JP4137002B2

JP4137002B2 - High-frequency broadband 1-port variable load device using 6-port system

Info

Publication number: JP4137002B2
Application number: JP2004145408A
Authority: JP
Inventors: 利幸矢加部; 李可人; 肇近藤
Original assignee: Chuo Electronics Co Ltd
Current assignee: Chuo Electronics Co Ltd
Priority date: 2004-05-14
Filing date: 2004-05-14
Publication date: 2008-08-20
Anticipated expiration: 2024-05-14
Also published as: JP2005326308A

Description

本発明は、高周波領域（マイクロ波帯、ミリ波帯、サブミリ波帯、テラヘルツ帯）、光領域（赤外線、可視光線、紫外線）などにおける、位相測定技術に関する。 The present invention relates to a phase measurement technique in a high frequency region (microwave band, millimeter wave band, submillimeter wave band, terahertz band), an optical region (infrared ray, visible ray, ultraviolet ray).

６ポート型システムとは、校正により得られるシステム固有のハードウェア情報（校正パラメータ）と、複数の電力測定値（スカラー量）から、２つの波の振幅比と位相差（ベクトル量）を導出する計測システムであり、具体的には５ポート、７ポート等のハードウェア（junction：接合）を含んでいる。以下、より明確にするために一般的な電力測定用ポートを４つとしたシステム、すなわち図１に示す６ポート接合を用いた計測システム（６ポートシステム）で解説する。 The 6-port system derives the amplitude ratio and phase difference (vector quantity) of two waves from system-specific hardware information (calibration parameters) obtained by calibration and a plurality of power measurement values (scalar quantities). It is a measurement system, and specifically includes hardware (junction) such as 5 ports and 7 ports. In the following, for the sake of clarity, a general power measurement port system having four ports, that is, a measurement system using a 6-port junction shown in FIG. 1 (6-port system) will be described.

従来、図２に示されている６ポート接合１６と、４つの検波器１１とで構成した６ポートシステム１０が知られている。
これは、ポート３，４，５，６の４つのポートにそれぞれ電力測定用検波器１１を接続し、４つの検波器１１の電力（または電圧）測定値を得ることによって、ポート１とポート２に入出力する波ａ_１，ａ_２，ｂ_１の３つの波における２つの波の比を知ることができるものである。
図３に示すように、ポート１に１ポート供試デバイス（Device Under Test：ＤＵＴ）１８を、ポート２に発振源１９を接続し、ポート１から出力する波ｂ_１と入力する波ａ_１との比、つまりポート１からＤＵＴ１８側を見た複素反射係数γ
γ＝ａ_１／ｂ_１・・・・・（１）
の測定装置をリフレクトメータと呼ぶ。
また、図４に示すように、ポート１から入力する波ａ_１とポート２から入力する波ａ_２の複素振幅比Ｗ
Ｗ＝ａ_２／ａ_１・・・・・（２）
の測定装置をコリレータと呼ぶ。 Conventionally, a 6-port system 10 including the 6-port junction 16 shown in FIG. 2 and four detectors 11 is known.
This is because the power measurement detectors 11 are connected to the four ports 3, 4, 5, 6, respectively, and the power (or voltage) measurement values of the four detectors 11 are obtained, so that the ports 1 and 2 The ratio of the two waves in the three waves a ₁ , a ₂ , and b ₁ that are input to and output from can be known.
As shown in FIG. 3, a 1-port device under test (DUT) 18 is connected to port 1, an oscillation source 19 is connected to port 2, a wave b ₁ output from port _1, and an input wave a ₁ Ratio, that is, the complex reflection coefficient γ when the DUT 18 side is viewed from the port 1
γ = a ₁ / b ₁ (1)
This measuring device is called a reflectometer.
Also, as shown in FIG. 4, the complex amplitude ratio W of the wave a ₁ input from the port ₁ and the wave a ₂ input from the port 2
W = a ₂ / a ₁ (2)
This measuring device is called a correlator.

