JP4218558B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
本発明は、上記課題に着目してなされたものであり、その目的は、耐食性に優れるとともに小型で高精度な圧力センサを提供することにある。
図1には、本実施形態における圧力センサの平面図を示す。図2は、図1におけるA−A線での縦断面図である。本圧力センサは車載エンジンの排気系部品に設けられ、排気ガスの圧力を検出するセンサである。つまり、圧力検出対象の流体(圧力媒体)がエンジンの排気ガスである。より具体的には、例えば、排気ガス再循環装置(EGR)における排気ガス再循環経路での圧力測定のために用いられる。
図3(a),(b)に示す配線基板30が、図4,5に示す圧力センサチップ21上、ベースプレート10上および外部接続端子12a〜12d上に配置され、これらの部材に熱可塑性樹脂製シート31が熱圧着されて図1,2の構造となっている。
なお、圧力検出対象の流体はエンジンの排気ガスであったが、他にも例えば車両のタイヤ空気であってもよい。
Claims (3)
- ベース部材(10)に収納されて、ダイアフラム(23)の周辺に複数のパッド(25a,25b,25c,25d)を前記ダイアフラム(23)に対し対称となる位置に配置した圧力センサチップ(21)と、
同じくベース部材(10)の前記圧力センサチップ(21)の周囲に、同圧力センサチップ(21)のダイアフラム(23)と面一となるように、かつ、前記複数のパッド(25a,25b,25c,25d)と同一の数だけそれぞれ一部が埋設されて、それら各パッド(25a,25b,25c,25d)との外部接続を図る複数の外部接続端子(12a,12b,12c,12d)と、
熱可塑性樹脂製シート(31)からなって、前記圧力センサチップ(21)の各パッド(25a,25b,25c,25d)および前記外部接続端子(12a,12b,12c,12d)の各々とを電気的に接続すべくパターニングした複数の配線(32a,32b,32c,32d)を封止するとともに、前記圧力センサチップ(21)の前記ダイアフラム(23)に対向する部位に貫通孔(33)を有した配線基板(30)と、
を備え、
前記配線基板(30)である熱可塑性樹脂製シート(31)を前記圧力センサチップ(21)および前記外部接続端子(12a,12b,12c,12d)の前記ベース部材(10)に埋設された部分に熱圧着するとともに、前記配線基板(30)の各配線(32a,32b,32c,32d)と前記圧力センサチップ(21)の各パッド(25a,25b,25c,25d)および前記外部接続端子(12a,12b,12c,12d)の前記ベース部材(10)に埋設された部分の各々とを接合し、かつ、これら各接合部を前記熱可塑性樹脂製シート(31)で封止した状態で前記ダイアフラム(23)が前記熱可塑性樹脂製シート(30)の貫通孔(33)を介して圧力検出対象の流体であるエンジンの排気ガスに曝されることを特徴とする圧力センサ。 - 四角板状をなす前記圧力センサチップ(21)の中央部に前記ダイアフラム(23)を形成するとともに、前記パッド(25a,25b,25c,25d)を前記圧力センサチップ(21)における少なくとも対角での角部に配置したことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記パッド(25a,25b,25c,25d)を、四角板状をなす前記圧力センサチップ(21)における四隅に配置したことを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
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