JP4183520B2 - 超音波モータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は超音波モータに関し、特に、励振素子によって励振される振動子を、その駆動面を可動体に押し付けた状態で支持する押圧支持構造を有する超音波モータに関する。
【0002】
【従来の技術】
振動子の超音波振動を用いて摩擦駆動力を生成する超音波モータは、近年、特に小型精密機器の分野で、様々な被駆動要素を直線又は回転駆動する小型アクチュエータとして広く利用されている。一般に超音波モータは、駆動面を有する振動子と、振動子を励振する励振素子と、振動子の駆動面に当接配置され、振動子の振動に応じて一方向へ移動する可動体とを備えて構成される。振動子は通常、金属、セラミックス等の硬質の弾性体から作製され、また励振素子は通常、圧電セラミックス等の圧電素子から作製される。さらに超音波モータでは、振動子と可動体との間で効率良く摩擦駆動力を発生させるために、振動子の駆動面を所定圧力下で可動体の表面に押し付ける予圧構造が設けられる。
【0003】
この種の超音波モータにおいて、所望端面が駆動面として作用する短棒状の振動子と、振動子の駆動面以外の面に適宜配置で接合される複数の圧電素子とを備え、個々の圧電素子を所定位相差で変位動作させることにより、摩擦駆動力を発揮するための楕円運動を駆動面に生起させる構成を有したものが知られている。この形式の超音波モータとしては従来、それぞれの一端に駆動面を有する一対の柱状脚部とそれら柱状脚部の他端同士を接続する梁状胴部とを有した門形の振動子を備え、両脚部と胴部との接続領域に形成される振動子の互いに略直交する一対の傾斜肩面に、2つの圧電素子をそれぞれ対応の駆動面に対し45°の角度を成すように接合したもの(例えば特許文献1参照)と、一端に駆動面を有するとともに他端に互いに略直交する一対の傾斜肩面を有する柱形の振動子を備え、それら傾斜肩面に2つの圧電素子をそれぞれ駆動面に対し45°の角度を成すように接合したもの(例えば特許文献2参照)とが提唱されている。
【特許文献1】
特開平6−284755号公報
【特許文献2】
実開平2−136485号公報
【0004】
従来の超音波モータでは、前述した予圧構造として一般に、振動子を可動体に接近する方向へ付勢するばねが採用されている。例えば、上記特許文献1に記載される超音波モータでは、門形振動子を収容するケースの上板に、先端を振動子に向けた付勢ピンが上下移動自在に設置され、ケース上板と付勢ピンとの間に配置されたばねが、付勢ピンを振動子に向けて常時付勢する構成を採用している。付勢ピンは、その先端を直接又は間接的に振動子の胴部上面に当接させて、ばねの付勢力を振動子に伝達し、それにより、振動子の一対の駆動面が可動体の表面にばね圧力下で押し付けられる。なおこの構成では、付勢ピンはケース上板に沿って上下方向へ案内支持されており、また付勢ピンと振動子との間には相対変位を抑制し得る相補的嵌合構造が採用されている。したがって、ばね及び付勢ピンは、振動子の駆動面を可動体表面に押し付けた状態で振動子を支持する押圧支持構造とみなすこともできる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
超音波モータにおいては、振動子の駆動面と可動体表面との間に所定の接触圧力を維持するとともに、振動子の超音波振動を拘束することなく、振動子をモータ構造内の正規位置に安定的に支持することが要求される。超音波モータの特性の1つである優れた制御応答性は、このような振動子の安定支持を確保することで、より確実なものとなる。この観点で、前述した従来の超音波モータにおける振動子の予圧構造(押圧支持構造)は、振動子の上方でケースに担持された付勢ピンを振動子の胴部上面にばね圧力下で当接して振動子を支持する構成であるから、振動子の下部領域(すなわち両脚部の駆動面近傍領域)に横方向へ加わる外力に対し、振動子を安定支持することが困難となる傾向がある。しかし、一般に超音波モータは、特に駆動立ち上がり時に、摩擦駆動の反作用として可動体から振動子にその駆動面に沿った方向への反力が加わるものであり、したがって従来の押圧支持構造では、この駆動反力に起因して振動子のふらつきや傾倒が生じることが懸念される。このような問題は、駆動反力のモーメントが比較的大きくなる前述した短棒状(門形ないし柱形)の振動子を有する超音波モータにおいて、顕現することが予測される。
【0006】
本発明の目的は、振動子の駆動面と可動体表面との間に所定の接触圧力を維持するとともに、振動子の超音波振動を拘束することなく、振動子をモータ構造内の正規位置に安定的に支持することができる、新規かつ有用な押圧支持構造を備えた超音波モータを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、駆動面を有する振動子と、振動子を励振する励振素子と、振動子の駆動面に当接配置され、振動子の振動に応じて一方向へ移動する可動体と、駆動面を可動体に押し付けた状態で振動子を支持する押圧支持構造とを具備する超音波モータにおいて、押圧支持構造は、第1固定部、第2固定部及び第1及び第2固定部の間に位置する中間固定部を有し、中間固定部で振動子に固定的に連結されるとともに、第1及び第2固定部と中間固定部との間に延びる延長部分で、駆動面を可動体に押し付けるばね力を発揮する支持ばね部材と、支持ばね部材の第1及び第2固定部が固定される静止基材とを具備し、静止基材への支持ばね部材の第1及び第2固定部の固定位置が、駆動面を底とした振動子の高さの方向に見て、振動子の頂端よりも低く、可動体に近接して配置されること、を特徴とする超音波モータを提供する。
【0008】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の超音波モータにおいて、静止基材への支持ばね部材の第1及び第2固定部の固定位置が、前記高さの方向に見て、振動子への支持ばね部材の中間固定部の連結位置よりも低く配置される超音波モータを提供する。
【0009】
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の超音波モータにおいて、静止基材への支持ばね部材の第1及び第2固定部の固定位置が、振動子を中心として可動体の移動方向へ実質的対称に分散して配置される超音波モータを提供する。
【0010】
請求項4に記載の発明は、請求項1〜3のいずれか1項に記載の超音波モータにおいて、支持ばね部材が板ばね要素を含む超音波モータを提供する。
【0011】
請求項5に記載の発明は、請求項1〜4のいずれか1項に記載の超音波モータにおいて、支持ばね部材から独立して静止配置され、振動子の振動を、可動体の移動に影響を及ぼさない範囲で規制する規制部材をさらに具備する超音波モータを提供する。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。全図面に渡り、対応する構成要素には共通の参照符号を付す。
図1は、本発明の第1の実施形態による超音波モータ10を概略で示す。超音波モータ10は、駆動面12を有する振動子14と、振動子14を励振する励振素子16と、振動子14の駆動面12に当接配置され、振動子14の振動に応じて一方向へ移動する可動体18と、駆動面12を可動体18に押し付けた状態で振動子14を支持する押圧支持構造20とを備えて構成される。
【0013】
振動子14は、所望の一端面が平坦な駆動面12として作用する短棒状(角柱状)の形態を有し、駆動面12から離れた他端側に、互いに略直交する方向へ平坦に延設される一対の傾斜肩面22と、それら肩面22の間で外方へ突設される支承部24とを備える。振動子14は、図1(a)の正面視で、一端の駆動面12の中心と他端の支承部24の中心とを通る軸線14aに関して線対称の形状を有する。両肩面22は、いずれも駆動面12に対し略45°の角度を成して、軸線14aに関し左右対称に配置される。支承部24は、外方へ徐々に拡がって開口する凹所26を有する皿状要素である。このような構成を有する振動子14は、アルミニウム、チタン、銅、鉄系金属等の金属材料や、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、これらの複合物等のセラミックスといった、硬質の弾性体から一体的に作製される。なお振動子14は、厚さ数mm程度の薄型構造を有する。
【0014】
励振素子16は、振動子14の一対の肩面22にそれぞれ接合される一対の圧電素子16からなる。各圧電素子16は、圧電セラミックス等の薄板状圧電材料を積層してなる角柱状の形態を有し、積層方向一端面を振動子14の肩面22に密着させて、例えば接着剤により肩面22に強固に接合される。それにより両圧電素子16は、それぞれの積層方向へ延びる中心線16aがいずれも駆動面に対し略45°の角度を成して配置される。これら圧電素子16には、図示しない制御回路を介して正弦波電圧がそれぞれに所定(例えば90°)の位相差で印加され、それによる両圧電素子16の差動的な変位動作が振動子14を励振して、摩擦駆動力を発揮するためのいわゆる楕円運動を駆動面12に生起させる。なお各圧電素子16は、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)の積層体から構成することが、低電圧で大駆動力を得る点で有利である。また、各圧電素子16を振動子14に接合する接着剤としては、十分な接着力が得られるものであれば特に限定されないが、例えばガラスフィラー入りの熱硬化型エポキシ接着剤を使用することができる。
