JP4155138B2 - 間隙測定装置 - Google Patents
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Description
一方、例えば特許文献1に開示される圧電アクチュエータのように、先端部に軸線方向に変形可能な弾性部分を有した有底筒状体の内部穴に挿入体を挿入した構造を有する装置が存在する。具体的には、特許文献1に開示される圧電アクチュエータは、ケーシングの下端部筒壁をなす伸縮可能なベローズとその下端に溶接固定された円盤状部材とからなる有底筒状体の内部穴にケーシング内に収容されたピエゾスタックと一体的に上下動するロッドを挿入した構造を有している。
12…筒状体
14…挿入体
16…間隙
18…クランプ
22…測定ヘッド
26…支持台
28…接触要素
30…変位センサ
38…押圧用シリンダ
Claims (5)
- 軸線方向に変形可能な有底筒状体の内部穴の底面と該筒状体内に挿入された挿入体の先端面との間隙を測定するための間隙測定装置において、
前記筒状体の先端面を前記挿入体の先端面に向けて押圧する押圧手段を備え、前記筒状体の前記内部穴の底面が前記挿入体の先端面に当接するまでの前記筒状体の先端面の変位量から、前記筒状体の内部穴の底面と前記挿入体の先端面との間隙量を求めるようにしたことを特徴とする間隙測定装置。 - 前記筒状体は、その先端に設けられ且つ軸線方向に変形可能な弾性部分と、少なくとも一部に設けられた剛性部分とを有し、前記内部穴が前記剛性部分から前記弾性部分まで延び、前記挿入体が前記剛性部分の前記内部穴に圧入された状態となっており、
前記間隙測定装置は、筒状体保持手段をさらに備え、該筒状体保持手段によって前記筒状体の剛性部分を保持しつつ、前記押圧手段によって前記筒状体の前記弾性部分を前記挿入体の先端面に向けて押圧し、前記弾性部分の内部穴の底面が前記挿入体の先端面に当接するまでの前記弾性部分の前記弾性部分の先端面の変位を測定する、請求項1に記載の間隙測定装置。 - 前記間隙測定装置は、前記筒状体の弾性部分の先端面の位置を測定するための測定手段をさらに備え、前記弾性部分を押圧して前記弾性部分の内部穴の底面を前記挿入体の先端面に当接させたときに前記測定手段により測定した前記弾性部分の先端面の位置と、前記弾性部分から除圧したときに前記測定手段により測定した前記弾性部分の先端面の位置とから、前記弾性部分の先端面の変位を求める、請求項2に記載の間隙測定装置。
- 前記測定手段は、前記筒状体の軸線と平行に移動可能な支持台と、該支持台に移動可能に支持され且つ前記筒状体の前記弾性部分に向かって付勢された接触要素と、該接触要素の位置を測定するための変位センサとを含み、前記押圧手段は、前記接触要素に圧力を付与することにより、前記接触要素を介して前記弾性部分を押圧し、前記接触要素への圧力付与を解除することにより、前記弾性部分から除圧する、請求項3に記載の間隙測定装置。
- 前記筒状体の軸線と、前記測定手段の接触要素の移動軸線と、前記押圧手段の力作用軸線とが同一の軸線上に延びるように、前記筒状体と前記接触要素と前記押圧手段とが配置されている、請求項4に記載の間隙測定装置。
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