JP4134051B2 - 透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料およびそれを利用した透過電子顕微鏡の元素マッピング法 - Google Patents
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Description
11 第1結晶質薄膜
11′ 第2結晶質薄膜
12 第1非結晶質薄膜
13、13′ バッファ層
Claims (25)
- 基板と、
前記基板上に形成され、重原子を含む第1結晶質薄膜と、
前記第1結晶質薄膜上に形成され、軽原子を含む酸化物または窒化物を含み、電界放出電子銃を用いた場合に利用する膜厚が1ないし5nmである第1非結晶質薄膜と、
前記第1非結晶質薄膜上に形成され、重原子を含む第2結晶質薄膜と、を含む透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。 - 前記第2結晶質薄膜上にさらにバッファ層が積層されていることを特徴とする請求項1に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記バッファ層は、SiO2、Ta、Ru、Tiよりなる群から選択された物質を一つ以上含むことを特徴とする請求項2に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記基板と前記第1結晶質薄膜との間にさらにバッファ層が積層されていることを特徴とする請求項1に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記バッファ層は、SiO2、Ta、Ru、Tiよりなる群から選択された物質を一つ以上含むことを特徴とする請求項4に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記基板と前記第1結晶質薄膜との間に、バッファ層と、重原子を含む第3結晶質薄膜と、軽原子を含む酸化物または窒化物を含み、熱電子銃を用いた場合に利用する膜厚が6ないし10nmである第2非結晶質薄膜とが順次積層されていることを特徴とする請求項1に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記第2結晶質薄膜上にさらにバッファ層が形成されていることを特徴とする請求項6に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記第3結晶質薄膜に含まれる重原子は、原子番号26以上の元素であることを特徴とする請求項6または7に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記重原子を含有する第3結晶質薄膜が、単層または多層構造を持っており、Ta、NiFe、MnPt、Ru、CoFeよりなる群から選択された物質を一つ以上を含むことを特徴とする請求項6ないし8のうちのいずれか1項に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記第1非結晶質薄膜に含まれる軽原子は、原子番号25以下の元素であることを特徴とする請求項1ないし9のうちのいずれか1項に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記第1非結晶質薄膜が、酸化アルミニウム、酸化マンガン、チタン酸化物、クロム酸化物、シリコン酸化物、アルミニウム窒化物、シリコン窒化物、チタン窒化物よりなる群から選択された物質を一つ以上含むことを特徴とする請求項1ないし10のうちのいずれか1項に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- シリコン基板と、SiO2膜と、Ta膜と、NiFe膜と、膜厚が6ないし10nmである第1酸化アルミニウム膜と、NiFe膜と、膜厚が1ないし5nmである第2酸化アルミニウム膜と、Ta膜とが順次積層されていることを特徴とする透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- シリコン基板と、Ta膜と、NiFe膜と、MnPt膜と、CoFe膜と、Ru膜と、CoFe膜と、膜厚が1ないし5nmである酸化アルミニウム膜と、CoFe膜と、NiFe膜と、Ta膜とが順次積層されていることを特徴とする透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 基板と、
前記基板上に形成された重原子を含む第1結晶質薄膜と、
前記第1結晶質薄膜上に形成され、軽原子を含む酸化物または窒化物を含み、熱電子銃を用いた場合に利用する膜厚が6ないし10nmである第2非結晶質薄膜と、
前記第2非結晶質薄膜上に形成され、重原子を含む第2結晶質薄膜と、を含む透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。 - 前記第2結晶質薄膜上にさらにバッファ層が積層されていることを特徴とする請求項14に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記バッファ層がSiO2、Ta、Ru、Tiよりなる群から選択された物質を一つ以上含むことを特徴とする請求項15に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記基板と前記第1結晶質薄膜との間にさらにバッファ層が積層されていることを特徴とする請求項14に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記バッファ層がSiO2、Ta、Ru、Tiよりなる群から選択された物質を一つ以上含むことを特徴とする請求項17に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記第1結晶質薄膜および前記第2結晶質薄膜に含まれる重原子は、原子番号26以上の元素であることを特徴とする請求項1ないし11または14ないし18のいずれか1項に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記重原子を含有する第1結晶質薄膜および第2結晶質薄膜が、それぞれ単層または多層構造を持っており、それらの薄膜が、互いに独立的に、Ta、NiFe、MnPt、Ru、CoFeよりなる群から選択された物質を一つ以上含むことを特徴とする請求項1ないし11または14ないし19のいずれか1項に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記第2非結晶質薄膜に含まれる軽原子は、原子番号25以下の元素であることを特徴とする請求項6ないし11または14ないし20のいずれか1項に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 前記第2非結晶質薄膜が、酸化アルミニウム、酸化マンガン、チタン酸化物、クロム酸化物、シリコン酸化物、アルミニウム窒化物、シリコン窒化物、チタン窒化物よりなる群から選択された一つ以上を含むことを特徴とする請求項6ないし11または14ないし21のいずれか1項に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料。
- 請求項1ないし11または請求項14ないし22のうちのいずれか1項に記載の標準試料を透過電子顕微鏡およびXRRを利用して粗度および厚さT1を測定する段階と、
請求項1ないし11または請求項14ないし22のうちいずれか1項に記載の標準試料を、EDS、EELS法を利用して元素マッピングを実施してマッピングイメージを得、そのマッピングイメージから厚さT2を測定する段階と、
前記T1とT2とを比較して(T2−T1)値が最小になる条件を探して、EDS、EELSマッピング条件を最適化させる段階と、を含む透過電子顕微鏡の元素マッピング法。 - 前記標準試料が、シリコン基板と、SiO2膜と、Ta膜と、NiFe膜と、膜厚が6ないし10nmである第1酸化アルミニウム膜と、NiFe膜と、膜厚が1ないし5nmである第2酸化アルミニウム膜と、Ta膜とが順次積層された構造を持つことを特徴とする請求項23に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング法。
- 前記標準試料が、シリコン基板と、Ta膜と、NiFe膜と、MnPt膜と、CoFe膜と、Ru膜と、CoFe膜と、膜厚が1ないし5nmである酸化アルミニウム膜と、CoFe膜と、NiFe膜と、Ta膜とが順次積層された構造を持つことを特徴とする請求項23に記載の透過電子顕微鏡の元素マッピング法。
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