【0015】
可動体18は、金属、樹脂等の硬質材料からなり、図示しない案内支持構造を介して、超音波モータ10の図示しない機台上に所定方向へ移動可能に支持される。可動体18は、その所定表面領域28で、振動子14の駆動面12に所定圧力下で常時接触して配置され、振動子14の駆動面12に生起された楕円運動の方向に応じて、接触面間の摩擦力により一方向(図示矢印)へ移動する。可動体18の移動方向及び移動速度は、上記した一対の圧電素子16に印加する正弦波電圧の位相及び周波数制御により制御できる。なお可動体18は、案内支持構造の構成に応じて、直動及び回動のいずれかの出力動作を遂行できる。
【0016】
押圧支持構造20は、振動子14の駆動面12を可動体18に押し付けるばね力を発揮する支持ばね部材30と、支持ばね部材30を固定的に支持する静止基材32とを備える。支持ばね部材30は、第1固定部34、第2固定部36及びそれら第1及び第2固定部34、36の間に位置する中間固定部38を有する板状部材である。支持ばね部材30は、中間固定部38で振動子14に固定的に連結されるとともに、第1及び第2固定部34、36で、静止基材32の所定位置に設けられた一対の取付基部40に固定される。その状態で支持ばね部材30は、第1及び第2固定部34、36と中間固定部38との間に延びる一対の延長部分42で、振動子14の駆動面12を可動体18の表面領域28に押し付けるばね力を発揮する。
【0017】
図示実施形態では、支持ばね部材30は、中間固定部38を含む剛性支持要素44と、それぞれに第1及び第2固定部34、36並びに延長部分42を含む一対の板ばね要素46とを組み合わせて構成される。剛性支持要素44は、金属、樹脂等の硬質材料からなり、図1(a)の正面視で略T字の外形を有するとともに、T字の脚に相当する中間固定部38の末端に、振動子14の支承部24に形成した凹所26の内面形状に対応するテーパ状輪郭が付与される。一対の板ばね要素46は、金属、樹脂等のばね材料からなり、それぞれの一端に第1及び第2固定部34、36を配置してクランク状に曲折する互いに同一の外形を有する。両板ばね要素46の第1及び第2固定部34、36には、支持ばね部材30を静止基材32に固定するためのボルト挿通孔48がそれぞれ貫通形成される。各板ばね要素46は、第1又は第2固定部34、36からクランク状に延長される延長部分42の末端で、剛性支持要素44のT字の腕に相当する部分に、例えば溶接により強固に接合される。それにより支持ばね部材30は、図1(a)の正面視で、中間固定部38の中心を通る軸線30aに関して線対称となる略M字の外形を呈する。
【0018】
図示実施形態では、静止基材32は、矩形薄板状の主部50と、主部50の略平坦な一表面50a上でその矩形輪郭の一縁に沿って離間配置される角柱状の一対の取付基部40とを備える。主部50及び取付基部40は、金属、樹脂等の硬質材料からなり、両取付基部40が、主部50の一表面50aから一体的に直立状に立設される(図1(b)参照)。各取付基部40には、支持ばね部材30を静止基材32に固定するための雌ねじ52が形成される。なお、静止基材32の主部50は、前述した可動体18を可動支持する超音波モータ10の図示しない機台に、固定的に連結することができる。
【0019】
超音波モータ10の上記構成要素群は、以下のようにして組み立てられる。
静止基材32は、一対の取付基部40が可動体18の表面領域28に非接触に近接して位置するように、可動体18の近傍に設置される。一対の圧電素子16を接合した振動子14は、静止基材32の両取付基部40の略中間位置で、駆動面12を表面領域28に当接させて可動体18上に搭載される。支持ばね部材30は、中間固定部38の末端を振動子14の支承部24の凹所26に嵌入するとともに、第1及び第2固定部34、36を静止基材32の両取付基部40の上方に近接して配置する。この状態で、図1(a)の正面視において、振動子14の軸線14aと支持ばね部材30の軸線30aとが同一直線上に整合配置され、第1及び第2固定部34、36のボルト挿通孔48が両取付基部40の雌ねじ52にそれぞれ孔軸線方向へ整合配置される。
【0020】
そこで、一対のボルト54をそれぞれ、支持ばね部材30の第1及び第2固定部34、36のボルト挿通孔48に挿通して、対応の取付基部40の雌ねじ52に螺入する。そして、両ボルト54を適当なトルクで締め付けることにより、支持ばね部材30の両延長部分42を構成する板ばね要素46がそれぞれに撓んで適当なばね力を発揮し、その状態で、支持ばね部材30の第1及び第2固定部34、36が静止基材32の両取付基部40に固定されるとともに、中間固定部38が振動子14の支承部24に固定される。なお、好ましくは支持ばね部材30の中間固定部38は、その末端で、振動子14の支承部24の凹所26に、例えば接着剤を用いて強固に固定される。このようにして、振動子14の駆動面12が適当な接触圧力下で可動体18の表面領域28に当接され、超音波モータ10の組立が完了する。
【0021】
このようにして組み立てた超音波モータ10では、押圧支持構造20における支持ばね部材30の特徴的形状、及び振動子14に対する静止基材32の両取付基部40の位置関係に起因して、両取付基部40への支持ばね部材30の第1及び第2固定部34、36の固定位置が、駆動面12を底とした振動子14の高さの方向に見て、振動子14の頂端に位置する支承部24よりも低く、可動体18に近接して配置される。つまり、この押圧支持構造20によれば、支持ばね部材30のばね力を発揮する両延長部分42の一端の固定支持箇所が、振動子14の駆動面12に近い高さに配置されるので、振動子14の下部領域(すなわち駆動面12の近傍領域)に横方向へ加わる外力に対しても、振動子14が安定して支持されることになる。したがって超音波モータ10では、例えば駆動立ち上がり時に摩擦駆動の反作用として可動体18から振動子14にその駆動面12に沿った方向への反力が加わったときにも、押圧支持構造20がこの駆動反力に抗して振動子14を確実に安定支持することができる。しかもこの構成では、振動子14と支持ばね部材30との連結部位が、圧電素子16を接合する振動子14の肩面22よりも高く(すなわち駆動面12からさらに離れて)配置されるから、押圧支持構造20が振動子14の超音波振動を拘束することは回避される。
【0022】
さらに、押圧支持構造20によれば、静止基材32の両取付基部40への支持ばね部材30の第1及び第2固定部34、36の固定位置が、振動子14の高さの方向に見て、振動子14の支承部24への支持ばね部材30の中間固定部38の連結位置よりも低く配置されるから、振動子14に負荷されるばね力は、駆動面12を可動体18の表面領域28に押し付ける方向へ振動子14を引き寄せる牽引力となる。その結果、振動子14に対する安定支持効果が一層向上する。また、静止基材32の両取付基部40への支持ばね部材30の第1及び第2固定部34、36の固定位置が、振動子14を中心として可動体18の移動方向へ実質的対称に分散して配置されるから、可動体18の移動方向に左右されることなく、振動子14を安定的に支持することができる。
【0023】
このように、超音波モータ10では、振動子14の駆動面12と可動体18の表面領域28との間に、摩擦駆動力の生成に必須の所定接触圧力を確実に維持するとともに、振動子14の超音波振動を拘束することなく、振動子14をモータ構造内の正規位置に安定的に支持することができる。したがって超音波モータ10は、優れた制御応答性を高い信頼性の下に実現することができる。
【0024】
超音波モータ10は、図2(a)及び(b)に示すように、様々な修正を施すことができる。
例えば、振動子14の駆動面12は、炭素繊維強化プラスチック等からなる摩擦材料56によって形成することができる。或いはこの種の摩擦材料を、可動体18の表面領域28に設置することもできる。摩擦材料56は、振動子14の超音波振動による摩擦駆動力の発生効率を向上させるとともに、駆動面12及び可動体表面領域28の寿命を向上させる効果を奏する。
【0025】
また、支持ばね部材30の全体を、1つの板ばね要素46から構成することもできる。この場合、図示のように、振動子14の支承部24を中実構造として高さ方向へ延長するとともに、支持ばね部材30の中央部分を中間固定部38として、例えばボルト58により、中間固定部38を振動子支承部24に強固に固定することができる。このような一体ばね構造の支持ばね部材30を採用すれば、図1の構成に比べて、材料費及び組立作業コストを節減することができる。
【0026】
さらに、支持ばね部材30の第1及び第2固定部34、36を、静止基材32の両取付基部40の下側に配置する構成とすることもできる。この場合、各取付基部40にボルト挿通孔48が設けられ、第1及び第2固定部34、36に雌ねじ52が設けられる。この構成では、支持ばね部材30のばね力を第1及び第2固定部34、36側で直接的に担持する部位が、図1の構成に比べてさらに可動体18に近い位置になる。つまり、図1の構成では、支持ばね部材30のばね力は、第1及び第2固定部34、36の上面と対応のボルト54の頭部との相互係合部位で直接的に担持されるのに対し、図2の構成では、支持ばね部材30のばね力は、第1及び第2固定部34、36の雌ねじ52と対応のボルト54の雄ねじとの相互螺合部位で直接的に担持される。したがって、振動子14の安定支持効果を一層向上させることができる。
【0027】
さらに、超音波モータ10は、支持ばね部材30から独立して静止配置され、振動子14の超音波振動を、可動体18の移動に影響を及ぼさない範囲で規制する規制部材60を補助的に備えることができる。図示の例では、静止基材32の主部50の表面50a上で、両取付基部40の間の所定位置に、一対の規制部材60が表面50aから直立状に立設して配置される。これら規制部材60は、支持ばね部材30と静止基材32との協働による前述した振動子支持機能を補助して、振動子14を一層高い信頼性の下に安定支持することを可能にする。
【0028】
図3は、本発明の第2の実施形態による超音波モータ70を概略で示す。超音波モータ70は、押圧支持構造における支持ばね部材の構成以外は、前述した第1実施形態による超音波モータ10と実質的同一の構成を有するので、対応する構成要素には共通の参照符号を付してその説明を省略する。
【0029】
超音波モータ70の押圧支持構造72は、振動子14の駆動面12を可動体18に押し付けるばね力を発揮する支持ばね部材74と、支持ばね部材74を固定的に支持する静止基材32とを備える。支持ばね部材74は、第1固定部76、第2固定部78及びそれら第1及び第2固定部76、78の間に位置する中間固定部80を有する組立板状部材である。支持ばね部材74は、中間固定部80で振動子14に固定的に連結されるとともに、第1及び第2固定部76、78で、静止基材32の一対の取付基部40に固定される。その状態で支持ばね部材74は、第1及び第2固定部76、78と中間固定部80との間に延びる一対の延長部分82で、振動子14の駆動面12を可動体18の表面領域28に押し付けるばね力を発揮する。
【0030】
図示実施形態では、支持ばね部材74は、それぞれに中間固定部80及び延長部分82を含む一対の板ばね要素84と、それぞれが第1及び第2固定部76、78として機能する一対の連結要素86とを組み合わせて構成される。一対の板ばね要素84は、金属、樹脂等のばね材料からなり、それぞれの中央に中間固定部80を配置するとともに、中間固定部80の両側に略直線上に延長部分82を延設する互いに同一の外形を有する。各板ばね要素84の中間固定部80には、支持ばね部材74を振動子14に固定的に連結するためのピン圧入孔88がそれぞれ貫通形成される。一対の連結要素86は、金属、樹脂等の硬質材料からなり、両板ばね要素84の長手方向両端の板面にそれぞれ溶接等により強固に固定される。各連結要素86には、支持ばね部材74を静止基材32に固定するための雌ねじ90がそれぞれ形成される。それら連結要素86は、一対の板ばね要素84を、振動子14の厚みを僅かに超える距離だけ互いに離間して、両者の輪郭が互いに整合する配置で固定的に相互連結する。それにより支持ばね部材74は、図3(a)の平面視で、両板ばね要素84のピン圧入孔88を通る軸線74aに関して線対称となる略I字形状を呈する。
【0031】
超音波モータ70の構成要素群は、以下のようにして組み立てられる。
静止基材32は、ボルト挿通孔48をそれぞれに有する一対の取付基部40が可動体18の表面領域28に非接触に近接して位置するように、可動体18の近傍に設置される。一対の圧電素子16を接合した振動子14は、静止基材32の両取付基部40の略中間位置で、駆動面12を表面領域28に当接させて可動体18上に搭載される。支持ばね部材74は、両板ばね要素84の間の空所に振動子14を被接触に収容して配置され(図3(b)参照)、両板ばね要素84の中間固定部80のピン圧入孔88と、振動子14にその軸線14a上で厚み方向へ貫通形成した対応のピン圧入穴(図示せず)との双方に圧入されるピン92によって、振動子14に固定的に連結される。また、両連結要素86からなる支持ばね部材74の第1及び第2固定部76、78は、静止基材32の両取付基部40の下方に近接して配置される。この状態で、図3(a)の正面視において、振動子14の軸線14aと支持ばね部材74の軸線74aとが同一直線上に整合配置され、第1及び第2固定部76、78の雌ねじ90が両取付基部40のボルト挿通孔48にそれぞれ孔軸線方向へ整合配置される。
【0032】
そこで、一対のボルト54をそれぞれ、静止基材32の両取付基部40のボルト挿通孔48に挿通して、支持ばね部材74の対応の第1及び第2固定部76、78の雌ねじ90に螺入する。そして、両ボルト54を適当なトルクで締め付けることにより、支持ばね部材74の両延長部分82を構成する一対の板ばね要素84がそれぞれに撓んで適当なばね力を発揮し、その状態で、支持ばね部材74の第1及び第2固定部76、78が静止基材32の両取付基部40に固定される。このようにして、振動子14の駆動面12が適当な接触圧力下で可動体18の表面領域28に当接され、超音波モータ70の組立が完了する。
【0033】
このようにして組み立てた超音波モータ70では、押圧支持構造72における支持ばね部材74の特徴的形状、及び振動子14に対する静止基材32の両取付基部40の位置関係に起因して、両取付基部40への支持ばね部材74の第1及び第2固定部76、78の固定位置が、駆動面12を底とした振動子14の高さの方向に見て、振動子14の頂端14b(図3(a))よりも低く、可動体18に近接して配置される。つまり、この押圧支持構造72によれば、支持ばね部材74のばね力を発揮する両延長部分82の一端の固定支持箇所が、振動子14の駆動面12に近い高さに配置されるので、振動子14の下部領域(すなわち駆動面12の近傍領域)に横方向へ加わる外力に対しても、振動子14が安定して支持されることになる。したがって超音波モータ70では、例えば駆動立ち上がり時に摩擦駆動の反作用として可動体18から振動子14にその駆動面12に沿った方向への反力が加わったときにも、押圧支持構造72がこの駆動反力に抗して振動子14を確実に安定支持することができる。
【0034】
超音波モータ70では、振動子14と支持ばね部材74との連結部位が、圧電素子16を接合する振動子14の肩面22よりも低く配置されるが、この連結部位に、圧電素子16によって振動子14に励振される超音波振動の伝達を阻害し難いピン92を用いたから、押圧支持構造72が振動子14の超音波振動を拘束することは可及的に回避される。なお、振動子14上のピン92の配置は、超音波振動の伝達経路を勘案して、振動伝達への影響が最も小さくなる位置を選定することが好ましい。
【0035】
また、押圧支持構造72では、静止基材32の両取付基部40への支持ばね部材74の第1及び第2固定部76、78の固定位置(すなわちばね力を直接的に担持する部位)が、振動子14の高さの方向に見て、ピン92を介した振動子14への支持ばね部材74の中間固定部80の連結位置と、略同一高さに配置されているが、このような構成であっても、第1及び第2固定部76、78の固定位置が十分に低く可動体18に近接して配置されるから、前述した第1実施形態における押圧支持構造20と同等の振動子安定支持効果が得られる。なお、第1及び第2固定部76、78の固定位置は、このような条件を満たす限り、振動子14への支持ばね部材74の連結位置よりも高く配置される場合にも、同等の作用効果が得られるものと解される。また、支持ばね部材74の第1及び第2固定部76、78の固定位置が、振動子14を中心として可動体18の移動方向へ実質的対称に分散して配置されることによる効果は、前述した押圧支持構造20と同様である。
【0036】
このように、超音波モータ70は、前述した超音波モータ10と同様に、振動子14の駆動面12と可動体18の表面領域28との間に、摩擦駆動力の生成に必須の所定接触圧力を確実に維持するとともに、振動子14の超音波振動を拘束することなく、振動子14をモータ構造内の正規位置に安定的に支持することができる。したがって超音波モータ70は、優れた制御応答性を高い信頼性の下に実現することができる。
【0037】
超音波モータ70は、超音波モータ10と同様に、図4(a)及び(b)に示すような様々な修正を施すことができる。
例えば、振動子14の駆動面12は、炭素繊維強化プラスチック等からなる摩擦材料56によって形成することができる。或いはこの種の摩擦材料を、可動体18の表面領域28に設置することもできる。
また、支持ばね部材74から独立して静止配置され、振動子14の超音波振動を、可動体18の移動に影響を及ぼさない範囲で規制する規制部材60を補助的に備えることができる。
【0038】
さらに、支持ばね部材74を、それぞれに中間固定部80を含む一対の薄板状の剛性支持要素94と、それぞれに第1及び第2固定部76、78並びに延長部分82を含む一対の板ばね要素96とを組み合わせて構成することもできる。この場合、各板ばね要素96は、第1又は第2固定部76、78からクランク状に延長される延長部分82の末端で、両剛性支持要素94に例えば溶接により強固に接合される。このような別体構造の支持ばね部材74を採用すれば、図3の構成に比べて、一対の板ばね要素96のばね力を発揮し易い構成となる。なお、各剛性支持要素94の中間固定部80とピン92とは、圧入によらずとも、例えば接着剤等により強固に固定することができる。
【0039】
以上、本発明の好適な実施形態を説明したが、本発明はそれら実施形態の構成に限定されず、特許請求の範囲の記載内でさらに他の様々な修正及び変更を施すことができる。例えば、本発明の特徴的構成要件である押圧支持構造は、超音波モータの分野で公知の、様々な形状の振動子や様々に配置した励振素子を有する構成に適用でき、同等の作用効果を奏するものである。
【0040】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、振動子の駆動面と可動体表面との間に所定の接触圧力を維持するとともに、振動子の超音波振動を拘束することなく、振動子をモータ構造内の正規位置に安定的に支持することができる、新規かつ有用な押圧支持構造を備えた超音波モータが提供される。したがって本発明によれば、超音波モータの優れた制御応答性を高い信頼性の下に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態による超音波モータの図で、(a)正面図、及び(b)平面図である。
【図2】図1の超音波モータの変形例を示す図で、(a)正面図、及び(b)平面図である。
【図3】本発明の第2の実施形態による超音波モータの図で、(a)正面図、及び(b)平面図である。
【図4】図3の超音波モータの変形例を示す図で、(a)正面図、及び(b)平面図である。
【符号の説明】
10、70…超音波モータ
12…駆動面
14…振動子
16…励振素子(圧電素子)
18…可動体
20、72…押圧支持構造
24…支承部
28…表面領域
30、74…支持ばね部材
32…静止基材
34、76…第1固定部
36、78…第2固定部
38、80…中間固定部
40…取付基部
42、82…延長部分
44、94…剛性支持要素
46、84、96…板ばね要素
50…主部
54…ボルト
56…摩擦材料
60…規制部材
Claims (5)
- 駆動面を有する振動子と、該振動子を励振する励振素子と、該振動子の該駆動面に当接配置され、該振動子の振動に応じて一方向へ移動する可動体と、該駆動面を該可動体に押し付けた状態で該振動子を支持する押圧支持構造とを具備する超音波モータにおいて、
前記押圧支持構造は、
第1固定部、第2固定部及び該第1及び第2固定部の間に位置する中間固定部を有し、該中間固定部で前記振動子に固定的に連結されるとともに、該第1及び第2固定部と該中間固定部との間に延びる延長部分で、前記駆動面を前記可動体に押し付けるばね力を発揮する支持ばね部材と、
前記支持ばね部材の前記第1及び第2固定部が固定される静止基材とを具備し、
前記静止基材への前記支持ばね部材の前記第1及び第2固定部の固定位置が、前記駆動面を底とした前記振動子の高さの方向に見て、該振動子の頂端よりも低く、前記可動体に近接して配置されること、
を特徴とする超音波モータ。 - 前記静止基材への前記支持ばね部材の前記第1及び第2固定部の固定位置が、前記高さの方向に見て、前記振動子への該支持ばね部材の前記中間固定部の連結位置よりも低く配置される請求項1に記載の超音波モータ。
- 前記静止基材への前記支持ばね部材の前記第1及び第2固定部の固定位置が、前記振動子を中心として前記可動体の移動方向へ実質的対称に分散して配置される請求項1又は2に記載の超音波モータ。
- 前記支持ばね部材が板ばね要素を含む請求項1〜3のいずれか1項に記載の超音波モータ。
- 前記支持ばね部材から独立して静止配置され、前記振動子の前記振動を、前記可動体の前記移動に影響を及ぼさない範囲で規制する規制部材をさらに具備する請求項1〜4のいずれか1項に記載の超音波モータ。
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