JP4186078B2 - Ultraviolet treatment device with spatial illuminance measurement device - Google Patents

Ultraviolet treatment device with spatial illuminance measurement device Download PDF

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Description

本発明は、空間照度測定装置を備えた紫外線処理装置に関する。 The present invention relates to an ultraviolet treatment device provided with a spatial illuminance measurement device .

照度を測定するとき、受光素子としてシリコンフォトダイオードや光電管などを備えた照度測定装置を用いるのが一般的であった。しかし、受光素子としてシリコンフォトダイオードや光電管などを用いた照度測定装置よりも、紫外線波長域の光の照度を精度高く測定できる照度測定装置として、板状に形成した蛍光材料を含む波長変換素子を用い、この波長変換素子の平板面を紫外線の受光面として紫外線を可視光に変換して照度を測定する照度測定装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。しかし、このような照度測定装置では、平面に入射する光束、つまり、平面照度E=dΦ/dAを計測するものである。ここで、dΦは平面dAに入射する光束を計測するものである。このため、光度標準光源を用いて校正できる利点があるが、空間照度を測定することはできない。   When measuring the illuminance, it is common to use an illuminance measuring apparatus including a silicon photodiode or a phototube as a light receiving element. However, as an illuminance measuring device that can measure the illuminance of light in the ultraviolet wavelength region with higher accuracy than an illuminance measuring device using a silicon photodiode or a phototube as a light receiving element, a wavelength conversion element including a fluorescent material formed in a plate shape is used. An illuminance measuring apparatus has been proposed that measures the illuminance by converting ultraviolet light into visible light using the flat plate surface of the wavelength conversion element as the ultraviolet light receiving surface (see, for example, Patent Document 1). However, such an illuminance measuring apparatus measures a light beam incident on a plane, that is, a plane illuminance E = dΦ / dA. Here, dΦ measures the light beam incident on the plane dA. For this reason, although there exists an advantage which can be calibrated using a luminous intensity standard light source, spatial illuminance cannot be measured.

これに対して、空間照度を測定できる空間照度測定装置として、蛍光材料を含む波長変換素子を棒状やU字形状した空間照度測定装置が提案されている(例えば、特許文献2、3参照)。   On the other hand, as a spatial illuminance measuring apparatus capable of measuring spatial illuminance, a spatial illuminance measuring apparatus in which a wavelength conversion element including a fluorescent material is rod-shaped or U-shaped has been proposed (for example, see Patent Documents 2 and 3).

特開平6−317463号公報(第2−3頁、第1図)JP-A-6-317463 (page 2-3, FIG. 1) 実開平5−94732号公報(第3−4頁、第1図)Japanese Utility Model Publication No. 5-94732 (page 3-4, FIG. 1) 特開2001−21413号公報(第2−4頁、第1図)Japanese Patent Laid-Open No. 2001-21413 (page 2-4, FIG. 1)

しかし、特許文献2、3に記載の空間照度測定装置では、測定の再現性や安定性を実現する空間照度測定装置と紫外線ランプの関連構成について考慮されていない。また、空間照度の相対値を測定することは可能であるが、空間照度の校正方法が無いため、空間照度の絶対値を測定することができないという問題がある。このため、空間照度の絶対値を測定できる空間照度測定装置が求められている。 However, in the spatial illuminance measuring devices described in Patent Documents 2 and 3, the related configurations of the spatial illuminance measuring device and the ultraviolet lamp that realize measurement reproducibility and stability are not considered. Moreover, although it is possible to measure the relative value of spatial illuminance, there is a problem that the absolute value of spatial illuminance cannot be measured because there is no calibration method for spatial illuminance. For this reason, there is a need for a spatial illuminance measuring device that can measure the absolute value of spatial illuminance.

本発明の課題は、測定の再現性や安定性を空間照度測定装置と紫外線ランプの配置関係により実現することにある。 An object of the present invention is to realize measurement reproducibility and stability by the arrangement relationship between a spatial illuminance measuring apparatus and an ultraviolet lamp.

本発明の紫外線処理装置は、縦型の処理槽と、該処理槽内に設けられた複数本の紫外線ランプと、紫外線を可視光に変換する棒状に形成された波長変換素子により変換された可視光に基づいて前記処理槽内の紫外線の照度を測定する空間照度測定装置とを備え、前記処理槽の下部から流入される被処理水を処理して前記処理槽の上部から排出する紫外線処理装置において、前記紫外線ランプは、前記処理槽に上下端を固定して一又は二重の円状に配置された紫外線透過性を有する複数本のランプ保護管内にそれぞれ挿入され、前記複数本の紫外線ランプが配置された円の中心に紫外線透過性を有する保護管が前記処理槽に上下端を固定して配置され、前記保護管内に前記波長変換素子が挿入されてなり、前記ランプ保護管は、前記一又は二重の円のそれぞれに3本以上配置され、前記波長変換素子から各紫外線ランプを見通せる位置に互いに周方向に等間隔で配置されてなる構成とすることにより、上記の課題を解決する。
The ultraviolet treatment apparatus of the present invention includes a vertical treatment tank, a plurality of ultraviolet lamps provided in the treatment tank, and a wavelength conversion element formed in a rod shape that converts ultraviolet light into visible light. A spatial illuminance measuring device for measuring the illuminance of ultraviolet rays in the treatment tank based on light, and treating the treated water flowing from the lower part of the treatment tank and discharging it from the upper part of the treatment tank Each of the ultraviolet lamps is inserted into a plurality of lamp protective tubes having ultraviolet transparency arranged in a single or double circle with the upper and lower ends fixed to the treatment tank, and the plurality of ultraviolet lamps. A protective tube having ultraviolet transparency at the center of a circle where a lamp is disposed is disposed with the upper and lower ends fixed to the treatment tank, the wavelength conversion element is inserted into the protective tube, and each of the lamp protective tubes is , the one or It is disposed in each of the heavy circle 3 or more, by the arrangement is formed by constituting at regular intervals in a circumferential direction at a position of sight of each ultraviolet lamp from the wavelength converting element, to solve the above problems.

また、波長変換素子を挿入した保護管及び紫外線ランプを挿入したランプ保護管の表面に付着した汚れを除去するワイパー機構を利用して、保護管及びランプ保護管の表面に付着した汚れを除去できる。したがって、保護管及びランプ保護管の外表面に汚れが付着することにより、空間照度の絶対値の測定精度が低下するのを抑制できる。 In addition, dirt attached to the surface of the protective tube and the lamp protective tube can be removed by using a wiper mechanism that removes dirt attached to the surface of the protective tube having the wavelength conversion element and the lamp protective tube having the ultraviolet lamp inserted therein. . Therefore, it can suppress that the measurement accuracy of the absolute value of space illuminance falls because dirt adheres to the outer surface of a protection tube and a lamp protection tube .

さらに、空気より屈折率の大きい媒質が、容器内、または、容器が紫外線透過性を有する管に挿入されている場合は、容器内及び管内に充填された構成とする。紫外線は、より密な媒質である容器や管の壁からより粗な媒質である容器や管内の空気に進むとき、容器や管の壁の面に対する入射角が所定の角度以上となる紫外線は、容器や管の壁内で全反射するため、容器や管内に進入しない。このため、波長変換素子に全ての紫外線が入射し難くいため、必要な測定精度が得られない場合がある。しかし、容器内、または、容器が紫外線透過性を有する管に挿入されている場合は容器内及び管内に、空気より屈折率の大きい媒質が充填されていれば、全反射を抑制できるため、ほとんどの紫外線を容器内に進入させることができ、空間照度の絶対値の測定精度を向上できる。   Furthermore, when a medium having a refractive index larger than that of air is inserted into the container, or when the container is inserted into a tube having ultraviolet transparency, the container and the tube are filled. When the ultraviolet light travels from the container or tube wall, which is a denser medium, to the air in the container or tube, which is a coarser medium, the ultraviolet light whose incident angle with respect to the surface of the container or tube wall is a predetermined angle or more is Since it is totally reflected in the wall of the container or tube, it does not enter the container or tube. For this reason, since it is difficult for all ultraviolet rays to enter the wavelength conversion element, the required measurement accuracy may not be obtained. However, if the container or the container is inserted into a tube having ultraviolet transmissivity, total reflection can be suppressed if the container and the tube are filled with a medium having a higher refractive index than air. UV light can enter the container, and the measurement accuracy of the absolute value of the spatial illuminance can be improved.

また、本発明の空間照度の校正方法は、上記のような構成の空間照度測定装置を囲んだ状態で複数の校正用の紫外線ランプを設置して、これら複数の校正用の紫外線ランプを予め設定した異なる電力で点灯させたときの各電力に対応する照度または照度に対応する数値を検出部で検出し、さらに、波長変換素子及び光ファイバーを取り外した状態の閉塞部材を容器に取り付けた状態で、容器内に光感受性化合物を予め設定した量入れ、複数の校正用の紫外線ランプを予め設定した異なる電力で点灯させたときの各電力に対応する紫外線吸収による光感受性化合物の壊変量に基づいて各電力に対応する照度の値を検出し、検出部で検出した数値と光感受性化合物の壊変量に基づいて検出した照度の値との関係を求める校正方法とする。これにより、空間照度の校正が可能となるため、空間照度の絶対値を測定できる。   Further, the spatial illuminance calibration method of the present invention includes a plurality of calibration ultraviolet lamps installed in a state of surrounding the spatial illuminance measuring apparatus having the above-described configuration, and the plurality of calibration ultraviolet lamps are set in advance. The detection unit detects the illuminance corresponding to each power when lit with different power or a numerical value corresponding to the illuminance, and further, with the blocking member in a state where the wavelength conversion element and the optical fiber are removed attached to the container, A predetermined amount of the photosensitive compound is put in the container, and each of the calibration compounds based on the amount of decay of the photosensitive compound due to absorption of ultraviolet rays corresponding to each power when the plurality of calibration ultraviolet lamps are lit with different preset powers. The illuminance value corresponding to the electric power is detected, and the calibration method is used to obtain the relationship between the numerical value detected by the detection unit and the illuminance value detected based on the decay amount of the photosensitive compound. Thereby, since calibration of spatial illuminance is possible, the absolute value of spatial illuminance can be measured.

本発明によれば、空間照度の絶対値を測定できる。   According to the present invention, the absolute value of spatial illuminance can be measured.

以下、本発明を適用してなる空間照度測定装置及び空間照度の校正方法の一実施形態について図1乃至図8を参照して説明する。図1は、本発明を適用してなる空間照度測定装置の波長変換素子側の部分の概略構成を示す断面図である。図2は、本発明を適用してなる空間照度測定装置の検出部側の部分の概略構成を示す断面図である。図3は、本発明を適用してなる空間照度測定装置を備えた紫外線処理装置の概略構成を示す断面図である。図4は、本発明を適用してなる紫外線処理装置の概略構成を示す上面図である。図5は、本発明を適用してなる紫外線処理装置のワイパー機構の、保護管を払拭するワイパー部分の概略構成を示す断面図である。図6は、本発明を適用してなる空間照度測定装置において、校正時に容器内に光感受性化合物を入れた状態を示す断面図である。図7は、図6のVII?VII線からの矢視断面図である。図8は、本発明を適用してなる空間照度の校正方法における光感受性化合物によって測定した空間照度と光電変換アンプ電圧の測定値との関係の一例を示す図である。   Hereinafter, an embodiment of a spatial illuminance measuring apparatus and a spatial illuminance calibration method to which the present invention is applied will be described with reference to FIGS. 1 to 8. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a portion on the wavelength conversion element side of a spatial illuminance measuring apparatus to which the present invention is applied. FIG. 2 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a portion on the detection unit side of the spatial illuminance measuring apparatus to which the present invention is applied. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of an ultraviolet ray processing apparatus provided with a spatial illuminance measuring apparatus to which the present invention is applied. FIG. 4 is a top view showing a schematic configuration of an ultraviolet processing apparatus to which the present invention is applied. FIG. 5 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a wiper portion for wiping off a protective tube of a wiper mechanism of an ultraviolet treatment apparatus to which the present invention is applied. FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state in which a photosensitive compound is placed in a container at the time of calibration in a spatial illuminance measuring apparatus to which the present invention is applied. 7 is a cross-sectional view taken along line VII-VII in FIG. FIG. 8 is a diagram showing an example of the relationship between the spatial illuminance measured by the photosensitive compound and the measured value of the photoelectric conversion amplifier voltage in the spatial illuminance calibration method to which the present invention is applied.

本実施形態の空間照度測定装置1は、図1に示すように、紫外線を可視光に変換する波長変換素子3、波長変換素子3を内包する容器5、波長変換素子3からの可視光を伝達するための光ファイバー7、光ファイバー7の波長変換素子3と接続される側の端部に取り付けられた閉塞部材9などを備えている。紫外線センサー部2を構成する。さらに、空間照度測定装置1は、図2に示すように、光ファイバー7の波長変換素子3と接続される側の端部とは反対側の端部が接続され、光ファイバー7で伝達されてきた可視光を、この可視光の強度に対応する電圧値、つまり、紫外線の照度に対応する電圧値に変換する光電変換アンプ11などを備えている。この光電変換アンプ11が、本実施形態における紫外線の照度または照度に対応する値を検出する検出部となる。また、空間照度測定装置1は、図2及び図3に示すように、波長変換素子3、容器5、そして、閉塞部材9などからなるセンサー部12、さらに、光ファイバー7などを挿入した状態で設置される保護管13なども備えている。   As shown in FIG. 1, the spatial illuminance measuring apparatus 1 of the present embodiment transmits a wavelength conversion element 3 that converts ultraviolet light into visible light, a container 5 that contains the wavelength conversion element 3, and visible light from the wavelength conversion element 3. And a blocking member 9 attached to the end of the optical fiber 7 on the side connected to the wavelength conversion element 3. The ultraviolet sensor unit 2 is configured. Further, as shown in FIG. 2, the spatial illuminance measuring apparatus 1 is connected to the end of the optical fiber 7 opposite to the end connected to the wavelength conversion element 3, and is transmitted through the optical fiber 7. A photoelectric conversion amplifier 11 that converts light into a voltage value corresponding to the intensity of the visible light, that is, a voltage value corresponding to the illuminance of ultraviolet rays is provided. The photoelectric conversion amplifier 11 serves as a detection unit that detects the illuminance of ultraviolet rays or a value corresponding to the illuminance in the present embodiment. Further, as shown in FIGS. 2 and 3, the spatial illuminance measuring apparatus 1 is installed with the wavelength conversion element 3, the container 5, the sensor unit 12 including the closing member 9, and the optical fiber 7 inserted. The protective tube 13 to be used is also provided.

波長変換素子3は、図1に示すように、一方の端部が球状に形成されて受光部3aになっており、この球状の受光部3aから棒状の光伝達部3bが伸び、この光伝達部3bの端部つまり波長変換素子3の他方の棒状の端部が光ファイバー7の端部と光学的に接続されている。本実施形態の波長変換素子3は、1種または複数の蛍光材料を石英ガラスなどに混合した蛍光ガラスを主材料として形成したものである。波長変換素子3に含まれている蛍光材料は、紫外線ランプからの紫外線を可視光に変換する、例えば遷移金属蛍光体、希土類蛍光体、芳香族化合物、タングステン酸塩など、具体的には、例えばナフタレン、アントラセン、タングステン酸マグネシウム、硫化亜鉛、イットリウム化合物などの種々の蛍光材料から適宜選択することができる。   As shown in FIG. 1, the wavelength conversion element 3 has one end formed in a spherical shape to form a light receiving portion 3a, and a rod-shaped light transmitting portion 3b extends from the spherical light receiving portion 3a. The end of the portion 3 b, that is, the other rod-shaped end of the wavelength conversion element 3 is optically connected to the end of the optical fiber 7. The wavelength conversion element 3 of the present embodiment is formed by using as a main material fluorescent glass obtained by mixing one or more fluorescent materials into quartz glass or the like. The fluorescent material contained in the wavelength conversion element 3 converts ultraviolet rays from an ultraviolet lamp into visible light, such as transition metal phosphors, rare earth phosphors, aromatic compounds, tungstates, and specifically, It can be appropriately selected from various fluorescent materials such as naphthalene, anthracene, magnesium tungstate, zinc sulfide, and yttrium compound.

なお、波長変換素子は、蛍光材料をアクリルやポリカーボネートなどの合成樹脂などを混合して形成することもできる。さらに、波長変換素子は、蛍光材料が混合されていない石英ガラス製または合成樹脂製の波長変換素子基材の表層部に蛍光材料が混合された層を形成することや、また、これらの波長変換素子基材の表面に蛍光材料を塗布することなどで形成することもできる。また、波長変換素子の受光部と光伝達部は、同じ材料で形成することもできるし、例えば受光部は蛍光ガラスで、光伝達部は光学ガラスでといったように、異なる材料で形成することもできる。   The wavelength conversion element can also be formed by mixing a fluorescent material with a synthetic resin such as acrylic or polycarbonate. Furthermore, the wavelength conversion element is formed by forming a layer in which the fluorescent material is mixed on the surface layer portion of the wavelength conversion element substrate made of quartz glass or synthetic resin in which the fluorescent material is not mixed, and the wavelength conversion of these It can also be formed by applying a fluorescent material on the surface of the element substrate. In addition, the light receiving portion and the light transmission portion of the wavelength conversion element can be formed of the same material, for example, the light receiving portion can be formed of different materials such as fluorescent glass and the light transmission portion of optical glass. it can.

容器5は、一方の端部が開口し、他方の端部が閉塞された円筒状の容器であり、紫外線透過性の材料、例えば石英ガラスやテフロン(登録商標、以下同じ)樹脂などで形成されている。本実施形態の容器5では、閉塞された側の端部は半球状に形成されている。また、容器5の大きさは、波長変換素子3少なくとも受光部3の部分を内包可能な大きさであればよいが、本実施形態では、波長変換素子3全体を内包可能な大きさになっている。 The container 5 is a cylindrical container that is open at one end and closed at the other end, and is formed of an ultraviolet light transmissive material such as quartz glass or Teflon (registered trademark, hereinafter the same) resin. ing. In the container 5 of this embodiment, the closed end is formed in a hemispherical shape. In addition, the size of the container 5 is not limited as long as it can include at least the wavelength conversion element 3 and at least the light receiving unit 3. However, in this embodiment, the container 5 has a size that allows the entire wavelength conversion element 3 to be included. Yes.

光ファイバー7は、透明なガラス製または合成樹脂製であり、光ファイバー7を保護する保護チューブ15で覆われて光ファイバーコード16となっている。保護チューブ15の一方の端部つまり光ファイバー7の一方の端部には閉塞部材9が、保護チューブ15の他方の端部つまり光ファイバー7の他方の端部には、図2に示すように、光電変換アンプ11に光学的に接続するための入射フェルール17が、各々取り付けられている。本実施形態の保護チューブ15は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレス製である。しかし、光ファイバーコード16を形成するための保護チューブは、光ファイバー7を保護すると共に紫外線耐性や防食性などを有していれば、様々な金属製チューブまたは合成樹脂製チューブなどを用いることができる。   The optical fiber 7 is made of transparent glass or synthetic resin, and is covered with a protective tube 15 that protects the optical fiber 7 to form an optical fiber cord 16. A blocking member 9 is provided at one end of the protective tube 15, that is, one end of the optical fiber 7, and a photoelectric member is provided at the other end of the protective tube 15, that is, the other end of the optical fiber 7, as shown in FIG. An incident ferrule 17 for optically connecting to the conversion amplifier 11 is attached. The protective tube 15 of this embodiment is made of stainless steel having ultraviolet resistance, corrosion resistance, and the like. However, as the protective tube for forming the optical fiber cord 16, various metal tubes or synthetic resin tubes can be used as long as they protect the optical fiber 7 and have ultraviolet resistance and corrosion resistance.

閉塞部材9は、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有する合成樹脂などで形成したもので、円柱状の部分の一方の面の中央部分に2段階に細い径となる円柱状の突起9a、9bが、他方の面に容器5の開口に対応する形状の円環状の溝9cと、この円環状の溝9cの中央部分に円形の有底穴9dとが、各々円柱状の部分の各面と同軸で形成されている。また、閉塞部材9の突起9bの端面にも、この端面の中央部分に、有底穴9dに向かう有底穴9eが円柱状の部分の面と同軸で形成されている。さらに、閉塞部材9の有底穴9dの底と有底穴9eの底となる壁には、波長変換素子3の棒状の光伝達部3bを挿入可能な貫通穴9fが形成されている。さらに、閉塞部材9の有底穴9dの内周面及び有底穴9eの内周面には、各々、ねじが切られている。   The blocking member 9 is made of stainless steel, synthetic resin having ultraviolet resistance or corrosion resistance, etc., and a cylindrical projection 9a having a thin diameter in two steps at the center of one surface of the cylindrical portion, 9b has an annular groove 9c having a shape corresponding to the opening of the container 5 on the other surface, and a circular bottomed hole 9d in the central portion of the annular groove 9c. And is coaxial. Also, a bottomed hole 9e toward the bottomed hole 9d is formed on the end face of the projection 9b of the closing member 9 coaxially with the surface of the columnar part at the center of the end face. Further, a through-hole 9f into which the rod-shaped light transmission portion 3b of the wavelength conversion element 3 can be inserted is formed in the wall that becomes the bottom of the bottomed hole 9d and the bottomed hole 9e of the blocking member 9. Further, the inner peripheral surface of the bottomed hole 9d and the inner peripheral surface of the bottomed hole 9e of the closing member 9 are respectively threaded.

波長変換素子3の棒状の光伝達部3bには、波長変換素子3を閉塞部材9に取り付けるためのクランプ部材19が取り付けられている。クランプ部材19は、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有する合成樹脂などで形成したもので、円盤状の部分の両面の中央部に略円柱状の突起19a、19bが、円盤状の部分の各突起19a、19bが形成された面と同軸で形成された形状になっている。クランプ部材19の突起19aの端面から突起19bの端面側にかけての中心軸部分には、貫通穴19cが穿設されている。クランプ部材19の貫通穴19cは、直径が波長変換素子3の棒状の光伝達部3bと同じになっており、波長変換素子3の棒状の光伝達部3bがクランプ部材19の貫通穴19cに突起19b側から挿入された状態となっている。波長変換素子3の棒状の光伝達部3bの端部の端面は、クランプ部材19の突起19aから突出している。   A clamp member 19 for attaching the wavelength conversion element 3 to the closing member 9 is attached to the rod-shaped light transmission portion 3 b of the wavelength conversion element 3. The clamp member 19 is made of stainless steel, synthetic resin having ultraviolet resistance or corrosion resistance, and the like. The substantially cylindrical projections 19a and 19b are formed at the center of both sides of the disk-shaped part. The shape is formed coaxially with the surface on which the protrusions 19a and 19b are formed. A through hole 19c is formed in the central axis portion from the end face of the protrusion 19a of the clamp member 19 to the end face side of the protrusion 19b. The through hole 19c of the clamp member 19 has the same diameter as the rod-shaped light transmission portion 3b of the wavelength conversion element 3, and the rod-shaped light transmission portion 3b of the wavelength conversion element 3 projects into the through hole 19c of the clamp member 19. It is in a state of being inserted from the 19b side. The end surface of the end of the rod-shaped light transmission portion 3 b of the wavelength conversion element 3 protrudes from the protrusion 19 a of the clamp member 19.

クランプ部材19の突起19bの端面には、貫通穴19cよりも大きな径の有底穴19dが、貫通穴19cと同軸に形成されている。したがって、貫通穴19cの突起19bの端面側は、有底穴19dの底面の中心部分に開口している。クランプ部材19の突起19bの外周面には、ねじが切られている。そして、クランプ部材19の突起19bの有底穴19dに、波長変換素子3の棒状の光伝達部3bの外周面に密着するOリング21、クランプ部材19の突起19bに穿設された有底穴19dの底面にOリング21を押しつけるための筒状のOリング押さえ23を順に挿入した状態で、クランプ部材19の突起19bの外周面に切られたねじに対応するねじが内周面に切られ、中心軸部分に貫通穴が形成された断面略凹状のクランプシールナット25が螺合され、取り付けられている。したがって、波長変換素子3の棒状の光伝達部3bは、クランプシールナット25の貫通穴、Oリング押さえ23の貫通穴、Oリング21の穴、そして、クランプ部材19の貫通穴19cに送通された状態でクランプ部材19に固定されている。   A bottomed hole 19d having a diameter larger than the through hole 19c is formed on the end face of the protrusion 19b of the clamp member 19 coaxially with the through hole 19c. Therefore, the end surface side of the protrusion 19b of the through hole 19c is open to the center portion of the bottom surface of the bottomed hole 19d. The outer peripheral surface of the protrusion 19b of the clamp member 19 is threaded. Then, the bottomed hole 19d of the protrusion 19b of the clamp member 19 is in close contact with the outer peripheral surface of the rod-shaped light transmission portion 3b of the wavelength conversion element 3, and the bottomed hole is formed in the protrusion 19b of the clamp member 19 With the cylindrical O-ring press 23 for pressing the O-ring 21 pressed against the bottom surface of 19d in order, a screw corresponding to the screw cut on the outer peripheral surface of the protrusion 19b of the clamp member 19 is cut on the inner peripheral surface. A clamp seal nut 25 having a substantially concave cross section in which a through hole is formed in the central shaft portion is screwed and attached. Therefore, the rod-shaped light transmission part 3b of the wavelength conversion element 3 is sent to the through hole of the clamp seal nut 25, the through hole of the O-ring retainer 23, the hole of the O-ring 21, and the through hole 19c of the clamp member 19. In this state, it is fixed to the clamp member 19.

一方、クランプ部材19の突起19aは、閉塞部材9の有底穴9dに対応する形状に形成されており、突起19aの外周面には、閉塞部材9の有底穴9dの内周面に切られたねじに対応するねじが切られている。したがって、Oリング21、Oリング押さえ23、クランプシールナット25を組み付けて波長変換素子3を固定したクランプ部材19は、クランプ部材19の突起19aを閉塞部材9の有底穴9dに螺合させることで閉塞部材9に着脱可能に取り付けられる。このように、波長変換素子3は、棒状の光伝達部3bで片持ち支持された状態で、閉塞部材9に着脱可能に取り付けられている。
さらに、このようにクランプ部材19を閉塞部材9に取り付けることにより、波長変換素子3の棒状の光伝達部3bの端面が閉塞部材9の貫通穴9fに挿入された状態となる。なお、波長変換素子3の棒状の光伝達部3bの端部の端面部分は、クランプ部材19の突起19aから、閉塞部材9の貫通穴9fの長さの分だけ突出しているため、波長変換素子3の棒状の光伝達部3bは、閉塞部材9の中心軸に沿って延在し、波長変換素子3の棒状の光伝達部3bの端面は、閉塞部材9の有底穴9eの底面と同じ位置に来る。
On the other hand, the protrusion 19a of the clamp member 19 is formed in a shape corresponding to the bottomed hole 9d of the closing member 9, and the outer peripheral surface of the protrusion 19a is cut to the inner peripheral surface of the bottomed hole 9d of the closing member 9. The corresponding screw is cut. Therefore, the clamp member 19 to which the wavelength conversion element 3 is fixed by assembling the O-ring 21, the O-ring presser 23, and the clamp seal nut 25 causes the protrusion 19 a of the clamp member 19 to be screwed into the bottomed hole 9 d of the closing member 9. Is attached to the closing member 9 in a detachable manner. Thus, the wavelength conversion element 3 is detachably attached to the closing member 9 in a state where it is cantilevered by the rod-shaped light transmission part 3b.
Furthermore, by attaching the clamp member 19 to the blocking member 9 in this way, the end surface of the rod-shaped light transmission portion 3 b of the wavelength conversion element 3 is inserted into the through hole 9 f of the blocking member 9. Note that the end face portion of the end of the rod-shaped light transmission portion 3b of the wavelength conversion element 3 protrudes from the protrusion 19a of the clamp member 19 by the length of the through hole 9f of the blocking member 9, so that the wavelength conversion element 3 is extended along the central axis of the blocking member 9, and the end surface of the rod-shaped light transmitting portion 3 b of the wavelength conversion element 3 is the same as the bottom surface of the bottomed hole 9 e of the blocking member 9. Come in position.

容器5は、開口側の端部に、この開口側の端部の外周面を覆う略筒状のシールグラウンド27が、この外周面に密着した状態で取り付けられている。シールグラウンド27は、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有する合成樹脂などで形成したもので、容器5の開口側と反対側に位置する端部が鍔状に張り出した形状になっている。容器5の開口側の端部の端面は、シールグラウンド27から突出した状態になっている。閉塞部材9に形成された容器5の開口に対応する形状の円環状の溝9cは、容器5の開口側の端部とシールグラウンド27を嵌合可能な形状、大きさに形成されている。さらに、シールグラウンド27の外周面及び閉塞部材9の円環状の溝9のシールグラウンド27側の内周面には、互いに対応するねじが切られている。   The container 5 is attached to an end portion on the opening side in a state where a substantially cylindrical seal ground 27 covering the outer peripheral surface of the end portion on the opening side is in close contact with the outer peripheral surface. The seal ground 27 is formed of stainless steel, synthetic resin having UV resistance, corrosion resistance, or the like, and has a shape in which an end located on the side opposite to the opening side of the container 5 projects like a bowl. The end surface of the end portion on the opening side of the container 5 is in a state of protruding from the seal ground 27. An annular groove 9c having a shape corresponding to the opening of the container 5 formed in the closing member 9 is formed in a shape and size capable of fitting the end portion on the opening side of the container 5 and the seal ground 27. Further, the outer peripheral surface of the seal ground 27 and the inner peripheral surface on the seal ground 27 side of the annular groove 9 of the closing member 9 are threaded corresponding to each other.

そして、容器5は、容器5の開口側の端部のシールグラウンド27から突出した部分の大きさに対応するOリング29をこの部分の外周面に装着した状態で、シールグラウンド27の外周面のねじと閉塞部材9の円環状の溝9の内周面のねじとを螺合させることにより、容器5の開口側の端部とシールグラウンド27が閉塞部材9の円環状の溝9cに嵌合され、片側封じ状態で閉塞部材9に着脱可能に取り付けられる。このとき、シールグラウンド27の容器5の開口側の端面と閉塞部材9の円環状の溝9cの底面との間にOリング29が挟み込まれることにより、容器5は、閉塞部材9に気密に取り付けられた状態となる。なお、本実施形態では、容器5の内部には、乾燥空気又は窒素ガスが満たされた状態になっている。   And the container 5 is the state of the outer peripheral surface of the seal ground 27 with the O-ring 29 corresponding to the size of the portion protruding from the seal ground 27 at the end of the opening side of the container 5 attached to the outer peripheral surface of this portion. By screwing the screw and the screw on the inner peripheral surface of the annular groove 9 of the closing member 9, the end portion on the opening side of the container 5 and the seal ground 27 are fitted into the annular groove 9 c of the closing member 9. And is detachably attached to the closing member 9 in a sealed state on one side. At this time, the O-ring 29 is sandwiched between the end surface of the seal ground 27 on the opening side of the container 5 and the bottom surface of the annular groove 9 c of the closing member 9, so that the container 5 is attached to the closing member 9 in an airtight manner. It will be in the state. In the present embodiment, the container 5 is filled with dry air or nitrogen gas.

光ファイバーコード16の閉塞部材9側の端部、つまり、光ファイバー7の閉塞部材9側の端部には、保護チューブ15を覆った状態で外周面にねじが切られた筒状のねじ部31が設けられている。そして、保護チューブ15で覆われた光ファイバー7の閉塞部材9側の端部の端面は、ねじ部31から突出した状態になっている。本実施形態のねじ部31は、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有するステンレス製である。しかし、光ファイバーコード16のねじ部は、外周面にねじを切ることができ、紫外線耐性や防食性などを有していれば、様々な金属または合成樹脂などを用いて形成することができる。   At the end of the optical fiber cord 16 on the closing member 9 side, that is, the end of the optical fiber 7 on the closing member 9 side, there is a cylindrical threaded portion 31 whose outer peripheral surface is threaded with the protective tube 15 covered. Is provided. The end surface of the end of the optical fiber 7 covered with the protective tube 15 on the side of the closing member 9 is in a state of protruding from the screw portion 31. The thread portion 31 of the present embodiment is made of stainless steel, stainless steel having ultraviolet resistance, corrosion resistance, and the like. However, the thread portion of the optical fiber cord 16 can be formed by using various metals or synthetic resins as long as the outer peripheral surface can be threaded and has ultraviolet resistance, corrosion resistance, or the like.

閉塞部材9に穿設された有底穴9eの内周面には、光ファイバーコード16のねじ部31に切られたねじに対応するねじが切られている。したがって、閉塞部材9の有底穴9eに光ファイバーコード16のねじ部31を螺合させることで、光ファイバーコード16の端部つまり光ファイバー7の端部に閉塞部材9を取り付けることができる。このとき、光ファイバーコード16のねじ部31のねじが切られた外周面にシール材を塗布して閉塞部材9の有底穴9eに螺合する。これにより、容器5内へ湿気が侵入しないようシールした状態で光ファイバーコード16の端部に閉塞部材9を取り付けることができる。なお、シール材を塗布する代わりにシールテープなどを巻くことなどもできる。また、このとき、光ファイバー7は、閉塞部材9の中心軸に沿って延在し、光ファイバー7の端面は、閉塞部材9の有底穴9eの底面と同じ位置に来る。   A screw corresponding to the screw cut in the screw portion 31 of the optical fiber cord 16 is cut on the inner peripheral surface of the bottomed hole 9 e formed in the closing member 9. Therefore, the closing member 9 can be attached to the end of the optical fiber cord 16, that is, the end of the optical fiber 7 by screwing the threaded portion 31 of the optical fiber cord 16 into the bottomed hole 9 e of the closing member 9. At this time, a sealing material is applied to the threaded outer peripheral surface of the threaded portion 31 of the optical fiber cord 16 and screwed into the bottomed hole 9 e of the closing member 9. As a result, the closing member 9 can be attached to the end of the optical fiber cord 16 in a sealed state so that moisture does not enter the container 5. Note that a sealing tape or the like can be wound instead of applying the sealing material. At this time, the optical fiber 7 extends along the central axis of the closing member 9, and the end surface of the optical fiber 7 comes to the same position as the bottom surface of the bottomed hole 9 e of the closing member 9.

このように、閉塞部材9の有底穴9eに光ファイバーコード16のねじ部31を螺合し、閉塞部材9の有底穴9dにクランプ部材19の突起19aを螺合することで、光ファイバー7の軸芯と波長変換素子3の棒状の光伝達部3bの軸芯とを一致させて当接させ、光ファイバー7と波長変換素子3とを光学的に接続することができる。さらに、光ファイバーコード16のねじ部31は、シール剤の塗布などにより閉塞部材9の有底穴9eにシールされた状態で取り付けられ、容器5は、Oリング29などにより閉塞部材9の円環状の溝9cにシールされた状態で取り付けられている。このため、容器5内へ湿気が侵入するのを防ぐことができ、容器5内への湿気の侵入による照度の測定精度の低下を抑制している。   In this way, the screw portion 31 of the optical fiber cord 16 is screwed into the bottomed hole 9e of the closing member 9, and the protrusion 19a of the clamp member 19 is screwed into the bottomed hole 9d of the closing member 9, thereby The optical fiber 7 and the wavelength conversion element 3 can be optically connected by causing the axial core and the axial core of the rod-shaped light transmission part 3 b of the wavelength conversion element 3 to be in contact with each other. Furthermore, the threaded portion 31 of the optical fiber cord 16 is attached in a state where it is sealed in the bottomed hole 9e of the closing member 9 by application of a sealing agent or the like, and the container 5 is attached to the annular shape of the closing member 9 by an O-ring 29 or the like. It is attached in a sealed state in the groove 9c. For this reason, it is possible to prevent moisture from entering the container 5, and to suppress a decrease in illuminance measurement accuracy due to the intrusion of moisture into the container 5.

閉塞部材9は、閉塞部材9の突起9bの外周面にはねじが切られており、この閉塞部材9の突起9bの外周面に切られたねじに対応するねじが一方の端部の内周面に切られた直管状の閉塞部材支持ロッド33の一方の端部に取り付けられている。つまり、閉塞部材支持ロッド33の内径は、閉塞部材9の突起9bの外径に対応する径になっており、閉塞部材支持ロッド33の内周面のねじに閉塞部材9の突起9bの外周面のねじを螺合させることで、閉塞部材9は、閉塞部材支持ロッド33の一方の端部に取り付けられている。閉塞部材支持ロッド33は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレスなどの金属や合成樹脂などで形成したもので、閉塞部材9が取り付けられたとき、閉塞部材支持ロッド33の環状の一方の端部の端面は、閉塞部材9の突起9aの、突起9bの周囲の端面に当接する。なお、光ファイバーコード16は、直環状の閉塞部材支持ロッド33内に挿通されている。   The closing member 9 is threaded on the outer peripheral surface of the protrusion 9b of the closing member 9, and the screw corresponding to the screw cut on the outer peripheral surface of the protrusion 9b of the closing member 9 is the inner periphery of one end. It is attached to one end of a straight tubular blocking member support rod 33 cut into a surface. That is, the inner diameter of the closing member support rod 33 is a diameter corresponding to the outer diameter of the protrusion 9 b of the closing member 9, and the outer peripheral surface of the protrusion 9 b of the closing member 9 is connected to the screw on the inner peripheral surface of the closing member support rod 33. The closing member 9 is attached to one end of the closing member support rod 33 by screwing the screws. The closing member support rod 33 is formed of a metal such as stainless steel having ultraviolet resistance or corrosion resistance, or a synthetic resin. When the closing member 9 is attached, one end of the annular shape of the closing member support rod 33 is formed. The end face of the projection abuts against the end face of the projection 9a of the closing member 9 around the projection 9b. The optical fiber cord 16 is inserted into a straight annular closing member support rod 33.

ところで、本実施形態の空間照度測定装置1は、図2及び図3に示すように、光ファイバーコード16の光ファイバー7で伝達されてきた可視光を対応する電圧値に変換する光電変換アンプ11や、センサー部12、光ファイバーコード16、そして、閉塞部材支持ロッド33などを挿入した状態で設置される保護管13なども備えている。波長変換素子3、容器5、そして、閉塞部材9などからなるセンサー部12は、直管状の保護管13のほぼ中央部に位置しており、光ファイバーコード16や閉塞部材支持ロッド33などは、保護管13の光電変換アンプ11が設置された側の端部に向かって延在している。そして、閉塞部材支持ロッド33は、保護管13に同軸に挿入されている。保護管13は、紫外線透過性の材料、例えば石英ガラスやテフロン樹脂などで形成されている。なお、本実施形態の保護管13は、空間照度測定装置1を設置する紫外線処理装置に設けられた紫外線ランプを挿入する保護管と同じ形状、大きさのものが用いられている。   By the way, as shown in FIGS. 2 and 3, the spatial illuminance measuring apparatus 1 of the present embodiment includes a photoelectric conversion amplifier 11 that converts visible light transmitted through the optical fiber 7 of the optical fiber cord 16 into a corresponding voltage value, The sensor unit 12, the optical fiber cord 16, and the protective tube 13 installed with the closing member support rod 33 inserted therein are also provided. The sensor unit 12 including the wavelength conversion element 3, the container 5, the closing member 9 and the like is located at a substantially central portion of the straight tubular protection tube 13, and the optical fiber cord 16 and the closing member support rod 33 are protected. The tube 13 extends toward the end portion on the side where the photoelectric conversion amplifier 11 is installed. The closing member support rod 33 is inserted coaxially into the protective tube 13. The protective tube 13 is made of an ultraviolet light transmissive material such as quartz glass or Teflon resin. Note that the protective tube 13 of the present embodiment has the same shape and size as the protective tube into which the ultraviolet lamp provided in the ultraviolet processing device in which the spatial illuminance measuring device 1 is installed is inserted.

閉塞部材支持ロッド33の他方の端部は、保護管13の光電変換アンプ11が設置された側の端部に設けられた閉塞部材支持ロッド固定座35に固定されている。閉塞部材支持ロッド固定座35は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレスなどの金属や合成樹脂などで形成したもので、片方の端部が閉塞された断面が凹形状の円筒状の部材である。閉塞部材支持ロッド固定座35は、保護管13の光電変換アンプ11が設置された側の端部に取り付けられた略筒状の保護管スリーブシールナツト37の端部に被せた状態で設置されている。   The other end of the blocking member support rod 33 is fixed to a blocking member support rod fixing seat 35 provided at the end of the protective tube 13 on the side where the photoelectric conversion amplifier 11 is installed. The closing member support rod fixing seat 35 is formed of a metal such as stainless steel having ultraviolet resistance or corrosion resistance, or a synthetic resin, and is a cylindrical member having a concave cross section with one end closed. . The closing member support rod fixing seat 35 is installed in a state of covering the end of a substantially cylindrical protective tube sleeve seal nut 37 attached to the end of the protective tube 13 on the side where the photoelectric conversion amplifier 11 is installed. Yes.

保護管スリーブシールナツト37は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレスなどの金属や合成樹脂などで形成したもので、保護管13の光電変換アンプ11が設置された側の端部の外周面を覆い、この保護管13の端部の端面よりも突出した状態で保護管13の端部に取り付けられている。そして、閉塞部材支持ロッド固定座35は、保護管スリーブシールナット37の保護管13の端面よりも突出した側の端部に被せた状態で設置されている。閉塞部材支持ロッド33は、閉塞部材支持ロッド33の端部が、このような保護管スリーブシールナツト37を介して保護管13に取り付けられた閉塞部材支持ロッド固定座35の端部を閉塞する円形の壁の面の中心部に形成された貫通穴に挿入され、この円形の壁の面に対して垂直に延在する状態で固定されている。これにより、閉塞部材支持ロッド固定座35に閉塞部材支持ロッド33を介して固定されたセンサー部12は、このセンサー部12の保護管13への着脱を繰り返しても、波長変換素子3の受光部3aに入射する光量が一定になるようになっている。   The protective tube sleeve seal nut 37 is made of a metal such as stainless steel having ultraviolet resistance or corrosion resistance, or a synthetic resin, and the outer peripheral surface of the end portion of the protective tube 13 on the side where the photoelectric conversion amplifier 11 is installed. The cover is attached to the end of the protective tube 13 in a state of protruding from the end surface of the end of the protective tube 13. The blocking member support rod fixing seat 35 is installed in a state of covering the end portion of the protective tube sleeve seal nut 37 on the side protruding from the end surface of the protective tube 13. The closing member support rod 33 has a circular shape in which the end portion of the closing member support rod 33 closes the end portion of the closing member support rod fixing seat 35 attached to the protective tube 13 via the protective tube sleeve seal nut 37. It is inserted into a through-hole formed in the center of the wall surface of the wall, and is fixed in a state extending perpendicularly to the surface of the circular wall. As a result, even if the sensor unit 12 fixed to the blocking member support rod fixing seat 35 via the blocking member support rod 33 is repeatedly attached to and detached from the protective tube 13, the light receiving unit of the wavelength conversion element 3. The amount of light incident on 3a is constant.

本実施形態の検出部となる光電変換アンプ11は、閉塞部材支持ロッド固定座35の円形の壁の外面側に固定リブ39を介して固定されている。光ファイバーコード16のセンサー部12と反対側の端部には、光ファイバー7を光電変換アンプ11に光学的に接続するための入射フェルール17が設けられている。入射フェルール17は、閉塞部材支持ロッド固定座35のセンサー部12と反対側の端部の開口を閉塞する栓41に挿通された状態で閉塞部材支持ロッド固定座35内から外に突出し、光電変換アンプ11に接続され、光電変換アンプ11内に設置されている図示していない可視光受光素子、例えば可視光用シリコンフォトダイオードや光電管などとに光学的に接続されている。   The photoelectric conversion amplifier 11 serving as the detection unit of the present embodiment is fixed to the outer surface side of the circular wall of the closing member support rod fixing seat 35 via a fixing rib 39. An incident ferrule 17 for optically connecting the optical fiber 7 to the photoelectric conversion amplifier 11 is provided at the end of the optical fiber cord 16 opposite to the sensor unit 12. The incident ferrule 17 protrudes from the inside of the closing member support rod fixing seat 35 in a state of being inserted through a plug 41 that closes the opening of the end portion on the opposite side of the sensor portion 12 of the closing member support rod fixing seat 35, and is subjected to photoelectric conversion. It is connected to the amplifier 11 and is optically connected to a visible light receiving element (not shown) installed in the photoelectric conversion amplifier 11, for example, a visible light silicon photodiode or a photoelectric tube.

光電変換アンプ11は、前述のように、図示していない可視光受光素子や、この可視光受光素子で発生した電気信号を増幅する図示していない増幅回路、光電変換アンプ11に電力を供給するための電源ケーブルや紫外線ランプの照度または紫外線ランプの照度に対応する電圧値などを表示するための図示していない表示器などに電気信号を出力するための出力ケーブルなどをまとめたケーブル43などを有している。   As described above, the photoelectric conversion amplifier 11 supplies power to a visible light receiving element (not shown), an amplification circuit (not shown) that amplifies an electric signal generated by the visible light receiving element, and the photoelectric conversion amplifier 11. For example, a power supply cable, an illuminance of an ultraviolet lamp, a voltage 43 corresponding to the illuminance of an ultraviolet lamp, an output cable for outputting an electrical signal, etc. for displaying a voltage value corresponding to the illuminance of the ultraviolet lamp, etc. Have.

ここで、空間照度測定装置1の設置例として、水中の微生物の殺滅や有機物質の酸化処理を行なう紫外線処理装置45に設置した場合について説明する。紫外線処理装置45は、図3及び図4に示すように、被処理水が通流する縦型の処理槽47中に、処理槽47の延在方向に沿ってつまり縦方向に直管状のランプ保護管49内に挿入された状態の紫外線ランプ51が複数設置されている。ランプ保護管49は、保護管13と同様に、紫外線透過性の材料、例えば石英ガラスやテフロン樹脂などで形成されており、ランプ保護管49と保護管13とは、同じ形状及び大きさのものである。処理槽47は、防食性の材料、例えばステンレスやアルミニウムなどの金属などで形成され、両端部にフランジを有する略円筒状の胴部47aの上部開口及び底部開口を円盤状の天板47b及び底板47cをフランジにボルト52などによって固定することで、略円筒状の胴部47aの両端部の開口を閉塞した構造になっている。   Here, as an installation example of the spatial illuminance measuring apparatus 1, a case where it is installed in an ultraviolet treatment apparatus 45 that performs killing of microorganisms in water and oxidation treatment of organic substances will be described. As shown in FIGS. 3 and 4, the ultraviolet treatment device 45 is a straight tube lamp in the vertical treatment tank 47 through which the water to be treated flows, along the extending direction of the treatment tank 47, that is, in the vertical direction. A plurality of ultraviolet lamps 51 inserted in the protective tube 49 are installed. Like the protective tube 13, the lamp protective tube 49 is made of an ultraviolet light transmissive material such as quartz glass or Teflon resin. The lamp protective tube 49 and the protective tube 13 have the same shape and size. It is. The processing tank 47 is made of an anticorrosive material, for example, a metal such as stainless steel or aluminum, and the upper opening and the bottom opening of a substantially cylindrical body 47a having flanges at both ends thereof are formed in a disk-like top plate 47b and a bottom plate. By fixing 47c to the flange with a bolt 52 or the like, the opening at both ends of the substantially cylindrical body portion 47a is closed.

天板47b及び底板47cには、各々の対応する位置に、天板47b及び底板47cの中心軸を囲む2重の同心円を描く位置に等間隔で複数の円筒状のニップル53が、天板47b及び底板47cを貫通し、天板47b及び底板47cから外側に突出した状態で設置されている。天板47b及び底板47cの対応する位置にある各々のニップル53内にランプ保護管49の端部が挿入され、ニップル53及びランプ保護管49の端部の面にOリング55を押しつけた状態で、ニップル53の天板47b及び底板47cから外側に突出した端部に、断面が凹字形状のシールナット57が被せてある。これにより、ランプ保護管49内は、湿気などの進入を防ぐように気密に密閉された状態になっている。なお、ランプ保護管49に挿入された紫外線ランプ51は、シールナット57内の空間に設置された図示していないソケットなどに口金が接続されることで、ランプ保護管49内に支持されている。   The top plate 47b and the bottom plate 47c are respectively provided with a plurality of cylindrical nipples 53 at equal intervals at positions corresponding to the double concentric circles surrounding the central axes of the top plate 47b and the bottom plate 47c. And it penetrates the bottom plate 47c and is installed in a state of protruding outward from the top plate 47b and the bottom plate 47c. The end portions of the lamp protection tube 49 are inserted into the nipples 53 at the corresponding positions of the top plate 47b and the bottom plate 47c, and the O-ring 55 is pressed against the end surfaces of the nipple 53 and the lamp protection tube 49. The end of the nipple 53 protruding outward from the top plate 47b and the bottom plate 47c is covered with a seal nut 57 having a concave cross section. Thereby, the inside of the lamp protection tube 49 is hermetically sealed so as to prevent entry of moisture and the like. The ultraviolet lamp 51 inserted into the lamp protection tube 49 is supported in the lamp protection tube 49 by connecting a base to a socket (not shown) installed in the space inside the seal nut 57. .

一方、天板47b及び底板47cの中心軸の位置にも、図2及び図3に示すように、各々、円筒状のニップル53が、天板47b及び底板47cを貫通し、天板47b及び底板47cから外側に突出した状態で設置されている。この天板47b及び底板47cの中心軸の位置に設置されたニップル53内には、空間照度測定装置1の保護管13の端部が挿入されている。天板47bに設けられたニップル53では、ニップル53の端面及び保護管13のニップル53から突出した端部の部分の外周面にOリング55を押しつけた状態で、このニップル53の天板47bから外側に突出した端部に、円筒状の保護管スリーブシールナツト37が取り付けられ、保護管スリーブシールナツト37に閉塞部材支持ロッド固定座35が被せてある。底板47cに設けられたニップル53では、ランプ保護管49の場合と同様に、Oリング55を押しつけた状態でシールナット57が被せてある。   On the other hand, as shown in FIGS. 2 and 3, cylindrical nipples 53 penetrate the top plate 47b and the bottom plate 47c, respectively, at the positions of the central axes of the top plate 47b and the bottom plate 47c. It is installed in a state of protruding outward from 47c. The end of the protective tube 13 of the spatial illuminance measuring apparatus 1 is inserted into the nipple 53 installed at the position of the central axis of the top plate 47b and the bottom plate 47c. In the nipple 53 provided on the top plate 47b, the O-ring 55 is pressed against the outer peripheral surface of the end surface of the nipple 53 and the end portion protruding from the nipple 53 of the protective tube 13, and the top plate 47b of the nipple 53 A cylindrical protective tube sleeve seal nut 37 is attached to the end protruding outward, and the protective tube sleeve seal nut 37 is covered with a closing member support rod fixing seat 35. In the nipple 53 provided on the bottom plate 47 c, as in the case of the lamp protection tube 49, a seal nut 57 is covered with the O-ring 55 pressed.

このように、紫外線処理装置45には、図3に示すように、上下方向に延在する複数本の紫外線ランプ51に囲まれた状態で、空間照度測定装置1が設置されている。また、紫外線処理装置45は、処理槽47の下端部側と上端部側に、各々、被処理水を処理槽47に流入させるための流入口部47d、被処理水を処理槽47から流出させるための流出口部47eを有し、さらに、天板47bの外面側を覆うカバー47f、処理槽47を支持する台座部58、図示していない紫外線ランプ51の点灯の制御部などを有している。また、本実施形態の紫外線処理装置45は、図3及び図5に示すように、ランプ保護管49及び空間照度測定装置1の保護管13の外表面に汚れなどが付くことにより紫外線の照射能力や照度の測定精度が低下するのを防ぐため、図示していない駆動部により、処理槽47内を上下動してランプ保護管49及び空間照度測定装置1の保護管13の外表面の汚れを払拭するワイパー59を有するワイパー機構を備えている。   Thus, as shown in FIG. 3, the spatial illuminance measuring device 1 is installed in the ultraviolet processing device 45 in a state surrounded by a plurality of ultraviolet lamps 51 extending in the vertical direction. In addition, the ultraviolet treatment device 45 causes an inlet portion 47 d for allowing the water to be treated to flow into the treatment tank 47 and the water to be treated flow out from the treatment tank 47 on the lower end side and the upper end side of the treatment tank 47, respectively. A cover 47f that covers the outer surface of the top plate 47b, a pedestal 58 that supports the processing tank 47, a lighting control unit for the ultraviolet lamp 51 (not shown), and the like. Yes. Further, as shown in FIGS. 3 and 5, the ultraviolet treatment device 45 of the present embodiment has a capability of irradiating ultraviolet rays by attaching dirt or the like to the outer surfaces of the lamp protective tube 49 and the protective tube 13 of the spatial illuminance measuring device 1. In order to prevent the measurement accuracy of illuminance from deteriorating, the drive unit (not shown) moves up and down in the processing tank 47 to stain the outer surface of the lamp protective tube 49 and the protective tube 13 of the spatial illuminance measuring device 1. A wiper mechanism having a wiper 59 for wiping is provided.

ワイパー機構のワイパー59は、弾性を有すると共に紫外線耐性や防食性などを有するゴムなどの樹脂や合成樹脂などで形成されており、ランプ保護管49及び空間照度測定装置1の保護管13の外表面に接触する環状に形成されている。なお、ワイパー機構のワイパーは、ステンレスブラシなど適宜の材料で形成することができる。また、ワイパー機構のワイパー59は、図示していない駆動部に連結されて処理槽47内を上下動するワイパー保持フレーム61によって保持されている。ワイパー機構のワイパー保持フレーム61は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレスなどの金属や合成樹脂などで形成されている。このように、本実施形態の空間照度測定装置1では、紫外線処理装置45に設置されたランプ保護管49に対応する形状の保護管13を用いており、紫外線処理装置45に空間照度測定装置1の保護管13をランプ保護管49と平行に設置している。このため、紫外線処理装置で一般的に用いられているワイパー機構を利用して、空間照度測定装置1の保護管13の外表面の汚れなどを払拭することができる。   The wiper 59 of the wiper mechanism is formed of a resin such as rubber or a synthetic resin that has elasticity and has ultraviolet resistance and corrosion resistance, and the outer surface of the lamp protection tube 49 and the protection tube 13 of the spatial illuminance measuring device 1. It is formed in an annular shape that comes into contact with. The wiper of the wiper mechanism can be formed of an appropriate material such as a stainless brush. The wiper 59 of the wiper mechanism is held by a wiper holding frame 61 that is connected to a driving unit (not shown) and moves up and down in the processing tank 47. The wiper holding frame 61 of the wiper mechanism is formed of a metal such as stainless steel or a synthetic resin having ultraviolet resistance and corrosion resistance. Thus, in the spatial illuminance measuring apparatus 1 of the present embodiment, the protective tube 13 having a shape corresponding to the lamp protective tube 49 installed in the ultraviolet processing apparatus 45 is used, and the spatial illuminance measuring apparatus 1 is included in the ultraviolet processing apparatus 45. The protective tube 13 is installed in parallel with the lamp protective tube 49. For this reason, dirt on the outer surface of the protective tube 13 of the spatial illuminance measuring apparatus 1 can be wiped off by using a wiper mechanism that is generally used in an ultraviolet treatment apparatus.

このような本実施形態の空間照度測定装置1の動作や校正方法、本発明の特徴部などについて説明する。紫外線処理装置45の紫外線ランプ51から照射される紫外線は、空間照度測定装置1の保護管13そして容器5を透過し、容器5内の波長変換素子3の受光部3aに入射する。波長変換素子3は、含有する蛍光材料の紫外線励起により発光し、可視光に変換される。波長変換素子3で発生した可視光は、光伝達部3bを介して光ファイバー7へ入射し、光ファイバーコード16の光ファイバー7を通って光電変換アンプ11へ伝達される。光電変換アンプ11に伝達された可視光は、図示していない可視光受光素子によって可視光の照度、すなわち紫外線の照度に応じた電気信号として、図示していない紫外線照度指示計に出力される。本実施形態の光電変換アンプ11は、紫外線処理装置45が有する紫外線ランプ51の紫外線照射による紫外線の空間照度に応じた値の電圧を電気信号として出力する。このとき、本実施形態の空間照度測定装置1は校正が行われているため、空間照度測定装置1が出力する電圧値は、紫外線の空間照度の絶対値に対応するものである。   The operation and calibration method of the spatial illuminance measuring apparatus 1 of the present embodiment as described above, the characteristic part of the present invention, and the like will be described. The ultraviolet rays irradiated from the ultraviolet lamp 51 of the ultraviolet processing device 45 pass through the protective tube 13 and the container 5 of the spatial illuminance measuring device 1 and enter the light receiving part 3 a of the wavelength conversion element 3 in the container 5. The wavelength conversion element 3 emits light by ultraviolet excitation of the contained fluorescent material and is converted into visible light. Visible light generated by the wavelength conversion element 3 is incident on the optical fiber 7 through the light transmission unit 3 b and is transmitted to the photoelectric conversion amplifier 11 through the optical fiber 7 of the optical fiber cord 16. The visible light transmitted to the photoelectric conversion amplifier 11 is output to an ultraviolet illuminance indicator (not shown) as an electric signal corresponding to the illuminance of visible light, that is, the illuminance of ultraviolet rays, by a visible light receiving element (not shown). The photoelectric conversion amplifier 11 according to the present embodiment outputs a voltage having a value corresponding to the spatial illuminance of ultraviolet rays by ultraviolet irradiation of the ultraviolet lamp 51 included in the ultraviolet processing device 45 as an electrical signal. At this time, since the spatial illuminance measurement apparatus 1 of the present embodiment is calibrated, the voltage value output by the spatial illuminance measurement apparatus 1 corresponds to the absolute value of the spatial illuminance of ultraviolet rays.

ここで、紫外線殺菌装置や促進酸化装置などの紫外線処理装置における紫外線の照射量は、例えば紫外線処理装置45の場合、処理槽47内の体積平均照度(W/m)*照射時間(秒)により算出される。体積平均照度は、空間照度を処理槽47内の全体積で平均したものであるため、体積平均照度を求めるには、空間照度の絶対値を測定する必要がある。そして、空間照度の絶対値を測定するためには、空間照度測定装置を校正する必要がある。空間照度は、微小球体の表面積をdSとし、この表面積dSに入射する紫外線光束をdΦとすれば、空間照度=dΦ/dSで表されるため、空間照度測定装置を校正するには、微小球体へ入射する光量を測定する必要がある。 Here, the irradiation amount of ultraviolet rays in an ultraviolet treatment apparatus such as an ultraviolet sterilization apparatus or an accelerated oxidation apparatus is, for example, in the case of the ultraviolet treatment apparatus 45, volume average illuminance (W / m 2 ) in the treatment tank 47 * irradiation time (seconds). Is calculated by Since the volume average illuminance is an average of the spatial illuminance by the entire volume in the processing tank 47, it is necessary to measure the absolute value of the spatial illuminance in order to obtain the volume average illuminance. In order to measure the absolute value of the spatial illuminance, it is necessary to calibrate the spatial illuminance measuring apparatus. The spatial illuminance is represented by the spatial illuminance = dΦ / dS, where dS is the surface area of the microsphere and dΦ is the ultraviolet light flux incident on the surface area dS. It is necessary to measure the amount of light incident on.

また、空間照度測定装置1の波長変換素子3の形成に用いたような蛍光ガラスは、紫外線を吸収して可視光を発するが、その総合変換率は、センサー部12の構造や形態、さらに、波長変換素子3と光ファイバー7、光ファイバー7と光電変換アンプ11などの接続損失のばらつきにより個体差が生じる。こような、個体差が存在しても、信頼がおける空間照度の絶対値を測定できるようにするためにも、校正の必要がある。   In addition, the fluorescent glass used for forming the wavelength conversion element 3 of the spatial illuminance measuring device 1 absorbs ultraviolet rays and emits visible light. The total conversion rate is determined by the structure and form of the sensor unit 12, Individual differences occur due to variations in connection loss between the wavelength conversion element 3 and the optical fiber 7 and between the optical fiber 7 and the photoelectric conversion amplifier 11. Even in the presence of such individual differences, calibration is necessary to enable reliable measurement of the absolute value of spatial illuminance.

本実施形態の空間照度測定装置1では校正が可能であるが、その校正は以下のような方法で行われる。紫外線処理装置45の構成と同様の複数本の校正用の紫外線ランプ、望ましくは4本以上の紫外線ランプを設置した校正用紫外線照射槽を準備する。この校正用紫外線照射槽に、紫外線処理装置45への空間照度測定装置1の設置方法と同様に、保護管13にセンサー部12を挿入した空間照度測定装置1を、センサー部12が複数本の紫外線ランプに囲まれた状態で設置する。そして、紫外線ランプの電力を4段階、例えば72W、57W、50W、42Wといったように変化させ、各電力に対応する空間照度測定装置1の光電変換アンプ11での電圧値を測定する。   Although the spatial illuminance measuring apparatus 1 of the present embodiment can calibrate, the calibration is performed by the following method. A calibration ultraviolet irradiation tank having a plurality of calibration ultraviolet lamps, preferably four or more ultraviolet lamps, similar to the configuration of the ultraviolet processing apparatus 45 is prepared. Similarly to the method of installing the spatial illuminance measuring device 1 in the ultraviolet processing device 45, the calibration illuminating ultraviolet irradiation tank has a plurality of sensor units 12 each including the spatial illuminance measuring device 1 in which the sensor unit 12 is inserted into the protective tube 13. Install the unit surrounded by an ultraviolet lamp. Then, the power of the ultraviolet lamp is changed in four stages, for example, 72 W, 57 W, 50 W, and 42 W, and the voltage value at the photoelectric conversion amplifier 11 of the spatial illuminance measuring apparatus 1 corresponding to each power is measured.

続いて、空間照度測定装置1の閉塞部材支持ロッド固定座35を取り外して保護管13からセンサー部12を取り出し、図6及び図7に示すように、センサー部12から波長変換素子3と光ファイバーコード16を取り外し、容器5内に紫外線の照射により壊変する光感受性化合物63、例えばウリジン又はロ−ズベンガルなどを予め設定した量張り込んだセンサー部12を、再び保護管13に挿入して設置する。このとき、閉塞部材支持ロッド33を介して閉塞部材支持ロッド固定座35に連結されたセンサー部12は、波長変換素子3と光ファイバーコード16のあるなしに関わらず、保護管13内の同じ位置つまり校正用紫外線照射槽内の同じ位置に来る。なお、ウリジン又はロ−ズベンガルなどの光感受性化合物63を容器5内に張り込む量は、入射角71度以下の紫外線が全量入射できる量として設定されたものである。   Subsequently, the blocking member support rod fixing seat 35 of the spatial illuminance measuring apparatus 1 is removed, and the sensor unit 12 is taken out from the protective tube 13, and the wavelength conversion element 3 and the optical fiber cord are extracted from the sensor unit 12 as shown in FIGS. 16 is removed, and the sensor unit 12 in which a predetermined amount of a photosensitive compound 63 that is destroyed by irradiation of ultraviolet rays, for example, uridine or rose bengal, is inserted into the protective tube 13 again. At this time, the sensor unit 12 connected to the blocking member support rod fixing seat 35 through the blocking member support rod 33 is the same position in the protective tube 13 regardless of the presence or absence of the wavelength conversion element 3 and the optical fiber cord 16. Come to the same position in the UV irradiation tank for calibration. Note that the amount of the photosensitive compound 63 such as uridine or rose bengal that is put into the container 5 is set so that all the ultraviolet rays having an incident angle of 71 degrees or less can be incident.

この状態で、空間照度測定装置1のセンサー部12に波長変換素子3と光ファイバーコード16を取り付けていたときと同様に、校正用紫外線照射槽に設置した紫外線ランプを、4段階の電力、例えば72W、57W、50W、42Wと変化させて点灯し、各電力における照射時間を変化させて光感受性化合物63の壊変量を測定する。そして、光感受性化合物63がウリジンであるとすると、照射時間をt、照射時間t=0秒におけるウリジン濃度をC、照射時間t秒後のウリジン濃度をCとしたとき、照射時間tを横軸に、log(C/C)を縦軸にプロットすると直線が得られるので、その勾配を求め、次式(1)により空間照度測定装置1の容器5表面での空間照度を算出する。

−log(C/C)=φ・ε*Iav*t ・・・(1)

なお、φは、ウリジンの量子収率(4.034*10−8molウリジン/J)、εは、ウリジンのモル吸光係数(841m/molウリジン)、Iavは、容器5に占めるウリジン溶液内の空間照度の平均値である。
In this state, as in the case where the wavelength conversion element 3 and the optical fiber cord 16 are attached to the sensor unit 12 of the spatial illuminance measuring apparatus 1, the ultraviolet lamp installed in the calibration ultraviolet irradiation tank is supplied with four levels of power, for example 72W. , 57 W, 50 W, and 42 W, and lighting, and the amount of decay of the photosensitive compound 63 is measured by changing the irradiation time at each power. If the photosensitizing compound 63 is uridine, the irradiation time t is given by assuming that the irradiation time is t, the uridine concentration at the irradiation time t = 0 seconds is C 0 , and the uridine concentration after the irradiation time t seconds is C t. Plotting log (C t / C 0 ) on the horizontal axis and the vertical axis gives a straight line, so the gradient is obtained, and the spatial illuminance on the surface of the container 5 of the spatial illuminance measuring device 1 is calculated by the following equation (1) To do.

-Log (C t / C 0 ) = φ u · ε u * I av * t (1)

Φ u is the uridine quantum yield (4.034 * 10 −8 mol uridine / J), ε u is the molar extinction coefficient of uridine (841 m 2 / mol uridine), and I av occupies the container 5. It is the average value of spatial illuminance in the uridine solution.

容器5ヘの表面照度をI、吸収されずに容器5を透過する照度をIとすると、Iavは、IとIの対数平均照度として次式(2)より求めることができる。

av=(I−I)/2.303log(I/I) ・・・(2)

さらに、Beer−Lambertの法則より、I/I=10−αd、I−I=I(1−10−αd)を式(2)に代入して、次式(3)が得られ、容器5ヘの表面照度Iを求めることができる。

/Iav=2.302αd/(1−10−αd) ・・・(3)
If the surface illuminance on the container 5 is I 0 , and the illuminance that passes through the container 5 without being absorbed is I, I av can be obtained from the following equation (2) as the logarithmic average illuminance of I 0 and I.

I av = (I 0 −I) /2.303 log (I 0 / I) (2)

Further, from Beer-Lambert's law, substituting I / I 0 = 10 −αd and I 0 −I = I 0 (1-10 −αd ) into equation (2), the following equation (3) is obtained: The surface illuminance I 0 to the container 5 can be obtained.

I 0 / I av = 2.302αd / (1-10 −αd ) (3)

このような校正方法によって、ウリジンにより測定した容器5の表面照度と光電変換アンプ11で検出した電圧との関係を求めた結果の一例を図8に示す。本実施形態の空間照度測定装置1では、このような校正方法によって、図8のような容器5の表面照度と光電変換アンプ11で検出した電圧のような検出部で検出した数値との関係が得られるため、光電変換アンプ11のような検出部によって検出した数値から得られる空間照度の値を校正できる。   FIG. 8 shows an example of the result of determining the relationship between the surface illuminance of the container 5 measured by uridine and the voltage detected by the photoelectric conversion amplifier 11 by such a calibration method. In the spatial illuminance measuring apparatus 1 of the present embodiment, the relationship between the surface illuminance of the container 5 as shown in FIG. 8 and the numerical value detected by the detection unit such as the voltage detected by the photoelectric conversion amplifier 11 is obtained by such a calibration method. Therefore, the spatial illuminance value obtained from the numerical value detected by the detection unit such as the photoelectric conversion amplifier 11 can be calibrated.

このように、本実施形態の空間照度測定装置1では、波長変換素子3を内包し、閉塞部材9で開口した側の端部が閉塞された容器5を備えている。さらに、波長変換素子3や光ファイバー7は、閉塞部材9に着脱可能に取り付けられている。このため、上記のような、容器5内に光感受性化合物63を予め設定した量入れ、紫外線を照射したときのこの光感受性化合物の壊変量を測定することにより空間照度の校正を行うことが可能となり、空間照度の絶対値を測定できる。   As described above, the spatial illuminance measuring apparatus 1 according to the present embodiment includes the container 5 that includes the wavelength conversion element 3 and that is closed at the end that is opened by the closing member 9. Further, the wavelength conversion element 3 and the optical fiber 7 are detachably attached to the closing member 9. Therefore, it is possible to calibrate the spatial illuminance by placing a predetermined amount of the photosensitive compound 63 in the container 5 as described above and measuring the amount of decay of the photosensitive compound when irradiated with ultraviolet rays. Thus, the absolute value of spatial illuminance can be measured.

さらに、蛍光ガラスファイバーなどで形成された波長変換素子3は、多少の曲がりがあり、両端で支持すると折れて破損することがある。しかし、本実施形態の空間照度測定装置1では、波長変換素子3を、波長変換素子3の光伝達部3b側に取り付けられたクランプ部材19を閉塞部材9に取り付けることにより片持ち支持される。このため、波長変換素子3に曲がりがあっても、波長変換素子3が折れて破損するのを抑制できる。
加えて、本実施形態の空間照度測定装置1では、波長変換素子3を内包する容器5が、紫外線ランプ51を挿入したランプ保護管49に対応する形状の保護管13に挿入されている。このため、紫外線ランプ51のランプ保護管49の外表面に付着した汚れを除去するワイパー59を有するワイパー機構を利用して、保護管13の外表面に付着した汚れを除去できる。したがって、保護管13が容器5の外表面への汚れ付着を防ぎ、また、保護管13の外表面に付着した汚れをワイパー機構により除去できる。これにより、空間照度の絶対値の測定精度の低下を抑制できる。ただし、紫外線を照射する処理対象が汚れの付着などが起こる物でない場合などは、保護管13を設けていない構成にすることもできる。
Furthermore, the wavelength conversion element 3 formed of a fluorescent glass fiber or the like has a slight bend and may break and break when supported at both ends. However, in the spatial illuminance measuring apparatus 1 of the present embodiment, the wavelength conversion element 3 is cantilevered by attaching the clamp member 19 attached to the light transmitting portion 3 b side of the wavelength conversion element 3 to the closing member 9. For this reason, even if the wavelength conversion element 3 is bent, the wavelength conversion element 3 can be prevented from being broken and damaged.
In addition, in the spatial illuminance measuring apparatus 1 of the present embodiment, the container 5 containing the wavelength conversion element 3 is inserted into the protective tube 13 having a shape corresponding to the lamp protective tube 49 into which the ultraviolet lamp 51 is inserted. For this reason, the dirt attached to the outer surface of the protective tube 13 can be removed using the wiper mechanism having the wiper 59 that removes the dirt attached to the outer surface of the lamp protective tube 49 of the ultraviolet lamp 51. Therefore, the protective tube 13 can prevent dirt from adhering to the outer surface of the container 5, and dirt attached to the outer surface of the protective tube 13 can be removed by the wiper mechanism. Thereby, the fall of the measurement accuracy of the absolute value of space illumination can be controlled. However, when the object to be irradiated with ultraviolet rays is not an object in which dirt is attached, the protection tube 13 can be omitted.

さらに、波長変換素子と光ファイバーの光学的な接続においては、光パワーの損失ができるだけ小さいこと、着脱が容易なこと、着脱を繰り返しても損失がほとんど変化しないことなどが要求される。これに対して、本実施形態の空間照度測定装置1では、容器5を閉塞するための閉塞部材9に形成された有底穴9d、9eに、各々、波長変換素子3の取り付けたクランプ部材19の突起19a、光ファイバーコード16に設けられたねじ部31を螺合させることで、波長変換素子3と光ファイバー7を、光パワーの損失ができるだけ小さい状態で光学的に接続することができる。また、波長変換素子3と光ファイバー7の着脱を容易にでき、着脱を繰り返しても損失がほとんど変化しない。   Further, in the optical connection between the wavelength conversion element and the optical fiber, it is required that the optical power loss is as small as possible, the attachment / detachment is easy, and the loss hardly changes even when the attachment / detachment is repeated. On the other hand, in the spatial illuminance measuring apparatus 1 of the present embodiment, the clamp members 19 each having the wavelength conversion element 3 attached to the bottomed holes 9d and 9e formed in the closing member 9 for closing the container 5. By screwing the protrusion 19a and the threaded portion 31 provided on the optical fiber cord 16, the wavelength conversion element 3 and the optical fiber 7 can be optically connected in a state where the loss of optical power is as small as possible. Further, the wavelength conversion element 3 and the optical fiber 7 can be easily attached and detached, and the loss hardly changes even when the attachment and detachment are repeated.

加えて、校正を行うためにセンサー部12を着脱したとき、着脱によってセンサー部12の位置が変わらないようにできることも、校正の精度を向上する上で重要である。これに対して、本実施形態の空間照度測定装置1では、センサー部12は、閉塞部材9によって閉塞部材支持ロッド33の一方の端部に取り付けられている。そして、閉塞部材支持ロッド33の他方の端部には、閉塞部材支持ロッド固定座35が取り付けられている。この閉塞部材支持ロッド固定座35は、位置が変化することがない紫外線処理装置45の天板47bといったような位置が変化することがない部材に固定されたニップル53といった部材に、本実施形態では保護管スリーブシールナツト37などを介して取り付けられている。したがって、校正を行うためにセンサー部12を着脱しても、センサー部12の位置は変わることがなく、校正の精度を向上できる。   In addition, when the sensor unit 12 is attached / detached for calibration, it is also important to improve the calibration accuracy that the position of the sensor unit 12 can be prevented from being changed by the attachment / detachment. On the other hand, in the spatial illuminance measuring device 1 of the present embodiment, the sensor unit 12 is attached to one end of the closing member support rod 33 by the closing member 9. A closing member support rod fixing seat 35 is attached to the other end of the closing member support rod 33. In this embodiment, the closing member support rod fixing seat 35 is a member such as a nipple 53 that is fixed to a member such as the top plate 47b of the ultraviolet ray processing device 45 that does not change its position. It is attached via a protective tube sleeve seal nut 37 or the like. Therefore, even if the sensor unit 12 is attached or detached for calibration, the position of the sensor unit 12 does not change, and the calibration accuracy can be improved.

ところで、本発明を適用してなる空間照度測定装置では、本実施形態の空間照度測定装置1のように波長変換素子3を容器5内に内包したような構成となる。しかし、この波長変換素子3を内包する容器5内が空気の場合、紫外線は密な媒質、例えば石英などで形成された容器5の壁から粗な媒質である容器5内の空気に進むことになる。このため、容器5の壁の面に対する入射角が49度以上では全反射が起こり、入射角49度以上の紫外線は、容器5内に入射しないことになる。このため、波長変換素子3で受光する紫外線は、実際の紫外線の照射量よりも少なくなり、測定した紫外線の空間照度も実際よりも小さくなる。   By the way, the spatial illuminance measurement apparatus to which the present invention is applied has a configuration in which the wavelength conversion element 3 is included in the container 5 as in the spatial illuminance measurement apparatus 1 of the present embodiment. However, when the inside of the container 5 containing the wavelength conversion element 3 is air, ultraviolet rays travel from the wall of the container 5 formed of a dense medium, such as quartz, to the air in the container 5 that is a coarse medium. Become. Therefore, total reflection occurs when the incident angle with respect to the wall surface of the container 5 is 49 degrees or more, and ultraviolet rays with an incident angle of 49 degrees or more do not enter the container 5. For this reason, the ultraviolet rays received by the wavelength conversion element 3 are smaller than the actual irradiation amount of the ultraviolet rays, and the spatial illuminance of the measured ultraviolet rays is also smaller than the actual amount.

このように測定した空間照度が真の空間照度より小さくなるのを防ぐため、波長変換素子3を内包する容器5のような容器内に、屈折率が空気より大きく、かつ、紫外線感受性のない媒質、例えば純水や石英の粉などを充填する。これにより、紫外線の全反射が抑制され、ほとんどの紫外線が容器内に進入できるようになるため、空間照度の絶対値の測定精度を向上できる。   In order to prevent the spatial illuminance measured in this way from becoming smaller than the true spatial illuminance, a medium having a refractive index larger than air and not sensitive to ultraviolet rays in a container such as the container 5 containing the wavelength conversion element 3. For example, pure water or quartz powder is filled. Thereby, since the total reflection of ultraviolet rays is suppressed and most ultraviolet rays can enter the container, the measurement accuracy of the absolute value of the spatial illuminance can be improved.

同様に、本実施形態の空間照度測定装置1のようにセンサー部12が保護管13内に挿入されているとき、保護管13内が空気の場合、紫外線は密な媒質である石英などで形成された保護管13の壁から粗な媒質である保護管13内の空気に進む。このため、紫外線の保護管13の壁の面に対する入射角が49度以上では全反射が起こり、入射角49度以上の紫外線は、保護管13内に入射しないため、容器5内へも入射しないことになる。これを防ぐためには、保護管内にも屈折率が空気より大きく、かつ、紫外線感受性のない媒質、例えば純水とか石英の粉を充填する。これにより、空間照度の絶対値の測定精度を向上できる。   Similarly, when the sensor unit 12 is inserted into the protective tube 13 as in the spatial illuminance measuring apparatus 1 of the present embodiment, when the protective tube 13 is air, ultraviolet rays are formed of quartz, which is a dense medium. It proceeds from the wall of the protective tube 13 to the air in the protective tube 13 which is a rough medium. For this reason, total reflection occurs when the incident angle of the ultraviolet ray on the wall surface of the protective tube 13 is 49 degrees or more, and ultraviolet rays having an incident angle of 49 degrees or more do not enter the protective tube 13 and therefore do not enter the container 5. It will be. In order to prevent this, the protective tube is filled with a medium having a refractive index larger than that of air and not sensitive to ultraviolet rays, such as pure water or quartz powder. Thereby, the measurement accuracy of the absolute value of the spatial illuminance can be improved.

さらに、例えば紫外線処理装置45のような、通流する被処理水31中の微生物の殺滅や有機物の酸化などを行なう流水型の紫外線処理装置などでは、運転管理指標として、複数の紫外線ランプ51から照射される紫外線の総合照度つまり空間照度の絶対値を計測することが重要である。しかし、従来の紫外線照度計では、紫外線受光素子の受光面にほぼ垂直に紫外線を入射させる必要があるため、各紫外線ランプ毎に紫外線受光素子を設置しなければならず、紫外線の空間照度の絶対値を計測することはできない。   Furthermore, in a flowing water type ultraviolet treatment apparatus that kills microorganisms in the flowing water 31 to be treated and oxidizes organic matter, such as the ultraviolet treatment apparatus 45, a plurality of ultraviolet lamps 51 are used as operation management indices. It is important to measure the total illuminance of ultraviolet rays radiated from, that is, the absolute value of spatial illuminance. However, in the conventional UV illuminance meter, it is necessary to make the UV light incident on the light receiving surface of the UV light receiving element almost perpendicularly. The value cannot be measured.

これに対して、本実施形態の紫外線処理装置45は、複数の紫外線ランプ51に囲まれた位置に空間照度測定装置1を備えている。このため、空間照度測定装置1によって紫外線処理装置45に設置された複数の紫外線ランプ51から照射される紫外線の空間照度の絶対値を計測できる。したがって、空間照度の絶対値を測定して監視することができ、紫外線処理装置の紫外線の照射処理の精度を向上できる。   On the other hand, the ultraviolet treatment device 45 of the present embodiment includes the spatial illuminance measurement device 1 at a position surrounded by the plurality of ultraviolet lamps 51. For this reason, the absolute value of the spatial illuminance of ultraviolet rays emitted from the plurality of ultraviolet lamps 51 installed in the ultraviolet treatment device 45 can be measured by the spatial illuminance measurement device 1. Therefore, the absolute value of the spatial illuminance can be measured and monitored, and the accuracy of the ultraviolet irradiation process of the ultraviolet processing apparatus can be improved.

また、本実施形態では、一方の端部が球状の受光部3aとなっている波長変換素子3を用いているが、波長変換素子としては、図9に示すように、棒状の波長変換素子65など様々な形状のものを用いることもできる。また、波長変換素子を内包する容器を閉塞するための閉塞部材の形状や、波長変換素子や光ファイバーを閉塞部材に取り付けるための構造なども、本実施形態の閉塞部材9のような形状や、クランプ部材19などを用いた構造に限らず、波長変換素子や光ファイバーを光学的に接続した状態で取り付けることができ、容器の開口を閉塞できれば様々な形状や構造にできる。   Further, in the present embodiment, the wavelength conversion element 3 whose one end is a spherical light receiving part 3a is used. As the wavelength conversion element, as shown in FIG. 9, a rod-shaped wavelength conversion element 65 is used. Various shapes can also be used. In addition, the shape of the closing member for closing the container containing the wavelength conversion element, the structure for attaching the wavelength conversion element and the optical fiber to the closing member, the shape like the closing member 9 of this embodiment, the clamp Not only the structure using the member 19 and the like, but also a wavelength conversion element and an optical fiber can be attached in an optically connected state, and various shapes and structures can be obtained as long as the opening of the container can be closed.

例えば、図9に示す空間照度測定装置67のように、一方の端面に突起69aを、他方の端面に2段階に径が小さな同軸に形成された突起69b、69cを設けた円柱状の閉塞部材69を用いることもできる。閉塞部材69は、突起69aの端面から突起69cの端面にかけて貫通穴69dが形成されており、貫通穴69dの突起69cの端面での開口部分は、波長変換素子65と同じ径に縮径しており、波長変換素子65を挿入可能になっている。閉塞部材69の貫通穴69d内には、突起69c側から、円筒状のバイトン製クランプ部材71、Oリング73、円筒状のアルミニウム製クランプ部材75の順に設置されている。波長変換素子65は、波長変換素子65の一方の端部の端面が、閉塞部材69の貫通穴69dに挿入されたアルミニウム製クランプ部材75の突起69a側の端面と同じ位置に来るように突起69cの端面の貫通穴69dの開口から挿入されている。   For example, as in the spatial illuminance measuring device 67 shown in FIG. 9, a columnar blocking member provided with a protrusion 69a on one end face, and protrusions 69b and 69c formed on the other end face in two stages with a small diameter coaxially. 69 can also be used. The blocking member 69 has a through hole 69d formed from the end surface of the projection 69a to the end surface of the projection 69c. The opening portion of the through hole 69d at the end surface of the projection 69c is reduced in diameter to the same diameter as the wavelength conversion element 65. Therefore, the wavelength conversion element 65 can be inserted. In the through hole 69d of the blocking member 69, a cylindrical Viton clamp member 71, an O-ring 73, and a cylindrical aluminum clamp member 75 are installed in this order from the projection 69c side. The wavelength conversion element 65 has a protrusion 69c such that the end face of one end of the wavelength conversion element 65 is located at the same position as the end face on the protrusion 69a side of the aluminum clamp member 75 inserted into the through hole 69d of the blocking member 69. It is inserted from the opening of the through hole 69d on the end face.

光ファイバーコード16は、ねじ部31が、閉塞部材69の貫通穴69dの突起69a側から内周面に切られたねじに螺合されることで、閉塞部材69に取り付けられている。このとき、光ファイバーコード16の光ファイバー7の端面は、閉塞部材69の貫通穴69dに挿入されたアルミニウム製クランプ部材75の突起69a側の端面と同じ位置に来る。これにより、波長変換素子65と光ファイバー7が光学的に接続される。閉塞部材69の突起69cは、容器5の内径と同じ径に形成されており、容器5の開口に挿入可能になっている。容器5の開口側の端部には略筒状のシールナット77が取り付けられており、シールナット77の容器5が取り付けられた側と反対側の開口の内径は、閉塞部材69の突起69bの径に対応する径に形成されている。   The optical fiber cord 16 is attached to the closing member 69 by screwing the screw portion 31 with a screw cut from the projection 69a side of the through hole 69d of the closing member 69 to the inner peripheral surface. At this time, the end surface of the optical fiber 7 of the optical fiber cord 16 comes to the same position as the end surface of the aluminum clamp member 75 inserted into the through hole 69d of the closing member 69 on the protrusion 69a side. Thereby, the wavelength conversion element 65 and the optical fiber 7 are optically connected. The protrusion 69 c of the closing member 69 is formed with the same diameter as the inner diameter of the container 5 and can be inserted into the opening of the container 5. A substantially cylindrical seal nut 77 is attached to the end of the container 5 on the opening side, and the inner diameter of the opening on the opposite side of the seal nut 77 to the side on which the container 5 is attached is the protrusion 69 b of the closing member 69. A diameter corresponding to the diameter is formed.

そして、シールナット77の容器5が取り付けられた側と反対側の開口の内周面と、閉塞部材69の突起69bの外周面には、対応するねじが切られており、容器5の開口側の端面と閉塞部材69の突起69bの突起69c周囲の面との間にOリング79を挟んだ状態で、シールナット77を閉塞部材69の突起69bに螺合させることで、容器5内が気密な状態で、容器5が閉塞部材69に取り付けられる。なお、空間照度測定装置67では、閉塞部材69の突起69aに、閉塞部材支持ロッド33の端部の内周面に切られたねじに対応するねじが切られており、閉塞部材69の突起69aに閉塞部材支持ロッド33が螺合され、閉塞部材69の突起69aに閉塞部材支持ロッド33が取り付けられる。   Corresponding screws are cut on the inner peripheral surface of the opening of the seal nut 77 opposite to the side on which the container 5 is attached and the outer peripheral surface of the protrusion 69b of the closing member 69, and the opening side of the container 5 By sealing the seal nut 77 with the protrusion 69b of the closing member 69 in a state where the O-ring 79 is sandwiched between the end surface of the protrusion 69b and the surface of the protrusion 69b of the closing member 69, the inside of the container 5 is hermetically sealed. In this state, the container 5 is attached to the closing member 69. In the spatial illuminance measuring device 67, the protrusion 69 a of the closing member 69 is threaded corresponding to the screw cut on the inner peripheral surface of the end of the closing member support rod 33. The closing member support rod 33 is screwed to the protrusion 69 a of the closing member 69, and the closing member support rod 33 is attached to the protrusion 69 a of the closing member 69.

このように、本発明を適用してなる空間照度測定装置は、波長変換素子を内包する容器を備え、容器の開口側の端部に閉塞部材が設けられ、この閉塞部材に取り付けられた波長変換素子と光ファイバーとが光学的に接続されていれば、様々な構成にできる。   As described above, the spatial illuminance measuring apparatus to which the present invention is applied includes a container that includes the wavelength conversion element, and a wavelength conversion unit that is provided with a closing member at the opening-side end of the container and attached to the blocking member. If the element and the optical fiber are optically connected, various configurations can be made.

また、本実施形態では、被処理水中の微生物の殺滅や有機物の酸化処理を行なう縦型の紫外線処理装置45に本実施形態の照度測定装置1を設置した場合を例として説明した。しかし、本発明はこれに限らず、気体中や物品に付着している微生物の殺滅処理、半導体の製造工程などにおける紫外線感光処理、紫外線を光源とする光触媒処理など、様々な用途、様々な構成の紫外線ランプを備えた紫外線処理装置や、様々な用途、様々な構成の紫外線ランプを備えた紫外線処理装置、また、横型の紫外線処理装置といったように様々な構成の紫外線処理装置における紫外線の空間照度の測定を行う空間照度測定装置に適用できる。   Moreover, in this embodiment, the case where the illumination intensity measuring apparatus 1 of this embodiment was installed in the vertical ultraviolet-ray processing apparatus 45 which kills the microorganisms in to-be-processed water, and oxidizes organic substance was demonstrated as an example. However, the present invention is not limited to this. Various applications such as killing of microorganisms adhering to gas or articles, ultraviolet photosensitive treatment in semiconductor manufacturing processes, photocatalytic treatment using ultraviolet light as a light source, and so on. Ultraviolet space in various types of UV processing devices such as UV processing devices with UV lamps of various configurations, UV processing devices with various uses, UV lamps of various configurations, and horizontal UV processing devices. It can be applied to a spatial illuminance measuring device that measures illuminance.

本発明を適用してなる空間照度測定装置の一実施形態における波長変換素子側の部分の概略構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic structure of the part by the side of the wavelength conversion element in one Embodiment of the spatial illumination intensity measuring apparatus formed by applying this invention. 本発明を適用してなる空間照度測定装置の一実施形態における検出部側の部分の概略構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic structure of the part by the side of the detection part in one Embodiment of the spatial illumination intensity measuring apparatus formed by applying this invention. 本発明を適用してなる空間照度測定装置を備えた紫外線処理装置の一実施形態の概略構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic structure of one Embodiment of the ultraviolet-ray processing apparatus provided with the spatial illumination intensity measuring apparatus to which this invention is applied. 本発明を適用してなる紫外線処理装置の一実施形態の概略構成を、天板に設置されたカバーを外した状態で示す上面図である。It is a top view which shows schematic structure of one Embodiment of the ultraviolet-ray processing apparatus to which this invention is applied in the state which removed the cover installed in the top plate. 本発明を適用してなる紫外線処理装置の一実施形態のワイパー機構の、保護管を払拭するワイパー部分の概略構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic structure of the wiper part which wipes a protective tube of the wiper mechanism of one Embodiment of the ultraviolet-ray processing apparatus to which this invention is applied. 本発明を適用してなる空間照度測定装置の一実施形態において、校正時に容器内に光感受性化合物を入れた状態を示す断面図である。In one Embodiment of the spatial illumination intensity measuring apparatus formed by applying this invention, it is sectional drawing which shows the state which put the photosensitive compound in the container at the time of calibration. 図6のVII?VII線からの矢視断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line VII-VII in FIG. 6. 本発明を適用してなる空間照度の校正方法の一実施形態における光感受性化合物によって測定した空間照度と光電変換アンプ電圧の測定値との関係の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the relationship between the spatial illumination intensity measured with the photosensitive compound in one Embodiment of the calibration method of the spatial illumination intensity which applies this invention, and the measured value of a photoelectric conversion amplifier voltage. 本発明を適用してなる空間照度測定装置の別の実施形態における波長変換素子側の部分の概略構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic structure of the part by the side of the wavelength conversion element in another embodiment of the spatial illuminance measuring device formed by applying this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 空間照度測定装置
3 波長変換素子
3a 受光部
3b 光伝達部
5 容器
7 光ファイバー
9 閉塞部材
12 センサー部
15 保護チューブ
16 光ファイバーコード
19 クランプ部材
21、29 Oリング
23 Oリング押さえ
25 クランプシールナット
27 シールグラウンド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Spatial illuminance measuring device 3 Wavelength conversion element 3a Light receiving part 3b Light transmission part 5 Container 7 Optical fiber 9 Occlusion member 12 Sensor part 15 Protection tube
16 Optical fiber cord 19 Clamp member 21, 29 O-ring 23 O-ring retainer 25 Clamp seal nut 27 Seal ground

Claims (2)

縦型の処理槽と、該処理槽内に設けられた複数本の紫外線ランプと、紫外線を可視光に変換する棒状に形成された波長変換素子により変換された可視光に基づいて前記処理槽内の紫外線の照度を測定する空間照度測定装置とを備え、前記処理槽の下部から流入される被処理水を処理して前記処理槽の上部から排出する紫外線処理装置において、
前記紫外線ランプは、前記処理槽に上下端を固定して一又は二重の円状に配置された紫外線透過性を有する複数本のランプ保護管内にそれぞれ挿入され、前記複数本の紫外線ランプが配置された円の中心に紫外線透過性を有する保護管が前記処理槽に上下端を固定して配置され、前記保護管内に前記波長変換素子が挿入されてなり、
前記ランプ保護管は、前記一又は二重の円のそれぞれに3本以上配置され、前記波長変換素子から各紫外線ランプを見通せる位置に互いに周方向に等間隔で配置されてなることを特徴とする紫外線処理装置。
Based on visible light converted by a vertical processing tank, a plurality of ultraviolet lamps provided in the processing tank, and a wavelength conversion element formed in a rod shape that converts ultraviolet light into visible light. A UV illuminance measuring device that measures the illuminance of ultraviolet rays of the ultraviolet ray processing apparatus for treating the water to be treated flowing from the lower part of the treatment tank and discharging it from the upper part of the treatment tank.
Wherein each ultraviolet lamp is inserted in each of a plurality of lamps protective tube having arranged UV transparent upper and lower ends to fixedly one or double circular in the processing bath, the plurality of ultraviolet lamps A protective tube having ultraviolet transparency at the center of the arranged circle is arranged with the upper and lower ends fixed to the treatment tank, and the wavelength conversion element is inserted into the protective tube,
Three or more of each of the lamp protection tubes are arranged in each of the one or double circles, and are arranged at equal intervals in the circumferential direction at positions where the ultraviolet ray lamps can be seen from the wavelength conversion element. UV treatment equipment.
前記波長変換素子は、紫外線透過性を有する筒状の容器内に内包され、
該筒状の容器内及び前記保護管内に、空気よりも屈折率の大きい媒質が充填されていることを特徴とする請求項1に記載の紫外線処理装置。
The wavelength conversion element is contained in a cylindrical container having ultraviolet transparency,
The ultraviolet processing apparatus according to claim 1, wherein the cylindrical container and the protective tube are filled with a medium having a refractive index larger than that of air.
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