JP4143042B2 - ダンパ機能を備えたシリンダ装置 - Google Patents

Description

この発明は、ダンパ機能を備えたシリンダ装置に関する。

従来シリンダ装置１０７にあっては、出願人が提案するものとして、たとえば、図２や図３にしめすように、双方向吐出ポンプ１００と、シリンダ１０１と、上記双方向吐出ポンプ１００とシリンダ１０１とを接続するシリンダ回路１０２を備えて構成されており、さらに、上記双方向吐出ポンプ１００が駆動する際に低圧側となるシリンダ回路１０２中にある程度の圧力を負加してキャビテーション等の弊害を防止する為に、シリンダ回路１０２に双方向吐出ポンプ１００を迂回する迂回路１０３を設けるとともに、迂回路１０３の途中にアキュムレータ１０４に接続された低圧優先シャトル弁１０５を設けるか、迂回路１０３の途中にタンク１０８が接続されるとともに迂回路１０３の途中であってタンク１０８接続位置の双方にチェック弁１０６，１０６を設けるかしている（たとえば、特許文献１，２参照）。

上記したシリンダ装置１０７においては、シリンダ１０１をロックした場合には、ダンパとしては機能しないので、シリンダ装置をダンパとしても機能させる場合には、出願人が提案したものとして、図４に示すように、シリンダ１１０と、シリンダ１１０の各圧力室１１１，１１２を連通するシリンダ回路１１４と、シリンダ回路１１４の途中に設けたポンプ１１５と、ポンプ１１５で発生した液圧を各圧力室１１１，１１２へ選択的に供給できるようにシリンダ回路１１４の途中に設けた方向切換弁１１６を設けてシリンダとしての機能を発揮させるだけでなく、さらに、シリンダ回路１１４とは別に減衰力発生要素１１７を備えたダンパ回路１１８を設け、さらに、シリンダロック状態となった場合に、シリンダ内の液体の温度変化に伴う液体の体積変化を補償する必要があるので、液体の流れを規制するチェック弁１１９，１１９，１１９，１１９およびリリーフ弁１２０を設けるとともに、アキュムレータ１２１を設けたもの（たとえば、特許文献３参照）が知られている。
特開２００１−２００８０８号公報（第３頁左欄第３１行目から第３６行目まで，図１） 特開２００２−２７６６０６号公報（第２頁右欄第４０行目から第３頁左欄第１２行目まで，図１） 特開２０００−３０２３８４号公報（第３頁右欄第４６行目から第４頁左欄第１行目まで，図１）

しかしながら、上記ダンパ機能を備えたシリンダ装置にあっては、シリンダとして機能するばかりでなくダンパとしても機能するので便利であるが、以下の問題がある。

すなわち、液体の体積変化を補償するためにダンパ回路中に４つのチェック弁とリリーフ弁とを設けてアキュムレータに接続しており、構造が複雑で、部品点数が多くなる。

したがって、本発明は上記問題を改善するために創案されたものであって、その目的とするところは、簡単な構造で部品点数を少なくすることができるダンパ機能を備えたシリンダ装置を提供することである。

上記した目的を達成するために、本発明の課題解決手段は、両ロッド型のシリンダと、シリンダ内に形成された２つの圧力室に接続したシリンダ回路と、このシリンダ回路を介して上記２つの圧力室に選択的に液圧を供給する液圧源と、上記シリンダ回路に接続しながら上記２つの圧力室を連通する並列な一対の管路からなるダンパ回路と、一方の管路に設けられて一方の圧力室から他方の圧力室へ向う液体の流れのみを許容するリリーフ機能を備えた減衰力発生要素と、同じく他方の管路に設けられて他方の圧力室から一方の圧力室へ向う流れのみを許容するリリーフ機能を備えた減衰力発生要素とを具備したダンパ機能を備えたシリンダ装置において、上記シリンダ回路に対して上記ダンパ回路と並列なバイパス路を接続し、このバイパス路の途中に液体の体積変化を補償する低圧優先形シャトル弁を設け、当該低圧優先形シャトル弁の出口端をアキュムレータにのみ接続したことを特徴とする。

各請求項の発明によれば、シリンダ装置がダンパ機能発現中に、液体の温度が変化して、液体の体積が変化した場合には、バイパス路に設けた液体の体積変化を補償する低圧優先シャトル弁が常に低圧側となるアキュムレータタと連通状態とされているのでこの液体の体積変化を補償することが出来る。
例えば、シリンダ内およびダンパ回路内およびバイパス路内の液体の温度が上昇してこの液体の体積が増加した場合は、余剰となる液体が低圧優先シャトル弁を介してアキュムレータ内に流れ込むこととなり、また、シリンダ内およびダンパ回路内およびバイパス路内の液体が温度下降により体積減少した場合には、アキュムレータ内から不足の液体が上記低圧優先シャトル弁を介してシリンダ内およびダンパ回路内およびバイパス路内に流れ込むこととなり、液体の体積変化が補償され、その結果、シリンダ装置の液体体積変化による損傷等の弊害が防止される。
これにより、従来のように複数のチェック弁やリリーフ弁と設けた複雑な構造を採用せずに、バイパス路とアキュムレータに接続された低圧優先シャトル弁を設けるだけでの簡単な構造でダンパ機能発現時の液体体積変化を補償することが可能であり、部品点数を削減することが可能であり、さらに、シリンダ装置を低コスト化、省スペース化することが可能である。

以下に、図示した一実施の形態に基づいて、この発明を説明する。
図１は、一実施の形態におけるダンパ機能を備えたシリンダ装置の回路図である。
即ち、本発明のシリンダ装置の基本構造は、両ロッド型のシリンダ１と、シリンダ１内に形成された２つの圧力室Ｒ１，Ｒ２に接続したシリンダ回路２と、このシリンダ回路２を介して上記２つの圧力室Ｒ１，Ｒ２に選択的に液圧を供給する液圧源たる双方向吐出ポンプ１０と、上記シリンダ回路２に接続しながら上記２つの圧力室Ｒ１，Ｒ２を連通する並列な一対の管路６ａ、６ｂからなるダンパ回路６と、一方の管路６ａに設けられて一方の圧力室Ｒ２から他方の圧力室Ｒ１へ向う液体の流れのみを許容するリリーフ機能を備えた減衰力発生要素たるバネ付きチェック弁Ｇ１と、同じく他方の管路６ｂに設けられて他方の圧力室Ｒ１から一方の圧力室Ｒ２へ向う流れのみを許容するリリーフ機能を備えた減衰力発生要素たるバネ付きチェック弁Ｇ２とを具備したダンパ機能を備えたシリンダ装置である。
そして、本発明では、上記シリンダ回路２に対して上記ダンパ回路６と並列なバイパス路７を接続し、このバイパス路７の途中に液体の体積変化を補償する低圧優先形シャトル弁８を設け、当該低圧優先形シャトル弁８の出口端たるポート８ｃをアキュムレータ４にのみ接続したことを特徴とするものである。
以下更に詳しく説明する。

一実施の形態におけるダンパ機能を備えたシリンダ装置（以下「シリンダ装置」という）Ｓの基本構造は、図１に示すように、シリンダ１と、シリンダ１内に形成された２つの圧力室Ｒ１，Ｒ２を連通するシリンダ回路２と、当該シリンダ回路２を介して上記２つの圧力室に選択的に液圧を供給する液圧源たる双方向吐出ポンプ１０と、２つの圧力室Ｒ１，Ｒ２を連通するダンパ回路６と、ダンパ回路６の途中に設けた減衰力発生要素と、上記２つの圧力室Ｒ１，Ｒ２を連通しダンパ回路６に対し並列なバイパス路７と、バイパス路７の途中に低圧優先形シャトル弁８と、当該低圧優先形シャトル弁８の出口端８ｃに接続されたアキュムレータ４とで構成される。

以下、詳細に説明すると、シリンダ１は、筒状のシリンダ本体１１と、シリンダ本体１１内に摺動自在に挿入されたピストン１２と、ピストン１２の軸心部を貫通するロッド１３とで構成されたいわゆる両ロッド型のシリンダとして形成されており、シリンダ本体１１内には、作動油等の液体が充填され、さらに、シリンダ本体１１の両端には、それぞれ、圧力室Ｒ１とシリンダ本体１１外方とを連通するポートａと、圧力室Ｒ２とシリンダ本体１１外方とを連通するポートｂとが設けられている。なお、各ポートａ，ｂは、シリンダ本体１１の側部に設けられてもよい。

さらに、上記ポートａは、ダンパ回路６の管路６ｃの一端に接続され、ポートｂは、ダンパ回路６の管路６ｄの一端に接続されている。そして、上記管路６ｃおよび管路６ｄは、管路６ａおよび管路６ｂを介して連通しており、管路６ｃ，６ｄに対して管路６ａと管路６ｂは並列に接続されている。したがって、ダンパ回路６は、上記管路６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄとで構成され、圧力室Ｒ１と圧力室Ｒ２とは上記ダンパ回路６を介して互いに連通している。また、管路６ａの途中には、減衰力発生要素たるバネ付チェック弁Ｇ１が設けられており、このバネ付チェック弁Ｇ１は、圧力室Ｒ２から圧力室Ｒ１への液体の流れを許容すると同時に、液体通過時の弁開度に応じた圧力損失により減衰力を発生できるようになっており、バネのイニシャル荷重により所定のクラッキング圧で開弁するよう設定されている。他方、管路６ｂの途中には、減衰力発生要素たるバネ付チェック弁Ｇ２が設けられており、このバネ付チェック弁Ｇ２は、圧力室Ｒ１から圧力室Ｒ２への液体の流れを許容すると同時に、液体通過時の弁開度に応じた圧力損失により減衰力を発生できるようになっており、バネのイニシャル荷重により所定のクラッキング圧で開弁するよう設定されている。なお、上記したバネ付チェック弁Ｇ１，Ｇ２としたは、具体的にたとえば、弁座に附勢バネで着座する球状やポペット型の弁体で構成した弁やリーフバルブ等を使用することが可能であり、一方からの流れのみを許容しつつ所定のクラッキング圧で開弁する他の公知の弁とされてもよく、シリンダ装置Ｓの用途に最適となる弁を選択すればよい。

上記したダンパ回路６の管路６ｃの他端および管路６ｄの他端は、ダンパ回路６をバイパスするバイパス路７が接続されている。このバイパス路７は、管路６ｃの他端に一端が接続された管路７ａと、管路６ｄの他端に一端が接続された管路７ｃと、管路７ａおよび管路７ｃの他端を接続する管路７ｂとで構成されており、バイパス路７は、シリンダ１に対しダンパ回路６と並列に接続されている。また、バイパス路７の管路７ｂの途中には、低圧優先シャトル弁８が設けられている。

この低圧優先シャトル弁８は、ポート８ａ、ポート８ｂ、出口端たるポート８ｃの３つのポートを有しており、たとえば、ポート８ａ側の圧力がポート８ｂ側の圧力より高い場合に、ポート８ａ側の流路が閉じられると同時にポート８ｂ側の流路が開放され、ポート８ｂとポート８ｃとが連通状態となり、反対にポート８ｂ側の圧力がポート８ａ側の圧力より高い場合に、ポート８ｂ側の流路が閉じられると同時にポート８ａ側の流路が開放され、ポート８ａとポート８ｃとが連通状態となる。そして、この低圧優先シャトル弁８の出口端たるポート８ｃは、管路９に接続されている。

さらに、バイパス路７の管路７ａの他端は、シリンダ回路２を構成する管路２１の一端に接続され、また、管路７ｃの他端は、シリンダ回路２を構成する管路２２の一端に接続されている。そして、管路２１の他端と管路２２の他端は、液圧源たる双方向吐出ポンプ１０に接続されている。したがって、シリンダ回路２は、管路２１および管路２２で構成され、管路２１の途中には、管路２１の連通および遮断を選択的に切換可能な切換弁Ｖ１が設けられ、管路２２の途中には、管路２２の連通および遮断を選択的に切換可能な切換弁Ｖ２が設けられている。この切換弁Ｖ１は、チェック弁を配したチェックポジション６１と連通ポジション６２とを有しており、附勢バネ６４で附勢されて通常はチェックポジション６１を採り、ソレノイド６３の励磁によって連通ポジション６２を採る電磁ソレノイド弁であり、他方、切換弁Ｖ２も同様の構成であって、チェック弁を配したチェックポジション７１と連通ポジション７２とを有し、附勢バネ７４で附勢されて通常はチェックポジション７１を採り、ソレノイド７３の励磁によって連通ポジション７２を採る電磁ソレノイド弁である。また、チェックポジション６１，７１にあっては、シリンダ回路２側からダンパ回路６側への液体の流れのみを許容するようになっている。なお、上記切換弁は、公知の切換弁を使用すればよい。また、上記チェックポジション６１，７１の換わりにそれぞれ管路２１，２２を遮断する遮断ポジションを設けるとしてもよいが、後述するように、双方向吐出ポンプ１０が慣性によって回転する場合等のシリンダ装置Ｓの損傷防止と言う観点からは上記したようにチェック弁とした方がよい。

双方向吐出ポンプ１０は、詳しくは図示しないが、モータＭによって駆動され、モータＭの正転および逆転により、その液体吐出方向を切換可能なようになっており、公知のポンプを使用することが可能である。

また、シリンダ回路２中、管路２１と管路２２の上記切換弁Ｖ１，Ｖ２より双方向吐出ポンプ１０側には、それぞれを連通する管路４０が設けられており、管路４０の途中には、コック４１が設けられている。このコック４１は、通常は閉じられ管路４０は遮断状態下に保たれるが、切換弁Ｖ１，Ｖ２等に万が一損傷するような事態となった場合に開放することにより、双方向吐出ポンプ１０の駆動していてもダンパ回路６をいわゆるアンロード状態に保てるようになっている。

さらに、シリンダ回路２中、管路２１と管路２２の上記切換弁Ｖ１，Ｖ２より双方向吐出ポンプ１０側には、シリンダ回路２の双方吐出ポンプ１０を迂回する迂回路３が設けられ、この迂回路３の途中には、迂回路低圧優先シャトル弁５が設けられている。

この低圧優先シャトル弁５は、ポート５ａ、ポート５ｂ、ポート５ｄ、出口端たるポート５ｃの４つのポートを有しており、ポート５ｄとポート５ｃは常時連通し、ポート５ａ側の圧力がポート５ｂ側の圧力より高い場合に、ポート５ａ側の流路が閉じられると同時にポート５ｂ側の流路が開放され、ポート５ｂとポート５ｃ、ポート５ｄとが連通状態となり、反対にポート５ｂ側の圧力がポート５ａ側の圧力より高い場合に、ポート５ｂ側の流路が閉じられると同時にポート５ａ側の流路が開放され、ポート５ａとポート５ｃ、ポート５ｄとが連通状態となる。そして、この低圧優先シャトル弁５の出口端たるポート８ｃは、管路３０に接続され、ポート５ｄは、上記低圧優先シャトル弁８のポート８ｃに接続された管路９に接続されている。そして、管路３０は、アキュムレータ４に接続されるとともに、管路５０を介してコック５１に接続されている。したがって、低圧優先シャトル弁８の出口端たるポート８ｃは、常時、アキュムレータ４に連通されている。なお、コック５０は、シリンダ装置Ｓのシリンダ１および回路中の液体が過剰不足した場合に、液体を供給および排出する為に使用される。なお、アキュムレータ４としては、ダイヤフラム型、ブラダ型、ピストン型等の公知のものを使用することができ、用途によって、最適となるものを使用すればよい。

なお、図示したところでは、いたずらに管路長を長くする事を避ける為に、ダンパ回路６にバイパス路７を接続し、バイパス路７にシリンダ回路２を接続するとしているが、バイパス路７およびシリンダ回路２を直接シリンダ１の各圧力室Ｒ１，Ｒ２に接続するとしてもよい。

シリンダ装置Ｓは、以上のように構成され、つづいて、その作用について説明する。

まず、シリンダとしての機能について説明すると、シリンダ１のロッド１３を図１中右方に駆動する場合、モータＭを正転させて、双方向吐出ポンプ１０を正転させるとともに、ソレノイド６３，７３をそれぞれ励磁して切換弁Ｖ１，Ｖ２を連通ポジション６２，７２に切換える。すると、双方向吐出ポンプ１０から吐き出された液体は、管路２１および管路７ａおよび管路６ｃを通過して圧力室Ｒ１内に流入して圧力室Ｒ１の容積を拡大する、すなわち、ピストン１２を図１中右方に液圧で押してロッド１３を図１中右方に駆動する。他方、圧縮される圧力室Ｒ２は容積が減少するので、圧力室Ｒ２内で余剰となった液体は、管路６ｄおよび管路７ｃおよび管路２２を通過し双方向吐出ポンプ１０の吸入口に導かれる。このとき、低圧側となる管路２２内の圧力は迂回路低圧優先シャトル弁５のポート５ｂとポート５ｃは連通状態となるのでアキュムレータ４によって補償され、キャビテーション等の弊害が防止される。反対に、ロッド１３を図１中左方に駆動する場合には、モータＭを逆転させて、双方向吐出ポンプ１０を逆転させるとともに、ソレノイド６３，７３をそれぞれ励磁して切換弁Ｖ１，Ｖ２を連通ポジション６２，７２に切換える。すると、双方向吐出ポンプ１０から吐き出された液体は、管路２２および管路７ｃおよび管路６ｄを通過して圧力室Ｒ２内に流入して圧力室Ｒ２の容積を拡大する、すなわち、ピストン１２を図１中左方に液圧で押してロッド１３を図１中左方に駆動する。他方、圧縮される圧力室Ｒ１は容積が減少するので、圧力室Ｒ１内で余剰となった液体は、管路６ｃおよび管路７ａおよび管路２１を通過し双方向吐出ポンプ１０の吸入口に導かれる。このとき、低圧側となる管路２１内の圧力は迂回路低圧優先シャトル弁５のポート５ａとポート５ｃは連通状態となるのでアキュムレータ４によって補償され、キャビテーション等の弊害が防止される。

つづいて、ダンパ機能について説明する。ダンパ機能を実現するにあたっては、モータＭを停止し、双方向吐出ポンプ１０を停止するとともに、ソレノイド６３，７３への電流供給を行わず切換弁Ｖ１，Ｖ２をチェックポジション６１，７１に切換える。すると、双方向吐出ポンプ１０からは液体は吐き出されず、ダンパ回路６は閉回路となる。このとき、ロッド１３がたとえば図１中右方に移動せしめられると、ピストン１２の移動によって、圧力室Ｒ１の容積は拡大し、逆に圧力室Ｒ２の容積は減少するので、圧力室Ｒ２内から余剰となる液体が吐き出され、管路６ｄおよび管路６ａおよび管路６ｃを通過して圧力室Ｒ１内に流入するが、液体が管路６ａの途中に設けたバネ付チェック弁Ｇ１を通過するときに圧力損失が生じて減衰力が発生される。反対に、ロッド１３がたとえば図１中左方に移動せしめられると、ピストン１２の移動によって、圧力室Ｒ２の容積は拡大し、逆に圧力室Ｒ１の容積は減少するので、圧力室Ｒ１内から余剰となる液体が吐き出され、管路６ｃおよび管路６ｂおよび管路６ｄを通過して圧力室Ｒ２内に流入するが、液体が管路６ｂの途中に設けたバネ付チェック弁Ｇ２を通過するときに圧力損失が生じて減衰力が発生される。以上のように、双方向吐出ポンプ１０の停止と切換弁Ｖ１，Ｖ２のチェックポジション６１，７１への移行でダンパ機能が発揮されるが、シリンダ装置Ｓがダンパ機能発現中に、液体の温度が変化して、液体の体積が変化した場合には、バイパス路７に設けた低圧優先シャトル弁８が常に低圧側となる管路７ａ，７ｃのどちらか一方とアキュムレータ４とが連通状態とされるので、たとえば、シリンダ１内およびダンパ回路６内およびバイパス路７内の液体が温度上昇により体積増加した場合には、アキュムレータ４内に余剰の液体が流れ込むこととなり、また、シリンダ１内およびダンパ回路６内およびバイパス路７内の液体が温度下降により体積減少した場合には、アキュムレータ４内から不足の液体が上記シリンダ１内およびダンパ回路６内およびバイパス路７内に流れ込むこととなり、液体の体積変化が補償され、その結果、シリンダ装置Ｓの液体体積変化による損傷等の弊害が防止される。

したがって、従来のように、複数のチェック弁やリリーフ弁と設けた複雑な構造を採用せずに、バイパス路とアキュムレータに接続された低圧優先シャトル弁を設けるだけでの簡単な構造でダンパ機能発現時の液体体積変化を補償することが可能であり、部品点数を削減することが可能であり、さらに、シリンダ装置Ｓを低コスト化、省スペース化することが可能である。

また、本実施の形態にあっては、低圧優先シャトル弁と迂回路低圧優先形シャトル弁を設け、それぞれをアキュムレータに接続したので、従来のように、アキュムレータをシリンダ回路側およびダンパ回路側に別々に設ける必要がない、すなわち、１つのアキュムレータでシリンダ回路側とダンパ回路側の液体体積補償をすることが可能であるので、この点でも部品点数の削減、製品の低コスト化が可能となっている。

さらに、本実施の形態においては、減衰力発生要素をバネ付チェック弁Ｇ１，Ｇ２としているので、所定のクラッキング圧に達するまでは開弁しないので、双方向吐出ポンプ１０から送られてくる液体は、効率よくシリンダ１内の圧力室Ｒ１，Ｒ２のどちらか一方に供給されることとなる。なお、減衰力発生要素にチェック機能を持たせずにオリフィスやポート等を使用し、ダンパ回路６の管路６ａもしくは管路６ｂのどちらか一方の省略するとしてもよいが、特に、シリンダ１に大きな力を発生させる場合にあっては、上記したようにバネ付チェック弁を用いる方が効率性の点で好ましい。

また、上記したところでは、ダンパ機能を発現する場合に、モータＭを停止するとしているが、モータＭを停止すると同時に、切換弁Ｖ１，Ｖ２をチェックポジション６１，７１に切換えるとした場合に、双方向吐出ポンプ１０が慣性により僅かではあるが回転する場合があり、切換弁Ｖ１，Ｖ２がチェックポジションに切換わっていても、双方向吐出ポンプ１０から慣性により吐き出される液体は、切換弁Ｖ１，Ｖ２を通過することが可能であり、シリンダ装置Ｓのシリンダ回路２内の過剰な圧力上昇が防止される。さらに、ダンパ回路６側に流入した液体は、やがて、バイパス路７中の低圧優先シャトル弁８を通過してアキュムレータ４に吸収されるか、迂回路低圧優先シャトル弁５を通過してシリンダ回路２内に戻されるので、シリンダ１内およびダンパ回路６内およびバイパス路７内の過剰な圧力上昇が防止される。したがって、この点でもシリンダ装置Ｓの損傷が防止されることとなる。

なお、双方向吐出ポンプ１０が慣性で回転した場合について説明したが、ダンパ機能発現時に何らかの理由で双方向吐出ポンプ１０が回転しつづけても、切換弁Ｖ１，Ｖ２にチェックポジション６１，７１を設けるとともに、アキュムレータ４に接続された低圧優先シャトル弁８および迂回路低圧優先チェック弁５を設けたので、シリンダ装置Ｓの損傷が防止される。

また、何らかの理由で切換弁Ｖ１，Ｖ２に電流を供給できない場合、すなわち、フェール時にあっては、切換弁Ｖ１，Ｖ２は、チェックポジション６１，７１を採るので、シリンダ装置Ｓは最低限ダンパとして機能することができる。

なお、本実施の形態にあっては、シリンダ回路の液圧源より各圧力室側の双方にシリンダ回路を開閉する切換弁を設け、液圧源を双方向吐出ポンプとしたので液圧源を複数設けるという非効率を避けることができる。

以上で、本発明の実施の形態についての説明を終えるが、本発明の範囲は図示されまたは説明された詳細そのものには限定されないことは勿論である。

一実施の形態におけるダンパ機能を備えたシリンダ装置の回路図である。 従来のシリンダ装置の回路図である。 従来のシリンダ装置の回路図である。 従来のダンパ機能を備えたシリンダ装置の回路図である。

符号の説明

１ シリンダ
２ シリンダ回路
３ 迂回路
４ アキュムレータ
５ 迂回路低圧優先シャトル弁
５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，８ａ，８ｂ，８ｃ，ａ，ｂ ポート
６ ダンパ回路
６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，７ａ，７ｂ，７ｃ，９，２１，２２，３０，４０，５０ 管路
７ バイパス路
８ 低圧優先シャトル弁
１０ 液圧源たる双方向吐出ポンプ
１１ シリンダ本体
１２ ピストン
１３ ロッド
４１，５１ コック
６１，７１ チェックポジション
６２，７２ 連通ポジション
６３，７３ ソレノイド
６４，７４ 附勢バネ
Ｇ１，Ｇ２ 減衰力発生要素たるバネ付チェック弁
Ｍ モータ
Ｒ１，Ｒ２ 圧力室
Ｖ１，Ｖ２ 切換弁

Claims (4)

1. 両ロッド型のシリンダと、シリンダ内に形成された２つの圧力室に接続したシリンダ回路と、このシリンダ回路を介して上記２つの圧力室に選択的に液圧を供給する液圧源と、上記シリンダ回路に接続しながら上記２つの圧力室を連通する並列な一対の管路からなるダンパ回路と、一方の管路に設けられて一方の圧力室から他方の圧力室へ向う液体の流れのみを許容するリリーフ機能を備えた減衰力発生要素と、同じく他方の管路に設けられて他方の圧力室から一方の圧力室へ向う流れのみを許容するリリーフ機能を備えた減衰力発生要素とを具備したダンパ機能を備えたシリンダ装置において、上記シリンダ回路に対して上記ダンパ回路と並列なバイパス路を接続し、このバイパス路の途中に液体の体積変化を補償する低圧優先形シャトル弁を設け、当該低圧優先形シャトル弁の出口端をアキュムレータにのみ接続したことを特徴とするダンパ機能を備えたシリンダ装置。
2. シリンダ回路に液圧源を迂回する迂回路を設け、上記迂回路の途中に迂回路低圧優先形シャトル弁を設け、当該迂回路低圧優先形シャトル弁の出口端をアキュムレータに接続したことを特徴とする請求項１に記載のダンパ機能を備えたシリンダ装置。
3. シリンダ回路の液圧源より各圧力室側の双方にシリンダ回路を開閉する切換弁を設け、液圧源を双方向吐出ポンプとしたことを特徴とする請求項１または２に記載のダンパ機能を備えたシリンダ装置。
4. 切換弁はシリンダ回路を開放する連通ポジションと液圧源からシリンダ側への液体の流れのみを許容するチェックポジションとを有してなることを特徴とする請求項３に記載のダンパ機能を備えたシリンダ装置。

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