リフレクトメータ、コリレータともハードウェアは同一の６ポートシステムを使っており、この６ポートシステム構成は多数存在する。その中でリフレクトメータとして校正し動作させることができると同時に、コリレータとして校正し動作させることができる６ポートシステムの例を図５に示す。 The reflectometer and correlator use the same 6-port system hardware, and there are many 6-port system configurations. FIG. 5 shows an example of a 6-port system that can be calibrated and operated as a reflectometer and can be calibrated and operated as a correlator.

また、本願出願人は、図２に示す６ポートシステムを１つの移相器と、１つの複素反射係数既知の標準器のみで高精度に校正できる方式を考案した。
回路が線形で単一モードのみが伝播する条件下で、出力する波ｂ_３，ｂ_４，ｂ_５，ｂ_６はポート１，２に対して入出力する波ａ_１，ａ_２，ｂ_１の線形結合で表わすことができる。
すなわち、ｂ_ｉ（ｉ＝３，４，５，６）はａ_１，ａ_２，ｂ_１を用いて、

と表わすことができる。ただし、Ａ_ｉ，Ｂ_ｉ，Ａ_ｉ ^´，Ｂ_ｉ ^´は６ポートシステム固有の周波数に依存する複素定数である。
そして、ポートｉに接続した検波器による測定電力値をＰ_ｉとすると、Ｐ_ｉは出力する波ｂ_ｉの二乗に比例し、αを比例定数とすると、

と表わすことができる。
そして、ポート３に対するポートｈ（ｈ＝４，５，６）の電力比_３Ｐ_ｈは、

と表わされる。この_３Ｔ_ｈ，ｔ_ｈ，_３Ｋ_ｈ´，ｋ_ｈ´は校正によって求められる校正パラメータである。
特許第３５４０７９７号公報 Further, the applicant of the present application has devised a method in which the 6-port system shown in FIG. 2 can be calibrated with high accuracy using only one phase shifter and one standard device having a known complex reflection coefficient.
The wave b ₃ , b ₄ , b ₅ , b ₆ to be output is the wave a ₁ , a ₂ , b ₁ input / output to / from the

ports

1 and 2 under the condition that the circuit is linear and only the single mode propagates. It can be expressed by a linear combination.
That is, b _i (i = 3, 4, 5, 6) uses a ₁ , a ₂ , b ₁ ,

Can be expressed as However, A _i , B _i , A _i ^′ , B _i ^′ are complex constants depending on the frequency inherent to the 6-port system.
And if the measured power value by the detector connected to port i is P _i , P _i is proportional to the square of the output wave b _i , and α is a proportional constant,

Can be expressed as
Then, the power ratio ₃ P _h ports h (h = 4,5,6) with respect to port 3,

It is expressed as These ₃ T _h , t _h , ₃ K _h ′, and k _h ′ are calibration parameters obtained by calibration.
Japanese Patent No. 35409797

高周波計測システムの主流となっているＶＮＡの校正は、数種類の標準器（ショート、オープン、負荷、スルー、ライン等）を接続することによって行われているが、校正手順が複雑であるという問題がある。
この校正手順が複雑であるために、人為的ミスが発生する原因となる。また、校正時に数種類の標準器の接続と取外しが必要であり、そのため測定精度低下の問題が発生する。 VNA calibration, which is the mainstream of high-frequency measurement systems, is performed by connecting several types of standard devices (short, open, load, through, line, etc.), but the problem is that the calibration procedure is complicated. is there.
This calibration procedure is complicated and causes human error. In addition, it is necessary to connect and remove several types of standard devices during calibration, which causes a problem of reduced measurement accuracy.

本発明は、ポート１とポート２より成る２入力ポートと、残りのポートを電力測定用ポートとして構成し、前記ポート１に入力する波ａ_１と出力する波ｂ_１、およびポート２に入力する波ａ_２と出力する波ｂ_２の４つの波において、２つの波の比で表わされる複素振幅比Ｗ＝ａ₂／ａ_１と複素反射係数γ＝ａ ₁ ／ｂ ₁を同時に求めるようにした６ポート型システムのポート２側に移相器、可変減衰器および短絡終端器を接続した１ポート可変負荷装置において、ポート１から６ポート型システム側を見た複素反射係数Γ＝ｂ_１／ａ_１を１ポート可変負荷装置自体で測定し、かつ、任意に前記複素反射係数Γを設定できるようにしたことを特徴とする６ポート型システムを用いたものである。 The present invention includes a second input port consisting of ports 1 and 2, constitutes the remaining port as a port for power measurement, and inputs the wave b _1, and port 2 to output a wave a ₁ to be input to the port 1 In the four waves of the wave a ₂ and the output wave b ₂ , the complex amplitude ratio W = a ₂ / a ₁ and the complex reflection coefficient γ = a ₁ / b ₁ represented by the ratio of the two waves are obtained simultaneously. In a 1-port variable load device in which a phase shifter, a variable attenuator, and a short-circuit terminator are connected to the port 2 side of a 6-port type system, the complex reflection coefficient Γ = b ₁ / a seen from the port 1 to the 6-port type system side ₁ was measured in 1-port variable load device itself, and, those with 6-port system which is characterized in that to be able to configure the complex reflection coefficient Γ arbitrarily.

以上説明したように、本発明による手段により、設定周波数に対し所望の複素反射係数を設定できる簡単な構成、かつ、安価な１ポート負荷装置を実現することができる。 As described above, by means of the present invention, it is possible to realize an inexpensive one-port load device that has a simple configuration that can set a desired complex reflection coefficient for a set frequency.

以下に、本発明を図面を参照しながら説明する。
図１に６ポートシステムを用いた１ポート可変負荷装置の実施例を示す。
本装置は、図１のように、点線枠で囲まれた６ポートシステム１０、可変減衰器１３、移相器１４、短絡終端器１５および制御部１７によって構成される。
前記制御部１７は、ポート１から６ポートシステム１０側を見た複素反射係数Γ
Γ＝ｂ_１／ａ_１・・・・・（11）
に対して、所望の複素反射係数Γ_ｓを自動的に設定できるように、以下のＡ）〜Ｄ）を繰り返し操作する。
Ａ）検波器１１を用いて電力（または電圧）１２を測定する。
Ｂ）ポート１の複素反射係数Γ_ｍを算出する。
Ｃ）Γ_ｍと所望の複素反射係数Γ_ｓとの偏差を計算する。
Ｄ）Γ_ｍとΓ_ｓの偏差が設定値以内となるまで、可変減衰器１３と移相器１４を調整する。
図１の６ポートシステム１０は、設定周波数で予め校正してあるので、設定周波数に対し既知の負荷として使用できる。 The present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 shows an embodiment of a 1-port variable load device using a 6-port system.
As shown in FIG. 1, this apparatus includes a 6-port system 10, a variable attenuator 13, a phase shifter 14, a short-circuit terminator 15, and a control unit 17 surrounded by a dotted frame.
The controller 17 has a complex reflection coefficient Γ as seen from the port 1 to the 6-port system 10 side.
Γ = b ₁ / a ₁ (11)
On the other hand, the following A) to D) are repeatedly operated so that a desired complex reflection coefficient Γ _s can be automatically set.
A) The power (or voltage) 12 is measured using the detector 11.
B) The complex reflection coefficient Γ _m of port 1 is calculated.
C) Calculate the deviation between Γ _m and the desired complex reflection coefficient Γ _s .
D) Adjust the variable attenuator 13 and the phase shifter 14 until the deviation between Γ _m and Γ _s is within the set value.
Since the 6-port system 10 of FIG. 1 is calibrated in advance at a set frequency, it can be used as a known load for the set frequency.

以下、図１のポート１に対する複素反射係数Γの求め方を説明する。
＜Ｓパラメータと校正パラメータの関係＞
図１の検波器１１を含んだ６ポートシステム（２ポート）のＳパラメータをＳ_１１，Ｓ_１２，Ｓ_２１，Ｓ_２２とすると、
ｂ_１＝Ｓ_１１ａ_１＋Ｓ_１２ａ_２・・・・・（12）
ｂ_２＝Ｓ_２１ａ_１＋Ｓ_２２ａ_２・・・・・（13）
となり、式（12）の両辺をａ_１で除することにより
Γ＝Ｓ_１１＋Ｓ_１２Ｗ・・・・・（14）
を得る。また、式（12）よりＷ，γ，Ｓ_１１，Ｓ_１２には
γ＝１／（Ｓ_１１＋Ｓ_１２Ｗ）・・・・・（15）
の関係がある。これを式（８）に代入し（７）と比較すると、

である。従って、

の関係が得られる。
ｋ_ｈ´，ｔ_ｈは校正過程でそれぞれ３組得られるので、Ｓ_１１，Ｓ_１２は提案する１ポート可変負荷装置自身で求めることができる。
式（14）の関係においてＷは式（７）より求めることができ、Ｓパラメータは式（17）により求められているので、ポート１の複素反射係数Γを求めることができる。 Hereinafter, a method of obtaining the complex reflection coefficient Γ for the port 1 in FIG. 1 will be described.
<Relationship between S parameter and calibration parameter>
If the S parameters of the 6-port system (2 ports) including the detector 11 of FIG. 1 are S ₁₁ , S ₁₂ , S ₂₁ , S ₂₂ ,
b ₁ = S ₁₁ a ₁ + S ₁₂ a ₂ (12)
b ₂ = S ₂₁ a ₁ + S ₂₂ a ₂ (13)
By dividing both sides of the equation (12) by a ₁ Γ = S ₁₁ + S ₁₂ W (14)
Get. Also, from equation (12), γ = 1 / (S ₁₁ + S ₁₂ W) for W, γ, S ₁₁ , S ₁₂ (15)
There is a relationship. Substituting this into equation (8) and comparing with (7),

It is. Therefore,

The relationship is obtained.
Since three sets of k _h ′ and t _h are obtained in the calibration process, S ₁₁ and S ₁₂ can be obtained by the proposed 1-port variable load device itself.
In the relationship of equation (14), W can be obtained from equation (7), and the S parameter is obtained from equation (17), so that the complex reflection coefficient Γ of port 1 can be obtained.

＜所望なΓの設定方法＞
ここでは、まず｜Ｗ｜＝１，｜Ｓ_１１｜＝０，｜Ｓ_１２｜＝｜Ｓ_２１｜＝１と仮定すると、可変減衰器１３による減衰がない状態では、Γは図６に示す複素平面上の単位円周上に存在する。例として、測定結果Γ_ｍが×印の時、可変減衰器１３の操作によりΓ_ａへ調整し、次に移相器１４の操作によりΓ_ｓへ設定できる。
従って、Γを単位円内で任意に設定できる。
図１の装置では、検波器１１による電力測定損失のため単位円内のある領域に限定されるが、リニア・アンプ等の導入により改善できる。 <Desired Γ setting method>
Here, assuming that | W | = 1, | S ₁₁ | = 0, | S ₁₂ | = | S ₂₁ | = 1, Γ is complex as shown in FIG. It exists on the unit circumference on the plane. As an example, when the measurement result Γ _m is marked with x, it can be adjusted to Γ _a by operating the variable attenuator 13 and then set to Γ _s by operating the phase shifter 14.
Therefore, Γ can be arbitrarily set within the unit circle.
In the apparatus of FIG. 1, the power measurement loss by the detector 11 is limited to a certain area in the unit circle, but this can be improved by introducing a linear amplifier or the like.

以上述べたように、本発明による１ポート可変負荷装置は、比較的基本的な部品で構成される６ポートシステムを中核に、可変減衰器１３、移相器１４、短絡終端器１５および制御部１７で構成されたシステムであり、本装置により設定周波数において所望の複素反射係数を設定することを可能にした。 As described above, the 1-port variable load device according to the present invention has the 6-port system composed of relatively basic components as the core, the variable attenuator 13, the phase shifter 14, the short-circuit terminator 15, and the control unit. 17, and this apparatus can set a desired complex reflection coefficient at a set frequency.

１ポート可変負荷装置の構成図。The block diagram of 1 port variable load apparatus. ６ポートシステムのモデル図。Model diagram of 6-port system. リフレクトメータ（ポート１にＤＵＴ、ポート２に発振源）の構成図。The block diagram of a reflectometer (DUT in port 1 and an oscillation source in port 2). コリレータの構成図。The block diagram of a correlator. ６ポートシステムの例。Example of a 6-port system. 複素反射係数Γの設定方法。Setting method of complex reflection coefficient Γ.

符号の説明Explanation of symbols

１，２，３，４，５，６ポート
１０６ポートシステム
１１検波器
１２電圧または電力
１３可変減衰器
１４移相器
１５短絡終端器
１６６ポート接合
１７制御部
１８ＤＵＴ
１９，２０発振源
２１，２２，２３，２４Ｑ（９０°ハイブリッド）
２５，２６，２７，２８無反射終端器
２９，３０方向性結合器 1, 2, 3, 4, 5, 6 Port 10 6 Port System 11 Detector 12 Voltage or Power 13 Variable Attenuator 14 Phase Shifter 15 Short Circuit Terminator 16 6 Port Junction 17 Control Unit 18 DUT
19, 20 Oscillation source 21, 22, 23, 24 Q (90 ° hybrid)
25, 26, 27, 28 Non-reflective terminator 29, 30 Directional coupler

Claims

ポート１とポート２より成る２入力ポートと、残りのポートを電力測定用ポートとして
構成し、
前記ポート１に入力する波ａ_１と出力する波ｂ_１、およびポート２に入力する波ａ_２と
出力する波ｂ_２の４つの波において、２つの波の比で表わされる複素振幅比Ｗ＝ａ_２／ａ
_１と複素反射係数γ＝ａ ₁ ／ｂ ₁を同時に求めるようにした６ポート型システムのポート
２側に移相器、可変減衰器および短絡終端器を接続した１ポート可変負荷装置において、
ポート１から６ポート型システム側を見た複素反射係数Γ＝ｂ_１／ａ_１を１ポート可変
負荷装置自体で測定し、かつ、任意に前記複素反射係数Γを設定できるようにしたことを
特徴とする６ポート型システムを用いた高周波広帯域１ポート可変負荷装置。 Configure two input ports consisting of port 1 and port 2 and the remaining ports as power measurement ports,
In the four waves of the wave a ₁ inputted to the port 1 and the wave b ₁ outputted and the wave a ₂ inputted to the port ₂ and the wave b ₂ outputted, the complex amplitude ratio W = a ₂ / a
_In a 1-port variable load device in which a phase shifter, a variable attenuator and a short-circuit terminator are connected to the port 2 side of a 6-port system in which ₁ and a complex reflection coefficient γ = a ₁ / b ₁ are obtained simultaneously,
The complex reflection coefficient Γ = b ₁ / a ₁ viewed from the port 1 to the 6-port system side is measured by the 1-port variable load device itself, and the complex reflection coefficient Γ can be arbitrarily set. A high-frequency broadband 1-port variable load device using a 6-port system.

複素反射係数Γを求めるのに必要な６ポート型システムの電力測定用ポートに電力測定
系を接続した２ポート回路のＳパラメータを、６ポート型システム固有の複素反射係数測
定用のリフレクトメータ校正パラメータと、複素振幅比測定用のコリレータ校正パラメー
タを用いて算出するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の６ポート型システムを
用いた高周波広帯域１ポート可変負荷装置。 The S-parameter of the 2-port circuit that connects the power measurement system to the power measurement port of the 6-port system required to determine the complex reflection coefficient Γ, and the reflectometer calibration parameter for complex reflection coefficient measurement specific to the 6-port system The high-frequency broadband 1-port variable load device using the 6-port system according to claim 1, wherein the calculation is performed using a correlator calibration parameter for complex amplitude ratio measurement.