JP4222537B2 - 静的光散乱式粒径分布測定装置 - Google Patents
静的光散乱式粒径分布測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4222537B2 JP4222537B2 JP2001016130A JP2001016130A JP4222537B2 JP 4222537 B2 JP4222537 B2 JP 4222537B2 JP 2001016130 A JP2001016130 A JP 2001016130A JP 2001016130 A JP2001016130 A JP 2001016130A JP 4222537 B2 JP4222537 B2 JP 4222537B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particle size
- size distribution
- calculation
- constant
- light scattering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 166
- 238000001370 static light scattering Methods 0.000 title claims description 19
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 103
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 claims description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 9
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000005653 Brownian motion process Effects 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 238000005537 brownian motion Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、粒径分布測定装置に関し、特に、装置全体を制御する演算制御装置において、当該装置で測定可能な最も小さな粒子から最も大きな粒子まで、それぞれの粒径に応じた粒径分布演算定数を求め、この求められた粒径分布演算定数を用いて粒径分布を求めるようにした静的光散乱式粒径分布測定装置に関する。
【0002】
【発明の背景】
粒径分布測定装置は、従来より有機顔料やセラミックスなど各種粒子の粒径分布を測定するのに用いられており、近時においては、半導体ウェハやハードディスクの研磨剤や、インクジェットプリンタなど先端技術材料の研究開発にもそのニーズが広がってきている。このような粒径分布測定装置として、分散媒中の粒子に対して光を照射し、前記粒子による光の回折または散乱現象を利用して粒径分布を算出するところの静的光散乱式粒径分布測定装置や、分散媒中に分散しブラウン運動する粒子に対して光を照射し、前記粒子による散乱光のドップラーシフトによって生じた干渉光を電気的な検出信号に変換し、この検出信号を適宜の演算処理を施して粒径分布を算出するところの動的光散乱式粒径分布測定装置などがある。
【0003】
近時の粒径分布測定装置は、上記いずれの測定方式のものにおいても、コンピュータなどの演算制御装置を用いてそのプログラムにしたがって測定条件の設定、前処理や測定を行ってデータを採取し、この採取されたデータを所定の計算式を用いて演算を行うことにより、試料における粒径分布を求め、得られた各種のデータを表示したり、管理するように構成されている。
【0004】
ところで、上記いずれの粒径分布測定装置においても、粒径分布を演算によって求める場合、その演算を行わせるに際して、試料や分散媒に依存するパラメータを入力し、当該装置で測定できる最も小さな粒子から最も大きな粒子まで、それぞれの粒径に応じた粒径分布演算定数を全て演算し、これをファイル化した粒径分布演算定数ファイルを用意する必要がある。ここで、前記パラメータとは、静的光散乱式粒径分布測定装置においては、試料と分散媒の相対屈折率であり、動的光散乱式粒径分布測定装置においては、前記相対屈折率および分散媒の粘性率である。
【0005】
【従来の技術およびその問題点】
殊に、測定対象粒子の最大粒径が動的光散乱式粒径分布測定装置の場合よりも大きい静的光散乱式粒径分布測定装置においては、フラウンホウファー回折理論やミー散乱理論に則った計算式に粒径分布演算定数が求められ、粒子の粒径がレーザ光の波長と同等またはそれ以下の場合に適用されるミー散乱理論による粒径分布演算定数の計算には、通常長時間を要する。特に、粒径の小さい粒子のための粒径分布演算定数の計算に比べ、粒径の大きい粒子のための粒径分布演算定数の計算には、より複雑な計算式を用いるため、はるかに長い時間を必要とする。
【0006】
このため、従来の静的光散乱式粒径分布測定装置粒径分布測定装置においては、粒径分布演算定数ファイルを作成する機能がついてなく、装置メ−カーから供給される粒径分布演算定数ファイルしか使用できなかったり、粒径分布測定装置が粒径分布演算定数ファイル作成機能を備えていても、粒径分布演算定数の計算の進捗状況が装置使用者(例えば測定担当者やオペレータなど)に分からないため、装置使用者は前記計算が何時終わり、粒径分布演算定数ファイルが何時から使えるのかが分からず、測定を効率的に行うことができなかった。
