JP4142695B2 - 液晶表示装置及び電気光学装置 - Google Patents
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Description
また、本明細書に参考的に開示する発明は、薄膜半導体を用いた半導体装置を利用して駆動する電気光学装置およびその作製方法に関する。特に、画素マトリクス回路とロジック回路とを同一パネル上に一体化したアクティブマトリクス型電気光学装置(Active-Matrix Electro Optical Device:AM−EOD)に関する。
なお、本願明細書には、上記問題点を解決して電気光学装置(光学表示装置)の表示領域となる画素マトリクス回路の面積を可能な限り大きくし、母体基板のサイズを最大限に活用した大画面表示を実現することを課題とする発明も参考的に記載する。
なお、本明細書に参考的に開示する発明の構成は、同一基板上に配置された画素マトリクス回路とロジック回路とを有する電気光学装置において、前記画素マトリクス回路が占有する領域内に前記ロジック回路の一部または全部が配置されていることを特徴とする。
その結果、本発明では、ブラックマトリクスは画素電極とそれに隣接する画素電極と間で充分な量が適切に配置されており、十分な遮光性を持たせることができる。
なお、本明細書に参考的に開示されている発明を実施することで、画素マトリクス回路とロジック回路とを同一の領域に重複して配置することが可能となる。即ち、ロジック回路の占有面積に制限されることがないので、ガラス基板のサイズを最大限に活用して広い画像表示領域(画素マトリクス回路)を確保することができる。
以下に6例を示すが、そのうち1例のみが実施例であり、他は参考例である。
まず、参考的に記載する発明の構造を有するアクティブマトリクス基板の作製工程を図1、図2を用いて説明する。なお、本例は参考例の一例(以下、参考例1という)を示すものであり、記載される数値等の具体的な条件は作製者が適宜決定すれば良いものである。
本例は参考例(以下参考例2という)であり、本願明細書に参考的に記載した発明を利用した場合の回路設計上の有意性を説明する。該発明の特徴は画素マトリクス回路とロジック回路とをガラス基板(または石英基板)上の同じ領域に配置することが可能な点にある。
本例は参考例(以下参考例3という)であり、本参考例では本願明細書に参考的に記載した発明を実施するにあたって画素領域を有効に活用するための構成についての一例を示す。具体的には画素電極の配置方法について説明する。
本例は参考例(以下参考例4という)であり、本参考例では本願明細書に参考的に記載した発明を利用して作製した電気光学装置の参考例1とは異なる他の構造の例を示す。なお、概略の構造は参考例1で示した図2(C)と同じであるので、本参考例では図8(A)、(B)について、必要な箇所のみを符号を付して説明することとする。
本例は参考例(以下参考例5という)であり、本参考例では本願明細書に参考的に記載された発明を利用した電気光学装置(画像表示装置)を組み込んだ電気光学装置(応用製品)の一例を示す。なお、画像表示装置は必要に応じて直視型または投影型で使用すれば良い。
102〜105 活性層
106 ゲイト絶縁膜
107〜110 アルミニウム膜のパターン
111〜114 多孔質状の陽極酸化膜
115〜118 緻密な陽極酸化膜
119〜122 ゲイト電極
123 レジストマスク
124 ソース領域
125 ドレイン領域
126、127 低濃度不純物領域
128 チャネル形成領域
145 第1の層間絶縁膜
146〜150 接続配線
151 第2の層間絶縁膜
152〜155 データ配線
156 第3の層間絶縁膜
157、158 ブラックマトリクス
159 第4の層間絶縁膜
160、161 画素電極
Claims (11)
- 絶縁表面を有する基板と、
前記基板上に形成された複数の薄膜トランジスタと、
前記複数の薄膜トランジスタを覆って形成された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に形成され、前記複数の薄膜トランジスタのそれぞれと接続された複数の画素電極とを有し、
前記層間絶縁膜は、前記複数の画素電極の一と、それと隣接した他の画素電極との間に形成された溝を有し、
前記溝の中、及び前記複数の画素電極の一と、それと隣接した他の画素電極との間に、前記液晶材料と比較して比誘電率の小さい材料からなるブラックマトリクスが、前記複数の画素電極の一の端部及び前記隣接した他の画素電極の端部を覆うように設けられていることを特徴とする液晶表示装置。 - 前記溝は、前記複数の画素電極の一及びそれと隣接した他の画素電極をマスクとして、自己整合的に前記層間絶縁膜をエッチングすることにより形成されたものである請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記液晶材料と比較して比誘電率の小さい材料は、黒色顔料を分散させた有機性樹脂材料である請求項1又は請求項2に記載の液晶表示装置。
- 前記複数の画素電極それぞれの下方に、ロジック回路が配置されている請求項1乃至請求項3のいずれか1に記載の液晶表示装置。
- 前記ロジック回路は、駆動回路及びコントロール回路で構成されている請求項4に記載の液晶表示装置。
- 前記コントロール回路は、プロセッサー回路、メモリ回路、A/Dコンバータ回路、D/Aコンバータ回路、補正回路又はパルス発振回路を含む請求項5に記載の液晶表示装置。
- 前記ロジック回路は、薄膜トランジスタを有し、当該ロジック回路が有する薄膜トランジスタは、前記基板上に形成された複数の薄膜トランジスタと同一層に形成されている請求項4乃至請求項6のいずれか1に記載の液晶表示装置。
- 反射型である請求項1乃至請求項7のいずれか1に記載の液晶表示装置。
- OCBモードで駆動される請求項1乃至請求項8のいずれか1に記載の液晶表示装置。
- 請求項1乃至請求項9のいずれか1に記載の液晶表示装置が組み込まれた電気光学装置。
- TVカメラ、ヘッドマウントディスプレイ、カーナビゲーション、プロジェクター、ビデオカメラ、パーソナルコンピュータ、携帯電話、携帯情報端末機器又はモバイルコンピュータである請求項10に記載の電気光学装置。
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