JP4169516B2 - 光スイッチ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光導波路の光路上に配されたスイッチング部材によって光を反射または透過し、スイッチング部材の移動により光の進行方向を切り替える光スイッチに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、大容量の情報伝達のために光ネットワークの開発が成されているが、この光ネットワークにおいて、光分岐するための装置として光スイッチが用いられる。この従来の光スイッチが、特開2000−121967号公報で開示されている。当該公報で提案されている光スイッチは、光ファイバーから出射された光束の光路上に配置されたマイクロミラーを可動板で支持し、可動板を電圧の印加により移動してマイクロミラーを光路上から退避させることによって光の直進と反射とを切り替えている。
【0003】
又、USP5699462には、交差する2つの光導波路を斜めに横断する溝部を設け、溝部に充填した液体内に気泡を形成してマイクロヒータにより気泡を加熱して移動する光スイッチが開示されている。この光スイッチによると、充填される液体の屈折率と光導波路の屈折率を略等しくしているため、光導波路の光路上に液体が配置されると光が直進し、気泡が配置されると光が反射して進行方向が切り替えられるようになっている。
【0004】
又、上述の光スイッチ以外に、2つの光導波路の交差部に設置したミラーやフィルタを駆動するために、圧電素子を備えたマイクロポンプや電磁コイルによる磁力などを利用したものがある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
近年、異なる情報をそれぞれ別の波長の光(搬送波)に乗せ、複数の搬送波を重畳して大容量の情報を1本の光ファイバーにより伝送することのできる所謂波長多重通信が行われるようになっている。しかしながら、上記の従来の光スイッチによると、波長多重された光は一律に反射や透過されるため、各搬送波に乗せられた情報を別々に出力することができない。このため、別途分波器等により分波して情報が取り出されるため、光スイッチを備えた光通信システムが複雑になる問題があった。
【0006】
又、上記の特開2000−121967号公報に開示された光スイッチは、光ファイバーから出射された光をマイクロミラーで反射または透過して光ファイバーに出力するため、コリメートレンズが必要となる。USP5699462に開示された光スイッチは加熱するため、マイクロヒータ及び放熱する機構を必要とする。又、マイクロポンプのような液体を利用した駆動機構では、所定の位置にフィルタを停止させる動作が困難で、その位置決め機構が複雑になる。更に、コイルなどの電磁力を用いた場合は、フィルタを駆動させるためのコイルを含む駆動力発生部が複雑で大きくなる。従って、何れも光スイッチの構造が複雑になるという問題があった。
【0007】
本発明は、波長多重された光を別々に出力することのできる光スイッチを提供することを目的とする。又、本発明は、構造が簡単な光スイッチを提供することを別の目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の光スイッチは、クラッド層と、前記クラッド層に囲まれ前記クラッド層よりも屈折率の大きい光導波路と、を有し、前記光導波路を横切る溝部が形成された本体部と、前記溝部に嵌め込まれ、前記溝部に沿って移動可能なスイッチング部材と、前記スイッチング部材に設けられ、所定の抵抗値をもつ移動子と、前記スイッチング部材に設けられ、前記スイッチング部材の移動方向に並んだ複数のフィルタと、前記溝部の内部に構成される絶縁層を介して前記溝部の側面の前記移動子と対向する位置から前記本体部の表面まで延在するように設けられ、前記移動子を駆動する複数の電極と、前記本体部の表面に設けられ、前記複数の電極に対して選択的に駆動電圧を与えるための配線部と、を備え、前記複数のフィルタの各々が選択的に光導波路に配置されるように前記複数の電極の幅が設定されており、前記移動子を前記複数の電極により静電誘導した後、前記複数の電極に駆動電圧を与えて前記スイッチング部材を任意の位置に移動することで、波長に応じて異なる方向に光を導くことを特徴とする。
この構成によると、複数の電極に駆動電圧を与えることによって、移動子に電荷を誘導した後、複数の電極に与える駆動電圧を切り換えて、移動子と複数の電極との間に働く静電力による斥力及び引力を利用してスイッチング部材を任意の位置に移動させる。
【0011】
また本発明は、上記構成の光スイッチにおいて、前記絶縁層が、前記溝部に封入された絶縁性のマッチングオイルであることを特徴とする。
【0013】
又、上述の光スイッチにおいて、駆動電圧を3相の電圧とし、前記複数の電極に対して、隣接する3つの電極毎に各相の電圧が供給されるように分配される。このとき、各相の電圧は、3つの電圧レベルの組み合わせによって成る。望ましくは、正の電圧と、負の電圧と、接地電圧との組み合わせである。
【0014】
又、本発明は、上記構成の光スイッチを同一光路上に複数配置したことを特徴としている。この構成によると、光スイッチをn個直列に並べた一つの光路に波長多重された光を伝送してn本の出力ポートの内、任意の出力ポートに任意の波長の光を導くことができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施形態を図面を参照して説明する。まず、以下の各実施形態において共通して用いられる光スイッチの本体部における導波路の製造方法について、簡単に説明する。尚、図1(a)〜(d)は、光スイッチの本体部の断面図で、本体部に設けられた2本の導波路を横切る方向の断面を表す。
【0016】
まず、図1(a)に示すように、Si等から成る基板10上には石英等から成る下部クラッド層11がCVD等により成膜される。下部クラッド層11上には、図1(b)に示すように、石英等から成るコア層12が成膜される。下部クラッド層11はフッ素等をドーピングすることによりコア層12よりも屈折率が小さくなっている。コア層12上にはレジスト13がスピンコート等により塗布され、露光及び現像を行って所定形状にパターニングされる。
【0017】
次に、図1(c)に示すように、RIE等によりコア層12をエッチングすることにより、所定形状の導波路14が形成される。コア層12が石英の場合には、RIEの反応ガスとしてCHF3やCF4等が用いられる。レジスト13を剥離後、図1(d)に示すように、下部クラッド層11と同じ材質の上部クラッド層15がフッ素等をドーピングしながら成膜される。これにより、屈折率の小さい下部クラッド層11と上部クラッド層15とに挟まれた導波路14により入射光を導波する本体部8が得られる。
【0018】
このような製造方法で製造された導波路14を有する本体部8によって成る光スイッチの各実施形態について、以下に説明する。以下の各実施形態において、この本体部8に設けられた導波路14は、共通の構成となる。
【0019】
<第1の実施形態>
図2は第1の実施形態の光スイッチの構成を示す外観斜視図である。光スイッチ1は、上述のような製造方法によって、本体部8に2つの導波路14a、14bが所定の交差角度θで交差して設けられるとともに、導波路14a、14bの交差部14cを横切る溝部2が形成されている。そして、溝部2に嵌め込むようにして、光学特性の異なる干渉フィルター3a〜3c及び所定の抵抗値(例えば、1010Ω/□〜1015Ω/□、尚、Ω/□とは、表面抵抗率を表す単位である。)を有する抵抗体材料によって成る移動子部3dを有するフィルター3が設けられるとともに、このフィルター3を溝部2に沿って駆動させるために移動子部3dに対して固定子として働く複数本の電極4が設けられる。更に、この複数本の電極4に対して3相の駆動電圧を与えるための3相配線部5が設けられる。尚、複数本の電極4は、後述するように絶縁膜7で覆われるが、説明を簡単にするために、図2では不図示とする。
【0020】
このように光スイッチ1が構成されるとき、図3の断面図のように、本体部8の表面上にアルミ膜等の金属膜をパターニングして設けられた電極4が溝部2の側面まで設けられ、電極4がフィルター3の側面3xと対向するようにして設けられる。又、電極4とフィルター3と間を絶縁するため、溝部2にシリコンオイルなどの絶縁性のマッチングオイル6を封入するとともに、電極4を覆うように、本体部8の表面に絶縁膜7が設けられる。
【0021】
更に、この電極4は、金属によって成形されるので、導波路14a、14bに重なるように設けられると光が減衰してしまう。よって、図2のように、本体部8において、導波路14a、14bの設けられた部分と異なる部分に電極4が設けられ、フィルター3の移動子部3dと対向するように設けられる。又、電極4は、例えば、1000Åの厚みで5μmの幅の金属膜とするとともに、各電極間の間隔を5μmとする。
【0022】
又、フィルター3において、例えば、干渉フィルター3a〜3cがそれぞれ図4〜図6に示す光学特性を有するように形成した場合の光スイッチ1の動作を以下に説明する。光スイッチ1に入射する光束は、波長λ1(=1.3μm)の光と波長λ2(=1.55μm)の光とがファイバーカプラで1本の光ファイバーに波長多重され、入力ポートI(図2参照)から入射するようになっている。
【0023】
次に、上述のようにして電極4が設けられたときのフィルター3の駆動方法について、図7〜図13を参照して説明する。尚、電極4は、図7〜図9のように、電極4a〜4iが設けられているものとし、電極4a、4d、4gが3相配線部5のうちの配線5aに、電極4b、4e、4hが配線5bに、電極4c、4f、4iが配線5cに、それぞれ接続されているものとする。又、光スイッチは、初期状態として、図10のように、導波路14a、14bの交差部14cから干渉フィルター3a〜3cが全て待避した位置にフィルター3が配置されるものとする。更に、動作を簡単に説明するために、各電極4間の幅と干渉フィルタ3a〜3cの幅を等しいものとする。更に、図10〜図13において、マッチングオイル6及び絶縁膜7は不図示としている。
【0024】
初期状態においては、入力ポートIから入射した波長λ1、λ2の光は導波路14a内を直進して、第1出力ポートOaから出力される。このとき、図7(a)のように、配線5aに正の電圧+Vが、配線5bに負の電圧−Vが、配線5cに接地電圧が、それぞれ印加される。よって、電極4a、4d、4gに正の電荷が帯電するとともに、電極4b、4e、4hに負の電荷が帯電する。このとき、電極4a〜4iに対向するようにして設置されるフィルター3の移動子部3dにおいて、電極4a、4d、4gに対向する部分3p、3r、3tに負の電荷が帯電するとともに、電極4b、4e、4hに対向する部分3q、3s、3uに正の電荷が帯電する。
【0025】
図10の状態から、図11のように、導波路14a、14bの交差部14cにフィルター3の干渉フィルター3aが配置されるようにするとき、図7(b)のように、配線5a、5cに負の電圧−Vが、配線5bに正の電圧+Vが、それぞれ印加されるように、3相配線部5に与える電圧を切り換える。このとき、フィルター3の移動子部3dでは、高い抵抗に妨げられて、部分3p〜3uに帯電された電荷の移動が留まった状態となる。
【0026】
このとき、部分3p、3r、3tに対して、負の電荷が帯電された電極4a、4c、4d、4f、4gによって斥力が働くとともに正の電荷が帯電された電極4b、4e、4hによって引力が働く。又、同様に、部分3q、3s、3uに対して、正の電荷が帯電された電極4b、4e、4hによって斥力が働くとともに負の電荷が帯電された電極4c、4f、4iによって引力が働く。よって、フィルター3に対して、図7の垂直方向に反発力が働くとともに左側に駆動力が発生し、部分3p、3r、3tが正の電荷が帯電された電極4b、4e、4hに対向するとともに部分3q、3s、3uが負の電荷が帯電された電極4c、4f、4iに対向するように、フィルター3が電極4の幅1つ分移動する。
【0027】
そして、図7(c)のように、配線5aに接地電圧が、配線5bに正の電圧+Vが、配線5cに負の電圧−Vが、それぞれ印加され、図11のように、導波路14a、14bの交差部14cにフィルター3の干渉フィルター3aが配置されるように、フィルター3の位置を固定する。このとき、干渉フィルター3aは波長λ1、λ2において透過率が略0%である(図4参照)。このため、入力ポートIから入射した波長λ1、λ2の光はフィルター3で反射して導波路14bを進行し、第2出力ポートObから出力される。
【0028】
又、図11の状態から、図12のように、導波路14a、14bの交差部14cにフィルター3の干渉フィルター3bが配置されるようにするとき、図7(d)のように、配線5a、5bに負の電圧−Vが、配線5cに正の電圧+Vが、それぞれ印加されるように、3相配線部5に与える電圧を切り換える。そして、図10の状態から図11の状態に変更したときと同様、フィルター3に対して、図7の垂直方向に反発力が働くとともに左側に駆動力が発生する。よって、部分3p、3r、3tが正の電荷が帯電された電極4c、4f、4iに対向するとともに部分3q、3sが負の電荷が帯電された電極4d、4gに対向するように、フィルター3が電極4の幅1つ分移動する。
【0029】
そして、図8(a)のように、配線5aに負の電圧−Vが、配線5bに接地電圧が、配線5cに正の電圧+Vが、それぞれ印加され、図12のように、導波路14a、14bの交差部14cにフィルター3の干渉フィルター3bが配置されるように、フィルター3の位置を固定する。このとき、干渉フィルター3bは波長λ1において透過率が略100%になっており、波長λ2において透過率が略0%である(図5参照)。このため、入力ポートIから入射した波長λ1の光はフィルター3を透過して導波路14a内を直進して第1出力ポートOaから出力される。また、波長λ2の光はフィルター3で反射して導波路14bを進行し、第2出力ポートObから出力される。
【0030】
更に、図12の状態から、図13のように、導波路14a、14bの交差部14cにフィルター3の干渉フィルター3cが配置されるようにするとき、図8(b)のように、配線5aに正の電圧+Vが、配線5b、5cに負の電圧−Vが、それぞれ印加されるように、3相配線部5に与える電圧を切り換える。よって、部分3p、3rが正の電荷が帯電された電極4d、4gに対向するとともに部分3q、3sが負の電荷が帯電された電極4e、4hに対向するように、フィルター3が電極4の幅1つ分移動する。
【0031】
そして、図8(c)のように、配線5aに正の電圧+Vが、配線5bに負の電圧−Vが、配線5cに接地電圧が、それぞれ印加され、図13のように、導波路14a、14bの交差部14cにフィルター3の干渉フィルター3cが配置されるように、フィルター3の位置を固定する。このとき、干渉フィルター3cは波長λ1において透過率が略0%になっており、波長λ2において透過率が略100%である(図6参照)。このため、入力ポートIから入射した波長λ1の光はフィルター3で反射して導波路14bを進行し、第2出力ポートObから出力される。また、波長λ2の光はフィルター3を透過して導波路14a内を直進して第1出力ポートOaから出力される。
【0032】
逆に、図13の状態から、図12の状態にするとき、図8(d)のように、配線5aに負の電圧−Vが、配線5b、5cに正の電圧+Vが、それぞれ印加されるように、3相配線部5に与える電圧を切り換える。このとき、部分3p、3r、3tに対して、負の電荷が帯電された電極4d、4gによって斥力が働くとともに正の電荷が帯電された電極4c、4f、4iによって引力が働く。又、同様に、部分3q、3sに対して、正の電荷が帯電された電極4e、4f、4h、4iによって斥力が働くとともに負の電荷が帯電された電極4d、4gによって引力が働く。
【0033】
よって、フィルター3に対して、図8の垂直方向に反発力が働くとともに右側に駆動力が発生し、部分3p、3r、3tが正の電荷が帯電された電極4c、4f、4iに対向するとともに部分3q、3sが負の電荷が帯電された電極4d、4gに対向するように、フィルター3が電極4の幅1つ分移動する。そして、図9(a)のように、配線5aに負の電圧−Vが、配線5bに接地電圧が、配線5cに正の電圧+Vが、それぞれ印加され、図12のように、導波路14a、14bの交差部14cにフィルター3の干渉フィルター3bが配置されるように、フィルター3の位置を固定する。
【0034】
又、図12の状態から、図11の状態にするとき、図9(b)のように、配線5a、5bに正の電圧+Vが、配線5cに負の電圧−Vが、それぞれ印加されるように、3相配線部5に与える電圧を切り換える。よって、フィルター3に対して、図9の垂直方向に反発力が働くとともに右側に駆動力が発生し、フィルター3が電極4の幅1つ分移動する。そして、図9(c)のように、配線5aに接地電圧が、配線5bに正の電圧+Vが、配線5cに負の電圧−Vが、それぞれ印加され、図11のように、導波路14a、14bの交差部14cにフィルター3の干渉フィルター3aが配置されるように、フィルター3の位置を固定する。
【0035】
又、図11の状態から、図10の状態にするとき、図9(d)のように、配線5a、5cに正の電圧+Vが、配線5bに負の電圧−Vが、それぞれ印加されるように、3相配線部5に与える電圧を切り換える。よって、フィルター3に対して、図9の垂直方向に反発力が働くとともに右側に駆動力が発生し、フィルター3が電極4の幅1つ分移動する。そして、図7(a)のように、配線5aに正の電圧+Vが、配線5bに負の電圧−Vが、配線5cに接地電圧が、それぞれ印加され、図10のように、導波路14a、14bの交差部14cから干渉フィルター3a〜3cが全て待避した位置にフィルター3が配置される。
【0036】
上述のような動作を行ってフィルター3の干渉フィルター3a〜3cを一つずつ移動させるとき、図7(b)→図7(d)→図8(a)の順に、3相配線部5に与える電圧を切り換えることで、図10の状態から図12の状態にすることができる。又、図7(b)→図7(d)→図8(b)→図8(c)の順に、3相配線部5に与える電圧を切り換えることで、図10の状態から図13の状態にすることができる。又、図7(d)→図8(b)→図8(c)の順に、3相配線部5に与える電圧を切り換えることで、図11の状態から図13の状態にすることができる。
【0037】
逆に、図8(d)→図9(b)→図9(c)の順に、3相配線部5に与える電圧を切り換えることで、図13の状態から図11の状態にすることができる。又、図8(d)→図9(b)→図9(d)→図7(a)の順に、3相配線部5に与える電圧を切り換えることで、図13の状態から図10の状態にすることができる。又、図9(b)→図9(d)→図7(a)の順に、3相配線部5に与える電圧を切り換えることで、図12の状態から図10の状態にすることができる。
【0038】
従って、電極4とフィルター3の移動子部3dによる誘導電荷型静電気方式を利用してフィルター3を移動することによって、複数の波長の搬送波が重畳された波長多重光束を全反射、全透過、一部透過・一部反射に切り替えることができる。また、図14に示すように、干渉フィルターを例えば波長が1.55μmの光だけを透過する狭帯域にすることも可能である。
【0039】
本実施形態によると、波長多重された入射光を波長別にスイッチングして別々に出力することができるので、別途分波器等を必要とせず、光通信システムの簡素化を図ることができる。
【0040】
<第2の実施形態>
図15は第2の実施形態の光スイッチの構成を示す分解斜視図である。第1の実施形態と同様、光スイッチ1aは、本体部8に、2つの導波路14a、14bとともに、導波路14a、14bの交差部14cを横切る溝部2が形成されている。そして、シリコンオイルなどのマッチングオイル6が封入された溝部2に嵌め込むようにして、フィルター3が設けられる。
【0041】
更に、この本体部8の上面を絶縁膜27を介して覆う蓋部20の裏面に、移動子部3dに対して固定子として働く複数本の電極24と、複数本の電極24に対して3相の駆動電圧を与えるための3相配線部25とが設けられる。尚、蓋部20は、電極24と3相配線部25との関係を示すために、透過した図とする。又、電極24は、フィルター3の移動子部3dと交差するような位置に設けられる。又、電極24は、第1の実施形態と同様、例えば、1000Åの厚みで5μmの幅の金属膜とするとともに、各電極間の間隔を5μmとする。
【0042】
よって、固定子となる電極24とフィルター3の移動子部3dとの関係が、図16の断面図のような関係となる。即ち、電極24が、溝部2に嵌め込まれたフィルター3の上面3yに対して、マッチングオイル6及び絶縁膜27を介して対面する。このように構成される光スイッチ1aの動作については、第1の実施形態と同様となるので、その説明は省略する。
【0043】
<第3の実施形態>
図17は第3の実施形態の光スイッチの構成を示す分解斜視図である。本実施形態の光スイッチ1bは、まず、基板30表面に固定子として働く複数の電極34と、複数本の電極34に対して3相の駆動電圧を与えるための3相配線部35とが設けられた後、その上面を覆うように絶縁膜37が設けられる。そして、更に、このような電極34と3相配線部35とが設けられた基板30に、第1の実施形態と同様、2つの導波路14a、14bの交差部14cを横切る溝部2を形成するように、導波路14a、14bを有するクラッド層31が設けられることで、本体部を構成する。
【0044】
このようにして、本体部を構成すると、シリコンオイルなどのマッチングオイル6が封入された溝部2に嵌め込むようにして、フィルター3が設けられる。このとき、電極34は、フィルター3の移動子部3dと交差するような位置に設けられる。又、電極34は、第1の実施形態と同様、例えば、1000Åの厚みで5μmの幅の金属膜とするとともに、各電極間の間隔を5μmとする。
【0045】
よって、固定子となる電極34とフィルター3の移動子部3dとの関係が、図18の断面図のような関係となる。即ち、電極34が、溝部2に嵌め込まれたフィルター3の下面3zに対して、マッチングオイル6及び絶縁膜37を介して対面する。このように構成される光スイッチ1bの動作については、第1の実施形態と同様となるので、その説明は省略する。
【0046】
<第4の実施形態>
図19は第4の実施形態の光スイッチの内部構成を示す分解斜視図である。第2の実施形態と同様、光スイッチ1cは、本体部8に、2つの導波路14a、14bとともに、導波路14a、14bの交差部14cを横切る溝部2が形成されている。そして、マッチングオイル6が封入された溝部2に嵌め込むとともに、干渉フィルタ3a〜3cの設けられた部分が交差部14c付近に位置するように、フィルター43が設けられる。
【0047】
フィルター43は、第1〜第3の実施形態におけるフィルター3と異なり、溝部2より上部に200μm以上はみ出した構成とし、このはみ出した部分を移動子部43dとする。このようにフィルター43が嵌め込まれた本体部8の導波路14a、14bが設けられた部分の表面に、電極付板部40が設置される。この電極付板部40は、その側面40xに、移動子部3dに対して固定子として働く複数本の電極44と、複数本の電極44に対して3相の駆動電圧を与えるための3相配線部45とが設けられる。又、本体部8の導波路14aのみが設けられた部分の表面に板部41が設けられる。尚、複数本の電極44は、後述するように絶縁膜47で覆われるが、説明を簡単にするために、図19では不図示とする。
【0048】
このように、電極44と3相配線部45とが設けられた電極付板部40の側面40x上には、電極44と3相配線部45とを覆うための絶縁膜47が設けられる。又、電極付板部40は、絶縁材料によって構成される。そして、電極44は、第2の実施形態と同様、例えば、1000Åの厚みで5μmの幅の金属膜とするとともに、各電極間の間隔を5μmとする。
【0049】
よって、固定子となる電極44とフィルター43の移動子部43dとの関係が、図20の断面図のような関係となる。即ち、電極44が、溝部2に嵌め込まれたフィルター43の側面43xにおける移動子部43dに対して、マッチングオイル6及び絶縁膜47を介して対面する。又、フィルター43は、図21のように、溝部2の側面対向する部分に、干渉フィルター3a〜3cが設けられるとともに、入射光を全て透過するための切り欠き部43eが設けられる。
【0050】
更に、本実施形態においては、図21のように、移動子部43dが切り欠き部43eと干渉フィルタ3a〜3cの上部に設けられる。このように構成される光スイッチ1bの動作については、第1の実施形態と同様となるので、その説明は省略する。
【0051】
上述のように、各実施形態において、光スイッチを構成するとき、第2〜第4の実施形態において、第1の実施形態と異なり、固定子として働く電極24〜44それぞれが導波路14a、14bと異なる層に設けられる。よって、第2〜第4の実施形態の光スイッチにおける電極24〜44については、光スイッチの上面から見て、導波路14a、14bと重なり合うような位置及び導波路14a、14bと重ならない位置のいずれに設けても構わない。
【0052】
尚、フィルターに変えてマイクロミラー等の他のスイッチング部材を電極に対向する位置に移動子部を設けるとともに溝部内に配してもよい。このようにすると、波長選択性はないが、導波路と交差して配置したスイッチング部材を誘導電荷型静電方式を利用して移動させることにより、コリメートレンズや放熱機構を必要としない光スイッチを実現することができる。
【0053】
又、固定子として働く電極と、この電極に3相の駆動電圧を与えるための3相配線部との関係は、例えば、図22又は図23のようにしても構わない。即ち、図22のように、3相の駆動電圧が与えられる電極51a〜51cと電気的に接続された配線52a〜52cが設けられるとともに、固定子として働く電極53a〜53iそれぞれに対して配線52a〜52cと電気的に接続するためのコンタクトホール54a〜54iを設けるようにしても構わない。
【0054】
このとき、電極53a、53d、53gがコンタクトホール54a、54d、54gを通じて、絶縁膜を介して設けられる配線52aと接続され、電極53b、53e、53hがコンタクトホール54b、54e、54hを通じて、絶縁膜を介して設けられる配線52bと接続され、電極53c、53f、53iがコンタクトホール54c、54f、54iを通じて、絶縁膜を介して設けられる配線52cと接続される。
【0055】
又、図23のように、3相の駆動電圧が与えられる電極61a〜61cそれぞれに対して電気的に接続された配線62a〜62iを有するフレキシブル基板60が設けられる。そして、、このフレキシブル基板60の配線62a〜62iに対して、固定子として働く電極64a〜64iが、ACF(異方性導電膜)63を介して電気的に接続される。よって、電極64a、64d、64gが配線62a、62d、62gを通じて電極61aと接続され、電極64b、64e、64hが配線62b、62e、62hを通じて電極61bと接続され、電極64c、64f、64iが配線62c、62f、62iを通じて電極61cと接続される。
【0056】
このようにすることで、5μm間隔毎に設けられた幅5μmの電極64a〜64iを、100μm間隔毎にフレキシブル基板60に設けられた幅100μmの電極61a〜61cに、電気的に接続することができる。
【0057】
次に、複数の光スイッチを設けた光スイッチ列の実施例について説明する。図24は、複数の光スイッチを設けたときの平面図である。本実施例は、第1〜第4の実施形態のいずれかの構成の光スイッチ101a〜101cが直線状に配置されて、光スイッチ列100が構成されている。光スイッチ列100には導波路114aと導波路114b〜114dとが交差し、各交差部分に第1実施形態と同様の溝部102a〜102cが設けられ、溝部102a〜102cそれぞれにフィルタ103a〜103cが嵌め込まれる。
【0058】
導波路114aの入力側(図中、左方)には、光ファイバー104が接続され、導波路114aの出力側(図中、右方)には、光ファイバー105が接続されている。導波路114b〜114dの出力側(図中、下方)には、光ファイバーアレイ106の各光ファイバーが接続されている。
【0059】
光ファイバー104から複数の波長の光が重畳された波長多重光束が入射すると、誘導電荷型静電気方式を用いて溝部102a〜102c内に配されたフィルター103a〜103cを移動させることにより、波長に応じて異なる光ファイバーから出力させることができる。
【0060】
よって、上述の実施例と同様に、n個の光スイッチによって光スイッチ列を構成したとき、例えば、n個の波長が多重された光をn本の光ファイバーに分岐させた後にその出力の切り換えを行わずに、そのまま1×n個の光スイッチに入力させて、n個の出力用の各光ファイバーに任意の波長の光を出力させることができる。従って、従来のように高価な分波器などを必要とせず、又、光スイッチの数を削減して光の損失を低減することができる。
【0061】
【発明の効果】
本発明によると、固定子に駆動電圧を与えて、移動子を静電誘導した後、駆動電圧を切り換えることによって移動子と固定子との間に働く静電力を利用して、スイッチング部材を移動させるため、固定子のピッチ毎に正確に位置決めを行うことができる。又、固定子として電極を配置することによってスイッチング部材の駆動機構を構成することができるため、駆動機構の小型化を図ることができる。又、光導波路の光路上に配されるスイッチング部材が波長に応じて異なる方向に光を導くので、波長多重された入射光を波長別にスイッチングして別々に出力することができる。従って、別途分波器等を必要とせず、光スイッチを用いた光通信システムの簡素化を図ることができる。
【0062】
又、光導波路と異なる部分に固定子となる複数の電極を設ければ、光導波路を伝播させる導波光の過剰損失を防ぐことができる。
【0063】
更に、光スイッチを一つの光路に複数配置することによって、波長多重された光を複数の光ファイバーに分岐させることなく、そのまま直列に並んだ光スイッチに入力させて、出力用の各光ファイバーに任意の波長の光を出力させることができる。従って、従来のように高価な分波器などを必要とせず、又、光スイッチの数を削減して光の損失を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施形態の光スイッチの本体部の製造方法を示す側面断面図。
【図2】 本発明の第1実施形態の光スイッチの構成を示す外観斜視図。
【図3】 図2の光スイッチの溝部周辺の構成を示す側面断面図。
【図4】 本発明の光スイッチの第1の干渉フィルターの透過率を示す図。
【図5】 本発明の光スイッチの第2の干渉フィルターの透過率を示す図。
【図6】 本発明の光スイッチの第3の干渉フィルターの透過率を示す図。
【図7】 フィルター移動時における、フィルターの移動子部と電極との関係を示す図。
【図8】 フィルター移動時における、フィルターの移動子部と電極との関係を示す図。
【図9】 フィルター移動時における、フィルターの移動子部と電極との関係を示す図。
【図10】 光スイッチの透過モード時の状態を示す平面図。
【図11】 光スイッチの反射モード時の状態を示す平面図。
【図12】 光スイッチの一部透過時の状態を示す平面図。
【図13】 光スイッチの一部透過時の状態を示す平面図。
【図14】 本発明の光スイッチの他の干渉フィルターの透過率を示す図。
【図15】 第2の実施形態の光スイッチの溝部周辺の構成を示す分解断面図。
【図16】 図15の光スイッチの溝部周辺の構成を示す側面断面図。
【図17】 第3の実施形態の光スイッチの溝部周辺の構成を示す分解断面図。
【図18】 図17の光スイッチの溝部周辺の構成を示す側面断面図。
【図19】 第4の実施形態の光スイッチの溝部周辺の構成を示す分解断面図。
【図20】 図19の光スイッチの溝部周辺の構成を示す側面断面図。
【図21】 図19の光スイッチのフィルターの構成を示す外観斜視図。
【図22】 固定子と3相配線部との関係を示す図。
【図23】 固定子と3相配線部との関係を示す図。
【図24】 複数の光スイッチを設けた光スイッチ列を示す平面図。
【符号の説明】
1 光スイッチ
2 溝部
3 フィルター
3a〜3c 干渉フィルター
3d 移動子部
4 電極
5 3相配線部
6 マッチングオイル
7 絶縁膜
8 本体部
10 基板
11 下部クラッド層
12 コア層
14、14a、14b 導波路
15 上部クラッド層
Claims (3)
- クラッド層と、前記クラッド層に囲まれ前記クラッド層よりも屈折率の大きい光導波路と、を有し、前記光導波路を横切る溝部が形成された本体部と、
前記溝部に嵌め込まれ、前記溝部に沿って移動可能なスイッチング部材と、
前記スイッチング部材に設けられ、所定の抵抗値をもつ移動子と、
前記スイッチング部材に設けられ、前記スイッチング部材の移動方向に並んだ複数のフィルタと、
前記溝部の内部に構成される絶縁層を介して前記溝部の側面の前記移動子と対向する位置から前記本体部の表面まで延在するように設けられ、前記移動子を駆動する複数の電極と、
前記本体部の表面に設けられ、前記複数の電極に対して選択的に駆動電圧を与えるための配線部と、
を備え、前記複数のフィルタの各々が選択的に光導波路に配置されるように前記複数の電極の幅が設定されており、前記移動子を前記複数の電極により静電誘導した後、前記複数の電極に駆動電圧を与えて前記スイッチング部材を任意の位置に移動することで、波長に応じて異なる方向に光を導くことを特徴とする光スイッチ。 - 前記絶縁層が、前記溝部に封入された絶縁性のマッチングオイルであることを特徴とする請求項1に記載の光スイッチ。
- 請求項1または請求項2に記載の光スイッチを同一光路上に複数配置したことを特徴とする光スイッチ。
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