JP4188043B2 - Coating die cleaning device and coating device - Google Patents

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JP4188043B2 JP2002271613A JP2002271613A JP4188043B2 JP 4188043 B2 JP4188043 B2 JP 4188043B2 JP 2002271613 A JP2002271613 A JP 2002271613A JP 2002271613 A JP2002271613 A JP 2002271613A JP 4188043 B2 JP4188043 B2 JP 4188043B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガラス,樹脂フィルム,金属箔等の様々な被塗布体に様々な塗布液を塗布するのに使用する塗布装置に係り、特に、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給し、この塗布用ダイを走行させて被塗布体に塗布液を塗布するようになった塗布装置において、塗布用ダイの先端部に残留する塗布液が確実に除去されるようにした点に特徴を有するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、プラズマディスプレーパネル,有機エレクトロルミネッセンスディスプレーパネル,液晶ディスプレーパネル等を製造するにあたって、塗布装置により、ガラス,樹脂フィルム,金属箔等の様々な被塗布体にそれぞれの塗布液を塗布することが行われている。
【0003】
そして、このような塗布装置としては、一般に図1に示すようなものが用いられている。
【0004】
ここで、この塗布装置においては、被塗布体1に塗布液2を塗布するにあたり、吸引装置3を備えたテーブル4の上に被塗布体1を吸引装置3により吸引させて保持させるようにする。
【0005】
そして、この被塗布体1の上において塗布用ダイ10を所要間隔を介した位置にセットし、塗布液供給タンク5に収容された塗布液2を供給ポンプ6によりこの塗布用ダイ10に設けられたマニホールド11に供給し、この塗布液2をマニホールド11から塗布用ダイ10の先端部においてスリット状に設けられた吐出口12に導くようにする。
【0006】
次いで、この塗布用ダイ10を上記の被塗布体1上において走行させながら、上記の吐出口12から塗布液2を被塗布体1に供給して、被塗布体1上に塗布液2を所定の厚みになるように塗布させた後、上記の供給ポンプ6による塗布液2の供給を停止させ、この塗布用ダイ10を上昇させて上記の被塗布体1上から離すようにする。
【0007】
しかし、このようにして被塗布体1上に塗布液2を塗布させた場合、上記の塗布用ダイ10の先端部における吐出口12の周辺部分に塗布液2が部分的に残留した。
【0008】
そして、この状態で塗布用ダイ10により次の被塗布体1上に塗布液2を塗布した場合、上記のように塗布用ダイ10の先端部に残留する塗布液2によって次の被塗布体1上に筋状の塗布むらが発生するという問題があった。
【0009】
そこで、従来においては、上記のように吐出口12の周辺に残留する塗布液2を除去するために、様々な清掃装置を設けることが行われており、例えば、図2に示すように、吐出口12が設けられた塗布用ダイ10の先端部に清掃用ブレード7の先端部を接触させ、この清掃用ブレード7を走行装置8により上記の吐出口12の長さ方向に沿って塗布用ダイ10の全長にわたって走行させ、この清掃用ブレード7によって吐出口12の周辺に残留する塗布液2を塗布用ダイ10から除去するようにしたものが用いられている(例えば、特許文献1参照。)。
【0010】
また、従来においては、上記のように清掃用ブレード7により吐出口12の周辺に残留する塗布液2を塗布用ダイ10から除去した後、図示していないが、ローラを介して布材を塗布用ダイの先端部に接触させ、これを吐出口の長さ方向に摺擦させて、塗布用ダイの先端部をさらに清掃するようにしたものも提案されている。(例えば、特許文献2参照。)。
【0011】
しかし、上記のようにして塗布用ダイ10の先端部を清掃するようにした場合においても、塗布用ダイ10の先端部に残留した塗布液2を十分に除去することが困難な場合があり、例えば、塗布用ダイ10の先端部に残留した塗布液2が凝固したような場合には、凝固した塗布液2が塗布用ダイ10の先端部から適切に除去されずに残り、次の被塗布体1上に塗布液2を塗布した際に、筋状の塗布むらが発生するという問題が依然として存在した。
【0012】
【特許文献1】
特開平11−147062号公報
【特許文献2】
特開2001−113213号公報
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給し、この塗布用ダイを走行させて被塗布体に塗布液を塗布するようになった塗布装置における上記のような問題を解決することを課題とするものである。
【0014】
すなわち、この発明は、上記のような塗布装置において、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から塗布液を被塗布体に供給した後、この塗布用ダイの先端部における吐出口の周辺に残留する塗布液を除去して、塗布用ダイの先端部を清掃するにあたり、塗布用ダイの先端部に残留する塗布液が確実に除去されるようにし、被塗布体上に塗布液を塗布した際に、筋状の塗布むらが発生するのを確実に防止できるようにすることを課題とするものである。
【0015】
【課題を解決するための手段】
この発明における塗布用ダイの清掃装置においては、上記のような課題を解決するため、塗布液を被塗布体に供給するスリット状になった吐出口が先端部に設けられた塗布用ダイを清掃する塗布用ダイの清掃装置において、吐出口が設けられた塗布用ダイの先端部に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、洗浄液が供給された塗布用ダイの先端部に接触させて塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去する清掃用ブレードと、上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部に沿って走行させる走行装置とを設け、上記の清掃用ブレードによって残留する塗布液と洗浄液とが除去された塗布用ダイの先端部に、塗布液が供給されたローラを接触させ、このローラを回転させて塗布用ダイの先端部に沿って移動させるようにしたのである。
【0016】
そして、この発明においては、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給し、この塗布用ダイを走行させて被塗布体に塗布液を塗布する塗布装置において、被塗布体に塗布液を塗布させた後、この塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄するにあたり、上記の浄液供給装置から吐出口が設けられた塗布用ダイの先端部に洗浄液を供給すると共に、このように洗浄液が供給された塗布用ダイの先端部に清掃用ブレードを接触させるようにし、この状態で走行装置により上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部に沿って移動させて、清掃用ブレードにより塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去させるようにする。
【0017】
このようにすると、塗布用ダイの先端部に残留した塗布液が凝固したような場合においても、凝固した塗布液が上記の洗浄液によって塗布用ダイの先端部から離れやすくなり、この塗布液が洗浄液と一緒に上記の清掃用ブレードにより塗布用ダイの先端部から適切に除去されるようになり、次の被塗布体上に塗布液を塗布する際に、塗布用ダイの先端部に残留した塗布液によって筋状の塗布むらが発生するのが防止されるようになる。
【0018】
ここで、上記の洗浄液としては、塗布用ダイの先端部に残留して凝固した塗布液を溶解させて、塗布用ダイの先端部から除去されやすくするため、例えば、塗布液に使用する溶媒等を用いるようにすることが好ましい。
【0019】
また、上記のように塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給して被塗布体に塗布液を塗布させた場合、塗布液が塗布用ダイの先端部における端面だけではなく両側の面に残留することがあるため、上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部における端面だけではなく両側の面に対して設けることが好ましい。
【0020】
また、上記のように塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去させた場合において、除去された塗布液や洗浄液が他の部分にこぼれないようにするため、上記の清掃用ブレードによって塗布用ダイの先端部から除去された残留する塗布液と洗浄液とを吸引する吸引装置を設けるようにすることが好ましい。
【0021】
また、この発明における塗布用ダイの清掃装置においては、上記のように清掃用ブレードによって残留する塗布液と洗浄液とが除去された塗布用ダイの先端部に、塗布液が供給されたローラを接触させ、このローラを回転させて塗布用ダイの先端部に沿って移動させるようにした。
【0022】
ここで、上記のローラに塗布液を供給し、このローラを塗布用ダイの先端部に接触させ、このローラを回転させて塗布用ダイの先端部に沿って移動させると、残留する塗布液と洗浄液とが除去された塗布用ダイの先端部に新しい塗布液が均一に塗布されて湿りが与えられ、次の被塗布体上に塗布液を塗布する場合に、塗布液がスムーズに被塗布体上に供給されて、塗布液が被塗布体上により均一に塗布されるようになる。
【0024】
【実施例】
以下、この発明の実施例に係る塗布装置及び塗布用ダイの清掃装置を添付図面に基づいて具体的に説明する。
【0025】
この実施例における塗布装置においても、被塗布体1に塗布液2を塗布するにあたっては、前記の図1に示すように、吸引装置3を備えたテーブル4の上に被塗布体1を吸引装置3により吸引させて保持させるようにする。
【0026】
次いで、この被塗布体1の上において塗布用ダイ10を所要間隔を介した位置にセットし、塗布液供給タンク5に収容された塗布液2を供給ポンプ6によりこの塗布用ダイ10に設けられたマニホールド11に供給し、この塗布液2をマニホールド11から塗布用ダイ10の先端部においてスリット状に設けられた吐出口12に導くようにする。
【0027】
そして、この塗布用ダイ10を上記の被塗布体1上において走行させながら、上記の吐出口12から塗布液2を被塗布体1に供給して、被塗布体1上に塗布液2を所定の厚みになるように塗布させた後、上記の供給ポンプ6による塗布液2の供給を停止させ、この塗布用ダイ10を上昇させて上記の被塗布体1上から離すようにする。
【0028】
ここで、この実施例における塗布装置においては、上記のように被塗布体1上に塗布液2を塗布させた後において、この塗布用ダイ10の先端部における吐出口12の周辺部分に残留する塗布液2を除去する清掃装置を設けるにあたっては、図4に示すように、塗布液2が残留する塗布用ダイ10の先端部に洗浄液21を供給する洗浄液供給装置20と、洗浄液21が供給された塗布用ダイ10の先端部に接触させて塗布用ダイ10の先端部に残留する塗布液2を上記の洗浄液21と一緒に除去する清掃用ブレード30と、この清掃用ブレード30によって残留する塗布液2と洗浄液21とが除去された塗布用ダイ10の先端部に塗布液2を供給するローラ40とを、塗布用ダイ10の先端部に沿って走行させる走行装置50に設けている。
【0029】
また、上記の清掃用ブレード30によって塗布用ダイ10の先端部から除去された残留する塗布液2と洗浄液21とを排出させるにあたって、この清掃用ブレード30と所要間隔を介するようにして受け部材31を設け、この受け部材31と清掃用ブレード30と間の隙間を通して、除去された残留する塗布液2と洗浄液21とを吸引装置60により吸引して排出させるようにしている。
【0030】
また、上記のように塗布液2と洗浄液21とが除去された塗布用ダイ10の先端部にローラ40から塗布液2を供給するにあたっては、このローラ40の一部を液収容容器41内に収容された塗布液2中に浸漬させて、このローラ40の外周面に塗布液2を保持させ、このローラ40を塗布用ダイ10の先端部に接触させた状態で回転させ、ローラ40の外周面に保持された塗布液2を上記の塗布用ダイ10の先端部に供給し、またこのように塗布液2を塗布用ダイ10の先端部に供給した後のローラ40の外周面に残留する塗布液2や異物等をブレード42によってローラ40の外周面から除去させて、回収部43に回収させるようにしている。
【0031】
そして、この実施例における塗布装置において、上記のように塗布用ダイ10の吐出口12から被塗布体1上に塗布液2を供給して、塗布液2を被塗布体1上に塗布した後、この塗布用ダイ10の先端部に残留する塗布液2を除去するにあたっては、この塗布用ダイ10を上記の清掃装置の位置に導き、上記の走行装置50を塗布用ダイ10の先端部に沿って走行させながら、上記の洗浄液供給装置20から塗布用ダイ10の先端部に洗浄液21を供給させるようにする。
【0032】
また、このように洗浄液21が供給された塗布用ダイ10の先端部に上記の清掃用ブレード30を接触させて、塗布用ダイ10の先端部に残留する塗布液2を洗浄液21と一緒に除去し、このように除去させた塗布液2と洗浄液21とを、受け部材31と清掃用ブレード30と間の隙間を通して吸引装置60により吸引させて排出させるようにする。
【0033】
また、このように塗布用ダイ10の先端部に残留する塗布液2を洗浄液21と一緒に除去した後は、上記のローラ40を塗布用ダイ10の先端部に接触させた状態で回転させ、ローラ40の外周面に保持された塗布液2を上記の塗布用ダイ10の先端部に供給させるようにする。このようにすると、前記のように塗布用ダイ10の先端部に新しい塗布液2が均一に塗布されて湿りが与えられ、次の被塗布体1上に塗布液2を塗布する場合に、塗布液2がスムーズに被塗布体1上に供給されて、塗布液2が被塗布体1上に均一に塗布されるようになる。
【0034】
また、上記のようにローラ40から塗布用ダイ10の先端部に塗布液2を供給するにあたっては、上記のローラ40の回転速度や、このローラ40の外周面に保持させる塗布液2の粘度等を調整することによって、塗布用ダイ10の先端部に供給する塗布液2の量を調整することができる。
【0036】
また、この実施例においては、上記のような清掃装置を塗布用ダイ10の先端部の端面10aに対してだけ設けるようにしたが、図4に示すように、塗布液2が塗布用ダイ10の先端部における端面10aだけではなく両側の面10bにも残留することがあるため、上記のような清掃装置を塗布用ダイ10の先端部の端面10aだけではなく両側の面10bに対しても設けることができる。
【0037】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明においては、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給し、この塗布用ダイを走行させて被塗布体に塗布液を塗布する塗布装置において、この塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を除去するにあたり、洗浄液供給装置から吐出口が設けられた塗布用ダイの先端部に洗浄液を供給すると共に、このように洗浄液が供給された塗布用ダイの先端部に清掃用ブレードを接触させ、この状態で走行装置により上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部に沿って移動させ、塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去させ、さらにこのように塗布液と洗浄液とが除去された塗布用ダイの先端部に、塗布液が供給されたローラを接触させて、塗布用ダイの先端部に新しい塗布液を供給するようにした。
【0038】
この結果、この発明によると、塗布用ダイの先端部に残留した塗布液が凝固したような場合においても、凝固した塗布液が洗浄液によって塗布用ダイの先端部から離れやすくなり、この塗布液が洗浄液と共に上記の清掃用ブレードにより塗布用ダイの先端部から適切に除去されると共に、残留する塗布液と洗浄液とが除去された塗布用ダイの先端部に新しい塗布液が均一に塗布されて湿りが与えられるようになり、次の被塗布体上に塗布液を塗布する際に、塗布用ダイの先端部に残留した塗布液によって筋状の塗布むらが発生するのが防止されると共に、塗布液がスムーズに被塗布体上に供給されるようになり、連続して被塗布体上に塗布液を均一に塗布できるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の塗布装置及びこの発明の実施例における塗布装置において、テーブル上に保持された被塗布体に塗布液を塗布する状態を示した概略説明図である。
【図2】従来の塗布装置において、被塗布体上に塗布液を塗布させた後における塗布用ダイの先端部に残留している塗布液を清掃装置によって除去する状態を示した概略説明図である。
【図3】この発明の実施例における塗布装置において、被塗布体上に塗布液を塗布させた後における塗布用ダイの先端部に残留している塗布液を清掃装置によって除去する状態を示した概略説明図である。
【図4】塗布液が塗布用ダイの先端部における端面の他に両側の面にも残留している状態を示した概略説明図である。
【符号の説明】
1 被塗布体
2 塗布液
10 塗布用ダイ
10a 先端部の端面
10b 先端部の両側の面
12 吐出口
20 洗浄液供給装置
21 洗浄液
30 清掃用ブレード
40 ローラ
50 走行装置
60 吸引装置
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a coating apparatus used for coating various coating liquids on various coated objects such as glass, resin film, and metal foil, and in particular, in a slit shape provided at the tip of a coating die. In the coating apparatus in which the coating liquid is supplied to the coated body from the discharged discharge port and this coating die is run to apply the coating liquid to the coated body, the coating remaining at the tip of the coating die It is characterized in that the liquid is surely removed.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, when manufacturing a plasma display panel, an organic electroluminescence display panel, a liquid crystal display panel, etc., each coating solution can be applied to various coated objects such as glass, resin film, and metal foil by a coating device. Has been done.
[0003]
As such a coating apparatus, a device as shown in FIG. 1 is generally used.
[0004]
Here, in this coating apparatus, when the coating liquid 2 is applied to the coated body 1, the coated body 1 is sucked and held by the suction apparatus 3 on the table 4 provided with the suction apparatus 3. .
[0005]
Then, the coating die 10 is set at a position with a predetermined interval on the substrate 1, and the coating liquid 2 accommodated in the coating liquid supply tank 5 is provided on the coating die 10 by the supply pump 6. The coating liquid 2 is supplied from the manifold 11 to a discharge port 12 provided in a slit shape at the tip of the coating die 10.
[0006]
Next, the application liquid 2 is supplied from the discharge port 12 to the application body 1 while the application die 10 is running on the application object 1, and the application liquid 2 is applied onto the application object 1. Then, the supply of the application liquid 2 by the supply pump 6 is stopped, and the application die 10 is raised and separated from the object 1 to be applied.
[0007]
However, when the coating liquid 2 was applied on the substrate 1 in this way, the coating liquid 2 partially remained in the peripheral portion of the discharge port 12 at the tip of the coating die 10.
[0008]
In this state, when the coating liquid 2 is applied onto the next coated body 1 by the coating die 10, the next coated body 1 is applied by the coating liquid 2 remaining at the tip of the coating die 10 as described above. There was a problem that streaky coating unevenness occurred on the top.
[0009]
Therefore, conventionally, various cleaning devices have been provided in order to remove the coating liquid 2 remaining around the discharge port 12 as described above. For example, as shown in FIG. The tip portion of the cleaning blade 7 is brought into contact with the tip portion of the coating die 10 provided with the outlet 12, and this cleaning blade 7 is moved along the length direction of the discharge port 12 by the traveling device 8. 10 is used, and the cleaning blade 7 removes the coating liquid 2 remaining around the discharge port 12 from the coating die 10 (see, for example, Patent Document 1). .
[0010]
Conventionally, after removing the coating liquid 2 remaining around the discharge port 12 from the coating die 10 by the cleaning blade 7 as described above, a cloth material is applied via a roller (not shown). It has also been proposed that the tip of the coating die is further cleaned by bringing it into contact with the tip of the die and sliding it in the length direction of the discharge port. (For example, refer to Patent Document 2).
[0011]
However, even when the tip of the coating die 10 is cleaned as described above, it may be difficult to sufficiently remove the coating liquid 2 remaining on the tip of the coating die 10, For example, when the coating liquid 2 remaining at the tip of the coating die 10 is solidified, the solidified coating liquid 2 remains without being properly removed from the tip of the coating die 10, and the next coating target is applied. There was still a problem that when the coating liquid 2 was applied onto the body 1, streaky coating unevenness occurred.
[0012]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 11-147062 [Patent Document 2]
JP 2001-113213 A
[Problems to be solved by the invention]
According to the present invention, a coating liquid is supplied to an object to be coated from a slit-like discharge port provided at the tip of the coating die, and the coating liquid is applied to the object by running the coating die. An object of the present invention is to solve the above-described problems in the coating apparatus.
[0014]
That is, the present invention provides a coating apparatus as described above, in which a coating liquid is supplied to an object to be coated from a slit-like discharge port provided at the tip of the coating die, and then the tip of the coating die. When removing the coating liquid remaining in the vicinity of the discharge port and cleaning the tip of the coating die, ensure that the coating liquid remaining at the tip of the coating die is removed and It is an object of the present invention to reliably prevent the occurrence of streaky coating unevenness when a coating solution is applied to the surface.
[0015]
[Means for Solving the Problems]
In the coating die cleaning apparatus according to the present invention, in order to solve the above-described problem, the coating die having a slit-like discharge port for supplying the coating liquid to the coated body is provided at the tip. In the coating die cleaning apparatus, the cleaning liquid supply device that supplies the cleaning liquid to the tip of the coating die provided with the discharge port, and the tip of the coating die that is supplied with the cleaning liquid are brought into contact with the tip of the coating die. A cleaning blade that removes the coating liquid remaining on the tip portion together with the cleaning liquid, and a traveling device that travels the cleaning liquid supply device and the cleaning blade along the tip portion of the coating die are provided . The roller supplied with the coating liquid is brought into contact with the tip of the coating die from which the coating liquid and the cleaning liquid remaining by the blade have been removed, and the roller is rotated and moved along the tip of the coating die. It was as that.
[0016]
And in this invention, the coating liquid is supplied to the coated body from the slit-shaped discharge port provided at the tip of the coating die, and the coating liquid is run on the coated body by running the coating die. In the coating apparatus to be coated, after the coating liquid is applied to the object to be coated, the coating liquid remaining on the tip of the coating die is washed with the discharge port provided from the above-described cleaning liquid supply apparatus. The cleaning liquid is supplied to the tip of the die, and the cleaning blade is brought into contact with the tip of the coating die to which the cleaning liquid is supplied in this way. In this state, the above-described cleaning liquid supply device and the cleaning blade are used by the traveling device. Are moved along the tip of the coating die, and the coating liquid remaining on the tip of the coating die is removed together with the cleaning liquid by the cleaning blade.
[0017]
In this way, even when the coating solution remaining at the tip of the coating die is solidified, the solidified coating solution is easily separated from the tip of the coating die by the cleaning solution, and the coating solution is washed with the cleaning solution. Together with the above-mentioned cleaning blade, it is properly removed from the tip of the coating die, and when the coating liquid is applied onto the next coated body, the coating remaining on the tip of the coating die It is possible to prevent streaky coating unevenness from occurring due to the liquid.
[0018]
Here, as the above-mentioned cleaning liquid, in order to dissolve the solidified coating liquid remaining on the tip of the coating die and easily remove it from the tip of the coating die, for example, a solvent used for the coating liquid, etc. Is preferably used.
[0019]
In addition, when the coating liquid is applied to the coated body by supplying the coated liquid to the coated body from the slit-shaped discharge port provided at the tip of the coating die as described above, the coating liquid is applied. The cleaning liquid supply device and the cleaning blade are provided not only on the end surface of the coating die but also on both sides, because the residual liquid may remain on both sides of the coating die. It is preferable.
[0020]
In addition, when the coating liquid remaining on the tip of the coating die is removed together with the cleaning liquid as described above, the above cleaning is performed to prevent the removed coating liquid and cleaning liquid from spilling on other parts. It is preferable to provide a suction device for sucking the remaining coating liquid and cleaning liquid removed from the tip end portion of the coating die by the blade.
[0021]
In the coating die cleaning apparatus according to the present invention, the roller supplied with the coating liquid is brought into contact with the tip of the coating die from which the coating liquid and the cleaning liquid remaining by the cleaning blade are removed as described above. The roller was rotated and moved along the tip of the coating die .
[0022]
Here, when the coating liquid is supplied to the roller, the roller is brought into contact with the tip of the coating die, and when the roller is rotated and moved along the tip of the coating die, the remaining coating liquid and When the new coating liquid is uniformly applied to the tip of the coating die from which the cleaning liquid has been removed to provide moisture, and the coating liquid is applied onto the next coated body, the coating liquid is smoothly coated. Then, the coating liquid is applied more uniformly on the substrate.
[0024]
【Example】
Hereinafter, a coating device and a coating die cleaning device according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[0025]
Also in the coating apparatus in this embodiment, when the coating liquid 2 is applied to the object 1, as shown in FIG. 1, the object 1 is sucked onto the table 4 having the suction device 3. 3 to suck and hold.
[0026]
Next, the coating die 10 is set at a position with a predetermined interval on the substrate 1, and the coating liquid 2 stored in the coating liquid supply tank 5 is provided on the coating die 10 by the supply pump 6. The coating liquid 2 is supplied from the manifold 11 to a discharge port 12 provided in a slit shape at the tip of the coating die 10.
[0027]
Then, while the coating die 10 is running on the coated body 1, the coating liquid 2 is supplied from the discharge port 12 to the coated body 1, and the coating liquid 2 is applied onto the coated body 1. Then, the supply of the application liquid 2 by the supply pump 6 is stopped, and the application die 10 is raised and separated from the object 1 to be applied.
[0028]
Here, in the coating apparatus in this embodiment, after the coating liquid 2 is coated on the substrate 1 as described above, it remains in the peripheral portion of the discharge port 12 at the tip of the coating die 10. In providing the cleaning device for removing the coating liquid 2, as shown in FIG. 4, the cleaning liquid supply device 20 for supplying the cleaning liquid 21 to the tip of the coating die 10 where the coating liquid 2 remains, and the cleaning liquid 21 are supplied. The cleaning blade 30 that contacts the tip of the coating die 10 and removes the coating liquid 2 remaining at the tip of the coating die 10 together with the cleaning liquid 21, and the coating remaining by the cleaning blade 30. A roller 40 that supplies the coating liquid 2 to the tip of the coating die 10 from which the liquid 2 and the cleaning liquid 21 have been removed is provided in the traveling device 50 that travels along the tip of the coating die 10.
[0029]
Further, when the remaining coating liquid 2 and the cleaning liquid 21 removed from the tip of the coating die 10 by the cleaning blade 30 are discharged, the receiving member 31 is interposed between the cleaning blade 30 and a required interval. The remaining coating liquid 2 and cleaning liquid 21 that have been removed are sucked and discharged by a suction device 60 through a gap between the receiving member 31 and the cleaning blade 30.
[0030]
Further, when the coating liquid 2 is supplied from the roller 40 to the tip of the coating die 10 from which the coating liquid 2 and the cleaning liquid 21 have been removed as described above, a part of the roller 40 is placed in the liquid container 41. The roller 40 is immersed in the contained coating liquid 2 to hold the coating liquid 2 on the outer peripheral surface of the roller 40, and the roller 40 is rotated while being in contact with the tip of the coating die 10. The coating liquid 2 held on the surface is supplied to the tip of the coating die 10 and remains on the outer peripheral surface of the roller 40 after the coating liquid 2 is supplied to the tip of the coating die 10 in this way. The coating liquid 2, foreign matter, and the like are removed from the outer peripheral surface of the roller 40 by the blade 42 and are collected by the collection unit 43.
[0031]
And in the coating device in this Example, after supplying the coating liquid 2 on the to-be-coated body 1 from the discharge port 12 of the coating die 10 and applying the coating liquid 2 on the to-be-coated body 1 as described above. In removing the coating liquid 2 remaining at the tip of the coating die 10, the coating die 10 is guided to the position of the cleaning device, and the traveling device 50 is placed at the tip of the coating die 10. While being run along, the cleaning liquid 21 is supplied from the cleaning liquid supply device 20 to the tip of the coating die 10.
[0032]
Further, the cleaning blade 30 is brought into contact with the tip of the coating die 10 supplied with the cleaning liquid 21 in this way, and the coating liquid 2 remaining on the tip of the coating die 10 is removed together with the cleaning liquid 21. Then, the coating liquid 2 and the cleaning liquid 21 thus removed are sucked and discharged by the suction device 60 through the gap between the receiving member 31 and the cleaning blade 30.
[0033]
In addition, after removing the coating liquid 2 remaining at the tip of the coating die 10 together with the cleaning liquid 21 in this way, the roller 40 is rotated in contact with the tip of the coating die 10, The coating liquid 2 held on the outer peripheral surface of the roller 40 is supplied to the tip of the coating die 10. In this way, as described above, the new coating liquid 2 is uniformly applied to the tip of the coating die 10 to give wetness, and the coating liquid 2 is coated when the coating liquid 2 is coated on the next coated body 1. The liquid 2 is smoothly supplied onto the substrate 1 so that the coating liquid 2 is uniformly applied onto the substrate 1.
[0034]
When supplying the coating liquid 2 from the roller 40 to the tip of the coating die 10 as described above, the rotational speed of the roller 40, the viscosity of the coating liquid 2 held on the outer peripheral surface of the roller 40, and the like. Can be adjusted to adjust the amount of the coating liquid 2 supplied to the tip of the coating die 10.
[0036]
Further, in this embodiment, the cleaning device as described above is provided only for the end face 10a of the tip end portion of the coating die 10, but the coating liquid 2 is applied to the coating die 10 as shown in FIG. In this case, the cleaning device described above may be applied not only to the end surface 10a of the tip end portion of the coating die 10 but also to the both side surfaces 10b. Can be provided.
[0037]
【The invention's effect】
As described above in detail, in the present invention, the coating liquid is supplied to the coated body from the slit-shaped discharge port provided at the tip of the coating die, and the coating die is run to be coated. In the coating apparatus for applying the coating liquid to the body, in removing the coating liquid remaining at the tip of the coating die, the cleaning liquid is supplied from the cleaning liquid supply device to the tip of the coating die provided with the discharge port. The cleaning blade is brought into contact with the tip of the coating die supplied with the cleaning liquid in this way, and the cleaning liquid supply device and the cleaning blade are moved along the tip of the coating die by the traveling device in this state. by a coating liquid remaining on the tip portion of the coating die is removed together with the cleaning liquid, further to the distal end of the thus coating solution coating die and are removed washing liquid was supplied coating liquid roller Touched Te, and for supplying a new coating liquid to the tip of the coating die.
[0038]
As a result, according to the present invention, even when the coating liquid remaining at the tip of the coating die is solidified, the solidified coating liquid is easily separated from the tip of the coating die by the cleaning liquid. been properly removed by the cleaning blade together with the cleaning liquid from the tip of the coating die Rutotomoni, is a new coating solution uniformly applied to the tip of the coating die and the coating liquid and the washing solution remaining is removed wetness now given, in the case of applying the coating liquid to the next member to be coated on, streaky coating unevenness is prevented from occurring by the coating solution remaining in the tip of the coating die Rutotomoni, coating The liquid can be smoothly supplied onto the object to be coated, and the coating liquid can be uniformly applied onto the object to be coated continuously.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic explanatory view showing a state in which a coating liquid is applied to an object to be coated held on a table in a conventional coating apparatus and a coating apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic explanatory view showing a state in which the coating liquid remaining on the tip of the coating die is removed by a cleaning apparatus after the coating liquid is applied onto the object to be coated in the conventional coating apparatus. is there.
FIG. 3 shows a state in which the coating solution remaining on the tip of the coating die is removed by the cleaning device after the coating solution is applied onto the object to be coated in the coating apparatus according to the embodiment of the present invention. It is a schematic explanatory drawing.
FIG. 4 is a schematic explanatory view showing a state in which the coating liquid remains on both sides in addition to the end face at the tip of the coating die.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 To-be-coated body 2 Coating liquid 10 Application | coating die 10a End surface 10b End surface 10b Both end surfaces 12 Discharge port 20 Cleaning liquid supply device 21 Cleaning liquid 30 Cleaning blade 40 Roller 50 Traveling device 60 Suction device

Claims (4)

塗布液を被塗布体に供給するスリット状になった吐出口が先端部に設けられた塗布用ダイを清掃する塗布用ダイの清掃装置において、吐出口が設けられた塗布用ダイの先端部に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、洗浄液が供給された塗布用ダイの先端部に接触させて塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去する清掃用ブレードと、上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部に沿って走行させる走行装置とを設け、上記の清掃用ブレードによって残留する塗布液と洗浄液とが除去された塗布用ダイの先端部に、塗布液が供給されたローラを接触させ、このローラを回転させて塗布用ダイの先端部に沿って移動させるようにしたことを特徴とする塗布用ダイの清掃装置。In a coating die cleaning apparatus for cleaning a coating die provided with a slit-shaped discharge port for supplying a coating liquid to an object to be coated, the tip of the coating die provided with a discharge port A cleaning liquid supply device that supplies the cleaning liquid, a cleaning blade that contacts the tip of the coating die to which the cleaning liquid is supplied and removes the coating liquid remaining on the tip of the coating die together with the cleaning liquid, and the cleaning liquid described above A traveling device that travels the supply device and the cleaning blade along the tip of the coating die is provided , and the coating liquid and the cleaning liquid remaining by the cleaning blade are removed from the tip of the coating die. A coating die cleaning apparatus, wherein a roller to which a coating liquid is supplied is brought into contact with the roller, and the roller is rotated to move along the tip of the coating die. 請求項1に記載した塗布用ダイの清掃装置において、上記の塗布用ダイの先端部における端面及びその両側の面に対して、それぞれ上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを設けたことを特徴とする塗布用ダイの清掃装置。  2. The coating die cleaning apparatus according to claim 1, wherein the cleaning liquid supply device and the cleaning blade are provided on the end surface of the tip of the coating die and the surfaces on both sides thereof. An application die cleaning device. 請求項1又は2に記載した塗布用ダイの清掃装置において、上記の清掃用ブレードによって塗布用ダイの先端部から除去された残留する塗布液と洗浄液とを吸引する吸引装置を設けたことを特徴とする塗布用ダイの清掃装置。  3. The coating die cleaning apparatus according to claim 1 or 2, further comprising a suction device that sucks the remaining coating liquid and cleaning liquid removed from the tip of the coating die by the cleaning blade. An application die cleaning device. 塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給し、この塗布用ダイを走行させて被塗布体に塗布液を塗布する塗布装置において、上記の塗布用ダイの先端部を清掃する清掃装置として、上記の請求項1〜の何れか1項に記載した塗布用ダイの清掃装置を用いたことを特徴とする塗布装置。In a coating apparatus for supplying a coating liquid to a coated body from a slit-shaped discharge port provided at the tip of the coating die and applying the coating liquid to the coated body by running the coating die, A coating device using the coating die cleaning device according to any one of claims 1 to 3 as a cleaning device for cleaning the tip of the coating die.
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JP4850680B2 (en) * 2006-12-15 2012-01-11 中外炉工業株式会社 Discharge nozzle cleaning device
JP5144976B2 (en) * 2007-07-03 2013-02-13 東京応化工業株式会社 Cleaning device, cleaning method, preliminary discharge device, and coating device
JP4796090B2 (en) * 2008-05-08 2011-10-19 株式会社日本製鋼所 Die surface cleaning apparatus and method
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