JP4150102B2 - 空気液化分離方法及び装置 - Google Patents

空気液化分離方法及び装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4150102B2
JP4150102B2 JP13887598A JP13887598A JP4150102B2 JP 4150102 B2 JP4150102 B2 JP 4150102B2 JP 13887598 A JP13887598 A JP 13887598A JP 13887598 A JP13887598 A JP 13887598A JP 4150102 B2 JP4150102 B2 JP 4150102B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
oxygen
low
raw material
purity oxygen
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP13887598A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH11325718A (ja
Inventor
輝二 金子
陽子 深津
忠雄 比留間
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Nippon Sanso Corp
Original Assignee
Taiyo Nippon Sanso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiyo Nippon Sanso Corp filed Critical Taiyo Nippon Sanso Corp
Priority to JP13887598A priority Critical patent/JP4150102B2/ja
Publication of JPH11325718A publication Critical patent/JPH11325718A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4150102B2 publication Critical patent/JP4150102B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04636Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air using a hybrid air separation unit, e.g. combined process by cryogenic separation and non-cryogenic separation techniques
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04006Providing pressurised feed air or process streams within or from the air fractionation unit
    • F25J3/04012Providing pressurised feed air or process streams within or from the air fractionation unit by compression of warm gaseous streams; details of intake or interstage cooling
    • F25J3/04018Providing pressurised feed air or process streams within or from the air fractionation unit by compression of warm gaseous streams; details of intake or interstage cooling of main feed air
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04763Start-up or control of the process; Details of the apparatus used
    • F25J3/04866Construction and layout of air fractionation equipments, e.g. valves, machines
    • F25J3/04969Retrofitting or revamping of an existing air fractionation unit
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2205/00Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
    • F25J2205/60Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using adsorption on solid adsorbents, e.g. by temperature-swing adsorption [TSA] at the hot or cold end
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2210/00Processes characterised by the type or other details of the feed stream
    • F25J2210/04Mixing or blending of fluids with the feed stream
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2210/00Processes characterised by the type or other details of the feed stream
    • F25J2210/50Oxygen
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2230/00Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams
    • F25J2230/24Multiple compressors or compressor stages in parallel
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2230/00Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams
    • F25J2230/42Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams the fluid being nitrogen
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2230/00Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams
    • F25J2230/50Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams the fluid being oxygen

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気液化分離方法及び装置に関し、詳しくは、製品酸素の需要変動に応じて酸素の生産量を増減することができる空気液化分離方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
通常の空気液化分離装置において、装置の運転時間の1/2以下、あるいは1/3以下の頻度で酸素需要量が増加する場合、装置の能力をピーク値に合わせて製作すると、平均的な製造量のときの運転状態は、装置にとっては減量運転になる。さらに、酸素需要量が平均値以下になった場合には、より大きな減量領域での運転となるため、生産効率が悪化し、結果として電力消費の点で効率の悪い運転となる。一般的に、空気液化分離装置における空気圧縮機の減量限界や精留塔の減量限界から考えると、定格生産量に対する最小減量運転の生産量は、75%程度までとなる。
【0003】
一方、酸素ガスを大量に使用する製鉄工業や化学工業では、大型の空気液化分離装置を設置して酸素ガスを供給しているが、酸素ガスの需要は、操業計画,操業状態,曜日,時間帯等により大きく変動する。このため、需要減少時には、製品酸素ガスの一部(余剰分)を液化窒素等と熱交換させることにより液化して貯留し、需要増大時には貯留した液化酸素を気化して供給するようにした装置を設置することがある。しかしながら、このような特殊な装置は、あらかじめこれに対応した設計しておくか、既存の設備に大掛かりな改造を施す必要があり、設備コストの点で大きな問題が発生する。
【0004】
そこで本発明は、通常の空気液化分離装置に簡単な設備を付加するだけで酸素の生産量を増大することができる空気液化分離方法及び装置を提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の空気液化分離方法は、原料空気を圧縮・冷却・液化・精留してその成分ガスを得る空気液化分離方法において,原料空気を圧縮する原料空気圧縮機が吸入する大気空気に、付設した低純度の酸素を発生する装置で発生した低純度の酸素を添加混合して酸素分の多い原料空気とし,これを圧縮,冷却して液化精留を行うことにより、少なくとも酸素を製品として得ることを特徴としている。
【0006】
さらに、本発明の空気液化分離方法は、前記酸素分の多い原料空気の酸素濃度を、大気の酸素濃度以上で、30体積%以下とすること、前記低純度の酸素が、圧力変動吸着分離式酸素発生装置により製造され、その酸素濃度が80〜95体積%の低純度酸素であること、前記製品として得る酸素の需要量の変動に応じて,前記圧力変動吸着分離式酸素発生装置の運転を増量運転,減量運転又は運転停止することにより、前記大気空気に添加混合する低純度酸素の供給量を調節することを特徴としている。
【0007】
また、本発明の空気液化分離装置は、大気空気からなる原料空気を圧縮する原料空気圧縮機と、該圧縮機で圧縮された圧縮空気を精製する吸着器と、該吸着器で精製された圧縮精製空気を冷却する熱交換器と、該熱交換器で冷却された圧縮精製冷却空気を液化・精留する精留塔を備え、前記原料空気の成分ガスを液化精留分離し、少なくとも酸素を製品として採取する空気液化精留分離装置において、低純度の酸素を発生する装置を付設するとともに、該装置で発生した低純度の酸素を導出する導出管を、前記原料空気圧縮機の大気空気吸入側(吸入系統)に連結したことを特徴としている。
【0008】
さらに、本発明の空気液化分離装置は、前記低純度の酸素を発生する装置が,圧力変動吸着分離式酸素発生装置であり、該圧力変動吸着分離式酸素発生装置から導出される低純度の酸素を昇圧するための酸素ブロワーを備えていること、あるいは、低純度の酸素を昇圧する手段を介さずに、低純度の酸素を導出する導出管を前記原料空気圧縮機の大気空気吸入側(吸入系統)に連結したこと、また、前記圧力変動吸着分離式酸素発生装置から低純度の酸素を導出する導出管を、前記原料空気圧縮機が吸入する大気空気の吸入フィルターボックス又は原料空気吸入管に連結したことを特徴としている。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の空気液化分離装置の一形態例を示す概略系統図である。この空気液化分離装置は、製品として酸素と窒素とを採取するものであって、通常の空気液化分離装置と同様の構成の空気液化分離部10と、該空気液化分離部10に低純度酸素を供給する低純度酸素発生部20とを有している。
【0010】
空気液化分離部10における通常の運転では、空気フィルター11から吸入した大気空気(原料空気)を原料空気圧縮機12で所定圧力に圧縮し、圧縮した圧縮空気を図示しない吸着器に導入して精製した後、この圧縮精製空気をコールドボックス13内に導入して冷却・液化・精留することにより、経路14から製品酸素が、経路15から製品窒素がそれぞれ採取され、製品圧縮機14a,15aにより圧送される。
【0011】
なお、コールドボックス13内には、熱交換器や精留塔,凝縮器,膨張タービン等の周知の機器が設けられており、周知の深冷分離法によって大気の成分ガスである窒素や酸素が分離される。
【0012】
前記低純度酸素発生部20は、大気空気よりも高濃度で酸素を含有する低純度の酸素を発生させることができれば、各種のものを用いることができ、例えば、酸素PSA装置と呼ばれる圧力変動吸着分離式酸素発生装置や膜式酸素濃縮装置のように、大気空気を原料として低純度酸素を発生させる装置を用いることができる。特に、前記酸素PSA装置は、効率よく低純度酸素を発生させることができるので、低純度酸素発生部20として最適である。
【0013】
上記低純度酸素発生部20で発生して低純度酸素導出管21に導出した低純度酸素は、必要に応じて設けられる酸素ブロワー22で若干昇圧された後、弁23を経て前記原料空気圧縮機12の大気空気吸入側に設けられる原料空気吸入管16に導入され、原料空気に添加混合され、酸素分の多い原料空気を生成する。
【0014】
前記低純度酸素の酸素濃度は任意であり、低純度酸素発生部20で使用する装置によって異なるが、酸素PSA装置の場合は、その効率等を考慮すると、酸素濃度が80〜95体積%の低純度酸素であることが好ましい。一方、この低純度酸素と混合した後の酸素分の多い原料空気の酸素濃度は、安全性を考慮すると、高炉吹込用の送風機の実績等から、30体積%以下、好ましくは25体積%以下とすべきである。したがって、原料空気への低純度酸素の添加混合量は、原料空気量、低純度酸素の酸素濃度によって最適な量が決定されるので、これに見合った能力の装置を低純度酸素発生部20で使用すればよい。
【0015】
このように、原料空気に低純度酸素を添加混合して酸素分の多い原料空気とし,これを圧縮,冷却して液化精留を行うことにより、通常の大気空気を使用したときに比べて空気液化分離部10から採取する酸素量を増量することができる。また、酸素PSA装置等は、運転・停止を容易に行うことができるので、酸素需要の変動にも短時間で対応することが可能であり、酸素PSA装置等自体も、酸素需要の変動に応じて増量運転や減量運転を行うことにより、経済的かつ効果的に製品酸素量の増減を行うことができる。
【0016】
また、装置構成としては、通常の空気液化分離装置に前記酸素PSA装置等を付設するとともに、その低純度酸素導出管21を、原料空気圧縮機の原料空気吸入管16等に連結するだけでよいため、新設の装置だけでなく、既存の装置へも対応が可能である。さらに、低純度酸素導出管21の連結箇所は、原料空気圧縮機12の大気空気吸入側で任意に選定することができるので、装置の設置状況等に応じて、原料空気圧縮機の原料空気吸入管21だけでなく、空気フィルター11を形成する吸入フィルターボックス等にも連結することができ、既存設備の改造も簡単に行うこができる。また、低純度酸素の発生圧力が、吸入原料空気への添加混合に十分な圧力を有している場合は、酸素ブロワー22を省略することができる。
【0017】
なお、空気液化分離部10の構成は、少なくとも酸素を製品として採取できれば任意であり、本形態例に示すように窒素を同時に採取してもよく、アルゴン等を同時に採取するようにしてもよい。
【0018】
【実施例】
図1に示す装置構成において、低純度酸素発生部20として酸素PSA装置を使用し、通常の定格運転時(運転1)と、酸素PSA装置から93体積%の低純度酸素を500Nm/h添加混合した場合(運転2)と、750Nm/h添加混合した場合(運転3)とにおける製品酸素の採取量及び主要部(図1にA,B,C,D,Eで示すポイント)の流量(Nm/h)や組成(体積%)を以下に示す。なお、大気空気の酸素濃度は20.95体積%、製品酸素の純度は99.6体積%、製品窒素の酸素含有量は1ppm以下である。また、各運転における原料空気中の酸素濃度は、原料空気圧縮機の安全性を考慮して23体積%以下とした。
【0019】
Figure 0004150102
【0020】
増量した分の酸素の電力原単位は、酸素PSA装置の電力原単位が、0.32KWh/93%O−Nmであるから、運転2において、500×0.32/360=0.444KWh/Nmであった。これは、空気液化分離装置の電力原単位に遜色ないものである。
【0021】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、製品酸素の需要変動に容易に対応することができ、しかも、一般的な空気液化分離装置に簡単な設備を追加するだけで実施することができるので、新設の設備だけでなく、既存の設備にも容易に対応できる。さらに、低純度の酸素を発生する装置として酸素PSA装置を用いることにより、PSAの特徴である起動停止の容易さから、酸素需要に応じた無駄のない運転ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の空気液化分離装置の一形態例を示す概略系統図である。
【符号の説明】
10…空気液化分離部、11…空気フィルター、12…原料空気圧縮機、13…コールドボックス、16…原料空気吸入管、20…低純度酸素発生部、21…低純度酸素導出管、22…酸素ブロワー

Claims (9)

  1. 原料空気を圧縮・冷却・液化・精留してその成分ガスを得る空気液化分離方法において,原料空気を圧縮する原料空気圧縮機が吸入する大気空気に、付設した低純度の酸素を発生する装置で発生した低純度の酸素を添加混合して酸素分の多い原料空気とし,これを圧縮,冷却して液化精留を行うことにより、少なくとも酸素を製品として得ることを特徴とする空気液化分離方法。
  2. 前記酸素分の多い原料空気の酸素濃度を、大気の酸素濃度以上で、30体積%以下とすることを特徴とする請求項1記載の空気液化分離方法。
  3. 前記低純度の酸素が、圧力変動吸着分離式酸素発生装置により製造され、その酸素濃度が80〜95体積%の低純度酸素であることを特徴とする請求項1記載の空気液化分離方法。
  4. 前記製品として得る酸素の需要量の変動に応じて,前記圧力変動吸着分離式酸素発生装置の運転を増量運転,減量運転又は運転停止することにより、前記大気空気に添加混合する低純度酸素の供給量を調節することを特徴とする請求項記載の空気液化分離方法。
  5. 大気空気からなる原料空気を圧縮する原料空気圧縮機と、該圧縮機で圧縮された圧縮空気を精製する吸着器と、該吸着器で精製された圧縮精製空気を冷却する熱交換器と、該熱交換器で冷却された圧縮精製冷却空気を液化・精留する精留塔を備え、前記原料空気の成分ガスを液化精留分離し、少なくとも酸素を製品として採取する空気液化精留分離装置において、低純度の酸素を発生する装置を付設するとともに、該装置で発生した低純度の酸素を導出する導出管を、前記原料空気圧縮機の大気空気吸入側に連結したことを特徴とする空気液化分離装置。
  6. 前記低純度の酸素を発生する装置が,圧力変動吸着分離式酸素発生装置であることを特徴とする請求項5記載の空気液化分離装置。
  7. 前記圧力変動吸着分離式酸素発生装置から導出される低純度の酸素を昇圧するための酸素ブロワーを備えていることを特徴とする請求項6記載の空気液化分離装置。
  8. 前記圧力変動吸着分離式酸素発生装置から導出される低純度の酸素を昇圧する手段を介さずに、前記低純度の酸素を導出する導出管を前記原料空気圧縮機の大気空気吸入側に連結したことを特徴とする請求項6記載の空気液化分離装置。
  9. 前記圧力変動吸着分離式酸素発生装置から低純度の酸素を導出する導出管を、前記原料空気圧縮機が吸入する大気空気の吸入フィルターボックス又は原料空気吸入管に連結したことを特徴とする請求項6記載の空気液化分離装置。
JP13887598A 1998-05-20 1998-05-20 空気液化分離方法及び装置 Expired - Fee Related JP4150102B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13887598A JP4150102B2 (ja) 1998-05-20 1998-05-20 空気液化分離方法及び装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13887598A JP4150102B2 (ja) 1998-05-20 1998-05-20 空気液化分離方法及び装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11325718A JPH11325718A (ja) 1999-11-26
JP4150102B2 true JP4150102B2 (ja) 2008-09-17

Family

ID=15232163

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13887598A Expired - Fee Related JP4150102B2 (ja) 1998-05-20 1998-05-20 空気液化分離方法及び装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4150102B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6666048B1 (en) 1999-04-05 2003-12-23 L'air Liquide - Societe Anonyme A Directoire Et Conseil De Surveillance Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Variable capacity fluid mixture separation apparatus and process
JP4782380B2 (ja) * 2003-03-26 2011-09-28 エア・ウォーター株式会社 空気分離装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11325718A (ja) 1999-11-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103123203B (zh) 利用含氮废气进行再低温精馏制取纯氮的方法
CN109690215A (zh) 工业气体场所与液氢生产的一体化
CN103373716B (zh) 一种单晶硅制备工艺中排放氩气的净化回收方法与装置
JPH06304432A (ja) 半導体製造工場向け各種ガスの製造方法及び装置
JPH06207775A (ja) 一酸化炭素のない窒素を製造するための低温空気分離方法
CN104807290A (zh) 单塔双返流膨胀制取低压氮气的装置和方法
KR101099855B1 (ko) 공기분리장치
JP7451532B2 (ja) 極低温蒸留により空気を分離する装置及び方法
JP4150102B2 (ja) 空気液化分離方法及び装置
JP2873473B2 (ja) 空気液化分離方法
JPH1163810A (ja) 低純度酸素の製造方法及び装置
CN113091401B (zh) 一种利用液氮制取液氧的液体空分装置
KR20070083808A (ko) 질소 제조방법 및 장치
JP3738213B2 (ja) 窒素製造方法及び装置
KR100694376B1 (ko) 심냉 공기 분리 장치 및 그 운전 방법
EP0713068A2 (en) Air separation method and apparatus
CN214746760U (zh) 一种制氧装置
CN113063263B (zh) 一种利用液氮制取液氧的空分方法
CN203382502U (zh) 一种单晶硅制备工艺中排放氩气的净化回收装置
JP4230376B2 (ja) 窒素製造装置
JPH0792326B2 (ja) 空気液化分離方法
JP2009243739A (ja) 液化窒素製造方法及び装置
KR19980014831A (ko) 심랭법에 의해 공기로부터 질소를 분리시키는 제조장치 및 방법
JPH0668435B2 (ja) 空気液化分離方法
JPS61285373A (ja) 冷熱利用空気深冷分離方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050425

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20071221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080108

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080227

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080603

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080627

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110704

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110704

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110704

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110704

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120704

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120704

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120704

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120704

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130704

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130704

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130704

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees