JP4155138B2 - 間隙測定装置 - Google Patents

間隙測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4155138B2
JP4155138B2 JP2003277475A JP2003277475A JP4155138B2 JP 4155138 B2 JP4155138 B2 JP 4155138B2 JP 2003277475 A JP2003277475 A JP 2003277475A JP 2003277475 A JP2003277475 A JP 2003277475A JP 4155138 B2 JP4155138 B2 JP 4155138B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cylindrical body
elastic portion
end surface
gap
distal end
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003277475A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2005043213A5 (ja
JP2005043213A (ja
Inventor
博康 高井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2003277475A priority Critical patent/JP4155138B2/ja
Publication of JP2005043213A publication Critical patent/JP2005043213A/ja
Publication of JP2005043213A5 publication Critical patent/JP2005043213A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4155138B2 publication Critical patent/JP4155138B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

本発明は、有底筒状体の内部穴底面と内部穴内に挿入された挿入体の先端面との間隙を測定するための間隙測定装置に関する。
従来、物体と物体の間に形成された間隙の量を求める場合には、間隙の両端の位置をそれぞれ測定したり、間隙に向かって光を投光して間隙を通過した光の量から間隙量を求めたりしていた。
一方、例えば特許文献1に開示される圧電アクチュエータのように、先端部に軸線方向に変形可能な弾性部分を有した有底筒状体の内部穴に挿入体を挿入した構造を有する装置が存在する。具体的には、特許文献1に開示される圧電アクチュエータは、ケーシングの下端部筒壁をなす伸縮可能なベローズとその下端に溶接固定された円盤状部材とからなる有底筒状体の内部穴にケーシング内に収容されたピエゾスタックと一体的に上下動するロッドを挿入した構造を有している。
特開2002−202023号公報
しかしながら、例えば、有底筒状体の内部に挿入体を圧入したときに筒状体の内部穴の底面と挿入体の端面との間に形成された間隙の量を測定する場合には、外部から間隙部分にアクセスできないため、または間隙部分は見えないため、従来の方法では、間隙の測定を行うことができないという問題があった。
これは、先端部に軸線方向に変形可能な弾性部分を有した有底筒状体の内部穴に挿入体を挿入したときに筒状体の内部穴底面と挿入体の先端面との間隙を測定する場合でも同様であった。
よって、本発明の目的は、従来技術に存する問題を解消して、軸線方向に変形可能な有底筒状体の内部穴の底面と内部穴内に挿入された挿入体の先端面との間隙を測定できるようにすることにある。
本発明は、上記目的に鑑み、軸線方向に変形可能な筒状体の先端面を挿入体の先端面に向けて押圧することにより、筒状体の内部穴底面を挿入体の先端面に当接させて筒状体の内部穴底面と挿入体の先端面との間に形成された間隙を解消させ、このときに測定した筒状体先端面の変位量から筒状体の内部穴底面と挿入体の先端面との間隙量を求めるようにした間隙測定装置を提供する。
筒状体の先端面を軸線方向に押圧して筒状体の内部穴の底面を挿入体の先端面に当接させると、筒状体の内部穴の底面と挿入体の先端面との間隙は解消され、また、この状態からさらに筒状体の先端面を押圧しても、挿入体が障害となって弾性部分がさらに圧縮することもない。したがって、筒状体の先端面を軸線方向に押圧して間隙を解消させたときと筒状体の先端面から除圧したときとの間での筒状体の先端面の変位量は、除圧時における筒状体の内部穴底面と挿入体の先端面との間隙量と等しくなる。このことを利用して、筒状体の先端面を軸線方向に押圧して筒状体の内部穴の底面を挿入体の先端面に当接させたときと筒状体の先端面から除圧したときとの間の筒状体の先端面の変位を測定すれば、筒状体の内部穴底面と挿入体の先端面との間に形成された間隙の量を求めることができる。
挿入体が剛性部分に圧入されており且つ先端部の弾性部分に対しては変位可能な状態になっている組立体では、筒状体の剛性部分を保持しつつ弾性部分の先端面を挿入体の先端面に向けて押圧すると、筒状体の弾性部分がその軸線方向に圧縮して筒状体の内部穴底面が挿入体の端面に当接し、間隙が解消する。また、この状態からさらに弾性部分を押圧しても、剛性部分の内周面と挿入体の外周面との摩擦のため挿入体が剛性部分に対して動かないので、挿入体が障害となって弾性部分がさらに圧縮することもない。したがって、筒状体の弾性部分を押圧して間隙が解消したときと筒状体の弾性部分から除圧したときとの間での弾性部分の先端面の変位量は、除圧時に筒状体の穴の底面と挿入体の端面との間隙量と等しくなり、弾性部分の先端面の変位量から筒状体の内部穴底面と挿入体の先端面との間隙量を求めることができる。
上記間隙測定装置では、例えば、筒状体の弾性部分を押圧して弾性部分の内部穴の底面を挿入体の先端面に当接させたときの弾性部分の先端面の位置と、弾性部分から除圧したときの弾性部分の先端面の位置とを測定すれば、両測定値から弾性部分の先端面の変位量を求めることができる。
また、筒状体の弾性部分の先端面の位置を測定するための測定手段が、筒状体の軸線と平行に移動可能な支持台に支持され且つ弾性部分に向かって付勢された接触要素と、接触要素の位置を測定するための変位センサとを含むとき、測定手段の接触要素を筒状体の弾性部分に接触させた状態で押圧手段により接触手段に筒状体の弾性部分に向かう力を付与すると、接触要素は、支持台に対して前進して筒状体の弾性部分を収縮させ、筒状体弾性部分の内部穴の底面を挿入体の先端面に当接させることができる。一方、押圧手段による与圧を解除すると、弾性部分の先端面が元の位置に復帰するので、それ伴って接触要素は支持台に対して後退する。したがって、変位センサにより接触要素の位置を測定すれば、筒状体弾性部分の先端面の変位を測定することができる。
さらに、筒状体の軸線と、測定手段の接触要素の移動軸線と、押圧手段の力作用軸線とが同一軸線上に延びるように、筒状体と接触要素と押圧手段とが配置されていれば、押圧時に筒状体の弾性部分が湾曲することを防止することができ、高精度な間隙測定が可能となる。
以下、図面を参照して本発明の間隙測定装置の実施形態について説明する。
本発明の間隙測定装置10は、軸線方向に変形可能な有底筒状体12の内部穴内に挿入体14を挿入することにより構成された組立体において、筒状体12の内部穴底面と挿入体14の先端面との間に形成された間隙16の量を測定するためのものである。
最初に図1を参照して、被測定物となる組立体の構造について説明する。
有底筒状体12は、先端部に設けられ且つ軸線方向に変形可能な弾性部分12aと、他の部分を構成する剛性部分12bとを有し、剛性部分12bから弾性部分12aまで延びる内部穴は弾性部分12aにおいてキャップ12cで閉鎖されている。筒状体12の剛性部分12bの内部穴は、筒状体12に挿入された挿入体14が圧入された状態となるような寸法になっており、弾性部分12aの内部穴は、弾性部分12aが挿入体14に対して変位可能となるような寸法になっている。また、内部穴は、筒状体12に挿入体14を挿入したときに内部穴の底面と挿入体14の先端面との間に間隙16が形成されるような長さを有している。
次に、図1を参照して、本発明の間隙測定装置10の構成について説明する。
間隙測定装置10は、筒状体12の剛性部分12bを保持するための筒状体保持手段と、筒状体12の弾性部分12aの先端面の位置を測定するための測定手段と、筒状体12の弾性部分12aの先端面を挿入体14の先端面に向けて押圧する押圧手段とを備えている。
筒状体保持手段は、対向して配置された2つのクランプ18によって構成されており、クランプ18の対向面には筒状体12の外形に対応した形状の表面を有した割治具20が取り付けられている。筒状体保持手段は、チャックなど筒状体を保持するのに適した他の公知保持具とすることもできる。
測定手段は測定ヘッド22によって構成されており、測定ヘッド22は、ヘッド移動用シリンダ24によって筒状体12の軸線と平行な方向に移動可能な支持台26と、支持台26に対して移動可能に支持された接触要素28と、接触要素28の位置を測定するための変位センサ30とを備えている。
接触要素28は、支持台26を貫通して筒状体12の弾性部分12aの先端面に向かって突出しており、付勢バネ32によって筒状体12の弾性部分12aに向かって付勢されている。これにより、接触要素28が筒状体12の弾性部分12aの先端面に接触したときには、接触要素28が支持台26に対して後方(挿入体14から離れる方向)に移動し、接触要素28と筒状体12の弾性部分12aの先端面とが離れると再び支持台26に対して前方(挿入体14に近づく方向)へ移動するようになっている。なお、接触要素28の中間部にはリング状の止め部28aが設けられており、接触要素28が一定量以上支持台26から突出しないようになっている。また、付勢バネ32の付勢力は、接触要素28が筒状体12の弾性部分12aを介して挿入体14に力を作用させたときに筒状体12の弾性部分12aを変形させることがない程度に弱く設定されている。
変位センサ30は、ブラケット34を介して支持台26に固定されており、支持台26に対する接触要素28の相対的な変位を検出できるようになっている。図1に示されている実施形態では、接触要素28と一体的に移動するプレート36などの支持台26に対する相対変位を検出しているが、支持台26に対する接触要素28自体の相対変位を検出してもよいことはもちろんである。変位センサ30としては、接触タイプのものや光学センサ又は磁気センサなどの非接触タイプのものを使用することができる。
押圧手段は押圧用シリンダ38によって構成されており、押圧用シリンダ38のシリンダロッド38aを延伸させたときに、シリンダロッド38aの先端が接触要素28の後端(筒状体12との接触端部と反対側の端部)に当接し、接触要素28を筒状体12の弾性部分12aに向かって押し付けるようになっている。したがって、接触要素28が筒状体12の弾性部分12aの先端面に当接して接触要素28が付勢バネ32に抗して支持台26に対して後方へ移動しているときに押圧用シリンダ38のシリンダロッド38aを延伸させると、接触要素28が支持台26から延出して筒状体12の弾性部分12aの先端面軸を線方向に押圧し、弾性部分12aの内部穴の底面を挿入体14の先端面に向かって移動させることになる。
ヘッド移動用シリンダ24や押圧用シリンダ38としては、油圧シリンダや空気圧シリンダを用いることができるが、挿入体14までも変形させ得るような大きな出力は必要としないので、空気圧シリンダを使用することが好ましい。
また、クランプ18によって保持される筒状体12と、測定ヘッド22の接触要素28と、押圧用シリンダ38とは、筒状体12の軸線と、接触要素28の移動軸線と、押圧用シリンダ38の力作用軸線とが同一の軸線上に延びるように配置されていることが好ましい。これにより、筒状体12にモーメントを発生させてしまい弾性部分12aなどに撓みを生じさせることを防止し、筒状体12の弾性部分12aの内部穴の底面と挿入体14の先端面との間隙量をより正確に求めることを可能とさせ得る。
間隙測定装置10は、さらに、挿入体14の後端部から先端部に向けて力を作用させる脱落防止手段40を備えてもよい。脱落防止手段40は、押圧用シリンダ38により接触要素28を介して筒状体12の弾性部分12aの先端面を押圧したときに、筒状体12の剛性部分12bにおいて挿入体14が筒状体12に対して移動することを防止する機能を果たす。しかしながら、筒状体12の剛性部分12bの内周面と挿入体14の外周面との摩擦が十分に大きく、押圧用シリンダ38により接触要素28を介して挿入体14を押圧しても挿入体14が筒状体12に対して移動する恐れがない場合には、脱落防止手段40を設けなくてもよい。
次に、図1〜図3を参照して、図1に示されている間隙測定装置10による間隙測定方法について説明する。
最初に、筒状体12の内部穴に挿入体14を挿入し、筒状体12の剛性部分12bに挿入体14を圧入して、被測定物となる組立体を組み立てる。このとき、筒状体12の先端に設けられた弾性部分12aの内部穴の底面と挿入体14の先端面との間には間隙16が形成されている。また、間隙測定装置10の初期状態では、図1に示されているように、間隙測定装置10のヘッド移動用シリンダ24のシリンダロッド24aは収縮しており、測定ヘッド22はクランプ18から最も離れて位置する状態になっている。
次に、図1に示されているように、筒状体保持手段であるクランプ18によって筒状体12を両側から締め付けることにより筒状体12を保持する。このとき、後述するように押圧用シリンダ38によって筒状体12を軸線方向に押圧するときに筒状体12がクランプ18に対して摺動することを防止できるような圧力で、クランプ18によって筒状体12を締め付けるようにする。例えば、筒状体12とクランプ18の割治具20との摩擦係数が0.1であり、押圧用シリンダ38により筒状体12を押圧するときの力が125Nである場合には、クランプ18は1250Nより強い力で筒状体12を締め付ければよい。さらに、必要であれば、脱落防止手段40によって挿入体14の後端部から先端部に向けて力を作用させ、押圧用シリンダ38により筒状体12の弾性部分12aの先端面を押圧したときに筒状体12の剛性部分12bにおいて挿入体14が筒状体12に対して移動しないようにしてもよい。
次に、図2に示されているように、ヘッド移動用シリンダ24のシリンダロッド24aを延伸させることにより、測定ヘッド22の支持台26をクランプ18に保持される筒状体12に向かって移動させ、支持台26に支持された接触要素28の先端を筒状体12の弾性部分12aの先端面に接触させる。接触要素28は、付勢バネ32によって筒状体12に向かって付勢された状態で支持台26に移動可能に支持されているので、接触要素28が筒状体12の弾性部分12aの先端面に接触すると、接触要素28は付勢バネ32に抗して支持台26に対して後方に移動する。なお、付勢バネ32の付勢力は弱いので、このときに筒状体12の弾性部分12aを変形させることはない。
上述した測定ヘッド22の移動と概略同時に又はそれに続いて、図2に示されているように、押圧用シリンダ38のシリンダロッド38aを延伸させて接触要素28の後端に当接させ、接触要素28を支持台26に対して前方へ移動させる。これにより、押圧用シリンダ38は、接触要素28を介して筒状体12の弾性部分12aの先端面を挿入体14の先端面に向けて押圧し、弾性部分12aの内部穴の底面を挿入体14の先端面に当接させ、その間に形成されていた間隙16を解消させる。なお、押圧用シリンダ38により付与される力は、挿入体14を変形させることがないような強さに設定されており、これにより、挿入体14の変形を回避させるようにしている。また、ロードセル(図示せず)などを使用して押圧用シリンダ38が接触要素28に付与する力を監視し、接触要素28に付与される力が予め設定された値を越えたときに押圧用シリンダ38の作動を停止させるようにしてもよい。
そして、このように押圧用シリンダ38により弾性部分12aの内部穴の底面を挿入体14の先端面に当接させたときに、変位センサ30により支持台26に対する接触要素28の位置を測定することにより、支持台26に対する弾性部分12aの先端面の位置を測定する。
次に、図3に示されているように、押圧用シリンダ38のシリンダロッド38aを収縮させ、押圧用シリンダ38による接触要素28への圧力付与を解除すると、筒状体12の弾性部分12aから除圧されて、弾性部分12aの先端面は初期位置に復帰し、弾性部分12aの内部穴の底面と挿入体14の先端面との間に再び間隙16が形成される。このときの間隙量は、接触要素28を付勢する付勢バネ32のバネ力が弾性部分12aを変形させない程度の大きさに設定されていることから、接触要素28が弾性部分12aの先端面に接触していないときの間隙量d(図1参照)と等しくなる。一方、この弾性部分12aの先端面の初期位置への復帰に伴って、接触要素28は付勢バネ32の付勢力に抗して支持台26に対して後方へ移動する。そして、このときに、支持台26に対する接触要素28の位置を測定することにより、支持台26に対する弾性部分12aの先端面の位置を測定する。
こうして測定した2つの弾性部分12aの先端面の位置から、支持台26に対する弾性部分12aの先端面の変位量d′を求めることができる。この支持台26に対する弾性部分12aの先端面の変位量d′は筒状体12の弾性部分12aの内部穴の底面と挿入体14の先端面との間隙量dに等しくなることから、除圧されて弾性部分12aの内部穴の底面と挿入体14の先端面との間に間隙16が形成された状態と押圧により弾性部分12aの内部穴の底面が挿入体14の先端面に当接した状態との間での弾性部分12aの先端面の変位量d′を求めることにより、弾性部分12aの内部穴の底面と挿入体14の先端面との間隙量dを求めることができる。
以上、図1から図3に示されている実施形態に基づいて、本発明の間隙測定装置10について説明したが、本発明の間隙測定装置10は説明した実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、筒状体12が、先端部に設けられた弾性部分12aと、それ以外の部分を構成する剛性部分12bとからなると説明されているが、筒状体12は、少なくとも一部に剛性部分14を有していればよい。また、測定ヘッド22を移動させるための手段や押圧手段としてヘッド移動用シリンダ24や押圧用シリンダ38が用いられているが、これらに代えて、ボールネジ機構と連動するモータなど他のアクチュエータを使用することも可能である。さらに、本発明の間隙測定装置10を用いた間隙測定方法において、最初に測定ヘッド22の接触要素28を筒状体12の弾性部分12aの先端面に接触させたとき、押圧用シリンダ38による接触要素28へ与圧を行う前には、図3に示されている状態が生じるので、このときに、筒状体12の弾性部分12aの内部穴の底面と挿入体14の先端面との間に間隙16が形成されているときの筒状体12の弾性部分12aの先端面の位置を測定するようにしてもよい。
間隙測定動作前の本発明の間隙測定装置の全体構成を示している部分断面立面図である。 図1に示されている状態から、測定ヘッドを上昇させ且つ押圧用シリンダにより筒状体の弾性部分を押圧して、筒状体の内部穴底面を挿入体の先端面に当接させたときの間隙測定装置を示している部分断面立面図である。 図2に示されている状態から、押圧用シリンダによる筒状体弾性部分の押圧を解除して、弾性部分が元の形状に戻ったときの間隙測定装置を示している部分断面立面図である。
符号の説明
10…間隙測定装置
12…筒状体
14…挿入体
16…間隙
18…クランプ
22…測定ヘッド
26…支持台
28…接触要素
30…変位センサ
38…押圧用シリンダ

