JP4173243B2 - 破断方法および破断装置 - Google Patents
破断方法および破断装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4173243B2 JP4173243B2 JP08320199A JP8320199A JP4173243B2 JP 4173243 B2 JP4173243 B2 JP 4173243B2 JP 08320199 A JP08320199 A JP 08320199A JP 8320199 A JP8320199 A JP 8320199A JP 4173243 B2 JP4173243 B2 JP 4173243B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- diameter
- breaking
- air pressure
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/04—Cutting or splitting in curves, especially for making spectacle lenses
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/033—Apparatus for opening score lines in glass sheets
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
- B65G2249/045—Details of suction cups suction cups
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、板ガラス等の脆性材料からなるワークの面に閉曲線を描く刻線を形成した後、この刻線に沿って破断することにより、ワークの刻線の内側部分を外側部分から分離する方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
本願出願人は、閉曲線を描く刻線が形成された板ガラス等のワークを上記刻線に沿って破断することにより、刻線の内側部分と外側部分とを分離する装置を先に出願した(特願平9−304952)。この装置は、ワークの外側部分を挟持するとともに、ワークの内側部分に対峙する穴を有する一対の挟持部材(保持手段)と、この一対の挟持部材の一方に設けられその内部容積が可変である容積変更器(圧力可変手段)とを備えている。容積変更器の内部空間は、上記一方の挟持部材の穴を介してワークの一方の面と対峙し、他方の挟持部材の穴は大気に開放されている。容積変更器の内部容積を急激に減少させると、ワークに衝撃的なエア圧が付与され、ワークが刻線に沿って破断される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記の先願に係る装置では、ワークが内側部分と外側部分とに破断されはするものの、その破断面の摩擦抵抗によって内側部分を外側部分から離すことができない場合があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、第1の発明は、閉曲線を描く刻線が形成された板状ワークを、上記刻線に沿って破断する方法において、上記ワークの刻線より内側の部分に圧力を与えると同時に、またはその後、上記内側部分に、別途、衝撃部材を衝突させ、上記ワークの刻線より外側の部分から上記内側部分を分離することを特徴とする。
【0005】
第2の発明は、閉曲線を描く刻線が形成された板状ワークを、上記刻線に沿って破断する方法において、上記ワークの刻線より内側の部分の一方の面に、この面に接する流体の圧力上昇による押圧力を付与すると同時に衝撃部材を衝突させ、上記ワークの刻線より外側の部分から上記内側部分を分離することを特徴とする破断方法。
【0006】
第3の発明は、閉曲線を描く刻線が形成された板状ワークを、上記刻線に沿って破断する方法において、上記ワークの刻線より内側の部分の一方の面に、この面に接する流体の圧力降下による吸引力を付与し、次に、上記内側部分の一方の面に、上記流体の圧力上昇による押圧力を付与すると同時に衝撃部材を衝突させ、上記ワークの刻線より外側の部分から上記内側部分を分離することを特徴とする。
【0007】
第4の発明は、閉曲線を描く刻線が形成された板状ワークを、上記刻線に沿って破断することにより、刻線より内側の部分を外側の部分から分離する装置において、上記ワークの外側部分を全周にわたって保持する保持手段と、上記ワークの内側部分の一方の面に接する流体の圧力を変更可能な圧力可変手段と、上記ワークに直交する方向に移動可能に設けられた衝撃部材とを備え、上記圧力可変手段が、上記流体の圧力を上昇させると同時に、上記衝撃部材が、上記内側部分の一方の面に衝突することを特徴とする。
【0008】
第5の発明は、第4の発明において、上記圧力可変手段が、上記内側部分の一方の面に当てがわれる当接面、およびこの当接面と直交する方向に延び、当接面に開口するシリンダ孔を有するシリンダと、上記シリンダ孔に摺動自在に挿入されたピストンと、このピストンを摺動させる駆動機構とを有し、上記ピストンにおける上記ワークを向く先端面に、上記衝撃部材が突出して設けられていることを特徴とする。
【0009】
第6の発明は、第5の発明において、上記シリンダ孔が、先端部が上記当接面に開口する小径孔部と、この小径孔部の基端部に連なり、小径孔部より大径をなす大径孔部とを有し、上記ピストンが、上記小径孔部に摺動自在に挿入され、先端面に上記衝撃部材が設けられた小径部と、この小径部の基端部に連なり、上記大径孔部に摺動自在に挿入された大径部とを有し、上記駆動機構が、上記大径孔部における上記大径部より基端側の部分にエア圧を供給する前進用エア圧供給手段と、上記大径孔部における上記大径部より先端側の部分にエア圧を供給する後退用エア圧供給手段とを有していることを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第1実施形態を、図面を参照して説明する。
はじめに、破断の対象となるワークについて説明しておく。
図4に示すように、四角形の板ガラスからなるワーク1の上面(一方の面)には、円(閉曲線)を描く刻線1aと、この刻線1aと同心で刻線1aより大径の円を描く刻線1bとが形成されている。ワーク1において内側の刻線1aより内側の部分2は、本発明の破断装置および破断方法によって分離除去される。外側の刻線1bより外側の部分3は、本発明とは別の装置で所定の一箇所3aが叩かれることによって、分離除去される。残された刻線1a,1bの間の環状をなす部分4が、コンピュータ等における記憶ディスクの基板となる。
【0011】
図5に示すように、刻線1a,1bはスクライブ装置5によって形成される。スクライブ装置5は、先端に例えばダイヤモンド薄膜からなる硬質皮膜が形成されたカッタ6と、このカッタ6を保持するホルダ7と、このホルダ7に超音波振動を付与するアクチュエータ(図示せず)とを有している。カッタ6の先端をワーク1の上面に押しつけた状態で、超音波振動を付与しながら移動させることにより、刻線1a,1bを形成する。刻線1a,1bは、ワーク1の下面に向かって延びるクラックを有している。このクラックは、ほぼ垂直で、下方に向かうにしたがって僅かに拡径するテーパ状をなしている。
【0012】
破断装置について説明する。
図1に示すように、破断装置は、軸線を鉛直に向けたシリンダ10と、このシリンダ10に収容されたピストン20とを備えている。シリンダ10は、移動機構90に接続されており、この移動機構90によって上記スクライブ装置5による刻線1a,1bのスクライブ場所、上記他の装置による外側部分3の分離場所、および内側部分2の分離場所の間を移動自在になっている。
【0013】
シリンダ10は、本体部材11と当接板12とを備えている。本体部材11は、軸線に沿って延びる大径孔部11aを有し、筒状をなしている。本体部材11の下面の外径は、ワーク1の外側の刻線1bの直径より僅かに小さい(図4参照)。本体部材11の下面には凹部11bが形成されており、この凹部11bに当接板12が嵌め込まれ、ボルト(図示せず)で固定されている。
【0014】
当接板12は、軸線に沿って上方に突出する円筒部12aを有しており、この円筒部12aが大径孔部11aの内部に挿入されている。円筒部12aの内部空間が、小径孔部12bとなっている。小径孔部12bの上端部(基端部)は大径孔部11aに連なり、下端部(先端部)は当接板12の下面(当接面)に開口されている。小径孔部12bの内径は、上記ワーク1の内側の刻線1aの直径より小さい(図4参照)。
【0015】
上記ピストン20は、大径孔部11aに摺動自在に挿入された大径ピストン21(大径部)と、小径孔部12bに摺動自在に挿入された小径ピストン22(小径部)とを有している。これら大径ピストン21と小径ピストン22とは、小径ピストン22の上端部(基端部)に設けられたボルト23と、このボルト23にねじ込まれたナット24とによって連結固定されている。小径ピストン22の下端面(先端面)の中央には、衝撃部材25が突出して設けられている。衝撃部材25の尖った下端(先端)には、例えばダイヤモンド薄膜からなる硬質皮膜が形成されている。
【0016】
大径ピストン21によって、大径孔部11aが上側(基端側)の前進用エア圧室11cと下側(先端側)の後退用エア圧室11dとに仕切られている。前進用エア圧室11cは、エア圧通路33および共用エア圧通路31を介してエア圧源30に接続されている。共用エア圧通路31とエア圧通路33との間には、電磁切換弁32が設けられている。
【0017】
本体部材11には、後退用エア圧室11dの内周面から外周面に延びる横孔11eが形成されている。横孔11eは、エア圧通路34、電磁切換弁32、および共用エア圧通路31を介してエア圧源30に接続されている。
【0018】
