. Here, since the X-ray 59 from the X-ray source 57 is normally low coherence light, it can be used as it is as a measurement light source. Thereby, a distance measuring device using light in the X-ray region is possible.
以上のように、本発明の第6の実施例によれば、変調されたレーザ光50では主に近赤外領域、スーパールミネッセントダイオード51では主に可視光端から極近赤外領域、フラッシュランプ54では主に紫外領域、X線源57ではX線領域の光を計測用低コヒーレンス光源1あるいは19として利用できるので、空気中、水中等の計測雰囲気および各種計測対象面への適用が可能となる。
As described above, according to the sixth embodiment of the present invention, the modulated laser beam 50 is mainly in the near infrared region, and the superluminescent diode 51 is mainly in the near near infrared region from the visible light end. The flash lamp 54 can mainly use light in the ultraviolet region, and the X-ray source 57 can use light in the X-ray region as the low-
次に本発明に係る光学式距離計測装置の第7の実施例を図9を用いて説明する。この第7の実施例は計測ヘッド4あるいは20に関する実施例である。 Next, a seventh embodiment of the optical distance measuring device according to the present invention will be described with reference to FIG. The seventh embodiment relates to the measurement head 4 or 20.
9(a)に示す実施例は、計測ヘッドカバー31と集束レンズ32から構成されている。このように構成された本実施例の計測ヘッドにおいて、計測ヘッド4,20に入射された光が平行光33である場合、計測ヘッドカバー31内に設置された集束レンズ32によって平行光33は集束光34となって計測対象面14に照射される。こうして高い強度密度を持った光が計測対象面14に照射されることとなる。
図9(b)に示す実施例は、計測ヘッドカバー31、第1のコリメータレンズ35および第2のコリメータレンズ36から構成されている。
The embodiment shown in FIG. 9A includes a measurement head cover 31 and a focusing lens 32. In the measurement head of this embodiment configured as described above, when the light incident on the measurement heads 4 and 20 is the parallel light 33, the parallel light 33 is focused by the focusing lens 32 installed in the measurement head cover 31. 34 and the measurement target surface 14 is irradiated. In this way, light having a high intensity density is irradiated onto the measurement target surface 14.
The embodiment shown in FIG. 9B includes a measurement head cover 31, a first collimator lens 35, and a second collimator lens 36.
このように構成された本実施例の計測ヘッドにおいて、計測ヘッド4,20に入射された光が平行光33である場合、計測ヘッドカバー31内に設置された第1のコリメータレンズ35と第2のコリメータレンズ36とによって平行光33は、さらに小さい断面積の平行光37となって計測対象面14に照射される。こうして、第2のコリメータレンズ36と計測対象面14の距離にかかわらず、すなわち計測ヘッド4,20の先端と計測対象面14の距離にかかわらず高い強度密度を持った光が計測対象面14に照射されることとなる。 In the measurement head of the present embodiment configured as described above, when the light incident on the measurement heads 4 and 20 is parallel light 33, the first collimator lens 35 and the second collimator lens 35 installed in the measurement head cover 31 are used. The collimator lens 36 causes the parallel light 33 to irradiate the measurement target surface 14 as parallel light 37 having a smaller cross-sectional area. In this way, light having a high intensity density is applied to the measurement target surface 14 regardless of the distance between the second collimator lens 36 and the measurement target surface 14, that is, regardless of the distance between the tips of the measurement heads 4, 20 and the measurement target surface 14. It will be irradiated.
本実施例によれば、図9(a)の集束照射型の場合は、計測対象面14に照射される計測光強度の密度が高くなるので、高感度の計測が可能となる。また、図9(b)平行照射型の場合は、計測ヘッド4,20の先端から計測対象面14までの距離に関係なく高く一定な光強度密度の計測光を計測対象面14に照射することができるので、高感度でかつ計測レンジの大きい計測が可能となる。 According to the present embodiment, in the case of the focused irradiation type shown in FIG. 9A, the density of the measurement light intensity irradiated onto the measurement target surface 14 is increased, and therefore high-sensitivity measurement is possible. 9B, the measurement target surface 14 is irradiated with measurement light having a high and constant light intensity density regardless of the distance from the tips of the measurement heads 4 and 20 to the measurement target surface 14. Therefore, measurement with high sensitivity and a wide measurement range is possible.
次に本発明に係る光学式距離計測装置の第8の実施例を説明する。この実施例は遅延光学系に関する実施例である。
図10に示すように、本実施例においては、遅延光学系6が第1の多重反射素子38、第2の多重反射素子39および前記第1または第2の多重反射素子38,39を保持し移動させる移動ステージ40から構成されている。
Next, an eighth embodiment of the optical distance measuring device according to the present invention will be described. This embodiment relates to a delay optical system.
As shown in FIG. 10, in this embodiment, the delay
このように構成された本実施例において、遅延光学系6への入射光41は第1の多重反射素子38で反射した後、第2の多重反射素子39に向かい、ここで反射した後、再び第1の多重反射素子38で反射して遅延光学系6からの放出光42となる。このとき、例えば第1の多重反射素子38が移動ステージ40の上に設置されていると、遅延光路長を変化させることができる。このように遅延光学系6として多重反射素子38、39を用いることで、遅延光学系入口から出口までの距離を短くしても長い遅延光路長を確保することができる。また、遅延光路長を変化させるときの移動ステージ40の移動量を小さくすることができる。
In the present embodiment configured as described above, the incident light 41 to the delay
本実施例によれば、遅延光学系6の入口から出口までの距離を短くしても長い遅延光路長を確保することができ、遅延光路長を変化させるときの移動ステージ40の移動量を小さくすることができるので、遅延光学系6を小型化でき、小型の光学式距離計測装置が可能となる。
According to the present embodiment, a long delay optical path length can be secured even if the distance from the entrance to the exit of the delay
次に本発明に係る光学式距離計測装置の第9の実施例を説明する。この実施例は全反射素子に関する実施例である。
図11に示すように、本実施例においては、全反射素子7が全反射ミラー43と、全反射ミラー43を周期的に微小振動させる微小振動機構44と、全反射ミラー43を移動させる移動機構45から構成されている。
Next, a ninth embodiment of the optical distance measuring device according to the present invention will be described. This embodiment relates to a total reflection element.
As shown in FIG. 11, in this embodiment, the total reflection element 7 has a total reflection mirror 43, a minute vibration mechanism 44 that periodically finely vibrates the total reflection mirror 43, and a movement mechanism that moves the total reflection mirror 43. 45.
このように構成された本実施例において、全反射ミラー43に入射した光46が微小振動機構44により周期的に微小振動している全反射ミラー43により反射されると、反射光47の光路長は周期的に変化することとなる。すなわち、周期的光路長変化素子5と同等な作用が得られる。また、移動機構45により全反射ミラー43の位置を変化させることで反射光47の光路長は変化することとなる。すなわち、遅延光学系6と同等な作用が得られる。
In the present embodiment configured as described above, when the light 46 incident on the total reflection mirror 43 is reflected by the total reflection mirror 43 that is periodically microvibrated by the microvibration mechanism 44, the optical path length of the reflected light 47 is reduced. Will change periodically. That is, an action equivalent to that of the periodic optical path length changing element 5 is obtained. Further, the optical path length of the reflected light 47 is changed by changing the position of the total reflection mirror 43 by the moving mechanism 45. That is, an action equivalent to that of the delay
本実施例によれば、微小振動機構44により周期的光路長変化素子5と同等な作用が得られ、移動機構45により遅延光学系6と同等な作用が得られるので、周期的光路長変化素子5と遅延光学系6を全反射素子7内に置き換えることができ、小型の光学式距離計測装置が可能となる。
According to the present embodiment, the micro-vibration mechanism 44 can obtain an action equivalent to that of the periodic optical path length changing element 5, and the moving mechanism 45 can obtain an action equivalent to that of the delay
つぎに本発明に係る光学式距離計測装置の第10の実施例を図12を用いて説明する。
図12に示すように、本実施例の光学式距離計測装置は、光分配器3、計測ヘッド4、周期的光路長変化素子5、遅延光学系6、全反射素子7、光ファイバー63および光ファイバー用コネクタ64から構成されている。光ファイバー用コネクタ64にはコネクタ端面65が存在する。
Next, a tenth embodiment of the optical distance measuring device according to the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 12, the optical distance measuring device of this embodiment includes an
このように構成された本実施例において、光分配器3から光ファイバー用コネクタ64のコネクタ端面65までの距離L1と光分配器3から全反射素子7の反射端までの距離は等しい状態に各光学素子が配置されているとする(L1=L2)。また、コネクタ端面65から計測対象面14までの距離をd、遅延光学系6の遅延光路長をxとする。この場合、2xとdが等しいとき、計測対象面14からの反射および散乱光の一部15と全反射素子7からの反射光が干渉し、計測ヘッド4と計測対象面14の間の距離が計測できる。しかし、このような光学系配置の場合は、x=0のときにも、コネクタ端面65からの反射光と全反射素子7からの反射光が干渉する。したがって、どちらの干渉信号が距離計測のための干渉信号かを判断することが難しくなり、距離計測が困難になる。
In this embodiment configured as above, the distance L1 from the
一方、光分配器3から光ファイバー用コネクタ64のコネクタ端面65までの距離L1が光分配器3から全反射素子7の反射端までの距離L2より短い状態に各光学素子が配置されているとき(L1<L2)には、2x=dのときのみ干渉信号が得られることとなり、コネクタ端面65からの反射光と全反射素子7からの反射光との干渉信号による影響を受けずに距離計測を行うことができる。
On the other hand, when each optical element is arranged such that the distance L1 from the
なお、光分配器3から光ファイバー用コネクタ64のコネクタ端面65までの距離L1が光分配器3から全反射素子7の反射端までの距離L2より長い状態に各光学素子が配置されている場合(L1>L2)には、2x=0と2x=dのときに干渉信号が現れてしまうため、L1=L2の場合と同様に距離計測が困難となる。
When each optical element is arranged such that the distance L1 from the
本実施例によれば、光分配器3から光ファイバー用コネクタ64のコネクタ端面65までの距離L1が光分配器3から全反射素子7の反射端までの距離L2より短い状態に各光学素子を配置することによってコネクタ端面65からの反射光との干渉による光信号を防ぐことができるので、距離計測の信頼性が向上する。
According to the present embodiment, the optical elements are arranged such that the distance L1 from the
1…低コヒーレンス光源、2…アイソレータ、3,3a,3b…光分配器、4…計測ヘッド、5…周期的光路長変化素子、6…遅延光学系、7…全反射素子、8…光検出器、9…信号検出部、10…信号処理制御部、11…距離表示部、12…計測用光路、13,13a,13b…参照用光路、14…計測対象面、15…反射光および散乱光の一部、16…可視光源、17…波長合成器、18…波長分離器、19…計測用低コヒーレンス光源(水中透過率の高い波長)、20…水密構造の計測ヘッド、21…屈折率補正部、22…振幅復調部、23…自動利得制御部、24…発振器、25…同期検波部、26…演算制御部、28…反射光、29…全反射素子付き遅延光学系、31…計測ヘッドカバー、32…集束レンズ、33…平行光、34…集束光、35,36…コリメータレンズ、37…小さい断面積の平行光、38,39…多重反射素子、40…移動ステージ、41…入射光、42…放出光、43…全反射ミラー、44…微小振動機構、45…移動機構、46…入射光、47…反射光、48…レーザダイオード、49…変調ドライブ用高周波電源、50…レーザダイオードからの光、51…スーパールミネッセントダイオード、52…ドライブ用電源、53…スーパールミネッセントダイオードからの光、54…フラッシュランプ、55…ドライブ用パルス電源、56…フラッシュランプからの光、57…X線源、58…電源、59…X線、60…光路切替え器、61…複数の計測ヘッド、62…光ファイバーあるいは導波管、63…光ファイバー、64…光ファイバー用コネクタ、65…コネクタ端面。
DESCRIPTION OF
Claims (11)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003332875A JP4229793B2 (en) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | Optical distance measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003332875A JP4229793B2 (en) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | Optical distance measuring device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005098835A JP2005098835A (en) | 2005-04-14 |
JP4229793B2 true JP4229793B2 (en) | 2009-02-25 |
Family
ID=34461055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003332875A Expired - Fee Related JP4229793B2 (en) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | Optical distance measuring device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4229793B2 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6534327B2 (en) * | 2015-09-28 | 2019-06-26 | 株式会社小野測器 | Auxiliary device for laser measurement in liquid, laser measurement system, and method for measuring object in liquid |
JP6734886B2 (en) * | 2018-04-17 | 2020-08-05 | 株式会社小野測器 | Adapter and laser Doppler velocimeter system |
JP2022025660A (en) * | 2020-07-29 | 2022-02-10 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Autonomous travel type vacuum cleaner, method for controlling autonomous travel type vacuum cleaner and program |
CN115201839B (en) * | 2022-09-16 | 2022-12-30 | 成都量芯集成科技有限公司 | Dual-wavelength laser ranging device |
-
2003
- 2003-09-25 JP JP2003332875A patent/JP4229793B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005098835A (en) | 2005-04-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108027312B (en) | Laser sensor for particle size detection | |
US10379028B2 (en) | Laser sensor for multi parameter detection | |
JP6812553B2 (en) | Optical particle sensor module | |
JP6639319B2 (en) | Particle sensor device | |
US7068367B2 (en) | Arrangement for the optical detection of a moving target flow for a pulsed energy beam pumped radiation | |
JP5124424B2 (en) | Optical displacement meter | |
KR20190095343A (en) | Laser sensor module for particle density detection | |
US8089618B2 (en) | Laser distance measuring device | |
JP2004521355A (en) | Optical distance measuring device | |
US10641695B2 (en) | Method of determining operation conditions of a laser-based particle detector | |
US20170014057A1 (en) | Biological-information measurement device | |
JP2016517019A (en) | Surface roughness measuring device | |
KR20190128068A (en) | Laser sensor module for particle detection with offset beam | |
JP4229793B2 (en) | Optical distance measuring device | |
US20220075042A1 (en) | Laser sensor module with soiling detection | |
JP3947159B2 (en) | Sensor device for quick optical distance measurement according to the confocal optical imaging principle | |
JP2013535676A (en) | Distance measuring device | |
JP2008070314A (en) | Gas detection apparatus | |
JP5354706B2 (en) | Laser measuring instrument | |
JP2017161424A (en) | Optical component sensor | |
JP6734886B2 (en) | Adapter and laser Doppler velocimeter system | |
JP2009063311A (en) | Gas detection device | |
JP5162832B2 (en) | Displacement detector | |
JP2007147369A (en) | Laser length-measuring apparatus | |
JP3325648B2 (en) | Displacement measuring device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060118 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060830 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070223 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080603 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080730 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081125 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081202 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131212 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |