JP4212887B2

JP4212887B2 - Multilayer circuit board manufacturing method

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Publication number: JP4212887B2
Application number: JP2002375231A
Authority: JP
Inventors: 真志都外川; 修一山口
Original assignee: Denso Corp; Microjet Corp
Current assignee: Denso Corp; Microjet Corp
Priority date: 2002-12-25
Filing date: 2002-12-25
Publication date: 2009-01-21
Anticipated expiration: 2022-12-25
Also published as: JP2004207510A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットによる回路パターンが形成されてなる多層回路基板の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
回路パターンが形成された複数枚の樹脂フィルムを積層してなる多層回路基板およびその製造方法が、例えば、特開２０００−３８４６４号公報（特許文献１）に開示されている。
【０００３】
特許文献１に開示された多層回路基板の製造方法によれば、銅箔からなる回路パターンが形成された熱可塑性樹脂からなる複数枚の樹脂フィルムを用いて、これらを積層した後、所定の温度と圧力で加熱しつつ加圧する。これにより、隣接する樹脂フィルムが融着して一体化されると共に、樹脂フィルム中の孔内に充填された導電ペーストが焼結して、各層の回路パターン同士が電気的に接続される。
【０００４】
一方、インクジェットによる電子デバイスおよびその製造方法が、特開平１１−２７４６８１号公報（特許文献２）に開示されている。
【０００５】
特許文献２に開示された電子デバイスおよびその製造方法によれば、基板上に無機酸化物の多孔質体からなる吸着層を形成し、電極や絶縁膜の形成材料を溶媒中に分散させたインクをこの吸着層上に吐出する。これにより、インクの溶媒が吸着層中に拡散し、基板の目的とする位置に均質に素子パターンを形成している。
【０００６】
【特許文献１】
特開２０００−３８４６４号公報
【０００７】
【特許文献２】
特開平１１−２７４６８１号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１に開示された多層回路基板の製造方法によれば、加熱・加圧により、積層した複数枚の樹脂フィルムが一括して接着され、また同時に導電ペーストが焼結して配線回路が形成されるため、多層化工程は短くて済む。一方、特許文献１の多層回路基板においては、厚い銅箔をフィルムに貼り付けた後、全面にレジストを塗布して露光してエッチングするという非常に多くの工程を必要とする。
【０００９】
この問題を解決するために、本発明者らは、厚い銅箔から回路パターンを形成するのでなく、インクジェットによる回路パターンの形成を用いた多層回路基板の製造方法およびそれにより製造される多層回路基板を発明した。これによれば、多層回路基板の製造工程における回路パターンの形成工程が簡略化されるとともに、回路パターンの微細化を促進することができる。この発明については、すでに特許出願済み（出願番号２００２−３１１６５０）である。
【００１０】
インクジェットによる回路パターン形成は、インクを液滴状態で吐出し、基板表面に着弾させて回路パターンを形成する方法である。このインクジェットを用いて多層回路基板の回路パターンの精度を向上し、微細化をさらに促進するためには、インク液滴の着弾した際の衝撃による広がりと、基板の表面状態に起因した滲みによる広がりを防止する必要がある。また、隣接するインク液滴同士が結合して、大きな液滴になることによっても、回路パターンの寸法精度が悪化する。
【００１１】
一方、特許文献２に開示された電子デバイスおよびその製造方法によれば、基板上に形成された吸着層により、インクの溶媒が吸着層中に拡散し、基板の目的とする位置に均質に電子デバイスが形成される。しかしながら、特許文献２の発明は多層回路基板を目的としたものではないため、一般的には、吸着層が形成された基板をそのまま多層化した場合には、吸着層で剥がれが発生することが懸念される。
【００１２】
そこで本発明の目的は、インクジェットによる回路パターン形成時のインク液滴の広がりや結合を防止し、微細で高精度な回路パターンが形成され、剥がれの発生が抑制された多層回路基板の製造方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、インクジェットによる回路パターンが形成された熱可塑性樹脂からなる複数枚の樹脂フィルムが積層されてなる多層回路基板の製造方法において、樹脂フィルム上に、インクの溶媒を吸収する吸収層を、回路パターンが形成される位置を含んで、部分的に形成する吸収層形成工程と、前記吸収層が形成された樹脂フィルムに、貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、前記貫通孔に、導電ペーストを充填する導電ペースト充填工程と、インクジェット装置により、粒径がナノメータオーダの回路素材からなる顔料を含むインクを前記吸収層上に吐出し、前記貫通孔の形成位置を含んで、吸収層の表面に当該インクによる回路パターンを形成するインクパターン形成工程と、前記導電ペーストが貫通孔に充填され、前記インクパターンが吸収層上に形成された複数枚の樹脂フィルムを積層する積層工程と、前記積層された樹脂フィルムを、熱プレス板により加熱・加圧して、樹脂フィルムを相互に貼り合わせると共に、前記導電ペーストとインクパターンを焼結する加熱加圧工程とを有することを特徴としている。
【００１４】
この多層回路基板の製造方法を用いて、以下に示す微細で高精度な回路パターンが形成され、剥がれの発生が抑制された多層回路基板を製造することができる。また、この多層回路基板の製造方法においては、加熱・加圧により、樹脂フィルムが一括して接着され、同時に導電ペーストとインクパターンとが焼結して配線回路が形成されるため、以下に示す多層回路基板の製造コストを低減することができる。
すなわち、上記多層回路基板の製造方法によって製造される多層回路基板は、樹脂フィルム上に積層された吸収層がインクの溶媒をすばやく吸収することにより、樹脂フィルムの表面状態に起因したインク液滴の滲みによる広がりを、防止することができる。また、インク液滴の着弾後、インクの溶媒は直ちに吸収層に吸収されるため、インク液滴が隣接して着弾しても、インク液滴同士が結合して回路パターンの寸法精度が悪化することがない。このようにして上記多層回路基板の製造方法によって製造される多層回路基板は、インクジェットによる回路パターン形成時のインク液滴の広がりや結合を防止し、微細で高精度な回路パターンが形成された多層回路基板とすることができる。
【００１５】
また、上記多層回路基板の製造方法においては、吸収層が樹脂フィルム上に部分的に形成されるため、樹脂フィルムの表面には吸収層が形成されない領域が存在する。従って、上記多層回路基板の製造方法によりこのような樹脂フィルムが積層されてなる多層回路基板においては、中間に吸収層を介することなく、熱可塑性樹脂からなる樹脂フィルム同士が直接貼り合わされる領域が存在する。これによって、上記多層回路基板の製造方法によって製造される多層回路基板は、樹脂フィルム同士の貼り合わせ強度が増大し、剥がれ発生が抑制された多層回路基板とすることができる。
【００１６】
請求項２に記載の発明は、上記多層回路基板の製造方法において、前記顔料が、粒径が５０ｎｍ以下の金属粒子であることを特徴としている。
【００１７】
粒径が５０ｎｍ以下の金属粒子は、低い温度で焼結させることができる。このため、当該製造方法においては、インクジェットによって形成された金属粒子からなるパターンの焼結を、樹脂フィルム同士の貼り合わせおよび導電ペーストの焼結と同時に行なうことができる。従って、製造工程が簡略化され、安価な多層回路基板とすることができる。
【００１８】
請求項３に記載の発明は、上記多層回路基板の製造方法において、前記顔料が、粒径が５ｎｍ以上であり、前記吸収層が、酸化アルミニウムもしくは酸化珪素のいずれかからなる微粒子を分散した微粒子層であり、当該微粒子層の空隙が５ｎｍ以下であることを特徴としている。
【００１９】
酸化アルミニウムもしくは酸化珪素は、粒径がナノメータオーダの微粒子とすることができ、このナノメータオーダの微粒子を分散した微粒子層においては、空隙を５ｎｍ以下にすることができる。このような微粒子層を吸収層とし、インクの顔料の粒径を５ｎｍ以上とすることにより、吸収層に着弾したインク液滴に含まれる顔料が、溶媒と共に吸収層の内部まで侵入していくことがなくなる。言い換えれば、インクの溶媒のみが吸収層に吸収され、顔料は吸収層の表面に残存する。これにより、当該製造方法においては、顔料が吸収層の内部に侵入して回路パターンの欠損が発生したり、短絡不良が発生するのを防止することができる。
請求項４に記載の発明は、前記吸収層が、インクジェット装置により前記微粒子からなる顔料を含むインクを、樹脂フィルム上に吐出して形成されることを特徴としている。
これにより、インクパターンの形成と同様のインクジェット装置を用いて、吸収層を樹脂フィルム上に部分的に形成することができる。従って、同様の装置を用いることで製造コストを低減することができる。
【００２０】
請求項５に記載の発明は、上記多層回路基板の製造方法において、前記吸収層が、膨潤性を有するウレタン樹脂もしくはアクリル樹脂のいずれかからなる膨潤層であることを特徴としている。
【００２１】
ウレタン樹脂もしくはアクリル樹脂は、一般的なインクの溶媒に対して耐性と膨潤性を有し、熱処理に対する耐熱性も有している。このウレタン樹脂もしくはアクリル樹脂を用いて吸収層を形成すれば、インクの溶媒に対する膨潤性により、吸収層に着弾したインク液滴に含まれる溶媒のみを膨潤層に吸収させ、インクの顔料は吸収層の表面に残存させることができる。これにより、当該製造方法においては、顔料が吸収層の内部に侵入して回路パターンの欠損が発生したり、短絡不良が発生するのを防止することができる。
請求項６に記載の発明は、前記吸収層が、インクジェット装置により前記膨潤層の樹脂からなる染料を含むインクを、樹脂フィルム上に吐出して形成されることを特徴としている。
これにより、回路パターンの形成と同様のインクジェット装置を用いて、吸収層を樹脂フィルム上に部分的に形成することができる。従って、同様の装置を用いることで製造コストを低減することができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の多層回路基板およびその製造方法を、図に基づいて説明する。
【００３２】
図１は、本発明の多層回路基板１００の断面図である。
【００３３】
図１の多層回路基板１００において、符号１は絶縁母材で、熱可塑性樹脂である液晶ポリマー（ＬＣＰ）からなる４枚の樹脂フィルムが相互に貼り合わされたものである。樹脂フィルムの材料は、ＬＣＰ以外に、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン／ポリエーテルイミド混合物、ポリフェニレンサルファイド等の熱可塑性樹脂であってもよい。尚、貼り合わされる樹脂フィルムの一枚の厚さは、１〜１０００μｍである。
【００３４】
図１の多層回路基板１００において、符号２は、インクジェットによって形成され、粒径がナノメータオーダの回路素材からなるインクの顔料が焼結された回路パターンである。図１に示す回路パターン２は、粒径がナノメータオーダの金属粒子が焼結されたの配線パターンである。ナノメータオーダの金属粒子としては、例えば銀（Ａｇ）が用いられ、後述する多層回路基板１００の製造方法において、加熱加圧による焼結をできるだけ低温化するため、粒径は５０ｎｍ以下が好ましい。
【００３５】
図１の多層回路基板１００において、符号３は、貼り合わせ前の各樹脂フィルム上に積層形成された吸収層であり、各樹脂フィルムにおいて、インクジェットによる回路パターン形成時にインクの溶媒を吸収するための層である。吸収層３としては、無機材料である酸化アルミニウムもしくは酸化珪素のいずれかからなる微粒子を分散した微粒子層を用いることができる。微粒子層からなる吸収層３においては、インクの顔料が吸収層の内部に侵入するのを防止するため、例えばインクの顔料の粒径が５ｎｍ以上の場合には、微粒子層の空隙は、顔料の最小粒径の５ｎｍ以下とする必要がある。酸化アルミニウムや酸化珪素は、粒径がナノメータオーダの微粒子とすることができ、粒径１０〜２０ｎｍの微粒子を用いることで、微粒子層の空隙を５ｎｍ以下にすることができる。
【００３６】
吸収層３としては、膨潤性を有するウレタン樹脂もしくはアクリル樹脂のいずれかからなる膨潤層を用いることも可能である。これらの高分子系材料からなる吸収層３においては、微粒子層のように空隙を利用して溶媒を吸収するのではなく、膨潤性を利用してインクの溶媒を吸収する。膨潤性を有する高分子材料は、前記の無機材料からなる微粒子層に較べて、一般的に、溶媒に対する耐性および耐熱性に劣る。これら一般的な膨潤性を有する高分子材料の中で、ウレタン樹脂とアクリル樹脂は、インクに用いられる溶媒に対する耐性および耐熱性に優れた材料である。
【００３７】
図１の多層回路基板１００において、吸収層３は、回路パターン２の周囲にのみ形成されている。吸収層３には上記のように無機材料の微粒子を用いた微粒子層もしくは高分子材料の膨潤層が用いられるが、一般的に、これらの層は熱可塑性樹脂からなる絶縁母材の樹脂フィルム１より強度が低い。従って、樹脂フィルム１の全面に吸収層３を形成した場合には剥がれが発生し易くなり、特に吸収層３に微粒子層を用いる場合には、剥がれの発生が顕著になる。
【００３８】
従って、図１に示す多層回路基板１００のように、吸収層３を回路パターン２の周囲にのみ形成することで、積層される各樹脂フィルム１の表面には、吸収層が形成されない領域が存在する。従って、このような樹脂フィルム１が積層されてなる多層回路基板１００では、中間に吸収層３を介することなく、熱可塑性樹脂からなる樹脂フィルム１同士が直接貼り合わされる領域が存在する。これによって、樹脂フィルム１同士の貼り合わせ強度が増大し、剥がれの発生が抑制される。
【００３９】
尚、吸収層３の厚さは１〜１００μｍであり、インクの溶媒量と吸収層３の吸収性能に応じて、最適な厚さが設定される。
【００４０】
図１の多層回路基板１００において、符号７は、回路パターン２同士を接続する接続導体であり、樹脂フィルムと吸収層を貫通する貫通孔に充填された導電ペーストが焼結されたものである。焼結前の導電ペーストは、銀（Ａｇ）とスズ（Ｓｎ）の金属粒子にバインダ樹脂や有機溶剤を加え、これを混練してペースト化したものである。導電ペーストは、金（Ａｕ）とスズ（Ｓｎ）、または銅（Ｃｕ）とスズ（Ｓｎ）の金属粒子を含んだペーストであってもよい。これらの導電ペーストにはＳｎが混合されているため、比較的低い温度でこれらの導電ペーストを焼結させることができる。
【００４１】
次に、図１の多層回路基板１００の製造方法を説明する。
【００４２】
図２（ａ）〜（ｅ）は、本発明の多層回路基板の製造方法における、樹脂フィルムの準備工程を示す工程別断面図である。
【００４３】
最初に、図２（ａ）に示すように、一方の側に保護フィルム１ｃが貼り付けられた液晶ポリマー（ＬＣＰ）等の熱可塑性樹脂からなる樹脂フィルム１を準備する。
【００４４】
次に、樹脂フィルム１の保護フィルム１ｃと反対側の面に、吸収層３を部分的に形成する。吸収層３は、図２（ｅ）の工程におけるインクパターン２ｉの形成時に効果を発揮する層で、このためインクパターン２ｉの形成位置を含んで、樹脂フィルム１上に部分的に形成する。
【００４５】
吸収層３は、前述のように酸化アルミニウムや酸化珪素といった無機材料の微粒子を用いる場合と、ウレタン樹脂やアクリル樹脂といった高分子材料を用いる場合がある。無機材料微粒子を用いる場合には、これら微粒子を含有するスラリーを形成して、高分子材料を用いる場合には膨潤液を形成して、樹脂フィルム１上に部分的に塗布する。塗布後、乾燥処理してスラリーまたは膨潤液の溶剤を飛散させ、樹脂フィルム１の表面に、代表的には１μｍ程度の吸収層３を形成する。
【００４６】
樹脂フィルム１上に吸収層３を部分的に形成するには、例えば、コーター、ディップ、キャストコート等により樹脂フィルム１の全面に吸収層３を形成した後、吸収層３を所定の形状にパターニングしてもよい。このパターニングは、後に示す図２（ｅ）のインクパターン２ｉの形成後に行なってもよい。また、吸収層３の材料をペースト状にし、スクリーン印刷や転写によって樹脂フィルム１上に部分的に形成してもよい。
【００４７】
次に、図２（ｂ）に示すように、一方の表面に保護フィルム１ｃが貼り付けられ、他方の表面に吸収層３が形成された樹脂フィルム１に、レーザにより貫通孔６を開ける。
【００４８】
次に、図２（ｃ）に示すように、貫通孔６が形成された保護フィルム１ｃ、樹脂フィルム１および吸収層３に対して、吸収層３上に保護フィルム３ｃを貼り付けて、貫通孔６に蓋をする。その後、ペースト充填装置を用いて、蓋された貫通孔６内に導電ペースト７ｐをスキージにより押し込み充填する。
【００４９】
次に、図２（ｄ）に示すように、両側に貼り付けてあった保護フィルム１ｃ，３ｃを剥がす。これにより、表面に吸収層３が形成され、貫通孔６に導電ペースト７ｐが充填された樹脂フィルム１が得られる。
【００５０】
次に、図２（ｅ）に示すようにインクパターン２ｉを形成する。このインクパターン２ｉの形成について、図３（ａ），（ｂ）を用いて詳細に説明する。
【００５１】
図３（ａ）は、図２（ｅ）のインクパターン２ｉの形成に用いるインクの模式図である。図３（ａ）のインク２０は、粒径がナノメータオーダの回路素材からなるインクの顔料２１を、溶媒２４中に独立分散させたものである。ナノメータオーダの顔料２１の表面は湿式処理によって分散剤２２によって被覆されており、これによって顔料２１の凝集が防止されている。また、溶媒２４中には、後工程の顔料２１の焼結時に分散剤２２を捕捉する捕捉剤２３が混合されている。
【００５２】
ナノメータオーダの顔料２１としては、例えば銀（Ａｇ）が用いられ、後工程の加熱加圧による焼結をできるだけ低温化するため、粒径は５０ｎｍ以下が好ましい。
【００５３】
また、分散剤２２としては、窒素、酸素またはイオウ原子の孤立電子対を持つ基を有し、顔料２１と配位的な結合をする材料が利用できる。例えば、窒素原子の孤立電子対を持つ基としては、アミノ基を有するＣ８〜Ｃ１８のアルキルアミンがある。イオウ原子の孤立電子対を持つ基としては、スルファニル基（−ＳＨ−）を有するＣ８〜Ｃ１８のアルカンチオールがある。また、酸素原子の孤立電子対を持つ基としては、ヒドロキシ基を有するエチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール等のアルカンジオールがある。
【００５４】
次に、捕捉剤２３としては、加熱した際、分散剤２２が有する窒素、酸素、またはイオウ原子を含む基と反応し、分散剤２２による被覆層を除去することができる材料が用いられる。具体的には、有機の酸無水物もしくはその誘導体、または有機酸を用いることができ、例えば、酸無水物もしくはその誘導体は、加熱に伴い分散剤２２であるアミン化合物やチオール化合物と反応して、エステルやチオエステルを形成する。これによって顔料２１を覆っていた分散剤２２が、顔料２１の表面から除去される。
【００５５】
図３（ｂ）は、インクジェット装置３０によるインクパターン２ｉの形成の様子を示す模式図である。尚、図３（ｂ）の吸収層３が形成された樹脂フィルム１においては、図２（ｅ）に示す貫通孔６と導電ペースト７ｐは図示を省略してある。
【００５６】
インクジェット装置３０は、電圧をかけると変形するピエゾ素子３３を用い、インク２０が貯められた圧力室３１の壁３２を図中の矢印のように撓ませることで、インク２０を微小液滴で吐出する装置である。吐出されたインク２０の液滴容積は１滴あたり数ｐｌ（ピコリットル）で、インク液滴が安定して飛翔するために、インク２０の粘度は数ｍＰａ・ｓに調整される。図３（ｂ）に示すインクジェット装置３０は、圧力室３１側もしくは樹脂フィルム１側をＸ−Ｙ駆動しながらインク２０を吐出して、樹脂フィルム１の吸収層３上に、回路に対応したインクパターン２ｉを直接描画する。
【００５７】
ピエゾ素子を用い液滴を吐出させるインクジェット方式としては、図３（ｂ）に示す方式以外に、図４（ａ），（ｂ）に示す方式もある。
【００５８】
図４（ａ）のインクジェット装置３０ｒの方式は、圧力室の壁自身をピエゾ素子３３ｒで形成し、図のようにピエゾ素子３３ｒを“ずり”モード変形させて、液滴（図示を省略）を紙面に垂直な方向へ吐出する方式である。図４（ａ）は、インク２０ａ〜２０ｅが５つの圧力室に分けて入れられており、インク２０ｂと２０ｄが吐出される状態を示す。図４（ｂ）のインクジェット装置３０ｓの方式は、積層ピエゾ素子３３ｓを用いて図中の矢印のように変形させて、インク２０を吐出する方式である。
【００５９】
また、上記のようなピエゾ素子を用いる方式ではなく、圧力室内にヒータを形成し、そのヒータに電流を流すことにより発生する“膜沸騰現象”を利用したバブルジェット（登録商標）方式またはサーマルジェット方式等もある。図３（ｂ）のインクパターン２ｉの形成には、上記以外の吐出方式も含め、機械的変形または沸騰現象を利用した、全ての吐出方式のインクジェット装置を適用することができる。
【００６０】
図３（ｂ）において、吐出された１滴が数ピコリットルのインク液滴は、吸収層３の表面に着弾すると、３０μｍ程度のドットとなる。樹脂フィルム１上に積層された吸収層３は、インク液滴の着弾直後、インクの溶媒２４をすばやく吸収する。これにより、樹脂フィルム１の表面状態に起因したインク液滴の滲みによる広がりが防止される。また、溶媒２４が着弾後にすばやく吸収されるため、インク液滴が隣接して着弾しても、インク液滴同士が結合してインクパターン２ｉの寸法精度が劣化することもない。
【００６１】
また、吸収層３は、前記のように酸化アルミニウムや酸化珪素といった無機材料の微粒子を用いる場合と、ウレタン樹脂やアクリル樹脂といった高分子材料を用いる場合がある。酸化アルミニウムや酸化珪素は、粒径がナノメータオーダの微粒子とすることができ、このナノメータオーダの微粒子を分散した微粒子層においては、空隙を５ｎｍ以下にすることができる。このような微粒子層を吸収層３とし、かつインクの顔料２１の粒径を５ｎｍ以上とすることで、吸収層３に着弾したインク液滴に含まれる顔料２１が、溶媒２４と共に吸収層３の内部まで侵入していくことがなくなる。言い換えれば、溶媒２４のみが吸収層３に浸透し、顔料２１は吸収層３の表面に残存する。また、吸収層３としてウレタン樹脂やアクリル樹脂を用いる場合には、溶媒２４に対する膨潤性により、着弾したインク液滴に含まれる溶媒２４を吸収層３に浸透させるので、顔料２１は吸収層３の表面にそのまま残存する。従って、どちらの場合にも、吸収層内部への顔料２１の侵入によるインクパターン２ｉの欠損や、短絡不良の発生が防止される。
【００６２】
このように、描画されたインクパターン２ｉは、インク液滴の広がりや結合が防止され、また欠損や短絡不良のない微細で高精度なインクパターン２ｉとすることができる。
【００６３】
尚、図２（ａ）では吸収層３を樹脂フィルム１上に部分的に塗布する方法として印刷や転写を例に上げたが、吸収層３が無機材料微粒子層もしくは高分子材料膨潤層のいずれの場合においても、上記と同様のインクジェットによる方法を用いることができる。吸収層３が微粒子層の場合には、酸化アルミニウムまたは酸化珪素の微粒子を顔料として含むインクを用いて、図３（ｂ）と同様のインクジェット装置３０により樹脂フィルム１上に吐出形成する。吸収層３が膨潤層の場合も同様に、ウレタン樹脂やアクリル樹脂を染料として含むインクを用いて、インクジェット装置３０により樹脂フィルム１上に吐出形成する。このように、回路パターンの形成と同様のインクジェット装置３０を用いることで、製造コストを低減することができる。
【００６４】
以上のようにして、図２（ｅ）に示す貫通孔６に導電ペースト７ｐが充填され、吸収層３上にインクパターン２ｉが形成された樹脂フィルム１１が完成する。尚、インクパターン２ｉが形成された樹脂フィルム１１は、乾燥処理をして、吸収層３に浸透した溶媒２４を揮発させる。また、樹脂フィルム１１を例えば１５０℃で３０分間加熱して、インクパターン２ｉと導電ペースト７ｐを仮焼結させておくと、次に示す後工程での取り扱いが容易になる。
【００６５】
次に、以上のようにして準備した導電ペーストとインクパターンを有する樹脂フィルムを複数枚積層し、加熱・加圧してそれら貼り合わせることにより、多層回路基板を製造する。
【００６６】
図５（ａ），（ｂ）は、本発明の多層回路基板の製造方法における、樹脂フィルムの貼り合わせの様子を示す工程別断面図である。
【００６７】
最初に、図５（ａ）に示すように、図２（ａ）〜（ｅ）の工程で準備した樹脂フィルム１２〜１５を積層して、付着防止フィルム５１、緩衝材５２、金属板５３を介して、ヒータ５５が埋設された一対の熱プレス板５４の間に挿入する。付着防止フィルム５１は、加熱・加圧時の樹脂フィルム１が周りの部材へ付着したり、吸収層３が形成された樹脂フィルム１とインクパターン２ｉに傷がついたりするのを防止するもので、例えばポリイミドフィルム等が用いられる。緩衝材５２は、樹脂フィルム１２〜１３を均等に加圧するためのもので、例えばステンレス等の金属を繊維状に裁断し、その繊維状金属を厚さ約１ｍｍの板状に成型したものが用いられる。金属板５３は、熱プレス板５４に傷が入るのを防止するためのもので、例えばステンレス（ＳＵＳ）やチタン（Ｔｉ）の厚さ約２ｍｍの板が用いられる。
【００６８】
次に図５（ｂ）に示すように、最初にヒータ５５を発熱し、圧力を印加しない状態で全体を１５０℃以下で５分間加熱する。次に、図示しないプレス機により熱プレス板５４を介して、積層体に２０ｋｇ／ｃｍ^２の圧力を印加する。次に、全体の温度を２００〜２５０℃に設定し、１０〜３０分間、加熱・加圧する。加熱・加圧は大気中で行なってもよいが、インクパターン２ｉや導電ペースト７ｐ中に含まれる金属粒子の酸化を抑制するため、好ましくは真空中で行なうのがよい。
【００６９】
以上の加熱・加圧により、樹脂フィルム１２〜１５の熱可塑性樹脂１が互いに接着する。尚、図５（ａ）に示すように、吸収層３はインクパターン２ｉの形成位置を含んで、各樹脂フィルム１２〜１５に部分的に形成されるため、積層される各樹脂フィルム１２〜１５の表面には、吸収層３が形成されない領域が存在する。従って、このような領域では、中間に吸収層３を介することなく、熱可塑性樹脂からなる樹脂フィルム１同士が直接貼り合わされる。これによって、樹脂フィルム１同士の貼り合わせ強度が増大し、図５（ｂ）および図１に示す多層回路基板１００の剥がれの発生が抑制される。
【００７０】
また、加熱・加圧による樹脂フィルム１２〜１５の接着と同時に、インクパターン２ｉに含まれるナノメータオーダの顔料と導電ペースト７ｐ中に含まれる金属粒子が焼結する。このインクパターン２ｉに含まれる金属粒子の焼結過程について、図６（ａ），（ｂ）を用いて詳細に説明する。
【００７１】
図６（ａ）は、焼結開始前のインクパターン２ｉに含まれるインクの顔料の模式図である。この焼結過程においては、加熱により図６（ａ）に示すように分散剤２２が捕捉剤２３に捕捉され、顔料２１の表面から分散剤２２が除去されて、顔料２１の活性な表面が露出する。
【００７２】
図６（ｂ）は、焼結開始後のインクパターン２ｉに含まれるインクの顔料の模式図である。分散剤２２が除去されてナノメータオーダの顔料２１の活性な表面が露出すると、図６（ｂ）に示すように、互いの顔料２１の表面同士が接触して、界面での物質移動すなわち焼結が起こり、回路素材からなるインクの顔料が焼結されてなる膜２１ｆが形成される。例えば、顔料２１として粒径が５０ｎｍ以下のＡｇ粒子を用いる場合には、２００℃程度でＡｇ粒子が焼結し、Ａｇ膜２１ｆが形成されて図５（ｂ）に示す回路パターン２となる。
【００７３】
このように、粒径が５０ｎｍ以下の金属粒子は、低い温度で焼結させることができる。このため、インクジェットによって形成された金属粒子からなるインクパターン２ｉの焼結を、樹脂フィルム１同士の貼り合わせおよび導電ペースト７ｐの焼結と同時に行なうことができる。従って、これにより製造工程が簡略化され、製造コストを低減することができる。
【００７４】
以上のようにして、図５（ｂ）に示すように、図５（ａ）の樹脂フィルム１２〜１５の各熱可塑性樹脂１が接着して一体化して絶縁材１となり、図５（ａ）の各インクパターン２ｉが焼結して回路パターン２が形成され、導電ペースト７ｐが焼結して接続導体７が形成される。
【００７５】
このようにして、図１に示す微細で高精度な回路パターン２が形成され、剥がれの発生が抑制された多層回路基板１００が製造される。上記した多層回路基板１００の製造方法においては、加熱・加圧により、樹脂フィルム１２〜１５が一括して接着され、同時に導電ペースト７ｐとインクパターン２ｉが焼結して配線回路が形成される。このような同時形成により製造工程が簡略化されるため、多層回路基板１００の製造コストを低減することができる。
【００７６】
（他の実施形態）
図３（ａ）では、ナノメータオーダの顔料２１として銀（Ａｇ）を用いる例を示した。これによれば、図１に示す多層回路基板１００においては、Ａｇからなる回路パターン２が形成される。インク２０に含まれるナノメータオーダの顔料２１としては、Ａｇに限らず、例えば金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、スズ（Ｓｎ）の金属粒子を用いることができる。
【００７７】
また、インク２０に含まれる顔料２１は、単一組成の金属粒子には限られない。インク２０に含まれる顔料２１の組成を変更して、例えば５０ｎｍ以下のＡｇ粒子と５０ｎｍ以下のパラジウム（Ｐｄ）粒子の混合組成を用いれば、前記と同様の加熱・加圧による焼結時にＡｇとＰｄが合金化して、抵抗膜を形成することができる。従って、例えば、Ａｇ粒子のみのインクで形成したインクパターンに連結して、Ａｇ粒子とＰｄ粒子を含むインクでインクパターンを形成すれば、前記と同様の製造方法を用いて、抵抗素子パターンを含む回路パターンを有した多層回路基板を製造することができる。また、多層回路基板に形成される回路パターンは、ナノメータオーダの誘電材料粒子を顔料とする容量素子であってもよい。
【００７８】
このように、金属や誘電体の回路素材からなる粒径がナノメータオーダの微粒子を顔料として用い、インクジェットにより配線パターン、抵抗素子および容量素子といった各種の回路パターンを形成することができる。
【００７９】
図５（ａ），（ｂ）では、図２（ａ）〜（ｅ）の工程で準備した，吸収層３上にインクパターン２ｉが形成された樹脂フィルム１２〜１５を積層して、多層回路基板１００を形成する例を示した。積層される樹脂フィルムは、全てが図２（ａ）〜（ｅ）の工程による、吸収層３上にインクパターン２ｉが形成された樹脂フィルムでなくともよい。例えば、従来の銅箔による回路パターンを形成した樹脂フィルムに、図２（ａ）〜（ｅ）の工程で準備した吸収層３上にインクパターン２ｉが形成された樹脂フィルムを必要個所だけ積層し、多層回路基板を形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の多層回路基板の断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｅ）は、本発明の多層回路基板の製造方法における、樹脂フィルムの準備工程を示す工程別断面図である。
【図３】（ａ）は、インクパターンの形成に用いるインクの模式図であり、（ｂ）は、インクジェット装置によるインクパターンの形成の様子を示す模式図である。
【図４】（ａ），（ｂ）は、ピエゾ素子を用いた他の吐出方式のインクジェット装置を説明する図である。
【図５】（ａ），（ｂ）は、本発明の多層回路基板の製造方法における、樹脂フィルムの貼り合わせの様子を示す工程別断面図である。
【図６】（ａ）は、焼結開始前のインクパターンに含まれるインクの顔料の模式図であり、（ｂ）は、焼結開始後のインクパターンに含まれるインクの顔料の模式図である。
【符号の説明】
１００多層回路基板
１絶縁母材（樹脂フィルム）
２回路パターン
２ｉインクパターン
３吸収層
６貫通孔
７接続導体
７ｐ導電ペースト
１１〜１５吸収層上にインクパターンが形成された樹脂フィルム
２０，２０ａ〜２０ｅインク
２１ナノメータオーダのインクの顔料
２２分散剤
２３捕捉剤
２４溶媒
３０，３０ｒ，３０ｓインクジェット装置[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
  The present invention relates to a multilayer circuit board formed with an ink-jet circuit pattern.ofIt relates to a manufacturing method.
[0002]
[Prior art]
A multilayer circuit board formed by laminating a plurality of resin films on which a circuit pattern is formed and a method for manufacturing the same are disclosed in, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-38464 (Patent Document 1).
[0003]
According to the method for manufacturing a multilayer circuit board disclosed in Patent Document 1, after laminating a plurality of resin films made of a thermoplastic resin on which a circuit pattern made of copper foil is formed, a predetermined temperature is obtained. And pressurizing while heating at pressure. As a result, the adjacent resin films are fused and integrated, and the conductive paste filled in the holes in the resin film is sintered to electrically connect the circuit patterns of the respective layers.
[0004]
On the other hand, an electronic device using ink jet and a method for manufacturing the same are disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 11-274681 (Patent Document 2).
[0005]
According to the electronic device disclosed in Patent Document 2 and the method for manufacturing the same, an ink in which an adsorption layer made of a porous body of an inorganic oxide is formed on a substrate and materials for forming electrodes and insulating films are dispersed in a solvent. Is discharged onto the adsorption layer. Thereby, the solvent of the ink diffuses into the adsorption layer, and an element pattern is uniformly formed at a target position on the substrate.
[0006]
[Patent Document 1]
JP 2000-38464 A
[0007]
[Patent Document 2]
JP-A-11-274681
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
According to the method for manufacturing a multilayer circuit board disclosed in Patent Document 1, a plurality of laminated resin films are bonded together by heating and pressing, and at the same time, a conductive paste is sintered to form a wiring circuit. Therefore, the multi-layering process can be short. On the other hand, in the multilayer circuit board of Patent Document 1, a very large number of processes are required in which a thick copper foil is attached to a film, and then a resist is applied to the entire surface, exposed, and etched.
[0009]
In order to solve this problem, the inventors have not formed a circuit pattern from a thick copper foil, but a method of manufacturing a multilayer circuit board using the formation of a circuit pattern by inkjet, and the multilayer circuit board manufactured thereby Was invented. According to this, the circuit pattern forming process in the manufacturing process of the multilayer circuit board is simplified, and the miniaturization of the circuit pattern can be promoted. A patent application has already been filed for this invention (application number 2002-31650).
[0010]
Circuit pattern formation by inkjet is a method of forming a circuit pattern by ejecting ink in the form of droplets and landing on the substrate surface. In order to improve the accuracy of the circuit pattern of the multilayer circuit board by using this ink jet and further promote the miniaturization, the spread due to the impact when the ink droplets land and the spread due to the bleeding due to the surface state of the substrate Need to prevent. Further, the dimensional accuracy of the circuit pattern also deteriorates when adjacent ink droplets are combined to form a large droplet.
[0011]
On the other hand, according to the electronic device and the manufacturing method thereof disclosed in Patent Document 2, the ink layer is diffused into the adsorption layer by the adsorption layer formed on the substrate, and the electrons are uniformly distributed at the target position of the substrate. A device is formed. However, since the invention of Patent Document 2 is not intended for a multilayer circuit board, generally, if a substrate on which an adsorption layer is formed is multilayered as it is, peeling may occur in the adsorption layer. Concerned.
[0012]
  SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a multilayer circuit board in which ink droplets are prevented from spreading and bonding when forming a circuit pattern by inkjet, a fine and highly accurate circuit pattern is formed, and the occurrence of peeling is suppressed.ofIt is to provide a manufacturing method.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
  The invention according to claim 1 is a multilayer circuit board formed by laminating a plurality of resin films made of a thermoplastic resin on which an ink-jet circuit pattern is formed.In the manufacturing method, an absorption layer forming step of partially forming an absorption layer that absorbs an ink solvent on a resin film, including a position where a circuit pattern is formed, and a resin in which the absorption layer is formed Through the film, a through-hole forming step for forming a through-hole, a conductive paste filling step for filling the through-hole with a conductive paste, and an ink containing a pigment made of a circuit material having a particle size of the order of nanometers by an inkjet device An ink pattern forming step of forming a circuit pattern with the ink on the surface of the absorption layer including the position where the through hole is formed, and discharging the ink onto the absorption layer; and filling the through hole with the conductive paste; A laminating step of laminating a plurality of resin films formed on the absorbent layer, and heating and pressurizing the laminated resin films with a hot press plate Bonded together to the resin film to each other, heating and pressurizing step of sintering the conductive paste and the ink patternIt is characterized by having.
[0014]
  Using this method for manufacturing a multilayer circuit board, a multilayer circuit board in which a fine and highly accurate circuit pattern shown below is formed and the occurrence of peeling can be suppressed can be manufactured. Further, in this method of manufacturing a multilayer circuit board, resin films are bonded together by heating and pressing, and at the same time, the conductive paste and the ink pattern are sintered to form a wiring circuit. The manufacturing cost of the multilayer circuit board can be reduced.
That is, the multilayer circuit board manufactured by the manufacturing method of the multilayer circuit board isSince the absorption layer laminated on the resin film absorbs the ink solvent quickly, it is possible to prevent the ink droplet from spreading due to the surface state of the resin film. In addition, after the ink droplets have landed, the ink solvent is immediately absorbed by the absorption layer, so that even if the ink droplets land adjacently, the ink droplets are combined to deteriorate the dimensional accuracy of the circuit pattern. There is nothing. In this wayManufactured by the above-mentioned multilayer circuit board manufacturing methodThe multilayer circuit board can be a multilayer circuit board on which a fine and highly accurate circuit pattern is formed by preventing ink droplets from spreading and bonding when forming a circuit pattern by inkjet.
[0015]
  Also,In the manufacturing method of the multilayer circuit board,Since the absorption layer is partially formed on the resin film, there is a region where the absorption layer is not formed on the surface of the resin film.Therefore, according to the manufacturing method of the multilayer circuit boardIn a multilayer circuit board in which such resin films are laminated, there is a region where resin films made of a thermoplastic resin are directly bonded to each other without interposing an absorption layer therebetween. by this,The multilayer circuit board manufactured by the manufacturing method of the multilayer circuit board,The bonding strength between the resin films is increased, and a multilayer circuit board in which the occurrence of peeling is suppressed can be obtained.
[0016]
  The invention described in claim 2In the method for manufacturing the multilayer circuit board,The pigment is a metal particle having a particle size of 50 nm or less.
[0017]
  Metal particles having a particle size of 50 nm or less can be sintered at a low temperature. For this reason,In the manufacturing method,Sintering of the pattern which consists of the metal particle formed by the inkjet can be performed simultaneously with bonding of resin films and sintering of a conductive paste. Therefore, the manufacturing process is simplified and an inexpensive multilayer circuit board can be obtained.
[0018]
  The invention according to claim 3In the method for manufacturing the multilayer circuit board,The pigmentBut,The particle size is 5 nm or more, the absorption layer is a fine particle layer in which fine particles made of either aluminum oxide or silicon oxide are dispersed, and the voids of the fine particle layer are 5 nm or less.
[0019]
  Aluminum oxide or silicon oxide can be made into fine particles having a particle size on the order of nanometers, and the voids can be made 5 nm or less in the fine particle layer in which the fine particles of nanometer order are dispersed. By using such a fine particle layer as an absorption layer and setting the particle size of the ink pigment to 5 nm or more, the pigment contained in the ink droplets that have landed on the absorption layer can penetrate into the absorption layer together with the solvent. Disappears. In other words, only the ink solvent is absorbed by the absorption layer, and the pigment remains on the surface of the absorption layer. ThisIn the manufacturing method,It is possible to prevent the pigment from penetrating into the absorption layer to cause a circuit pattern defect or a short circuit failure.
The invention according to claim 4 is characterized in that the absorption layer is formed by discharging an ink containing a pigment composed of the fine particles onto a resin film by an ink jet apparatus.
Thereby, an absorption layer can be partially formed on a resin film using the same inkjet apparatus as the formation of an ink pattern. Therefore, the manufacturing cost can be reduced by using the same apparatus.
[0020]
  Claim5The invention described inIn the method for manufacturing the multilayer circuit board,The absorption layer is a swelling layer made of either urethane resin or acrylic resin having swelling property.
[0021]
  Urethane resins or acrylic resins have resistance and swelling to general ink solvents and also have heat resistance to heat treatment. If an absorbing layer is formed using this urethane resin or acrylic resin, the swelling layer absorbs only the solvent contained in the ink droplets that have landed on the absorbing layer due to the swelling property of the ink with respect to the solvent, and the ink pigment is the absorbing layer. It can be left on the surface. ThisIn the manufacturing method,It is possible to prevent the pigment from penetrating into the absorption layer to cause a circuit pattern defect or a short circuit failure.
The invention according to claim 6 is characterized in that the absorption layer is formed by ejecting an ink containing a dye made of a resin of the swelling layer onto a resin film by an ink jet apparatus.
Thereby, an absorption layer can be partially formed on a resin film using the same inkjet apparatus as formation of a circuit pattern. Therefore, the manufacturing cost can be reduced by using the same apparatus.
[0031]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a multilayer circuit board and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described with reference to the drawings.
[0032]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer circuit board 100 of the present invention.
[0033]
In the multilayer circuit board 100 of FIG. 1, reference numeral 1 denotes an insulating base material in which four resin films made of a liquid crystal polymer (LCP) which is a thermoplastic resin are bonded to each other. The material of the resin film may be a thermoplastic resin such as polyether ether ketone, polyether ether ketone / polyether imide mixture, polyphenylene sulfide, etc. in addition to LCP. In addition, the thickness of one sheet of the resin film bonded together is 1-1000 micrometers.
[0034]
In the multilayer circuit board 100 of FIG. 1, reference numeral 2 is a circuit pattern formed by inkjet and sintered with an ink pigment made of a circuit material having a particle size on the order of nanometers. A circuit pattern 2 shown in FIG. 1 is a wiring pattern in which metal particles having a particle size of nanometer order are sintered. As the nanometer-order metal particles, for example, silver (Ag) is used. In the method of manufacturing the multilayer circuit board 100 described later, the particle size is preferably 50 nm or less in order to reduce sintering by heating and pressing as much as possible.
[0035]
In the multilayer circuit board 100 of FIG. 1, reference numeral 3 denotes an absorption layer that is laminated on each resin film before bonding, and each resin film absorbs an ink solvent when forming a circuit pattern by inkjet. Is a layer. As the absorption layer 3, a fine particle layer in which fine particles made of aluminum oxide or silicon oxide, which are inorganic materials, are dispersed can be used. In the absorption layer 3 composed of the fine particle layer, in order to prevent the ink pigment from entering the inside of the absorption layer, for example, when the particle size of the ink pigment is 5 nm or more, the voids in the fine particle layer The minimum particle size needs to be 5 nm or less. Aluminum oxide and silicon oxide can be made into fine particles having a particle size on the order of nanometers. By using fine particles having a particle size of 10 to 20 nm, the voids of the fine particle layer can be reduced to 5 nm or less.
[0036]
As the absorption layer 3, a swelling layer made of either urethane resin or acrylic resin having swelling properties can be used. In the absorption layer 3 made of these polymer materials, the solvent of the ink is absorbed by utilizing the swellability instead of absorbing the solvent by using the voids unlike the fine particle layer. The polymer material having swelling property is generally inferior in resistance to solvents and heat resistance as compared with the fine particle layer made of the inorganic material. Among these general swellable polymer materials, urethane resins and acrylic resins are materials excellent in resistance to solvents used in inks and heat resistance.
[0037]
In the multilayer circuit board 100 of FIG. 1, the absorption layer 3 is formed only around the circuit pattern 2. As described above, a fine particle layer using fine particles of an inorganic material or a swollen layer of a polymer material is used for the absorption layer 3. Generally, these layers are a resin film 1 of an insulating base material made of a thermoplastic resin. Less strength. Therefore, when the absorbent layer 3 is formed on the entire surface of the resin film 1, peeling easily occurs. In particular, when a fine particle layer is used for the absorbent layer 3, the occurrence of peeling becomes remarkable.
[0038]
Therefore, by forming the absorption layer 3 only around the circuit pattern 2 as in the multilayer circuit board 100 shown in FIG. 1, there is a region where the absorption layer is not formed on the surface of each laminated resin film 1. To do. Therefore, in the multilayer circuit board 100 in which such resin films 1 are laminated, there is a region where the resin films 1 made of thermoplastic resin are directly bonded to each other without the absorption layer 3 interposed therebetween. Thereby, the bonding strength between the resin films 1 is increased, and the occurrence of peeling is suppressed.
[0039]
The thickness of the absorption layer 3 is 1 to 100 μm, and an optimum thickness is set according to the amount of solvent of the ink and the absorption performance of the absorption layer 3.
[0040]
In the multilayer circuit board 100 of FIG. 1, reference numeral 7 denotes a connection conductor that connects the circuit patterns 2 to each other, and is obtained by sintering a conductive paste filled in a through hole that penetrates a resin film and an absorption layer. The conductive paste before sintering is a paste obtained by adding a binder resin or an organic solvent to silver (Ag) and tin (Sn) metal particles and kneading them. The conductive paste may be a paste containing metal particles of gold (Au) and tin (Sn), or copper (Cu) and tin (Sn). Since Sn is mixed in these conductive pastes, these conductive pastes can be sintered at a relatively low temperature.
[0041]
Next, a method for manufacturing the multilayer circuit board 100 of FIG. 1 will be described.
[0042]
2 (a) to 2 (e) are cross-sectional views showing process steps for preparing a resin film in the method for manufacturing a multilayer circuit board according to the present invention.
[0043]
First, as shown in FIG. 2A, a resin film 1 made of a thermoplastic resin such as a liquid crystal polymer (LCP) having a protective film 1c attached on one side is prepared.
[0044]
Next, the absorption layer 3 is partially formed on the surface of the resin film 1 opposite to the protective film 1c. The absorbing layer 3 is a layer that exhibits an effect when the ink pattern 2i is formed in the step of FIG. 2E. For this reason, the absorbing layer 3 is partially formed on the resin film 1 including the position where the ink pattern 2i is formed.
[0045]
As described above, the absorbing layer 3 may be made of inorganic fine particles such as aluminum oxide or silicon oxide, or may be made of a polymer material such as urethane resin or acrylic resin. When inorganic material fine particles are used, a slurry containing these fine particles is formed, and when a polymer material is used, a swelling liquid is formed and partially applied onto the resin film 1. After the application, a drying treatment is performed to disperse the solvent of the slurry or the swelling liquid, and the absorption layer 3 having a thickness of about 1 μm is typically formed on the surface of the resin film 1.
[0046]
In order to partially form the absorbent layer 3 on the resin film 1, for example, after forming the absorbent layer 3 on the entire surface of the resin film 1 by a coater, dip, cast coat, etc., the absorbent layer 3 is patterned into a predetermined shape. May be. This patterning may be performed after the ink pattern 2i shown in FIG. Alternatively, the material of the absorption layer 3 may be made into a paste and partially formed on the resin film 1 by screen printing or transfer.
[0047]
Next, as shown in FIG.2 (b), the through-hole 6 is opened by the laser in the resin film 1 which the protective film 1c was affixed on one surface, and the absorption layer 3 was formed in the other surface.
[0048]
Next, as shown in FIG. 2 (c), the protective film 3 c is attached on the absorbent layer 3 to the protective film 1 c, the resin film 1, and the absorbent layer 3 in which the through holes 6 are formed. 6 is covered. Thereafter, using a paste filling device, the conductive paste 7p is pushed and filled into the covered through-hole 6 with a squeegee.
[0049]
Next, as shown in FIG.2 (d), the protective films 1c and 3c stuck on both sides are peeled off. Thereby, the resin film 1 in which the absorption layer 3 is formed on the surface and the through-hole 6 is filled with the conductive paste 7p is obtained.
[0050]
Next, an ink pattern 2i is formed as shown in FIG. The formation of the ink pattern 2i will be described in detail with reference to FIGS. 3 (a) and 3 (b).
[0051]
FIG. 3A is a schematic diagram of the ink used for forming the ink pattern 2i of FIG. The ink 20 in FIG. 3A is obtained by independently dispersing an ink pigment 21 made of a circuit material having a particle size on the order of nanometers in a solvent 24. The surface of the nanometer-order pigment 21 is coated with a dispersant 22 by a wet process, whereby aggregation of the pigment 21 is prevented. Further, in the solvent 24, a scavenger 23 that traps the dispersant 22 during the sintering of the pigment 21 in the subsequent step is mixed.
[0052]
As the nanometer-order pigment 21, for example, silver (Ag) is used, and the particle size is preferably 50 nm or less in order to reduce the temperature of sintering by heating and pressurization as much as possible.
[0053]
Further, as the dispersant 22, a material having a group having a lone electron pair of nitrogen, oxygen or sulfur atom and having a coordinate bond with the pigment 21 can be used. For example, as a group having a lone pair of nitrogen atoms, there is a C8 to C18 alkylamine having an amino group. Groups having a lone pair of sulfur atoms include C8-C18 alkanethiols having a sulfanyl group (—SH—). Examples of the group having a lone pair of oxygen atoms include alkanediols such as ethylene glycol, diethylene glycol, and polyethylene glycol having a hydroxy group.
[0054]
Next, as the scavenger 23, a material capable of reacting with a group containing nitrogen, oxygen, or sulfur atoms of the dispersant 22 when heated to remove the coating layer of the dispersant 22 is used. Specifically, an organic acid anhydride or a derivative thereof, or an organic acid can be used. For example, an acid anhydride or a derivative thereof reacts with an amine compound or a thiol compound that is the dispersant 22 with heating. To form esters and thioesters. As a result, the dispersant 22 covering the pigment 21 is removed from the surface of the pigment 21.
[0055]
FIG. 3B is a schematic diagram illustrating how the ink pattern 2 i is formed by the inkjet device 30. In addition, in the resin film 1 in which the absorption layer 3 of FIG.3 (b) was formed, illustration of the through-hole 6 and the electrically conductive paste 7p shown in FIG.2 (e) is abbreviate | omitted.
[0056]
The ink jet device 30 uses a piezo element 33 that is deformed when a voltage is applied, and deflects the wall 32 of the pressure chamber 31 in which the ink 20 is stored as indicated by the arrows in the figure, thereby ejecting the ink 20 as fine droplets. It is a device to do. The droplet volume of the ejected ink 20 is several pl (picoliter) per droplet, and the viscosity of the ink 20 is adjusted to several mPa · s in order for the ink droplet to fly stably. The ink jet device 30 shown in FIG. 3B ejects ink 20 while driving the pressure chamber 31 side or the resin film 1 side in an XY manner, and ink corresponding to a circuit is formed on the absorption layer 3 of the resin film 1. Pattern 2i is drawn directly.
[0057]
In addition to the method shown in FIG. 3B, the ink jet method for ejecting liquid droplets using a piezo element includes the method shown in FIGS. 4A and 4B.
[0058]
In the method of the ink jet device 30r in FIG. 4A, the pressure chamber wall itself is formed by a piezo element 33r, and the piezo element 33r is deformed in a “sliding” mode as shown in the figure to form droplets (not shown). This is a method of discharging in a direction perpendicular to the paper surface. FIG. 4A shows a state where the inks 20a to 20e are divided into five pressure chambers and the inks 20b and 20d are ejected. The ink jet device 30 s shown in FIG. 4B is a method for ejecting the ink 20 by using a laminated piezo element 33 s as shown in the arrow in the figure.
[0059]
In addition to the above-described method using a piezo element, a bubble jet (registered trademark) method or a thermal jet using a “film boiling phenomenon” generated by forming a heater in a pressure chamber and passing a current through the heater. There are also methods. In order to form the ink pattern 2i shown in FIG. 3B, it is possible to apply an ink jet apparatus of any ejection method that utilizes mechanical deformation or boiling phenomenon, including other ejection methods.
[0060]
In FIG. 3B, when the ejected ink droplet of several picoliters reaches the surface of the absorption layer 3, it becomes a dot of about 30 μm. The absorption layer 3 laminated on the resin film 1 quickly absorbs the ink solvent 24 immediately after the ink droplets have landed. Thereby, spreading due to bleeding of ink droplets due to the surface state of the resin film 1 is prevented. In addition, since the solvent 24 is quickly absorbed after landing, even if ink droplets land adjacently, the ink droplets do not combine with each other and the dimensional accuracy of the ink pattern 2i does not deteriorate.
[0061]
In addition, as described above, the absorption layer 3 may be made of fine particles of an inorganic material such as aluminum oxide or silicon oxide, or may be made of a polymer material such as urethane resin or acrylic resin. Aluminum oxide and silicon oxide can be made into fine particles having a particle size on the order of nanometers, and in the fine particle layer in which the fine particles of nanometer order are dispersed, the voids can be made 5 nm or less. By making such a fine particle layer as the absorption layer 3 and the particle diameter of the ink pigment 21 to be 5 nm or more, the pigment 21 contained in the ink droplets that have landed on the absorption layer 3 together with the solvent 24 has It will not penetrate inside. In other words, only the solvent 24 penetrates into the absorption layer 3, and the pigment 21 remains on the surface of the absorption layer 3. Further, when a urethane resin or an acrylic resin is used as the absorption layer 3, the solvent 24 contained in the landed ink droplets permeates the absorption layer 3 due to the swelling property with respect to the solvent 24, so that the pigment 21 is formed on the absorption layer 3. It remains on the surface as it is. Accordingly, in both cases, the ink pattern 2i is prevented from being lost or short-circuited due to the penetration of the pigment 21 into the absorption layer.
[0062]
In this way, the drawn ink pattern 2i can be a fine and highly accurate ink pattern 2i that is prevented from spreading and combining ink droplets and that is free from defects and short-circuit defects.
[0063]
In FIG. 2A, printing or transfer is taken as an example of a method for partially applying the absorbent layer 3 on the resin film 1, but the absorbent layer 3 is either an inorganic material fine particle layer or a polymer material swelling layer. In this case, the same ink jet method as described above can be used. When the absorbing layer 3 is a fine particle layer, it is ejected and formed on the resin film 1 by an ink jet apparatus 30 similar to that shown in FIG. 3B, using an ink containing aluminum oxide or silicon oxide fine particles as a pigment. Similarly, when the absorbing layer 3 is a swollen layer, the ink jetting apparatus 30 discharges and forms it on the resin film 1 using ink containing urethane resin or acrylic resin as a dye. Thus, the manufacturing cost can be reduced by using the same inkjet device 30 as that for forming the circuit pattern.
[0064]
As described above, the resin film 11 in which the through-hole 6 shown in FIG. 2E is filled with the conductive paste 7p and the ink pattern 2i is formed on the absorption layer 3 is completed. The resin film 11 on which the ink pattern 2 i is formed is dried to volatilize the solvent 24 that has permeated the absorption layer 3. Further, when the resin film 11 is heated at, for example, 150 ° C. for 30 minutes to presinter the ink pattern 2 i and the conductive paste 7 p, handling in the following post-process becomes easy.
[0065]
Next, a multilayer circuit board is manufactured by laminating a plurality of resin films having the conductive paste and ink pattern prepared as described above and bonding them by heating and pressing.
[0066]
5 (a) and 5 (b) are cross-sectional views by process showing the state of bonding of resin films in the method for producing a multilayer circuit board of the present invention.
[0067]
First, as shown in FIG. 5A, the resin films 12 to 15 prepared in the steps of FIGS. 2A to 2E are laminated, and the adhesion preventing film 51, the buffer material 52, and the metal plate 53 are laminated. The heater 55 is inserted between the pair of hot press plates 54 embedded therein. The anti-adhesion film 51 prevents the resin film 1 during heating / pressurization from adhering to surrounding members, and the resin film 1 on which the absorption layer 3 is formed and the ink pattern 2i from being damaged. For example, a polyimide film or the like is used. The buffer material 52 is used to pressurize the resin films 12 to 13 uniformly. For example, a material obtained by cutting a metal such as stainless steel into a fiber and molding the fiber metal into a plate having a thickness of about 1 mm is used. It is done. The metal plate 53 is for preventing the hot press plate 54 from being damaged. For example, a plate made of stainless steel (SUS) or titanium (Ti) with a thickness of about 2 mm is used.
[0068]
Next, as shown in FIG. 5B, the heater 55 is first heated, and the whole is heated at 150 ° C. or lower for 5 minutes without applying pressure. Next, 20 kg / cm is applied to the laminate through a hot press plate 54 by a press machine (not shown).²Apply a pressure of. Next, the whole temperature is set to 200 to 250 ° C., and heated and pressurized for 10 to 30 minutes. Heating and pressurization may be performed in the air, but preferably performed in a vacuum in order to suppress oxidation of metal particles contained in the ink pattern 2i and the conductive paste 7p.
[0069]
The thermoplastic resin 1 of the resin films 12 to 15 adheres to each other by the above heating and pressurization. As shown in FIG. 5A, the absorption layer 3 is partially formed on each resin film 12-15 including the position where the ink pattern 2i is formed. There is a region where the absorption layer 3 is not formed on the surface. Therefore, in such a region, the resin films 1 made of thermoplastic resin are directly bonded to each other without interposing the absorption layer 3 therebetween. Thereby, the bonding strength between the resin films 1 increases, and the occurrence of peeling of the multilayer circuit board 100 shown in FIG. 5B and FIG. 1 is suppressed.
[0070]
Simultaneously with the adhesion of the resin films 12 to 15 by heating and pressing, the nanometer-order pigment contained in the ink pattern 2i and the metal particles contained in the conductive paste 7p are sintered. The sintering process of the metal particles contained in the ink pattern 2i will be described in detail with reference to FIGS. 6 (a) and 6 (b).
[0071]
FIG. 6A is a schematic diagram of ink pigments included in the ink pattern 2i before the start of sintering. In this sintering process, as shown in FIG. 6 (a), the dispersant 22 is captured by the scavenger 23 by heating, and the dispersant 22 is removed from the surface of the pigment 21, so that the active surface of the pigment 21 is exposed. To do.
[0072]
FIG. 6B is a schematic diagram of ink pigments included in the ink pattern 2i after the start of sintering. When the dispersing agent 22 is removed and the active surface of the nanometer-order pigment 21 is exposed, the surfaces of the pigments 21 come into contact with each other as shown in FIG. As a result, a film 21f formed by sintering an ink pigment made of a circuit material is formed. For example, when Ag particles having a particle size of 50 nm or less are used as the pigment 21, the Ag particles are sintered at about 200 ° C., and an Ag film 21 f is formed, resulting in the circuit pattern 2 shown in FIG.
[0073]
Thus, metal particles having a particle size of 50 nm or less can be sintered at a low temperature. For this reason, sintering of the ink pattern 2i made of metal particles formed by inkjet can be performed simultaneously with the bonding of the resin films 1 and the sintering of the conductive paste 7p. Accordingly, this simplifies the manufacturing process and reduces the manufacturing cost.
[0074]
As described above, as shown in FIG. 5B, the thermoplastic resins 1 of the resin films 12 to 15 in FIG. 5A are bonded and integrated to form the insulating material 1, and FIG. Each of the ink patterns 2i is sintered to form the circuit pattern 2, and the conductive paste 7p is sintered to form the connection conductor 7.
[0075]
In this manner, the multilayer circuit board 100 in which the fine and highly accurate circuit pattern 2 shown in FIG. 1 is formed and the occurrence of peeling is suppressed is manufactured. In the manufacturing method of the multilayer circuit board 100 described above, the resin films 12 to 15 are bonded together by heating and pressing, and at the same time, the conductive paste 7p and the ink pattern 2i are sintered to form a wiring circuit. Since the manufacturing process is simplified by such simultaneous formation, the manufacturing cost of the multilayer circuit board 100 can be reduced.
[0076]
(Other embodiments)
FIG. 3A shows an example in which silver (Ag) is used as the nanometer-order pigment 21. According to this, in the multilayer circuit board 100 shown in FIG. 1, the circuit pattern 2 made of Ag is formed. The nanometer-order pigment 21 contained in the ink 20 is not limited to Ag, and for example, metal particles of gold (Au), platinum (Pt), and tin (Sn) can be used.
[0077]
Further, the pigment 21 contained in the ink 20 is not limited to metal particles having a single composition. If the composition of the pigment 21 contained in the ink 20 is changed to use, for example, a mixed composition of Ag particles of 50 nm or less and palladium (Pd) particles of 50 nm or less, the Ag and S Pd can be alloyed to form a resistance film. Therefore, for example, if an ink pattern is formed with ink containing Ag particles and Pd particles by connecting to an ink pattern formed with ink containing only Ag particles, the resistance element pattern is included using the same manufacturing method as described above. A multilayer circuit board having a circuit pattern can be manufactured. In addition, the circuit pattern formed on the multilayer circuit board may be a capacitive element using pigments of dielectric material particles of the nanometer order.
[0078]
As described above, various circuit patterns such as a wiring pattern, a resistance element, and a capacitance element can be formed by inkjet using fine particles having a particle size of nanometer order made of a metal or dielectric circuit material as a pigment.
[0079]
5 (a) and 5 (b), the resin films 12 to 15 having the ink pattern 2i formed on the absorption layer 3 are laminated to prepare a multilayer circuit. The example which forms the board | substrate 100 was shown. The resin film to be laminated may not be a resin film in which the ink pattern 2 i is formed on the absorption layer 3, all by the steps of FIGS. For example, a resin film in which an ink pattern 2i is formed on the absorption layer 3 prepared in the steps of FIGS. 2 (a) to 2 (e) is laminated on a resin film in which a circuit pattern is formed using a conventional copper foil. A multilayer circuit board may be formed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer circuit board according to the present invention.
FIGS. 2A to 2E are cross-sectional views showing process steps for preparing a resin film in the method for producing a multilayer circuit board according to the present invention. FIGS.
FIG. 3A is a schematic diagram of ink used for forming an ink pattern, and FIG. 3B is a schematic diagram illustrating how an ink pattern is formed by an inkjet apparatus.
FIGS. 4A and 4B are diagrams illustrating an ink jet apparatus of another ejection method using a piezo element. FIGS.
FIGS. 5A and 5B are cross-sectional views showing a state of bonding of resin films in the method for manufacturing a multilayer circuit board according to the present invention.
6A is a schematic diagram of ink pigments included in an ink pattern before the start of sintering, and FIG. 6B is a schematic diagram of ink pigments included in the ink pattern after the start of sintering. is there.
[Explanation of symbols]
100 multilayer circuit board
1 Insulation base material (resin film)
2 Circuit pattern
2i ink pattern
3 Absorption layer
6 Through hole
7 Connecting conductor
7p conductive paste
11-15 Resin film having an ink pattern formed on the absorbent layer
20, 20a-20e ink
21 Ink pigment of nanometer order
22 Dispersant
23 Scavenger
24 Solvent
30, 30r, 30s inkjet device

Claims

インクジェットによる回路パターンが形成された熱可塑性樹脂からなる複数枚の樹脂フィルムが積層されてなる多層回路基板の製造方法において、
樹脂フィルム上に、インクの溶媒を吸収する吸収層を、回路パターンが形成される位置を含んで、部分的に形成する吸収層形成工程と、
前記吸収層が形成された樹脂フィルムに、貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、
前記貫通孔に、導電ペーストを充填する導電ペースト充填工程と、
インクジェット装置により、粒径がナノメータオーダの回路素材からなる顔料を含むインクを前記吸収層上に吐出し、前記貫通孔の形成位置を含んで、吸収層の表面に当該インクによる回路パターンを形成するインクパターン形成工程と、
前記導電ペーストが貫通孔に充填され、前記インクパターンが吸収層上に形成された複数枚の樹脂フィルムを積層する積層工程と、
前記積層された樹脂フィルムを、熱プレス板により加熱・加圧して、樹脂フィルムを相互に貼り合わせると共に、前記導電ペーストとインクパターンを焼結する加熱加圧工程とを有することを特徴とする多層回路基板の製造方法。In a method for manufacturing a multilayer circuit board in which a plurality of resin films made of a thermoplastic resin having a circuit pattern formed by inkjet are laminated ,
An absorption layer forming step of partially forming an absorption layer that absorbs the solvent of the ink on the resin film, including the position where the circuit pattern is formed;
A through hole forming step of forming a through hole in the resin film on which the absorption layer is formed;
A conductive paste filling step of filling the through hole with a conductive paste;
An ink containing a pigment made of a circuit material having a particle size of the order of nanometers is ejected onto the absorption layer by an inkjet device, and a circuit pattern is formed on the surface of the absorption layer including the formation position of the through hole An ink pattern forming step;
A laminating step of laminating a plurality of resin films in which the conductive paste is filled in through holes and the ink pattern is formed on an absorption layer;
The multilayer resin film has a heating and pressing step of heating and pressing the laminated resin film with a hot press plate to bond the resin films to each other and sintering the conductive paste and the ink pattern. A method of manufacturing a circuit board.

前記顔料が、粒径が５０ｎｍ以下の金属粒子であることを特徴とする請求項１に記載の多層回路基板の製造方法。The method for producing a multilayer circuit board according to claim 1, wherein the pigment is a metal particle having a particle size of 50 nm or less.

前記顔料が、粒径が５ｎｍ以上であり、前記吸収層が、酸化アルミニウムもしくは酸化珪素のいずれかからなる微粒子を分散した微粒子層であり、当該微粒子層の空隙が５ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の多層回路基板の製造方法。The pigment has a particle size of 5 nm or more, the absorption layer is a fine particle layer in which fine particles made of either aluminum oxide or silicon oxide are dispersed, and the voids of the fine particle layer are 5 nm or less. A method for manufacturing a multilayer circuit board according to claim 1 or 2.

前記吸収層が、インクジェット装置により前記微粒子からなる顔料を含むインクを、樹脂フィルム上に吐出して形成されることを特徴とする請求項３に記載の多層回路基板の製造方法。4. The method for manufacturing a multilayer circuit board according to claim 3 , wherein the absorption layer is formed by ejecting an ink containing a pigment composed of the fine particles onto a resin film by an inkjet apparatus .

前記吸収層が、膨潤性を有するウレタン樹脂もしくはアクリル樹脂のいずれかからなる膨潤層であることを特徴とする請求項１または２に記載の多層回路基板の製造方法。 The method for producing a multilayer circuit board according to claim 1 , wherein the absorption layer is a swelling layer made of either urethane resin or acrylic resin having swelling properties .

前記吸収層が、インクジェット装置により前記膨潤層の樹脂からなる染料を含むインクを、樹脂フィルム上に吐出して形成されることを特徴とする請求項５に記載の多層回路基板の製造方法。 6. The method for manufacturing a multilayer circuit board according to claim 5, wherein the absorbing layer is formed by ejecting an ink containing a dye made of the resin of the swelling layer onto a resin film by an inkjet device .