図1に示すように、電磁切換弁32のソレノイドがオフのときは、エア圧通路33が大気に開放される一方、エア圧通路34がエア圧源30に連通される。これによって、前進用エア圧室11cが大気に開放される一方、後退用エア圧室11dにエア圧が供給される。このエア圧によって、ピストン20が、図示しないストッパに突き当たるまで押し上げられ、最大後退位置に達する。図2に示すように、電磁切換弁32のソレノイドがオンのときは、エア圧通路33がエア圧源30に連通される一方、エア圧通路34が大気に開放される。これによって、後退用エア圧室11dが大気に開放される一方、前進用エア圧室11cにエア圧が供給される。このエア圧によって、ピストン20が当接板12に突き当たるまで押し下げられ、最大前進位置に達する。ピストン20が最大前進位置のとき、衝撃部材25の先端は、当接板12の下面より若干下に突出している。
【0019】
シリンダ10は、特許請求の範囲の「保持手段」としても提供されている。
詳述すると、本体部材11の凹部11bの上面と当接板12の上面との間には、環状をなす空間10aが形成されている。この環状空間10aの外周縁より外側の本体部材11と当接板12との間と、内周縁より内側の本体部材11と当接板12との間とには、それぞれOリング13,14が設けられている。これによって、環状空間10aの外周縁と内周縁とが気密にシールされている。
【0020】
当接板12には、上記環状空間10aから下面に延びる縦孔12cが形成されている。図4に示すように、縦孔12cは、周方向および径方向に離れて複数配置されている。何れの縦孔12cについても、それからシリンダ10の軸線までの距離が、上記ワーク1の内側の刻線1aの半径より大きく、外側の刻線1bの半径より小さい範囲内に配置されている。
【0021】
図1に示すように、本体部材11には、上記環状空間10aから延びる接続孔11fが形成されている。接続孔11fは、吸引通路42を介し真空ポンプ40に接続されている。吸引通路42には、電磁切換弁41が設けられている。電磁切換弁41のソレノイドがオフのときは、吸引通路42を介して接続孔11f、環状空間10a、および縦孔12cの内部が大気に開放される。電磁切換弁41のソレノイドがオンのときは、真空ポンプ40によって、接続孔11f、環状空間10a、および縦孔12cの内部が負圧にされる。
真空ポンプ40、電磁切換弁41、吸引通路42、並びにシリンダ10の接続孔11f、環状空間10a、および縦孔12cによって、特許請求の範囲の「保持手段」が構成されている。
【0022】
上記のように構成された破断装置による破断方法について説明する。
図1に示すように、予め電磁切換弁32をオフし、ピストン20を最大後退位置にしておく。次に、シリンダ10を移動機構90によって上記スクライブ場所まで移動させ、刻線1a,1bが形成されたワーク1に当てがう。このとき、シリンダ10の軸線をワーク1の中心に合わせる。これによって、小径孔部12bの下端部がワーク1の内側部分2によって塞がれる。また、縦孔12cの下端部がワーク1の環状部分4によって塞がれる。
【0023】
次に、真空ポンプ40を駆動するとともに、電磁切換弁41をオンする。これによって、縦孔12c内の空気が真空吸引され、ワーク1が当接板12に吸着保持される。
【0024】
この吸着保持されたワーク1を移動手段90によって上昇させ、上記外側部分分離場所に搬送し、外側部分3を分離した後、さらに、上記内側部分分離場所に搬送する。(なお、外側部分3の分離は、内側部分2の分離後に行ってもよい。)
【0025】
内側部分分離場所には、バケット(図示せず)が設けられている。ワーク1はこのバケットの上に離れて位置決めされる。したがって、ワーク1の下面は大気に接している。
【0026】
ワーク1の位置決め後、図2に示すように、電磁切換弁32をオンする。これによって、ワーク1の内側部分2が環状部分4から瞬間的に分離される。
詳述すると、電磁切換弁32のオンによる前進用エア圧室11cへのエア圧導入によって、ピストン20が一気に下降する。これによって、小径孔部12b内のエア(気体)が一気に圧縮されて急激な圧力上昇が生じ、衝撃的な押圧力がワーク1の内側部分2の上面に付与される。しかも、このエアによる押圧力付与とほぼ同時に、衝撃部材25がワーク1の中心に極めて高速で衝突する。これによって、刻線1aの全周にわたって均一に非常に強い応力集中が発生し、刻線1aのクラックがワーク1の下面に瞬間的に到達するとともに、ワーク1の中心が衝撃部材25によって下に突き動かされる。この結果、ワーク1が、内側部分2と環状部分4とに破断されると同時に、内側部分2が環状部分4より下に突き出され分離される。そして、内側部分2は上記バケット内に落下収容される。図4において仮想線2aで示すように、この落下された内側部分2は、衝撃部材25の衝突によって中心から放射状に破砕されている。
【0027】
上記小径ピストン22が下降する際、その下面には小径孔部12b内のエア圧によって下降を阻止しようとする抵抗力が作用する。しかし、この小径ピストン22の下面より大きな受圧面積を有する大径ピストン21の上面に、エア圧源30からのエア圧が作用しているので、小径ピストン22は、上記抵抗力によって減速されることなく、一気に最大前進位置まで押し下げられる。したがって、ワーク1に付与されるエア圧の衝撃や衝撃部材25の衝突速度が減少させられることはない。
【0028】
内側部分2の分離後、電磁切換弁41をオフして、当接板12の縦孔12cを大気に開放することにより、環状部分4をシリンダ10から取り外す。この環状部分4の内周縁、すなわち破断面は、極めて綺麗であり、その後研磨する必要がない。上記のように、急激なエア圧上昇による衝撃と衝撃部材25の衝突によって瞬間的に破断したものだからであり、内側部分2の放射状の破砕が環状部分2に波及することもないからである。また、刻線1aから延びるクラックが下方に向かうにしたがって僅かに拡径するテーパ状をなしているので、内側部分2が下に突き出される時に、環状部分4の内周縁が欠けることがないからである。
【0029】
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図3に示すように、この実施形態では、エア圧源30とエア圧通路33,34との間に設けられた電磁切換弁32Aが、第1、第2のオフセット位置32a,32bとニュートラル位置32cとを有している。第1のオフセット位置32aでは、エア圧通路33がエア圧源30に連通される一方、エア圧通路34が大気に開放される。第2のオフセット位置32bでは、エア圧通路34がエア圧源30に連通される一方、エア圧通路33が大気に開放される。ニュートラル位置32cでは、いずれのエア圧通路33,34も大気に開放される。
【0030】
この電磁切換弁32Aをニュートラル位置32cにした状態で、シリンダ10の当接板12をスクライブ場所に置かれたワーク1の上面に当てがう。これによって、衝撃部材25、ひいてはピストン20が、ワーク1によって、最大前進位置での衝撃部材25の当接板12からの突出分だけ突き上げられる。
【0031】
次に、真空ポンプ40によってワーク1を当接板12に吸着保持する。そして、内側部分分離場所において電磁切換弁32Aを第2のオフセット位置32bに切り換える。これによって、エア圧源30のエア圧が後退用エア圧室11dに供給され、ピストン20が最大後退位置まで一気に上昇する。これによって、小径孔部12b内のエアが一気に膨張して急激な圧力降下が生じ、衝撃的な吸引力がワーク1の内側部分2の上面に付与される。この結果、刻線1aの全周にわたって均一に応力集中が発生し、刻線1aのクラックがワーク1の下面に向かって成長する。
【0032】
ピストン20が最大後退位置に達した直後、電磁切換弁32Aを第1のオフセット位置21aに切り換える。これによって、エア圧源30のエア圧が前進用エア圧室11cに供給され、ピストン20が一気に最大前進位置まで下降する。これによって、ワーク1の内側部分2の上面に、衝撃部材25が極めて高速で衝突するとともに、小径孔部12b内のエアの急激な圧力上昇による衝撃的な押圧力が付与される。これによって、内側部分2が環状部分4から破断分離される。
以上のように、この実施形態では、予め急激なエア圧降下による衝撃によってクラックを成長させておくので、ワーク1が厚い場合でも、刻線1aのクラックをワーク1の下面に確実に到達させることができ、内側部分2を確実に破断分離することができる。
【0033】
本発明は、上記実施の形態に限定されず、種々の形態を採用可能である。
例えば、ワーク1に圧力を与える流体は、エアなどの気体(圧縮性流体)のほか、水などの液体(非圧縮性流体)でもよい。
流体圧付与に代えて、内側部分2に弾性樹脂(ゴム)などの押圧部材を当てがい、この押圧部材によって内側部分2をワーク1に直交する向きに押すことにしてもよい。または、内側部分2に弾性樹脂(ゴム)などの引張り部材を接着し、この引張り部材をワーク1に直交し、しかもワーク1から離れる向きに引っ張ってもよい。若しくは、引張り部材の接着に代えて、その先端部に吸盤(吸着部)を設け、この吸盤を内側部分2に吸着させてもよい。上記押圧部材または引張り部材は、刻線1aの全周にわたって均一に応力集中を起こさせるようにするのが望ましい。
内側部分2の下面(他方の面)を引くと同時に上面(一方の面)に衝撃部材25を衝突させてもよい。内側部分2の上面を引き、又は下面を押すと同時に上面に衝撃部材25を衝突させてもよい。
刻線は、ワーク1の下面(他方の面)に形成してもよい。その場合において、衝撃部材25をワーク1の上から衝突させるときは、刻線に含まれるクラックは、上面に向かうにしたがって僅かに縮径するテーパ状にするのが望ましい。
保持手段は、ワーク1の環状部分4を上下から挟持するようになっていてもよい。
圧力可変手段は、一定量の気体の容積を変更する方式の他、容積一定の容器内に気体を圧縮注入し、または上記容器内から気体を真空吸引する方式であってもよい。
衝撃部材は、発射手段から発射される弾丸(飛行体)でもよい。
駆動機構は、ピストンをハンマー等の打撃手段で叩いて前進させ、コイルばね等の付勢手段で後退させるように構成してもよい。
エア圧源30を後退用エア圧室11dにのみ連通可能とし、ピストン20を上昇させた後自重で落下させるようにしてもよい。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように、第1、第2の発明は、ワークの内側部分を外側部分から破断すると同時に突き出すことができ、確実に分離することができる。
第3の発明は、刻線のクラックを成長させておくことによって、内側部分を外側部分から一層確実に破断し、分離することができる。
第4の発明は、ワークに対して流体の急激な圧力上昇による衝撃付与と衝撃部材の衝突とを同時に行うことによって、ワークの内側部分を外側部分から破断すると同時に突き出すことができ、確実に分離することができる。
第5の発明は、ワークに対する流体の急激な圧力上昇による衝撃付与と衝撃部材の衝突とを確実に同時に行うことができる。
第6の発明は、ピストンを小径孔部内の流体の圧縮抵抗に拘わらず一気に前進させることができる。したがって、ワークに流体圧縮による極めて大きな衝撃を付与するとともに、衝撃部材を極めて高速で衝突させることができ、ひいては、きれいな破断面を形成することができ、破断後の研磨が不要になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る破断装置を、ワークを吸着保持した時の状態で示す正面断面図である。
【図2】上記破断装置を、ワークの内側部分を分離する時の状態で示す正面断面図である。
【図3】本発明の第2実施形態に係る破断装置を、ワークの上面に当てがった時の状態で示す正面断面図である。
【図4】刻線が形成されたワークを、仮想線で示すシリンダに吸着保持させた状態で示す平面図である。
【図5】刻線を形成するためのスクライブ装置の正面断面図である。
【符号の説明】
1 ワーク
1a 刻線
2 内側部分
10 シリンダ
11a 大径孔部
12b 小径孔部
20 ピストン
21 大径ピストン(大径部)
22 小径ピストン(小径部)
25 衝撃部材
30 エア圧源(前進用エア圧供給手段、後退用エア圧供給手段)
Claims (6)
- 閉曲線を描く刻線が形成された板状ワークを、上記刻線に沿って破断する方法において、
上記ワークの刻線より内側の部分に圧力を与えると同時に、またはその後、上記内側部分に、別途、衝撃部材を衝突させ、上記ワークの刻線より外側の部分から上記内側部分を分離することを特徴とする破断方法。 - 閉曲線を描く刻線が形成された板状ワークを、上記刻線に沿って破断する方法において、
上記ワークの刻線より内側の部分の一方の面に、この面に接する流体の圧力上昇による押圧力を付与すると同時に衝撃部材を衝突させ、上記ワークの刻線より外側の部分から上記内側部分を分離することを特徴とする破断方法。 - 閉曲線を描く刻線が形成された板状ワークを、上記刻線に沿って破断する方法において、
上記ワークの刻線より内側の部分の一方の面に、この面に接する流体の圧力降下による吸引力を付与し、次に、上記内側部分の一方の面に、上記流体の圧力上昇による押圧力を付与すると同時に衝撃部材を衝突させ、上記ワークの刻線より外側の部分から上記内側部分を分離することを特徴とする破断方法。 - 閉曲線を描く刻線が形成された板状ワークを、上記刻線に沿って破断することにより、刻線より内側の部分を外側の部分から分離する装置において、
上記ワークの外側部分を全周にわたって保持する保持手段と、
上記ワークの内側部分の一方の面に接する流体の圧力を変更可能な圧力可変手段と、
上記ワークに直交する方向に移動可能に設けられた衝撃部材とを備え、
上記圧力可変手段が、上記流体の圧力を上昇させると同時に、上記衝撃部材が、上記内側部分の一方の面に衝突することを特徴とする破断装置。 - 上記圧力可変手段が、上記内側部分の一方の面に当てがわれる当接面、およびこの当接面と直交する方向に延び、当接面に開口するシリンダ孔を有するシリンダと、上記シリンダ孔に摺動自在に挿入されたピストンと、このピストンを摺動させる駆動機構とを有し、
上記ピストンにおける上記ワークを向く先端面に、上記衝撃部材が突出して設けられていることを特徴とする請求項4に記載の破断装置。 - 上記シリンダ孔が、先端部が上記当接面に開口する小径孔部と、この小径孔部の基端部に連なり、小径孔部より大径をなす大径孔部とを有し、
上記ピストンが、上記小径孔部に摺動自在に挿入され、先端面に上記衝撃部材が設けられた小径部と、この小径部の基端部に連なり、上記大径孔部に摺動自在に挿入された大径部とを有し、
上記駆動機構が、上記大径孔部における上記大径部より基端側の部分にエア圧を供給する前進用エア圧供給手段と、上記大径孔部における上記大径部より先端側の部分にエア圧を供給する後退用エア圧供給手段とを有していることを特徴とする請求項5に記載の破断装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08320199A JP4173243B2 (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 破断方法および破断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08320199A JP4173243B2 (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 破断方法および破断装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000272928A JP2000272928A (ja) | 2000-10-03 |
JP4173243B2 true JP4173243B2 (ja) | 2008-10-29 |
Family
ID=13795724
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08320199A Expired - Lifetime JP4173243B2 (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 破断方法および破断装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4173243B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060249553A1 (en) * | 2005-05-06 | 2006-11-09 | Ljerka Ukrainczyk | Ultrasonic induced crack propagation in a brittle material |
-
1999
- 1999-03-26 JP JP08320199A patent/JP4173243B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000272928A (ja) | 2000-10-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0905097B1 (en) | Scribe device | |
CA1170014A (en) | Repair of shatterproof glass | |
JP4203177B2 (ja) | スクライブ方法および装置 | |
JP2007281343A (ja) | ウェーハ支持方法及びウェーハ支持装置 | |
KR20130113436A (ko) | 픽업 방법 및 픽업 장치 | |
KR20060129374A (ko) | 제어된 클리빙을 위한 장치 및 방법 | |
WO2006112019A1 (ja) | ガラス板の孔開け方法及びその装置 | |
JP4173243B2 (ja) | 破断方法および破断装置 | |
JPWO2008004270A1 (ja) | ピックアップ方法およびピックアップ装置 | |
US4420106A (en) | Method of and apparatus for damage-free scoring of refractory material | |
KR20020013400A (ko) | 취성재료 절단용 커터, 이를 사용한 스크라이버 및스크라이브 방법 | |
JP4916060B2 (ja) | 脆性材料切断用カッター、それを用いたスクライバー及びスクライブ方法 | |
JP5077193B2 (ja) | スタック分離装置 | |
JP5572039B2 (ja) | ウエーハの剥離方法及びその装置 | |
US6536250B1 (en) | Apparatus and method for vacuum dent repair | |
JP2009023351A (ja) | スクライブ方法 | |
JP3046950B2 (ja) | 破断装置 | |
CN206899543U (zh) | 单晶硅棒头尾取片装置 | |
WO2009133933A1 (ja) | 衝撃付与装置 | |
JP6822869B2 (ja) | 剥離装置 | |
CN211946826U (zh) | 一种裂缝修补装置 | |
CN209794622U (zh) | 一种热压机用自动弹出装置 | |
GB2256612A (en) | Splitting of slabs or blocks | |
JP6975056B2 (ja) | 搬送機構 | |
CN112809938A (zh) | 一种瓷砖打孔防止开裂的设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060324 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080606 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080729 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080813 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120822 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120822 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130822 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |