JP4190525B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
半導体チップに設けられた突起電極を、該半導体チップが実装される被実装部材に設けられたパッドに接合する工程を有する半導体装置の製造方法において、
隣接する前記突起電極及び該突起電極に対応する前記パッドとは、それぞれ互いに厚みが異なるよう設けられ、
前記突起電極、または前記パッドの少なくとも一方に、前記突起電極及び前記パッドよりも軟質で前記接合時に変形可能とされた可変形接合材を配設しておき、
前記突起電極と前記パッドとを前記可変形接合材を介して接合した際、隣接する前記可変形接合材の高さを異ならせることを特徴とするものである。
(付記1) 半導体チップに突起電極を形成する半導体製造装置において、
前記突起電極を所定形状に成形する成形治具を設けると共に、
該成形治具の前記突起電極を形成する位置に、該突起電極が形成治具の外部にはみ出すことを防止する突起部を形成したことを特徴とする半導体製造装置。
(付記2) 付記1記載の半導体製造装置において、
前記突起電極をスタッドバンプとすると共に、
前記成形治具と前記スタッドバンプを形成するキャピラリとを一体化したことを特徴とする半導体製造装置。
(付記3) 付記1または2記載の半導体製造装置において、
前記突起部の形状を円形、楕円形、及び矩形から選定される一の形状としたことを特徴とする半導体製造装置。
(付記4) 半導体チップに設けられた突起電極を、該半導体チップが実装される被実装部材に設けられたパッドに接合する半導体製造装置において、
前記半導体チップを一の方向に超音波振動させる第1の超音波振動印加手段と、
前記被実装部材を前記半導体チップの超音波振動と異なる方向に超音波振動させる第2の超音波振動手段とを具備することを特徴とする半導体製造装置。
(付記5) 付記4記載の半導体製造装置において、
前記半導体チップの超音波振動方向と、前記被実装部材の超音波振動方向が直交するよう構成したことを特徴とする半導体製造装置。
(付記6) 半導体チップに設けられた突起電極を、該半導体チップが実装される被実装部材に設けられたパッドに接合する工程を有する半導体装置の製造方法において、
前記半導体チップに設けられた突起電極、または前記被実装部材に設けられたパッドの少なくとも一方に、前記接合時に変形可能な構成とされた可変形接合材を配設しておき、
前記突起電極と前記パッドとを前記可変形接合材を介して接合することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記7) 付記6記載の半導体装置の製造方法において、
隣接する前記突起電極の高さを異ならせたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記8) 半導体チップに設けられた突起電極を、該半導体チップが実装される被実装部材に設けられたパッドに超音波接合する工程を有する半導体装置の製造方法において、
前記突起電極と前記パッドとを超音波接合する際、前記半導体チップへの超音波の振幅方向を前記突起電極の並び方向と異なる方向としたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記9) 半導体チップに設けられた突起電極を、該半導体チップが実装される被実装部材に設けられたパッドに超音波接合する工程を有する半導体装置の製造方法において、
前記突起電極と前記パッドとを超音波接合する際、前記半導体チップへの超音波の振幅方向と、前記パッドの延在方向を同一方向としたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記10) 半導体チップに設けられた突起電極を、該半導体チップが実装される被実装部材に設けられたパッドに超音波接合する工程を有する半導体装置の製造方法において、
超音波の振幅方向と同一方向に延在する前記パッドの配設ピッチが、前記超音波の振幅方向と直交する方向に延在する前記パッドの配設ピッチに対して長く設定したことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記11) 半導体チップに設けられたスタッドバンプを、該半導体チップが実装される被実装部材に設けられたパッドに接合する工程を有する半導体装置の製造方法において、
更に、プローブを前記パッドに刺すことにより電気的に接続し、該プローブを介して被実装部材の試験を行なう工程を設けると共に、
前記スタッドバンプを前記パッドに接合する際、前記被実装部材の試験を行なう工程で前記プローブにより前記パッドに形成された凹部と、前記スタッドバンプの先端部に形成された小突起とを位置決めして前記接合を行なうことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記12) 付記6乃至11記載の半導体装置の製造方法において、
前記被実装部材が、半導体チップであることを特徴とする半導体装置の製造方法。
2A,2B ドーターチップ
3A,3B マザーチップ
8A,8B バンプ
15,28 パッド
16 振動体
20A,20B キャピラリ
21A,21B 突起部
22A,22B 成型凹部
23 可変形接合材
25 プローブ
26 位置決め凹部
27 小突起
30 半導体製造装置
31 X方向超音波ホーン
32 Y方向超音波ホーン
Claims (1)
- 半導体チップに設けられた突起電極を、該半導体チップが実装される被実装部材に設けられたパッドに接合する工程を有する半導体装置の製造方法において、
隣接する前記突起電極及び該突起電極に対応する前記パッドとは、それぞれ互いに厚みが異なるよう設けられ、
前記突起電極、または前記パッドの少なくとも一方に、前記突起電極及び前記パッドよりも軟質で前記接合時に変形可能とされた可変形接合材を配設しておき、
前記突起電極と前記パッドとを前記可変形接合材を介して接合した際、隣接する前記可変形接合材の高さを異ならせることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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