【0007】
この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、粒径分布測定をより効率よく行うことができる静的光散乱式粒径分布測定装置粒径分布測定装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明では、装置全体を制御する演算制御装置を有し、この演算制御装置には、試料と分散媒の相対屈折率をパラメータとして、当該装置で測定可能な最も小さな粒子から最も大きな粒子まで、それぞれの粒径に応じた粒径分布演算定数を求める手段及びこの求められた粒径分布演算定数を用いて粒径分布を求める手段が備えられている静的光散乱式粒径分布測定装置において、前記粒径分布演算定数を求める手段は、計算対象である粒径の間隔を対数が一定の間隔になるように設定し、それぞれの粒径について粒径の小さいものから順番に計算する手段であり、かつ、前記演算制御装置には、現在計算中の粒径Dと、当該装置で測定可能な最大粒径D max と、その最大粒径D max に応じて設定された定数Cとから導出されるD max C に対するD C の比を用いて粒径分布演算定数の計算の進捗状況を略一定のペースで進むように表わす指標値を求める手段及びその求めた進捗状況の指標値を、粒径分布演算定数の計算に使用するパラメータとして入力される相対屈折率とともに表示装置の表示画面上に表示して報知する手段が備えられていることを特徴としている。
ここで、前記進捗状況の指標値を報知する手段には、グラフと数値を目視確認できるように表示画面に同時に表示する表示装置であることが好ましく(請求項2)、また、その表示装置の表示画面には、前記粒径分布演算定数の計算を強制的に終了させるキャンセルボタンが表示されていることが望ましい(請求項3)。
【0009】
上記構成の静的光散乱式粒径分布測定装置においては、例えば、演算制御装置に付設された表示装置の演算制御画面に、粒径分布演算定数の計算の進捗状況を目視で確認できるように表示することにより、装置使用者は前記計算が何時終わり、粒径分布演算定数ファイルが何時から使えるのかを把握することができる。したがって、例えば、装置使用者が前記進捗状況を見て前記計算に長時間を要すると判断した場合、前記画面に設けられているキャンセルボタンを押すことにより、当該計算を強制的に終了させ、他の作業を先に行うこともできるなど、測定をより効率よく行うことができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図1〜図3は、この発明の一実施例を示す。まず、図1は、静的光散乱式粒径分布測定装置の構成の一例を概略的に示すもので、この図において、1は測定部で、次のように構成されている。すなわち、2は分散バスで、その内部にはモータ3によって回転する攪拌羽根4が設けられているとともに、その底部の外部には発振器によって振動する超音波振動子5が設けられており、適宜秤量された測定試料である粒子(粉体や粒体)6と分散媒タンク7から供給される分散媒8とを調整して試料液(懸濁液ともいう)9とするものである。10は分散媒供給管で、電磁弁などの開閉弁11を備え、分散バス2の開口に開放接続されている。
【0011】
そして、12は試料セルとしてのフローセルで、分散バス2とはポンプ13、切換弁14などを備えた循環流路15によって接続されている。16はフローセル12の一方の側に設けられるレーザ光源、17,18はフローセル12の他方の側に設けられる集光レンズ、光検出器で、光検出器18は例えば複数のディテクタをリング状に配設してなるリングディテクタよりなり、入射した散乱光を電気信号に変換する。
【0012】
また、19は光検出器18からの電気信号を順次切り換え出力するマルチプレクサなどの信号切換回路、20は前記電気信号をディジタル量に変換するAD変換器である。
【0013】
さらに、21は前記測定部1を始めとする装置各部を制御するとともに各種の演算を行う演算制御装置で、例えばパソコンなどのコンピュータである。このコンピュータ21は、CPU22、ROM23、RAM24、キーボードなどの入力装置25、表示装置26やプリンタ(図示していない)などよりなる。
【0014】
そして、前記ROM23には、各種の制御プログラムのほか、入力された試料や分散媒に依存するパラメータを用いて粒径分布演算定数を計算するプログラムや、粒径分布演算定数ファイルに基づいて粒度分布を求めるためのプログラムなどを備えるとともに、粒径分布演算定数の計算の進捗状況を表すためのプログラムを備えている。また、前記RAM24は、CPU22で演算処理された結果や入力装置25によって入力された情報を格納するとともに、各種のパラメータや粒径分布演算定数ファイルなどを格納している。さらに、表示装置26は、CPUの処理結果やRAM24に格納されているデータや各種の入力情報を表示するとともに、その画面上において制御情報などを対話形式で入力できるように構成されている。
【0015】