Claims (5)

  1. 軸線方向に変形可能な有底筒状体の内部穴の底面と該筒状体内に挿入された挿入体の先端面との間隙を測定するための間隙測定装置において、
    前記筒状体の先端面を前記挿入体の先端面に向けて押圧する押圧手段を備え、前記筒状体の前記内部穴の底面が前記挿入体の先端面に当接するまでの前記筒状体の先端面の変位量から、前記筒状体の内部穴の底面と前記挿入体の先端面との間隙量を求めるようにしたことを特徴とする間隙測定装置。
  2. 前記筒状体は、その先端に設けられ且つ軸線方向に変形可能な弾性部分と、少なくとも一部に設けられた剛性部分とを有し、前記内部穴が前記剛性部分から前記弾性部分まで延び、前記挿入体が前記剛性部分の前記内部穴に圧入された状態となっており、
    前記間隙測定装置は、筒状体保持手段をさらに備え、該筒状体保持手段によって前記筒状体の剛性部分を保持しつつ、前記押圧手段によって前記筒状体の前記弾性部分を前記挿入体の先端面に向けて押圧し、前記弾性部分の内部穴の底面が前記挿入体の先端面に当接するまでの前記弾性部分の前記弾性部分の先端面の変位を測定する、請求項1に記載の間隙測定装置。
  3. 前記間隙測定装置は、前記筒状体の弾性部分の先端面の位置を測定するための測定手段をさらに備え、前記弾性部分を押圧して前記弾性部分の内部穴の底面を前記挿入体の先端面に当接させたときに前記測定手段により測定した前記弾性部分の先端面の位置と、前記弾性部分から除圧したときに前記測定手段により測定した前記弾性部分の先端面の位置とから、前記弾性部分の先端面の変位を求める、請求項2に記載の間隙測定装置。
  4. 前記測定手段は、前記筒状体の軸線と平行に移動可能な支持台と、該支持台に移動可能に支持され且つ前記筒状体の前記弾性部分に向かって付勢された接触要素と、該接触要素の位置を測定するための変位センサとを含み、前記押圧手段は、前記接触要素に圧力を付与することにより、前記接触要素を介して前記弾性部分を押圧し、前記接触要素への圧力付与を解除することにより、前記弾性部分から除圧する、請求項3に記載の間隙測定装置。
  5. 前記筒状体の軸線と、前記測定手段の接触要素の移動軸線と、前記押圧手段の力作用軸線とが同一の軸線上に延びるように、前記筒状体と前記接触要素と前記押圧手段とが配置されている、請求項4に記載の間隙測定装置。
JP2003277475A 2003-07-22 2003-07-22 間隙測定装置 Expired - Fee Related JP4155138B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003277475A JP4155138B2 (ja) 2003-07-22 2003-07-22 間隙測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003277475A JP4155138B2 (ja) 2003-07-22 2003-07-22 間隙測定装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2005043213A JP2005043213A (ja) 2005-02-17
JP2005043213A5 JP2005043213A5 (ja) 2008-07-03
JP4155138B2 true JP4155138B2 (ja) 2008-09-24

Family

ID=34264192

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003277475A Expired - Fee Related JP4155138B2 (ja) 2003-07-22 2003-07-22 間隙測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4155138B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111397146B (zh) * 2020-04-17 2022-03-01 宁波奥克斯电气股份有限公司 空调湿度控制方法、装置、空调器及计算机可读存储介质

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102331221B (zh) * 2011-06-07 2013-04-03 力帆实业(集团)股份有限公司 摩托车发动机磁电机间隙检具
KR101467384B1 (ko) * 2013-07-18 2014-12-02 효성굿스프링스 주식회사 펌프의 틈새 측정 지그
CN106092026B (zh) * 2016-08-23 2019-01-15 宁波中亿自动化装备有限公司 一种轮毂轴向游隙检测装置
CN113175902B (zh) * 2021-04-19 2023-05-30 西安交通大学 一种用于微小孔径的气动测量装置与方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111397146B (zh) * 2020-04-17 2022-03-01 宁波奥克斯电气股份有限公司 空调湿度控制方法、装置、空调器及计算机可读存储介质

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005043213A (ja) 2005-02-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6066490B2 (ja) 荷重センサ
JP4417338B2 (ja) オーバーピン径計測装置
JP2010531239A (ja) 把持精度を改善したマニピュレータロボット用グリッパ、及び少なくとも1つの該グリッパを備えているマニピュレータロボット
JP4155138B2 (ja) 間隙測定装置
JP4142620B2 (ja) ステータハウジングにシャフトを押し込む装置
JP3944199B2 (ja) テレスコピックカバー
EP2718066B1 (fr) Outil pour pince microtechnique
JP2005043213A5 (ja)
WO1996023979A1 (fr) Systeme de freinage pour corps a deplacement lineaire
JP4518915B2 (ja) クリップ部材を有する筆記具
JP3352055B2 (ja) タッチ信号プローブの着座機構
JP2007069275A (ja) タッチセンサ
EP1382405B1 (en) Improved blind fastener setting tool
JP2021032593A (ja) 測定装置
JP7228689B2 (ja) リニアドライブ
KR101714052B1 (ko) 전동 브레이크 포스센서유닛
JP2013533127A (ja) センター間に保持された製品を研削するための対向装置
JP2002172534A (ja) 工具ホルダ
JP4617023B2 (ja) クランプ装置
JP2876513B2 (ja) 管体内径測定装置
JP3807282B2 (ja) 型締力検出装置
JP2000346633A (ja) 距離変化量検出用センサ
KR100522039B1 (ko) 초정밀 센서의 초기위치 보정장치
JP5002513B2 (ja) ステージ位置決め制御装置
JP3407080B2 (ja) 精密位置決め装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20051018

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080520

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080617

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080630

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110718

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4155138

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120718

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120718

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130718

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees