JP4223718B2 - 位置検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作機械及び産業機械等における、デジタルスケール、ゲージ及びエンコーダ等の位置検出に使用される位置検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
工作機械や産業機械等の直線移動部分である可動部の移動量や移動距離を検出する位置検出装置としては、様々なタイプのものが提案されている。
【0003】
このような位置検出装置としては、図1に示すような、位置検出装置2がある。以下に位置検出装置2について述べる。
【0004】
位置検出装置2は、磁気目盛りを記録したスケール30と、スケール30に記録された磁気目盛りを検出する検出器31とを備えている。
【0005】
スケール30は、例えば、平板の形状をした記録媒体に、長手方向に沿って磁気目盛りが記録されて形成されている。また、ヘッドスライダ内には、スケール30に記録されている磁気目盛りを検出する検出器31が設けられている。この検出器31は、スケール30に記録されている磁気目盛りが検出できるように、例えば、この磁気目盛りに対向する位置に設けられるとともにヘッドスライダの直線移動に伴いスケール30の長手方向に平行移動する。
【0006】
検出器31には、例えば、磁気目盛りを検出するのに磁気抵抗効果(以下、MRという。)素子を用いたものがある。MR素子は、所定の成膜方法により、Fe−Ni又はNi−Co等の強磁性体の薄膜をガラス、シリコン又はセラミック等の基板上に形成し、その薄膜の磁気抵抗効果を利用してスケール上の磁気信号を検出する。
【0007】
このようなスケール30と検出器31との間には隙間(以下、クリアランスという。)が空いており、このクリアランスに異物が混入することがある。異物の混入が原因となって、検出器31が損傷することがあるため、検出器31表面に保護するための膜を形成している。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の位置検出装置2では、混入する異物の大きさがクリアランスより小さい場合には、上記保護膜で対処可能であったが、混入する異物の大きさがクリアランスと同程度又はそれ以上の大きさであった場合には、図3に示すように、上記保護膜の膜厚が薄いため、異物により保護膜が剥がされ、検出器を損傷する問題があった。
【0009】
また、従来では、主にクリアランスと同程度又はそれ以上の大きさの異物の混入を防ぐために、ワイパーやスクレイパー等の異物混入防止部を検出器の両端、又は周囲に設置する必要があり、位置検出装置が高価となる原因になっていた。
【0010】
そこで、本発明は、上述したような実情に鑑みて提案されたものであり、ワイパーやスクレイパー等の異物混入防止部を設置することなく、クリアランスと同程度又はそれ以上の大きさの異物の混入を防止することが可能な位置検出装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る位置検出装置は、上述の課題を解決するために、信号が記録されているスケールと、上記スケールに対向して相対移動可能な位置に配置され、上記スケールから信号を検出する検出器と、上記検出器表面に積層される応力緩和のための弾性層と、上記弾性層に積層される保護膜とを備え、上記検出器表面から上記スケール表面までのクリアランスが20μmのとき、上記保護膜の膜厚をaとし、該保護膜表面から該スケール表面までの間隔をbとすると、a≧b≧5μmであり、上記保護膜は、非磁性材料であるダイアモンドライクカーボン薄膜からなることを特徴とする。
【0012】
すなわち、位置検出装置では、検出器表面に保護膜を形成し、検出器表面から保護膜表面までの膜厚が、保護膜表面からスケール表面までの間隔よりも厚く形成される。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【0014】
本発明は、例えば図1に示すような位置検出装置1に適用される。
【0015】
位置検出装置1は、磁気目盛りを記録したスケール10と、スケール10に記録された磁気目盛りを検出する検出器11とを備えている。
【0016】
スケール10は、例えば、平板の形状をした記録媒体に、長手方向に沿って磁気目盛りが記録されて形成されている。なお、位置検出装置1は、具体的には、例えば、図2に示すように、スケール10と、ハウジング12と、ヘッドスライダ13と、キャリア14とにより構成されている。
【0017】
ヘッドスライダ13内には、スケール10に記録されている磁気目盛りを検出する検出器11が設けられている。この検出器11は、スケール10に記録されている磁気目盛りが検出できるように、例えば、この磁気目盛りに対向する位置に取り付けられるとともにヘッドスライダ13の直線移動に伴いスケール10の長手方向に平行移動する。
【0018】
ここで、位置検出装置1による位置検出について以下に述べる。
【0019】
上述のようなスケール10と検出器11とから構成される位置検出装置1は、相対的に直線移動する工作機械等の基準部と可動部とに取り付けられる。この位置検出装置1は、本体部或いはヘッドスライダ13のいずれか一方が、移動をしない基準部に固定され、他方が、可動部に固定される。このとき、本体部は、内部に設けられたスケール10の長手方向が、可動部の移動方向に平行となるように取り付けられる。従って、この位置検出装置1では、この可動部の直線移動に応じて本体部とヘッドスライダ13との相対位置が変化する。
【0020】
このことにより位置検出装置1では、ヘッドスライダ13内に設けられた検出器11がこの相対位置の変化に応じて変化する磁気目盛りを検出し、この可動部の移動位置を制御することができる。
【0021】
このような位置検出装置1では、磁気目盛りとして、スケール信号が、スケール10の長手方向に記録される。なお、スケール10には、スケール信号の他に、原点信号も長手方向に記録されていても良い。
【0022】
スケール信号は、連続して所定の間隔で繰り返されるピットやマーク等が、スケール10の長手方向に記録された信号であり、例えば、所定の記録波長で極性が反転する磁気信号が、スケール10の長手方向に連続して記録された信号である。このようなスケール信号が記録されたスケール10を用いることにより、位置検出装置1では、本体部とヘッドスライダ13との相対移動位置の変動をリニアに検出することができ、基準部と可動部との相対位置を連続的に制御することができる。
【0023】
また、原点信号は、少なくとも1つのピットやマーク等が、スケール10の長手方向に離散的に記録された信号であり、例えば、1波長分の磁気信号が、スケール10の長手方向の所定の1カ所に記録された信号である。このような原点信号が記録されたスケール10を用いることにより、位置検出装置1では、本体部とヘッドスライダ13との初期設定位置や原点位置等の基準位置を検出することができ、基準部と可動部との相対位置を基準位置に設定することができる。
【0024】
位置検出装置1では、スケール10と検出器11との間に隙間(以下、クリアランスという。)が空いており、このクリアランスに混入した異物により検出器11の検出面が損傷するのを防ぐために保護膜20を形成している。しかし、従来のように保護膜20の膜厚が6μm程度だと、図3に示すように、クリアランスに大きさがクリアランスと同程度又はそれ以上の大きさの異物が混入したときに、異物により保護膜20が剥がされ、検出器11を物理的に損傷させることがあり、長期信頼性の確保ができない問題がある。また、位置検出装置1の検出感度を向上させる目的から、クリアランスを狭くする必要があり、例えば、クリアランスが20μm程度まで狭まったシステムでは、保護膜としてある程度の厚さでないと、クリアランスに混入した異物により検出器11を物理的に損傷させなくても、異物による応力が検出素子の特性を劣化させ、その結果、検出信号に悪影響を及ぼし、検出器11の読み取り性能を低下させる場合がある。
【0025】
そこで、本発明では、図4に示すように、クリアランスが20μmのとき、保護膜20の膜厚を10〜12μmとして上記問題の解決を図っている。また、保護膜20の膜厚をaとし、保護膜20表面からスケール10表面までの間隔をbとした場合に、上記例のようにa≧bが成立し、また、a≧b≧5μmが成立するならば、保護膜20の膜厚は上記以外でも良い。
【0026】
また、保護膜20は、非磁性材料の銅、アルミニウム又はダイヤモンドライクカーボン(以下、DLCと呼ぶ。)薄膜等を利用したものであっても良い。
【0027】
ここで、DLC薄膜の特徴について説明する。DLC薄膜は、硬度が高く(Hv≒3000)、緻密なアモルファス構造のためその表面は非常に滑らかで結晶粒界がない。DLC薄膜は、このような表面特性によりTiN等の他の硬質薄膜に比べて摩擦係数(μ=0.1〜0.2)が低く耐摩耗性等の特徴を有している。また、DLC薄膜は、主な構成元素が炭素であり、切削工具にも広範に使用されており、水溶性切削液の影響を受け難く、硬度も高いため切り粉の影響もきわめて受け難い特性も有している。
【0028】
また、検出器11は、例えば、磁気抵抗効果膜(以下、MR膜と呼ぶ)と、電極とを備えるMR素子を利用したものであっても良い。MR膜は、Ni−Fe合金等からなっており、外部と接続する電極に繋がっている。また、MR素子は、外部磁界に応じて電気抵抗の変化が生じ、磁気記録媒体に記録された磁気信号を検出する。
【0029】
上述のようなMR膜にDLC薄膜を直接形成すると、DLC薄膜の応力が原因となりMR膜の磁気抵抗効果が劣化してしまう場合がある。そこで、本発明では、DLC薄膜とMR素子との間に応力緩和のための弾性層を形成することとしている。なお、上記弾性層は、保護膜20を検出器11に接着させる役目も果たしている。また、保護膜20を検出器11に設置する際、弾性のある接着剤を使用することで、保護膜20に印加されるクリアランス中に侵入した異物からの応力をこの弾性層により検出器11に伝わりにくくすることができ、更に良好な結果が得られる。なお、保護膜20の厚みは、検出素子の表面からのものであるが、MR素子の場合には素子自体の厚みが30〜100nm程度なので、ほぼ検出器11表面の基板からの厚みと同じである。
【0030】
つぎに保護膜20の端面の形状について図5を用いて述べる。なお、図5(a)〜(c)は、保護膜20を上面から眺めた図である。保護膜20の形状は、図5(a)に示すような平行四辺形、図5(b)に示すような6角形、図5(c)に示すような円形とする。このように、検出器11の進行方向に対して保護膜20を傾斜面又は曲面状に形成することにより、異物が保護膜20の端面にたまるのを防いでいる。なお、異物が保護膜20の端面にたまるのを防ぐ形状であれば、上記以外の形状でも良い。
【0031】
また、検出器11の形状を上記保護膜20の形状と同様に、進行方向に対して平行四辺形、6角形又は円形等のような傾斜面又は曲面状に形成するようにしても良い。
【0032】
このようにして、位置検出装置1では、検出器11表面に形成する保護膜20の膜厚を、上記保護膜20表面とスケール10表面との間隔よりも厚く形成することにより、ワイパーやスクレイパー等の異物混入防止部を設けることなく、スケール10と検出器11との間のクリアランス程度の大きさの異物の混入を防ぐことができるので、検出器11の損傷を防ぐことができる。さらに、位置検出装置1では、検出器11と保護膜20の間に弾性層を形成することにより、保護膜20による応力を緩和し、かつ保護膜20とスケール10との間に混入した異物による影響を緩和することができるので、検出器11の損傷を防ぐことができる。
【0033】
なお、上述のように、磁気式スケールを本発明の実施の形態として説明したが、本発明はこれに限定されず、光学式スケール、静電容量式スケール又は電磁誘導式スケール等にも適用可能である。
【0034】
【発明の効果】
本発明に係る位置検出装置は、検出器表面に形成される保護膜の膜厚を、上記保護膜表面とスケールとの間よりも厚く形成することにより、ワイパーやスクレーパー等の異物混入防止部を設けることなく、スケールと検出器との間のクリアランス程度の大きさの異物の混入を防ぐことができ、検出器の損傷を防ぐことができ、さらに、検出器と保護膜の間に弾性層を形成することにより、スケールと検出器との間のクリアランス程度の大きさの異物が混入した際にも、保護膜にかかる応力を緩和し、かつ保護膜とスケールとの間に混入した異物による影響を緩和することができる。さらに、保護膜としてダイアモンドライクカーボン薄膜を用いており、耐摩耗性を有するとともに、水溶性切削液の影響を受け難いので、検出器の損傷を防ぎ、装置全体の耐性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した位置検出装置を示す図である。
【図2】本発明を適用した位置検出装置の具体例を示す斜視図である。
【図3】従来の位置検出装置にクリアランス程度の異物が混入したときの様子を示す図である。
【図4】本発明を適用した位置検出装置の側面図である。
【図5】本発明を適用した位置検出装置に備えられている検出器表面に形成した保護膜の形状を示す図である。
【符号の説明】
1 位置検出装置、2 薄膜形成装置、10 スケール、11 磁気ヘッド、12 ハウジング、13 ヘッドスライダ、14 キャリア、20 保護膜
Claims (1)
- 信号が記録されているスケールと、
上記スケールに対向して相対移動可能な位置に配置され、上記スケールから信号を検出する検出器と、
上記検出器表面に積層される応力緩和のための弾性層と、
上記弾性層に積層される保護膜とを備え、
上記検出器表面から上記スケール表面までのクリアランスが20μmのとき、上記保護膜の膜厚をaとし、該保護膜表面から該スケール表面までの間隔をbとすると、a≧b≧5μmであり、
上記保護膜は、非磁性材料であるダイアモンドライクカーボン薄膜からなることを特徴とする位置検出装置。
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