JP4135670B2 - 光式ガスセンサ - Google Patents
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Description
と同様に位相敏感検波が行われて、ガスの有無の検知判定、ガス濃度の算出が行われ、光式ガスセンサ1と同様の効果が得られる。
に示す測定素子60、70を用いてもよい。
2 モニタ受光器
3 位相検波器
4 バイアス電流源
5 発振器
6 信号処理部
7a〜7d 光ファイバ
8 センサヘッド
8v 空間
9 レンズ
10 測定素子
11 計測部
21a レーザダイオード(レーザ光源)
21s レーザダイオード(レーザ光源)
21m レーザモジュール
C キャパシタ
L インダクタンス
Claims (4)
- 駆動電流に応じた波長及び強度のレーザ光を発振するレーザ光源を用い、所定電流を中心とした駆動電流を変調することにより波長及び強度が変調されたレーザ光を前記レーザ光源から発振させ、そのレーザ光を測定対象とするガス雰囲気に通して得られる光の強度を検出し、この検出した信号中の特定周波数成分を位相敏感検波して得られる信号からガスの濃度などを検出する光式ガスセンサにおいて、
前記ガス雰囲気中に設置されガス検出を行うためのセンサヘッドに、
少なくとも、合金からなる弾性を有する合金板と、該合金板に隣接して設けられ測定対象のガスと反応する触媒金属からなる触媒金属板と、から構成される測定素子を設け、
該測定素子は、測定対象のガスと反応する状態では前記触媒金属の反応により変形する一方、測定対象のガスと反応しない状態では前記合金板が有する弾性により元の形に戻りやすい素子であり、
その測定素子からの光をモニタ受光器にて受光し、該モニタ受光器から出力される電気信号のうち光の特定周波数成分を位相敏感検波する計測部を備えたことを特徴とする光式ガスセンサ。 - 上記合金は、りん青銅である請求項1記載の光式ガスセンサ。
- 上記触媒金属はPdとPtの少なくともいずれか一方を含むことを特徴とする請求項1記載の光式ガスセンサ。
- 上記測定素子が、上記触媒金属板に隣接して形成されるフッ素樹脂膜を備えていることを特徴とする請求項1記載の光式ガスセンサ。
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