ところで、既に説明したように、静的光散乱式粒径分布測定装置において粒度分布を求めるに際しては、演算制御装置としてのコンピュータ21に、粒子と分散媒との相対屈折率をパラメータとして入力し、当該装置で測定可能な最も小さい粒子から最も大きい粒子まで、それぞれの粒径に応じた粒径分布演算定数を全て計算しなければならない。特に、ミー散乱理論による粒径分布演算定数の計算には、通常、長い時間を必要とする。特に、粒径の小さい粒子の計算に比べて、大きい粒子の計算にははるかに長い時間を要する。
【0016】
計算対象である粒径の間隔を、図3に示すように、対数が一定の間隔になるように設定し(すなわち、図中の符号T1 ,T2 ,T3 がそれぞれ等しい)、それぞれの粒径についてミー散乱理論を用いて粒径の小さいものから順番に計算する場合、最初に計算する小粒径の粒径分布演算定数の計算にはさほど時間はかからないが、最後に計算する粒径の大きなものについての粒径分布演算定数の計算には多大の時間を必要とする。
【0017】
そこで、この発明では、現在計算中の粒径をDとし、最大粒径をDmax (例えば1000μm)とするとき、下記(1)式で進捗状況(%)を表す指標を用いる。すなわち、
進捗状況(%)={DC /Dmax C }×100 ……(1)
ここで、Cは定数で、この定数Cを、計算する粒径の上限値(この場合1000μm)に応じて適当に調整(設定)することにより、粒径分布演算定数の計算の進捗状況の数値を一定間隔に近いペースで進ませることができる。
【0018】
そして、この発明では、上述のようにして求められる進捗状況を、コンピュータ21の表示装置26の表示画面上に表示するのである。すなわち、図2は、表示装置26の表示画面の一例を示すもので、粒径分布演算定数を計算させるためのウインドウ(画面)27を示している。この画面27の下方には、横方向に進捗状況を示す棒グラフ28と進捗状況を数値的に表示する欄29が設けられている。このように、棒グラフ28表示と数値29表示とを同時に行うことにより、粒径分布演算定数の計算の進捗状況を一目で把握することができる。したがって、装置使用者が前記進捗状況を見て前記計算に長時間を要すると判断した場合、前記画面27に設けられているキャンセルボタン30を押すことにより、当該計算を強制的に終了させ、他の作業を先に行うこともできる。
【0019】
なお、前記粒径分布演算定数の計算を行う場合、相対屈折率を入力する必要があるが、粒径分布測定に波長の異なる複数(例えば2つ)の光源を用いている場合、図中の符号31a,31bに示すように、それぞれの波長の相対屈折率を入力する。また、サンプルとしての粒子が特殊で、相対屈折率以外に演算手法を変える必要がある場合、前記演算用の画面27にチェックボックスを設けておき、そこをチェック(クリック)することで、粒径分布演算定数ファイルにその内容を書き込み、粒度分布演算時にその情報を選択するようにしてもよい。さらに、新たに作成した粒径分布演算定数ファイルを、粒度分布測定ソフトウェアで使用する際は、そのファイルを選択するに際して、計算に使用した相対屈折率を画面上において確認できるように表示してもよい。
【0020】
そして、前記進捗状況の表示は、棒グラフ28表示と数値29表示のいずれか一方にのみ行うようにしてもよい。
【0021】
なお、図4は、動的光散乱式粒径分布測定装置の構成を概略的に示すものであり、この図4において、41は測定対象液42を収容する試料セルで、測定対象液42は分散媒42a中に測定対象の粒子42bを分散させたものである。なお、試料セル41は前記図1に示したフローセル12と同様の形式のものである。
【0022】
そして、図4において、43は試料41の一側に設けられるレーザ光源で、このレーザ光源43と試料セル41との間の光路には、レーザ光源43からのレーザ光44をコリメートするレンズ45、ビームスプリッタ46、集光レンズ47がこの順で設けられている。前記ビームスプリッタ46は、例えば中央にレーザ光44を通過させる孔が設けられ、その反射面が試料セル41方向に形成されたミラーよりなり、レーザ光源43を発したレーザ光44の光軸と例えば45°の角度をなすように設けられており、前記孔を通過したレーザ光44が試料セル41内の粒子42bによる散乱光のドップラーシフトによって生じた干渉光48を90°曲げて反射するように構成されている。そして、ミラー46で反射された干渉光48の光路にはこれを集光するレンズ49と、前記干渉光48を電気的な検出信号に変換する光検出器50が設けられている。
【0023】
また、51は信号処理部で、前記光検出器50の出力を必要により増幅しディジタル信号に変換処理する信号処理部52、この信号処理部52から出力される検出信号をデータ処理して粒径分布を求めるCPU53、装置の各部を制御したり、前記CPU53における処理結果を表示するための画像処理など種々の処理を行うパソコン54などよりなり、パソコン54には、粒径分布など処理結果を表示したり、各種の制御画面を表示するための表示装置55が付設されている。
【0024】
上述の動的光散乱式粒径分布測定装置においても、前記表示装置55においてもその表示画面に、粒径分布演算定数の計算の進捗状況を目視で確認できるように表示することは可能であるが、本発明とは直接関係ないので、その詳細な説明は省略する。
【0025】
なお、上述の実施例においては、表示装置26に粒径分布演算定数の計算の進捗状況を棒グラフおよび/または数値によって表示するようにしているが、これらの表示とともに音声で前記進捗状況を知らせるようにしてもよく、さらに、音声など聴覚に訴える手段のみによって前記進捗状況を知らせるようにしてもよい。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の静的光散乱式粒径分布測定装置においては、装置全体を制御する演算制御装置を有し、この演算制御装置には、試料と分散媒の相対屈折率をパラメータとして、当該装置で測定可能な最も小さな粒子から最も大きな粒子まで、それぞれの粒径に応じた粒径分布演算定数を求める手段及びこの求められた粒径分布演算定数を用いて粒径分布を求める手段が備えられている静的光散乱式粒径分布測定装置において、前記粒径分布演算定数を求める手段は、計算対象である粒径の間隔を対数が一定の間隔になるように設定し、それぞれの粒径について粒径の小さいものから順番に計算する手段であり、かつ、前記演算制御装置には、現在計算中の粒径Dと、当該装置で測定可能な最大粒径D max と、その最大粒径D max に応じて設定された定数Cとから導出されるD max C に対するD C の比を用いて粒径分布演算定数の計算の進捗状況を略一定のペースで進むように表わす指標値を求める手段及びその求めた進捗状況の指標値を、粒径分布演算定数の計算に使用するパラメータとして入力される相対屈折率とともに表示装置の表示画面上に表示して報知する手段が備えられているので、測定担当者など装置使用者が粒径分布演算定数の計算の進捗状況を把握し、装置使用者が前記計算が何時終わり、粒径分布演算定数ファイルが何時から使えるのかを簡単に把握することができる。したがって、例えば、装置使用者が前記進捗状況を見て前記計算に長時間を要すると判断した場合、前記画面に設けられているキャンセルボタンを押すことにより、当該計算を強制的に終了させ、他の作業を先に行うこともできるなど、測定をより効率よく行うことができる。
【0027】
そして、請求項2に記載の発明のように、演算制御装置に付設された表示装置の表示画面に、粒径分布演算定数の計算の進捗状況を目視で確認できるようにグラフと数値を同時に表示した場合、前記進捗状況を一目で明確に把握することができる。
【0028】
特に、静的光散乱式粒径分布測定装置は、動的光散乱式粒径分布測定装置に比べて、測定可能な粒径範囲が広く、しかも粒径の小さいものから順番に計算するがゆえに粒径の大きい範囲において計算に複雑な式を用いるために、その定数計算に長い時間がかかるという課題が生じることからみて、この発明の効果が特に大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の静的光散乱式粒径分布測定装置の構成の一例を概略的に示す図である。
【図2】 前記装置の動作を説明するための図である。
【図3】 粒径分布演算定数を求める際の粒径の区分を説明するための図である。
【図4】 動的光散乱式粒径分布測定装置の構成を概略的に示す図である。
【符号の説明】
21,54…演算制御装置、26,55…表示装置、27…表示画面。
Claims (3)
- 装置全体を制御する演算制御装置を有し、この演算制御装置には、試料と分散媒の相対屈折率をパラメータとして、当該装置で測定可能な最も小さな粒子から最も大きな粒子まで、それぞれの粒径に応じた粒径分布演算定数を求める手段及びこの求められた粒径分布演算定数を用いて粒径分布を求める手段が備えられている静的光散乱式粒径分布測定装置において、前記粒径分布演算定数を求める手段は、計算対象である粒径の間隔を対数が一定の間隔になるように設定し、それぞれの粒径について粒径の小さいものから順番に計算する手段であり、かつ、前記演算制御装置には、現在計算中の粒径Dと、当該装置で測定可能な最大粒径D max と、その最大粒径D max に応じて設定された定数Cとから導出されるD max C に対するD C の比を用いて粒径分布演算定数の計算の進捗状況を略一定のペースで進むように表わす指標値を求める手段及びその求めた進捗状況の指標値を、粒径分布演算定数の計算に使用するパラメータとして入力される相対屈折率とともに表示装置の表示画面上に表示して報知する手段が備えられていることを特徴とする静的光散乱式粒径分布測定装置。
- 前記進捗状況の指標値を報知する手段が、グラフと数値を目視確認できるように表示画面に同時に表示する表示装置である請求項1に記載の静的光散乱式粒径分布測定装置。
- 前記表示装置の表示画面には、前記粒径分布演算定数の計算を強制的に終了させるキャンセルボタンが表示されている請求項2に記載の静的光散乱式粒径分布測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001016130A JP4222537B2 (ja) | 2001-01-24 | 2001-01-24 | 静的光散乱式粒径分布測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001016130A JP4222537B2 (ja) | 2001-01-24 | 2001-01-24 | 静的光散乱式粒径分布測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002221480A JP2002221480A (ja) | 2002-08-09 |
JP4222537B2 true JP4222537B2 (ja) | 2009-02-12 |
Family
ID=18882556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001016130A Expired - Fee Related JP4222537B2 (ja) | 2001-01-24 | 2001-01-24 | 静的光散乱式粒径分布測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4222537B2 (ja) |
-
2001
- 2001-01-24 JP JP2001016130A patent/JP4222537B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002221480A (ja) | 2002-08-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5818583A (en) | Particle analysis system and method | |
JP5913787B2 (ja) | 粒度分布測定装置 | |
JP2016048185A (ja) | 気泡径分布測定方法及び気泡径分布測定装置 | |
JP2827901B2 (ja) | 粒度分布測定方法 | |
JP6264229B2 (ja) | 気泡径分布測定方法及び気泡径分布測定装置 | |
JP5310255B2 (ja) | 粒度分布測定装置 | |
JP4222537B2 (ja) | 静的光散乱式粒径分布測定装置 | |
JP6555164B2 (ja) | 粒子径分布測定装置、データ処理方法及びデータ処理プログラム | |
JP6277973B2 (ja) | 気泡径分布測定方法及び気泡径分布測定装置 | |
JP2000002644A (ja) | レーザ回折・散乱式粒度分布測定装置 | |
JP3235554B2 (ja) | レーザ回折・散乱式粒度分布測定装置 | |
JP6189985B2 (ja) | 粒度分布測定装置 | |
JPH0674892A (ja) | レーザ回折散乱を用いた粒子径分布測定方法および測定装置 | |
JP3566840B2 (ja) | 濃度測定装置 | |
JP6112025B2 (ja) | 粒度分布測定用データ処理装置及びこれを備えた粒度分布測定装置、並びに、粒度分布測定用データ処理方法及び粒度分布測定用データ処理プログラム | |
JP3531557B2 (ja) | レーザ回折・散乱式粒度分布測定装置 | |
JP2636051B2 (ja) | 粒子測定方法および装置 | |
JP3536730B2 (ja) | レーザ回折・散乱式粒度分布測定装置 | |
JPH08136434A (ja) | 粒度分布解析方法 | |
JP2016211945A (ja) | 粒子径分布測定装置、粒子径分布測定方法及び粒子径分布測定プログラム | |
JP3820065B2 (ja) | 動的光散乱式粒径分布測定装置および動的光散乱式粒径分布測定方法 | |
JP6729724B2 (ja) | データ処理装置及びデータ処理プログラム | |
JP3050127B2 (ja) | 膜厚測定装置 | |
JP6900789B2 (ja) | 気泡径分布測定用のデータ処理方法、データ処理装置及びデータ処理プログラム | |
JP3049926B2 (ja) | 粒度分布測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040603 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050623 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050809 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051011 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060411 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060609 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060829 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061027 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20061109 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20061222 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080723 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080926 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141128 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141128 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |